KR101786899B1 - 관리 장치, 기판 처리 시스템, 장치 정보 갱신 방법 및 프로그램 - Google Patents

관리 장치, 기판 처리 시스템, 장치 정보 갱신 방법 및 프로그램 Download PDF

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Abstract

기판을 처리하기 위한 장치 정보를 각각 보유하는 복수의 기판 처리 장치에 접속되는 관리 장치를, 상기 복수의 기판 처리 장치 중 어느 하나의 장치에 저장된 장치 정보를 기준 장치 정보로서 설정하는 설정부; 상기 설정부에 설정된 상기 기준 장치 정보에 기초하여 상기 복수의 기판 처리 장치 중 상기 어느 하나의 장치를 제외한 다른 장치들로부터 취득된 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이를 추출하여 얻어진 차이 부분 및 상기 기준 장치 정보를 각각 표시하고, 상기 차이 부분의 수정 지시를 하는 조작 표시부; 및 상기 차이 부분에 대한 수정 지시를 상기 조작 표시부로부터 수신하면 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정하여 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 다른 장치들에 송신하도록 제어하는 제어부;를 구비하고, 상기 조작 표시부는 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 장치 정보 비교 화면을 구비하고, 상기 장치 정보 비교 화면에 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보에서 일치하는 부분은 블랭크 표시시키며, 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 표시시켜 상기 차이 부분을 특정시키도록 구성된다.

Description

관리 장치, 기판 처리 시스템, 장치 정보 갱신 방법 및 프로그램{MANAGEMENT DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, DEVICE INFORMATION UPDATING METHOD, AND PROGRAM}
본 발명은 웨이퍼 등의 기판을 처리하는 기판 처리 장치가 보유하는 성막 레시피 등의 파일에 격납되는 장치 정보를 관리하는 관리 장치, 상기 관리 장치와 기판 처리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템, 상기 기판 처리 장치가 보유하는 장치 정보의 갱신 방법 및 프로그램에 관한 것이다. 상기 기판 처리 장치는 예컨대 반도체 집적 회로(이하, IC라고 한다)가 제작되는 반도체 기판(예컨대 반도체 웨이퍼)에 성막 등의 처리를 수행한다.
대규모 반도체 제조 공장(이하 공장)에서는 복수의 기판 처리 장치로 구성되는 기판 처리 장치군(群)을 집중 관리하기 위한 관리 장치가 도입되고, 관리 장치에 의해서 상기 관리 장치의 배하(配下)의 각 기판 처리 장치의 생산 상황의 감시나 생산 이력 또는 장해(障害) 이력의 축적 및 참조 등을 수행할 수 있다. 관리 장치와 각 기판 처리 장치는 고속 통신이 가능한 LAN 등의 네트워크에 의해 접속된다. 그리고 각 기판 처리 장치는 기판을 처리하기 위한 기판 처리 레시피를 각각 보유하고, 자기가 보유하는 기판 처리 레시피에 기초하여 기판 처리를 수행한다.
한편, 동일한 내용의 기판 처리를 복수의 기판 처리 장치에서 병행하여 수행하기 때문에, 복수의 기판 처리 장치 중에는 동일한 내용의 기판 처리를 수행하는 동일 기판 처리 장치, 예컨대 동일 성막 처리를 수행하는 동일 성막 처리 장치가 복수 포함된다. 이러한 동일 기판 처리 장치의 기판 처리 레시피는 원래 동일한 내용이지만 기판 처리를 반복하면서 어느 기판 처리 장치에서 기판 처리 레시피를 개선하는 경우, 예컨대 기판 처리 레시피의 파라미터 설정값(예컨대 기판 처리실의 온도 설정값)을 변경하는 경우가 있다. 그리고 그 결과가 양호한 경우에는 다른 동일한 기판 처리 장치에 반영된다.
이러한 경우 개선한 기판 처리 레시피 파일과 다른 기판 처리 장치가 보유하는 복수의 기판 처리 레시피 파일을 비교하여, 차이 부분의 파라미터를 추출하여 출력하고, 상기 출력한 차이 부분의 파라미터에 기초하여 다른 기판 처리 장치의 기판 처리 레시피 파일의 수정을 수행한다.
배경기술의 파일 비교 갱신 처리를 도 9를 이용하여 설명한다. 도 9는 배경기술에 따른 파일 비교 갱신 처리의 플로우차트다. 이 예에서는 기판 처리 장치A가 적절한 파일을 보유한다. 그리고 다른 복수의 기판 처리 장치(기판 처리 장치B 등)가 보유하는 파일이 기판 처리 장치A의 적절한 파일과 일치하는지 관리 장치에 해서 비교되고, 차이가 있는 경우에는 기판 처리 장치B 등의 파일이 기판 처리 장치A의 파일에 맞추도록 수정된다. 기판 처리 장치A와 기판 처리 장치B 등은 클린룸 내에 설치되고, 사무소 내에 설치되는 관리 장치에 LAN 등의 네트워크에 의해 접속된다.
우선 관리 장치가 기판 처리 장치A의 파일을 취득하고[도 9의 스텝(S61)], 기판 처리 장치B의 파일을 취득하고[스텝(S62)], 상기 취득한 2개의 파일을 비교한다[스텝(S63)]. 비교 결과[스텝(S64)] 2개의 파일 사이에 차이가 없는 경우에는 처리를 종료한다. 2개의 파일 사이에 차이가 있는 경우는 비교 결과를 출력(예컨대 CSV출력)하거나 또는 조작자가 차이 부분의 메모를 기록한다[스텝(S65)].
