WO2007125887A1 - プロセス情報管理装置、およびプログラム - Google Patents

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WO2007125887A1
WO2007125887A1 PCT/JP2007/058790 JP2007058790W WO2007125887A1 WO 2007125887 A1 WO2007125887 A1 WO 2007125887A1 JP 2007058790 W JP2007058790 W JP 2007058790W WO 2007125887 A1 WO2007125887 A1 WO 2007125887A1
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WO
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information
recipe
difference
control device
recipes
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Application number
PCT/JP2007/058790
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English (en)
French (fr)
Inventor
Tomoko Yamamoto
Kazuya Uoyama
Minoru Obata
Original Assignee
Tokyo Electron Limited
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Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Limited filed Critical Tokyo Electron Limited
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    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06QINFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00Administration; Management
    • G06Q10/06Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06QINFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q50/00Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
    • G06Q50/04Manufacturing
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/32Operator till task planning
    • G05B2219/32096Batch, recipe configuration for flexible batch control
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/45Nc applications
    • G05B2219/45031Manufacturing semiconductor wafers

Definitions

  • the present invention relates to, for example, a process information management apparatus that manages process information, which is information about control of a processing apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus and a liquid crystal panel manufacturing apparatus.
  • control system that controls a plurality of processing apparatuses that process a substrate to be processed such as a semiconductor wafer under centralized management, and there is a control system that improves the maintainability of the entire manufacturing system (Patent Document 1). reference).
  • This control system performs analysis processing of all process data obtained from each processing device, including centralized management of recipes (process condition values) for each processing device and process control of each processing device based on the recipe!
  • This system connects AGC (advanced group 'controller) that performs centralized monitoring of the analysis results and process data, as well as processing to reflect the analysis z statistical results in the recipe.
  • AGC advanced group 'controller
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 11 16797 (Page 1, Fig. 1 etc.)
  • the process information management device side included in the control system needs to check the difference between the recipe that is guaranteed to some extent as the master recipe and other recipes. There is.
  • the process information management apparatus of the present invention is information on processes held by one or more control devices that respectively control one or more processing devices that perform a predetermined process on a substrate to be processed.
  • a recipe is stored in association with each of the one or more control devices, and a recipe storage unit that stores a master recipe that is a reference recipe, and information regarding the difference between the master recipe and the one or more recipes
  • the recipe difference information acquisition unit that acquires the difference information, which is information about one of the three or more types of difference information, for each of the one or more recipes, and the recipe difference information acquisition unit
  • Information management device is information on processes held by one or more control devices that respectively control one or more processing devices that perform a predetermined process on a substrate to be processed.
  • a recipe is stored in association with each of the one or more control devices, and a recipe storage unit that stores a master recipe that is a reference recipe, and information regarding the difference between the master recipe and the one or
  • FIG. 1 is a conceptual diagram of a control system in the present embodiment.
  • the control system is, for example, a system that controls a manufacturing apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus or a liquid crystal panel manufacturing apparatus.
  • the control system includes one or more processing devices 11 (processing device 11 (1) to processing device 1 l (n)), one or more control devices 12 (control device 12 (1) to control device 12 (n)) And a process information management device 13.
  • the processing apparatus 11 is an apparatus that performs a predetermined process on a substrate to be processed. More specifically, the processing apparatus 11 is a manufacturing apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus or a liquid crystal panel manufacturing apparatus. The processing apparatus 11 performs various processes on the substrate to be processed such as a film forming process, an etching process, and a thermal oxidation process. The processing apparatus 11 is, for example, a composite process type semiconductor wafer manufacturing apparatus. Figure 2 shows an example of this semiconductor wafer manufacturing equipment. As shown in FIG.
  • the semiconductor wafer manufacturing apparatus includes a plurality of (for example, three) process chambers 1 that perform various processes on the semiconductor wafer, such as a film forming process, an etching process, and a thermal oxidation process, 2 and 3, and cassettes Cl and C2 that can accommodate a large number of wafers W (for example, 50) W between cassette chambers 4 and 5 and process chambers 1 and 2 and cassette chambers 4 and 5
  • a transfer chamber 6 that delivers Wu W.
  • Each chamber is connected through a gate valve G so as to be freely opened and closed.
  • an articulated transfer arm 7 capable of bending and extending and rotating is provided, and the transfer arm 7 transfers the wafer W between the chambers.
  • the cassettes Cl and C2 When the cassettes Cl and C2 are taken into the cassette chambers 4 and 5, the cassettes Cl and C2 are turned 90 degrees, and the wafer outlet of the cassettes Cl and C2 is rotated so as to face the center in the transfer chamber 6 for transfer.
  • the arm 7 is installed in a posture that allows woofer W to be taken in and out.
  • control device 12 is a device that controls the processing device 11, and is normally connected to the processing device 11. It is provided accordingly.
  • the control device 12 stores a recipe (usually a set of process condition values) that is information relating to a predetermined process for the substrate to be processed, and controls the processing device 11 using the recipe.
  • the control device 12 includes, for example, an ECC control unit that is a higher-level control system of each processing device 11 and an MC (machine controller) that is a lower-level control system of each processing device 11.
  • the ECC control unit has, for example, a RAP (Remote Agent Process) which is a logical interface means with the process information management device 13, and various kinds of communication with the process information management device 13 are performed by this RAP. Data is sent and received.
  • the processing device 11 and the control device 12 may be integrated or separated.
  • the process information management device 13 is, for example, a server device that constitutes a so-called group management system.
  • FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of the process information management device 13.
  • the process information management device 13 includes a reception unit 131, a user information storage unit 132, a recipe storage unit 133, a recipe difference information acquisition unit 134, a difference information output unit 135, a control device information storage unit 136, a recipe reception unit 1 37, a recipe A storage unit 138 and a detailed output unit 139 are provided.
  • the recipe difference information acquisition unit 134 includes difference acquisition means 1341, non-existence information acquisition means 1342, communication disable information acquisition means 1343, and output disable information acquisition means 1344.
  • the receiving unit 131 receives instructions and user information from the user.
  • An instruction is a recipe specification instruction that specifies two or more recipes including a master recipe, a difference information output instruction that outputs difference information, and an output that indicates that there is a difference between two or more recipes. In this case, there is a detailed output instruction that is an instruction for further knowing details of the difference.
  • the recipe designation instruction may have one recipe identifier. In such a case, the recipe designation instruction designates one or more control device recipes having the same recipe identifier and a master recipe.
  • the recipe designation instruction may have two or more recipe identifiers. In this case, the recipe designation instruction designates two or more recipes identified by two or more recipe identifiers included in the recipe designation instruction.
  • the user information is information for identifying the user.
  • the user information is a user ID or a combination of a user ID and a password.
  • the detailed output instruction includes, for example, an instruction of a master recipe and one recipe. In such a case, the detailed output instruction is an instruction to output details of the difference between the master recipe and the one recipe. Instructions Any input means such as a numeric keypad, keyboard, mouse or menu screen may be used. Further, if the instruction may be transmitted from an external device, the reception unit 131 has a receiving unit.
  • the accepting unit 131 can be realized by a device driver for input means such as a numeric keypad and a keyboard, control software for a menu screen, communication means, etc.
  • the user information storage unit 132 stores user information received by the receiving unit 131 at least temporarily.
  • the user information storage unit 132 can be realized by a non-volatile recording medium such as a hard disk, which is preferably a volatile recording medium such as a RAM.
  • the recipe storage unit 133 stores a master recipe and one or more recipes (recipe that is not a master recipe).
  • a recipe is information relating to a process held by one or more control devices 12 that control a processing device 11 that performs a predetermined process on a substrate to be processed.
  • a recipe is a type of process information.
  • the process information may be an instruction sequence for controlling processes other than the recipe.
  • recipes are stored in association with the control device 12, respectively.
  • the master recipe may be information associated with one control device 12 or may be virtual information.
  • the master recipe does not have to be fixed. The user may be able to specify a master recipe.
  • the recipe storage unit 133 is preferably a non-volatile recording medium, but can also be realized by a volatile recording medium.
  • the recipe difference information acquisition unit 134 is information regarding the difference between the master recipe and one or more recipes (recipes that are not master recipes), and is information regarding one of the three or more types of information regarding differences. Get the difference information for each recipe of 1 or more.
  • the recipe difference information acquisition unit 134 receives the master recipe and the difference information of one or more recipes corresponding to one or more control devices 12 indicated by one or more control device information in the control device information storage unit 136 described later. It is suitable to acquire every one or more recipes.
  • the recipe difference information acquisition unit 134 detects one or more control devices connected to the network, and is information regarding the difference between the master recipe and the recipe of the one or more control devices. Different information, which is information about one of these differences, may be obtained for each recipe.
  • the difference information can take three or more values. Three or more values are the same information (for example, the value “0”) that indicates that the recipes to be compared are the same. Difference information (for example, value “1”) indicating that the recipe to be compared is different, non-existence information (for example, value “2”) to indicate that there is no recipe to be compared, recipe to be compared Communication control information (for example, value “3”) indicating that the control device 12 corresponding to the process information management device 13 cannot communicate with the process information management device 13 and information indicating that the user cannot obtain the difference information. This is any piece of information that cannot be output (for example, the value “4”).
  • the difference information usually includes the same information and difference information.
  • the recipe difference information acquisition unit 134 normally acquires the difference information between the master recipe that the reception unit 131 has received the specification and one or more recipes that have received the specification, excluding the master recipe. It doesn't matter how the two recipes have the same power.
  • the recipe difference information acquisition unit 134 usually compares all the details (contents) of one or more steps of each of the two recipes to determine whether the two recipes are exactly the same, Even if the process condition value of one of the steps is different, the difference information is set as difference information (assuming that the recipes are different).
  • the recipe difference information acquisition unit 134 compares the attribute values (update date and time, updater, etc.) of two recipes without comparing the contents of the recipe.
  • the information may be difference information.
  • the recipe heterogeneity information acquisition unit 134 can usually also realize an MPU or memory power.
  • the processing procedure of the recipe difference information acquisition unit 134 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the difference acquisition means 1341 compares the contents of the master recipe with the contents of the recipe to be compared with the master recipe, determines whether the two recipes have the same power, and has the same information ( For example, value “0”) or difference information (for example, value “1”) is acquired.
  • a recipe usually has one or more steps.
  • a step is a set of process condition values for controlling the processing device 11.
  • the difference acquisition means 1341 can usually be realized from an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the difference acquisition means 1341 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the absence information acquisition means 1342 determines that there is no recipe to be compared, and acquires the absence information.
  • the absence information acquisition unit 1342 is present in the recipe recipe storage unit 133 corresponding to the recipe identifier that identifies the recipe included in the recipe designation instruction. If it is determined that it does not exist in the recipe storage unit 133, non-existence information (for example, value “2”) is obtained.
  • the absence information acquisition unit 1342 can be realized usually by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the absence information acquisition means 1342 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the communication impossibility information acquisition unit 1343 determines whether communication with the control device 12 is possible, and acquires communication impossibility information when communication is impossible. The case where communication with the control device 12 is not possible is when the control device 12 is shut down or when the control device 12 is not connected to the network. Since it is possible to determine whether communication is possible or not by a known technique, a detailed description is omitted.
  • the communication impossibility information acquisition means 1343 can be usually realized by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the communication impossibility information acquisition means 1343 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the output impossible information acquisition means 1344 is a user that the user of the process information management device 13 cannot obtain the difference information using the user information received by the receiving unit 131 and stored in the user information storage unit 132. If the user cannot obtain the difference information, the information indicating that the output is not possible is obtained.
  • the non-outputable information acquisition unit 1344 stores, for example, one or more pieces of user information that can obtain the difference information, and stores the information in the user information storage unit 132 in the one or more pieces of user information. Then, it is determined whether or not the user information exists, and if the user information does not exist, the difference information is set as non-outputable information (for example, value “4”).
