KR101097912B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
기판 처리 장치는 복수의 레시피를 격납하는 레시피 격납 수단과, 상기 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 표시 제어 수단과, 상기 표시 제어 수단에 의해 지시된 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단을 구비하는 제1 제어 수단과, 상기 제1 제어 수단으로부터의 제어 지시에 따라서 상기 임의의 레시피를 실행하는 제2 제어 수단을 포함하는 기판 처리 장치로서, 상기 임의의 레시피를 실행 중에 상기 레시피 격납 수단에 격납된 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 임의의 레시피와 상기 다른 레시피와 함께 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 것을 특징으로 한다.
Description
도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 투시 측면도.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치가 이용된 기판 처리 시스템의 구성을 예시하는 도면.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 하드웨어 구성을, PMC를 중심으로 예시하는 도면.
도 5는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 조작 화면에 있어서의 레시피 천이 이력을 예시하는 도면.
도 6은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 주제어부에 의하여 실행되는 시퀀스 프로그램을 설명하는 플로차트(flow chart).
도 7은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 조작 화면에 있어서의 레시피 천이 이력의 제2 예시예를 나타내는 도면으로서, (a)는 리세트 레시피가 단독 실행되었을 때의 레시피 천이 이력의 표시예이고, (b)는 어떤 요인으로 다른 레시피로부터 천이하여 리세트 레시피가 실행되었을 때의 레시피 천이 이력의 표시예.
도 8은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 조작 화면에 있어서의 레시피 천이 이력의 제3 표시예로서, 프로세스 레시피로부터 천이하여 리세트 레시피가 실행되었을 때의 레시피 천이 이력의 표시예.
도 9는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 조작 화면에 있어서의 스텝 이력의 표시예를 나타내는 도면.
도 10은 비교예에 있어서의 레시피의 운전 일람(실행 상황) 표시를 예시하는 도면.
도 11은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 조작 화면에 있어서의 스텝 번호 및 스텝 명칭의 표시예를 나타내는 도면.
104 : 정면 유지보수문 105 : 회전식 포드(pod) 선반
110 : 포드 111 : 광체(筐體)
111a : 정면벽 112 : 포드 반입 반출구
113 : 프론트 셔터(front shutter) 114 : 로드 포트(load port)
115 : 보트 엘리베이터 116 : 지주
117 : 선반용 판자 118 : 포드 반송 장치
118a : 포드 엘리베이터 118b : 포드 반송 기구
119 : 서브 광체 119a : 서브 광체의 정면벽
120 : 웨이퍼 반입 반출구 121 : 포드 오프너(pod opener)
122 : 재치(載置)대 123 : 캡(cap) 착탈 기구
124 : 이재실 125 : 웨이퍼(wafer) 이재 기구
125a : 웨이퍼 이재 장치 125b : 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터
125c : 트위저(tweezer) 126 : 대기(待機)부
128 : 암(arm) 133 : 클린 에어(clean air)
134 : 클린 유닛(clean unit) 135 : 노치(notch) 맞춤 장치
147 : 노구(爐口) 셔터 200 : 웨이퍼
202 : 처리로 217 : 보트(boat)
219 : 씰캡(seal cap) 300 : 기판 처리 시스템
302 : 호스트(host) 컴퓨터 304 : 통신 회선
306 : 입출력 장치 308 : 조작 화면
310 PMC(process module controller)
312 : 주제어부 314 : 부제어부
316 : CPU 317 : 기억부
318 : ROM 320 : RAM
322 : 송수신 처리부 324 : I/O 제어부
326 : 온도 제어부 328 : 가스 제어부
330 : 압력 제어부 332 : 입력부
334 : 표시부 335 : 일시(一時) 기억부
336 : 표시 제어부 338 : 히터
340 : 가스 배관 342 : MFC(mass flow controller)
344 : 배기 배관 346 : 압력 센서
348 : 밸브 352 : 이력 표시부
354 : 요인 표시부 356 : 표시 버튼
358 : RESET 버튼 360 : 스텝 표시부
362 : 스텝 번호 364 : 스텝 ID
366 : 스텝 잔여 시간 368 : 스텝 실행 회수
Claims (32)
- 복수의 레시피를 격납하는 레시피 격납 수단과, 상기 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 표시 제어 수단과, 상기 표시 제어 수단에 의해 지시된 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단을 구비하는 제1 제어 수단과,
상기 제1 제어 수단으로부터의 제어 지시에 따라서 상기 임의의 레시피를 실행하는 제2 제어 수단을 포함하는 기판 처리 장치로서,