다음으로 조작자는 사무소로부터 클린룸 내로 이동하고[스텝(S66)], 기판 처리 장치B에서 비교 결과 출력 또는 메모에 기초하여 파일을 수정하여 갱신한다[(스텝(S67)]. 다음으로 조작자는 클린룸 내로부터 사무소로 이동하고[스텝(S68)], 파일 갱신이 정확하게 수행되었는지 확인한다. 파일 갱신이 정확하게 수행되지 않은 경우에는 다시 클린룸 내로 이동하여 파일의 수정을 수행한다. 파일 갱신이 정확하게 수행된 경우에는 스텝(S62)으로 돌아가 다음 기판 처리 장치, 예컨대 기판 처리 장치C의 파일 비교와 수정을 수행한다.
이와 같이 배경기술에서는 관리 장치에서 2개 파일 사이의 비교는 가능했지만, 3개 이상의 파일 사이의 동시 비교는 불가능했다. 이에 따라 비교 대상의 기판 처리 장치가 3대 이상 있으면 파일의 갱신에 많은 시간이 소비되어 본래의 기판 처리를 시작하지 못하고 장치의 가동률 저하를 초래했다.
본 발명의 목적은 기판 처리 장치들 사이의 장치 정보의 차이를 추출하고 장치 정보의 갱신을 가능하게 하는 관리 장치, 기판 처리 시스템, 장치 정보 갱신 방법 및 프로그램을 제공하는 데 있다.
본 발명의 일 형태에 의하면 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 각각 보유하는 복수의 기판 처리 장치에 접속되는 관리 장치로서, 상기 복수의 기판 처리 장치 중 어느 하나의 장치에 저장된 장치 정보를 기준 장치 정보로서 설정하는 설정부; 상기 설정부에 설정된 상기 기준 장치 정보에 기초하여 상기 복수의 기판 처리 장치 중 상기 어느 하나의 장치를 제외한 다른 장치들로부터 취득된 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이를 추출하여 얻어진 차이 부분 및 상기 기준 장치 정보를 각각 표시하고, 상기 차이 부분의 수정 지시를 하는 조작 표시부; 및 상기 차이 부분에 대한 수정 지시를 상기 조작 표시부로부터 수신하면 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정하여 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 다른 장치들에 송신하도록 제어하는 제어부;를 구비하고, 상기 조작 표시부는 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 장치 정보 비교 화면을 구비하고, 상기 장치 정보 비교 화면에 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보에서 일치하는 부분은 블랭크 표시시키며, 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 표시시켜 상기 차이 부분을 특정시키도록 구성되는 관리 장치가 제공된다.
본 발명의 다른 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 각각 보유하는 복수의 기판 처리 장치와 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 관리 장치는, 상기 복수의 기판 처리 장치 중 어느 하나의 장치에 저장된 장치 정보를 기준 장치 정보로서 설정하는 설정부; 상기 설정부에 설정된 상기 기준 장치 정보에 기초하여 상기 복수의 기판 처리 장치 중 상기 어느 하나의 장치를 제외한 다른 장치들로부터 취득된 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이를 추출하여 얻어진 차이 부분 및 상기 기준 장치 정보를 각각 표시하고, 상기 차이 부분의 수정 지시를 하는 조작 표시부; 및 상기 차이 부분에 대한 수정 지시를 상기 조작 표시부로부터 수신하면 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정하여 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 다른 장치들에 송신하도록 제어하는 제어부;를 구비하고, 상기 조작 표시부는 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 장치 정보 비교 화면을 구비하고, 상기 장치 정보 비교 화면에 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보에서 일치하는 부분은 블랭크 표시시키며, 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 표시시켜 상기 차이 부분을 특정시키도록 구성되는 기판 처리 시스템이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 복수의 기판 처리 장치 중 어느 하나의 장치에 저장된 장치 정보를 기준 장치 정보로서 설정하고, 상기 복수의 기판 처리 장치 중 상기 어느 하나의 장치를 제외한 다른 장치들로부터 취득한 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 추출하는 추출 공정;차이 부분 및 상기 기준 장치 정보를 각각 표시하는 표시 공정; 상기 취득 장치 정보의 상기 기준 장치 정보의 상기 차이 부분의 수정 지시를 수신하는 수정 지시 접수 공정; 및 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 다른 장치들에 송신하는 장치 정보 수정 공정;을 구비하고, 상기 표시 공정은 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 장치 정보 비교 화면에 표시할 때, 상기 장치 정보 비교 화면에 상기 장치 정보와 상기 기준 장치 정보에서 일치하는 부분은 블랭크 표시하고, 상기 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 표시하여 상기 차이 부분을 특정하는 공정을 포함하는 장치 정보 갱신 방법이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 복수의 기판 처리 장치 중 어느 하나의 장치에 저장된 장치 정보를 기준 장치 정보로서 설정하고, 상기 복수의 기판 처리 장치 중 상기 어느 하나의 장치를 제외한 다른 장치들로부터 취득한 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 추출하는 추출 처리; 상기 차이 부분 및 상기 기준 장치 정보를 각각 표시하는 표시 처리; 상기 취득 장치 정보의 상기 기준 장치 정보와의 상기 차이 부분의 수정 지시를 수신하는 수정 지시 접수 처리; 및 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 다른 장치들에 송신하는 장치 정보 수정 처리;를 컴퓨터에 실행시키고, 상기 표시 처리는 상기 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 장치 정보 비교 화면에 표시할 때, 또한 상기 장치 정보 비교 화면에 상기 장치 정보와 상기 기준 장치 정보에서 일치하는 부분은 블랭크 표시하고, 상기 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 표시하여 상기 차이 부분을 특정하는 처리를 포함하는 기록 매체에 기록된 장치 정보 갱신 프로그램이 제공된다.
상기 구성에 의하면 기판 처리 장치들 사이의 장치 정보의 차이를 추출하고, 추출한 장치 정보의 차이를 조작 화면에 표시하여 장치 정보의 갱신을 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템의 구성도.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 관리 장치의 구성도.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 파일 비교 갱신 처리의 개략을 도시하는 플로우 차트.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치 파일 정보의 예.
