JP2020197872A - ライセンス認証装置及びライセンス認証方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 78
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 70
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 61
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 37
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 24
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 12
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 25
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 17
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F21/00—Security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F21/10—Protecting distributed programs or content, e.g. vending or licensing of copyrighted material ; Digital rights management [DRM]
- G06F21/12—Protecting executable software
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F21/00—Security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
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- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F21/00—Security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F21/00—Security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F21/10—Protecting distributed programs or content, e.g. vending or licensing of copyrighted material ; Digital rights management [DRM]
- G06F21/107—License processing; Key processing
- G06F21/1078—Logging; Metering
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
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- G06F2221/00—Indexing scheme relating to security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F2221/21—Indexing scheme relating to G06F21/00 and subgroups addressing additional information or applications relating to security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F2221/2135—Metering
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2221/00—Indexing scheme relating to security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F2221/21—Indexing scheme relating to G06F21/00 and subgroups addressing additional information or applications relating to security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
Description
半導体製造装置を含むシステムの全体構成について、図1を参照して説明する。図1は、半導体製造装置を含むシステムの全体構成の一例を示す図である。
半導体製造装置10、20、30は、各種の半導体製造プロセスを実施する装置である。半導体製造プロセスは、例えば成膜処理、エッチング処理、熱処理等の半導体を製造するための各種の処理を含む。半導体製造装置10、20、30は、例えば搬送室の周囲に複数の処理室(チャンバ)が配置されて構成されるクラスタ型装置であってもよく、1つの搬送室に1つの処理室が配置されて構成されるインライン型装置であってもよい。また、半導体製造装置10、20、30は、例えば枚葉式装置、セミバッチ式装置、バッチ式装置のいずれであってもよい。枚葉式装置は、例えば処理室内でウエハを1枚ずつ処理する装置である。セミバッチ式装置は、例えば処理室内の回転テーブルの上に配置した複数のウエハを回転テーブルにより公転させ、原料ガスが供給される領域と、原料ガスと反応する反応ガスが供給される領域とを順番に通過させてウエハの表面に成膜する装置である。バッチ式装置は、例えば複数のウエハを高さ方向に所定間隔を有して水平に保持したウエハボートを処理室内に収容し、複数のウエハに対して一度に処理を行う装置である。また、図1では3つの半導体製造装置10、20、30を示しているが、半導体製造装置の数は特に限定されない。
群管理コントローラ40は、半導体製造装置10、20、30が処理を実行したときのログデータを取得し、取得したログデータを記憶する。
データ処理装置50は、半導体製造装置10、20、30のパラメータを調整するアプリケーションを実行するアプリケーション実行装置として機能すると共に、該アプリケーションのライセンス期限の認証を行うライセンス認証装置として機能する。
データ処理装置50の動作(ライセンス認証方法)について、図4を参照して説明する。図4は、データ処理装置50の動作の一例を示すシーケンス図である。以下では、オペレータによって半導体製造装置10に対するパラメータの最適化処理が実行された場合を説明するが、別の半導体製造装置20、30においても同様である。
前述した一実施形態のデータ処理装置50及びライセンス認証方法によれば、以下の効果が奏される。
10、20、30 半導体製造装置
40 群管理コントローラ
50 データ処理装置
51 ログデータ取得部
52 時刻取得部
53 最適化処理部
54 ライセンス期限判定部
55 起動許可部
56 ライセンス情報格納部
60 端末
Claims (10)
- 半導体工場内の半導体製造装置のパラメータを調整するアプリケーションのライセンス期限の認証を行う装置であって、
前記ライセンス期限を含むライセンスファイルを格納するライセンス情報格納部と、
