JPH0526952A - 電気特性検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 稼働効率と信頼度の維持とを両立させること
ができる電気特性検査装置を提供する。 【構成】 自己診断装置１８を備えているＩＣの電気特
性検査装置１０において、検査休止判定部２０が設けら
れ、この判定部２０による検査休止判定により前記自己
診断装置１８が診断作業を自動的に実行するように構成
されている。 【効果】 自己診断作業は検査休止時間に実行されるた
め、ＩＣの電気特性検査装置１０における稼働効率は低
下しない。また、自己診断作業は検査休止の判定により
自動的に実行されるため、自己診断作業のし忘れや、人
為判断のミスまたは恣意的な自己診断作業の回避等々の
人為判断介在による信頼度の低下は防止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電気特性検査装置、特
に、自己診断装置を備えている電気特性検査装置に関
し、例えば、半導体装置の製造工程において、製造され
た半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）に対して
良品不良品の選別検査を実行するのに利用して有効なも
のに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程において、製造さ
れたＩＣに対して良品不良品の選別検査を実行する電気
特性検査装置として、被検査物としてのＩＣが電気的に
接続されるテスティングボードと、テスティングボード
にＩＣを順次受け渡すハンドリング装置と、テスティン
グボードを介してＩＣに順次電気的に接続される複数台
の計測モジュールと、これらを統括する中央処理ユニッ
ト（以下、ＣＰＵという。）とを備えているものがあ
る。このような電気特性検査装置においては、検査の信
頼度等を維持するために自己診断装置が組み込まれてい
る。

【０００３】そして、従来の電気特性検査装置において
は、自己診断装置は次のような方法により、自己診断作
業を実行するように構成されている。

【０００４】 前回の自己診断作業実行時点から、予
め設定された時間が経過すると、タイマにより自動的に
今回の自己診断作業が開始される。

【０００５】 計測モジュール等の温度が予め設定さ
れた危険温度を超過した際、温度センサの検出結果に基
づいて自動的に自己診断作業が開始される。

【０００６】 監視者の任意な判断により、適当な時
期に人為的に自己診断作業開始指令を受けて、開始され
る。

【０００７】なお、電気特性検査装置を述べてある例と
しては、株式会社工業調査会発行「電子材料１９９０年
１０月号別冊」１９９０年１０月２０日発行 Ｐ１１３
〜Ｐ１２９、がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記
およびの方法においては、電気特性検査装置の状況に
無関係に自己診断作業が開始されてしまうため、検査作
業が途中で中断され、電気特性検査装置の稼働効率が低
下されてしまうという問題点がある。

【０００９】また、前記の方法においては、電気特性
検査装置の稼働効率は維持することができるが、電気特
性検査装置の信頼度の維持が不充分になる可能性がある
という問題点がある。

【００１０】本発明の目的は、稼働効率と信頼度の維持
とを両立させることができる電気特性検査装置を提供す
ることにある。

【００１１】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１３】すなわち、自己診断装置を備えている電気
特性検査装置において、検査休止判定部が設けられ、こ
の判定部による検査休止判定により前記自己診断装置が
診断作業を自動的に実行するように構成されていること
を特徴とする。

【００１４】

【作用】前記した手段によれば、自己診断作業は検査休
止時間に実行されるため、電気特性検査装置の稼働効率
は低下しない。

【００１５】また、自己診断作業は検査休止の判定によ
り自動的に実行されるため、自己診断作業指令のし忘れ
や、人為判断のミスまたは恣意的な自己診断作業の回避
等々の人為判断介在による信頼度の低下は防止されるこ
とになる。

【００１６】

【実施例】図１は本発明の一実施例である電気特性検査
装置を示すブロック図、図２は自己診断作業と検査作業
との関係を示すステップ図、図３は検査休止判定作業を
示すフローチャート図である。

【００１７】本実施例において、本発明に係る電気特性
検査装置は、ＩＣの良品不良品を選別検査するものとし
て構成されている。このＩＣの電気特性検査装置１０
は、被検査物としてのＩＣ１が電気的に接続されるテス
ティングボード（以下、ボードという。）１１と、ボー
ド１１に被検査物としてのＩＣ１を順次受け渡すハンド
リング装置１２と、ボード１１を介してＩＣ１に順次電
気的に接続される複数台の計測モジュール１３と、各計
測モジュール１３をボード１１に電気的に接続するスイ
ッチ１４と、これらを統括する中央処理ユニット（以
下、ＣＰＵという。）１５とを備えており、これらは電
気回路または通信回路により互いに接続されている。そ
して、ボード１１、ハンドリング装置１２、各計測モジ
ュール１３、スイッチ１４およびＣＰＵ１５の一部によ
り検査作業実行部が実質的に構成されている。

