JPH09319622A - 異常停止プログラム検出方法 - Google Patents
異常停止プログラム検出方法Info
- Publication number
- JPH09319622A JPH09319622A JP13145296A JP13145296A JPH09319622A JP H09319622 A JPH09319622 A JP H09319622A JP 13145296 A JP13145296 A JP 13145296A JP 13145296 A JP13145296 A JP 13145296A JP H09319622 A JPH09319622 A JP H09319622A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- program
- time
- abnormal stop
- processing
- acquired
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Debugging And Monitoring (AREA)
- Programmable Controllers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 システム全体に影響を及ぼす前に異常停止し
ているプログラムを検出する。 【解決手段】 異常停止監視プログラムをスタートした
後、まずステップＳ３１で現在時刻を取得する。ステッ
プＳ３２で各プログラムが予め定めた時間内に更新され
なかったかを監視する異常停止監視用データベースより
データを取得する。このステップＳ３２で取得したデー
タの時刻と現在時刻とをステップＳ３３で比較し、その
比較結果から経過時間が規定時間を超えているかどうか
により異常停止かを判定し、異常停止してプログラムを
特定する。ステップＳ３３で異常と判定されたならステ
ップＳ３４で既に異常中であるかを判断する。ステップ
Ｓ３４の判定で「Ｙ］ならステップＳ３５の処理に進
み、ここで全対象プログラムの判定は終了したかを判断
し、終了していないときには、ステップＳ３２から再び
処理を行う。終了していれば異常停止監視プログラムの
処理を終える。
ているプログラムを検出する。 【解決手段】 異常停止監視プログラムをスタートした
後、まずステップＳ３１で現在時刻を取得する。ステッ
プＳ３２で各プログラムが予め定めた時間内に更新され
なかったかを監視する異常停止監視用データベースより
データを取得する。このステップＳ３２で取得したデー
タの時刻と現在時刻とをステップＳ３３で比較し、その
比較結果から経過時間が規定時間を超えているかどうか
により異常停止かを判定し、異常停止してプログラムを
特定する。ステップＳ３３で異常と判定されたならステ
ップＳ３４で既に異常中であるかを判断する。ステップ
Ｓ３４の判定で「Ｙ］ならステップＳ３５の処理に進
み、ここで全対象プログラムの判定は終了したかを判断
し、終了していないときには、ステップＳ３２から再び
処理を行う。終了していれば異常停止監視プログラムの
処理を終える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、コンピュータを
使用したシステム内における、複数のプログラムの内の
１つのプログラムの異常が、他のプログラムにも及ばな
いように、異常プログラムを特定して対処するようにし
た異常停止プログラム検出方法に関する。
使用したシステム内における、複数のプログラムの内の
１つのプログラムの異常が、他のプログラムにも及ばな
いように、異常プログラムを特定して対処するようにし
た異常停止プログラム検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータを使用したシステムにおい
て、あるプログラムが途中停止した場合、そのプログラ
ムに関連する他のプログラムが実行不可能になることが
ある。このような状態に陥った場合、通常システムを再
起動するか、または関連する１つ、または複数のプログ
ラムを再起動して対処する手段を取っていた。
て、あるプログラムが途中停止した場合、そのプログラ
ムに関連する他のプログラムが実行不可能になることが
ある。このような状態に陥った場合、通常システムを再
起動するか、または関連する１つ、または複数のプログ
ラムを再起動して対処する手段を取っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のようにあるプロ
