KR20200138009A - 라이센스 인증 장치 및 라이센스 인증 방법 - Google Patents

라이센스 인증 장치 및 라이센스 인증 방법 Download PDF

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KR20200138009A
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 사용 기한의 인증을 보다 강고하게 행할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 개시의 일 양태에 따른 라이센스 인증 장치는, 반도체 공장 내의 반도체 제조 장치의 파라미터를 조정하는 애플리케이션의 라이센스 기한의 인증을 행하는 장치로서, 상기 라이센스 기한을 포함하는 라이센스 파일을 저장하는 라이센스 정보 저장부와, 상기 반도체 제조 장치가 처리를 실행했을 때의 로그 데이터를 취득하는 로그 데이터 취득부와, 상기 로그 데이터 취득부가 취득한 상기 로그 데이터에 포함되는 시각이 상기 라이센스 정보 저장부에 저장된 상기 라이센스 기한을 넘겼는지 여부를 판정하는 라이센스 기한 판정부를 갖는다.

Description

라이센스 인증 장치 및 라이센스 인증 방법{LICENSE AUTHENTICATION DEVICE AND LICENSE AUTHENTICATION METHOD}
본 개시는, 라이센스 인증 장치 및 라이센스 인증 방법에 관한 것이다.
기판 처리 장치에 있어서 동작하는 소프트웨어의 부정 사용을 적절히 방지할 수 있는 기판 처리 장치가 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1, 2 참조).
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2007-193579호 공보 [특허문헌 2] 일본 특허 공개 제2003-076435호 공보
본 개시는, 사용 기한의 인증을 보다 강고하게 행할 수 있는 기술을 제공한다.
본 개시의 일 양태에 따른 라이센스 인증 장치는, 반도체 공장 내의 반도체 제조 장치의 파라미터를 조정하는 애플리케이션의 라이센스 기한의 인증을 행하는 장치로서, 상기 라이센스 기한을 포함하는 라이센스 파일을 저장하는 라이센스 정보 저장부와, 상기 반도체 제조 장치가 처리를 실행했을 때의 로그 데이터를 취득하는 로그 데이터 취득부와, 상기 로그 데이터 취득부가 취득한 상기 로그 데이터에 포함되는 시각이 상기 라이센스 정보 저장부에 저장된 상기 라이센스 기한을 넘겼는지 여부를 판정하는 라이센스 기한 판정부를 갖는다.
본 개시에 따르면, 사용 기한의 인증을 보다 강고하게 행할 수 있다.
도 1은 반도체 제조 장치를 포함하는 시스템의 전체 구성의 일례를 나타낸 도면.
도 2는 군 관리 컨트롤러의 하드웨어 구성의 일례를 나타낸 도면.
도 3은 데이터 처리 장치의 하드웨어 구성의 일례를 나타낸 도면.
도 4는 데이터 처리 장치의 동작의 일례를 나타낸 시퀀스도.
이하, 첨부한 도면을 참조하면서, 본 개시의 한정적이지 않은 예시의 실시형태에 대해서 설명한다. 첨부한 전체 도면 중, 동일 또는 대응하는 부재 또는 부품에 대해서는, 동일 또는 대응하는 참조 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다.
[반도체 제조 장치를 포함하는 시스템의 전체 구성]
반도체 제조 장치를 포함하는 시스템의 전체 구성에 대해서, 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1은 반도체 제조 장치를 포함하는 시스템의 전체 구성의 일례를 나타낸 도면이다.
시스템(1)은, 반도체 제조 장치(10, 20, 30), 군 관리 컨트롤러(40), 데이터 처리 장치(50), 단말(60)을 갖는다. 반도체 제조 장치(10, 20, 30)는, 반도체 공장의 통신회선(70)을 통해 군 관리 컨트롤러(40)와 통신 가능하게 접속된다. 군 관리 컨트롤러(40)는, 반도체 공장의 통신회선(80)을 통해 데이터 처리 장치(50)와 통신 가능하게 접속된다. 데이터 처리 장치(50)는, 반도체 공장의 통신회선(90)을 통해 단말(60)과 통신 가능하게 접속된다. 통신회선(70, 80, 90)은, 예컨대 외부 네트워크와 분리되어 있다. 단, 통신회선(70, 80, 90)은, 외부 네트워크와 통신 가능하게 접속되어 있어도 좋다.