  • the output impossibility information acquisition means 1344 stores, for example, one or more pieces of user information that can obtain different information for each recipe and control device, and obtains different information for the designated recipe control device. Whether or not the user is capable of being used is determined using the stored user information and the received user information. When it is determined that the user identified by the attached user information cannot obtain the difference information, the difference information is set as unusable information.
  • the output impossible information acquisition unit 1344 can be usually realized by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the non-outputable information obtaining unit 1344 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the difference information output unit 135 outputs the difference information acquired by the recipe difference information acquisition unit 134 for each recipe.
  • the output mode of difference information is not ask
  • An example of the output mode of the difference information will be described later.
  • the output is a concept including display on a display, printing on a printer, sound output, transmission to an external device, storage on a recording medium, and the like.
  • the difference information output unit 135 may or may not include an output device such as a display.
  • the difference information output unit 135 can be realized by output device driver software or output device driver software and an output device.
  • the control device information storage unit 136 stores one or more pieces of control device information that is information related to one or more control devices 12.
  • the control device information is, for example, an ID for identifying the control device 12, a name of the control device 12, and the like.
  • the control device information storage unit 136 is preferably a non-volatile recording medium, but can also be realized by a volatile recording medium.
  • the recipe receiving unit 137 receives a recipe from the control device 12. For example, the recipe receiving unit 137 receives a recipe from the control device 12 at the timing when the recipe is updated in each control device 12. In such a case, the control device 12 detects a recipe update when the recipe update receiving unit that receives the recipe update, the recipe update unit that updates the recipe, the recipe update detection unit that detects the recipe update, or the recipe update detection unit. And a recipe transmission unit for transmitting the recipe to the process information management device. Needless to say, the control device 12 includes a control unit that controls the processing device based on the recipe. However, the recipe receiving unit 137 may periodically communicate with the control device 12 to acquire a recipe. That is, the timing at which the recipe receiving unit 137 receives a recipe is not limited.
  • the recipe receiving unit 137 is usually realized by a wireless or wired communication means, but may be realized by a means for receiving a broadcast.
  • the recipe accumulation unit 138 accumulates the recipe received by the recipe reception unit 137 in the recipe storage unit 133.
  • the recipe accumulating unit 138 normally stores the recipe received by the recipe receiving unit 137 in the record.
  • the recipe is stored in the recipe storage unit 133 in association with the control device 12 that has transmitted the shipping. Accumulation of recipes associated with the control device 12 is, for example, accumulating control device information for identifying the control device 12 and a recipe in pairs.
  • the recipe accumulating unit 138 can usually also realize an MPU, a memory and the like.
  • the processing procedure of the recipe storage unit 138 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the detailed output unit 139 acquires and outputs step difference information, which is information regarding the difference between one or more steps, which is detailed information of the designated recipe.
  • the mode of output of step difference information is not limited.
  • the processing procedure of the detailed output unit 139 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM.
  • output is a concept including display on a display, printing on a printer, transmission to an external device, storage on a recording medium, and the like.
  • the detailed output unit 139 may be considered not to include an output device such as a display.
  • the detailed output unit 139 can be implemented by output device driver software, or output device driver software and an output device.
  • Step S401 The accepting unit 131 determines whether or not a force has been accepted. If the input is accepted, the process goes to step S402. If the input is not accepted, the process goes to step S411.
  • Step S402 The accepting unit 131 determines whether or not the input accepted in step S401 is user information. If it is user information, go to Step S403, and if it is not user information, go to Step S404.
  • Step S 403 The accepting unit 131 accumulates the user information accepted in Step S 401 in the user information storage unit 132. Note that authentication processing may be performed using user information by means not shown. Since the authentication process is a known technique, a detailed description thereof is omitted. Return to step S401.
  • Step S404 Reception unit 131 determines whether or not the input received in step S401 is a recipe designation instruction. If it is a recipe designation instruction, go to Step S405, and if it is not a recipe designation instruction, go to Step S407. (Step S 405) An output means (not shown) acquires a recipe identifier included in the recipe designation instruction and temporarily stores it.
  • Step S406 The output means (not shown) changes the display of the recipe identifier identified by the recipe identifier acquired in step S405, for example.
  • the output means displays the display of the recipe identifier acquired in step S405 in a conspicuous manner as compared with other recipe identifiers (focusing the recipe identifier). It is assumed that a list of two or more recipe identifiers is displayed before the recipe designation instruction is input. Further, for example, the output means (not shown) is a recipe identified by the recipe identifier acquired in step S405, and reads one or more recipe identifiers corresponding to one or more registered control device information. The above recipe identifiers may be output as a list. Return to step S401.
  • Step S407 The receiving unit 131 determines whether or not the input received in step S401 is a difference information output instruction. If it is a difference information output instruction, go to step S408, and if it is not a difference information output instruction, go to step S409.
  • Step S408 The recipe difference information acquisition unit 134 and the difference information output unit 135 perform difference information output processing.
  • the difference information output process will be described later with reference to the flowchart of FIG. Step S401 Go back.
  • Step S409 The accepting unit 131 determines whether or not the input accepted in step S401 is a detailed output instruction. If it is a detailed output instruction, go to step S410, and if it is not a detailed output instruction, return to step S401.
  • Step S410 The detailed output unit 139 performs a detailed output process. Detailed output processing will be described later using the flowchart of FIG. Return to step S401.
  • Step S 411 Recipe receiving unit 137 determines whether or not it has received a recipe from control device 12. If a recipe is received, the process goes to step S412. If no recipe is received, the process returns to step S401.
  • Step S412 The recipe storage unit 138 stores the recipe received in step S411 in the recipe storage unit 133.
  • the recipe storage unit 138 normally stores a recipe in association with control device information for identifying the control device 12 that has received the recipe.
  • step S401 In the flowchart of FIG. 4, for example, when user information is received, authentication processing is performed, and authentication is permitted, the user information is temporarily stored and the control device information storage unit 136 One or more pieces of control device information may be read, and recipe identifiers and master recipe identifiers corresponding to the read one or more pieces of control device information may be output in a list format.
  • the recipe designation instruction has two or more recipe identifiers among the two or more recipe identifiers (including the master recipe identifier) output in the list format.
  • the user may designate two or more recipe identifiers with a mouse among the two or more recipe identifiers output in the list format.
  • step S408 the difference information output process in step S408 will be described with reference to the flowchart of FIG.
  • Step S501 The recipe difference information acquisition unit 134 performs an initial process.
  • the initial process is, for example, holding the recipe identified by the recipe identifier acquired in step S405, This is a process of reading from the control device information storage unit 136.
  • the initial process includes a process of substituting 1 into the counter i. If the recipe identifier is not acquired in step S405, the recipe difference information acquisition unit 134 may read all recipes in the control device information storage unit 136.
  • Step S502 The recipe difference information acquisition unit 134 determines whether or not the i-th recipe (i-th control device information recipe) exists. If the i-th recipe exists, the process goes to step S503. If the i-th recipe does not exist, the process goes to step S524. Note that the i-th recipe is the i-th recipe among the recipes to be judged different from the master recipe.
  • Step S 503 Output disable information acquisition means 1344 reads the user information from user information storage section 132.
  • Step S504 The output impossibility information acquisition means 1344 uses the user information read in step S503 to determine whether the user identified by the user information can access the recipe of the cell. Judge whether or not.
  • Step S505 Judgment power in Step S504, Step S5 if accessible Go to 08, otherwise go to step S506.
  • the output impossibility information acquisition means 1344 uses the difference information as output impossibility information. Specifically, the output prohibition information acquisition unit 1344 substitutes the output prohibition information for a variable “difference information”, for example.
  • Step S507 Recipe difference information acquisition section 134 increments counter i by 1, and returns to step S502.
  • Step S508 The communication impossibility information acquisition unit 1343 acquires control device information corresponding to the i-th recipe.
  • Step S509 The communication impossibility information acquisition unit 1343 acquires the communication state between the control device identified by the control device information and the process information management device 13 using the control device information acquired in Step S508. .
  • the communication impossibility information acquisition unit 1343 acquires a communication state between the control device and the process information management device 13 by issuing a command “ping IP address” and obtaining a return value, for example.
  • Step S510 The communication impossibility information acquiring unit 1343 determines whether or not the communication state acquired in Step S509 (for example, the return value of Step S509) is a state incapable of communication. If communication is not possible, go to step S511. If communication is not possible, go to step S512.
  • the communication state acquired in Step S509 for example, the return value of Step S509
  • Step S511 The communication impossibility information acquisition unit 1343 uses the difference information as communication impossibility information. Specifically, the communication impossibility information acquisition unit 1343 substitutes communication impossibility information for a variable “difference information”, for example. Go to step S507.
  • Step S512 The absence information acquisition unit 1342 reads the i-th recipe.
  • Step S513 The non-existence information acquisition unit 1342 determines whether or not the i-th recipe exists. If the i-th recipe exists, go to step S515; if the i-th recipe does not exist, go to step S514
  • Step S514 The non-existence information acquisition unit 1342 sets the difference information as non-existence information. Specifically, the nonexistence information acquisition unit 1342 substitutes nonexistence information for a variable “difference information”, for example. Go to step S507.
  • Step S515 The difference acquisition unit 1341 reads the master recipe from the recipe storage unit 133. Stick out.
  • the master recipe identifier for identifying the master recipe is included in the recipe designation instruction.
  • Step S566 The difference acquisition means 1341 substitutes 1 for the counter j.
  • Step S51-7 The difference acquisition means 1341 determines whether or not the j-th step exists in the i-th recipe. If the jth step exists, go to step S518, and if the jth step does not exist, go to step S522.
  • Step S519 The difference acquisition means 1341 reads the information of the j-th step in the i-th recipe and the information of the step of the master recipe corresponding to the step (having the same step identifier), Compare the information of the two steps. If there is no master recipe step corresponding to the j-th step, the comparison result in step S519 is not the same.
  • Step S519 The difference acquisition unit 1341 determines whether or not the comparison result forces in step S518 are the same. If they are the same, go to step S520, otherwise go to step S521
  • Step S520 The difference acquisition unit 1341 increments the counter j by 1, and returns to Step S517.
  • Step S521 The difference acquisition unit 1341 uses the difference information as difference information. Specifically, the difference acquisition unit 1341 assigns difference information to, for example, a variable “difference information”. Step Go to S507.
  • Step S522 The difference acquisition unit 1341 determines whether or not there is a step whose difference is not compared in the i-th recipe or the master recipe. The differences are not being compared! If there is a step, the process goes to step S521, and the differences are compared. If there is no step, the process goes to step S523.
  • Step S523 The difference acquisition unit 1341 sets the difference information as the same information. Specifically, the difference acquisition unit 1341 assigns the same information to, for example, a variable “difference information”. Step Go to S507.
  • Step S524 The difference information output unit 135 outputs the master recipe and the difference information of one or more recipes compared with each other in association with the one or more recipes. Return to upper function To do.
  • the output mode of the difference information of the recipe is not limited.
  • the processing procedure for acquiring five types of difference information is not limited to the above processing procedure. However, the above processing procedure is suitable.
  • the above processing procedure is also a force that is a determination procedure that can speed up the processing.
  • step S410 the detailed output process in step S410 will be described using the flowchart of FIG.
  • Step S601 The detailed output unit 139 substitutes 1 for the counter i.
  • Step S602 The detailed output unit 139 determines whether or not the instructed recipe has the i-th step. If the i-th step is present, the process proceeds to step S603. If the i-th step is not present, the process returns to the upper function.
  • Step S603 The detailed output unit 139 reads information on the i-th step of the instructed recipe and the step of the master recipe corresponding to the step.