グラムが途中停止するような場合、プログラムに異常が
あることが多い。このようなときに１つのプログラムの
異常が原因で、他のプログラムが影響されて、システム
の動作が停止してしまうことがある。これはプログラム
の異常があった場合、そのまま長時間放置しておくと、
複数のプログラムにも異常が波及してしまうからであ
る。このようになった場合、原因を究明することは困難
となり、何のプログラムが原因かも不明になるケースが
多い。この根本原因は、異常となった１つのプログラム
を早期に検出できないことにあるからである。
グラムが途中停止するような場合、プログラムに異常が
あることが多い。このようなときに１つのプログラムの
異常が原因で、他のプログラムが影響されて、システム
の動作が停止してしまうことがある。これはプログラム
の異常があった場合、そのまま長時間放置しておくと、
複数のプログラムにも異常が波及してしまうからであ
る。このようになった場合、原因を究明することは困難
となり、何のプログラムが原因かも不明になるケースが
多い。この根本原因は、異常となった１つのプログラム
を早期に検出できないことにあるからである。
【０００４】この発明は上記の事情に鑑みてなされたも
ので、システム全体に影響を及ぼす前に異常停止してい
るプログラムを検出し、かつ特定できるようにした異常
停止プログラム検出方法を提供することを課題とする。
ので、システム全体に影響を及ぼす前に異常停止してい
るプログラムを検出し、かつ特定できるようにした異常
停止プログラム検出方法を提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を達成するために、第１発明は、処理プログラムの異常
停止を監視するとともに、一定時間の周期または必要な
とき起動される異常停止監視プログラムを起動させた
後、現在時刻を取得するとともに、前記処理プログラム
の内、予め定めた時間内に更新されなかったかどうかを
監視する監視用データベースよりデータを取得し、取得
したデータの時刻と前記現在時刻とを比較し、この比較
結果から異常停止を判定するための経過時間が超えてい
たなら処理プログラムは異常停止していると判定するこ
とを特徴とするものである。
を達成するために、第１発明は、処理プログラムの異常
停止を監視するとともに、一定時間の周期または必要な
とき起動される異常停止監視プログラムを起動させた
後、現在時刻を取得するとともに、前記処理プログラム
の内、予め定めた時間内に更新されなかったかどうかを
監視する監視用データベースよりデータを取得し、取得
したデータの時刻と前記現在時刻とを比較し、この比較
結果から異常停止を判定するための経過時間が超えてい
たなら処理プログラムは異常停止していると判定するこ
とを特徴とするものである。
【０００６】第２発明は、前記データの時刻と現在時刻
とを比較するときに、プログラムステータスと今回のス
テータスが同じであった場合も異常停止であるとするこ
とを特徴とするものである。
とを比較するときに、プログラムステータスと今回のス
テータスが同じであった場合も異常停止であるとするこ
とを特徴とするものである。
【０００７】第３発明は、前記経過時間は処理プログラ
ム毎にそれぞれ異なることを特徴とするものである。
ム毎にそれぞれ異なることを特徴とするものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図面
に基づいて説明するに当たり、まず、異状停止の監視対
象プログラムを、一例として地震を監視するシステムに
適用した場合について述べる。このシステムは、震度計
の計測値を５秒に１回取り込み、その計測値を保存する
とともに、保存済みの計測値をマウス操作によりＣＲＴ
画面へ一覧表示する機能と、プリントアウトする機能を
有している。この機能を実現させるために、次のような
プログラムを作成する。
に基づいて説明するに当たり、まず、異状停止の監視対
象プログラムを、一例として地震を監視するシステムに
適用した場合について述べる。このシステムは、震度計
の計測値を５秒に１回取り込み、その計測値を保存する
とともに、保存済みの計測値をマウス操作によりＣＲＴ
画面へ一覧表示する機能と、プリントアウトする機能を
有している。この機能を実現させるために、次のような
プログラムを作成する。
【０００９】 プログラムＡ：震度計監視 プログラムＢ：操作管理 プログラムＣ：記録 プログラムＤ：プリンタ出力 プログラムＥ：異常停止監視 上記それぞれのプログラムの処理は次のような内容であ