前記半導体製造装置が処理を実行したときのログデータを取得するログデータ取得部と、
前記ログデータ取得部が取得した前記ログデータに含まれる時刻が前記ライセンス情報格納部に格納された前記ライセンス期限を過ぎているか否かを判定するライセンス期限判定部と、
を有する、
ライセンス認証装置。 - 前記パラメータの調整は、前記ログデータ取得部が取得した前記ログデータに基づいて行われる、
請求項1に記載のライセンス認証装置。 - 前記ログデータに含まれる前記時刻は、前記半導体製造装置が処理を開始した時刻である、
請求項1又は2に記載のライセンス認証装置。 - 時刻に関する情報を取得する時刻取得部を更に有し、
前記ライセンス期限判定部は、前記時刻取得部が取得した前記時刻が前記ライセンス情報格納部に格納された前記ライセンス期限を過ぎているか否かを判定する、
請求項3に記載のライセンス認証装置。 - 前記時刻取得部が取得する前記時刻に関する情報は、前記半導体工場の通信回線に接続された機器の時刻を含む、
請求項4に記載のライセンス認証装置。 - 前記機器は、前記半導体製造装置、前記ログデータを格納する装置、前記半導体製造装置と通信可能なホストコンピュータ、前記半導体製造装置で製造された半導体を検査する検査装置の少なくとも1つである、
請求項5に記載のライセンス認証装置。 - 前記時刻に関する情報は、前記アプリケーションがインストールされたコンピュータの時刻を含む、
請求項4乃至6のいずれか一項に記載のライセンス認証装置。 - 前記コンピュータの時刻は、前記コンピュータの現在の時刻である、
請求項7に記載のライセンス認証装置。 - 前記コンピュータの時刻は、前記コンピュータが前記アプリケーションの実行を開始した時の時刻である、
請求項7に記載のライセンス認証装置。 - 半導体工場内の半導体製造装置のパラメータを調整するアプリケーションのライセンス期限の認証を行うライセンス認証方法であって、
前記半導体製造装置が処理を実行したときのログデータに含まれる時刻が前記アプリケーションのライセンスファイルに含まれるライセンス期限を過ぎているか否かを判定する、
ライセンス認証方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019103184A JP7203690B2 (ja) | 2019-05-31 | 2019-05-31 | ライセンス認証装置及びライセンス認証方法 |
CN202010424567.7A CN112016054A (zh) | 2019-05-31 | 2020-05-19 | 许可证认证装置和许可证认证方法 |
TW109116858A TWI829932B (zh) | 2019-05-31 | 2020-05-21 | 權限認證裝置及權限認證方法 |
KR1020200060859A KR20200138009A (ko) | 2019-05-31 | 2020-05-21 | 라이센스 인증 장치 및 라이센스 인증 방법 |
US16/884,141 US11568027B2 (en) | 2019-05-31 | 2020-05-27 | License authentication device and license authentication method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019103184A JP7203690B2 (ja) | 2019-05-31 | 2019-05-31 | ライセンス認証装置及びライセンス認証方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020197872A true JP2020197872A (ja) | 2020-12-10 |
JP7203690B2 JP7203690B2 (ja) | 2023-01-13 |
Family
ID=73506539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019103184A Active JP7203690B2 (ja) | 2019-05-31 | 2019-05-31 | ライセンス認証装置及びライセンス認証方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11568027B2 (ja) |
JP (1) | JP7203690B2 (ja) |
KR (1) | KR20200138009A (ja) |
CN (1) | CN112016054A (ja) |
TW (1) | TWI829932B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7493472B2 (ja) | 2021-03-04 | 2024-05-31 | 東京エレクトロン株式会社 | ライセンス認証装置、ライセンス認証方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021080379A1 (ko) | 2019-10-25 | 2021-04-29 | (주) 엘지화학 | 폴리아릴렌 설파이드 수지 조성물, 이의 제조방법 및 이로부터 제조된 단열재 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006016619A1 (ja) * | 2004-08-12 | 2006-02-16 | Nikon Corporation | 基板処理装置、使用状況確認方法、及び不正使用防止方法 |
WO2007083499A1 (ja) * | 2006-01-19 | 2007-07-26 | Tokyo Electron Limited | 基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体 |
JP2014164392A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 情報処理装置および情報処理システム |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3696206B2 (ja) * | 2001-03-15 | 2005-09-14 | 三洋電機株式会社 | 一意義的にのみ存在が許容される独自データを復元可能なデータ記録装置 |
JP2003076435A (ja) | 2001-09-03 | 2003-03-14 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム及び実行制御方法 |
JP2006309591A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Ricoh Co Ltd | 電子文書管理装置、電子文書管理方法、および電子文書管理プログラム |
JP4687718B2 (ja) * | 2008-01-04 | 2011-05-25 | コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 | ライセンス管理装置、ライセンス管理方法、ライセンス管理プログラムおよびライセンス管理システム |
JP4533935B2 (ja) * | 2008-01-22 | 2010-09-01 | 日立ソフトウエアエンジニアリング株式会社 | ライセンス認証システム及び認証方法 |
JP5365115B2 (ja) * | 2008-09-17 | 2013-12-11 | 株式会社リコー | 機器管理システム、機器管理装置、ライセンス認証方法、ライセンス認証プログラム、及びそのプログラムを記録した記録媒体 |