도 5는 본 발명의 실시 형태에 따른 비교 파일 관리 정보의 예.
도 6은 본 발명의 실시 형태에 따른 파일 비교 결과 정보의 예.
도 7은 본 발명의 실시 형태에 따른 파일 비교 갱신 처리의 플로우 차트.
도 8은 도 7의 플로우 차트에서 편집 파일 출력의 플로우 차트.
도 9는 배경기술에 따른 파일 비교 갱신 처리의 플로우 차트.
도 10은 본 발명의 실시 형태에 따른 파일 비교 결과 정보의 예.
도 11의 (a)는 본 발명의 실시 형태에 따른 비교 결과 정보를 설명하기 위한 도시예, 도 11의 (b)는 본 발명의 실시 형태에 따른 파일 비교 결과 정보를 설명하기 위한 도시예.
도 12의 (a)는 본 발명의 실시 형태에 따른 파일 비교 결과 정보를 설명하기 위한 도시예, 도 12의 (b)는 본 발명의 실시 형태에 따른 파일 비교 결과 정보를 설명하기 위한 도시예.
도 13의 (a)는 본 발명의 실시 형태에 따른 파일 비교 결과 정보를 설명하기 위한 도시예, 도 13의 (b)는 본 발명의 실시 형태에 따른 파일 비교 결과 정보를 설명하기 위한 도시예.
본 발명의 실시 형태에 대하여 도 1 내지 도 8을 이용하여 설명한다. 우선 기판 처리 시스템의 구성 개요를 도 1을 이용하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템의 구성도다. 도 1에서 기판 처리 시스템은 복수의 기판 처리 장치(20)(장치A, 장치B, 장치C …장치n)와, 관리 장치(10)와, 관리 장치(10)의 일부를 구성하는 조작 표시부인 GUI(Graphical User Interface)(13)와, 복수의 기판 처리 장치(20)와 관리 장치(10)를 접속하는 네트워크(31)와, 관리 장치(10)와 GUI(13)를 접속하는 네트워크(32)를 구비한다. 또한 도 1에 도시하는 바와 같이 관리 장치(10)와 GUI(13)를 개별의 구성으로 해도 좋다.
각 기판 처리 장치(20)는 클린룸 내에 설치되고, GUI(13)는 클린룸보다 청정도가 낮은 분위기의 사무소 내에 설치된다. 관리 장치(10)는 클린룸 외에 또한 사무소 외에 설치된다. 또한 관리 장치(10)는 사무소 내에 설치해도 좋다. 이 경우 관리 장치(10)와 GUI(13)를 네트워크로 접속할 필요는 없고 직접 접속해도 좋다.
다음으로 도 3을 이용하여 본 실시 형태에 따른 파일 비교 갱신 처리의 개략을 설명한다. 도 3은 본 실시 형태에 따른 파일 비교 갱신 처리의 개략을 도시하는 플로우 차트다. 본 실시 형태의 파일은 기판을 처리하기 위한 기판 처리 장치(20)의 장치 정보다. 우선 파일의 비교 갱신을 수행하는 경우, 예컨대 조작 표시부(13)의 조작 화면 상에 마스터 파일을 설정하기 위한 설정부가 설치되고, 이 설정부를 개재하여 비교원(元)이 되는 파일(마스터 파일이라고 부른다)을 조작자가 정하고, 관리 장치(10)의 조작 표시부(13)로부터 지정한다. 관리 장치(10)는 그 마스터 파일에 기초하여 비교를 수행한다. 도 3의 예에서는 기판 처리 장치A(20)의 특정 파일이 조작자에 의해 마스터 파일에 설정된다. 마스터 파일은 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보가 격납된 파일이다.
도 3에서 우선 관리 장치(10)는 기판 처리 장치A(20)로부터 네트워크(31)를 개재하여 조작자로부터 지정된 마스터 파일(예컨대 파일 명칭이 「레시피1」)을 취득한다[스텝(S11)]. 다음으로 관리 장치(10)는 마스터 파일과 동일 명칭인 파일(동명 파일이라고 부른다)을 기판 처리 장치B(20)로부터 취득한다[스텝(S12)]. 이와 같이 하여 관리 장치(10)는 동명 파일을 각 장치로부터 순차적으로 취득하고, 마지막에 기판 처리 장치n(20)로부터 취득한다[스텝(S13)]. 이와 같이 하여 관리 장치(10)는 이 동명 파일을 상기 관리 장치(10)의 배하의 모든 기판 처리 장치(20)로부터 취득한다. 여기서 동일 명칭인 파일뿐만 아니라 명칭이 다른 파일이라도 일괄하여 비교는 가능하다. 예컨대 유사한 파일명의 일괄 비교도 수행할 수 있도록 구성된다.
다음으로 관리 장치(10)는 장치B 내지 장치n로부터 취득한 동명 파일의 내용과 마스터 파일의 내용을 병행하여 비교한다[스텝(S14)]. 비교 결과에 차이가 없는 경우, 즉 스텝(S15)에서 차이가 없는 경우에는 본 처리를 종료한다. 비교 결과에 차이가 있는 경우, 즉 스텝(S15)에서 차이가 있는 경우에는 조작자가 관리 장치(10)의 조작 표시부(13)로부터 편집 지시를 하였는지에 대한 여부를 관리 장치(10)가 판정한다[스텝(S16)]. 스텝(S16)에서 편집 지시가 없는 경우에는 본 처리를 종료한다. 또한 조작자의 편집 지시의 유무에 관해서는 예컨대 다이알로그 등을 화면에 표시하여 편집 지시의 유무를 문의해도 좋고, 또한 편집 지시의 유무를 시간으로 관리해도 좋다.