る。
る。
【００１０】プログラムＡ：５秒に１回、震度計の計測
値を取り込み、その計測値をプログラムＣに通知する、 プログラムＢ：オペレータによるマウス入力を受け付け
る。クリック項目が画面表示ならば、画面表示を行い、
クリック項目がプリントアウトならばプログラムＤを起
動する、 プログラムＣ：プログラムＡからの計測値を記録として
データに保存する、 プログラムＤ：プログラムＢから起動され保存データを
プリントアウトする、 プログラムＥ：１分間に１回起動され、プログラムＡ，
Ｂ，Ｃ，Ｄの異常停止を監視する。
値を取り込み、その計測値をプログラムＣに通知する、 プログラムＢ：オペレータによるマウス入力を受け付け
る。クリック項目が画面表示ならば、画面表示を行い、
クリック項目がプリントアウトならばプログラムＤを起
動する、 プログラムＣ：プログラムＡからの計測値を記録として
データに保存する、 プログラムＤ：プログラムＢから起動され保存データを
プリントアウトする、 プログラムＥ：１分間に１回起動され、プログラムＡ，
Ｂ，Ｃ，Ｄの異常停止を監視する。
【００１１】上記プログラムＡ〜Ｄにそれぞれ記した処
理が、プログラム固有の処理であり、このプログラム固
有の処理の内、プログラムＡ〜Ｃは図１に示すフローチ
ャートのように動作され、プログラムＤは図１に示すフ
ローチャートのように動作される。これらプログラムＡ
〜Ｄは異常停止監視用データベースに格納される。な
お、プログラムＥは後述する異常停止監視プログラム
で、図３に示すこの発明の実施の形態のフローチャート
のように動作される。
理が、プログラム固有の処理であり、このプログラム固
有の処理の内、プログラムＡ〜Ｃは図１に示すフローチ
ャートのように動作され、プログラムＤは図１に示すフ
ローチャートのように動作される。これらプログラムＡ
〜Ｄは異常停止監視用データベースに格納される。な
お、プログラムＥは後述する異常停止監視プログラム
で、図３に示すこの発明の実施の形態のフローチャート
のように動作される。
【００１２】まず、プログラムＡの動作を図１により述
べる。プログラム開始時に、ステップＳ１で異常停止監
視用データベースの起動時刻をクリア処理すると、ステ
ップＳ２で５秒の起動待ち処理になる。５秒後にプログ
ラムが起動され、現在時刻をステップＳ３で起動時刻に
セットした後、ステップＳ４で前述したプログラムＡ固
有の処理を行った後、再びステップＳ１に戻って起動時
刻のクリア処理をした後、ステップＳ２の５秒の起動待
ちになる。
べる。プログラム開始時に、ステップＳ１で異常停止監
視用データベースの起動時刻をクリア処理すると、ステ
ップＳ２で５秒の起動待ち処理になる。５秒後にプログ
ラムが起動され、現在時刻をステップＳ３で起動時刻に
セットした後、ステップＳ４で前述したプログラムＡ固
有の処理を行った後、再びステップＳ１に戻って起動時
刻のクリア処理をした後、ステップＳ２の５秒の起動待
ちになる。
【００１３】次にプログラムＢの動作も同様に図１にお
いて、まず、ステップＳ１で異常停止監視用データベー
スの起動時刻をクリア処理すると、ステップＳ２でマウ
ス入力待ちになる。マウス入力があれば起動され、現在
時刻をステップＳ３で起動時刻にセットした後、ステッ
プＳ４のプログラムＢ固有の処理を行ってから、上記と
同様にステップＳ１に戻って、起動時刻をクリアし、マ
ウス入力待ちになる。最後に、プログラムＣの動作も上
記と同様に図１において述べると、まず、ステップＳ１
でプログラム開始時に異常停止監視用データベースの起
動時刻をクリアした後、ステップＳ２でプログラムＡか
らの通知待ちになる。通知があれば起動され、ステップ
Ｓ３において、現在時刻を起動時刻にセットする。その
後、ステップＳ４でプログラムＣ固有の処理を行ってか
ら、上記と同様にステップＳ１に戻って、起動時刻をク
リアし、通知待ちになる。
いて、まず、ステップＳ１で異常停止監視用データベー
スの起動時刻をクリア処理すると、ステップＳ２でマウ
ス入力待ちになる。マウス入力があれば起動され、現在
時刻をステップＳ３で起動時刻にセットした後、ステッ
プＳ４のプログラムＢ固有の処理を行ってから、上記と
同様にステップＳ１に戻って、起動時刻をクリアし、マ
ウス入力待ちになる。最後に、プログラムＣの動作も上
記と同様に図１において述べると、まず、ステップＳ１
でプログラム開始時に異常停止監視用データベースの起
動時刻をクリアした後、ステップＳ２でプログラムＡか
らの通知待ちになる。通知があれば起動され、ステップ
