JP2007299824A - プロセス情報管理装置、およびプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】従来のプロセス情報管理装置においては、２つ以上のレシピの異同に関する情報について、同一か相違しているか、という２種類の情報しか、得ることができなかった、という課題があった。
【解決手段】被処理基板に対する所定のプロセスを行う１以上の処理装置をそれぞれ制御する１以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である１以上のレシピを、前記１以上の制御装置に各々対応付けて格納され、かつ基準となるレシピであるマスターレシピが格納されるレシピ格納部と、前記マスターレシピと前記１以上のレシピの異同に関する情報であり、３種類以上ある異同に関する情報のうちの一の異同に関する情報である異同情報を、前記１以上のレシピごとに取得し、取得した異同情報を、レシピごとに出力するプロセス情報管理装置により、３種類以上の情報を得ることができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の処理装置に対する制御についての情報であるプロセス情報を管理するプロセス情報管理装置等に関するものである。

従来、半導体ウエハ等の被処理基板を処理する複数の処理装置を一元管理の下で制御するシステムであり、製造システム全体の保守性の向上を図る制御システムがあった（特許文献１参照）。本制御システムは、処理装置毎のレシピ（プロセス条件値）の集中管理やレシピに基づく各処理装置のプロセスコントロールをはじめとして、各処理装置から得られる全てのプロセスデータの解析処理を行い、その解析結果やプロセスデータの集中モニタリング処理、更には解析／統計結果をレシピに反映させる処理等を行うＡＧＣ（アドバンス・グループ・コントローラ）を接続するシステムである。本制御システムにおいて、各処理装置から得られる全てのプロセスデータやその解析結果をモニタリングできることで、処理装置の異常や劣化状態をより詳細かつ早期に発見することができる。

また、市販のプロセス情報管理装置（例えば、複数の半導体製造装置のプロセスを管理する群管理システムを構成するサーバ装置）において、２つのレシピを構成する1以上のステップのうちの各ステップが同一か異なっているかを表示する機能を有しているものがあった。

さらに、近年、半導体ウエハや液晶パネル等の製造システムの大規模化により、被処理基板に対して成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の処理（プロセス）を行う多数の処理装置を一元管理する要求が益々高まっている。具体的には、例えば、数十という数の処理装置、制御装置を一元管理する必要がでてきている。
特開平１１−１６７９７号公報（第１頁、第１図等）

一方、処理装置を適切に動作させるために、制御システムに含まれるプロセス情報管理装置側で、マスターレシピという動作がある程度は保障されたレシピと、他のレシピの差異をチェックする必要がある。しかしながら、従来の装置においては、マスターレシピと他のレシピの差異を提示する際に、２つのレシピを構成する1以上のステップのうちの各ステップが同一か相違するか、を表示できるだけである、という課題があった。そのために、プロセス情報管理装置のユーザは、２つのレシピ間の相違の意味合いを正確に知ることができず、精度高い、次のアクションを行うことができなかった。

具体的には、例えば、従来の制御システムにおいて、比較を行うことができる複数の制御装置のレシピは、その時点で制御装置がオンラインになっており、かつ制御装置上に存在しており、かつプロセス情報管理装置から制御装置にアクセス可能であることが必要であった。しかし、比較の対象にならないレシピに着目した場合、従来の制御システムでは比較できない理由（制御装置がオフラインなのか、制御装置はオンラインだがレシピが存在しないのか、制御装置へのアクセス権がないのかなど）が分からなかった。

また、一度に比較表示できるレシピの差は、２つであり、数十という数の処理装置、制御装置を一元管理している昨今、一度にマスターレシピと他の制御装置で利用されているレシピとの差の有無を知ることができなかった。

本第一の発明のプロセス情報管理装置は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う１以上の処理装置をそれぞれ制御する１以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である１以上のレシピを、前記１以上の制御装置に各々対応付けて格納され、かつ基準となるレシピであるマスターレシピが格納されるレシピ格納部と、前記マスターレシピと前記１以上のレシピの異同に関する情報であり、３種類以上ある異同に関する情報のうちの一の異同に関する情報である異同情報を、前記１以上のレシピごとに取得するレシピ異同情報取得部と、前記レシピ異同情報取得部が取得した異同情報を、前記２以上のレシピごとに出力する異同情報出力部を具備するプロセス情報管理装置である。

かかる構成により、２つ以上のレシピの異同に関する情報について、同一か相違しているか、という２種類の情報だけではなく、３種類以上の情報を得ることができ、ユーザは、２つのレシピ間の相違の意味合いを正確に知ることができる。その結果、ユーザは、次のアクションを精度高く行うことができる。

また、本第二の発明のプロセス情報管理装置は、第一の発明に対して、前記制御装置からレシピを受信するレシピ受信部をさらに具備し、前記レシピ格納部のレシピの少なくとも一部は、前記レシピ受信部が受信したレシピであるプロセス情報管理装置である。

かかる構成により、プロセス情報管理装置は、制御装置に存在するレシピと一貫性を担保できた制御装置のレシピを保持できる。

また、本第三の発明のプロセス情報管理装置は、第一、第二いずれかの発明に対して、前記１以上の制御装置に関する情報である１以上の制御装置情報を格納している制御装置情報格納部と、前記レシピ異同情報取得部は、前記マスターレシピと、前記制御装置情報格納部の１以上の制御装置情報が示す前記１以上の制御装置に対応する１以上のレシピの異同情報を、前記１以上のレシピごとに取得するプロセス情報管理装置である。

かかる構成により、予め登録されている制御装置のレシピとマスターレシピを比較でき、例えば、ユーザは、トラブル等でネットワークに接続されていない制御装置の状態も知ることができる。

また、本第四の発明のプロセス情報管理装置は、第一から第三いずれかの発明に対して、前記異同情報は、前記マスターレシピと異同を比較されるレシピが同じであることを示す情報である同一情報、または前記マスターレシピと異同を比較されるレシピが異なっていることを示す情報である相違情報、または比較されるレシピが存在しないことを示す不存在情報、または比較されるレシピに対応する制御装置がプロセス情報管理装置と通信不可の状態であることを示す通信不可情報、または異同情報を得ることができないユーザであることを示す情報である出力不可情報のうちのいずれかの情報を取り得、前記レシピ異同情報取得部は、前記マスターレシピの内容と、前記異同を比較されるレシピの内容を比較し、２つのレシピが同一か相違しているかを判断し、同一情報または相違情報を取得する異同取得手段と、前記異同を比較されるレシピが存在しないと判断し、不存在情報を取得する不存在情報取得手段と、前記制御装置との通信が可能か否かを判断し、通信不可の場合に、通信不可情報を取得する通信不可情報取得手段と、本プロセス情報管理装置を操作するユーザについての情報であるユーザ情報を受け付け、当該ユーザ情報に基づいて、異同情報を得ることができないユーザであるか否かを判断し、異同情報を得ることができないユーザである場合に、出力不可情報を取得する出力不可情報取得手段を具備するプロセス情報管理装置である。