반도체 제조 장치(10, 20, 30)는, 반도체 공장의 통신회선을 통해 호스트 컴퓨터(도시하지 않음)와 통신 가능하게 접속되어 있어도 좋다. 호스트 컴퓨터는, 반도체 공장의 통신회선을 통해 반도체 공장 내의 반도체 제조 장치(10, 20, 30)와는 별도의 기기, 예컨대 반도체 제조 장치(10, 20, 30)로 제조된 반도체를 검사하는 검사 장치와 통신 가능하게 접속되어 있어도 좋다. 검사 장치는, 예컨대 막 두께 측정 장치, 전기 특성 측정 장치, 광학 특성 측정 장치를 포함한다.
[반도체 제조 장치]
반도체 제조 장치(10, 20, 30)는, 각종 반도체 제조 프로세스를 실시하는 장치이다. 반도체 제조 프로세스는, 예컨대 성막 처리, 에칭 처리, 열처리 등의 반도체를 제조하기 위한 각종 처리를 포함한다. 반도체 제조 장치(10, 20, 30)는, 예컨대 반송실의 주위에 복수의 처리실(챔버)이 배치되어 구성되는 클러스터형 장치여도 좋고, 하나의 반송실에 하나의 처리실이 배치되어 구성되는 인라인형 장치여도 좋다. 또한, 반도체 제조 장치(10, 20, 30)는, 예컨대 매엽식 장치, 세미 배치식 장치, 배치식 장치 중 어느 하나여도 좋다. 매엽식 장치는, 예컨대 처리실 내에서 웨이퍼를 1장씩 처리하는 장치이다. 세미 배치식 장치는, 예컨대 처리실 내의 회전 테이블 위에 배치한 복수의 웨이퍼를 회전 테이블에 의해 공전시키고, 원료 가스가 공급되는 영역과, 원료 가스와 반응하는 반응 가스가 공급되는 영역을 차례로 통과시켜 웨이퍼의 표면에 성막하는 장치이다. 배치식 장치는, 예컨대 복수의 웨이퍼를 높이 방향으로 미리 정해진 간격을 두고 수평으로 유지한 웨이퍼 보우트를 처리실 내에 수용하고, 복수의 웨이퍼에 대하여 한번에 처리를 행하는 장치이다. 또한, 도 1에서는 3개의 반도체 제조 장치(10, 20, 30)를 나타내고 있지만, 반도체 제조 장치의 수는 특별히 한정되지 않는다.
[군 관리 컨트롤러]
군 관리 컨트롤러(40)는, 반도체 제조 장치(10, 20, 30)가 처리를 실행했을 때의 로그 데이터를 취득하고, 취득한 로그 데이터를 기억한다.
우선, 군 관리 컨트롤러(40)의 하드웨어 구성에 대해서, 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는 군 관리 컨트롤러(40)의 하드웨어 구성의 일례를 나타낸 도면이다.
군 관리 컨트롤러(40)는, CPU(Central Processing Unit)(401), ROM(Read Only Memory)(402), RAM(Random Access Memory)(403)을 갖는다. CPU(401), ROM(402), RAM(403)은, 소위 컴퓨터를 형성한다. 또한, 군 관리 컨트롤러(40)는, 보조 기억 장치(404), 조작 장치(405), 표시 장치(406), I/F 장치(407), 드라이브 장치(408)를 갖는다. 또한, 군 관리 컨트롤러(40)의 각 하드웨어는, 버스(409)를 통해 서로 접속된다.
CPU(401)는, 보조 기억 장치(404)에 인스톨된 각종 프로그램을 실행한다.
ROM(402)은, 불휘발성 메모리이며, 주기억 장치로서 기능한다. ROM(402)은, 보조 기억 장치(404)에 인스톨된 각종 프로그램을 CPU(401)가 실행하기 위해 필요한 각종 프로그램, 데이터 등을 저장한다.
RAM(403)은, DRAM(Dynamic Random Access Memory)이나 SRAM(Static Random Access Memory) 등의 휘발성 메모리이며, 주기억 장치로서 기능한다. RAM(403)은, 보조 기억 장치(404)에 인스톨된 각종 프로그램이 CPU(401)에 의해 실행될 때에 전개되는 작업 영역을 제공한다.
