JP2003303008A

JP2003303008A - 工程管理方法

Info

Publication number: JP2003303008A
Application number: JP2002107625A
Authority: JP
Inventors: Haruo Takamori; 治生高森
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2002-04-10
Filing date: 2002-04-10
Publication date: 2003-10-24

Abstract

(57)【要約】【課題】製造ラインの現場において、作業内容の迅速
かつ容易な補正を可能とし、納期遅れの発生や、誤った
処理による経営損失の発生を防ぐことのできる工程管理
方法を実現する。【解決手段】所定の製造ロットに関して、製造フロー
上に設定された任意ステップの作業内容を呼び出して補
正する工程（２）と、補正された作業内容を製造フロー
のデータが保存されている第１のテーブルとは別の第２
のテーブルに蓄積する工程（３）と、補正された作業内
容を製造ロットに対して指示する工程（４）と、製造ロ
ットを指示された作業内容に従って処理する工程（５）
と、処理された作業指示内容の実績を第１および第２の
テーブルとは異なる第３のテーブルに蓄積する工程
（６）を備え、任意ステップの作業内容を補正する工程
は、任意ステップに関する必要な情報のみを読込み変更
を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数のステップを
経て製品を製造するラインにおけるコンピュータを用い
た工程管理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の工程管理方法の一例として、ＬＳ
Ｉ開発・試作における製造ラインの工程管理方法につい
て、図１５〜図２１を随時参照しながら説明する。

【０００３】あらかじめ、製造フロー編集工程（１６）
において、製造ライン内での各処理単位であるステップ
の並び及び各ステップの作業内容から構成される製造フ
ロー（２１）を作成し、データ蓄積工程（１７）に登録
しておく。製造上の処理単位であるロットは、製造フロ
ー（２１）のステップの並びに従って製造ライン内を進
行し、各ステップの作業内容に従って各ステップで処理
が行われる。

【０００４】ここで、ロットの進行中に製造フローの一
部を補正する必要が生じた場合の処理手順を、製造フロ
ーデータ（２１）においてステップ２の作業内容を補正
する手順を例にとって説明する。

【０００５】まず、補正するステップ以降にロットが進
行しないように待機をかける。ステップ２を補正する場
合は、ステップ２までに待機をかける。製造フローデー
タ（２１）におけるブロック（２１ａ）は、ステップ２
での待機により、ステップ２以降にロットを進行できな
いことを現している。

【０００６】次に、ステップ２の作業内容を補正して編
集するため、製造フロー編集工程（１６）は、製造フロ
ーデータ（２１）をデータ蓄積工程（１７）から読込
む。引続き、作業内容を補正して編集した後、編集後の
製造フローデータ（２１）をデータ蓄積工程（１７）に
上書きする。最後に、待機を解除し、ロットがステップ
２以降に進行できる状態にする。

【０００７】ロット進行工程（１９）は、現在ステップ
に存在するロットの処理開始および処理終了の処理を行
い、ロットを次のステップに進行させる。ロットの処理
開始時および処理終了時には、データ蓄積工程（１７）
の製造フローデータ（２１）から現在ステップの作業内
容を読込み、複数ロットを同時に処理開始および処理終
了したい場合に、同時処理が可能であるか否かを該複数
ロットが同じ作業内容であるか否かにより判定し、ま
た、作業内容の一部として登録されている処理指定ウエ
ハを該ステップでの処理ウエハとして指定する。

【０００８】作業内容指示工程（１８）は、データ蓄積
工程（１７）の製造フローデータ（２１）から現在ステ
ップの作業内容を読込み、製造ライン内の作業者もしく
は製造装置に指示する。

【０００９】作業指示内容提示工程（２０）は、データ
蓄積工程（１７）の製造フローデータ（２１）から現在
ステップまでの作業内容の履歴を読込み、指示内容の実
績として、製造ラインの管理者等に対して、コンピュー
タ画面に表示あるいはプリンタに印刷するなどの手段に
より提示する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うに構成された従来の工程管理方法では、あるステップ
の作業内容を補正する場合、製造フロー自体が更新され
るため、元の製造フローの内容が失われる。また、万が
一誤った変更が行われると、該製造フローを利用する他
のロットが振出された場合に、全て誤った処理が行わ
れ、多量の不良製品を出し、多大な経営損失を与えるこ
とになるという第１の問題点を有していた。