かかる構成により、５種類の詳細なレシピの異同情報を得ることができる。その結果、ユーザは、次のアクションを精度高く行うことができる。

また、本第五の発明のプロセス情報管理装置は、第一から第四いずれかの発明に対して、マスターレシピを含む２以上のレシピの指定を受け付ける受付部と、前記レシピ異同情報取得部は、前記指定を受け付けたマスターレシピと、前記レシピの指定を受け付けた、マスターレシピを除く１以上のレシピとの異同情報を取得するプロセス情報管理装置である。

かかる構成により、ユーザが指定したレシピについて、異同情報を得ることができる。

本発明によるプロセス情報管理装置によれば、２つ以上のレシピの異同に関する情報について、同一か相違しているか、という２種類の情報だけではなく、３種類以上の情報を得ることができ、ユーザは、２つのレシピ間の相違の意味合いを正確に知ることができる。

以下、プロセス情報管理装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
（実施の形態）

図１は、本実施の形態における制御システムの概念図である。制御システムは、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシステムである。また、制御システムは、１以上の処理装置１１（処理装置１１（１）から処理装置１１（ｎ））、1以上の制御装置１２（制御装置１２（１）から制御装置１２（ｎ））、およびプロセス情報管理装置１３を有する。

処理装置１１は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う装置である。さらに具体的には、処理装置１１は、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置である。処理装置１１は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処理を行う。処理装置１１は、例えば、複合プロセス型の半導体ウエハ製造装置である。本半導体ウエハ製造装置の例を図２に示す。図２に示すように、本半導体ウエハ製造装置は、半導体ウエハに対して各種の処理、例えば、成膜処理やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数（例えば、３つ）のプロセスチャンバ１、２、３と、多数枚（例えば、５０枚）のウエハＷを収納できるカセットＣ１、Ｃ２を収容するカセットチャンバ４、５と、プロセスチャンバ１、２、３とカセットチャンバ４、５との間でウエハＷの受け渡しを行う搬送チャンバ６とを備えて構成される。各チャンバ間は、ゲートバルブＧを介して開閉自在に連結されている。搬送チャンバ６内には、屈伸動作及び回転動作が可能な例えば多関節式の搬送アーム７が設けられており、この搬送アーム７によりチャンバ間でのウエハＷの搬送が行われる。カセットＣ１、Ｃ２は、カセットチャンバ４、５内に取り込まれる際に９０度反転されると共に、そのカセットＣ１、Ｃ２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ６内の中心を向くように回転され、搬送アーム７によるウエハＷの出し入れが可能な姿勢に設置される。

また、制御装置１２は、処理装置１１を制御する装置であり、通常、処理装置１１に対応して設けられている。制御装置１２は、被処理基板に対する所定のプロセスに関する情報であるレシピ（通常、プロセス条件値の集合）を格納しており、当該レシピを用いて、処理装置１１を制御する。制御装置１２は、例えば、各処理装置１１の上位制御系であるＥＣＣ制御部、各処理装置１１の下位制御系であるＭＣ（マシンコントローラ）を具備する。かかる場合、ＥＣＣ制御部は、例えば、プロセス情報管理装置１３との論理的なインターフェイス手段であるＲＡＰ（Remote Agent Process）を有し、このＲＡＰによってプロセス情報管理装置１３との間での各種データの送受信が行われる。なお、処理装置１１と制御装置１２は、一体となっていても良いし、分離されていても良い。

プロセス情報管理装置１３は、例えば、いわゆる群管理システムを構成するサーバ装置である。

図３は、プロセス情報管理装置１３の構成を示すブロック図である。プロセス情報管理装置１３は、受付部１３１、ユーザ情報格納部１３２、レシピ格納部１３３、レシピ異同情報取得部１３４、異同情報出力部１３５、制御装置情報格納部１３６、レシピ受信部１３７、レシピ蓄積部１３８、詳細出力部１３９を具備する。

レシピ異同情報取得部１３４は、異同取得手段１３４１、不存在情報取得手段１３４２、通信不可情報取得手段１３４３、出力不可情報取得手段１３４４を具備する。

受付部１３１は、ユーザからの指示やユーザ情報を受け付ける。指示とは、マスターレシピを含む２以上のレシピの指定であるレシピ指定指示、異同情報を出力する指示である異同情報出力指示、２つ以上のレシピ間で、異なる旨を示す出力がなされた場合に、さらに相違点の詳細を知るための指示である詳細出力指示などである。レシピ指定指示は、一のレシピ識別子を有しても良い。かかる場合、レシピ指定指示は、同一のレシピ識別子を持つ１以上の制御装置のレシピ、およびマスターレシピを指定したこととなる。また、レシピ指定指示は、２以上のレシピ識別子を有しても良い。かかる場合、レシピ指定指示は、当該レシピ指定指示が有する２以上のレシピ識別子で識別される２以上のレシピを指定したこととなる。ユーザ情報とは、ユーザを識別する情報であり、例えば、ユーザＩＤや、ユーザＩＤとパスワードの組である。詳細出力指示は、例えば、マスターレシピと一のレシピの指示を含む。かかる場合、詳細出力指示は、マスターレシピと当該一のレシピとの差異の詳細を出力する指示である。指示等の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。また、指示は、外部装置から送信されたものでも良く、かかる場合、受付部１３１は、受信手段を有する。受付部１３１は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェアや、通信手段等で実現され得る。

ユーザ情報格納部１３２は、受付部１３１が受け付けたユーザ情報を、少なくとも一時格納している。ユーザ情報格納部１３２は、ＲＡＭ等の揮発性の記録媒体が好適であるが、ハードディスク等の不揮発性の記録媒体でも実現可能である。

レシピ格納部１３３には、マスターレシピと1以上のレシピ（マスターレシピではないレシピ）が格納される。レシピとは、被処理基板に対する所定のプロセスを行う処理装置１１を制御する１以上の制御装置１２が保持しているプロセスに関する情報である。ここでは、レシピは、プロセス情報の一種である。プロセス情報は、レシピ以外のプロセスを制御する命令列でも良い。レシピ格納部１３３には、レシピが制御装置１２に各々対応付けて格納される。また、マスターレシピは、一の制御装置１２に対応付けられている情報でも良いし、仮想的な情報でも良い。また、マスターレシピは固定でなくても良い。ユーザがマスターレシピを指定できても良い。レシピ格納部１３３は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。

