JP5570468B2 - プラズマ処理装置及び残留ガスの排気方法 - Google Patents
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Description
前記チャンバと第1の排気設備とを接続すると共に排気のためのポンプと常閉の第1の排気バルブとが介設された第1の排気経路と、前記チャンバと第2の排気設備とを接続すると共に常閉の第2の排気バルブが介設された第2の排気経路と、前記チャンバを大気と連通させると共に常閉の大気導入バルブが介設された大気経路と、前記チャンバと不活性ガス源とを接続すると共に常閉の不活性ガス導入バルブが介設された不活性ガス経路と、前記第1の排気バルブ、前記第2の排気バルブ、前記大気導入バルブ、前記不活性ガス導入バルブ、前記不活性ガス源、及び前記ポンプを制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記チャンバが外部に対して密閉された状態を維持しつつ、前記不活性ガスバルブの開弁による前記不活性ガス源から前記チャンバへの前記不活性ガスの導入と、それに続く前記第1の排気バルブの開弁による前記ポンプでの前記チャンバの排気とを予め定められた回数繰り返し、前記大気導入バルブの開弁による前記チャンバへの大気の導入と、それに続く前記第1の排気バルブの開弁による前記ポンプでの前記チャンバの排気とを予め定められた回数繰り返した後、前記大気導入バルブと前記第2の排気バルブの両方を開弁する残留ガス排気処理部を備える、プラズマ処理装置を提供する。
2 基板
3 プロセスチャンバ
3a 処理室
3b 排気室
4 搬送チャンバ
4a 搬送室
5 扉
6 ロードロックチャンバ
6a ロードロック室
6b 連通口
7a,7b ケートバルブ
8 プロセスガス供給部
9 プラズマ発生手段
11a,11b,11c 排気経路
12a,12b ドライポンプ
13A,13B 排気ダクト
14a,14b,14c 排気バルブ
15 圧力調整バルブ
16 高真空ポンプ
17 真空排気経路
18 真空排気バルブ
19 搬送機構
21 ロック装置
22a,22b,22c,22d ダクト排気経路
23 ガス検出器
24a,24b,24c ダクト排気バルブ
25a,25b,25c 大気経路
26a,26b,26c 大気導入バルブ
27a,27b,27c,27d 窒素ガス経路
28 窒素ガス源
29a,29,29c 窒素ガス導入バルブ
31 制御エア経路
32 サイレンサ
33 手動バルブ
33a,33b,33c ポート
33d レバー
34 自動バルブ
35 圧縮空気源
36 手動バルブ開閉状態検出センサ
41 制御部
42 操作・入力部
43 表示部
44 報知部
45 緊急停止スイッチ
51 搬送処理部
52 プロセス処理部
53,54,55 残留ガス排気処理部
56 装置起動処理部
57 除害手段
Claims (5)
- 開閉可能なチャンバを備えるプラズマ処理装置であって、
前記チャンバと第1の排気設備とを接続すると共に排気のためのポンプと常閉の第1の排気バルブとが介設された第1の排気経路と、
前記チャンバと第2の排気設備とを接続すると共に常閉の第2の排気バルブが介設された第2の排気経路と、
前記チャンバを大気と連通させると共に常閉の大気導入バルブが介設された大気経路と、
前記チャンバと不活性ガス源とを接続すると共に常閉の不活性ガス導入バルブが介設された不活性ガス経路と、
前記第1の排気バルブ、前記第2の排気バルブ、前記大気導入バルブ、前記不活性ガス導入バルブ、前記不活性ガス源、及び前記ポンプを制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、前記チャンバが外部に対して密閉された状態を維持しつつ、
前記不活性ガスバルブの開弁による前記不活性ガス源から前記チャンバへの前記不活性ガスの導入と、それに続く前記第1の排気バルブの開弁による前記ポンプでの前記チャンバの排気とを予め定められた回数繰り返し、
前記大気導入バルブの開弁による前記チャンバへの大気の導入と、それに続く前記第1の排気バルブの開弁による前記ポンプでの前記チャンバの排気とを予め定められた回数繰り返した後、
前記大気導入バルブと前記第2の排気バルブの両方を開弁する残留ガス排気処理部を備える、プラズマ処理装置。 - 前記チャンバを閉鎖状態でロックする解除可能なロック機構と、
前記第2の排気経路により排気されるガスの濃度を検出するガス検出器と
をさらに備え、
前記残留ガス排気処理部は、前記大気導入バルブと前記第2の排気バルブの両方を開弁した後、前記ガス検出器の前記ガスの濃度の検出値を予め定められた基準値と比較し、前記検出値が前記基準値以下であれば前記ロック機構によるロックを解除する、請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1の排気バルブ、前記第2の排気バルブ、及び前記大気導入バルブはそれぞれ手動開閉機構を備える、請求項1又は請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 開閉可能なチャンバと、前記チャンバと第1の排気設備とを接続すると共に排気のためのポンプと常閉の第1の排気バルブとが介設された第1の排気経路と、前記チャンバと第2の排気設備とを接続すると共に常閉の第2の排気バルブが介設された第2の排気経路と、前記チャンバを大気と連通させると共に常閉の大気導入バルブが介設された大気経路と、前記チャンバと不活性ガス源とを接続すると共に常閉の不活性ガス導入バルブが介設された不活性ガス経路とを備えるプラズマ処理装置における残留ガスの排気方法であって、
前記チャンバが外部に対して密閉された状態を維持しつつ実行される、
前記不活性ガスバルブの開弁による前記不活性ガス源から前記チャンバへの前記不活性ガスの導入と、それに続く前記第1の排気バルブの開弁による前記ポンプでの前記チャンバの排気とを予め定められた回数繰り返す第1ステップと、
前記大気導入バルブの開弁による前記チャンバへの大気の導入と、それに続く前記第1の排気バルブの開弁による前記ポンプでの前記チャンバの排気とを予め定められた回数繰り返す第2ステップと、
前記第1ステップと前記第2ステップの後、前記大気導入バルブと前記第2の排気バルブの両方を開弁する第3ステップとを含む、残留ガスの排気方法。 - 前記チャンバを閉鎖状態でロックする解除可能なロック機構と、前記第2の排気経路より排気されるガスの濃度を検出するガス検出器とをさらに設け、
前記第3ステップ中に、前記ガス検出器の前記ガスの濃度の検出値を予め定められた基準値と比較し、前記検出値が前記基準値以下であれば前記ロック機構によるロックを解除する、請求項4に記載の残留ガスの排気方法。
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