JPH103304A - 処理装置における動作開始指示監視装置 - Google Patents
処理装置における動作開始指示監視装置Info
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- JPH103304A JPH103304A JP17597096A JP17597096A JPH103304A JP H103304 A JPH103304 A JP H103304A JP 17597096 A JP17597096 A JP 17597096A JP 17597096 A JP17597096 A JP 17597096A JP H103304 A JPH103304 A JP H103304A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 処理装置において被処理物を所定位置に配置
した後に操作者が処理動作開始を指示しなかったことに
よる不良の発生を防止することができるようにする。 【解決手段】 制御装置４は、スタートスイッチ３がオ
ンにされたら、セット部２にセットされた被処理物１の
処理動作を開始する。タイマ１２は、センサ１１によっ
て被処理物１がセット部２にセットされたことが検知さ
れたら所定の制限時間の計時を開始すると共に、スター
トスイッチ３の出力を監視し、制限時間内にスタートス
イッチ３がオンとなった場合には計時を停止し、制限時
間内にスタートスイッチ３がオンとならなかった場合に
はアラーム出力信号を出力する。アラーム出力装置１３
は、タイマ１２からのアラーム出力信号を入力したら、
処理動作開始が指示されていない旨を通知するためのア
ラームを出力する。
した後に操作者が処理動作開始を指示しなかったことに
よる不良の発生を防止することができるようにする。 【解決手段】 制御装置４は、スタートスイッチ３がオ
ンにされたら、セット部２にセットされた被処理物１の
処理動作を開始する。タイマ１２は、センサ１１によっ
て被処理物１がセット部２にセットされたことが検知さ
れたら所定の制限時間の計時を開始すると共に、スター
トスイッチ３の出力を監視し、制限時間内にスタートス
イッチ３がオンとなった場合には計時を停止し、制限時
間内にスタートスイッチ３がオンとならなかった場合に
はアラーム出力信号を出力する。アラーム出力装置１３
は、タイマ１２からのアラーム出力信号を入力したら、
処理動作開始が指示されていない旨を通知するためのア
ラームを出力する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、製造装置や加工装
置等、被処理物に所定の処理を施す各種の処理装置にお
いて、処理装置の動作開始指示が確実に行われたか否か
を監視する処理装置における動作開始指示監視装置に関
する。
置等、被処理物に所定の処理を施す各種の処理装置にお
いて、処理装置の動作開始指示が確実に行われたか否か
を監視する処理装置における動作開始指示監視装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】半導体等の製造装置や被加工物を加工す
る加工装置等、被処理物に所定の処理を施す処理装置に
は、被処理物を所定位置に配置した後、操作者がスター
トスイッチを作動させることによって処理が開始するも
のがある。このような処理装置の一例としては、半導体
製造工程においてウェーハにレジストを塗布する塗布装
置、このレジストにパターンを露光した後に現像する現
像装置、この現像後にエッチングするエッチング装置等
がある。これらの装置には、被処理物であるウェーハを
複数枚収納したキャリアを所定位置にセットした後、操
作者がスタートスイッチを作動させると、装置がキャリ
アよりウェーハを一枚ずつ取り出し、所定の処理を実行
し、処理終了後にウェーハをキャリア内の元の場所に戻
すように動作するものがある。
る加工装置等、被処理物に所定の処理を施す処理装置に
は、被処理物を所定位置に配置した後、操作者がスター
トスイッチを作動させることによって処理が開始するも
のがある。このような処理装置の一例としては、半導体
製造工程においてウェーハにレジストを塗布する塗布装
置、このレジストにパターンを露光した後に現像する現
像装置、この現像後にエッチングするエッチング装置等
がある。これらの装置には、被処理物であるウェーハを
複数枚収納したキャリアを所定位置にセットした後、操
作者がスタートスイッチを作動させると、装置がキャリ
アよりウェーハを一枚ずつ取り出し、所定の処理を実行
し、処理終了後にウェーハをキャリア内の元の場所に戻