レシピ異同情報取得部１３４は、マスターレシピと１以上のレシピ（マスターレシピではないレシピ）の異同に関する情報であり、３種類以上ある異同に関する情報のうちの一の異同に関する情報である異同情報を、１以上のレシピごとに取得する。また、レシピ異同情報取得部１３４は、マスターレシピと、後述する制御装置情報格納部１３６の１以上の制御装置情報が示す１以上の制御装置１２に対応する１以上のレシピの異同情報を、１以上のレシピごとに取得することは好適である。レシピ異同情報取得部１３４は、ネットワークに接続されている１以上の制御装置を検出し、マスターレシピと当該１以上の制御装置のレシピの異同に関する情報であり、３種類以上ある異同に関する情報のうちの一の異同に関する情報である異同情報を、１以上のレシピごとに取得しても良い。異同情報は、３種類以上の値を取りえる。３種類以上の値とは、比較されるレシピが同じであることを示す情報である同一情報（例えば、値「０」）、比較されるレシピが異なっていることを示す情報である相違情報（例えば、値「１」）、比較されるレシピが存在しないことを示す不存在情報（例えば、値「２」）、比較されるレシピに対応する制御装置１２がプロセス情報管理装置１３と通信不可の状態であることを示す通信不可情報（例えば、値「３」）、異同情報を得ることができないユーザであることを示す情報である出力不可情報（例えば、値「４」）のうちのいずれかの情報である。異同情報は、通常、同一情報、相違情報を含む。３種類以上の異同情報とは、同一情報、相違情報、および他の１以上の異同情報である。他の１以上の異同情報は、例えば、不存在情報である。レシピ異同情報取得部１３４は、通常、受付部１３１が指定を受け付けたマスターレシピと、指定を受け付けた、マスターレシピを除く１以上のレシピとの異同情報を取得する。なお、２つのレシピが同一か相違しているかの判断方法は問わない。レシピ異同情報取得部１３４は、通常、２つの各レシピが有する1以上のステップの詳細（内容）をすべて比較し、２つのレシピが全く同一であるか否かを判断して、一つのステップのうちの一つのプロセス条件値が異なっても、異同情報を相違情報とする（レシピが異なるとする）。また、レシピ異同情報取得部１３４は、レシピの内容を比較せずに、２つの各レシピの属性値（更新日時や更新者など）を比較し、属性値が一つでも異なった場合に、異同情報を相違情報としても良い。属性値の比較により異同情報を得る場合には、処理の高速化が図れる。レシピ異同情報取得部１３４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。レシピ異同情報取得部１３４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

異同取得手段１３４１は、マスターレシピの内容と、当該マスターレシピとの異同を比較されるレシピの内容を比較し、２つのレシピが同一か相違しているかを判断し、同一情報（例えば、値「０」）または相違情報（例えば、値「１」）を取得する。なお、レシピは、通常、1以上のステップを有する。ステップとは、処理装置１１を制御するためのプロセス条件値の集合である。異同取得手段１３４１は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。異同取得手段１３４１の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

不存在情報取得手段１３４２は、異同を比較されるレシピが存在しないと判断し、不存在情報を取得する。不存在情報取得手段１３４２は、例えば、受付部１３１がレシピ指定指示を受け付けた場合、当該レシピ指定指示に含まれるレシピを識別するレシピ識別子に対応するレシピが、レシピ格納部１３３に存在するか否かを判断し、レシピ格納部１３３に存在しないと判断した場合に、不存在情報（例えば、値「２」）を得る。不存在情報取得手段１３４２は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。不存在情報取得手段１３４２の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

通信不可情報取得手段１３４３は、制御装置１２との通信が可能か否かを判断し、通信不可の場合に、通信不可情報を取得する。制御装置１２との通信が可能でない場合とは、制御装置１２がシャットダウンしている場合や、制御装置１２がネットワークに接続されていない場合などである。通信可か不可かの判断は、公知技術により可能であるので、詳細な説明は省略する。通信不可情報取得手段１３４３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。通信不可情報取得手段１３４３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

出力不可情報取得手段１３４４は、受付部１３１が受け付け、ユーザ情報格納部１３２に格納されているユーザ情報を用いて、プロセス情報管理装置１３のユーザが、異同情報を得ることができないユーザであるか否かを判断し、異同情報を得ることができないユーザである場合に、出力不可情報を取得する。出力不可情報取得手段１３４４は、例えば、異同情報を得ることができる1以上のユーザ情報を格納しており、当該格納している1以上のユーザ情報の中に、ユーザ情報格納部１３２に格納されているユーザ情報が存在するか否かを判断し、存在しない場合に、異同情報を出力不可情報（例えば、値「４」）とする。また、出力不可情報取得手段１３４４は、例えば、レシピや制御装置ごとに異同情報を得ることができる1以上のユーザ情報を格納しており、指定されたレシピや制御装置に対して異同情報を得ることができるユーザであるか否かを、当該格納しているユーザ情報と、受け付けたユーザ情報を用いて判断し、受け付けたユーザ情報で識別されるユーザが異同情報を得ることができないユーザであると判断した場合に、異同情報を出力不可情報とする。出力不可情報取得手段１３４４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。出力不可情報取得手段１３４４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

異同情報出力部１３５は、レシピ異同情報取得部１３４が取得した異同情報を、レシピごとに出力する。異同情報の出力態様は問わない。異同情報の出力態様の例については後述する。ここで、出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、音出力、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積等を含む概念である。異同情報出力部１３５は、ディスプレイ等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。異同情報出力部１３５は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。

制御装置情報格納部１３６は、１以上の制御装置１２に関する情報である１以上の制御装置情報を格納している。制御装置情報とは、例えば、制御装置１２を識別するＩＤや、制御装置１２の名前である。制御装置情報格納部１３６は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。

レシピ受信部１３７は、制御装置１２からレシピを受信する。レシピ受信部１３７は、例えば、各制御装置１２でレシピが更新されたタイミングで、制御装置１２からレシピを受信する。かかる場合、制御装置１２は、レシピの更新を受け付けるレシピ更新受付部、レシピを更新するレシピ更新部、レシピの更新を検知するレシピ更新検知部、レシピ更新検知部がレシピの更新を検知した場合に、レシピをプロセス情報管理装置に送信するレシピ送信部を具備する。また、制御装置１２は、レシピに基づいて処理装置を制御する制御部を具備することは言うまでもない。ただし、レシピ受信部１３７が、定期的に制御装置１２と通信をし、レシピを取得するなどでも良い。つまり、レシピ受信部１３７がレシピを受信するタイミングは問わない。レシピ受信部１３７は、通常、無線または有線の通信手段で実現されるが、放送を受信する手段で実現されても良い。

レシピ蓄積部１３８は、レシピ受信部１３７が受信したレシピをレシピ格納部１３３に蓄積する。レシピ蓄積部１３８は、通常、レシピ受信部１３７が受信したレシピを、当該レシピを送信した制御装置１２に対応付けて、レシピ格納部１３３に蓄積する。制御装置１２に対応付けたレシピの蓄積とは、例えば、制御装置１２を識別する制御装置情報とレシピを対にして蓄積することである。レシピ蓄積部１３８は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。レシピ蓄積部１３８の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

詳細出力部１３９は、指定されたレシピの詳細な情報である１以上のステップの相違に関する情報であるステップ相違情報を取得し、出力する。ステップ相違情報の出力の態様は問わない。詳細出力部１３９の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。ここで、出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積等を含む概念である。詳細出力部１３９は、ディスプレイ等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。詳細出力部１３９は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。