  • Step S604 The detailed output unit 139 determines whether or not the information in both steps is the same. If they are the same, go to step S605, otherwise go to step S6
  • Step S605 The detailed output unit 139 outputs in a manner indicating that the i-th step of the instructed recipe is the same as the step of one master recipe. Go to step S607.
  • Step S606 The detailed output unit 139 outputs in a manner indicating that the i-th step of the instructed recipe is different from the step of one master recipe.
  • Step S607 The detailed output unit 139 increments the counter i by 1. Return to step S60-2.
  • a master recipe is determined in advance corresponding to the recipe.
  • FIG. 1 A conceptual diagram of the control system including the process information management apparatus is shown in FIG.
  • This control The system includes a process information management device 13, a client terminal 101, control devices (El, E2, E3, E4, E5, E6), and processing devices (PI to P6) corresponding to the control devices.
  • the control device E3 is not currently connected to the network.
  • the recipe storage unit 133 of the process information management device 13 holds a recipe management table shown in FIG.
  • the recipe management table has attributes such as “ID”, “Recipe identifier”, “Control device information”, “Resivi group”, “Editor”, “Update date / time”, and “Version”.
  • ID is information for identifying a record and exists for record management in a table.
  • the “recipe identifier” is a recipe name here.
  • Control device information is the name of the control device in which the recipe is used.
  • One recipe is specified by “recipe identifier” and “control device information”.
  • “Recipe group” is an attribute value of a recipe and indicates a group.
  • “Editor” indicates information for identifying the person who last edited the recipe
  • “Update date / time” indicates the date / time when the recipe was last updated
  • “Version” indicates the version number of the recipe.
  • the recipe storage unit 133 stores the substance of the recipe specified by the “recipe identifier” and the “control device information”. Also, the recipe will have one or more step powers.
  • FIG. 9 is a control device information management table stored in the control device information storage unit 136.
  • the control device information management table has attributes of “ID” and “control device information”. “Control device information” here is the name of the control device in which the recipe is used.
  • the control device information stored in the control device information storage unit 136 may be considered as the attribute value “control device information” in FIG.
  • FIG. 10 is a user authentication information management table held by the output impossible information acquisition unit 1344.
  • the user authentication information management table is used when determining whether or not to permit login Z of the process information management device 13 of the user.
  • the user authentication information management table is used to determine a recipe corresponding to a control device accessible by the user.
  • the user authentication information management table has attributes of “ID”, “user identifier”, “password”, and “control device information”.
  • “User identifier” is a user name.
  • the “password” is used together with the “user identifier” to determine whether or not to permit the login to the process information management device 13 (no authentication).
  • the “control device information” is control device information corresponding to a recipe that can be output by the user identified by the “user identifier”.
  • “Control device information” is identified by “User identifier”. It can be said that this is information indicating a recipe that can be output by a separate user, or information on a control device corresponding to a recipe that
  • the receiving unit 131 of the process information management apparatus 13 receives user information (user identifier “Ta naka”, password “0912”).
  • the process information management apparatus 13 performs authentication processing by means not shown, determines that authentication is permitted, and permits login from the client terminal 101 to the process information management apparatus 13. From the information shown in FIG. 10, the user information (user identifier “Ding & 11 & 1 ⁇ ”, password “0912”) is also the power managed. Then, the process information management apparatus 13 temporarily stores user information (user identifier “Ding & 11 & 1 ⁇ ”, password “0912”) in the user information storage unit 132.
  • the process information management device 13 reads “recipe identifier” in the recipe management table of FIG. 8, performs unique processing, and acquires one or more recipe identifiers that do not overlap. Then, the process information management device 13 outputs a recipe list having one or more non-overlapping recipe identifiers to the client terminal 101, and the client terminal 101 displays the recipe list as shown in FIG. .
  • the receiving unit 131 of the process information management apparatus 13 receives a difference information output instruction having a recipe identifier “RCP1”.
  • the recipe difference information acquisition unit 134 is a recipe that is a recipe identified by the recipe identifier “RCP1” and includes control device information indicated by “control device information” in the control device information storage unit 136.
  • the recipe management table power shown in FIG. 8 is also searched to obtain a temporary table shown in FIG.
  • the master record The ship may be specified by the user, of course.
  • control device information "E1" is a record exists to be paired, recipe difference information acquisition unit 134, a control device identified by the control device information "E1" It is determined that the user identified by the user identifier “Tanaka” can access the recipe corresponding to.
  • the recipe difference information acquisition unit 134 determines whether or not the control device identified by the control device information “E1” can communicate with the control device. Here, it is the situation of FIG. 7, and the recipe difference information acquisition unit 134 determines that communication is possible.
  • the recipe difference information acquisition unit 134 determines whether or not the recipe entity (eg, file) power identified in the recipe identifier “RCP1” and the control device information “E1” exists in the recipe storage unit 133. to decide.
  • the recipe entity identified by the recipe identifier “RCP1” and the control device information “E1” exists.
  • the recipe difference information acquisition unit 134 reads the master recipe entity (for example, a file), the recipe identifier “RCP1”, and the recipe entity (for example, a file) identified by the control device information “E1”. Is read from the recipe storage unit 133. Then, it is determined whether all the steps of the two recipes are the same. Here, it is assumed that the recipe difference information acquisition unit 134 determines that the contents of the two recipes (files) are exactly the same. Then, the difference acquisition means 1341 substitutes “identical information (for example,“ 0 ”) into the difference information corresponding to the recipe identified by the recipe identifier“ RCP1 ”and the control device information“ E1 ”.
  • the process of determining whether two recipes is the same as that of a known technique, and thus detailed description thereof is omitted.
  • the difference acquisition means 1341 adds “same information (for example,“ 0 ”)” to the difference information corresponding to the recipe identified by the recipe identifier “RCP1” and the control device information “E2”. substitute.
  • the control device identified by the control device information "E3” but the user identified by the user identifier "Tanak a” is accessible, identified in from FIG. 7, the control device information "E3"
  • the communication impossibility information acquiring means 1343 detects that the control device is not connected to the network. Then, the communication impossibility information acquisition means 1343 substitutes “communication impossibility information (for example,“ 3 ”)” into the different information corresponding to the recipe identified by the recipe identifier “RCP1” and the control device information “E3”. . Note that detection of whether or not the device is connected to the network can be detected by a known technique, and thus detailed description thereof is omitted.
  • the control device identified by the control device information "E4" the user identified by the user identifier "Tanak a” are possible access, the control device in the network identified by the control device information "E4" It is assumed that it is connected. Further, it is assumed that the recipe identified by the recipe identifier “RCP1” and the control device information “E4” exists in the recipe storage unit 133. However, it is assumed that the difference acquisition unit 1341 determines that the recipe identified by the recipe identifier “RCP1” and the control device information “E4” is different from the master recipe.
  • the difference acquisition unit 1341 acquires the difference between the contents of the two recipes and determines that the two recipes are different because there is a difference. In such a situation, the difference acquisition unit 1341 substitutes “difference information (for example,“ 1 ”)” into the difference information corresponding to the recipe identified by the recipe identifier “RCP1” and the control device information “E4”. .
  • the control device identified by the control device information "E5" the user identified by the user identifier "Tanak a” are possible access
  • the control device in the network identified by the control device information "E5" It is assumed that it is connected. However, it does not exist in the recipe recipe storage unit 133 identified by the recipe identifier “RCP1” and the control device information “E5”.
  • the absence information acquisition means 1342 determines that there is no recipe to be compared, and the absence information To get. That is, the non-existence information acquisition unit 1342 substitutes “non-existence information (for example,“ 2 ”)” into the difference information corresponding to the recipe identified by the recipe identifier “RCP1” and the control device information “E5”. .
  • the output disable information acquisition means 1344 cannot output because the user identified by the user identifier “Tanak a ” cannot access the control device identified by the control device information “E6” from FIG. Get information. Then, the output disable information acquisition means 1344 substitutes “output disable information (for example,“ 4 ”)” into the different information corresponding to the recipe identified by the recipe identifier “RCP1” and the control device information “E6”. To do.
  • the difference information output unit 135 outputs the difference information acquired by the recipe difference information acquisition unit 134 for each recipe.
  • An output example of the difference information output unit 135 is shown in FIG.
  • “Master” is output in the “Result” column of the master recipe.
  • the “Result” column displays “Same” if the difference information is the same information, “Different” if the difference information is the difference information, and “Not” if the difference information is the non-existence information.
  • “Fold”, “Offline” is output if the difference information is communication disabled information, and “Disable” is output if the difference information is output impossible information.
  • the difference information output unit 135 does not output a part of the attribute value of the recipe when the difference information is any of the absence information, the communication disabled information, and the output disabled information.
  • the attribute values of "Editor”, “Update date / time”, and “Version” are not output. This is uncertain if the difference information output unit 135 outputs “editor”, “update date / time”, and “version” from the information shown in FIG. This is not valid.
  • the input of the output instruction is, for example, that the control device information “E4” in FIG. 13 is double-clicked. That is, the user tries to obtain details of the difference between the master recipe (the recipe identified by AGC_RCP) and the recipe whose difference information is the difference information (the recipe identified by E4).
  • the accepting unit 131 accepts a detailed output instruction including “E4”.
  • the detailed output unit 139 shows that the difference information is different from the master recipe (recipe identified by AGC—RCP). Is read (recipe identified by E4), and step difference information is acquired and output for each corresponding step.
  • Figure 14 shows an example of the output that can be used.
  • the left side of the screen is a list of steps, and the shaded rows indicate that the two recipes have different steps.
  • Figure 14 shows that “Step C” and “Step D” of the recipe are different.
  • the right side of Fig. 14 shows the process condition values, etc. of the focused steps (indicated by the arrow on the right side of the screen! "Step C") for the two recipes. Isometric Indicates that the process condition value is different.
  • “Main Set” is different.
  • the process information management device of the present embodiment when two or more recipes are compared, it is possible to acquire and output states other than the two states that are the same or different. . Therefore, the user can know exactly what the difference between the two recipes is. In other words, the user can know the difference between the states of the two recipes in more detail, and can take the following appropriate actions. Specifically, when a user compares one master recipe with recipes of multiple control devices, the offline control device or recipe does not exist in the control device, and there is no access right to the control device. Can know. This is effective in ensuring the consistency of the recipe between these control devices and processing devices, because there are cases where dozens of control devices and processing devices are operated in some semiconductor manufacturing factories.
  • the user can, for example, interrupt work or apply for user registration (registration for obtaining output permission) for a recipe that is determined to be non-outputtable information that cannot be accessed by the user. Do.
  • the user contacts the control device user so that the control device that processes the recipe is in a communicable state, or the user is notified. Instruct the controller to start up.
  • the user copies, for example, the latest recipe for the recipe determined to be non-existent information.
  • the user copies for example, the latest recipe for the recipe determined to be different information from the master recipe.
  • the user may directly operate from the process information management apparatus 13 1S that has also operated the client terminal.
  • the processing in the present embodiment may be realized by software.
  • This software may be distributed by software download or the like.
  • this software may be recorded and distributed on a recording medium such as a CD-ROM.
  • the software that realizes the process information management apparatus in the present embodiment is the following program. In other words, this program controls one or more recipes that are information on processes held by one or more control devices that respectively control one or more processing devices that perform a predetermined process on a substrate to be processed.
  • Each of the above control devices is stored in association with each other, and a master recipe which is a reference recipe is stored.
  • Recipe difference information acquisition step for acquiring, for each of the one or more recipes, difference information that is information regarding differences in one or more recipes, and information regarding differences in one of three or more types of difference information, and A program for executing a different information output step for outputting the different information acquired in the recipe different information acquisition step for each recipe.
  • the program causes the computer to further execute a recipe receiving step of receiving a recipe from the control device, and at least a part of the recipe is a recipe received in the recipe receiving step. Is preferred.