すように動作するものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
に、被処理物が所定位置から取り出されて処理され、処
理終了後に元の所定位置に戻ってくる処理装置では、操
作者が、被処理物を所定位置にセットした後にスタート
スイッチを作動させるのを忘れた場合に、処理が行われ
ずに所定位置にある被処理物を、処理が終了してその所
定位置にあるものと勘違いしてしまって、被処理物を次
の工程に送ってしまう等の人的ミスが発生し、その結
果、処理の抜けによって被処理物の不良が発生するとい
う問題点があった。
に、被処理物が所定位置から取り出されて処理され、処
理終了後に元の所定位置に戻ってくる処理装置では、操
作者が、被処理物を所定位置にセットした後にスタート
スイッチを作動させるのを忘れた場合に、処理が行われ
ずに所定位置にある被処理物を、処理が終了してその所
定位置にあるものと勘違いしてしまって、被処理物を次
の工程に送ってしまう等の人的ミスが発生し、その結
果、処理の抜けによって被処理物の不良が発生するとい
う問題点があった。
【０００４】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、処理装置において被処理物を所定位
置に配置した後に操作者が処理動作開始を指示しなかっ
たことによる不良の発生を防止することができるように
した処理装置における動作開始指示監視装置を提供する
ことにある。
ので、その目的は、処理装置において被処理物を所定位
置に配置した後に操作者が処理動作開始を指示しなかっ
たことによる不良の発生を防止することができるように
した処理装置における動作開始指示監視装置を提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の処理装置におけ
る動作開始指示監視装置は、被処理物の処理動作開始を
指示するための動作開始指示手段を有し、この動作開始
指示手段によって処理動作開始が指示されたときに、所
定位置に配置された被処理物の処理動作を開始する処理
装置に用いられるものであって、被処理物が所定位置に
配置されたことを検知する検知手段と、この検知手段に
よって被処理物が所定位置に配置されたことが検知され
てから所定時間内に、動作開始指示手段によって処理動
作開始が指示されたか否かを監視する監視手段と、この
監視手段によって所定時間内に処理動作開始が指示され
なかったことが認識された場合に、処理動作開始が指示
されていない旨を通知する通知手段とを備えたものであ
る。
る動作開始指示監視装置は、被処理物の処理動作開始を
指示するための動作開始指示手段を有し、この動作開始
指示手段によって処理動作開始が指示されたときに、所
定位置に配置された被処理物の処理動作を開始する処理
装置に用いられるものであって、被処理物が所定位置に
配置されたことを検知する検知手段と、この検知手段に
よって被処理物が所定位置に配置されたことが検知され
てから所定時間内に、動作開始指示手段によって処理動
作開始が指示されたか否かを監視する監視手段と、この
監視手段によって所定時間内に処理動作開始が指示され
なかったことが認識された場合に、処理動作開始が指示
されていない旨を通知する通知手段とを備えたものであ
る。
【０００６】この処理装置における動作開始指示監視装
置では、監視手段によって、検知手段によって被処理物
が所定位置に配置されたことが検知されてから所定時間
内に、動作開始指示手段によって処理動作開始が指示さ
れたか否かが監視され、この監視手段によって所定時間
内に処理動作開始が指示されなかったことが認識された
場合には、通知手段によって、処理動作開始が指示され
ていない旨が通知される。
置では、監視手段によって、検知手段によって被処理物
が所定位置に配置されたことが検知されてから所定時間
内に、動作開始指示手段によって処理動作開始が指示さ
れたか否かが監視され、この監視手段によって所定時間
内に処理動作開始が指示されなかったことが認識された
場合には、通知手段によって、処理動作開始が指示され
ていない旨が通知される。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の第１
の実施の形態に係る動作開始指示監視装置を含む処理装
置の主要部の構成を示すブロック図である。処理装置
は、被処理物１が配置される所定位置となるセット部２
と、被処理物１の処理動作開始を指示するための動作開
始指示手段としてのスタートスイッチ３と、被処理物１
の処理動作を制御すると共に、スタートスイッチ３によ
って処理動作開始が指示されたときに、セット部２にセ