次に、プロセス情報管理装置の動作について図４から図６のフローチャートを用いて説明する。

（ステップＳ４０１）受付部１３１は、入力を受け付けたか否かを判断する。入力を受け付ければステップＳ４０２に行き、入力を受け付けなければステップＳ４１１に行く。

（ステップＳ４０２）受付部１３１は、ステップＳ４０１で受け付けた入力がユーザ情報であるか否かを判断する。ユーザ情報であればステップＳ４０３に行き、ユーザ情報でなければステップＳ４０４に行く。

（ステップＳ４０３）受付部１３１は、ステップＳ４０１で受け付けたユーザ情報を、ユーザ情報格納部１３２に蓄積する。なお、図示しない手段により、ユーザ情報を用いて、認証処理を行っても良い。また、認証処理は公知技術であるので詳細な説明は省略する。

（ステップＳ４０４）受付部１３１は、ステップＳ４０１で受け付けた入力がレシピ指定指示であるか否かを判断する。レシピ指定指示であればステップＳ４０５に行き、レシピ指定指示でなければステップＳ４０７に行く。

（ステップＳ４０５）図示しない出力手段は、レシピ指定指示に含まれるレシピ識別子を取得し、一時格納する。

（ステップＳ４０６）図示しない出力手段は、例えば、ステップＳ４０５で取得したレシピ識別子で識別されるレシピ識別子の表示を変更する。例えば、図示しない出力手段は、ステップＳ４０５で取得したレシピ識別子の表示を、他のレシピ識別子と比較して目立つ態様で表示する（レシピ識別子をフォーカシングする）。なお、レシピ指定指示が入力される前に、２以上のレシピ識別子のリストが表示されている、とする。また、例えば、図示しない出力手段は、ステップＳ４０５で取得したレシピ識別子で識別されるレシピであり、登録されている１以上の制御装置情報に対応する１以上のレシピ識別子を読み出し、当該１以上のレシピ識別子をリスト出力しても良い。

（ステップＳ４０７）受付部１３１は、ステップＳ４０１で受け付けた入力が異同情報出力指示であるか否かを判断する。異同情報出力指示であればステップＳ４０８に行き、異同情報出力指示でなければステップＳ４０９に行く。

（ステップＳ４０８）レシピ異同情報取得部１３４、および異同情報出力部１３５は、異同情報出力処理を行う。異同情報出力処理について、図５のフローチャートを用いて後述する。

（ステップＳ４０９）受付部１３１は、ステップＳ４０１で受け付けた入力が詳細出力指示であるか否かを判断する。詳細出力指示であればステップＳ４１０に行き、詳細出力指示でなければステップＳ４０１に戻る。

（ステップＳ４１０）詳細出力部１３９は、詳細出力処理を行う。詳細出力処理について、図６のフローチャートを用いて後述する。

（ステップＳ４１１）レシピ受信部１３７は、制御装置１２からレシピを受信したか否かを判断する。レシピを受信すればステップＳ４１２に行き、レシピを受信しなければステップＳ４０１に戻る。

（ステップＳ４１２）レシピ蓄積部１３８は、ステップＳ４１１で受信したレシピをレシピ格納部１３３に蓄積する。レシピ蓄積部１３８は、通常、レシピを受信した制御装置１２を識別する制御装置情報に対応付けてレシピを蓄積する。

なお、図４のフローチャートにおいて、例えば、ユーザ情報を受付け、認証処理を行い、認証許可であった場合に、ユーザ情報を一時蓄積するとともに、制御装置情報格納部１３６から１以上の制御装置情報を読み出し、当該読み出した１以上の制御装置情報に対応するレシピ識別子とマスターレシピの識別子をリスト形式で出力しても良い。そして、レシピ指定指示は、当該リスト形式で出力された２以上のレシピ識別子（マスターレシピの識別子を含む）のうちの、２以上のレシピ識別子を有する。つまり、ユーザが、リスト形式で出力された２以上のレシピ識別子のうち、マウス等で、２以上のレシピ識別子を指示しても良い。

なお、図４のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。

次に、ステップＳ４０８の異同情報出力処理について図５のフローチャートを用いて説明する。

（ステップＳ５０１）レシピ異同情報取得部１３４は、初期処理を行う、初期処理とは、例えば、ステップＳ４０５で取得したレシピ識別子で識別されるレシピを保持している制御装置情報を、制御装置情報格納部１３６から読み出す処理である。また、初期処理とは、カウンタｉに１を代入する処理も含む。なお、ステップＳ４０５でレシピ識別子を取得していない場合、レシピ異同情報取得部１３４は、制御装置情報格納部１３６の全レシピを読み出しても良い。

（ステップＳ５０２）レシピ異同情報取得部１３４は、マスターレシピとの異同判断対象のｉ番目のレシピ（ｉ番目の制御装置情報のレシピ）が存在するか否かを判断する。ｉ番目のレシピが存在すればステップＳ５０３に行き、ｉ番目のレシピが存在しなければステップＳ５２４に行く。

（ステップＳ５０３）出力不可情報取得手段１３４４は、ユーザ情報格納部１３２からユーザ情報を読み出す。

（ステップＳ５０４）出力不可情報取得手段１３４４は、ステップＳ５０３で読み出したユーザ情報を用いて、当該ユーザ情報で識別されるユーザが、ｉ番目のレシピに対してアクセス可能であるか否かを判断する。

（ステップＳ５０５）ステップＳ５０４における判断が、アクセス可能であればステップＳ５０８に行き、アクセス可能でなければステップＳ５０６に行く。

（ステップＳ５０６）出力不可情報取得手段１３４４は、異同情報を出力不可情報とする。具体的には、出力不可情報取得手段１３４４は、例えば、変数「異同情報」に出力不可情報を代入する。

（ステップＳ５０７）レシピ異同情報取得部１３４は、カウンタｉを１インクリメントし、ステップＳ５０２に戻る。

（ステップＳ５０８）通信不可情報取得手段１３４３は、ｉ番目のレシピに対応する制御装置情報を取得する。

（ステップＳ５０９）通信不可情報取得手段１３４３は、ステップＳ５０８で取得した制御装置情報を用いて、制御装置情報で識別される制御装置とプロセス情報管理装置１３の通信状態を取得する。通信不可情報取得手段１３４３は、例えば、「ping IPアドレス」という命令を発行し、リターン値を得ることにより、制御装置とプロセス情報管理装置１３の通信状態を取得する。

（ステップＳ５１０）通信不可情報取得手段１３４３は、ステップＳ５０９で取得した通信状態（例えば、ステップＳ５０９のリターン値）が通信不可の状態であるか否かを判断する。通信不可の状態であればステップＳ５１１に行き、通信不可の状態でなければステップＳ５１２に行く。

（ステップＳ５１１）通信不可情報取得手段１３４３は、異同情報を通信不可情報とする。具体的には、通信不可情報取得手段１３４３は、例えば、変数「異同情報」に通信不可情報を代入する。ステップＳ５０７に行く。

