JP5815089B2 - ガス分解システムおよびガス分解器の寿命確認方法 - Google Patents
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Description
また、基板に付着したBSPにレーザーを照射するとともに、オゾンガスを吹き付けてBSPを除去するBSP除去装置に用いられるガス分解システムであって、前記BSP除去装置のチャンバ内から前記オゾンガスを含む排ガスを排気する排気流路に設けられ、前記オゾンガスを分解するガス分解器と、前記ガス分解器の途中からまたは前記ガス分解器を経た後の前記排気流路から分岐し、前記排気流路に接続される分岐配管と、前記分岐配管に設けられた前記オゾンガスの濃度を検出するガスセンサと、前記分岐配管における前記ガスセンサの下流側であって、前記排気流路との接続部近傍に設けられた、前記分岐配管に流れる排ガスの流量を調節する流量調節弁とを具備し、前記ガスセンサが検出した前記オゾンガスの濃度をモニタすることで、前記ガス分解器が寿命に達したか否かを判断し、前記ガス分解器はオゾンキラーであることを特徴とする。
図1は本発明の一実施形態に係るガス分解システムが搭載されたBSP除去装置を示す断面図である。
MO2 + O3 → MO3 + O2 …(1)
MO3 + O3 → MO2 + 2O2 …(2)
この触媒法は、オゾンの分解効率が高いという利点がある。
図3は、ガス分解システムの他の例を示す模式図である。この例のガス分解システム40aでは、分岐配管42の代わりに、オゾンキラー41の途中から延び、排気配管31のオゾンキラー41上流側に接続する分岐配管42aを有しており、オゾンセンサ43はこの分岐配管42aに設けられ、分岐配管42aの排気配管31との接続部近傍に流量調節弁44が設けられている。このような構成においては、オゾンセンサ43によりオゾン濃度を検出した後のガスをオゾンキラー41の上流側に戻すので、再びオゾンキラー41を通過することになり、基準濃度以上のオゾンを含有する排ガスを工場の酸排気設備に流すおそれを一層小さくすることができる。この場合に、分岐配管42aは、排気配管31の下流側から上流側に流すため、オゾンセンサ43に内蔵されたまたは分岐配管42aに外置きされたポンプを用いることが好ましい。ただし、流量調節弁44による排気調整によりポンプが不要な場合もあり得る。
2;BSP
11;チャンバ
12;スピンチャック
13;回転モータ
14;BSP除去部
18;レーザー照射ヘッド
19;オゾンガス吸引ノズル
20;オゾンガス吐出ノズル
22;オゾンガス供給源
23;ゲートバルブ
31;排気配管
40;ガス分解システム
41;オゾンキラー
42,42a,42b,42c;分岐配管
43;オゾンセンサ
50;制御部
51;演算部
51a;モニタ部
54;アラーム装置
W;ウエハ
Claims (12)
- 基板に付着したBSPにレーザーを照射するとともに、オゾンガスを吹き付けてBSPを除去するBSP除去装置に用いられるガス分解システムであって、
前記BSP除去装置のチャンバ内から前記オゾンガスを含む排ガスを排気する排気流路に設けられ、前記オゾンガスを分解するガス分解器と、
前記ガス分解器の途中からまたは前記ガス分解器を経た後の前記排気流路から分岐し、前記排気流路に接続される分岐配管と、
前記分岐配管に設けられた前記オゾンガスの濃度を検出するガスセンサと、
前記分岐配管における前記ガスセンサの下流側であって、前記排気流路との接続部近傍に設けられた、前記分岐配管に流れる排ガスの流量を調節する流量調節弁と
を具備し、
前記分岐配管は、前記ガスセンサを経た後、前記排気流路における前記ガス分解器の下流側に接続され、
前記ガスセンサが検出した前記オゾンガスの濃度をモニタすることで、前記ガス分解器が寿命に達したか否かを判断することを特徴とするガス分解システム。 - 前記ガス分解器はオゾンキラーであることを特徴とする請求項1に記載のガス分解システム。
- 基板に付着したBSPにレーザーを照射するとともに、オゾンガスを吹き付けてBSPを除去するBSP除去装置に用いられるガス分解システムであって、
前記BSP除去装置のチャンバ内から前記オゾンガスを含む排ガスを排気する排気流路に設けられ、前記オゾンガスを分解するガス分解器と、
前記ガス分解器の途中からまたは前記ガス分解器を経た後の前記排気流路から分岐し、前記排気流路に接続される分岐配管と、
前記分岐配管に設けられた前記オゾンガスの濃度を検出するガスセンサと、
前記分岐配管における前記ガスセンサの下流側であって、前記排気流路との接続部近傍に設けられた、前記分岐配管に流れる排ガスの流量を調節する流量調節弁と
を具備し、
前記ガスセンサが検出した前記オゾンガスの濃度をモニタすることで、前記ガス分解器が寿命に達したか否かを判断し、
前記ガス分解器はオゾンキラーであることを特徴とするガス分解システム。 - 前記分岐配管は、前記ガスセンサを経た後、前記排気流路における前記ガス分解器の下流側に接続されていることを特徴とする請求項3に記載のガス分解システム。
- 前記分岐配管は、前記ガスセンサを経た後、前記排気流路における前記ガス分解器の上流側に接続されていることを特徴とする請求項3に記載のガス分解システム。
- 前記排気流路における前記ガス分解器の上流側には、前記チャンバを密閉するための弁体からの前記オゾンガスの漏洩を防止するための局所排気シールの排気ラインが接続されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のガス分解システム。
- 前記ガスセンサにより検出したオゾンガス濃度の検出値と予め設定されたオゾンガス濃度の基準値とを比較し、基準値を超えたと判断した時点で、前記ガス分解器が寿命に達したと判断することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のガス分解システム。
- 基板に付着したBSPにレーザーを照射するとともに、オゾンガスを吹き付けてBSPを除去するBSP除去装置に用いられるガス分解器の寿命確認方法であって、
前記BSP除去装置のチャンバ内から前記オゾンガスを含む排ガスを排気する排気流路に前記オゾンガスを分解するガス分解器を設け、前記ガス分解器の途中からまたは前記ガス分解器を経た後の前記排気流路から分岐し、前記排気流路に接続される分岐配管に前記オゾンガスの濃度を検出するガスセンサを設け、前記ガスセンサが検出した前記オゾンガスのガス濃度をモニタし、モニタしたガス濃度から前記ガス分解器が寿命に達したか否かを判断することを特徴とするガス分解器の寿命確認方法。 - 前記分岐配管は、前記ガスセンサを経た後、前記排気流路における前記ガス分解器の下流側に接続されていることを特徴とする請求項8に記載のガス分解器の寿命確認方法。
- 前記分岐配管は、前記ガスセンサを経た後、前記排気流路における前記ガス分解器の上流側に接続されていることを特徴とする請求項8に記載のガス分解器の寿命確認方法。
- 前記ガス分解器はオゾンキラーであることを特徴とする請求項8から請求項10のいずれか1項に記載のガス分解器の寿命確認方法。
- 前記ガスセンサにより検出したオゾンガス濃度の検出値と予め設定されたオゾンガス濃度の基準値とを比較し、基準値を超えたと判断した時点で、前記ガス分解器が寿命に達したと判断することを特徴とする請求項8から請求項11のいずれか1項に記載のガス分解器の寿命確認方法。
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