상기 임의의 레시피를 실행 중에 상기 레시피 격납 수단에 격납된 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 임의의 레시피와 상기 다른 레시피와 함께 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. - 복수의 레시피를 격납하는 레시피 격납 수단과, 상기 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 표시 제어 수단과, 상기 표시 제어 수단에 의해 지시된 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단을 구비하는 제1 제어 수단과,
상기 제1 제어 수단으로부터의 제어 지시에 따라서 상기 임의의 레시피를 실행하는 제2 제어 수단을 포함하는 기판 처리 장치로서,
상기 레시피 격납 수단에 격납된 상기 복수의 레시피 중 처음에 실행된 레시피로부터 현재 실행되고 있는 레시피에 이를 때까지의 각각의 레시피를 표시하면서, 상기 각각의 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 각 레시피 사이에 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. - 복수의 스텝으로 구성되는 레시피를 적어도 하나 이상 격납하는 레시피 격납 수단과, 상기 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 표시 제어 수단과, 상기 표시 제어 수단에 의해 지시된 상기 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단을 구비하는 제1 제어 수단과,
상기 제1 제어 수단으로부터의 제어 지시에 따라서 상기 레시피를 실행하는 제2 제어 수단
을 포함하는 기판 처리 장치로서,
소정의 레시피를 실행 중에 상기 레시피 격납 수단에 격납된 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 다른 레시피 중 현재 실행 중인 스텝 정보와, 상기 소정의 레시피 중 상기 실행 지시가 발생한 때에 실행하고 있던 스텝 정보와 함께, 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. - 종류가 다른 레시피를 적어도 하나 이상 격납하는 레시피 격납 수단과, 상기 다른 레시피 중 모종의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 표시 제어 수단과, 상기 표시 제어 수단에 의해 지시된 상기 모종의 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단을 구비하는 제1 제어 수단과,
상기 제1 제어 수단으로부터의 제어 지시에 따라서 상기 모종의 레시피를 실행하는 제2 제어 수단을 포함하는 기판 처리 장치로서,
상기 모종의 레시피를 실행 중에 상기 레시피 격납 수단에 격납된 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 모종의 레시피와 상기 다른 종류의 레시피와 함께, 상기 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. - 복수의 레시피를 격납하는 레시피 격납 수단과, 상기 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 표시 제어 수단과, 상기 표시 제어 수단에 의해 지시된 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단을 포함하는 기판 처리 장치로서,
상기 임의의 레시피를 실행 중에 상기 레시피 격납 수단에 격납된 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 임의의 레시피와 상기 다른 레시피와 함께 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. - 복수의 레시피를 격납하는 레시피 격납 수단과, 상기 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 표시 제어 수단과, 상기 표시 제어 수단에 의해 지시된 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단을 포함하는 기판 처리 장치로서,
상기 레시피 격납 수단에 격납된 레시피 중 처음에 실행된 레시피로부터 현재 실행되고 있는 레시피에 이를 때까지의 각각의 레시피를 표시하면서, 상기 각각의 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 각각의 레시피 사이에 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. - 복수의 스텝으로 구성되는 레시피를 적어도 하나 이상 격납하는 레시피 격납 수단과, 상기 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 표시 제어 수단과, 상기 표시 제어 수단에 의해 지시된 상기 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단
을 포함하는 기판 처리 장치로서,
소정의 레시피를 실행 중에 상기 레시피 격납 수단에 격납된 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 다른 레시피 중 현재 실행 중인 스텝 정보와, 상기 소정의 레시피 중 상기 실행 지시가 발생한 때에 실행하고 있던 스텝 정보와 함께, 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. - 종류가 다른 레시피를 적어도 하나 이상 격납하는 레시피 격납 수단과, 상기 다른 레시피 중 모종의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 표시 제어 수단과, 상기 표시 제어 수단에 의해 지시된 상기 모종의 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단
을 포함하는 기판 처리 장치로서,
상기 모종의 레시피를 실행 중에 상기 레시피 격납 수단에 격납된 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 모종의 레시피와 상기 다른 종류의 레시피와 함께, 상기 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. - 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행시켜서 기판을 처리하는 제어 수단과,