ットされた被処理物１の処理動作を開始する制御装置４
とを備えている。このような処理装置の一例としては、
前述のように、半導体製造工程に用いられる塗布装置，
現像装置，エッチング装置等がある。これらの装置の場
合には、被処理物１はキャリアに収納されたウェーハで
ある。
て図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の第１
の実施の形態に係る動作開始指示監視装置を含む処理装
置の主要部の構成を示すブロック図である。処理装置
は、被処理物１が配置される所定位置となるセット部２
と、被処理物１の処理動作開始を指示するための動作開
始指示手段としてのスタートスイッチ３と、被処理物１
の処理動作を制御すると共に、スタートスイッチ３によ
って処理動作開始が指示されたときに、セット部２にセ
ットされた被処理物１の処理動作を開始する制御装置４
とを備えている。このような処理装置の一例としては、
前述のように、半導体製造工程に用いられる塗布装置，
現像装置，エッチング装置等がある。これらの装置の場
合には、被処理物１はキャリアに収納されたウェーハで
ある。
【０００８】本実施の形態に係る動作開始指示監視装置
は、被処理物１がセット部２にセットされたことを検知
するセンサ１１と、このセンサ１１によって被処理物１
がセット部２にセットされたことが検知されたら所定の
制限時間の計時を開始すると共に、スタートスイッチ３
の出力を監視し、所定の制限時間内にスタートスイッチ
３がオンとなった場合には計時を停止し、所定の制限時
間内にスタートスイッチ３がオンとならなかった場合に
はアラーム出力信号を出力するタイマ１２と、このタイ
マ１２よりアラーム出力信号が出力されたときに、処理
動作開始が指示されていない旨を通知するためのアラー
ム（警告）を出力するアラーム出力装置１３とを備えて
いる。センサ１１は本発明における検知手段に対応し、
タイマ１２は本発明における監視手段に対応し、アラー
ム出力装置１３は本発明における通知手段に対応する。
は、被処理物１がセット部２にセットされたことを検知
するセンサ１１と、このセンサ１１によって被処理物１
がセット部２にセットされたことが検知されたら所定の
制限時間の計時を開始すると共に、スタートスイッチ３
の出力を監視し、所定の制限時間内にスタートスイッチ
３がオンとなった場合には計時を停止し、所定の制限時
間内にスタートスイッチ３がオンとならなかった場合に
はアラーム出力信号を出力するタイマ１２と、このタイ
マ１２よりアラーム出力信号が出力されたときに、処理
動作開始が指示されていない旨を通知するためのアラー
ム（警告）を出力するアラーム出力装置１３とを備えて
いる。センサ１１は本発明における検知手段に対応し、
タイマ１２は本発明における監視手段に対応し、アラー
ム出力装置１３は本発明における通知手段に対応する。
【０００９】センサ１１は、処理装置が前述の塗布装
置，現像装置，エッチング装置等である場合には、例え
ば、ウェーハが複数枚収納されたキャリアを検出するも
のである。センサ１１としては、光センサやリミットス
イッチ等を用いることができる。アラーム出力装置１３
は、所定の音や光でアラームを出力するブザーやランプ
でも良いし、所定のメッセージでアラームを出力するデ
ィスプレイや所定の音声でアラームを出力する音声出力
装置等でも良い。
置，現像装置，エッチング装置等である場合には、例え
ば、ウェーハが複数枚収納されたキャリアを検出するも
のである。センサ１１としては、光センサやリミットス
イッチ等を用いることができる。アラーム出力装置１３
は、所定の音や光でアラームを出力するブザーやランプ
でも良いし、所定のメッセージでアラームを出力するデ
ィスプレイや所定の音声でアラームを出力する音声出力
装置等でも良い。
【００１０】図２は、図１におけるタイマ１２の構成の
一例を示すブロック図である。なおこの例では、センサ
１１は、被処理物１がセット部２にセットされたことを
検知したときに一定時間ローレベルとなるセット検知信
号Ｓ1 を出力し、スタートスイッチ３は、オンにされた
ときに一定時間ローレベルとなるスタート検知信号Ｓ2
を出力するものとする。タイマ１２は、負論理入力のプ
リセット入力端子ＰＲ，負論理入力のクリア入力端子Ｃ
ＬＲおよび出力端子Ｑを有するフリップフロップ２１
と、クロック入力端子Ｃk ，負論理入力のクリア入力端
子ＣＬＲおよびキャリ出力端子Ｃを有するカウンタ２２
と、負論理のオアゲート２３と、インバータ２４とを備
えている。フリップフロップ２１のプリセット入力端子
ＰＲにはセット検知信号Ｓ1 が入力され、クリア入力端