보조 기억 장치(404)는, 각종 프로그램이나, 각종 프로그램이 CPU(401)에 의해 실행됨으로써 취득되는 반도체 제조 장치(10, 20, 30)의 로그 데이터를 저장한다.
조작 장치(405)는, 관리자가 군 관리 컨트롤러(40)에 대하여 각종 지시를 입력할 때에 이용하는 입력 디바이스이다. 표시 장치(406)는, 군 관리 컨트롤러(40)의 내부 정보를 표시하는 표시 디바이스이다.
I/F 장치(407)는, 통신회선(70, 80)에 접속되어, 반도체 제조 장치(10, 20, 30), 데이터 처리 장치(50)와 통신하기 위한 접속 디바이스이다.
드라이브 장치(408)는 기록 매체를 세트하기 위한 디바이스이다. 기록 매체에는, CD-ROM, 플렉시블 디스크, 광자기 디스크 등과 같이 정보를 광학적, 전기적 혹은 자기적으로 기록하는 매체가 포함된다. 또한, 기록 매체에는, ROM, 플래시 메모리 등과 같이 정보를 전기적으로 기록하는 반도체 메모리 등이 포함되어 있어도 좋다.
또한, 보조 기억 장치(404)에 인스톨되는 각종 프로그램은, 예컨대, 배포된 기록 매체가 드라이브 장치(408)에 세트되고, 상기 기록 매체에 기록된 각종 프로그램이 드라이브 장치(408)에 의해 독출됨으로써 인스톨된다.
다음에, 군 관리 컨트롤러(40)의 기능 구성에 대해서, 도 1을 참조하여 설명한다.
군 관리 컨트롤러(40)는, 로그 데이터 수집부(41), 데이터 저장부(42)를 갖는다.
로그 데이터 수집부(41)는, 반도체 제조 장치(10, 20, 30)가 반도체 제조 프로세스를 실행했을 때의 로그 데이터를 수집하고, 데이터 저장부(42)에 저장한다. 로그 데이터는, 반도체 제조 장치(10, 20, 30)가 반도체 제조 프로세스를 실시했을 때의 반도체 제조 장치(10, 20, 30)의 상태를 나타낸 데이터이다. 로그 데이터는, 예컨대 미리 정해진 런(처리)마다 하나의 파일로서 데이터 저장부(42)에 저장된다. 로그 데이터는, 예컨대 기판 온도, 처리 압력, 가스 유량 등을 미리 정해진 시간마다 검출한 정보이며, 반도체 제조 장치(10, 20, 30)가 반도체 제조 프로세스를 시작한 시각의 정보를 포함한다.
데이터 저장부(42)는, 로그 데이터 수집부(41)가 수집한 로그 데이터를 저장한다.
[데이터 처리 장치]
데이터 처리 장치(50)는, 반도체 제조 장치(10, 20, 30)의 파라미터를 조정하는 애플리케이션을 실행하는 애플리케이션 실행 장치로서 기능함과 더불어, 상기 애플리케이션의 라이센스 기한의 인증을 행하는 라이센스 인증 장치로서 기능한다.
우선, 데이터 처리 장치(50)의 하드웨어 구성에 대해서, 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은 데이터 처리 장치(50)의 하드웨어 구성의 일례를 나타낸 도면이다.
데이터 처리 장치(50)는, CPU(Central Processing Unit)(501), ROM(Read Only Memory)(502), RAM(Random Access Memory)(503)을 갖는다. CPU(501), ROM(502), RAM(503)은, 소위 컴퓨터를 형성한다. 또한, 데이터 처리 장치(50)는, 보조 기억 장치(504), 조작 장치(505), 표시 장치(506), I/F(Interface) 장치(507), 드라이브 장치(508)를 갖는다. 또한, 데이터 처리 장치(50)의 각 하드웨어는, 버스(509)를 통해 서로 접속된다.
CPU(501)는, 보조 기억 장치(504)에 인스톨된 각종 프로그램을 실행한다.
ROM(502)은, 불휘발성 메모리이며, 주기억 장치로서 기능한다. ROM(502)은, 보조 기억 장치(504)에 인스톨된 각종 프로그램을 CPU(501)가 실행하기 위해 필요한 각종 프로그램, 데이터 등을 저장한다.
