JP2014131069A - 基板処理装置、基板処理装置の制御方法及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を処理する処理系と、複数のステップを処理系に順次実行させるように処理系を制御する制御部と、処理系によるステップの進行状態を操作画面に表示する操作部とを備え、制御部は、所定のステップの実行を開始してからの経過時間が、ステップの実行に予め割り当てられた許容時間を超過したら、許容時間を超過した旨を示すアラームメッセージを操作部に送信する。
【選択図】 図9
Description
本実施形態に係る基板処理装置は、一例として、半導体装置(ICやDRAM等)の製造方法における基板処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。また、本実施形態に係る基板処理装置は、基板に例えば酸化処理、拡散処理、CVD処理などを行なう縦型の処理装置として構成されている。
ャージ)したりすることが可能なように構成されている。ボート217は、複数枚のウエハ200を水平姿勢で多段に積層した状態で保持するように構成されている。
続いて、上述の基板処理装置により実施される半導体装置の製造工程の一工程としての基板処理工程について説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置が備える制御部の動作を例示するフロー図である。図2は、本発明の一実施形態に係る基板処理工程を例示するフロー図である。
まず、ステップに停滞が発生していない通常時の基板処理工程について説明する。
上述した通り、基板処理装置の不具合や誤動作等により、各ステップ(S10〜S50)の進行が停滞してしまう場合があった。
本実施形態によれば、以下に示す1つ又は複数の効果を奏する。
図3は、搬入(Boat Load)ステップ(S10)の経過時間が許容時間を超過したときの基板処理装置の動作を例示するフロー図である。
図4は、搬入(Boat Load)ステップ(S10)の経過時間が許容時間を超過したときの基板処理装置の他の動作を例示するフロー図である。
図5は、減圧(Slow Vac.及びLeak Check)ステップ(S20)の経過時間が許容時間を超過したときの基板処理装置の動作を例示するフロー図である。
図6は、搬出(Boat Unload)ステップ(S50)の経過時間が許容時間を超過したときの基板処理装置の動作を例示するフロー図である。
以下に本発明の好ましい態様について付記する。
基板を処理する処理系と、
複数のステップを前記処理系に順次実行させるように前記処理系を制御する制御部と、
前記処理系による前記ステップの進行状態を操作画面に表示する操作部と、
を備える基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記複数のステップのうち所定のステップの実行を前記処理系に開始させたら、次のステップの実行を前記処理系に開始させることなく前記ステップの実行完了を待機すると共に、前記所定のステップの実行を開始してからの経過時間が、前記ステップの実行に予め割り当てられた許容時間を超過したら、前記許容時間を超過した旨を示すアラームメッセージを前記操作部に送信する基板処理装置が提供される。
前記制御部は、
基板を保持した基板保持具を待機温度に保持された処理炉内に搬入する搬入ステップと、
前記処理炉内を大気圧から処理圧力へと減圧させる減圧ステップと、
前記処理炉内に処理ガスを供給して前記基板を処理する成膜ステップと、
前記処理炉内を処理圧力から大気圧へと復帰させる大気圧復帰ステップと、
前記処理後の基板を保持した基板保持具を前記処理炉内から搬出する搬出ステップと、
を前記処理系に順次実行させるように前記処理系を制御する。
前記制御部は、前記アラームメッセージを受信したらHOLD時間を監視し、一定時間経過後にアラーム条件テーブル内のエラー処理を実行するように前記処理系を制御する。
基板を処理する処理系と、
前記処理系に複数のステップを順次実行させるように前記処理系を制御する制御部と、
前記処理系による前記基板の処理状態を操作画面に表示する操作部と、
を備える基板処理装置により実施される半導体装置の製造方法であって、
前記制御部は、
前記複数のステップのうち所定のステップの実行を前記処理系に開始させたら、次のステップの実行を開始させることなく前記所定のステップの実行完了を待機すると共に、前記所定のステップの実行を開始してからの経過時間が、前記ステップの実行に予め割り当てられた許容時間を超過したら、前記許容時間を超過した旨を示すアラームメッセージを前記操作部に送信する半導体装置の製造方法が提供される。