스텝(S16)에서 편집 지시가 있는 경우에는 관리 장치(10)는 장치B 내지 장치n로부터 취득한 동명 파일의 편집, 즉 수정을 수행하고[스텝(S17)], 상기 수정한 파일을 네트워크(31)를 개재하여 장치B 내지 장치n에 출력, 즉 송신한다[스텝(S18)]. 장치B 내지 장치n에서는 관리 장치(10)로부터 수신한 수정 완료 파일에 의해, 수정 전의 동명 파일을 치환하는 것에 의해 수정 전의 동명 파일을 갱신한다. 관리 장치(10)는 수정 완료 파일을 장치B 내지 장치n에 송신한 후 스텝(S11)으로 돌아가 다음 마스터 파일(예컨대 파일 명칭이 「레시피2」)에 기초하는 파일 비교 갱신 처리로 이행한다. 이와 같이 본 실시 형태에서는 관리 장치(10)가 파일 편집 기능을 가지기 때문에 조작자에 의한 모든 조작이 관리 장치(10)의 조작 표시부(13)에서 수행, 즉 사무소 내에서 수행된다. 따라서 비교 대상의 장치가 3대 이상이어도 예컨대 사무소와 클린룸 사이를 여러 번 왕복할 필요가 없다. 따라서 파일 비교 갱신 처리 시, 사무소와 클린룸의 이동 시간 등 직접 관계없는 시간에 의해 낭비되는 것이 억제된다. 또한 클린룸에서의 편집 처리가 불필요하기 때문에 클린룸의 분위기를 청정한 환경으로 유지하는 것을 기대할 수 있다.
기판 처리 장치(20)에 대하여 설명한다. 기판 처리 장치(20)는 기판 처리, 예컨대 기판 표면에 성막을 수행하는 성막 처리를 수행하고, 기판 처리 장치에 관한 각종 장치 정보를 각 장치 정보를 식별하기 위한 식별자인 장치 정보 ID와 함께 상기 기판 처리 장치(20)의 기억부에 파일로서 기억한다. 이 장치 정보에는 예컨대 기판 처리를 수행하기 위한 순서를 포함하는 기판 처리 레시피 등이 포함된다. 또한 레시피에는 상기 기판 처리 레시피 실행 중에 오류가 발생한 경우에 실행되는 알람 레시피나 어보트(abort) 레시피가 포함된다. 또한 파일은 레시피뿐만 아니라 상기 기판 처리 레시피에서 사용되는 압력 파라미터, 온도 파라미터, 또는 가스 유량 파라미터 등의 제어 파라미터 파일이 포함된다. 이들 제어 파라미터 등의 각종 파라미터도 장치 정보에 포함된다.
도 2를 이용하여 관리 장치에 대하여 설명한다. 도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 관리 장치의 구성도다. 도 2에 도시하는 바와 같이 관리 장치(10)는 제어부(11) 및 기억부(12) 및 조작 표시부(13) 및 통신부(14)를 구비한다. 조작 표시부(13)는 조작자로부터의 각종 지시나 데이터 입력 등을 접수하는 키보드나 마우스 등으로 구성되는 조작부와, 각종 데이터 등을 표시하는 LCD 등으로부터 구성되는 표시부를 구비하고, 조작부와 표시부가 별체(別體)로 구성된다. 조작 표시부(13)는 전술한 바와 같이 본 실시 형태에서는 네트워크(32)에 의해 관리 장치(10)와 접속된다. 통신부(14)는 네트워크(31)에 접속되고, 상기 네트워크(31)에 접속된 각 기판 처리 장치(20) 사이에서 통신을 수행한다.
기억부(12)는 장치 파일 정보(12a)와 취득 파일 정보(12b)와 비교 파일 관리 정보(12c)와 비교 결과 정보(12d)와 수정 완료 파일 정보(12e)를 기억한다.
[장치 파일 정보(12a)]
도 4에 본 실시 형태의 장치 파일 정보(12a)의 구성예를 도시한다. 장치 파일 정보(12a)에는 관리 장치(10)의 배하, 즉 관리 장치(10)에 접속되는 모든 기판 처리 장치(20)가 보유하는 파일의 파일명이 기판 처리 장치(20)의 장치명과 대응해서 기억된다. 장치 파일 정보(12a)는 조작 표시부(13)에 표시할 수 있다. 도 4의 예에서는 장치 파일 정보(12a)는 예컨대 장치명이 「장치A」인 기판 처리 장치A(20)가 파일명이 「File01」, 「File02」, 「File03」…「Filenn」인 파일을 보유하는 취지의 정보를 포함한다. 또한 장치명 대신에 기판 처리 장치(20)를 특정하는 장치 식별자를 이용해도 좋다. 또한 파일명 대신에 파일을 특정하는 파일 식별자를 이용해도 좋다.
[취득 파일 정보(12b)]
취득 파일 정보(12b)는 전술한 파일 비교 갱신 처리에서 각 기판 처리 장치(20)로부터 취득한 마스터 파일과 동일 명칭인 동명 파일의 내용 정보이며, 마스터 파일의 내용 정보를 포함한다. 취득 파일 정보(12b)는 장치명과 파일명과 파일 내용이 대응해서 기억된다. 취득 파일 정보(12b)는 조작 표시부(13)에 표시할 수 있다.