RAM(503)은, DRAM(Dynamic Random Access Memory)이나 SRAM(Static Random Access Memory) 등의 휘발성 메모리이며, 주기억 장치로서 기능한다. RAM(503)은, 보조 기억 장치(504)에 인스톨된 각종 프로그램이 CPU(501)에 의해 실행될 때에 전개되는 작업 영역을 제공한다.
보조 기억 장치(504)는, 각종 프로그램을 저장한다. 각종 프로그램은, 반도체 제조 장치(10, 20, 30)의 파라미터를 조정하는 애플리케이션을 포함한다. 또한, 보조 기억 장치(504)는, 상기 애플리케이션의 라이센스 파일을 저장한다. 라이센스 파일은, 예컨대 라이센스 기한, 라이센스 PC 정보, 라이센스 장치 정보를 포함한다. 라이센스 기한은, 라이센스의 유효 기한이다. 라이센스 PC 정보는, 라이센스 대상의 애플리케이션이 사용되야 되는 컴퓨터의 정보이다. 라이센스 장치 정보는, 라이센스 대상의 애플리케이션이 사용되야 되는 반도체 제조 장치의 정보이다.
조작 장치(505)는, 관리자가 데이터 처리 장치(50)에 대하여 각종 지시를 입력할 때에 이용하는 입력 디바이스이다. 표시 장치(506)는, 데이터 처리 장치(50)의 내부 정보를 표시하는 표시 디바이스이다.
I/F 장치(507)는, 통신회선(80, 90)에 접속하고, 군 관리 컨트롤러(40), 단말(60)과 통신하기 위한 접속 디바이스이다.
드라이브 장치(508)는 기록 매체를 세트하기 위한 디바이스이다. 기록 매체에는, CD-ROM, 플렉시블 디스크, 광자기 디스크 등과 같이 정보를 광학적, 전기적 혹은 자기적으로 기록하는 매체가 포함된다. 또한, 기록 매체에는, ROM, 플래시 메모리 등과 같이 정보를 전기적으로 기록하는 반도체 메모리 등이 포함되어 있어도 좋다.
또한, 보조 기억 장치(504)에 인스톨되는 각종 프로그램은, 예컨대, 배포된 기록 매체가 드라이브 장치(508)에 세트되고, 상기 기록 매체에 기록된 각종 프로그램이 드라이브 장치(508)에 의해 독출됨으로써 인스톨된다.
다음에, 데이터 처리 장치(50)의 기능 구성에 대해서, 도 1을 참조하여 설명한다.
데이터 처리 장치(50)는, 로그 데이터 취득부(51), 시각 취득부(52), 최적화 처리부(53), 라이센스 기한 판정부(54), 기동 허가부(55), 라이센스 정보 저장부(56)를 갖는다.
로그 데이터 취득부(51)는, 군 관리 컨트롤러(40)가 수집한, 반도체 제조 장치(10, 20, 30)가 반도체 제조 프로세스를 실시했을 때의 로그 데이터를 취득한다.
시각 취득부(52)는, 각종 시각에 관한 정보를 취득한다. 각종 시각에 관한 정보는, 예컨대 반도체 공장의 통신회선에 접속된 기기의 시각이어도 좋다. 상기 기기는, 예컨대 반도체 제조 장치(10, 20, 30), 군 관리 컨트롤러(40), 호스트 컴퓨터, 검사 장치 중 적어도 하나이다. 또한, 각종 시각에 관한 정보는, 예컨대 데이터 처리 장치(50)의 시각이어도 좋다. 데이터 처리 장치(50)의 시각은, 예컨대 상기 데이터 처리 장치(50)의 현재의 시각이어도 좋고, 상기 데이터 처리 장치(50)가 전술한 애플리케이션의 실시를 시작한 시각이어도 좋다.
최적화 처리부(53)는, 로그 데이터 취득부(51)가 취득한 로그 데이터에 기초하여, 원하는 특성을 얻을 수 있는 최적의 반도체 제조 프로세스의 처리 조건을 산출하는 최적화 처리를 실행한다.