（ステップＳ５１２）不存在情報取得手段１３４２は、ｉ番目のレシピを読み出す。

（ステップＳ５１３）不存在情報取得手段１３４２は、ｉ番目のレシピが存在するか否かを判断する。ｉ番目のレシピが存在すればステップＳ５１５に行き、ｉ番目のレシピしなければステップＳ５１４に行く

（ステップＳ５１４）不存在情報取得手段１３４２は、異同情報を不存在情報とする。具体的には、不存在情報取得手段１３４２は、例えば、変数「異同情報」に不存在情報を代入する。ステップＳ５０７に行く。

（ステップＳ５１５）異同取得手段１３４１は、レシピ格納部１３３からマスターレシピを読み出す。なお、マスターレシピを識別するマスターレシピ識別子は、レシピ指定指示に含まれる。

（ステップＳ５１６）異同取得手段１３４１は、カウンタｊに１を代入する。

（ステップＳ５１７）異同取得手段１３４１は、ｉ番目のレシピの中にｊ番目のステップが存在するか否かを判断する。ｊ番目のステップが存在すればステップＳ５１８に行き、ｊ番目のステップが存在しなければステップＳ５２２に行く。

（ステップＳ５１８）異同取得手段１３４１は、ｉ番目のレシピの中にｊ番目のステップの情報と、当該ステップに対応する（同一のステップ識別子を有する）マスターレシピのステップの情報を読み出し、当該２つのステップの情報を比較する。なお、ｊ番目のステップに対応するマスターレシピのステップが存在しない場合、ステップＳ５１９における比較結果は同一でない、という比較結果となる。

（ステップＳ５１９）異同取得手段１３４１は、ステップＳ５１８における比較結果が、同一であるか否かを判断する。同一であればステップＳ５２０に行き、同一でなければステップＳ５２１に行く

（ステップＳ５２０）異同取得手段１３４１は、カウンタｊを１、インクリメントし、ステップＳ５１７に戻る。

（ステップＳ５２１）異同取得手段１３４１は、異同情報を相違情報とする。具体的には、異同取得手段１３４１は、例えば、変数「異同情報」に相違情報を代入する。ステップＳ５０７に行く。

（ステップＳ５２２）異同取得手段１３４１は、ｉ番目のレシピまたはマスターレシピに異同が比較されていないステップが存在するか否かを判断する。異同が比較されていないステップが存在すればステップＳ５２１に行き、異同が比較されていないステップが存在しなければステップＳ５２３に行く。

（ステップＳ５２３）異同取得手段１３４１は、異同情報を同一情報とする。具体的には、異同取得手段１３４１は、例えば、変数「異同情報」に同一情報を代入する。ステップＳ５０７に行く。

（ステップＳ５２４）異同情報出力部１３５は、マスターレシピと、比較された１以上のレシピの異同情報を、当該１以上のレシピに対応付けて出力する。上位関数にリターンする。

なお、図５のフローチャートにおいて、レシピの異同情報の出力態様は問わない。また、５種類の異同情報を取得する場合の処理手順は、上述の処理手順に限られない。

次に、ステップＳ４１０の詳細出力処理について図６のフローチャートを用いて説明する。

（ステップＳ６０１）詳細出力部１３９は、カウンタｉに１を代入する。

（ステップＳ６０２）詳細出力部１３９は、指示されたレシピがｉ番目のステップを有するか否かを判断する。ｉ番目のステップを有すればステップＳ６０３に行き、ｉ番目のステップを有さなければ上位関数にリターンする。

（ステップＳ６０３）詳細出力部１３９は、指示されたレシピのｉ番目のステップと当該ステップに対応するマスターレシピのステップの情報を読み出す。

（ステップＳ６０４）詳細出力部１３９は、両ステップの情報がすべて同じで否かを判断する。両者が同じであればステップＳ６０５に行き、同じでなければステップＳ６０６に行く。

（ステップＳ６０５）詳細出力部１３９は、指示されたレシピのｉ番目のステップがマスターレシピのステップと同じであることを示す態様で出力する。ステップＳ６０７に行く。

（ステップＳ６０６）詳細出力部１３９は、指示されたレシピのｉ番目のステップがマスターレシピのステップと異なることを示す態様で出力する。

（ステップＳ６０７）詳細出力部１３９は、カウンタｉを１、インクリメントする。ステップＳ６０２に戻る。

なお、図６のフローチャートにおいて、ステップの異同を出力する態様は問わない。

また、図４から図６のフローチャートにおいて、異同を決定する際のマスターレシピを、レシピ指定指示により指定したが、指定しなくても良い。かかる場合、レシピに対応して、予めマスターレシピが決められている。

以下、本実施の形態におけるプロセス情報管理装置の具体的な動作について説明する。プロセス情報管理装置を含む制御システムの概念図は図７である。本制御システムは、プロセス情報管理装置１３、クライアント端末１０１、制御装置（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４、Ｅ５、Ｅ６）、各制御装置に対応する処理装置（Ｐ１からＰ６）を具備する。本制御システムにおいて、制御装置Ｅ３は、現在、ネットワークに接続されていない。

また、プロセス情報管理装置１３のレシピ格納部１３３には、図８に示すレシピ管理表を保持している。レシピ管理表は、「ＩＤ」「レシピ識別子」「制御装置情報」「レシピグループ」「編集者」「更新日時」「バージョン」などの属性を有する。「ＩＤ」は、レコードを識別する情報であり、表におけるレコード管理のために存在する。「レシピ識別子」は、レシピ名である。「制御装置情報」は、レシピが利用される制御装置名である。なお、「レシピ識別子」と「制御装置情報」により、一のレシピが特定される。「レシピグループ」は、レシピの属性値であり、グループを示す。「編集者」はレシピを最後に編集した者を識別する情報、「更新日時」はレシピを最後に更新した日時、「バージョン」はレシピのバージョン番号を示す。また、図示しないが、レシピ格納部１３３には、「レシピ識別子」と「制御装置情報」により特定されるレシピの実体が格納されている。また、レシピは、１以上のステップからなる、とする。

図９は、制御装置情報格納部１３６に格納されている制御装置情報管理表である。制御装置情報管理表は、「ＩＤ」「制御装置情報」の属性を有する。「制御装置情報」は、レシピが利用される制御装置名である。なお、制御装置情報格納部１３６に格納されている制御装置情報を、図８の属性値「制御装置情報」である、と考えても良い。