[비교 파일 관리 정보(12c)]
비교 파일 관리 정보(12c)는 전술한 파일 비교 갱신 처리에서 어느 기판 처리 장치(20)의 파일 수정(편집)을 수행하였는지, 즉 파일 수정을 수행한 기판 처리 장치(20)와 파일 수정을 수행하지 않은 기판 처리 장치(20)를 식별하여 나타낸다. 비교 파일 관리 정보(12c)는 조작 표시부(13)에 표시할 수 있다. 도 5에 본 실시 형태의 비교 파일 관리 정보(12c)의 구성예를 도시한다. 비교 파일 관리 정보(12c)에는 마스터 파일을 보유하는 기판 처리 장치(20)인지에 대한 여부와, 마스터 파일의 파일명과, 파일 수정을 수행하였는지에 대한 여부를 나타내는 편집 플래그(수정 플래그)가 마스터 파일(도 5의 예에서는 「File02」)이 동명 파일을 보유하는 관리 장치(10)의 배하의 모든 기판 처리 장치(20)의 장치명과 대응해서 기억된다. 도 5의 예에서는 「File02」가 마스터 파일로 지정되고, 장치A가 마스터 파일을 보유하는 기판 처리 장치(20)이며, 장치B 내지 장치n이 보유하는 동명 파일이 모두 파일 수정되지 않은 상태(편집 플래그 OFF)임을 나타낸다.
[비교 결과 정보(12d)]
도 6에 본 실시 형태의 비교 결과 정보(12d)의 구성예를 도시한다. 비교 결과 정보(12d)는 전술한 파일 비교 갱신 처리에서 마스터 파일과 동명 파일을 비교한 결과를 도시한다. 비교 결과 정보(12d)는 파일 비교 화면(장치 정보 비교 화면)으로서 조작 표시부(13)에 표시할 수 있다. 비교 결과 정보(12d)에는 마스터 파일을 보유하는 기판 처리 장치(20)(마스터 장치) 장치명과, 마스터 파일의 파일명과, 마스터 파일과 동일 명칭인 동명 파일을 보유하는 기판 처리 장치(20)의 장치명과, 마스터 파일 및 동명 파일 중 파라미터 값이 각 기판 처리 장치(20) 사이에서 대비 가능하도록 도시된다. 도 6의 예에서는 마스터 장치 장치명인 장치A 및 마스터 파일의 파일명인 「레시피1」과, 동명 파일을 보유하는 기판 처리 장치(20)의 장치명인 장치B 내지 장치n와, 「레시피1」의 파일 중 파라미터인 온도 설정값 및 압력 설정값이 도시된다.
도 6의 예에서는 장치A 마스터 파일 「레시피1」의 온도 설정값은 300℃, 압력 설정값은 10,000(Pa)다. 장치B의 동명 파일 「레시피1」의 온도 설정값은 295℃, 압력 설정값은 10,000(Pa)다. 장치C의 동명 파일 「레시피1」의 온도 설정값은 300℃, 압력 설정값은 9,900(Pa)다. 장치n의 동명 파일 「레시피1」의 온도 설정값은 295℃, 압력 설정값은 10,000(Pa)다. 장치B와 장치n의 동명 파일 「레시피1」의 온도 설정값은 마스터 파일의 온도 설정값(300℃)과 차이가 있고, 장치C의 동명 파일 「레시피1」의 압력 설정값은 마스터 파일의 압력 설정값[10,000(Pa)과 차이가 있기 때문에, 차이가 있는 파라미터 항목(「온도 설정값」 및 「압력 설정값」)과, 차이가 있는 파라미터(설정 온도 및 설정 압력 등)를 예컨대 밑줄 표시 등을 하는 것에 의해, 마스터 파일과 차이가 있는 것을 도시한다. 또한 차이를 명확하게 표시하는 방법은 도 6에 도시하는 바와 같이 차이가 있는 파라미터나 파라미터 항목에 밑줄을 그을 뿐만 아니라 점멸 표시나 색별 표시해도 좋다. 예컨대 차이가 있는 부분에 배경색을 설정하여 표시해도 좋고, 파라미터 명칭이나 파라미터 항목 명칭에 색깔을 설정하여 표시해도 좋다.
［수정 완료 파일 정보(12e)］
수정 완료 파일 정보(12e)는 전술한 파일 비교 갱신 처리에서 파일 수정한 결과의 파일 정보(수정 장치 정보)이다. 수정 완료 파일 정보(12e)는 조작 표시부(13)에 표시할 수 있다. 예컨대 수정 완료 파일 정보(12e)는 전술한 도 6의 예에서 장치B의 동명 파일 「레시피1」의 온도 설정값을 마스터 파일의 온도 설정값인 300℃로 수정한 상태의 파일이다. 이 수정 완료 파일 정보(12e)가 장치B에 송신되는 것에 의해 장치B의 동명 파일 「레시피1」가 마스터 파일과 동일한 내용으로 갱신된다. 또한 수정한 파라미터는 표시색을 다른 파라미터와 다르게 하는 등 시인성을 높이는 것이 바람직하다.
제어부(11)는 전술한 관리 장치(10)의 각 구성부를 제어하고, 하드웨어 구성으로서는 CPU(Central Processing Unit)와 제어부(11)의 동작 프로그램 등을 격납하는 메모리를 구비하고, CPU는 이 동작 프로그램에 따라 동작한다. 도 2에 도시하는 바와 같이 제어부(11)는 장치 파일 취득 기능(11a), 장치 파일 비교 기능(11b) , 장치 파일 수정 기능(11c), 수정 파일 출력 기능(11d)을 구비한다.
[장치 파일 취득 기능(11a)]
제어부(11)는 조작 표시부(13)에서 접수한 조작자로부터의 지시에 따라 특정의 기판 처리 장치(20)가 보유하는 파일을 마스터 파일로서 기억부(12)에 등록하여 기억시킨다. 그리고 마스터 파일과 동명의 동명 파일을 포함하는 상기 관리 장치(10)의 배하의 기판 처리 장치(20)로부터 동명 파일을 취득한다[장치 파일 취득 기능(11a)]. 이때 마스터 파일에 관한 장치 정보는 명확하게 표시된다. 예컨대 마스터 파일에 관한 장치 정보를 표시하는 항목은 배경색에 색을 설정하여 표시해도 좋다.