라이센스 기한 판정부(54)는, 로그 데이터 취득부(51)가 취득한 로그 데이터에 포함되는 시각이 라이센스 정보 저장부(56)에 저장된 라이센스 파일에 포함되는 라이센스 기한을 넘겼는지 여부를 판정한다. 로그 데이터에 포함되는 시각은, 예컨대 반도체 제조 장치(10, 20, 30)가 미리 정해진 처리(런)를 시작한 시각(런 개시 시각)이어도 좋다.
기동 허가부(55)는, 라이센스 기한 판정부(54)에 의해, 라이센스 기한이 지나지 않았다고 판정했을 때에 최적화 처리부(53)에 의한 최적화 처리의 실행을 허가한다. 한편, 기동 허가부(55)는, 라이센스 기한 판정부(54)에 의해, 라이센스 기한이 지났다고 판정했을 때에 최적화 처리부(53)에 의한 최적화 처리의 실행을 허가하지 않는다.
라이센스 정보 저장부(56)는, 라이센스 파일을 저장한다. 라이센스 파일은, 예컨대 라이센스 기한, 라이센스 PC 정보, 라이센스 장치 정보를 포함한다.
[데이터 처리 장치의 동작]
데이터 처리 장치(50)의 동작(라이센스 인증 방법)에 대해서, 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 데이터 처리 장치(50)의 동작의 일례를 나타낸 시퀀스도이다. 이하에서는, 오퍼레이터에 의해 반도체 제조 장치(10)에 대한 파라미터의 최적화 처리가 실행된 경우를 설명하지만, 별도의 반도체 제조 장치(20, 30)에 있어서도 동일하다.
우선, 오퍼레이터에 의해 반도체 제조 장치의 파라미터를 최적화하는 애플리케이션을 실행하는 조작이 행해지면, 데이터 처리 장치(50)는 애플리케이션을 실행하는 조작이 행해진 시각(애플리케이션 실행 개시 시각)을 취득한다(단계 S1). 또한, 오퍼레이터에 의한 반도체 제조 장치의 파라미터를 최적화하는 애플리케이션의 실행 지시의 조작은, 단말(60)을 통해 행해지는 경우가 있다. 이 경우에는, 상기 애플리케이션의 실행 지시의 조작을 접수한 단말(60)은, 상기 조작을 접수한 것을 나타내는 정보를 데이터 처리 장치(50)에 송신한다. 상기 정보를 수신한 데이터 처리 장치(50)는, 단말(60)이 애플리케이션의 실행 지시를 접수한 시각 및 단말(60)로부터 상기 정보를 수신한 시각 중 적어도 어느 하나의 시각을 취득한다. 또한, 단계 S1에서는, 데이터 처리 장치(50)는, 상기 데이터 처리 장치(50)의 데이터 처리 장치명과 라이센스 정보 저장부(56)에 저장된 라이센스 파일에 포함되는 라이센스 PC 정보를 대조한다. 양자가 일치하지 않는 경우에는, 대조 결과가 에러가 되어, 데이터 처리 장치(50)는 최적화 처리의 실행을 허가하지 않고 처리를 종료한다.
계속해서, 오퍼레이터에 의해 파라미터를 최적화하는 대상의 반도체 제조 장치 및 런의 선택이 행해지면(단계 S2), 데이터 처리 장치(50)는 선택된 반도체 제조 장치 및 런의 로그 데이터의 취득 요구를 군 관리 컨트롤러(40)에 송신한다(단계 S3). 이 때, 데이터 처리 장치(50)는 단계 S2에서 선택된 반도체 제조 장치의 장치명과 라이센스 정보 저장부(56)에 저장된 라이센스 파일에 포함되는 라이센스 장치를 대조한다. 양자가 일치하지 않는 경우에는, 대조 결과가 에러가 되어, 데이터 처리 장치(50)는 로그 데이터의 취득 요구를 군 관리 컨트롤러(40)에 송신하지 않고 처리를 종료한다. 또한, 라이센스 파일에 포함되는 라이센스 장치의 대조는, 후술하는 단계 S4에서 취득하는 로그 데이터를 사용하여도 좋다. 이 경우, 라이센스 장치의 대조는, 단계 S4에서 단계 S8까지 사이의 임의의 타이밍에 행할 수 있다.
데이터 처리 장치(50)로부터의 로그 데이터의 취득 요구를 군 관리 컨트롤러(40)가 수신하면, 군 관리 컨트롤러(40)는 취득 요구를 받은 반도체 제조 장치 및 런의 로그 데이터를 데이터 처리 장치(50)에 송신한다(단계 S4). 로그 데이터는, 예컨대 바이너리 형식으로 송신된다.