  • one or more control device information that is information on the one or more control devices is stored, and the recipe difference information acquisition step in the program includes the master recipe and the one or more control device information. It is preferable that the difference information of one or more recipes corresponding to the one or more control devices indicated by is acquired for each of the one or more recipes.
  • the difference information is the same information indicating that the recipe compared with the master recipe is the same, or the recipe compared with the master recipe.
  • the difference information which is information indicating that the recipes are different, or the recipe to be compared does not exist !, the absence information indicating that the recipe is compared, or the control device corresponding to the recipe to be compared communicates with the process information management device.
  • the communication disabling information indicating that it is in an incapable state, or information that indicates that the user cannot be obtained, or information that indicates that the user cannot be obtained.
  • the program further causes the computer to execute an accepting step of accepting designation of two or more recipes including a master recipe, and the master recipe accepting the designation in the recipe difference information acquiring step It is preferable to obtain the difference information with one or more recipes excluding the master recipe that received the designation of the recipe.
  • each process may be realized by centralized processing by a single device (system) or distributedly processed by a plurality of devices. It will be realized by.
  • the computer that executes the program may be a single computer or a plurality of computers. That is, centralized processing or distributed processing may be performed.
  • two or more communication means existing in one apparatus may be physically realized by one medium.
  • the process information management apparatus has an effect that the meaning of a difference between two recipes can be accurately known.
  • a semiconductor manufacturing apparatus a liquid crystal panel, etc. It is useful as a process information management device that manages process information, which is information about control of processing equipment such as manufacturing equipment.
  • FIG. 1 Conceptual diagram of the control system in the embodiment
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of the same semiconductor wafer manufacturing apparatus
  • FIG. 4 is a flowchart for explaining the operation of the process information management apparatus.
  • FIG. 5 is a flowchart for explaining the same / difference information output processing.
  • FIG. 6 is a flowchart for explaining the detailed output processing.
  • FIG. 9 A diagram showing the control device information management table.
  • FIG. 10 A diagram showing the same user authentication information management table

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Abstract

【課題】従来のプロセス情報管理装置においては、2つ以上のレシピの異同に関する情報について、同一か相違しているか、という2種類の情報しか、得ることができなかった、という課題があった。 【解決手段】被処理基板に対する所定のプロセスを行う1以上の処理装置をそれぞれ制御する1以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である1以上のレシピを、前記1以上の制御装置に各々対応付けて格納され、かつ基準となるレシピであるマスターレシピが格納されるレシピ格納部と、前記マスターレシピと前記1以上のレシピの異同に関する情報であり、3種類以上ある異同に関する情報のうちの一の異同に関する情報である異同情報を、前記1以上のレシピごとに取得し、取得した異同情報を、レシピごとに出力するプロセス情報管理装置により、3種類以上の情報を得ることができる。

Description

プロセス情報管理装置、およびプログラム
技術分野
[0001] 本発明は、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の処理装置に対す る制御についての情報であるプロセス情報を管理するプロセス情報管理装置等に関 するものである。
背景技術
[0002] 従来、半導体ウェハ等の被処理基板を処理する複数の処理装置を一元管理の下 で制御するシステムであり、製造システム全体の保守性の向上を図る制御システムが あった (特許文献 1参照)。本制御システムは、処理装置毎のレシピ (プロセス条件値 )の集中管理やレシピに基づく各処理装置のプロセスコントロールをはじめとして、各 処理装置から得られる全てのプロセスデータの解析処理を行!ヽ、その解析結果ゃプ ロセスデータの集中モニタリング処理、更には解析 z統計結果をレシピに反映させる 処理等を行う AGC (アドバンス ·グループ 'コントローラ)を接続するシステムである。 本制御システムにお 、て、各処理装置力 得られる全てのプロセスデータやその解 析結果をモニタリングできることで、処理装置の異常や劣化状態をより詳細かつ早期 に発見することができる。
[0003] また、市販のプロセス情報管理装置 (例えば、複数の半導体製造装置のプロセスを 管理する群管理システムを構成するサーバ装置)において、 2つのレシピを構成する 1以上のステップのうちの各ステップが同一か異なっているかを表示する機能を有し ているものがあった。
[0004] さらに、近年、半導体ウェハや液晶パネル等の製造システムの大規模ィ匕により、被 処理基板に対して成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の処理 (プロセス)を行 う多数の処理装置を一元管理する要求が益々高まっている。具体的には、例えば、 数十と 、う数の処理装置、制御装置を一元管理する必要がでてきて 、る。
特許文献 1 :特開平 11 16797号公報 (第 1頁、第 1図等)
発明の開示 発明が解決しょうとする課題
[0005] 一方、処理装置を適切に動作させるために、制御システムに含まれるプロセス情報 管理装置側で、マスターレシピという動作がある程度は保障されたレシピと、他のレシ ピの差異をチェックする必要がある。
[0006] しかしながら、従来の装置においては、マスターレシピと他のレシピの差異を提示 する際に、 2つのレシピを構成する 1以上のステップのうちの各ステップが同一力 4目違 するか、を表示できるだけである、という課題があった。
[0007] そのために、プロセス情報管理装置のユーザは、 2つのレシピ間の相違の意味合 いを正確に知ることができず、精度高い、次のアクションを行うことができな力つた。
[0008] 具体的には、例えば、従来の制御システムにおいて、比較を行うことができる複数 の制御装置のレシピは、その時点で制御装置がオンラインになっており、かつ制御装 置上に存在しており、かつプロセス情報管理装置力 制御装置にアクセス可能であ ることが必要であった。しかし、比較の対象にならないレシピに着目した場合、従来の 制御システムでは比較できない理由(制御装置がオフラインなの力 制御装置はオン ラインだがレシピが存在しないの力、制御装置へのアクセス権がないのかなど)が分 からなかった。
[0009] また、一度に比較表示できるレシピの差は、 2つであり、数十という数の処理装置、 制御装置を一元管理している昨今、一度にマスターレシピと他の制御装置で利用さ れているレシピとの差の有無を知ることができなかった。
課題を解決するための手段
[0010] 本発明のプロセス情報管理装置は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う 1 以上の処理装置をそれぞれ制御する 1以上の制御装置が保持しているプロセスに関 する情報である 1以上のレシピを、前記 1以上の制御装置に各々対応付けて格納さ れ、かつ基準となるレシピであるマスターレシピが格納されるレシピ格納部と、前記マ スターレシピと前記 1以上のレシピの異同に関する情報であり、 3種類以上ある異同 に関する情報のうちの一の異同に関する情報である異同情報を、前記 1以上のレシ ピごとに取得するレシピ異同情報取得部と、前記レシピ異同情報取得部が取得した 異同情報を、前記 2以上のレシピごとに出力する異同情報出力部を具備するプロセ ス情報管理装置である。
発明を実施するための最良の形態
[0011] 以下、プロセス情報管理装置等の実施形態について図面を参照して説明する。な お、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度 の説明を省略する場合がある。
(実施の形態)
[0012] 図 1は、本実施の形態における制御システムの概念図である。制御システムは、例 えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシステムで ある。また、制御システムは、 1以上の処理装置 11 (処理装置 11 (1)から処理装置 1 l (n) )、 1以上の制御装置 12 (制御装置 12 (1)から制御装置 12 (n) )、およびプロセ ス情報管理装置 13を有する。
[0013] 処理装置 11は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う装置である。さらに具体 的には、処理装置 11は、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置であ る。処理装置 11は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基 板に対する各種処理を行う。処理装置 11は、例えば、複合プロセス型の半導体ゥェ ハ製造装置である。本半導体ウェハ製造装置の例を図 2に示す。図 2に示すように、 本半導体ウェハ製造装置は、半導体ウェハに対して各種の処理、例えば、成膜処理 やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数 (例えば、 3つ)のプロセスチャンバ 1、 2、 3と、多数枚(例えば、 50枚)のウェハ Wを収納できるカセット Cl、 C2を収容する カセットチャンバ 4、 5と、プロセスチャンバ 1、 2、 3とカセットチャンバ 4、 5との間でゥェ ハ Wの受け渡しを行う搬送チャンバ 6とを備えて構成される。各チャンバ間は、ゲート バルブ Gを介して開閉自在に連結されている。搬送チャンバ 6内には、屈伸動作及 び回転動作が可能な例えば多関節式の搬送アーム 7が設けられており、この搬送ァ ーム 7によりチャンバ間でのウェハ Wの搬送が行われる。カセット Cl、 C2は、カセット チャンバ 4、 5内に取り込まれる際に 90度反転されると共に、そのカセット Cl、 C2のゥ ェハ揷脱口が搬送チャンバ 6内の中心を向くように回転され、搬送アーム 7によるゥェ ハ Wの出し入れが可能な姿勢に設置される。