Ｓ３において、現在時刻を起動時刻にセットする。その
後、ステップＳ４でプログラムＣ固有の処理を行ってか
ら、上記と同様にステップＳ１に戻って、起動時刻をク
リアし、通知待ちになる。
【００１４】プログラムＤの動作は図２のフローチャー
トにより行われる。図２において、ステップＳ１１はプ
ログラムＢにより起動され、現在時刻を起動時刻にセッ
トする処理で、この処理がセットされたなら、ステップ
Ｓ１２のプログラムＤ固有の処理を行う。（例えば、プ
リントアウトは１枚出力する毎にステータスにその出力
済枚数をセットし、全て出力したらステータスをクリア
することとする。）ステップＳ１２の処理が終了したな
ら、起動時刻をステップＳ１３でクリアし、プログラム
は終了する。
トにより行われる。図２において、ステップＳ１１はプ
ログラムＢにより起動され、現在時刻を起動時刻にセッ
トする処理で、この処理がセットされたなら、ステップ
Ｓ１２のプログラムＤ固有の処理を行う。（例えば、プ
リントアウトは１枚出力する毎にステータスにその出力
済枚数をセットし、全て出力したらステータスをクリア
することとする。）ステップＳ１２の処理が終了したな
ら、起動時刻をステップＳ１３でクリアし、プログラム
は終了する。
【００１５】上記図１におけるプログラムＡは５秒待ち
の間は、起動時刻はクリアされており、処理中は起動時
刻に起動開始時刻がセットされていることになる。よっ
て通常５秒周期で起動時刻は更新されるが、いつまでた
っても起動時刻が更新されていなければ、プログラムは
処理の途中で停止していることになる。この動作により
異常停止しているプログラムが監視できる。なお、プロ
グラムＢ，Ｃも同様にして判定することができる。しか
し、プログラムＤの場合は、プリントアウトの枚数が多
くなると、処理に時間がかかるため、起動時刻が更新さ
れていないという理由だけでは、処理が異常停止してい
るとは言えない。このため、このプログラムＤの場合
は、ステータスの値（プリントアウト済枚数）も更新さ
れていないことを条件に付け加えて考えなくてはならな
い。例えば、１枚のプリントアウトが２０秒かかるとし
た場合、２分間たっても起動時刻とステータスが更新さ
れていなければ、明らかに異常であると判断することに
よって、プログラムＤの異常停止の監視ができる。
の間は、起動時刻はクリアされており、処理中は起動時
刻に起動開始時刻がセットされていることになる。よっ
て通常５秒周期で起動時刻は更新されるが、いつまでた
っても起動時刻が更新されていなければ、プログラムは
処理の途中で停止していることになる。この動作により
異常停止しているプログラムが監視できる。なお、プロ
グラムＢ，Ｃも同様にして判定することができる。しか
し、プログラムＤの場合は、プリントアウトの枚数が多
くなると、処理に時間がかかるため、起動時刻が更新さ
れていないという理由だけでは、処理が異常停止してい
るとは言えない。このため、このプログラムＤの場合
は、ステータスの値（プリントアウト済枚数）も更新さ
れていないことを条件に付け加えて考えなくてはならな
い。例えば、１枚のプリントアウトが２０秒かかるとし
た場合、２分間たっても起動時刻とステータスが更新さ
れていなければ、明らかに異常であると判断することに
よって、プログラムＤの異常停止の監視ができる。
【００１６】次に、この発明の実施の形態である異常停
止プログラム検出方法について述べる。図３はこの発明
の実施の形態を示すフローチャートで、図３において、
異常停止監視プログラム（上記したプログラムＥ）をス
タートした後、まずステップＳ３１で現在時刻を取得す
る。ステップＳ３２で上記した各プログラムＡ〜Ｄが予
め定めた時間内に更新されなかった（プログラム処理が
途中で停止している又は永久ループに陥っている）かど
うかを監視する異常停止監視用データベースよりデータ
を取得する。このステップＳ３２で取得したデータの時
刻と現在時刻とをステップＳ３３で比較し、その比較結
果から後述する経過時間が規定時間を超えているかどう
かにより異常停止かを判定し、異常停止しているプログ
ラムを特定する。なお、ステップＳ３３では、異常停止
しているプログラムに応じて異常停止の判断を確実にす
るため、そのプログラムのステータスを管理し、状態が
遷移していないことも判断材料にしている。即ち、ステ
ップＳ３３において、プログラムステータスと今回のス
テータスが同じであった場合には、異常であると判断す
る。ここで、異常を判定するための経過時間の一例を上
記した個々のプログラムＡ〜Ｄに対して次のように設定
する。