군 관리 컨트롤러(40)로부터의 로그 데이터를 데이터 처리 장치(50)가 수신하면, 데이터 처리 장치(50)는 로그 데이터에 포함되는 런 개시 시각을 취득한다(단계 S5). 런 개시 시각은, 예컨대 바이너리 형식의 로그 데이터를 텍스트 파일로 출력하고, 출력한 텍스트 파일로부터 취득된다. 이 때문에, 런 개시 시각을 개찬하는 것은 곤란하다.
계속해서, 데이터 처리 장치(50)는, 단계 S1에서 취득한 애플리케이션 실행 개시 시각이, 라이센스 정보 저장부(56)에 저장된 라이센스 파일에 포함되는 라이센스 기한을 넘겼는지 여부를 판정한다(단계 S6). 판정 결과, 단계 S1에서 취득한 애플리케이션 실행 개시 시각이, 라이센스 정보 저장부(56)에 저장된 라이센스 파일에 포함되는 라이센스 기한을 넘기지 않은 경우, 단계 S7로 진행한다. 한편, 단계 S1에서 취득한 애플리케이션 실행 개시 시각이, 라이센스 정보 저장부(56)에 저장된 라이센스 파일에 포함되는 라이센스 기한을 넘긴 경우, 데이터 처리 장치(50)는 최적화 처리의 실행을 허가하지 않고 처리를 종료한다.
계속해서, 데이터 처리 장치(50)는, 단계 S5에서 취득한 로그 데이터에 포함되는 런 개시 시각이, 라이센스 정보 저장부(56)에 저장된 라이센스 파일에 포함되는 라이센스 기한을 넘겼는지 여부를 판정한다(단계 S7). 판정 결과, 단계 S5에서 취득한 로그 데이터에 포함되는 런 개시 시각이, 라이센스 정보 저장부(56)에 저장된 라이센스 파일에 포함되는 라이센스 기한을 넘기지 않은 경우, 단계 S8로 진행한다. 한편, 단계 S5에서 취득한 로그 데이터에 포함되는 런 개시 시각이, 라이센스 정보 저장부(56)에 저장된 라이센스 파일에 포함되는 라이센스 기한을 넘긴 경우, 데이터 처리 장치(50)는 최적화 처리의 실행을 허가하지 않고 처리를 종료한다.
단계 S5에서 취득한 로그 데이터에 포함되는 런 개시 시각이, 라이센스 정보 저장부(56)에 저장된 라이센스 파일에 포함되는 라이센스 기한을 넘기지 않은 경우, 데이터 처리 장치(50)는 최적화 처리를 실행한다(단계 S8).
[작용·효과]
전술한 일 실시형태의 데이터 처리 장치(50) 및 라이센스 인증 방법에 따르면, 이하의 효과가 발휘된다.
일 실시형태에 따르면, 애플리케이션의 실행 지시를 접수한 시각 및 로그 데이터에 포함되는 런 개시 시각 중 적어도 어느 하나가 라이센스 기한을 넘긴 경우, 최적화 처리를 실행할 수 없다. 그 때문에, 오퍼레이터가 데이터 처리 장치(50)의 시각을 라이센스 기한보다 전인 과거의 시각으로 변경한 경우여도, 오퍼레이터는 최적화 처리를 실행할 수 없다. 그 결과, 애플리케이션의 사용 기한의 인증을 보다 강고하게 행할 수 있다.
또한, 일 실시형태에 따르면, 로그 데이터에 포함되는 시각에 관한 정보는, 반도체 제조 장치의 시스템 시간을 이용하고 있다. 그리고, 상기 시스템 시간을 변경하면 반도체 제조 장치 내의 모든 타임 스탬프가 변하기 때문에, 의도적으로 변경되는 리스크는 매우 낮다. 그 때문에, 애플리케이션의 사용 기한의 인증을 보다 강고하게 행할 수 있다.
이번에 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시로서 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 한다. 상기한 실시형태는, 첨부한 청구범위 및 그 취지를 일탈하는 일없이, 다양한 형태로 생략, 치환, 변경되어도 좋다.