また、図１０は、出力不可情報取得手段１３４４が保持しているユーザ認証情報管理表である。ユーザ認証情報管理表は、ユーザのプロセス情報管理装置１３のログインの許可／不許可を決定する際に利用される。また、ユーザ認証情報管理表は、ユーザがアクセスできる制御装置に対応するレシピを決定するために利用される。ユーザ認証情報管理表は、「ＩＤ」「ユーザ識別子」「パスワード」「制御装置情報」の属性を有する。「ユーザ識別子」はユーザ名である。「パスワード」は「ユーザ識別子」とともにプロセス情報管理装置１３へのログインの許可／不許可の決定のため（認証処理）に利用される。「制御装置情報」は、「ユーザ識別子」で識別されるユーザが、出力可能なレシピに対応する制御装置情報である。「制御装置情報」は、「ユーザ識別子」で識別されるユーザが、出力可能なレシピを示す情報であるとも言えるし、出力可能なレシピに対応する制御装置についての情報である、ともいえる。

かかる状況において、クライアント端末１０１のユーザは、ユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」、パスワード「０９１２」を代入し、プロセス情報管理装置１３へのログインを試みた、とする。

次に、プロセス情報管理装置１３の受付部１３１は、ユーザ情報（ユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」、パスワード「０９１２」）を受け付ける。

次に、プロセス情報管理装置１３は、図示しない手段により、認証処理を行い、認証許可と判断し、クライアント端末１０１からプロセス情報管理装置１３へのログインを許可する。図１０の情報より、ユーザ情報（ユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」、パスワード「０９１２」）は管理されているからである。そして、プロセス情報管理装置１３は、ユーザ情報（ユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」、パスワード「０９１２」）を、ユーザ情報格納部１３２に一時格納する。

次に、プロセス情報管理装置１３は、図８のレシピ管理表の「レシピ識別子」を読み出し、ユニーク処理し、重複しない１以上のレシピ識別子を取得する。そして、プロセス情報管理装置１３は、重複しない１以上のレシピ識別子を有するレシピ一覧を、クライアント端末１０１に出力し、クライアント端末１０１は、レシピ一覧を図１１に示すように表示する、とする。

次に、ユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」で識別されるユーザは、クライアント端末１０１から、マウスで、レシピ識別子「ＲＣＰ１」を指定し、「異同情報出力」ボタンを押下した、とする。

次に、プロセス情報管理装置１３の受付部１３１は、レシピ識別子「ＲＣＰ１」を有する異同情報出力指示を受け付ける。

次に、レシピ異同情報取得部１３４は、レシピ識別子「ＲＣＰ１」で識別されるレシピであり、かつ、制御装置情報格納部１３６の「制御装置情報」で示される制御装置情報を含むレコードを、図８のレシピ管理表から検索し、図１２の一時的な表を得る。

図１２の一時的な表において、レシピ異同情報取得部１３４は、「ＩＤ＝１」のレコードに対応するレシピがマスターレシピである、と知っているものとする。なお、マスターレシピはユーザが指定しても良いことは言うまでもない。

次に、レシピ異同情報取得部１３４は、マスターレシピと、「ＩＤ＝２」から「ＩＤ＝７」のレコードに対応するレシピを順に比較していく。

まず、「ＩＤ＝２」のレコードに対応するレシピの処理である。つまり、レシピ異同情報取得部１３４は、「ＩＤ＝２」のレコードが有する制御装置情報「Ｅ１」で識別される制御装置に対応するレシピに対して、ユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」で識別されるユーザがアクセス可能であるか否かを判断する。つまり、図１０のユーザ認証情報管理表からユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」と制御装置情報「Ｅ１」が対となるレコードが存在するか否かを判断する。ここで、図１０において、ユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」と制御装置情報「Ｅ１」が対となるレコードが存在するので、レシピ異同情報取得部１３４は、制御装置情報「Ｅ１」で識別される制御装置に対応するレシピに対して、ユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」で識別されるユーザがアクセス可能である、と判断する。

次に、レシピ異同情報取得部１３４は、制御装置情報「Ｅ１」で識別される制御装置と、通信可能であるか否かを判断する。ここでは、図７の状況であり、レシピ異同情報取得部１３４は、通信可能である、と判断する。

次に、レシピ異同情報取得部１３４は、レシピ識別子「ＲＣＰ１」、制御装置情報「Ｅ１」で識別されるレシピの実体（例えば、ファイル）が、レシピ格納部１３３に存在するか否かを判断する。ここで、レシピ識別子「ＲＣＰ１」、制御装置情報「Ｅ１」で識別されるレシピの実体が存在される、と判断する、とする。

次に、レシピ異同情報取得部１３４は、マスターレシピの実体（例えば、ファイル）と、レシピ識別子「ＲＣＰ１」、制御装置情報「Ｅ１」で識別されるレシピの実体（例えば、ファイル）をレシピ格納部１３３から読み出す。そして、２つのレシピの全ステップが同一か否かを判断する。ここで、２つのレシピ（ファイル）の内容が全く同一である、と、レシピ異同情報取得部１３４は判断する、とする。そして、異同取得手段１３４１は、レシピ識別子「ＲＣＰ１」、制御装置情報「Ｅ１」で識別されるレシピに対応する異同情報に、「同一情報（例えば、「０」）を代入する。なお、２つのレシピ（通常、各レシピは１以上のファイルからなる）が同一か否かを判断する処理は公知技術により可能であるので、詳細な説明を省略する。

次に、「ＩＤ＝３」のレコードに対応するレシピの処理である。ここでも上記と同様に、異同取得手段１３４１は、レシピ識別子「ＲＣＰ１」、制御装置情報「Ｅ２」で識別されるレシピに対応する異同情報に、「同一情報（例えば、「０」）を代入する。

次に、「ＩＤ＝４」のレコードに対応するレシピの処理である。ここでは、制御装置情報「Ｅ３」で識別される制御装置に、ユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」で識別されるユーザがアクセス可能であるが、図７より、制御装置情報「Ｅ３」で識別される制御装置が、ネットワークに接続されていない、と通信不可情報取得手段１３４３は検知する。そして、通信不可情報取得手段１３４３は、レシピ識別子「ＲＣＰ１」、制御装置情報「Ｅ３」で識別されるレシピに対応する異同情報に、「通信不可情報（例えば、「３」）を代入する。なお、装置がネットワークに接続されているか否かの検出は公知技術により可能であるので、詳細な説明を省略する。

次に、「ＩＤ＝５」のレコードに対応するレシピの処理である。ここでは、制御装置情報「Ｅ４」で識別される制御装置に、ユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」で識別されるユーザがアクセス可能であり、制御装置情報「Ｅ４」で識別される制御装置はネットワークに接続されている、とする。また、レシピ識別子「ＲＣＰ１」、制御装置情報「Ｅ４」で識別されるレシピが、レシピ格納部１３３に存在する、とする。しかし、異同取得手段１３４１は、レシピ識別子「ＲＣＰ１」、制御装置情報「Ｅ４」で識別されるレシピが、マスターレシピと異なる、と判断した、とする。これは、異同取得手段１３４１が、２つのレシピの内容の差異を取得し、差異が存在するので、２つのレシピが異なる、と判断した、とする。かかる状況において、異同取得手段１３４１は、レシピ識別子「ＲＣＰ１」、制御装置情報「Ｅ４」で識別されるレシピに対応する異同情報に、「相違情報（例えば、「１」）を代入する。