子ＣＬＲにはオアゲート２３の出力が入力されるように
なっている。オアゲート２３の一方の入力端にはスター
ト検知信号Ｓ2 が入力されるようになっている。カウン
タ２２のクロック入力端子Ｃk にはクロックＣＬＫが入
力されるようになっている。カウンタ２２のキャリ出力
端Ｃはインバータ２４の入力端とアラーム出力装置１３
とに接続されている。インバータ２４の出力端はオアゲ
ート２３の他方の入力端に接続されている。
一例を示すブロック図である。なおこの例では、センサ
１１は、被処理物１がセット部２にセットされたことを
検知したときに一定時間ローレベルとなるセット検知信
号Ｓ1 を出力し、スタートスイッチ３は、オンにされた
ときに一定時間ローレベルとなるスタート検知信号Ｓ2
を出力するものとする。タイマ１２は、負論理入力のプ
リセット入力端子ＰＲ，負論理入力のクリア入力端子Ｃ
ＬＲおよび出力端子Ｑを有するフリップフロップ２１
と、クロック入力端子Ｃk ，負論理入力のクリア入力端
子ＣＬＲおよびキャリ出力端子Ｃを有するカウンタ２２
と、負論理のオアゲート２３と、インバータ２４とを備
えている。フリップフロップ２１のプリセット入力端子
ＰＲにはセット検知信号Ｓ1 が入力され、クリア入力端
子ＣＬＲにはオアゲート２３の出力が入力されるように
なっている。オアゲート２３の一方の入力端にはスター
ト検知信号Ｓ2 が入力されるようになっている。カウン
タ２２のクロック入力端子Ｃk にはクロックＣＬＫが入
力されるようになっている。カウンタ２２のキャリ出力
端Ｃはインバータ２４の入力端とアラーム出力装置１３
とに接続されている。インバータ２４の出力端はオアゲ
ート２３の他方の入力端に接続されている。
【００１１】図２に示したタイマ１２では、セット検知
信号Ｓ1 が入力されると、フリップフロップ２１の出力
端子Ｑの出力がハイレベルとなり、カウンタ２２がクロ
ックＣＬＫのカウントを開始し、所定の制限時間に対応
する所定数のクロックＣＬＫをカウントしたらキャリ出
力端子Ｃよりキャリ出力がアラーム出力装置１３および
インバータ２４に出力される。アラーム出力装置１３
は、キャリ出力を入力したら所定のアラームを出力する
ようになっている。また、キャリ出力に応じてインバー
タ２４から出力されるローレベルの信号はオアゲート２
３に入力され、これにより、オアゲート２３の出力はロ
ーレベルとなってフリップフロップ２１の出力端子Ｑの
出力がローレベルとなり、カウンタ２２はクリア状態と
なり、カウントを停止する。カウンタ２２がクロックＣ
ＬＫのカウントを開始してから、所定の制限時間に対応
する所定数のクロックＣＬＫをカウントする前に、スタ
ート検知信号Ｓ2 が入力されると、オアゲート２３の出
力がローレベルとなってフリップフロップ２１の出力端
子Ｑの出力がローレベルとなり、カウンタ２２はクリア
状態となり、カウントを停止する。その結果、カウンタ
２２よりキャリ出力は出力されず、アラーム出力装置１
３よりアラームは出力されない。
信号Ｓ1 が入力されると、フリップフロップ２１の出力
端子Ｑの出力がハイレベルとなり、カウンタ２２がクロ
ックＣＬＫのカウントを開始し、所定の制限時間に対応
する所定数のクロックＣＬＫをカウントしたらキャリ出
力端子Ｃよりキャリ出力がアラーム出力装置１３および
インバータ２４に出力される。アラーム出力装置１３
は、キャリ出力を入力したら所定のアラームを出力する
ようになっている。また、キャリ出力に応じてインバー
タ２４から出力されるローレベルの信号はオアゲート２
３に入力され、これにより、オアゲート２３の出力はロ
ーレベルとなってフリップフロップ２１の出力端子Ｑの
出力がローレベルとなり、カウンタ２２はクリア状態と
なり、カウントを停止する。カウンタ２２がクロックＣ
ＬＫのカウントを開始してから、所定の制限時間に対応
する所定数のクロックＣＬＫをカウントする前に、スタ
ート検知信号Ｓ2 が入力されると、オアゲート２３の出
力がローレベルとなってフリップフロップ２１の出力端
子Ｑの出力がローレベルとなり、カウンタ２２はクリア
状態となり、カウントを停止する。その結果、カウンタ
２２よりキャリ出力は出力されず、アラーム出力装置１
３よりアラームは出力されない。
【００１２】次に、図３の流れ図を参照して、本実施の
形態に係る動作開始指示監視装置の動作について説明す
る。この動作では、まず、センサ１１によって、被処理
物１がセット部２にセットされたか否かが監視される
（ステップＳ１０１）。センサ１１によって被処理物１
がセット部２にセットされたことが検知されたら
（Ｙ）、タイマ１２が所定の制限時間の計時を開始する
（ステップＳ１０２）。次に、スタートスイッチ３がオ