상기한 라이센스 인증 방법에서는, 애플리케이션 실행 개시 시각 및 로그 데이터에 포함되는 런 개시 시각 중 적어도 어느 하나가 라이센스 기한을 넘긴 경우, 최적화 처리를 실행할 수 없는 경우를 설명하였으나, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 애플리케이션 실행 개시 시각을 이용하지 않고, 로그 데이터에 포함되는 런 개시 시각이 라이센스 기한을 넘긴 경우, 최적화 처리를 실행할 수 없도록 하여도 좋다. 이 경우에 있어서도, 로그 데이터에 포함되는 시각에 사용되는 시스템 시간을 변경하면 반도체 제조 장치 내의 모든 타임 스탬프가 변해 버리기 때문에, 의도적으로 변경되는 리스크는 매우 낮다. 그 때문에, 애플리케이션의 사용 기한의 인증을 보다 강고하게 행할 수 있다.
또한, 상기한 라이센스 인증 방법에서는, 애플리케이션 실행 개시 시각을 이용하는 경우를 설명하였으나, 상기 애플리케이션 실행 개시 시각 대신에, 예컨대 반도체 공장의 통신회선을 통해 데이터 처리 장치(50)와 접속된 각종 기기의 시각을 이용하여도 좋다. 각종 기기는, 예컨대 반도체 제조 장치(10, 20, 30), 군 관리 컨트롤러(40), 호스트 컴퓨터, 검사 장치여도 좋다.

Claims (10)

  1. 반도체 공장 내의 반도체 제조 장치의 파라미터를 조정하는 애플리케이션의 라이센스 기한의 인증을 행하는 장치로서,
    상기 라이센스 기한을 포함하는 라이센스 파일을 저장하는 라이센스 정보 저장부와,
    상기 반도체 제조 장치가 처리를 실행했을 때의 로그 데이터를 취득하는 로그 데이터 취득부와,
    상기 로그 데이터 취득부가 취득한 상기 로그 데이터에 포함되는 시각이 상기 라이센스 정보 저장부에 저장된 상기 라이센스 기한을 넘겼는지 여부를 판정하는 라이센스 기한 판정부
    를 갖는, 라이센스 인증 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 파라미터의 조정은, 상기 로그 데이터 취득부가 취득한 상기 로그 데이터에 기초하여 행해지는 것인, 라이센스 인증 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 로그 데이터에 포함되는 상기 시각은, 상기 반도체 제조 장치가 처리를 시작한 시각인 것인, 라이센스 인증 장치.
  4. 제3항에 있어서, 시각에 관한 정보를 취득하는 시각 취득부를 더 가지며,
    상기 라이센스 기한 판정부는, 상기 시각 취득부가 취득한 상기 시각이 상기 라이센스 정보 저장부에 저장된 상기 라이센스 기한을 넘겼는지 여부를 판정하는 것인, 라이센스 인증 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 시각 취득부가 취득하는 상기 시각에 관한 정보는, 상기 반도체 공장의 통신회선에 접속된 기기의 시각을 포함하는 것인, 라이센스 인증 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 기기는, 상기 반도체 제조 장치, 상기 로그 데이터를 저장하는 장치, 상기 반도체 제조 장치와 통신 가능한 호스트 컴퓨터, 상기 반도체 제조 장치로 제조된 반도체를 검사하는 검사 장치 중 적어도 하나인 것인, 라이센스 인증 장치.
  7. 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시각에 관한 정보는, 상기 애플리케이션이 인스톨된 컴퓨터의 시각을 포함하는 것인, 라이센스 인증 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 컴퓨터의 시각은, 상기 컴퓨터의 현재의 시각인 것인, 라이센스 인증 장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 컴퓨터의 시각은, 상기 컴퓨터가 상기 애플리케이션의 실행을 시작했을 때의 시각인 것인, 라이센스 인증 장치.
  10. 반도체 공장 내의 반도체 제조 장치의 파라미터를 조정하는 애플리케이션의 라이센스 기한의 인증을 행하는 라이센스 인증 방법으로서,
    상기 반도체 제조 장치가 처리를 실행했을 때의 로그 데이터에 포함되는 시각이 상기 애플리케이션의 라이센스 파일에 포함되는 라이센스 기한을 넘겼는지 여부를 판정하는 것인, 라이센스 인증 방법.
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