次に、「ＩＤ＝６」のレコードに対応するレシピの処理である。ここでは、制御装置情報「Ｅ５」で識別される制御装置に、ユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」で識別されるユーザがアクセス可能であり、制御装置情報「Ｅ５」で識別される制御装置はネットワークに接続されている、とする。しかし、レシピ識別子「ＲＣＰ１」、制御装置情報「Ｅ５」で識別されるレシピが、レシピ格納部１３３に存在しない、とする。かかる状況において、不存在情報取得手段１３４２は、異同を比較されるレシピが存在しないと判断し、不存在情報を取得する。つまり、不存在情報取得手段１３４２は、レシピ識別子「ＲＣＰ１」、制御装置情報「Ｅ５」で識別されるレシピに対応する異同情報に、「不存在情報（例えば、「２」）を代入する。

次に、「ＩＤ＝７」のレコードに対応するレシピの処理である。ここで、出力不可情報取得手段１３４４は、ユーザ識別子「Ｔａｎａｋａ」で識別されるユーザが制御装置情報「Ｅ６」で識別される制御装置に対して、図１０よりアクセス不可であるので、出力不可情報を取得する。そして、出力不可情報取得手段１３４４は、レシピ識別子「ＲＣＰ１」、制御装置情報「Ｅ６」で識別されるレシピに対応する異同情報に、「出力不可情報（例えば、「４」）を代入する。

次に、異同情報出力部１３５は、レシピ異同情報取得部１３４が取得した異同情報を、レシピごとに出力する。異同情報出力部１３５の出力例を図１３に示す。

図１３において、マスターレシピの「結果」の欄には、「Ｍａｓｔｅｒ」が出力される。また、図１３において、「結果」の欄には、異同情報が同一情報の場合は「Ｓａｍｅ」、異同情報が相違情報の場合は「Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ」、異同情報が不存在情報の場合は「Ｎｏｔ Ｆｏｕｎｄ」、異同情報が通信不可情報の場合は「Ｏｆｆｌｉｎｅ」、異同情報が出力不可情報の場合は「Ｄｉｓａｂｌｅ」が出力される。さらに、異同情報出力部１３５は、異同情報が不存在情報、通信不可情報、出力不可情報のいずれかの場合、レシピの属性値の一部を出力しないものとする。図１３において、「編集者」「更新日時」「バージョン」の属性値が出力されていない。これは、異同情報出力部１３５が図１２の情報から、異同情報が不存在情報、通信不可情報、出力不可情報のいずれかの「編集者」「更新日時」「バージョン」を出力した場合、不確かな情報を出力することとなり妥当ではない。

次に、ユーザは、図１３の出力を見ながら、詳細出力指示を入力した、とする。詳細出力指示の入力とは、例えば、図１３の制御装置情報「Ｅ４」をダブルクリックすることである、とする。つまり、ユーザは、マスターレシピ（ＡＧＣ＿ＲＣＰで識別されるレシピ）と、異同情報が相違情報であるレシピ（Ｅ４で識別されるレシピ）の差異の詳細を得ようとする。

次に、受付部１３１は、「Ｅ４」を含む詳細出力指示を受け付ける。次に、詳細出力部１３９は、マスターレシピ（ＡＧＣ＿ＲＣＰで識別されるレシピ）と、異同情報が相違情報であるレシピ（Ｅ４で識別されるレシピ）を読み出し、各対応するステップについて、ステップ相違情報を取得し、出力する。かかる出力例を図１４に示す。図１４において、画面の左側がステップの一覧であり、網掛けの行が２つのレシピが有するステップが異なることを示す。図１４において、レシピの「ステップＣ」「ステップＤ」が異なることを示す。また、図１４の右側は、２つのレシピについて、フォーカスされているステップ（画面右側の矢印で指示されている「ステップＣ」）が有するプロセス条件値等であり、網掛けのプロセス条件値等が、異なるプロセス条件値等であることを示す。図１４において、「Ｍａｉｎ Ｓｅｔ」が異なる。

以上、本実施の形態のプロセス情報管理装置によれば、２つ以上のレシピを比較する場合に、同一である、相違する以外の状態も取得し、出力できる。そのため、ユーザは、より詳細に２つのレシピの状態の相違等を知ることができ、ユーザは次の適切な対応を取ることができる。具体的には、ユーザは、１つのマスターレシピと多数の制御装置のレシピを比較するとき、オフラインの制御装置やレシピが制御装置に存在しないこと、および制御装置へのアクセス権が無いことなどを知ることができる。これは、半導体製造工場によっては数十台の制御装置および処理装置が稼動しているケースもあり、これらの制御装置および処理装置間のレシピ一致性を保障する上で効果的である。また、さらに具体的には、ユーザは、ユーザがアクセスできない出力不可情報と判定されたレシピに対して、例えば、作業を中断したり、ユーザ登録（出力許可を得るための登録）の申請を行う。また、ユーザは、通信不可である通信不可情報と判定されたレシピに対して、当該レシピを処理する制御装置を通信可能な状態とするように制御装置のユーザに連絡したり、当該ユーザに制御装置の立ち上げを指示したりする。また、ユーザは、存在しない不存在情報と判定されたレシピに対して、例えば、最新の当該レシピを複写したりする。さらに、ユーザは、マスターレシピと異なる相違情報と判定されたレシピに対して、例えば、最新の当該レシピを複写したりする。

なお、本実施の形態の具体例において、ユーザは、クライアント端末から操作したが、直接、プロセス情報管理装置１３から操作しても良いことは言うまでもない。

さらに、本実施の形態における処理は、ソフトウェアで実現しても良い。そして、このソフトウェアをソフトウェアダウンロード等により配布しても良い。また、このソフトウェアをＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体に記録して流布しても良い。なお、このことは、本明細書における他の実施の形態においても該当する。なお、本実施の形態におけるプロセス情報管理装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所定のプロセスを行う１以上の処理装置をそれぞれ制御する１以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である１以上のレシピを、前記１以上の制御装置に各々対応付けて格納し、かつ基準となるレシピであるマスターレシピを格納しており、前記マスターレシピと前記１以上のレシピの異同に関する情報であり、３種類以上ある異同に関する情報のうちの一の異同に関する情報である異同情報を、前記１以上のレシピごとに取得するレシピ異同情報取得ステップと、前記レシピ異同情報取得ステップで取得した異同情報を、前記レシピごとに出力する異同情報出力ステップを実行させるためのプログラム、である。

また、上記プログラムは、コンピュータに、前記制御装置からレシピを受信するレシピ受信ステップをさらに実行させ、前記レシピの少なくとも一部は、前記レシピ受信ステップで受信したレシピであることは好適である。

また、前記１以上の制御装置に関する情報である１以上の制御装置情報を格納しており、上記プログラムにおける前記レシピ異同情報取得ステップは、前記マスターレシピと、前記１以上の制御装置情報が示す前記１以上の制御装置に対応する１以上のレシピの異同情報を、前記１以上のレシピごとに取得することは好適である。