ンにされたか否かが監視される（ステップＳ１０３）。
スタートスイッチ３がオンにされた場合（Ｙ）には、タ
イマ１２は計時を停止し（ステップＳ１０４）、動作開
始指示監視装置の動作を終了する。一方、スタートスイ
ッチ３がオンにされない場合（ステップＳ１０３；Ｎ）
は、タイマ１２の計時時間が制限時間を越えたか否かが
監視される（ステップＳ１０５）。制限時間を越えてい
ない場合（Ｎ）は、ステップＳ１０３に戻る。制限時間
を越えた場合（ステップＳ１０５；Ｙ）は、アラーム出
力装置１３がアラームを出力して（ステップＳ１０
６）、動作開始指示監視装置の動作を終了する。操作者
は、スタートスイッチ３をオンにするのを忘れていた場
合やオンにするのが遅かった場合には、アラームによっ
てそのことに気が付き、スタートスイッチ３をオンにし
て処理を開始させることができる。
形態に係る動作開始指示監視装置の動作について説明す
る。この動作では、まず、センサ１１によって、被処理
物１がセット部２にセットされたか否かが監視される
（ステップＳ１０１）。センサ１１によって被処理物１
がセット部２にセットされたことが検知されたら
（Ｙ）、タイマ１２が所定の制限時間の計時を開始する
（ステップＳ１０２）。次に、スタートスイッチ３がオ
ンにされたか否かが監視される（ステップＳ１０３）。
スタートスイッチ３がオンにされた場合（Ｙ）には、タ
イマ１２は計時を停止し（ステップＳ１０４）、動作開
始指示監視装置の動作を終了する。一方、スタートスイ
ッチ３がオンにされない場合（ステップＳ１０３；Ｎ）
は、タイマ１２の計時時間が制限時間を越えたか否かが
監視される（ステップＳ１０５）。制限時間を越えてい
ない場合（Ｎ）は、ステップＳ１０３に戻る。制限時間
を越えた場合（ステップＳ１０５；Ｙ）は、アラーム出
力装置１３がアラームを出力して（ステップＳ１０
６）、動作開始指示監視装置の動作を終了する。操作者
は、スタートスイッチ３をオンにするのを忘れていた場
合やオンにするのが遅かった場合には、アラームによっ
てそのことに気が付き、スタートスイッチ３をオンにし
て処理を開始させることができる。
【００１３】このように本実施の形態に係る動作開始指
示監視装置によれば、処理装置において被処理物１をセ
ット部２にセットした後に操作者が処理動作開始を指示
しなかった場合等には、所定の制限時間経過後にアラー
ムが出力されるので、処理の抜けによる被処理物の不良
の発生を防止することができる。また、製造業において
は、製品の製造に至るまでの処理における作業開始忘れ
による処理の滞留を防止することができる。また、本実
施の形態に係る動作開始指示監視装置によれば、操作者
に早めに処理開始を促すことができるので、制約時間の
ある処理の場合には、制約時間オーバの防止策ともなり
うる。また、動作開始指示監視装置によるアラームは、
操作者に対して処理開始を促す警告となる他、処理装置
において正常に処理が開始しなかったことを知らせる警
告にもなる。
示監視装置によれば、処理装置において被処理物１をセ
ット部２にセットした後に操作者が処理動作開始を指示
しなかった場合等には、所定の制限時間経過後にアラー
ムが出力されるので、処理の抜けによる被処理物の不良
の発生を防止することができる。また、製造業において
は、製品の製造に至るまでの処理における作業開始忘れ
による処理の滞留を防止することができる。また、本実
施の形態に係る動作開始指示監視装置によれば、操作者
に早めに処理開始を促すことができるので、制約時間の
ある処理の場合には、制約時間オーバの防止策ともなり
うる。また、動作開始指示監視装置によるアラームは、
操作者に対して処理開始を促す警告となる他、処理装置
において正常に処理が開始しなかったことを知らせる警
告にもなる。
【００１４】図４は本発明の第２の実施の形態にかかる
動作開始指示監視装置を含む処理装置の主要部の構成を
示すブロック図である。本実施の形態は、センサ１１に
よって被処理物１がセット部２にセットされたことが検
知されてから所定の制限時間内にスタートスイッチ３が
オンにされたか否かを監視する機能を制御装置４に持た
せた例である。本実施の形態では、第１の実施の形態に
おけるタイマ１２がなく、制御装置４がタイマ１２の機
能を有する。制御装置４は、コンピュータを備え、この
コンピュータが図３に示した動作を実行する。すなわ
ち、制御装置４内のコンピュータは、センサ１１の出力
とスタートスイッチ３の出力とを監視し、センサ１１の
出力を入力したら所定の制限時間の計時を開始し、所定
の制限時間内にスタートスイッチ３がオンとなった場合
には計時を停止し、所定の制限時間内にスタートスイッ