[0014] また、制御装置 12は、処理装置 11を制御する装置であり、通常、処理装置 11に対 応して設けられている。制御装置 12は、被処理基板に対する所定のプロセスに関す る情報であるレシピ (通常、プロセス条件値の集合)を格納しており、当該レシピを用 いて、処理装置 11を制御する。制御装置 12は、例えば、各処理装置 11の上位制御 系である ECC制御部、各処理装置 11の下位制御系である MC (マシンコントローラ) を具備する。かかる場合、 ECC制御部は、例えば、プロセス情報管理装置 13との論 理的なインターフェイス手段である RAP (Remote Agent Process)を有し、この RAPに よってプロセス情報管理装置 13との間での各種データの送受信が行われる。なお、 処理装置 11と制御装置 12は、一体となっていても良いし、分離されていても良い。
[0015] プロセス情報管理装置 13は、例えば、いわゆる群管理システムを構成するサーバ 装置である。
[0016] 図 3は、プロセス情報管理装置 13の構成を示すブロック図である。プロセス情報管 理装置 13は、受付部 131、ユーザ情報格納部 132、レシピ格納部 133、レシピ異同 情報取得部 134、異同情報出力部 135、制御装置情報格納部 136、レシピ受信部 1 37、レシピ蓄積部 138、詳細出力部 139を具備する。
[0017] レシピ異同情報取得部 134は、異同取得手段 1341、不存在情報取得手段 1342 、通信不可情報取得手段 1343、出力不可情報取得手段 1344を具備する。
[0018] 受付部 131は、ユーザ力もの指示やユーザ情報を受け付ける。指示とは、マスター レシピを含む 2以上のレシピの指定であるレシピ指定指示、異同情報を出力する指 示である異同情報出力指示、 2つ以上のレシピ間で、異なる旨を示す出力がなされ た場合に、さらに相違点の詳細を知るための指示である詳細出力指示などである。レ シピ指定指示は、一のレシピ識別子を有しても良い。かかる場合、レシピ指定指示は 、同一のレシピ識別子を持つ 1以上の制御装置のレシピ、およびマスターレシピを指 定したこととなる。また、レシピ指定指示は、 2以上のレシピ識別子を有しても良い。か 力る場合、レシピ指定指示は、当該レシピ指定指示が有する 2以上のレシピ識別子 で識別される 2以上のレシピを指定したこととなる。ユーザ情報とは、ユーザを識別す る情報であり、例えば、ユーザ IDや、ユーザ IDとパスワードの組である。詳細出力指 示は、例えば、マスターレシピと一のレシピの指示を含む。かかる場合、詳細出力指 示は、マスターレシピと当該一のレシピとの差異の詳細を出力する指示である。指示 等の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何で も良い。また、指示は、外部装置カゝら送信されたものでも良ぐかかる場合、受付部 1 31は、受信手段を有する。受付部 131は、テンキーやキーボード等の入力手段のデ バイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェアや、通信手段等で実現され得る
[0019] ユーザ情報格納部 132は、受付部 131が受け付けたユーザ情報を、少なくとも一 時格納している。ユーザ情報格納部 132は、 RAM等の揮発性の記録媒体が好適で ある力 ハードディスク等の不揮発性の記録媒体でも実現可能である。
[0020] レシピ格納部 133には、マスターレシピと 1以上のレシピ(マスターレシピではないレ シピ)が格納される。レシピとは、被処理基板に対する所定のプロセスを行う処理装置 11を制御する 1以上の制御装置 12が保持して 、るプロセスに関する情報である。こ こでは、レシピは、プロセス情報の一種である。プロセス情報は、レシピ以外のプロセ スを制御する命令列でも良い。レシピ格納部 133には、レシピが制御装置 12に各々 対応付けて格納される。また、マスターレシピは、一の制御装置 12に対応付けられて いる情報でも良いし、仮想的な情報でも良い。また、マスターレシピは固定でなくても 良い。ユーザがマスターレシピを指定できても良い。レシピ格納部 133は、不揮発性 の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
[0021] レシピ異同情報取得部 134は、マスターレシピと 1以上のレシピ(マスターレシピで はないレシピ)の異同に関する情報であり、 3種類以上ある異同に関する情報のうち の一の異同に関する情報である異同情報を、 1以上のレシピごとに取得する。また、 レシピ異同情報取得部 134は、マスターレシピと、後述する制御装置情報格納部 13 6の 1以上の制御装置情報が示す 1以上の制御装置 12に対応する 1以上のレシピの 異同情報を、 1以上のレシピごとに取得することは好適である。レシピ異同情報取得 部 134は、ネットワークに接続されている 1以上の制御装置を検出し、マスターレシピ と当該 1以上の制御装置のレシピの異同に関する情報であり、 3種類以上ある異同に 関する情報のうちの一の異同に関する情報である異同情報を、 1以上のレシピごとに 取得しても良い。異同情報は、 3種類以上の値を取りえる。 3種類以上の値とは、比 較されるレシピが同じであることを示す情報である同一情報 (例えば、値「0」)、比較 されるレシピが異なっていることを示す情報である相違情報 (例えば、値「1」)、比較 されるレシピが存在しないことを示す不存在情報 (例えば、値「2」)、比較されるレシピ に対応する制御装置 12がプロセス情報管理装置 13と通信不可の状態であることを 示す通信不可情報 (例えば、値「3」)、異同情報を得ることができないユーザであるこ とを示す情報である出力不可情報 (例えば、値「4」)のうちのいずれかの情報である。 異同情報は、通常、同一情報、相違情報を含む。 3種類以上の異同情報とは、同一 情報、相違情報、および他の 1以上の異同情報である。他の 1以上の異同情報は、 例えば、不存在情報である。レシピ異同情報取得部 134は、通常、受付部 131が指 定を受け付けたマスターレシピと、指定を受け付けた、マスターレシピを除く 1以上の レシピとの異同情報を取得する。なお、 2つのレシピが同一力 4目違しているかの判断 方法は問わない。レシピ異同情報取得部 134は、通常、 2つの各レシピが有する 1以 上のステップの詳細(内容)をすベて比較し、 2つのレシピが全く同一であるか否かを 判断して、一つのステップのうちの一つのプロセス条件値が異なっても、異同情報を 相違情報とする(レシピが異なるとする)。また、レシピ異同情報取得部 134は、レシピ の内容を比較せずに、 2つの各レシピの属性値 (更新日時や更新者など)を比較し、 属性値が一つでも異なった場合に、異同情報を相違情報としても良い。属性値の比 較により異同情報を得る場合には、処理の高速ィ匕が図れる。レシピ異同情報取得部 134は、通常、 MPUやメモリ等力も実現され得る。レシピ異同情報取得部 134の処 理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に 記録されている。但し、ハードウェア(専用回路)で実現しても良い。
異同取得手段 1341は、マスターレシピの内容と、当該マスターレシピとの異同を比 較されるレシピの内容を比較し、 2つのレシピが同一力 4目違しているかを判断し、同 一情報 (例えば、値「0」)または相違情報 (例えば、値「1」)を取得する。なお、レシピ は、通常、 1以上のステップを有する。ステップとは、処理装置 11を制御するためのプ ロセス条件値の集合である。異同取得手段 1341は、通常、 MPUやメモリ等から実 現され得る。異同取得手段 1341の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該 ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア(専用回路) で実現しても良い。 [0023] 不存在情報取得手段 1342は、異同を比較されるレシピが存在しないと判断し、不 存在情報を取得する。不存在情報取得手段 1342は、例えば、受付部 131がレシピ 指定指示を受け付けた場合、当該レシピ指定指示に含まれるレシピを識別するレシ ピ識別子に対応するレシピカ レシピ格納部 133に存在するか否かを判断し、レシピ 格納部 133に存在しないと判断した場合に、不存在情報 (例えば、値「2」)を得る。不 存在情報取得手段 1342は、通常、 MPUやメモリ等カゝら実現され得る。不存在情報 取得手段 1342の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアは RO M等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウ ア(専用回路)で実現しても良い
[0024] 通信不可情報取得手段 1343は、制御装置 12との通信が可能力否かを判断し、通 信不可の場合に、通信不可情報を取得する。制御装置 12との通信が可能でない場 合とは、制御装置 12がシャットダウンしている場合や、制御装置 12がネットワークに 接続されていない場合などである。通信可か不可かの判断は、公知技術により可能 であるので、詳細な説明は省略する。通信不可情報取得手段 1343は、通常、 MPU やメモリ等から実現され得る。通信不可情報取得手段 1343の処理手順は、通常、ソ フトウェアで実現され、当該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。伹 し、ハードウェア (専用回路)で実現しても良い。
[0025] 出力不可情報取得手段 1344は、受付部 131が受け付け、ユーザ情報格納部 132 に格納されているユーザ情報を用いて、プロセス情報管理装置 13のユーザが、異同 情報を得ることができないユーザである力否かを判断し、異同情報を得ることができ ないユーザである場合に、出力不可情報を取得する。出力不可情報取得手段 1344 は、例えば、異同情報を得ることができる 1以上のユーザ情報を格納しており、当該 格納して 、る 1以上のユーザ情報の中に、ユーザ情報格納部 132に格納されて 、る ユーザ情報が存在するカゝ否かを判断し、存在しない場合に、異同情報を出力不可情 報 (例えば、値「4」)とする。また、出力不可情報取得手段 1344は、例えば、レシピ や制御装置ごとに異同情報を得ることができる 1以上のユーザ情報を格納しており、 指定されたレシピゃ制御装置に対して異同情報を得ることができるユーザである力否 かを、当該格納しているユーザ情報と、受け付けたユーザ情報を用いて判断し、受け 付けたユーザ情報で識別されるユーザが異同情報を得ることができないユーザであ ると判断した場合に、異同情報を出力不可情報とする。出力不可情報取得手段 134 4は、通常、 MPUやメモリ等から実現され得る。出力不可情報取得手段 1344の処 理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に 記録されている。但し、ハードウェア(専用回路)で実現しても良い。
[0026] 異同情報出力部 135は、レシピ異同情報取得部 134が取得した異同情報を、レシ ピごとに出力する。異同情報の出力態様は問わない。異同情報の出力態様の例に ついては後述する。ここで、出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、音 出力、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積等を含む概念である。異同情報出 力部 135は、ディスプレイ等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良 い。異同情報出力部 135は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスの ドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。
[0027] 制御装置情報格納部 136は、 1以上の制御装置 12に関する情報である 1以上の制 御装置情報を格納している。制御装置情報とは、例えば、制御装置 12を識別する ID や、制御装置 12の名前などである。制御装置情報格納部 136は、不揮発性の記録 媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
[0028] レシピ受信部 137は、制御装置 12からレシピを受信する。レシピ受信部 137は、例 えば、各制御装置 12でレシピが更新されたタイミングで、制御装置 12からレシピを受 信する。かかる場合、制御装置 12は、レシピの更新を受け付けるレシピ更新受付部、 レシピを更新するレシピ更新部、レシピの更新を検知するレシピ更新検知部、レシピ 更新検知部がレシピの更新を検知した場合に、レシピをプロセス情報管理装置に送 信するレシピ送信部を具備する。また、制御装置 12は、レシピに基づいて処理装置 を制御する制御部を具備することは言うまでもない。ただし、レシピ受信部 137が、定 期的に制御装置 12と通信をし、レシピを取得するなどでも良い。つまり、レシピ受信 部 137がレシピを受信するタイミングは問わない。レシピ受信部 137は、通常、無線ま たは有線の通信手段で実現されるが、放送を受信する手段で実現されても良い。
[0029] レシピ蓄積部 138は、レシピ受信部 137が受信したレシピをレシピ格納部 133に蓄 積する。レシピ蓄積部 138は、通常、レシピ受信部 137が受信したレシピを、当該レ シピを送信した制御装置 12に対応付けて、レシピ格納部 133に蓄積する。制御装置 12に対応付けたレシピの蓄積とは、例えば、制御装置 12を識別する制御装置情報 とレシピを対にして蓄積することである。レシピ蓄積部 138は、通常、 MPUやメモリ等 力も実現され得る。レシピ蓄積部 138の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、 当該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウ ア(専用 回路)で実現しても良い。