상기 제어 수단에 의해 실행된 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단과,
상기 임의의 레시피를 실행 중에 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 임의의 레시피와 상기 다른 레시피와 함께 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시시키는 표시 제어 수단
을 포함하는 기판 처리 장치. - 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행하여 기판을 처리하는 제어 수단과,
상기 제어 수단에 의해 실행된 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단과,
상기 복수의 레시피 중 처음에 실행된 레시피로부터 현재 실행되고 있는 레시피에 이를 때까지의 각각의 레시피와 함께, 상기 각각의 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 각각의 레시피 사이에 표시시키는 표시 제어 수단
을 포함하는 기판 처리 장치. - 복수의 스텝으로 구성되는 레시피를 실행하여 기판을 처리하는 제어 수단과,
상기 제어 수단에 의해 실행된 상기 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시하는 표시 수단과,
상기 복수의 스텝으로 구성되는 레시피 중 소정의 레시피를 실행 중에 상기 레시피 격납 수단에 격납된 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 다른 레시피 중 현재 실행 중인 스텝 정보와, 상기 소정의 레시피 중 상기 실행 지시가 발생한 때에 실행하고 있던 스텝 정보와 함께, 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시시키는 표시 제어 수단
을 포함하는 기판 처리 장치. - 종류가 다른 레시피 중 모종의 레시피를 실행하여 기판을 처리하는 제어 수단과,
상기 제어 수단에 의해 실행된 상기 모종의 레시피를 조작 화면에 표시하는 표시 수단과,
상기 모종의 레시피를 실행 중에 상기 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 모종의 레시피와 상기 다른 종류의 레시피와 함께, 상기 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시시키는 표시 제어 수단
을 포함하는 기판 처리 장치. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 공정과, 상기 실행 지시를 접수한 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 공정과, 상기 임의의 레시피를 실행 중에 다른 레시피를 실행시키는 지시를 받으면, 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인과 함께 상기 임의의 레시피와 다른 레시피를 상기 조작 화면에 표시하는 공정을 포함하는 제어 방법.
- 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 공정과, 상기 실행 지시를 접수한 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 공정과, 처음에 실행된 레시피로부터 현재 실행되고 있는 레시피에 이를 때 까지의 레시피와 이들 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 공정을 포함하는 레시피 제어 방법.
- 복수의 스텝으로 구성되는 레시피 중 소정의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 공정과, 상기 소정의 레시피를 조작 화면에 표시하는 공정과, 상기 소정의 레시피를 실행 중에 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 다른 레시피 중 현재 실행 중인 스텝 정보와, 상기 소정의 레시피 중 상기 실행 지시가 발생한 때에 실행하고 있던 스텝 정보와 함께, 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 공정을 포함하는 레시피 제어 방법.
- 종류가 다른 레시피 중 모종의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 공정과, 상기 실행 지시된 상기 모종의 레시피를 조작 화면에 표시하는 공정과, 상기 모종의 레시피를 실행 중에 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 모종의 레시피와 상기 다른 종류의 레시피와 함께, 상기 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 공정을 포함하는 레시피 제어 방법.
- 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 공정과, 상기 실행 지시된 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 공정과, 상기 임의의 레시피를 실행 중에 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 임의의 레시피와 상기 다른 레시피와 함께 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 공정과, 상기 실행 지시된 상기 임의의 레시피를 실행하여 기판을 처리하는 공정을 포함하는 기판 처리 방법.
- 복수의 레시피 중 하나의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 공정과, 상기 지시된 상기 하나의 레시피를 조작 화면에 표시하는 공정과, 처음에 실행된 레시피로부터 현재 실행되고 있는 레시피에 이를 때까지의 레시피와 이들 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 공정과, 상기 실행 지시된 상기 하나의 레시피를 실행하여 기판을 처리하는 공정을 포함하는 기판 처리 방법.