チ３がオンとならなかった場合にはアラーム出力信号を
アラーム出力装置１３に出力するようになっている。本
実施の形態におけるその他の構成、動作および効果は第
１の実施の形態と同様である。
動作開始指示監視装置を含む処理装置の主要部の構成を
示すブロック図である。本実施の形態は、センサ１１に
よって被処理物１がセット部２にセットされたことが検
知されてから所定の制限時間内にスタートスイッチ３が
オンにされたか否かを監視する機能を制御装置４に持た
せた例である。本実施の形態では、第１の実施の形態に
おけるタイマ１２がなく、制御装置４がタイマ１２の機
能を有する。制御装置４は、コンピュータを備え、この
コンピュータが図３に示した動作を実行する。すなわ
ち、制御装置４内のコンピュータは、センサ１１の出力
とスタートスイッチ３の出力とを監視し、センサ１１の
出力を入力したら所定の制限時間の計時を開始し、所定
の制限時間内にスタートスイッチ３がオンとなった場合
には計時を停止し、所定の制限時間内にスタートスイッ
チ３がオンとならなかった場合にはアラーム出力信号を
アラーム出力装置１３に出力するようになっている。本
実施の形態におけるその他の構成、動作および効果は第
１の実施の形態と同様である。
【００１５】なお、本発明は上記各実施の形態に限定さ
れず、例えば、被処理物が所定位置に配置されたことが
検知されてから所定の制限時間内に処理動作開始が指示
されなかったときに、アラームを出力する代わりに、あ
るいはアラームを出力すると共に、通信手段を介して他
の場所に通知するようにしても良い。また、制限時間を
変更できるようにしても良い。これは、第１の実施の形
態ではカウンタ２２としてプリセッタプル・カウンタを
用いることで実現でき、第２の実施の形態では制御装置
４内のコンピュータのプログラムを変更することで実現
することができる。
れず、例えば、被処理物が所定位置に配置されたことが
検知されてから所定の制限時間内に処理動作開始が指示
されなかったときに、アラームを出力する代わりに、あ
るいはアラームを出力すると共に、通信手段を介して他
の場所に通知するようにしても良い。また、制限時間を
変更できるようにしても良い。これは、第１の実施の形
態ではカウンタ２２としてプリセッタプル・カウンタを
用いることで実現でき、第２の実施の形態では制御装置
４内のコンピュータのプログラムを変更することで実現
することができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明の動作開始指
示監視装置によれば、被処理物が所定位置に配置された
ことが検知されてから所定時間内に処理動作開始が指示
されなかった場合に、処理動作開始が指示されていない
旨を通知するようにしたので、処理装置において被処理
物を所定位置に配置した後に操作者が処理動作開始を指
示しなかったことによる不良の発生を防止することがで
きるという効果を奏する。
示監視装置によれば、被処理物が所定位置に配置された
ことが検知されてから所定時間内に処理動作開始が指示
されなかった場合に、処理動作開始が指示されていない
旨を通知するようにしたので、処理装置において被処理
物を所定位置に配置した後に操作者が処理動作開始を指
示しなかったことによる不良の発生を防止することがで
きるという効果を奏する。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る動作開始指示
監視装置を含む処理装置の主要部の構成を示すブロック
図である。
監視装置を含む処理装置の主要部の構成を示すブロック
図である。
【図２】図１におけるタイマの構成の一例を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る動作開始指示
監視装置の動作を示す流れ図である。
監視装置の動作を示す流れ図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る動作開始指示
監視装置を含む処理装置の主要部の構成を示すブロック
図である。
監視装置を含む処理装置の主要部の構成を示すブロック
図である。
１…被処理物、２…セット部、３…スタートスイッチ、
４…制御装置、１１…センサ、１２…タイマ、１３…ア
ラーム出力装置
４…制御装置、１１…センサ、１２…タイマ、１３…ア
ラーム出力装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０５Ｂ 23/02 ３０１ Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｚ Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｇ０５Ｂ 19/05 Ｊ
