KR20110074840A - 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
복수의 스텝으로 구성되어 있는 레시피를 실행하도록 제어하는 제어부를 구비한 기판 처리 장치로서, 상기 제어부는, 상기 레시피 실행 중, 상기 복수의 스텝 중 소정의 스텝을 개시하고 나서 상기 소정의 스텝이 실행 완료를 기다리고 있는 동안에, 상기 소정의 스텝에 미리 설정되어 있는 허용 시간을 초과하면, 상기 허용 시간을 초과했다는 것을 나타내는 알람 메시지를 통지한다.
Description
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 공정을 예시하는 플로우도.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 공정에 있어서, 반입 스텝(Boat Load)의 경과 시간이 허용 시간을 초과했을 때의 기판 처리 장치의 동작을 예시하는 플로우도.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 공정에 있어서, 반입 스텝(Boat Load)의 경과 시간이 허용 시간을 초과했을 때의 기판 처리 장치의 다른 동작을 예시하는 플로우도.
도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 공정에 있어서, 감압 스텝(「Slow Vac.」 및 「Leak Check」)의 경과 시간이 허용 시간을 초과했을 때의 기판 처리 장치의 동작을 예시하는 플로우도.
도 6은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 공정에 있어서, 반출 스텝(Boat UnLoad)의 경과 시간이 허용 시간을 초과했을 때의 기판 처리 장치의 동작을 예시하는 플로우도.
도 7은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치가 구비하는 조작부가 조작 화면에 표시하는 대기 모니터 화면의 구성을 예시하는 개략도.
도 8은 프로세스 레시피의 스텝마다 알람 조건 테이블에서 지정되는 에러 처리가 설정되어 있는 예를 나타내는 개략도.
도 9는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치가 구비하는 프로세스 제어 모듈 및 그 주변의 블록 구성을 예시하는 개략도.
도 10은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 처리계의 사시도.
도 11은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 처리계의 측면 투시도.
1 : 프로세스 제어 모듈 2 : 조작부
3 : 제어부 7 : 모니터(조작 화면)
7w : 대기 모니터 화면(스텝을 강제 종료시키는지의 여부의 선택을 촉진하는 화면)
100 : 처리계 200 : 웨이퍼(기판)
Claims (7)
- 복수의 스텝으로 구성되어 있는 레시피를 실행하도록 제어하는 제어부를 구비한 기판 처리 장치로서,
상기 제어부는, 상기 레시피 실행 중, 상기 복수의 스텝 중 소정의 스텝을 개시하고 나서 상기 소정의 스텝이 실행 완료를 기다리고 있는 동안에, 상기 소정의 스텝에 미리 설정되어 있는 허용 시간을 초과하면, 상기 허용 시간을 초과했다는 것을 나타내는 알람 메시지를 통지하는 기판 처리 장치. - 복수의 스텝으로 구성되어 있는 레시피를 실행하도록 제어하는 제어부를 구비한 기판 처리 장치로서,
상기 제어부는, 상기 레시피 실행 중, 상기 복수의 스텝 중 소정의 스텝의 실행 완료를 상기 소정의 스텝의 다음의 스텝을 개시하지 않고 기다리고 있는 동안에, 상기 소정의 스텝에 미리 설정되어 있는 허용 시간을 초과하면, 상기 허용 시간을 초과했다는 것을 나타내는 알람 메시지를 통지하는 기판 처리 장치. - 복수의 스텝으로 구성되어 있는 레시피를 실행하도록 제어하는 제어부를 구비한 기판 처리 장치로서,
상기 제어부는, 상기 레시피 실행 중, 상기 복수의 스텝 중 소정의 스텝의 실행 완료를 상기 소정의 스텝에 설정되는 설정 시간을 초과하여 대기하고 있던 경우, 이 설정 시간을 초과한 시간이, 상기 소정의 스텝에 미리 설정되어 있는 허용 시간을 초과하면, 상기 허용 시간을 초과했다는 것을 나타내는 알람 메시지를 통지하는 기판 처리 장치. - 복수의 스텝으로 구성되어 있는 레시피를 실행하고, 기판을 기판 보지구에 의해 보지하여 처리로 내에 투입하는 반입 스텝과,
대기 온도로부터 성막 온도로 승온하는 스텝과,
기판에 소정의 처리를 실시하기 위한 성막 스텝과,
성막 온도로부터 대기 온도로 강온하는 스텝과,
기판을 보지한 기판 보지구를 처리로 내로부터 취출하는 반출 스텝을 실행하는 반도체 장치의 제조 방법으로서,
상기 반입 스텝에 있어서, 상기 반입 스텝을 개시하고 나서의 시간이, 상기 반입 스텝의 실행 완료를 대기하고 있는 동안에, 상기 반입 스텝에 미리 할당된 허용 시간을 경과하면, 상기 허용 시간을 초과했다는 것을 나타내는 알람 메시지를 통지하는 것과 함께 소정의 리커버리 처리를 수행하는 반도체 장치의 제조 방법. - 제4항에 있어서,
상기 소정의 리커버리 처리는, 상기 허용 시간을 초과한 원인에 따라, 상기 반입 스텝으로부터 이행하여 상기 반출 스텝을 수행하거나, 상기 반입 스텝을 다시 수행하는 반도체 장치의 제조 방법. - 복수의 스텝으로 구성되어 있는 레시피를 실행하고, 기판을 기판 보지구에 의해 보지하여 처리로 내에 투입하는 반입 스텝과,
대기 온도로부터 성막 온도로 승온하는 스텝과,
기판에 소정의 처리를 실시하기 위한 성막 스텝과,
성막 온도로부터 대기 온도로 강온하는 스텝과,
기판을 보지한 기판 보지구를 처리로 내로부터 취출하는 반출 스텝을 실행하는 반도체 장치의 제조 방법으로서,
상기 반출 스텝에 있어서, 상기 반출 스텝을 개시하고 나서의 시간이, 상기 반출 스텝의 실행 완료를 대기하고 있는 동안에, 상기 반출 스텝에 미리 할당된 허용 시간을 경과하면, 상기 허용 시간을 초과했다는 것을 나타내는 알람 메시지를 통지하는 것과 함께, 상기 반출 스텝을 실행하여 상기 레시피를 강제적으로 종료시키는 반도체 장치의 제조 방법. - 기판을 처리하는 처리 조건을 시계열적(時系列的)으로 설정하는 복수의 스텝을 조작 화면 상에 표시시키고 상기 조작 화면 상에서 레시피를 작성 또는 편집하는 조작부를 구비한 기판 처리 장치로서,
상기 조작부는, 소정의 버튼이 눌러지면,
각 스텝에 있어서의 대기 시간의 설정치와 실측치(實測置)와 상기 대기 시간을 발생시키는 항목을 표시하는 대기 모니터 화면을 표시하고,
상기 대기 시간이 발생한 경우, 상기 대기 모니터 화면에 있어서,
상기 실측치를 카운트 업(count up)시켜, 상기 대기 시간을 발생시키고 있는 항목을 명시(明示)시키는 기판 처리 장치.
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