【００１８】ＣＰＵ１５には入力装置１６および出力装
置１７が電気的または通信的に接続されている。入力装
置１６は被検査物であるＩＣ１の製品名や数量等の被検
査物に関するデータ（以下、製品データということがあ
る。）を、ＣＰＵ１５に入力するものとして構成されて
いる。ＣＰＵ１５はこの入力データに基づいてそのＩＣ
１についての検査条件に関するデータ（以下、条件デー
タということがある。）を読み出し、各計測モジュール
１３に適宜送信する。出力装置１７は検査結果データを
モニタやプリンタ等により出力するようになっており、
検査結果データはＣＰＵ１５により送信されて来る。

【００１９】さらに、ＣＰＵ１５には自己診断装置１８
およびキャリブレーション用基準器１９が接続されてい
る。自己診断装置１８はＣＰＵ１５の指令により、キャ
リブレーション用基準器１９の基準データと、各計測モ
ジュール１３の現在の条件データとを比較して検査基準
値や能力等が低下ないしは悪化していないか、また、ど
の程度低下しているかを診断し、必要があれば治療を施
して、検査の信頼度を維持せしめるように構成されてい
る。

【００２０】本実施例において、ＣＰＵ１５には検査休
止判定部２０がプログラミングされており、この検査判
定部２０は入力装置１６、出力装置１７、ハンドリング
装置１２および各計測モジュール１３等の各種データに
基づいて、後述するような作業により、検査休止期間を
判定するように構成されている。

【００２１】次に作用を説明する。図２に示されている
ように、ＩＣ１について検査作業が開始されるに際し
て、これから検査されるＩＣ１の製品名や検査個数等の
被検査物に関する製品データが、入力装置１６によりＣ
ＰＵ１５に入力される。

【００２２】この被検査物に関する製品データに基づい
て、ＣＰＵ１５は予め記憶されているデータを読み出
し、所要の検査条件データを設定し、各計測モジュール
１３やハンドリング装置１２およびスイッチ１４に適宜
送信することにより、検査作業を実行せしめる。

【００２３】他方、被処理物に関する製品データが入力
されると、図３に示されているように、検査休止判定部
２０はＣＰＵ１５に入力された製品データに基づいて、
これから検査が実行される当該ＩＣ１についての総検査
所要時間を算出するとともに、タイマを始動させる。

【００２４】その後、全てのＩＣ１について所定の検査
作業が終了すると、被処理物としてのＩＣ１の製品切換
作業（以下、製品切換作業ということがある。）実施さ
れる。この製品切換作業中は、電気特性検査装置１０は
休止することになる。すなわち、実質的に非稼働の状態
になる。そして、本実施例においては、この休止期間中
に自己診断作業が実行される。

【００２５】すなわち、検査作業が終了した時、図３に
示されているように、検査休止判定部２０におけるタイ
マは「０」になる。

【００２６】タイマが「０」になると、まず、検査休止
判定部２０はハンドリング装置１２に対してＣＰＵ１５
からスタート指令が送信されているか否か、を確認す
る。スタート指令が送信されている場合は、ハンドリン
グ装置１２によりＩＣ１がボード１１に受け渡されてい
る状況にあるため、検査作業が実行されていることを意
味する。したがって、確認ルーチンが繰り返される。

【００２７】スタート指令が送信されていない場合に
は、検査休止判定部２０はタイマを始動させるととも
に、タイマの積算が予め設定されたハンドリング休止時
間、例えば、５分間になったか否かの確認作業、を開始
する。ここで、ハンドリング装置１２は製品切換作業期
間中以外は殆ど休むことなく稼働しており、ハンドリン
グ装置１２が長時間休止している時期は、製品切換作業
中であると判定することができる。そして、このハンド
リング装置１２の休止時間は、経験則やＩＣの電気特性
検査装置１０の仕様により予め求めることが可能であ
る。したがって、本実施例において、ハンドリング装置
１２が５分間継続休止している状態は、製品切換作業期
間中であることが確認される。