Claims (1)
- 【請求項１】 被処理物の処理動作開始を指示するため
の動作開始指示手段を有し、この動作開始指示手段によ
って処理動作開始が指示されたときに、所定位置に配置
された被処理物の処理動作を開始する処理装置に用いら
れ、 被処理物が前記所定位置に配置されたことを検知する検
知手段と、 この検知手段によって被処理物が前記所定位置に配置さ
れたことが検知されてから所定時間内に、前記動作開始
指示手段によって処理動作開始が指示されたか否かを監
視する監視手段と、 この監視手段によって前記所定時間内に処理動作開始が
指示されなかったことが認識された場合に、処理動作開
始が指示されていない旨を通知する通知手段とを備えた
ことを特徴とする処理装置における動作開始指示監視装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17597096A JPH103304A (ja) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 処理装置における動作開始指示監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17597096A JPH103304A (ja) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 処理装置における動作開始指示監視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH103304A true JPH103304A (ja) | 1998-01-06 |
Family
ID=16005438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17597096A Pending JPH103304A (ja) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 処理装置における動作開始指示監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH103304A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010140978A (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-24 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| JP2014131069A (ja) * | 2014-02-26 | 2014-07-10 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法及び半導体装置の製造方法 |
| JP2016038775A (ja) * | 2014-08-08 | 2016-03-22 | 株式会社東芝 | 監視装置及び監視プログラム |
| CN106774278A (zh) * | 2017-01-22 | 2017-05-31 | 郑州云海信息技术有限公司 | 一种检测整机柜开关机管理功能可靠性的方法 |
-
1996
- 1996-06-14 JP JP17597096A patent/JPH103304A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010140978A (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-24 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| JP2014131069A (ja) * | 2014-02-26 | 2014-07-10 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法及び半導体装置の製造方法 |
| JP2016038775A (ja) * | 2014-08-08 | 2016-03-22 | 株式会社東芝 | 監視装置及び監視プログラム |
| CN106774278A (zh) * | 2017-01-22 | 2017-05-31 | 郑州云海信息技术有限公司 | 一种检测整机柜开关机管理功能可靠性的方法 |
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