【００１１】さらに、上記のように製造フロー自体を更
新するため、該製造フローもしくは該製造フローを使用
するロットの製造に責任を持つ担当者のみが変更の権限
を持つ必要があるが、このような担当者は、通常、ロッ
ト進行作業をリアルタイムで追跡していないため、現在
ステップにおいて補正する必要が生じた場合に直ちに対
応できない。そこで現実には、補正を見越して補正する
ステップ以降にロットが進行しないように該ステップ以
前に待機をかけ、上記の従来の技術で記載している手順
で補正作業を行っていた。しかしながら、この手順は繁
雑であり、また、現場の担当者の判断で補正が可能であ
る場合でも権限のある担当者に連絡してこの手順を踏む
必要があり、そのために２４時間稼動の製造ラインで
は、夜間等、前記担当者不在の時に緊急事態が発生し、
装置を変更する必要が生じた場合などに対応できず、ロ
ットの進行が遅れ、納期未達が発生するという第２の問
題点を有していた。

【００１２】本発明は、上記の問題点に鑑み、製造ライ
ンの現場において、作業内容の迅速かつ容易な補正を可
能とし、納期遅れの発生や、誤った処理による経営損失
の発生を防ぐことのできる工程管理方法を実現すること
を目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の工程管理方法は、複数のステップを経て
製品を製造する製造フローに関する工程管理方法であっ
て、所定の製造ロットに関して、製造フロー上に設定さ
れた任意ステップの作業内容を呼び出して補正する工程
と、補正された作業内容を製造フローのデータが保存さ
れている第１のテーブルとは別の第２のテーブルに蓄積
する工程と、補正された作業内容を製造ロットに対して
指示する工程と、製造ロットを指示された作業内容に従
って処理する工程と、処理された作業指示内容の実績を
第１および第２のテーブルとは異なる第３のテーブルに
蓄積する工程を備え、任意ステップの作業内容を補正す
る工程は、任意ステップに関する必要な情報のみを読込
み変更を行う。

【００１４】また、本発明の工程管理方法において、任
意ステップの作業内容を補正する工程は、権限が付与さ
れた特定の人間に対してのみ作業内容を補正することを
許可することが好ましい。

【００１５】また、本発明の工程管理方法において、製
造ロットを処理する工程は、複数の製造ロットに対し
て、作業内容が同じか否かにより同時に処理できる製造
ロットを判定し、同時に処理できる製造ロットをまとめ
て処理することが好ましい。

【００１６】また、本発明の工程管理方法において、製
造ロットを処理する工程は、あるステップの作業内容を
決めるための先行処理ステップが製造フロー上に設定さ
れている場合、先行処理ステップで作業内容が補正され
ると、製造ロットの本体に対するあるステップの処理を
開始する前に、作業内容が補正されたことの警告を出力
することが好ましい。

【００１７】このような構成とすることで、製造ライン
の現場において、作業内容の迅速かつ容易な補正を可能
とし、納期遅れの発生や、誤った処理による経営損失の
発生を防ぐことができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態に係る
工程管理方法について、図１〜図１４を参照しながら説
明する。

【００１９】あらかじめ、コンピュータを用いて、製造
ライン内での各処理単位であるステップの並び及び各ス
テップの作業内容から構成される製造フローデータ
（７）を作成し、データ蓄積工程（３）に登録してお
く。ここで、データ蓄積工程（３）はコンピュータ上の
複数のデータベース・テーブルで構成されている。製造
上の処理単位であるロットは、製造フローデータ（７）
のステップの並びに従って製造ライン内を進行し、各ス
テップの作業内容に従って各ステップで処理が行われ
る。

【００２０】ここで、ロットの進行中に製造フローデー
タの一部を補正する必要が生じた場合の処理手順を、製
造フローデータ（７）において、既に、あるロットがス
テップ２に進行している時に、ステップ２の作業内容を
補正する手順を例にとって説明する。

【００２１】製造現場において動作しているロット進行
工程（５）を具現化したロット進行プログラム（１０）
上で、ステップ２の処理を行う装置の処理待ちロットリ
スト（１０２）を表示させると該ロットが表示されるの
で、該ロットを選択し、作業内容補正工程（２）を具現
化した作業内容補正画面を開くためのボタン（１０１）
を押す。これにより作業内容補正画面（１１）を表示す
る。