구체적으로는 제어부(11)는 기억부(12)에 기억하는 장치 파일 정보(12a)를 참조하여 상기 관리 장치(10)의 배하의 기판 처리 장치(20) 중 마스터 파일의 동명 파일을 가지는 기판 처리 장치(20)에 대하여 상기 동명 파일을 상기 관리 장치(10)에 송신하도록 통신부(14)를 개재하여 지시(동명 파일 송신 지시)를 수행한다. 관리 장치(10)로부터의 동명 파일 송신 지시를 수신하면 각 기판 처리 장치(20)는 각각의 보유하는 동명 파일을 상기 기판 처리 장치(20)의 장치명과 함께 관리 장치(10)에 송신한다. 제어부(11)는 각 기판 처리 장치(20)로부터 수신한 동명 파일을 상기 기판 처리 장치(20)의 장치명과 대응시켜서 취득 파일 정보(12b)로서 기억부(12)에 기억시킨다.
[장치 파일 비교 기능1b]
또한 제어부(11)는 상기 관리 장치(10)의 배하의 각 기판 처리 장치(20)로부터 동명 파일을 취득한 후, 상기 취득한 동명 파일의 내용과 기억부(12)에 기억한 마스터 파일의 내용을 비교하고, 취득한 동명 파일과 마스터 파일과의 차이를 추출하여 명확하게 표시한다[장치 파일 비교 기능(11b)]. 예컨대 전술한 도 6의 파일 비교 화면과 같이 차이가 있는 파라미터나 파라미터 항목이 눈에 띄도록 조작 표시부(13)에 표시한다.
[장치 파일 수정 기능(11c)]
또한 제어부(11)는 조작 표시부(13)에서 접수한 조작자로부터의 지시에 따라, 취득한 동명 파일의 내용을 편집 가능한, 즉 수정 가능한 편집 모드로 이행한다. 그리고 조작 표시부(13)에서 접수한 조작자로부터의 지시에 따라, 취득한 동명 파일의 내용을 수정하여 수정 파일(수정 장치 정보)을 작성한다[장치 파일 수정 기능(11c)]. 취득한 동명 파일의 내용을 수정한 경우, 제어부(11)는 전술한 도 5의 비교 파일 관리 정보(12c) 중 편집 플래그를 OFF에서 ON으로 한다.
예컨대 도 6과 같이 취득한 동명 파일과 마스터 파일의 차이를 표시한 상태에서 차이로서 표시된 동명 파일의 파라미터 위치에 조작 표시부(13)를 구성하는 마우스를 이동하고, 상기 마우스를 조작하여 콘텍스트 메뉴를 표시하고, 상기 표시된 콘텍스트 메뉴로부터 편집부로서의 「편집」을 선택하는 것에 의해 편집 모드로 이행한다. 편집 모드로부터 이탈하는 경우에는 마찬가지로 콘텍스트 메뉴를 표시하고 상기 표시된 콘텍스트 메뉴로부터 「편집 종료」를 선택하는 것에 의해 편집 모드로부터 이탈할 수 있다.
그리고 편집 모드에서 조작 표시부(13)에서 접수한 조작자로부터의 지시에 기초하여 마스터 파일과의 차이로서 표시된 동명 파일의 파라미터를 마스터 파일의 내용과 동일하게 수정한다. 예컨대 도 6에서 장치B의 동명 파일(레시피1)의 온도 설정값 「295」를 마스터 파일과 마찬가지의 「300」으로 수정한다. 이때 편집 전과 편집 후를 색깔로 구분하는 등 편집이 완료되었는지 명확히 하는 것이 바람직하다. 또한 조작자가 「300」의 수치를 조작 표시부(13)로부터 입력해도 좋지만, 마스터 파일과 동일하게 수정하도록 지시하는 「동일 수정」버튼을 조작 표시부(13)에 설치해두고, 「동일 수정」버튼을 압하(押下)하는 것에 의해 마스터 파일과 동일하게 수정해도 좋다. 이와 같이 하면 조작자에 의한 입력 오류를 방지할 수 있다.
또한 마스터 파일과의 차이로서 표시된 동명 파일의 파라미터를 마스터 파일의 내용과 다른 값으로 수정 가능하도록 해도 좋다. 이와 같이 하면 기판 처리 장치(20)마다 파라미터의 미조정(微調整)을 수행하는 것이 용이해진다. 또한 제어부(11)는 제어자로부터의 지시가 없어도 취득한 동명 파일의 파라미터를 마스터 파일의 내용과 동일하게 하도록 자동적으로 수정하는 구성으로 하는 것도 가능하다. 이와 같이 하면 파라미터를 마스터 파일의 내용과 동일하게 수정하는 것이 용이해진다.
[수정 파일 출력 기능(11d)]
또한 제어부(11)는 조작 표시부(13)에서 접수한 조작자로부터의 지시에 따라 편집 모드로 수정한 동명 파일을 기판 처리 장치(20)에 출력시킨다[수정 파일 출력 기능(11d)]. 이때 제어부(11)는 동명 파일을 편집 모드로 수정 완료되었는지에 대한 여부를 전술한 비교 파일 관리 정보(12c)에 의해 확인할 수 있다. 구체적으로는 관리 장치(10)는 편집 모드로 수정한 동명 파일을 수정 전 동명 파일을 보유했던 기판 처리 장치(20)로 송신한다. 수정된 동명 파일을 수신한 기판 처리 장치(20)는 상기 기판 처리 장치(20)가 보유했던 수정 전의 동명 파일을 수정 후의 동명 파일로 치환하여 갱신한다.