止プログラム検出方法について述べる。図３はこの発明
の実施の形態を示すフローチャートで、図３において、
異常停止監視プログラム（上記したプログラムＥ）をス
タートした後、まずステップＳ３１で現在時刻を取得す
る。ステップＳ３２で上記した各プログラムＡ〜Ｄが予
め定めた時間内に更新されなかった（プログラム処理が
途中で停止している又は永久ループに陥っている）かど
うかを監視する異常停止監視用データベースよりデータ
を取得する。このステップＳ３２で取得したデータの時
刻と現在時刻とをステップＳ３３で比較し、その比較結
果から後述する経過時間が規定時間を超えているかどう
かにより異常停止かを判定し、異常停止しているプログ
ラムを特定する。なお、ステップＳ３３では、異常停止
しているプログラムに応じて異常停止の判断を確実にす
るため、そのプログラムのステータスを管理し、状態が
遷移していないことも判断材料にしている。即ち、ステ
ップＳ３３において、プログラムステータスと今回のス
テータスが同じであった場合には、異常であると判断す
る。ここで、異常を判定するための経過時間の一例を上
記した個々のプログラムＡ〜Ｄに対して次のように設定
する。
【００１７】 プログラムＡ〜Ｃ：１分間、プログラムＤ：２分間 このように経過時間を設定した場合、プログラムＡ〜Ｃ
の起動時刻に１分間以上前の時刻がセットされていれ
ば、プログラムＥはプログラムＡ〜Ｃを異常と判断す
る。また、プログラムＤの起動時刻に２分間以上の時刻
がセットされていて、かつ、ステータスの更新が行われ
ていなければ、プログラムＥはプログラムＤを異常と判
断する。
の起動時刻に１分間以上前の時刻がセットされていれ
ば、プログラムＥはプログラムＡ〜Ｃを異常と判断す
る。また、プログラムＤの起動時刻に２分間以上の時刻
がセットされていて、かつ、ステータスの更新が行われ
ていなければ、プログラムＥはプログラムＤを異常と判
断する。
【００１８】ステップＳ３３で異常と判定されたならス
テップＳ３４で既に異常中であるかを判断する。このス
テップＳ３４はプログラムが上記のように複数ある場合
に必要なものである。ステップＳ３４の判定で「Ｙ」な
らステップＳ３５の処理に進み、ここで全対象プログラ
ムの判定は終了したかを判断し、終了していないときに
は、ステップＳ３２から再び処理を行う。終了していれ
ば異常停止監視プログラムの処理を終える。なお、ステ
ップＳ３４で「Ｎ」なら異常処理を行ってステップＳ３
５の処理に進む。
テップＳ３４で既に異常中であるかを判断する。このス
テップＳ３４はプログラムが上記のように複数ある場合
に必要なものである。ステップＳ３４の判定で「Ｙ」な
らステップＳ３５の処理に進み、ここで全対象プログラ
ムの判定は終了したかを判断し、終了していないときに
は、ステップＳ３２から再び処理を行う。終了していれ
ば異常停止監視プログラムの処理を終える。なお、ステ
ップＳ３４で「Ｎ」なら異常処理を行ってステップＳ３
５の処理に進む。
【００１９】ステップＳ３３で正常と判断されたなら、
ステップＳ３６で再び異常中かが判定され、「Ｎ」なら
ステップＳ３５の処理に進み、「Ｙ」なら異常取り消し
処理を行ってステップＳ３５の処理を行う。
ステップＳ３６で再び異常中かが判定され、「Ｎ」なら
ステップＳ３５の処理に進み、「Ｙ」なら異常取り消し
処理を行ってステップＳ３５の処理を行う。
【００２０】上記のようにして異常停止しているプログ
ラムが特定された際には、システムに異常があったこと
をオペレータに通知するとともに、何のプログラムが異
常かを報知する。また、その異常プログラムはいつから
異常になっていたかも通知し、かつ、設定により特定さ
れたプログラムを自動的に停止し、しかも設定により自
動停止されたプログラムを自動的に再起動する。この
他、特定のプログラムの情報を自動的に取得する。
ラムが特定された際には、システムに異常があったこと
をオペレータに通知するとともに、何のプログラムが異
常かを報知する。また、その異常プログラムはいつから
異常になっていたかも通知し、かつ、設定により特定さ
れたプログラムを自動的に停止し、しかも設定により自
動停止されたプログラムを自動的に再起動する。この
他、特定のプログラムの情報を自動的に取得する。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
異常停止しているプログラムを特定できるために、この
場合、個々のプログラム単位で細かい対処が可能となる
とともに、システム全体に影響を及ぼす前に異常停止し