【００２２】作業内容補正画面（１１）が表示された
時、該画面上では作業者ＩＤ（１１１）しか入力できな
い。作業者ＩＤ（１１１）を入力すると、現場の管理者
などの作業内容の補正が許可されている作業者にのみ作
業内容の補正入力が可能になる。各作業者に対する補正
の許可／禁止については、データ蓄積工程（３）上の名
簿テーブルに登録されている。

【００２３】作業内容補正画面（１１）では、作業内容
の補正入力許可を判定すると、初期表示内容として、製
造フローデータ（７）上の該ロットに対するステップ２
の作業内容を読込み、画面上に表示する。次に作業者
は、表示されている作業内容に対して、所望の補正情報
を入力する。ＬＳＩ製造に関する作業内容については、
装置（１１３）、装置レシピ（１１４）、処理ウエハ
（１１５）などが該当する。また、補正のポイントなど
のコメント（１１２）も入力可能である。

【００２４】補正情報の入力後、登録のためのボタン
（１１６）を押した後、作業内容補正画面（１１）を閉
じる。登録のためのボタン（１１６）を押すと同時に、
該ロットのステップ２の補正情報が、データ蓄積工程
（３）上に補正データ（８）として登録される。補正デ
ータ（８）は、製造フローデータ（７）が登録されてい
るデータベース・テーブルとは異なるテーブルに登録さ
れる。なお、作業内容の補正は、製造現場において稼動
しているロット進行プログラム（１０）上で、ロットの
現在ステップの処理時のみにしか行うことができないた
め、補正するステップ以降にロットが進行しないように
待機をかける必要はない。

【００２５】作業者がロットを処理開始すると同時に、
製造フローデータ（７）上の作業内容が作業指示実績
（マスター）（９１）としてデータ蓄積工程（３）上の
作業指示実績データ（９）に登録され、実際に使用され
た装置、レシピ等の作業内容が、作業指示実績（実績）
（９２）として同じくデータ蓄積工程（３）上の作業指
示実績データ（９）に登録される。すなわち、作業内容
を補正した場合は、製造フローデータ（７）上の作業内
容に補正データ（８）上の作業内容をオーバーライド
し、作業指示実績（実績）（９２）上に登録する。作業
指示実績データ（９）は、製造フローデータ（７）及び
補正データ（８）が登録されているデータベース・テー
ブルとは異なるテーブルに登録される。

【００２６】なお、製造フローデータ（７）上で、１ス
テップに対し、複数の装置、レシピ等が登録されてお
り、該ステップにおいて、該登録装置、レシピ等のいず
れかを選択し使用する場合がある。その場合は、作業指
示実績データ（９）上の作業指示実績（マスター）（９
１）及び作業指示実績（実績）（９２）上に、実際に選
択・使用した装置、レシピ等が登録される。製造フロー
データ（７）及び作業指示実績データ（９）に示したケ
ースでは、ステップ３に複数の装置が登録されており、
そのうち１つが選択され使用されたことを示している。

【００２７】ロット進行プログラム（１０）は、現在ス
テップに存在するロットの処理開始および処理終了を行
い、ロットを次のステップに進行させるが、その時に、
データ蓄積工程（１７）上の製造フローデータ（７）及
び補正データ（８）から現在ステップの作業内容を読込
み、複数ロットを同時に処理開始および処理終了したい
場合に同時処理が可能であるか否かを各ロットが同じ作
業内容であるか否かにより判定し、また、作業内容の一
部として登録されている処理指定ウエハを該ステップで
の処理ウエハとして指定する。その時に、補正データ
（８）がある場合は、補正データ（８）を作業内容とし
て使用する。

【００２８】なお、ＬＳＩ製造においては、あるステッ
プの作業内容の一部である作業条件を事前に決めず、該
ステップの直前に少量のウエハに対して同様の条件の先
行処理を行い、その結果により作業条件を確定すること
がある。先行処理で作業内容の補正が行われた場合、本
来の処理時にその補正内容が伝わっていなければ、同様
の処理とならないため、ロット進行プログラム（１０）
では、先行処理内で作業内容の補正が行われた場合は、
継続する本来処理の処理開始時に警告を表示する機能を
設ける。