また、上記プログラムにおいて、前記異同情報は、前記マスターレシピと異同を比較されるレシピが同じであることを示す情報である同一情報、または前記マスターレシピと異同を比較されるレシピが異なっていることを示す情報である相違情報、または比較されるレシピが存在しないことを示す不存在情報、または比較されるレシピに対応する制御装置がプロセス情報管理装置と通信不可の状態であることを示す通信不可情報、または異同情報を得ることができないユーザであることを示す情報である出力不可情報のうちのいずれかの情報を取り得、前記レシピ異同情報取得ステップは、前記マスターレシピの内容と、前記異同を比較されるレシピの内容を比較し、２つのレシピが同一か相違しているかを判断し、同一情報または相違情報を取得する異同取得ステップと、前記異同を比較されるレシピが存在しないと判断し、不存在情報を取得する不存在情報取得ステップと、前記制御装置との通信が可能か否かを判断し、通信不可の場合に、通信不可情報を取得する通信不可情報取得ステップと、プロセス情報管理装置を操作するユーザについての情報であるユーザ情報を受け付け、当該ユーザ情報に基づいて、異同情報を得ることができないユーザであるか否かを判断し、異同情報を得ることができないユーザである場合に、出力不可情報を取得する出力不可情報取得ステップを具備することは好適である。

また、上記プログラムは、コンピュータに、マスターレシピを含む２以上のレシピの指定を受け付ける受付ステップをさらに実行させ、前記レシピ異同情報取得ステップにおいて、前記指定を受け付けたマスターレシピと、前記レシピの指定を受け付けた、マスターレシピを除く１以上のレシピとの異同情報を取得することは好適である。

また、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。

なお、上記プログラムにおいて、情報を送信するステップや、情報を受信するステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信するステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理（ハードウェアでしか行われない処理）は含まれない。

また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。

また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する２以上の通信手段は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。

本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。

以上のように、本発明にかかるプロセス情報管理装置は、２つのレシピ間の相違の意味合いを正確に知ることができる、という効果を有し、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の処理装置に対する制御についての情報であるプロセス情報を管理するプロセス情報管理装置等として有用である。

実施の形態における制御システムの概念図 同半導体ウエハ製造装置の例を示す図 プロセス情報管理装置の構成を示すブロック図 同プロセス情報管理装置の動作について説明するフローチャート 同異同情報出力処理について説明するフローチャート 同詳細出力処理について説明するフローチャート 同制御システムの概念図 同レシピ管理表を示す図 同制御装置情報管理表を示す図 同ユーザ認証情報管理表を示す図 同プロセス情報管理装置を示す図 同レシピ管理表を示す図 同出力例を示す図 同出力例を示す図

符号の説明

１１ 処理装置
１２ 制御装置
１３ プロセス情報管理装置
１３１ 受付部
１３２ ユーザ情報格納部
１３３ レシピ格納部
１３４ レシピ異同情報取得部
１３５ 異同情報出力部
１３６ 制御装置情報格納部
１３７ レシピ受信部
１３８ レシピ蓄積部
１３９ 詳細出力部
１３４１ 異同取得手段
１３４２ 不存在情報取得手段
１３４３ 通信不可情報取得手段
１３４４ 出力不可情報取得手段

Claims (6)

1. 被処理基板に対する所定のプロセスを行う１以上の処理装置をそれぞれ制御する１以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である１以上のレシピを、前記１以上の制御装置に各々対応付けて格納され、かつ基準となるレシピであるマスターレシピが格納されるレシピ格納部と、
   前記マスターレシピと前記１以上のレシピの異同に関する情報であり、３種類以上ある異同に関する情報のうちの一の異同に関する情報である異同情報を、前記１以上のレシピごとに取得するレシピ異同情報取得部と、
   前記レシピ異同情報取得部が取得した異同情報を、前記レシピごとに出力する異同情報出力部を具備するプロセス情報管理装置。
2. 前記制御装置からレシピを受信するレシピ受信部をさらに具備し、
   前記レシピ格納部のレシピの少なくとも一部は、前記レシピ受信部が受信したレシピである請求項１記載のプロセス情報管理装置。
3. 前記１以上の制御装置に関する情報である１以上の制御装置情報を格納している制御装置情報格納部と、
   前記レシピ異同情報取得部は、
   前記マスターレシピと、前記制御装置情報格納部の１以上の制御装置情報が示す前記１以上の制御装置に対応する１以上のレシピの異同情報を、前記１以上のレシピごとに取得する請求項１または請求項２記載のプロセス情報管理装置。
4. 前記異同情報は、
   前記マスターレシピと異同を比較されるレシピが同じであることを示す情報である同一情報、
   または前記マスターレシピと異同を比較されるレシピが異なっていることを示す情報である相違情報、
   または比較されるレシピが存在しないことを示す不存在情報、
   または比較されるレシピに対応する制御装置がプロセス情報管理装置と通信不可の状態であることを示す通信不可情報、
   または異同情報を得ることができないユーザであることを示す情報である出力不可情報のうちのいずれかの情報を取り得、
   前記レシピ異同情報取得部は、
   前記マスターレシピの内容と、前記異同を比較されるレシピの内容を比較し、２つのレシピが同一か相違しているかを判断し、同一情報または相違情報を取得する異同取得手段と、
   前記異同を比較されるレシピが存在しないと判断し、不存在情報を取得する不存在情報取得手段と、
   前記制御装置との通信が可能か否かを判断し、通信不可の場合に、通信不可情報を取得する通信不可情報取得手段と、
   ユーザについての情報であるユーザ情報を受け付け、当該ユーザ情報に基づいて、異同情報を得ることができないユーザであるか否かを判断し、異同情報を得ることができないユーザである場合に、出力不可情報を取得する出力不可情報取得手段を具備する請求項１から請求項３いずれか記載のプロセス情報管理装置。
5. マスターレシピを含む２以上のレシピの指定を受け付ける受付部と、
   前記レシピ異同情報取得部は、
   前記指定を受け付けたマスターレシピと、前記レシピの指定を受け付けた、マスターレシピを除く１以上のレシピとの異同情報を取得する請求項１から請求項４いずれか記載のプロセス情報管理装置。
6. コンピュータに、
   被処理基板に対する所定のプロセスを行う１以上の処理装置をそれぞれ制御する１以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である１以上のレシピを、前記１以上の制御装置に各々対応付けて格納し、かつ基準となるレシピであるマスターレシピを格納しており、
   前記マスターレシピと前記１以上のレシピの異同に関する情報であり、３種類以上ある異同に関する情報のうちの一の異同に関する情報である異同情報を、前記１以上のレシピごとに取得するレシピ異同情報取得ステップと、
   前記レシピ異同情報取得ステップで取得した異同情報を、前記レシピごとに出力する異同情報出力ステップを実行させるためのプログラム。
   

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