[0030] 詳細出力部 139は、指定されたレシピの詳細な情報である 1以上のステップの相違 に関する情報であるステップ相違情報を取得し、出力する。ステップ相違情報の出力 の態様は問わない。詳細出力部 139の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、 当該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。ここで、出力とは、デイス プレイへの表示、プリンタへの印字、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積等を 含む概念である。詳細出力部 139は、ディスプレイ等の出力デバイスを含むと考えて も含まないと考えても良い。詳細出力部 139は、出力デバイスのドライバーソフトまた は、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。
[0031] 次に、プロセス情報管理装置の動作について図 4から図 6のフローチャートを用い て説明する。
[0032] (ステップ S401)受付部 131は、入力を受け付けた力否かを判断する。入力を受け 付ければステップ S402に行き、入力を受け付けなければステップ S411に行く。
[0033] (ステップ S402)受付部 131は、ステップ S401で受け付けた入力がユーザ情報で ある力否かを判断する。ユーザ情報であればステップ S403に行き、ユーザ情報でな ければステップ S404に行く。
[0034] (ステップ S403)受付部 131は、ステップ S401で受け付けたユーザ情報を、ユー ザ情報格納部 132に蓄積する。なお、図示しない手段により、ユーザ情報を用いて、 認証処理を行っても良い。また、認証処理は公知技術であるので詳細な説明は省略 する。ステップ S401に戻る。
[0035] (ステップ S404)受付部 131は、ステップ S401で受け付けた入力がレシピ指定指 示であるか否かを判断する。レシピ指定指示であればステップ S405に行き、レシピ 指定指示でなければステップ S407に行く。 [0036] (ステップ S405)図示しない出力手段は、レシピ指定指示に含まれるレシピ識別子 を取得し、一時格納する。
[0037] (ステップ S406)図示しない出力手段は、例えば、ステップ S405で取得したレシピ 識別子で識別されるレシピ識別子の表示を変更する。例えば、図示しない出力手段 は、ステップ S405で取得したレシピ識別子の表示を、他のレシピ識別子と比較して 目立つ態様で表示する(レシピ識別子をフォーカシングする)。なお、レシピ指定指示 が入力される前に、 2以上のレシピ識別子のリストが表示されている、とする。また、例 えば、図示しない出力手段は、ステップ S405で取得したレシピ識別子で識別される レシピであり、登録されている 1以上の制御装置情報に対応する 1以上のレシピ識別 子を読み出し、当該 1以上のレシピ識別子をリスト出力しても良い。ステップ S401に 戻る。
[0038] (ステップ S407)受付部 131は、ステップ S401で受け付けた入力が異同情報出力 指示であるか否かを判断する。異同情報出力指示であればステップ S408に行き、 異同情報出力指示でなければステップ S409に行く。
[0039] (ステップ S408)レシピ異同情報取得部 134、および異同情報出力部 135は、異 同情報出力処理を行う。異同情報出力処理について、図 5のフローチャートを用いて 後述する。ステップ S401〖こ戻る。
[0040] (ステップ S409)受付部 131は、ステップ S401で受け付けた入力が詳細出力指示 であるか否かを判断する。詳細出力指示であればステップ S410に行き、詳細出力 指示でなければステップ S401に戻る。
[0041] (ステップ S410)詳細出力部 139は、詳細出力処理を行う。詳細出力処理につい て、図 6のフローチャートを用いて後述する。ステップ S401に戻る。
[0042] (ステップ S411)レシピ受信部 137は、制御装置 12からレシピを受信した力否かを 判断する。レシピを受信すればステップ S412に行き、レシピを受信しなければステツ プ S401に戻る。
[0043] (ステップ S412)レシピ蓄積部 138は、ステップ S411で受信したレシピをレシピ格 納部 133に蓄積する。レシピ蓄積部 138は、通常、レシピを受信した制御装置 12を 識別する制御装置情報に対応付けてレシピを蓄積する。ステップ S401に戻る。 [0044] なお、図 4のフローチャートにお 、て、例えば、ユーザ情報を受付け、認証処理を 行い、認証許可であった場合に、ユーザ情報を一時蓄積するとともに、制御装置情 報格納部 136から 1以上の制御装置情報を読み出し、当該読み出した 1以上の制御 装置情報に対応するレシピ識別子とマスターレシピの識別子をリスト形式で出力して も良い。そして、レシピ指定指示は、当該リスト形式で出力された 2以上のレシピ識別 子 (マスターレシピの識別子を含む)のうちの、 2以上のレシピ識別子を有する。つまり 、ユーザが、リスト形式で出力された 2以上のレシピ識別子のうち、マウス等で、 2以上 のレシピ識別子を指示しても良 、。
[0045] なお、図 4のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は 終了する。
[0046] 次に、ステップ S408の異同情報出力処理について図 5のフローチャートを用いて 説明する。
[0047] (ステップ S501)レシピ異同情報取得部 134は、初期処理を行う、初期処理とは、 例えば、ステップ S405で取得したレシピ識別子で識別されるレシピを保持して 、る 制御装置情報を、制御装置情報格納部 136から読み出す処理である。また、初期処 理とは、カウンタ iに 1を代入する処理も含む。なお、ステップ S405でレシピ識別子を 取得していない場合、レシピ異同情報取得部 134は、制御装置情報格納部 136の 全レシピを読み出しても良い。
[0048] (ステップ S502)レシピ異同情報取得部 134は、 i番目のレシピ (i番目の制御装置 情報のレシピ)が存在するか否かを判断する。 i番目のレシピが存在すればステップ S 503に行き、 i番目のレシピが存在しなければステップ S524に行く。なお、 i番目のレ シピとは、マスターレシピとの異同判断対象のレシピの中の、 i番目のレシピである。
[0049] (ステップ S503)出力不可情報取得手段 1344は、ユーザ情報格納部 132からュ 一ザ情報を読み出す。
[0050] (ステップ S504)出力不可情報取得手段 1344は、ステップ S503で読み出したュ 一ザ情報を用いて、当該ユーザ情報で識別されるユーザが、潘目のレシピに対して アクセス可能である力否かを判断する。
[0051] (ステップ S505)ステップ S504における判断力、アクセス可能であればステップ S 5 08に行き、アクセス可能でなければステップ S506に行く。
[0052] (ステップ S506)出力不可情報取得手段 1344は、異同情報を出力不可情報とす る。具体的には、出力不可情報取得手段 1344は、例えば、変数「異同情報」に出力 不可情報を代入する。
[0053] (ステップ S507)レシピ異同情報取得部 134は、カウンタ iを 1、インクリメントし、ステ ップ S 502に戻る。
[0054] (ステップ S508)通信不可情報取得手段 1343は、 i番目のレシピに対応する制御 装置情報を取得する。
[0055] (ステップ S509)通信不可情報取得手段 1343は、ステップ S 508で取得した制御 装置情報を用いて、制御装置情報で識別される制御装置とプロセス情報管理装置 1 3の通信状態を取得する。通信不可情報取得手段 1343は、例えば、「ping IPァドレ ス」という命令を発行し、リターン値を得ることにより、制御装置とプロセス情報管理装 置 13の通信状態を取得する。
[0056] (ステップ S510)通信不可情報取得手段 1343は、ステップ S509で取得した通信 状態 (例えば、ステップ S509のリターン値)が通信不可の状態であるか否かを判断 する。通信不可の状態であればステップ S511に行き、通信不可の状態でなければ ステップ S512に行く。
[0057] (ステップ S511)通信不可情報取得手段 1343は、異同情報を通信不可情報とす る。具体的には、通信不可情報取得手段 1343は、例えば、変数「異同情報」に通信 不可情報を代入する。ステップ S 507に行く。
[0058] (ステップ S512)不存在情報取得手段 1342は、 i番目のレシピを読み出す。
[0059] (ステップ S513)不存在情報取得手段 1342は、 i番目のレシピが存在するか否か を判断する。 i番目のレシピが存在すればステップ S515に行き、 i番目のレシピが存 在しなければステップ S 514に行く
[0060] (ステップ S514)不存在情報取得手段 1342は、異同情報を不存在情報とする。具 体的には、不存在情報取得手段 1342は、例えば、変数「異同情報」に不存在情報 を代入する。ステップ S 507に行く。
[0061] (ステップ S515)異同取得手段 1341は、レシピ格納部 133からマスターレシピを読 み出す。なお、マスターレシピを識別するマスターレシピ識別子は、レシピ指定指示 に含まれる。
[0062] (ステップ S516)異同取得手段 1341は、カウンタ jに 1を代入する。
[0063] (ステップ S517)異同取得手段 1341は、 i番目のレシピの中に j番目のステップが 存在するか否かを判断する。 j番目のステップが存在すればステップ S518に行き、 j 番目のステップが存在しなければステップ S522に行く。
[0064] (ステップ S518)異同取得手段 1341は、 i番目のレシピの中に j番目のステップの 情報と、当該ステップに対応する(同一のステップ識別子を有する)マスターレシピの ステップの情報を読み出し、当該 2つのステップの情報を比較する。なお、 j番目のス テツプに対応するマスターレシピのステップが存在しない場合、ステップ S519におけ る比較結果は同一でない、という比較結果となる。
[0065] (ステップ S519)異同取得手段 1341は、ステップ S518における比較結果力 同一 であるか否かを判断する。同一であればステップ S520に行き、同一でなければステ ップ S 521に行く
[0066] (ステップ S520)異同取得手段 1341は、カウンタ jを 1、インクリメントし、ステップ S5 17に戻る。
[0067] (ステップ S521)異同取得手段 1341は、異同情報を相違情報とする。具体的には 、異同取得手段 1341は、例えば、変数「異同情報」に相違情報を代入する。ステツ プ S507に行く。
[0068] (ステップ S522)異同取得手段 1341は、 i番目のレシピまたはマスターレシピに異 同が比較されていないステップが存在するカゝ否かを判断する。異同が比較されてい な!、ステップが存在すればステップ S521に行き、異同が比較されて 、な 、ステップ が存在しなければステップ S523に行く。
[0069] (ステップ S523)異同取得手段 1341は、異同情報を同一情報とする。具体的には 、異同取得手段 1341は、例えば、変数「異同情報」に同一情報を代入する。ステツ プ S507に行く。
[0070] (ステップ S524)異同情報出力部 135は、マスターレシピと、比較された 1以上のレ シピの異同情報を、当該 1以上のレシピに対応付けて出力する。上位関数にリターン する。
[0071] なお、図 5のフローチャートにおいて、レシピの異同情報の出力態様は問わない。
また、 5種類の異同情報を取得する場合の処理手順は、上述の処理手順に限られな い。ただし、上記の処理手順は、好適である。上記の処理手順は、処理の高速化が 図れる判断手順である力もである。
[0072] 次に、ステップ S410の詳細出力処理について図 6のフローチャートを用いて説明 する。
[0073] (ステップ S601)詳細出力部 139は、カウンタ iに 1を代入する。
[0074] (ステップ S602)詳細出力部 139は、指示されたレシピが i番目のステップを有する か否かを判断する。 i番目のステップを有すればステップ S603に行き、 i番目のステツ プを有さなければ上位関数にリターンする。
[0075] (ステップ S603)詳細出力部 139は、指示されたレシピの i番目のステップと当該ス テツプに対応するマスターレシピのステップの情報を読み出す。
[0076] (ステップ S604)詳細出力部 139は、両ステップの情報がすべて同じであるか否か を判断する。両者が同じであればステップ S605に行き、同じでなければステップ S6
06に行く。
[0077] (ステップ S605)詳細出力部 139は、指示されたレシピの i番目のステップがマスタ 一レシピのステップと同じであることを示す態様で出力する。ステップ S607に行く。
[0078] (ステップ S606)詳細出力部 139は、指示されたレシピの i番目のステップがマスタ 一レシピのステップと異なることを示す態様で出力する。
[0079] (ステップ S607)詳細出力部 139は、カウンタ iを 1、インクリメントする。ステップ S60 2に戻る。
[0080] なお、図 6のフローチャートにおいて、ステップの異同を出力する態様は問わない。
[0081] また、図 4から図 6のフローチャートにおいて、異同を決定する際のマスターレシピを
、レシピ指定指示により指定したが、指定しなくても良い。かかる場合、レシピに対応 して、予めマスターレシピが決められている。
[0082] 以下、本実施の形態におけるプロセス情報管理装置の具体的な動作について説 明する。プロセス情報管理装置を含む制御システムの概念図は図 7である。本制御 システムは、プロセス情報管理装置 13、クライアント端末 101、制御装置 (El、 E2、 E 3、 E4、 E5、 E6)、各制御装置に対応する処理装置 (PIから P6)を具備する。本制 御システムにおいて、制御装置 E3は、現在、ネットワークに接続されていない。