【００２９】次に、製造現場の作業者に対しての作業内
容の提示については、ロット進行プログラム（１０）上
の処理待ちロットリスト（１０２）からロットを選択
し、作業内容の表示ボタン（１０３）を押すことによ
り、作業内容指示工程（４）を具現化した作業内容表示
画面（１２）を表示し、製造フローデータ（７）が登録
されているテーブルと、補正データ（８）が登録されて
いるテーブルとをロット名及びステップ番号を連結キー
として結合し、製造フローデータ（７）上のステップ２
の作業内容に、補正データ（８）上のステップ２の作業
内容をオーバーライドして表示する。

【００３０】なお、補正ミスによる作業ミスを防ぐた
め、製造フローデータ（７）上のオリジナルの作業内
容、及び補正データ（８）上の作業内容はそれぞれ、ロ
ット進行プログラム（１０）上の処理待ちロットリスト
（１０２）上、及び作業内容補正画面（１１）上に表示
され、確認することができる。

【００３１】製造フローデータもしくは該製造フローデ
ータを使用するロットの製造に責任を持つ担当者に対し
ての作業内容の提示については、作業指示実績提示工程
（６）を具現化した作業指示実績参照プログラムを起動
してロット名を入力することにより、該ロットのステッ
プの一覧と共に、各ステップ毎に、作業指示実績（マス
ター）（１３）、及び作業指示実績（実績）（１４）を
表示する。

【００３２】作業指示実績（実績）（１４）の図で示し
ている画面は、作業指示実績（マスター）（１３）の図
で示している画面を右にスクロールして表示するが、各
々別の画面を用意し、別途表示するものであっても良
い。

【００３３】作業指示実績（マスター）（１３）、及び
作業指示実績（実績）（１４）の各々のデータは、作業
指示実績データ（９）上から、作業指示実績（マスタ
ー）（９１）及び作業指示実績（実績）（９２）の各々
のデータを検索し取得する。

【００３４】以上のように、本実施形態によれば、コン
ピュータを用いて、あるステップの装置・レシピ・処理
ウエハ等の作業内容を補正する場合、元の製造フロー自
体を編集することなく、製造現場で容易に変更すること
ができるため、２４時間稼動の製造ラインで、夜間等、
製造フローもしくは製造フローを使用するロットの製造
に責任を持つ担当者が不在の時に緊急事態が発生し、装
置を変更する必要が生じた場合などにも対応でき、納期
遅れを防ぐことができる。

【００３５】また、元の製造フローの作業内容は保存さ
れるため、万が一補正内容に誤りがあったとしても、そ
の製造フローで他のロットが振出される場合に影響を及
ぼすことはなく、多量の不良製品の発生を防ぐことが出
来る。

【００３６】さらに、本来の作業内容と実際に使用され
た作業内容を容易に提示できるため、正確なロット進行
のトレースや、本来の指示内容と実情との比較が容易と
なり、精度の高いライン管理・データ解析を行うことが
できる。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の工程管理
方法によると、製造ラインの現場において、作業内容の
迅速かつ容易な補正を可能とし、納期遅れの発生や、誤
った処理による経営損失の発生を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態における工程管理方法の、工
程間のデータの流れを現した図