또한 관리 장치(10)는 수정된 동명 파일을 기판 처리 장치(20)에 송신할 때, 조작 표시부(13)에서 접수한 조작자로부터의 지시에 기초하여, 지시된 기판 처리 장치(20)에만 수정된 동명 파일을 송신하는 개별 송신도 수행할 수 있고 수정된 복수의 동명 파일이 각각 속하는 모든 기판 처리 장치(20)로 각각 수정된 동명 파일을 송신하는 일괄 송신도 수행할 수 있다.
개별 송신하는 경우에는 상기 개별 송신하는 수정 파일이 속하는 기판 처리 장치(20)를 조작 표시부(13)에서 조작자가 지시한다. 예컨대 도 6에 도시하는 파일 비교 화면에서 송신처의 기판 처리 장치(20)의 장치명의 위치 예컨대 장치B의 위치에서 콘텍스트 메뉴를 표시하고, 표시한 콘텍스트 메뉴 중에서 「송신(Send)」을 클릭하여 선택하는 것에 의해 수정 파일이 장치B에 송신된다.
또한 일괄 송신하는 경우에는 일괄 송신하는 취지를 조작 표시부(13)에서 조작자가 지시한다. 예컨대 도 6에 도시하는 파일 비교 화면에서 콘텍스트 메뉴를 표시하고, 표시한 콘텍스트 메뉴 중에서 「모두 송신(Send all)」을 클릭하여 선택하는 것에 의해 모든 수정 파일이 각 수정 파일이 속하는 기판 처리 장치(20)에 순차적으로 송신된다. 예컨대 도 6의 예에서는 수정 파일 「레시피1」이 장치B 내지 장치n로 순차적으로 송신된다.
(파일 비교 갱신 처리)
다음으로 관리 장치의 파일 비교 갱신 처리에 대하여 도 7과 도 8을 이용하여 설명한다. 도 7은 본 실시 형태에 따른 파일 비교 갱신 처리 플로우 차트다. 도 8은 도 7의 플로우 차트에서 편집 파일 출력의 플로우 차트다. 파일 비교 갱신 처리에서 관리 장치(10)의 동작은 제어부(11)에 의해 제어된다.
우선 관리 장치(10)는 조작 표시부(13)에서 접수한 조작자로부터의 지시에 따라, 특정의 기판 처리 장치(20)가 보유하는 특정한 파일을 마스터 파일로서 기억부(12)에 등록하여 기억시킨다[도 7의 스텝(S31)]. 그리고 상기 관리 장치(10)의 배하의 기판 처리 장치(20)로서 마스터 파일과 동일 명칭인 동명 파일을 가지는 기판 처리 장치(20)의 장치명을 기억부(12)에 기억된 장치 파일 정보(12a)에 기초하여 추출하고 기억부(12)에 등록하여 기억시킨다[스텝(S32)].
계속해서 관리 장치(10)는 상기 등록한 장치명의 기판 처리 장치(20), 즉 동명 파일을 가지는 기판 처리 장치(20)로부터 동명 파일을 취득하고, 각각 기판 처리 장치(20)의 장치명과 대응시켜서 취득 파일 정보(12b)로서 기억부(12)에 기억한다[스텝(S33)]. 도 7의 예에서는 마스터 파일은 기판 처리 장치A(20)가 보유하는 파일 「File02」이다.
계속해서 관리 장치(10)는 스텝(S33)에서 취득한 장치B 내지 장치n의 각 동명 파일의 내용과 장치A의 마스터 파일의 내용을 비교하고[스텝(S34)], 취득한 각 동명 파일과 마스터 파일의 차이를 출력한다, 예컨대 도 6과 같이 차이가 있는 파라미터나 파라미터 항목이 눈에 띄도록 조작 표시부(13)에 표시한다[스텝(S35)]. 여기서 기판 처리 레시피를 포함하는 레시피 파일이나 파라미터 파일은 항목 수가 많아서 실제로 하나의 화면에서 모든 항목을 표시할 수 없기 때문에 통상은 화면을 스크롤하여 모든 항목을 참조한다. 단, 차이가 있는 부분이 불균일하게 존재하는 경우, 작업량이 많아지고 그 차이 부분을 특정하는 일만으로도 시간이 낭비된다. 또한 편집 모드 상태에서 화면을 스크롤하는 경우 조작 오류에 의해 설정하지 않아도 좋은 파라미터가 변경될 우려가 있다. 그래서 후술하는 도 10 및 도 11 및 도 12 및 도 13에 각각 도시되는 조작 화면에 표시하는 파라미터나 파라미터 항목을 적절하게 표시할 필요가 있다. 이에 따라 후술하는 화면 제어에 의해 조작성을 향상할 수 있어, 차이가 있는 파라미터나 파라미터 항목의 편집을 수행할 수 있다.
여기서 도 10에 대하여 설명한다. 도 10은 도 7의 스텝(S35)에서 차이 부분(차이가 있는 파라미터나 파라미터 항목)만을 표시할 때의 도시예다. 도시되지 않지만 스텝(S34)에서 파일 비교한 결과, 비교 결과 출력 화면이 표시되면 이 출력 화면의 소정 개소(箇所)에 차이 버튼이 배치된다. 그리고 이 차이 버튼을 누르면, 도 10에 도시되는 화면이 표시되도록 구성된다. 또한 스텝(S34)에서 차이 부분만을 표시하도록 미리 구성해도 좋다는 것은 말할 필요도 없다. 이와 같이 차이 부분만을 표시하면 수정해야 할 항목이 명확해져 차이가 있는 파라미터나 파라미터 항목의 편집을 수행할 수 있다.