[0083] また、プロセス情報管理装置 13のレシピ格納部 133には、図 8に示すレシピ管理表 を保持している。レシピ管理表は、「ID」「レシピ識別子」「制御装置情報」「レシビグル ープ」「編集者」「更新日時」「バージョン」などの属性を有する。「ID」は、レコードを識 別する情報であり、表におけるレコード管理のために存在する。「レシピ識別子」は、 ここでは、レシピ名である。「制御装置情報」は、レシピが利用される制御装置名であ る。なお、「レシピ識別子」と「制御装置情報」により、一のレシピが特定される。「レシ ピグループ」は、レシピの属性値であり、グループを示す。「編集者」はレシピを最後 に編集した者を識別する情報、「更新日時」はレシピを最後に更新した日時、「バー ジョン」はレシピのバージョン番号を示す。また、図示しないが、レシピ格納部 133に は、「レシピ識別子」と「制御装置情報」により特定されるレシピの実体が格納されて ヽ る。また、レシピは、 1以上のステップ力 なる、とする。
[0084] 図 9は、制御装置情報格納部 136に格納されている制御装置情報管理表である。
制御装置情報管理表は、「ID」「制御装置情報」の属性を有する。「制御装置情報」 は、ここでは、レシピが利用される制御装置名である。なお、制御装置情報格納部 13 6に格納されている制御装置情報を、図 8の属性値「制御装置情報」である、と考えて も良い。
[0085] また、図 10は、出力不可情報取得手段 1344が保持しているユーザ認証情報管理 表である。ユーザ認証情報管理表は、ユーザのプロセス情報管理装置 13のログイン の許可 Z不許可を決定する際に利用される。また、ユーザ認証情報管理表は、ユー ザがアクセスできる制御装置に対応するレシピを決定するために利用される。ユーザ 認証情報管理表は、「ID」「ユーザ識別子」「パスワード」「制御装置情報」の属性を有 する。「ユーザ識別子」はユーザ名である。「パスワード」は「ユーザ識別子」とともにプ ロセス情報管理装置 13へのログインの許可 Z不許可の決定のため(認証処理)〖こ利 用される。「制御装置情報」は、「ユーザ識別子」で識別されるユーザが、出力可能な レシピに対応する制御装置情報である。「制御装置情報」は、「ユーザ識別子」で識 別されるユーザが、出力可能なレシピを示す情報であるとも言えるし、出力可能なレ シピに対応する制御装置につ \、ての情報である、とも 、える。
[0086] かかる状況にぉ 、て、クライアント端末 101のユーザは、ユーザ識別子「Tanaka」、 パスワード「0912」を代入し、プロセス情報管理装置 13へのログインを試みた、とす る。
[0087] 次に、プロセス情報管理装置 13の受付部 131は、ユーザ情報 (ユーザ識別子「Ta naka」、パスワード「0912」)を受け付ける。
[0088] 次に、プロセス情報管理装置 13は、図示しない手段により、認証処理を行い、認証 許可と判断し、クライアント端末 101からプロセス情報管理装置 13へのログインを許 可する。図 10の情報より、ューザ情報(ューザ識別子「丁&11&1^」、パスヮード「0912 」)は管理されている力もである。そして、プロセス情報管理装置 13は、ユーザ情報( ューザ識別子「丁&11&1^」、パスヮード「0912」)を、ユーザ情報格納部 132に一時格 納する。
[0089] 次に、プロセス情報管理装置 13は、図 8のレシピ管理表の「レシピ識別子」を読み 出し、ユニーク処理し、重複しない 1以上のレシピ識別子を取得する。そして、プロセ ス情報管理装置 13は、重複しない 1以上のレシピ識別子を有するレシピー覧を、クラ イアント端末 101に出力し、クライアント端末 101は、レシピー覧を図 11に示すように 表示する、とする。
[0090] 次に、ユーザ識別子「Tanaka」で識別されるユーザは、クライアント端末 101から、 マウスで、レシピ識別子「RCP1」を指定し、「異同情報出力」ボタンを押下した、とす る。
[0091] 次に、プロセス情報管理装置 13の受付部 131は、レシピ識別子「RCP1」を有する 異同情報出力指示を受け付ける。
[0092] 次に、レシピ異同情報取得部 134は、レシピ識別子「RCP1」で識別されるレシピで あり、かつ、制御装置情報格納部 136の「制御装置情報」で示される制御装置情報を 含むレコードを、図 8のレシピ管理表力も検索し、図 12の一時的な表を得る。
[0093] 図 12の一時的な表において、レシピ異同情報取得部 134は、「ID= 1」のレコード に対応するレシピがマスターレシピである、と知っているものとする。なお、マスターレ シピはユーザが指定しても良 、ことは言うまでもな 、。
[0094] 次に、レシピ異同情報取得部 134は、マスターレシピと、「10 = 2」から「10 = 7」のレ コードに対応するレシピを順に比較していく。
[0095] まず、「ID = 2」のレコードに対応するレシピの処理である。つまり、レシピ異同情報 取得部 134は、「ID = 2」のレコードが有する制御装置情報「E1」で識別される制御 装置に対応するレシピに対して、ユーザ識別子「Tanaka」で識別されるユーザがァ クセス可能であるカゝ否かを判断する。つまり、図 10のユーザ認証情報管理表力ゝらュ 一ザ識別子「Tanaka」と制御装置情報「E1」が対となるレコードが存在する力否かを 判断する。ここで、図 10において、ユーザ識別子「Tanaka」と制御装置情報「E1」が 対となるレコードが存在するので、レシピ異同情報取得部 134は、制御装置情報「E1 」で識別される制御装置に対応するレシピに対して、ユーザ識別子「Tanaka」で識別 されるユーザがアクセス可能である、と判断する。
[0096] 次に、レシピ異同情報取得部 134は、制御装置情報「E1」で識別される制御装置と 、通信可能である力否かを判断する。ここでは、図 7の状況であり、レシピ異同情報取 得部 134は、通信可能である、と判断する。
[0097] 次に、レシピ異同情報取得部 134は、レシピ識別子「RCP1」、制御装置情報「E1」 で識別されるレシピの実体 (例えば、ファイル)力 レシピ格納部 133に存在する力否 かを判断する。ここで、レシピ識別子「RCP1」、制御装置情報「E1」で識別されるレシ ピの実体が存在される、と判断する、とする。
[0098] 次に、レシピ異同情報取得部 134は、マスターレシピの実体 (例えば、ファイル)と、 レシピ識別子「RCP1」、制御装置情報「E1」で識別されるレシピの実体 (例えば、フ アイル)をレシピ格納部 133から読み出す。そして、 2つのレシピの全ステップが同一 か否かを判断する。ここで、 2つのレシピ(ファイル)の内容が全く同一である、と、レシ ピ異同情報取得部 134は判断する、とする。そして、異同取得手段 1341は、レシピ 識別子「RCP1」、制御装置情報「E1」で識別されるレシピに対応する異同情報に、「 同一情報 (例えば、「0」)」を代入する。なお、 2つのレシピ (通常、各レシピは 1以上 のファイル力もなる)が同一か否かを判断する処理は公知技術により可能であるので 、詳細な説明を省略する。 [0099] 次に、「ID = 3」のレコードに対応するレシピの処理である。ここでも上記と同様に、 異同取得手段 1341は、レシピ識別子「RCP1」、制御装置情報「E2」で識別されるレ シピに対応する異同情報に、「同一情報 (例えば、「0」)」を代入する。
[0100] 次に、「ID=4」のレコードに対応するレシピの処理である。ここでは、制御装置情 報「E3」で識別される制御装置に、ユーザ識別子「Tanaka」で識別されるユーザが アクセス可能であるが、図 7より、制御装置情報「E3」で識別される制御装置が、ネッ トワークに接続されていない、と通信不可情報取得手段 1343は検知する。そして、 通信不可情報取得手段 1343は、レシピ識別子「RCP1」、制御装置情報「E3」で識 別されるレシピに対応する異同情報に、「通信不可情報 (例えば、「3」)」を代入する。 なお、装置がネットワークに接続されている力否かの検出は公知技術により可能であ るので、詳細な説明を省略する。
[0101] 次に、「ID = 5」のレコードに対応するレシピの処理である。ここでは、制御装置情 報「E4」で識別される制御装置に、ユーザ識別子「Tanaka」で識別されるユーザが アクセス可能であり、制御装置情報「E4」で識別される制御装置はネットワークに接 続されている、とする。また、レシピ識別子「RCP1」、制御装置情報「E4」で識別され るレシピが、レシピ格納部 133に存在する、とする。しかし、異同取得手段 1341は、 レシピ識別子「RCP1」、制御装置情報「E4」で識別されるレシピが、マスターレシピと 異なる、と判断した、とする。これは、異同取得手段 1341が、 2つのレシピの内容の 差異を取得し、差異が存在するので、 2つのレシピが異なる、と判断した、とする。か 力る状況において、異同取得手段 1341は、レシピ識別子「RCP1」、制御装置情報「 E4」で識別されるレシピに対応する異同情報に、「相違情報 (例えば、「1」)」を代入 する。
[0102] 次に、「ID = 6」のレコードに対応するレシピの処理である。ここでは、制御装置情 報「E5」で識別される制御装置に、ユーザ識別子「Tanaka」で識別されるユーザが アクセス可能であり、制御装置情報「E5」で識別される制御装置はネットワークに接 続されている、とする。しかし、レシピ識別子「RCP1」、制御装置情報「E5」で識別さ れるレシピカ レシピ格納部 133に存在しない、とする。力かる状況において、不存在 情報取得手段 1342は、異同を比較されるレシピが存在しないと判断し、不存在情報 を取得する。つまり、不存在情報取得手段 1342は、レシピ識別子「RCP1」、制御装 置情報「E5」で識別されるレシピに対応する異同情報に、「不存在情報 (例えば、「2」 )」を代入する。
[0103] 次に、「ID = 7」のレコードに対応するレシピの処理である。ここで、出力不可情報 取得手段 1344は、ユーザ識別子「Tanaka」で識別されるユーザが制御装置情報「 E6」で識別される制御装置に対して、図 10よりアクセス不可であるので、出力不可情 報を取得する。そして、出力不可情報取得手段 1344は、レシピ識別子「RCP1」、制 御装置情報「E6」で識別されるレシピに対応する異同情報に、「出力不可情報 (例え ば、「4」)」を代入する。
[0104] 次に、異同情報出力部 135は、レシピ異同情報取得部 134が取得した異同情報を 、レシピごとに出力する。異同情報出力部 135の出力例を図 13に示す。
[0105] 図 13において、マスターレシピの「結果」の欄には、「Master」が出力される。また、 図 13において、「結果」の欄には、異同情報が同一情報の場合は「Same」、異同情 報が相違情報の場合は「Different」、異同情報が不存在情報の場合は「Not Fou nd」、異同情報が通信不可情報の場合は「Offline」、異同情報が出力不可情報の 場合は「Disable」が出力される。さらに、異同情報出力部 135は、異同情報が不存 在情報、通信不可情報、出力不可情報のいずれかの場合、レシピの属性値の一部 を出力しないものとする。図 13において、「編集者」「更新日時」「バージョン」の属性 値が出力されていない。これは、異同情報出力部 135が図 12の情報から、異同情報 が不存在情報、通信不可情報、出力不可情報のいずれかの「編集者」「更新日時」「 バージョン」を出力した場合、不確かな情報を出力することとなり妥当ではない。
[0106] 次に、ユーザは、図 13の出力を見ながら、詳細出力指示を入力した、とする。詳細 出力指示の入力とは、例えば、図 13の制御装置情報「E4」をダブルクリックすること である、とする。つまり、ユーザは、マスターレシピ (AGC_RCPで識別されるレシピ) と、異同情報が相違情報であるレシピ (E4で識別されるレシピ)の差異の詳細を得よ うとする。
[0107] 次に、受付部 131は、「E4」を含む詳細出力指示を受け付ける。次に、詳細出力部 139は、マスターレシピ (AGC— RCPで識別されるレシピ)と、異同情報が相違情報 であるレシピ (E4で識別されるレシピ)を読み出し、各対応するステップについて、ス テツプ相違情報を取得し、出力する。力かる出力例を図 14に示す。図 14において、 画面の左側がステップの一覧であり、網掛けの行が 2つのレシピが有するステップが 異なることを示す。図 14において、レシピの「ステップ C」「ステップ D」が異なることを 示す。また、図 14の右側は、 2つのレシピについて、フォーカスされているステップ( 画面右側の矢印で指示されて!、る「ステップ C」 )が有するプロセス条件値等であり、 網掛けのプロセス条件値等力 異なるプロセス条件値等であることを示す。図 14にお いて、「Main Set」が異なる。
[0108] 以上、本実施の形態のプロセス情報管理装置によれば、 2つ以上のレシピを比較 する場合に、同一である、相違する、という 2つの状態以外の状態も取得し、出力でき る。そのため、ユーザは、 2つのレシピ間の相違の意味合いを正確に知ることができる 。つまり、ユーザは、より詳細に 2つのレシピの状態の相違等を知ることができ、次の 適切な対応を取ることができる。具体的には、ユーザは、 1つのマスターレシピと多数 の制御装置のレシピを比較するとき、オフラインの制御装置やレシピが制御装置に存 在しないこと、および制御装置へのアクセス権が無いことなどを知ることができる。これ は、半導体製造工場によっては数十台の制御装置および処理装置が稼動して 、る ケースもあり、これらの制御装置および処理装置間のレシピー致性を保障する上で 効果的である。また、さらに具体的には、ユーザは、ユーザがアクセスできない出力 不可情報と判定されたレシピに対して、例えば、作業を中断したり、ユーザ登録(出 力許可を得るための登録)の申請を行う。また、ユーザは、通信不可である通信不可 情報と判定されたレシピに対して、当該レシピを処理する制御装置を通信可能な状 態とするように制御装置のユーザに連絡したり、当該ユーザに制御装置の立ち上げ を指示したりする。また、ユーザは、存在しない不存在情報と判定されたレシピに対し て、例えば、最新の当該レシピを複写したりする。さらに、ユーザは、マスターレシピと 異なる相違情報と判定されたレシピに対して、例えば、最新の当該レシピを複写した りする。