【図２】本発明の実施形態における工程管理方法の、作
業内容補正工程の処理の流れを現した図

【図３】本発明の実施形態における工程管理方法の、デ
ータ蓄積工程の蓄積情報を現した図

【図４】本発明の実施形態における工程管理方法の、作
業内容指示工程の処理の流れを現した図

【図５】本発明の実施形態における工程管理方法の、ロ
ット進行工程の処理の流れを現した図

【図６】本発明の実施形態における工程管理方法の、作
業指示実績提示工程の処理の流れを現した図

【図７】本発明の実施形態における工程管理方法の、製
造フローデータを現した図

【図８】本発明の実施形態における工程管理方法の、補
正データを現した図

【図９】本発明の実施形態における工程管理方法の、作
業指示実績データを現した図

【図１０】本発明の実施形態における工程管理方法の、
ロット進行工程の具体例であるプログラムの表示画面を
現した図

【図１１】本発明の実施形態における工程管理方法の、
作業内容補正工程の具体例であるプログラムの表示画面
を現した図

【図１２】本発明の実施形態における工程管理方法の作
業内容指示工程の具体例であるプログラムの表示画面を
現した図

【図１３】本発明の実施形態における工程管理方法の、
作業指示実績提示工程の作業指示実績（マスター）提示
の具体例であるプログラムの表示画面を現した図

【図１４】本発明の実施形態における工程管理方法の、
作業指示実績提示工程の作業指示実績（実績）提示の具
体例であるプログラムの表示画面を現した図

【図１５】従来の工程管理方法の、工程間のデータの流
れを現した図

【図１６】従来の工程管理方法の、製造フロー編集工程
の処理の流れを現した図

【図１７】従来の工程管理方法の、データ蓄積工程の蓄
積情報を現した図

【図１８】従来の工程管理方法の、作業内容指示工程の
処理の流れを現した図

【図１９】従来の工程管理方法の、ロット進行工程の処
理の流れを現した図

【図２０】従来の工程管理方法の、作業指示内容提示工
程の処理の流れを現した図

【図２１】従来の工程管理方法の、製造フローデータを
現した図

【符号の説明】

１工程間のデータの流れ２作業内容補正工程の処理の流れ３データ蓄積工程の蓄積情報４作業内容指示工程の処理の流れ５ロット進行工程の処理の流れ６作業指示実績提示工程の処理の流れ７製造フローデータ８補正データ９作業指示実績データ１０ロット進行工程の具体例であるプログラムの表示
画面１１作業内容補正工程の具体例であるプログラムの表
示画面１２作業内容指示工程の具体例であるプログラムの表
示画面１３作業指示実績提示工程の作業指示実績（マスタ
ー）提示の具体例であるプログラムの表示画面１４作業指示実績提示工程の作業指示実績（補正）提
示の具体例であるプログラムの表示画面１５工程間のデータの流れ１６製造フロー編集工程の処理の流れ１７データ蓄積工程の蓄積情報１８作業内容指示工程の処理の流れ１９ロット進行工程の処理の流れ２０作業指示内容提示工程の処理の流れ２１製造フローデータ２１ａ待機によりロットを進行できないブロック９
１作業指示実績（マスター）９２作業指示実績（実績）１０１作業内容補正画面表示ボタン１０２処理待ちロットリスト１０３作業内容画面表示ボタン１１１作業者ＩＤ入力フィールド１１２コメント入力フィールド１１３装置選択フィールド１１４装置レシピ選択フィールド１１５処理ウエハ選択フィールド１１６登録ボタン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のステップを経て製品を製造する製
造フローに関する工程管理方法であって、所定の製造ロットに関して、製造フロー上に設定された
任意ステップの作業内容を呼び出して補正する工程と、
前記補正された作業内容を前記製造フローのデータが保
存されている第１のテーブルとは別の第２のテーブルに
蓄積する工程と、前記補正された作業内容を前記製造ロ
ットに対して指示する工程と、前記製造ロットを前記指
示された作業内容に従って処理する工程と、前記処理さ
れた作業指示内容の実績を前記第１および第２のテーブ
ルとは異なる第３のテーブルに蓄積する工程を備え、前記任意ステップの作業内容を補正する工程は、前記任
意ステップに関する必要な情報のみを読込み変更を行う
ことを特徴とする工程管理方法。
【請求項２】前記任意ステップの作業内容を補正する
工程は、権限が付与された特定の人間に対してのみ作業
内容を補正することを許可することを特徴とする請求項
１に記載の工程管理方法。
【請求項３】前記製造ロットを処理する工程は、複数
の製造ロットに対して、作業内容が同じか否かにより同
時に処理できる製造ロットを判定し、同時に処理できる
製造ロットをまとめて処理することを特徴とする請求項
１に記載の工程管理方法。
【請求項４】前記製造ロットを処理する工程は、ある
ステップの作業内容を決めるための先行処理ステップが
製造フロー上に設定されている場合、前記先行処理ステ
ップで作業内容が補正されると、前記製造ロットの本体
に対する前記あるステップの処理を開始する前に、前記
作業内容が補正されたことの警告を出力することを特徴
とする請求項１に記載の工程管理方法。