JP7203690B2 - ライセンス認証装置及びライセンス認証方法 - Google Patents
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Description
半導体製造装置を含むシステムの全体構成について、図1を参照して説明する。図1は、半導体製造装置を含むシステムの全体構成の一例を示す図である。
半導体製造装置10、20、30は、各種の半導体製造プロセスを実施する装置である。半導体製造プロセスは、例えば成膜処理、エッチング処理、熱処理等の半導体を製造するための各種の処理を含む。半導体製造装置10、20、30は、例えば搬送室の周囲に複数の処理室(チャンバ)が配置されて構成されるクラスタ型装置であってもよく、1つの搬送室に1つの処理室が配置されて構成されるインライン型装置であってもよい。また、半導体製造装置10、20、30は、例えば枚葉式装置、セミバッチ式装置、バッチ式装置のいずれであってもよい。枚葉式装置は、例えば処理室内でウエハを1枚ずつ処理する装置である。セミバッチ式装置は、例えば処理室内の回転テーブルの上に配置した複数のウエハを回転テーブルにより公転させ、原料ガスが供給される領域と、原料ガスと反応する反応ガスが供給される領域とを順番に通過させてウエハの表面に成膜する装置である。バッチ式装置は、例えば複数のウエハを高さ方向に所定間隔を有して水平に保持したウエハボートを処理室内に収容し、複数のウエハに対して一度に処理を行う装置である。また、図1では3つの半導体製造装置10、20、30を示しているが、半導体製造装置の数は特に限定されない。
群管理コントローラ40は、半導体製造装置10、20、30が処理を実行したときのログデータを取得し、取得したログデータを記憶する。
データ処理装置50は、半導体製造装置10、20、30のパラメータを調整するアプリケーションを実行するアプリケーション実行装置として機能すると共に、該アプリケーションのライセンス期限の認証を行うライセンス認証装置として機能する。
データ処理装置50の動作(ライセンス認証方法)について、図4を参照して説明する。図4は、データ処理装置50の動作の一例を示すシーケンス図である。以下では、オペレータによって半導体製造装置10に対するパラメータの最適化処理が実行された場合を説明するが、別の半導体製造装置20、30においても同様である。
前述した一実施形態のデータ処理装置50及びライセンス認証方法によれば、以下の効果が奏される。
10、20、30 半導体製造装置
40 群管理コントローラ
50 データ処理装置
51 ログデータ取得部
52 時刻取得部
53 最適化処理部
54 ライセンス期限判定部
55 起動許可部
56 ライセンス情報格納部
60 端末
Claims (10)
- 半導体工場内に設けられる半導体製造装置に対するパラメータを調整するアプリケーションを実行する装置であり、かつ前記アプリケーションのライセンス期限の認証を行う装置であって、
前記ライセンス期限を含むライセンスファイルを格納するライセンス情報格納部と、
前記半導体製造装置が処理を実行したときのログデータを取得するログデータ取得部と、
前記ログデータ取得部が取得した前記ログデータに含まれる時刻が前記ライセンス情報格納部に格納された前記ライセンス期限を過ぎているか否かを判定するライセンス期限判定部と、
を有し、
前記ログデータは、前記半導体製造装置の状態を所定時間ごとに検出した情報である、
ライセンス認証装置。 - 前記パラメータの調整は、前記ログデータ取得部が取得した前記ログデータに基づいて行われる、
請求項1に記載のライセンス認証装置。 - 前記ログデータに含まれる前記時刻は、前記半導体製造装置が処理を開始した時刻である、
請求項1又は2に記載のライセンス認証装置。 - 時刻に関する情報を取得する時刻取得部を更に有し、
前記ライセンス期限判定部は、前記時刻取得部が取得した前記時刻が前記ライセンス情報格納部に格納された前記ライセンス期限を過ぎているか否かを判定する、
請求項3に記載のライセンス認証装置。 - 前記時刻取得部が取得する前記時刻に関する情報は、前記半導体工場の通信回線に接続された機器の時刻を含む、
請求項4に記載のライセンス認証装置。 - 前記機器は、前記半導体製造装置、前記ログデータを格納する装置、前記半導体製造装置と通信可能なホストコンピュータ、前記半導体製造装置で製造された半導体を検査する検査装置の少なくとも1つである、
請求項5に記載のライセンス認証装置。 - 前記時刻に関する情報は、前記アプリケーションがインストールされたコンピュータの時刻を含む、
請求項4乃至6のいずれか一項に記載のライセンス認証装置。 - 前記コンピュータの時刻は、前記コンピュータの現在の時刻である、
請求項7に記載のライセンス認証装置。 - 前記コンピュータの時刻は、前記コンピュータが前記アプリケーションの実行を開始した時の時刻である、
請求項7に記載のライセンス認証装置。 - 半導体工場内に設けられる半導体製造装置に対するパラメータを調整するアプリケーションを実行する装置であり、かつ前記アプリケーションのライセンス期限の認証を行う装置が実行するライセンス認証方法であって、
前記装置が、前記半導体製造装置が処理を実行したときのログデータに含まれる時刻が前記アプリケーションのライセンスファイルに含まれるライセンス期限を過ぎているか否かを判定し、
前記ログデータは、前記半導体製造装置の状態を所定時間ごとに検出した情報である、
ライセンス認証方法。
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