[0109] なお、本実施の形態の具体例にぉ 、て、ユーザは、クライアント端末力も操作した 1S 直接、プロセス情報管理装置 13から操作しても良いことは言うまでもない。 [0110] さらに、本実施の形態における処理は、ソフトウェアで実現しても良い。そして、この ソフトウェアをソフトウェアダウンロード等により配布しても良い。また、このソフトウェア を CD— ROMなどの記録媒体に記録して流布しても良い。なお、このことは、本明細 書における他の実施の形態においても該当する。なお、本実施の形態におけるプロ セス情報管理装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、 このプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所定のプロセスを行う 1以上 の処理装置をそれぞれ制御する 1以上の制御装置が保持しているプロセスに関する 情報である 1以上のレシピを、前記 1以上の制御装置に各々対応付けて格納し、か つ基準となるレシピであるマスターレシピを格納しており、前記マスターレシピと前記
1以上のレシピの異同に関する情報であり、 3種類以上ある異同に関する情報のうち の一の異同に関する情報である異同情報を、前記 1以上のレシピごとに取得するレ シピ異同情報取得ステップと、前記レシピ異同情報取得ステップで取得した異同情 報を、前記レシピごとに出力する異同情報出力ステップを実行させるためのプロダラ ム、である。
[0111] また、上記プログラムは、コンピュータに、前記制御装置からレシピを受信するレシ ピ受信ステップをさらに実行させ、前記レシピの少なくとも一部は、前記レシピ受信ス テツプで受信したレシピであることは好適である。
[0112] また、前記 1以上の制御装置に関する情報である 1以上の制御装置情報を格納し ており、上記プログラムにおける前記レシピ異同情報取得ステップは、前記マスター レシピと、前記 1以上の制御装置情報が示す前記 1以上の制御装置に対応する 1以 上のレシピの異同情報を、前記 1以上のレシピごとに取得することは好適である。
[0113] また、上記プログラムにおいて、前記異同情報は、前記マスターレシピと異同を比 較されるレシピが同じであることを示す情報である同一情報、または前記マスターレ シピと異同を比較されるレシピが異なって 、ることを示す情報である相違情報、また は比較されるレシピが存在しな!、ことを示す不存在情報、または比較されるレシピに 対応する制御装置がプロセス情報管理装置と通信不可の状態であることを示す通信 不可情報、または異同情報を得ることができな 、ユーザであることを示す情報である 出力不可情報のうちのいずれかの情報を取り得、前記レシピ異同情報取得ステップ は、前記マスターレシピの内容と、前記異同を比較されるレシピの内容を比較し、 2つ のレシピが同一か相違しているかを判断し、同一情報または相違情報を取得する異 同取得ステップと、前記異同を比較されるレシピが存在しないと判断し、不存在情報 を取得する不存在情報取得ステップと、前記制御装置との通信が可能か否かを判断 し、通信不可の場合に、通信不可情報を取得する通信不可情報取得ステップと、プ ロセス情報管理装置を操作するユーザについての情報であるユーザ情報を受け付 け、当該ユーザ情報に基づいて、異同情報を得ることができないユーザである力否 かを判断し、異同情報を得ることができないユーザである場合に、出力不可情報を取 得する出力不可情報取得ステップを具備することは好適である。
[0114] また、上記プログラムは、コンピュータに、マスターレシピを含む 2以上のレシピの指 定を受け付ける受付ステップをさらに実行させ、前記レシピ異同情報取得ステップに おいて、前記指定を受け付けたマスターレシピと、前記レシピの指定を受け付けた、 マスターレシピを除く 1以上のレシピとの異同情報を取得することは好適である。
[0115] また、上記各実施の形態において、各処理 (各機能)は、単一の装置 (システム)に よって集中処理されることによって実現されてもよぐあるいは、複数の装置によって 分散処理されることによって実現されてもょ 、。
[0116] なお、上記プログラムにお 、て、情報を送信するステップや、情報を受信するステツ プなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信するステップにおける モデムやインターフェースカードなどで行われる処理(ノヽ一ドウエアでしか行われな ヽ 処理)は含まれない。
[0117] また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよぐ複数であって もよい。すなわち、集中処理を行ってもよぐあるいは分散処理を行ってもよい。
[0118] また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する 2以上の通信手段は、物 理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。
[0119] 本発明は、以上の実施の形態に限定されることなぐ種々の変更が可能であり、そ れらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
[0120] また、 2006年 4月 28曰に出願された曰本国特許出願番号 2006— 124733の詳 細な説明、図面、特許請求の範囲を含む開示は、その全体の参照により、この開示 に含まれる。
産業上の利用可能性
[0121] 以上のように、本発明に力かるプロセス情報管理装置は、 2つのレシピ間の相違の 意味合いを正確に知ることができる、という効果を有し、例えば、半導体製造装置、液 晶パネル製造装置等の処理装置に対する制御についての情報であるプロセス情報 を管理するプロセス情報管理装置等として有用である。
図面の簡単な説明
[0122] [図 1]実施の形態における制御システムの概念図
[図 2]同半導体ウェハ製造装置の例を示す図
[図 3]プロセス情報管理装置の構成を示すブロック図
[図 4]同プロセス情報管理装置の動作について説明するフローチャート
[図 5]同異同情報出力処理について説明するフローチャート
[図 6]同詳細出力処理について説明するフローチャート
[図 7]同制御システムの概念図
[図 8]同レシピ管理表を示す図
[図 9]同制御装置情報管理表を示す図
[図 10]同ユーザ認証情報管理表を示す図
[図 11]同プロセス情報管理装置を示す図
[図 12]同レシピ管理表を示す図
[図 13]同出力例を示す図
[図 14]同出力例を示す図

Claims

請求の範囲
[1] 被処理基板に対する所定のプロセスを行う 1以上の処理装置をそれぞれ制御する 1 以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である 1以上のレシピを、前記 1以上の制御装置に各々対応付けて格納され、かつ基準となるレシピであるマスター レシピが格納されるレシピ格納部と、
前記マスターレシピと前記 1以上のレシピの異同に関する情報であり、 3種類以上あ る異同に関する情報のうちの一の異同に関する情報である異同情報を、前記 1以上 のレシピごとに取得するレシピ異同情報取得部と、
前記レシピ異同情報取得部が取得した異同情報を、前記レシピごとに出力する異同 情報出力部を具備するプロセス情報管理装置。
[2] 前記制御装置力 レシピを受信するレシピ受信部をさらに具備し、
前記レシピ格納部のレシピの少なくとも一部は、前記レシピ受信部が受信したレシピ である請求項 1記載のプロセス情報管理装置。
[3] 前記 1以上の制御装置に関する情報である 1以上の制御装置情報を格納している制 御装置情報格納部と、
前記レシピ異同情報取得部は、
前記マスターレシピと、前記制御装置情報格納部の 1以上の制御装置情報が示す前 記 1以上の制御装置に対応する 1以上のレシピの異同情報を、前記 1以上のレシピご とに取得する請求項 1記載のプロセス情報管理装置。
[4] 前記異同情報は、
前記マスターレシピと異同を比較されるレシピが同じであることを示す情報である同 一情報、
または前記マスターレシピと異同を比較されるレシピが異なっていることを示す情報 である相違情報、
または比較されるレシピが存在しないことを示す不存在情報、
または比較されるレシピに対応する制御装置がプロセス情報管理装置と通信不可の 状態であることを示す通信不可情報、
または異同情報を得ることができないユーザであることを示す情報である出力不可情 報のうちのいずれかの情報を取り得、
前記レシピ異同情報取得部は、
前記マスターレシピの内容と、前記異同を比較されるレシピの内容を比較し、 2つの レシピが同一力 4目違しているかを判断し、同一情報または相違情報を取得する異同 取得手段と、
前記異同を比較されるレシピが存在しな 、と判断し、不存在情報を取得する不存在 情報取得手段と、
前記制御装置との通信が可能か否かを判断し、通信不可の場合に、通信不可情報 を取得する通信不可情報取得手段と、
ユーザについての情報であるユーザ情報を受け付け、当該ユーザ情報に基づいて、 異同情報を得ることができないユーザである力否かを判断し、異同情報を得ることが できないユーザである場合に、出力不可情報を取得する出力不可情報取得手段を 具備する請求項 1記載のプロセス情報管理装置。
[5] マスターレシピを含む 2以上のレシピの指定を受け付ける受付部と、
前記レシピ異同情報取得部は、
前記指定を受け付けたマスターレシピと、前記レシピの指定を受け付けた、マスター レシピを除く 1以上のレシピとの異同情報を取得する請求項 1記載のプロセス情報管 理装置。
[6] コンピュータに、
被処理基板に対する所定のプロセスを行う 1以上の処理装置をそれぞれ制御する 1 以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である 1以上のレシピを、前記 1以上の制御装置に各々対応付けて格納し、かつ基準となるレシピであるマスターレ シピを格納しており、
前記マスターレシピと前記 1以上のレシピの異同に関する情報であり、 3種類以上あ る異同に関する情報のうちの一の異同に関する情報である異同情報を、前記 1以上 のレシピごとに取得するレシピ異同情報取得ステップと、
前記レシピ異同情報取得ステップで取得した異同情報を、前記レシピごとに出力す る異同情報出力ステップを実行させるためのプログラム。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010021431A (ja) * 2008-07-11 2010-01-28 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置システムの制御装置、プラズマ処理システムの制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5224744B2 (ja) 2006-10-04 2013-07-03 株式会社日立国際電気 基板処理装置
TWI416410B (zh) * 2008-04-11 2013-11-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 可執行文件版本更新系統及方法
JP5773200B2 (ja) * 2011-07-28 2015-09-02 株式会社ダイフク 処理設備
JP6222810B2 (ja) * 2012-07-17 2017-11-01 株式会社日立国際電気 管理装置、基板処理装置、基板処理システム、基板処理装置のファイル管理方法及びファイル転送方法
KR101786899B1 (ko) * 2013-05-22 2017-10-18 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 관리 장치, 기판 처리 시스템, 장치 정보 갱신 방법 및 프로그램
TWI512415B (zh) * 2014-09-04 2015-12-11 Formosa Plastics Corp 製程控制系統

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005317848A (ja) * 2004-04-30 2005-11-10 Toshiba Corp 計測システム
JP2006040930A (ja) * 2004-07-22 2006-02-09 Toshiba Corp 自動レシピ作成装置及び作成方法
JP2006073845A (ja) * 2004-09-03 2006-03-16 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造システム

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1074675A (ja) * 1996-08-29 1998-03-17 Nikon Corp 露光装置のロット処理方法及びその装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005317848A (ja) * 2004-04-30 2005-11-10 Toshiba Corp 計測システム
JP2006040930A (ja) * 2004-07-22 2006-02-09 Toshiba Corp 自動レシピ作成装置及び作成方法
JP2006073845A (ja) * 2004-09-03 2006-03-16 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造システム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010021431A (ja) * 2008-07-11 2010-01-28 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置システムの制御装置、プラズマ処理システムの制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体

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