ているプログラムを検出できるために、調査および対応
が行い易い。また、システム全体に影響を及ぼす前にオ
ペレータに通知し、システムの使用を抑制できるため、
データの破壊等の二次的被害を少なくできる利点があ
る。
異常停止しているプログラムを特定できるために、この
場合、個々のプログラム単位で細かい対処が可能となる
とともに、システム全体に影響を及ぼす前に異常停止し
ているプログラムを検出できるために、調査および対応
が行い易い。また、システム全体に影響を及ぼす前にオ
ペレータに通知し、システムの使用を抑制できるため、
データの破壊等の二次的被害を少なくできる利点があ
る。
【図１】異常停止監視対象プログラムの処理のフローチ
ャート。
ャート。
【図２】別な異常停止監視対象プログラムの処理のフロ
ーチャート。
ーチャート。
【図３】この発明の実施の形態を示すフローチャート。
３１…現在時刻取得ステップ ３２…異常停止監視用データベースよりのデータ取得ス
テップ ３３…異常停止プログラム判断ステップ ３４…既に異常中であるかのステップ ３５…全対象プログラム判定処理ステップ
テップ ３３…異常停止プログラム判断ステップ ３４…既に異常中であるかのステップ ３５…全対象プログラム判定処理ステップ
Claims (3)
- 【請求項１】 処理プログラムの異常停止を監視すると
ともに、一定時間の周期または必要なとき起動される異
常停止監視プログラムを起動させた後、現在時刻を取得
するとともに、前記処理プログラムの内、予め定めた時
間内に更新されなかったかどうかを監視する監視用デー
タベースよりデータを取得し、取得したデータの時刻と
前記現在時刻とを比較し、この比較結果から異常停止を
判定するための経過時間が超えていたなら処理プログラ
ムは異常停止していると判定することを特徴する異常停
止プログラム検出方法。 - 【請求項２】 前記データの時刻と現在時刻とを比較す
るときに、プログラムステータスと今回のステータスが
同じであった場合も異常停止であるとすることを特徴と
する請求項１項に記載の異常停止プログラム検出方法。 - 【請求項３】 前記経過時間は、処理プログラム毎にそ
れぞれ異なることを特徴とする請求項１記載の異常停止
プログラム検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13145296A JPH09319622A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 異常停止プログラム検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13145296A JPH09319622A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 異常停止プログラム検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09319622A true JPH09319622A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15058295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13145296A Pending JPH09319622A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 異常停止プログラム検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09319622A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9437465B2 (en) | 2008-12-10 | 2016-09-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
-
1996
- 1996-05-27 JP JP13145296A patent/JPH09319622A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9437465B2 (en) | 2008-12-10 | 2016-09-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
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