【００２８】検査作業が終了すると、検査結果データが
出力装置１７により出力されるのが通常である。そこ
で、検査休止判定部２０は検査結果データについての出
力指令がＣＰＵ１５から送信されているか否を確認す
る。検査結果データが出力されている場合には、検査作
業は終了していることを意味するので、検査休止判定部
２０は自己診断装置１８に自己診断作業を開始させる。

【００２９】そして、自己診断作業は、電気通信的に実
行されるため、機械的な作業等を伴う製品切換作業に比
べて、遙かに短時間に終了する。自己診断作業が終了
し、診断結果に異常がない場合には、自己診断装置１８
は異常がない旨をＣＰＵ１５に送信する。

【００３０】その後、製品切換作業が終了すると、再
び、入力装置１６により被検査物に関する製品データが
ＣＰＵ１５に入力され、以降、前記作業が繰り返される
ことにより、自己診断作業が検査作業の間の休止期間に
自動的に随時実行されることになる。

【００３１】なお、自己診断装置１８による自己診断作
業により、異常が発見されなかった場合には前述した通
り、次回の検査作業に自動的に移行することができる。
しかし、異常が発見され、しかも、自己治療不能の場合
には、自己診断装置１８からの異常発見信号により、Ｃ
ＰＵ１５はその後の検査作業を停止する。これにより、
検査の信頼度が維持されることになる。

【００３２】人為的な作業による治療後、ＩＣの電気特
性検査装置１０は人為的な操作または自動的に前述した
元の作業の流れに戻される。

【００３３】前記実施例によれば次の効果が得られる。 検査休止判定部が設けられ、この判定部の検査休止
判定に基づいて自己診断装置が自動的に診断作業を実行
するように構成することにより、自己診断作業は検査休
止時間に実行されるため、電気特性検査装置の稼働効率
が低下するのを防止することができる。

【００３４】 自己診断作業は検査休止の判定により
自動的に実行されるため、自己診断作業のし忘れや、人
為判断のミスまたは恣意的な自己診断作業の回避等々の
人為判断介在による信頼度の低下を防止することができ
る。

【００３５】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００３６】例えば、検査休止判定部２０は、ＩＣの電
気特性検査装置１０全体の検査休止を判定するように構
成するに限らず、各計測モジュール１３毎に検査休止を
判定するように構成してもよい。

【００３７】また、自己診断装置１８は、１回の検査休
止判定によりＩＣの電気特性検査装置１０全体について
の診断作業を実行するように構成するに限らず、１回の
検査休止判定毎に各計測モジュール１３のそれぞれにつ
いて診断作業を順次実行して行くように構成してもよ
い。

【００３８】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるＩＣの
電気特性検査技術に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、半導体ウエハに作り込
まれた半導体装置やトランジスタ等について電気特性検
査を実施するウエハプローバ等、さらには、電子機器や
電子装置についての電気特性検査装置全般に適用するこ
とができる。

【００３９】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００４０】自己診断作業は検査休止時間に実行される
ため、電気特性検査装置の稼働効率の低下を防止するこ
とができる。また、自己診断作業は検査休止の判定によ
り自動的に実行されるため、自己診断作業のし忘れや、
人為判断のミスまたは恣意的な自己診断作業の回避等々
の人為判断介在による信頼度の低下を防止することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるＩＣの電気特性検査装
置を示すブロック図である。

【図２】自己診断作業と検査作業との関係を示すステッ
プ図である。

【図３】検査休止判定作業を示すフローチャート図であ
る。

【符合の説明】

１…ＩＣ（被検査物）、１０…ＩＣの電気特性検査装
置、１１…テスティングボード、１１２…ハンドリング
装置、１３…計測モジュール、１４…スイッチ、１５…
中央処理ユニット（ＣＰＵ）、１６…入力装置、１７…
出力装置、１８…自己診断装置、１９…キャリブレーシ
ョン用基準器、２０…検査休止判定部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 自己診断装置を備えている電気特性検査
   装置において、 検査休止判定部が設けられ、この判定部による検査休止
   判定により前記自己診断装置が診断作業を自動的に実行
   するように構成されていることを特徴とする電気特性検
   査装置。
2. 【請求項２】 前記検査休止判定部は、被検査物に関す
   るデータ入力作業の有無、検査結果データの出力作業の
   有無、および、被検査物の移送作業の有無に基づいて検
   査休止を判定するように構成されていることを特徴とす
   る請求項１記載の電気特性検査装置。
3. 【請求項３】 前記検査休止判定部は、検査作業実行部
   の一部についての休止を判定するように構成されている
   ことを特徴とする請求項１記載の電気特性検査装置。