JP5268694B2 (ja) * | 2009-02-13 | 2013-08-21 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | ライセンス管理システム、画像形成装置およびライセンス管理方法 |
JP2010232217A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-14 | Canon Inc | 露光システム、露光装置のテスト方法及びデバイス製造方法 |
JP5483944B2 (ja) * | 2009-07-24 | 2014-05-07 | キヤノン株式会社 | ライセンス管理システム、サーバ装置、端末装置及びそれらの処理方法 |
WO2011052289A1 (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-05 | 日立コンシューマエレクトロニクス株式会社 | コンテンツ受信装置 |
JP2011160383A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-18 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 監視装置、監視方法および監視プログラム |
JP2013134659A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Nec Infrontia Corp | ライセンス管理方法、ライセンス管理システムおよびライセンス管理プログラム |
JP5900143B2 (ja) * | 2012-05-15 | 2016-04-06 | 富士電機株式会社 | 制御システム、制御装置及びプログラム実行制御方法 |
TW201530345A (zh) * | 2014-01-27 | 2015-08-01 | Apacer Technology Inc | 數位權管理系統、管理方法及其資訊傳送系統與方法 |
US10289814B2 (en) * | 2014-12-23 | 2019-05-14 | Intel Corporation | Licensing in the cloud |
JP6272608B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2018-01-31 | 富士通フロンテック株式会社 | ライセンス認証装置、ライセンス認証方法およびライセンス認証プログラム |
JP6548525B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2019-07-24 | キヤノン株式会社 | ライセンス管理システム、クライアント、ライセンス管理方法、及びコンピュータプログラム |
JP2017068490A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | ライセンス管理方法およびライセンス管理に適した半導体装置 |
TWM523899U (zh) * | 2015-12-18 | 2016-06-11 | Sinyi Realty Inc | 電子檔案顯示裝置 |
JP6656014B2 (ja) * | 2016-02-19 | 2020-03-04 | キヤノン株式会社 | ライセンスシステム、ライセンス管理サーバ、方法、およびプログラム |
US10698986B2 (en) * | 2016-05-12 | 2020-06-30 | Markany Inc. | Method and apparatus for embedding and extracting text watermark |
JP6476402B2 (ja) * | 2016-05-20 | 2019-03-06 | システムメトリックス株式会社 | 認証システム |
US10713338B2 (en) * | 2017-03-09 | 2020-07-14 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Source-based authentication for a license of a license data structure |
-
2019
- 2019-05-31 JP JP2019103184A patent/JP7203690B2/ja active Active
-
2020
- 2020-05-19 CN CN202010424567.7A patent/CN112016054A/zh active Pending
- 2020-05-21 KR KR1020200060859A patent/KR20200138009A/ko active IP Right Grant
- 2020-05-21 TW TW109116858A patent/TWI829932B/zh active
- 2020-05-27 US US16/884,141 patent/US11568027B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006016619A1 (ja) * | 2004-08-12 | 2006-02-16 | Nikon Corporation | 基板処理装置、使用状況確認方法、及び不正使用防止方法 |
WO2007083499A1 (ja) * | 2006-01-19 | 2007-07-26 | Tokyo Electron Limited | 基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体 |
JP2014164392A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 情報処理装置および情報処理システム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7493472B2 (ja) | 2021-03-04 | 2024-05-31 | 東京エレクトロン株式会社 | ライセンス認証装置、ライセンス認証方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112016054A (zh) | 2020-12-01 |
TW202113636A (zh) | 2021-04-01 |
JP7203690B2 (ja) | 2023-01-13 |
KR20200138009A (ko) | 2020-12-09 |
US11568027B2 (en) | 2023-01-31 |
US20200380095A1 (en) | 2020-12-03 |
TWI829932B (zh) | 2024-01-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211013 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220805 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220809 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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