上記の実施形態では基板処理装置の一例として半導体製造装置を示しているが、半導体製造装置に限らず、LCD装置のようなガラス基板を処理する装置であってもよい。また、基板処理の具体的内容は不問であり、成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等の処理であってもよい。また、成膜処理は、例えばCVD、PVD、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理であってもよい。また、他の基板処理装置(露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置、プラズマを利用したCVD装置等)にも好適に適用可能である。
2 操作部
3 制御部
7 モニタ(操作画面)
7w 待機モニタ画面(ステップを強制終了させるか否かの選択を促す画面)
100 処理系
200 ウエハ(基板)
Claims (11)
- 複数のステップで構成されているプロセスレシピ及び前記ステップ毎に予め設定されている許容時間とアラーム発生時に実行されるリカバリー処理が定義されているアラーム条件テーブルを実行するよう制御する制御部を備えた基板処理装置であって、
前記制御部は、前記プロセスレシピ実行中、前記複数のステップのうち所定のステップを開始してから前記所定のステップの実行完了を待っている間に、前記所定のステップに設定された設定時間を経過した時間が前記許容時間を超過したら、前記アラームが発生した前記所定のステップに応じて前記アラーム条件テーブルに定義されている所定のリカバリー処理を実行する基板処理装置。 - 複数のステップで構成されているプロセスレシピ及びステップ毎に予め設定されている許容時間とアラーム発生時に実行されるリカバリー処理が定義されているアラーム条件テーブルを実行するよう制御する制御部を備えた基板処理装置の制御方法であって、
前記制御部は、前記プロセスレシピ実行中、前記複数のステップのうち所定のステップを開始してから前記所定のステップの実行完了を待っている間に、前記所定のステップの設定時間を経過した時間が前記許容時間を超過したら、前記アラームが発生した前記所定のステップに応じて、前記アラーム条件テーブルに定義されている所定のリカバリー処理を実行する基板処理装置の制御方法。 - 複数のステップで構成されているプロセスレシピ及びステップ毎に予め設定されている許容時間とアラーム発生時に実行されるリカバリー処理が定義されているアラーム条件テーブルを実行するよう制御して基板を処理する基板処理工程を備えた半導体装置の製造方法であって、
前記基板処理工程では、前記プロセスレシピ実行中、前記複数のステップのうち所定のステップを開始してから前記所定のステップの実行完了を待っている間に、前記所定のステップの設定時間を経過した時間が前記許容時間を超過したら、前記アラームが発生した前記所定のステップに応じて前記アラーム条件テーブルに定義されている所定のリカバリー処理を実行する半導体装置の製造方法。 - 前記リカバリー処理のうち、前記所定のステップの再実行処理、または、前記所定のステップから指定したステップへジャンプさせる処理を選択して実行する請求項1の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記リカバリー処理として前記所定のステップを再実行し、前記アラームの発生要因が解消されると前記所定のステップの次に実行されるステップを実行させる請求項1の基板処理装置。
- 前記リカバリー処理は、ステップの再実行処理、ブザーを鳴動させる処理、レシピを終了させる処理、アラームレシピを実行する処理、指定したステップへジャンプさせる処理、装置を停止する処理、他のステップへ移行させる処理のうち少なくともいずれか一つの処理を含む請求項1の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記リカバリー処理を実行すると共に、前記許容時間を超過した旨のアラームメッセージを通知する請求項1の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記リカバリー処理を終了後、前記プロセスレシピに戻り、前記プロセスレシピを終了させる請求項1の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記プロセスレシピを終了させた後、次に実行されるプロセスレシピの実行を一時停止させる請求項8の基板処理装置。
- 前記リカバリー処理は、各ステップに応じて前記許容時間が異なる請求項1の基板処理装置。
- 前記リカバリー処理は、各ステップで発生するエラーに応じて、異なる処理が選択される請求項1の基板処理装置。
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