- 레시피 격납 수단에 의해 복수의 스텝으로 구성되는 레시피 중 소정의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 공정과, 상기 소정의 레시피를 조작 화면에 표시하는 공정과, 상기 소정의 레시피를 실행 중에 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 다른 레시피 중 현재 실행 중인 스텝 정보와, 상기 소정의 레시피 중 상기 실행 지시가 발생한 때에 실행하고 있던 스텝 정보와 함께, 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 공정과, 상기 실행 지시된 상기 다른 레시피를 실행하여 기판을 처리하는 공정을 포함하는 기판 처리 방법.
- 종류가 다른 레시피 중 모종의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 접수하는 공정과, 상기 실행 지시된 상기 모종의 레시피를 조작 화면에 표시하는 공정과, 상기 모종의 레시피를 실행 중에 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 모종의 레시피와 상기 다른 종류의 레시피와 함께, 상기 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시하는 공정과, 상기 실행 지시된 상기 다른 종류의 레시피를 실행하여 기판을 처리하는 공정을 포함하는 기판 처리 방법.
- 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행하여 기판을 처리하는 반도체 장치의 제조방법으로서,
실행된 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 공정과,
상기 임의의 레시피를 실행 중에 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 임의의 레시피와 상기 다른 레시피와 함께 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시시키는 공정을 포함하는 반도체 장치의 제조 방법. - 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 실행하여 기판을 처리하는 반도체 장치의 제조 방법으로서,
실행된 상기 임의의 레시피를 조작 화면에 표시하는 공정과,
상기 복수의 레시피 중 처음에 실행된 레시피로부터 현재 실행되고 있는 레시피에 이를 때 까지의 각각의 레시피와 함께 상기 각각의 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 각각의 레시피 사이에 표시시키는 공정
을 포함하는 반도체 장치의 제조 방법. - 복수의 스텝으로 구성되는 레시피를 실행하여 기판을 처리하는 반도체 장치의 제조방법으로서,
실행된 상기 레시피를 조작 화면에 표시하는 공정과,
상기 복수의 스텝으로 구성되는 레시피 중 소정의 레시피를 실행 중에 상기 레시피 격납 수단에 격납된 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 다른 레시피 중 현재 실행 중인 스텝 정보와, 상기 소정의 레시피 중 상기 실행 지시가 발생한 때에 실행하고 있던 스텝 정보와 함께, 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시시키는 공정을 포함하는 반도체 장치의 제조 방법. - 종류가 다른 레시피 중 모종의 레시피를 실행하여 기판을 처리하는 반도체 장치의 제조 방법으로서,
실행된 상기 모종의 레시피를 조작 화면에 표시하는 공정과,
상기 모종의 레시피를 실행 중에 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 모종의 레시피와 상기 다른 종류의 레시피와 함께, 상기 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 조작 화면에 표시시키는 공정을 포함하는 반도체 장치의 제조 방법. - 임의의 레시피를 실행 중에 레시피 격납 수단에 격납된 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 임의의 레시피와 상기 다른 레시피와 함께 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 조작 화면에 표시하는 것을 특징으로 하는 레시피 천이 표시 방법.
- 레시피 격납 수단에 격납된 레시피 중 처음에 실행된 레시피로부터 현재 실행되고 있는 레시피에 이를 때까지의 각각의 레시피를 표시하면서, 상기 각각의 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 상기 각각의 레시피 사이에 표시하는 것을 특징으로 하는 레시피 천이 표시 방법.
- 소정의 레시피를 실행 중에 상기 레시피 격납 수단에 격납된 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 다른 레시피 중 현재 실행 중인 스텝 정보와, 상기 소정의 레시피 중 상기 실행 지시가 발생한 때에 실행하고 있던 스텝 정보와 함께, 상기 다른 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 조작 화면에 표시하는 것을 특징으로 하는 레시피 천이 표시 방법.
- 모종의 레시피를 실행 중에 레시피 격납 수단에 격납된 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시를 받으면, 상기 모종의 레시피와 상기 다른 종류의 레시피와 함께, 상기 다른 종류의 레시피를 실행시키는 실행 지시가 발생한 요인을 조작 화면에 표시하는 것을 특징으로 하는 레시피 천이 표시 방법.
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