KR100874278B1 - 기판 처리 장치, 기판 처리 조건 변경 방법 및 기억 매체 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 기판의 처리를 실행하는 기판 처리 유닛의 처리 조건을 설정하는 설정부와, 해당 처리 조건에 근거하는 상기 기판 처리 유닛의 상기 기판의 처리를 실행 중에 해당 기판 처리 유닛의 이상을 검지하는 검지부와, 해당 이상이 검지됐을 때에 상기 기판 처리 유닛의 상기 기판의 처리를 중지하는 중지부를 구비하는 기판 처리 장치에 있어서,상기 중지부에 의해서 처리가 중지된 기판의 상기 처리 조건을 변경하고, 상기 기판의 반출 없이 이상 발생에 대응한 처리를 상기 기판에 실행하는 변경부를 구비하는 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 변경부는, 수정입력이 있을 때 상기 처리 조건을 수정하는 것에 의해 상기 처리 조건의 변경을 실행하고, 상기 수정입력이 없을 때 상기 처리 조건을 변경하지 않는 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 처리 조건은 복수의 처리 조건을 포함하고,상기 변경부는 지정된 재실행이 있을 때 상기 복수의 처리 조건으로부터 처리 조건을 지정하는 것에 의해 상기 처리 조건의 변경을 실행하고, 상기 지정된 재실행이 없을 때 상기 처리 조건을 변경하지 않는 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
- 기판의 처리를 실행하는 기판 처리 유닛의 처리 조건을 설정하는 설정 스텝과, 해당 처리 조건에 근거하는 상기 기판 처리 유닛의 상기 기판의 처리를 실행 중에 해당 기판 처리 유닛의 이상을 검지하는 검지 스텝과, 해당 이상이 검지됐을 때에 상기 기판 처리 유닛의 상기 기판의 처리를 중지하는 중지 스텝을 갖는 기판 처리 조건 변경 방법에 있어서,상기 중지 스텝에 의해서 처리가 중지된 기판의 상기 처리 조건을 변경하며, 상기 기판의 반출 없이 이상 발생에 대응한 처리를 상기 기판에 실행하는 변경 스텝을 갖는 것을 특징으로 하는기판 처리 조건 변경 방법.
- 제 4 항에 있어서,상기 변경 스텝은, 수정입력이 있을 때 상기 처리 조건을 수정하는 것에 의해 상기 처리 조건의 변경을 실행하고, 상기 수정입력이 없을 때 상기 처리 조건을 변경하지 않는 것을 특징으로 하는기판 처리 조건 변경 방법.
- 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 처리 조건은 복수의 처리 조건을 포함하고,상기 변경 스텝은 지정된 재실행이 있을 때 상기 복수의 처리 조건으로부터 처리 조건을 지정하는 것에 의해 상기 처리 조건의 변경을 실행하고,상기 지정된 재실행이 없을 때 상기 처리 조건을 변경하지 않는 것을 특징으로 하는기판 처리 조건 변경 방법.
- 기판의 처리를 실행하는 기판 처리 유닛의 처리 조건을 설정하는 설정 모듈과, 해당 처리 조건에 근거하는 상기 기판 처리 유닛의 상기 기판 처리의 실행 중에 해당 기판 처리 유닛의 이상을 검지하는 검지 모듈과, 해당 이상이 검지됐을 때에 상기 기판 처리 유닛의 상기 기판의 처리를 중지하는 중지 모듈을 컴퓨터에 실행시키는 프로그램을 저장하는 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체에 있어서,상기 프로그램은, 상기 중지 모듈에 의해서 처리가 중지된 기판의 상기 처리 조건을 변경하며, 상기 기판의 반출 없이 이상 발생에 대응한 처리를 상기 기판에 실행하는 변경 모듈을 갖는 것을 특징으로 하는기억 매체.
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