다음으로 도 11에 대하여 설명한다. 도 11의 (b)는 도 7의 스텝(S35)에서 비교가 불필요한 장치를 배제한 결과를 표시할 때의 도시예다. 도 11의 (a)의 파일 비교 결과 출력 화면 상에서 비표시로 하고 싶은 기판 처리 장치C(20)의 장치명의 위치, 예컨대 장치C의 위치에서 콘텍스트 메뉴를 표시하고, 표시한 콘텍스트 메뉴 중에서 비표시부로서의 「비표시(Hide)」를 클릭하여 선택하는 것에 의해, 선택된 대상의 기판 처리 장치(20)[장치C]가 비표시가 된다. 이와 같이 도 11의 (b)에 도시되는 바와 같이 선택된 장치C를 비표시로 하여 장치D 이후의 장치명의 위치를 왼쪽에 채워서 표시된다. 이에 따라 비교 불필요한 장치C를 비표시하도록 구성하는 것에 의해, 비교해야 할 기판 처리 장치(20)가 명확해지고, 차이가 있는 파라미터나 파라미터 항목의 편집을 실시할 수 있다.
다음으로 도 12에 대하여 설명한다. 도 12의 (b)는 도 7의 스텝(S35)에서 특정의 파라미터(또는 파라미터 항목)로 배열 변경을 수행한 결과를 표시할 때의 도시예다. 도 12의 (a)의 파일 비교 결과 출력 화면 상에서 선택한 항목 「Setting Value」의 위치에서 콘텍스트 메뉴를 표시하고, 표시한 콘텍스트 메뉴 중에서 정렬부로서의 「정렬(Sort)」를 클릭하여 선택하는 것에 의해 마스터 파일을 가지는 기판 처리 장치B(20)의 온도 설정값 300℃에 가까운 온도 설정값을 가지는 기판 처리 장치D(20)로부터 순서대로 표시된다. 특히 중요한 파라미터(또는 파라미터 항목)에 대하여 비교할 때, 마스터 파일에 가까운 파라미터 파일을 가지는 기판 처리 장치(20)로부터 순서대로 표시한다. 이에 의해 중요한 파라미터값에 의한 수정의 필요 여부를 판단하기 쉬워져 파라미터 수정에서 조작성이 향상된다.
다음으로 도 13에 대하여 설명한다. 도 13의 (b)는 도 7의 스텝(S35)에서 마스터 파일을 변경하여 배열 변경을 수행한 결과를 표시할 때의 도시예다. 도 13의 (a)의 파일 비교 결과 출력 화면 상에서 마스터 파일의 절체(切替) 대상으로 하는 기판 처리 장치B(20)의 예에서 콘텍스트 메뉴를 표시하고, 표시한 콘텍스트 메뉴 중에서 변경부로서의 「마스터(Master)」를 클릭하여 선택한다. 이에 의해 마스터 파일의 변경이 수행된다. 이 경우, 새로운 마스터 파일을 기준으로 하여 재차 파일 비교가 실시된다. 이때 「마스터(Master)」가 선택되면 스텝(S34)의 파일 비교 스텝으로 돌아가고, 파일 비교가 실시된 후, 마스터 파일에 선택된 장치B를 가장 좌단에 이동시키고, 파일 비교한 결과가 표시된다[스텝(S35)]. 마스터 파일을 장치B로 절체한 후, 장치B에 의해 취득한 각 파라미터가 기준값이 된다. 그리고 도 13의 (b)에 도시하는 바와 같이 변경 후의 마스터 파일에 대하여 각 레시피 파일 내에 설정되는 각 파라미터에 대하여 재차 파라미터 비교가 실시되고, 비교 결과가 표시된다.
본 실시 형태에서 마스터 파일을 임의로 설정할 수 있도록 구성되기 때문에, 예컨대 기판 처리 장치(20)의 셋업 시에 일괄적으로 파라미터 비교를 수행할 때, 미리 납입 완료된 실적이 있는 기판 처리 장치(20)로 사용 중인 파라미터를 마스터 파일에 설정하는 것에 의해 셋업 작업이 효율적으로 수행된다. 또한 마스터 파일을 임의로 변경할 수 있도록 구성되기 때문에, 기판 처리 장치(20)를 개조, 예컨대 기판 처리 장치(20)로 처리하는 막종 변경이나 프로세스 변경에 따라, 파라미터 변경을 수행할 때에 미리 납입 완료된 실적이 있는 기판 처리 장치(20)로 사용 중인 파라미터를 마스터 파일에 설정하는 것에 의해, 변경해야 할 파라미터를 정확하게 표시할 수 있다.
본 실시 형태에서 기판 처리 레시피를 포함하는 레시피 파일이나 파라미터 파일은 항목 수가 많기 때문에 수정해야 할 항목을 파악하는 것은 용이하지 않지만, 차이가 있는 파라미터나 파라미터 항목을 조작 화면 상에서 시인할 수 있기 때문에 파라미터의 설정 오류를 최대한 억제할 수 있다. 또한 실적이 있는 기판 처리 장치(20)로 사용 중인 파라미터를 마스터 파일에 설정하는 것에 의해 개조 작업에 따른 셋업 시간 단축을 기대할 수 있다.
이러한 도 10 내지 도 13에 도시되는 파일 비교 결과 표시 기능은 조합이 자유롭다는 것은 말할 필요도 없다. 예컨대 도 12에 도시하는 바와 같이 특정 파라미터로 「정렬 (Sort)」를 수행하고, 파라미터 수정 필요 여부를 판단한 후, 도 11에 도시하는 바와 같이 마찬가지의 파라미터 값을 가지는 기판 처리 장치(20)를 「비표시(Hide)」로 하여 비표시한다. 이 조작을 소정 횟수 반복한 후, 스텝(S36)에서의 파라미터 수정을 수행할 수 있다. 또한 상기 조작을 반복하기 전에 도 10에 도시하는 바와 같이 차이가 있는 파라미터나 파라미터 항목을 표시해두는 것도 가능하다. 또한 상기 조작을 반복하기 전에 도 13에 도시하는 바와 같이 마스터 파일의 절체를 수행하는 것도 가능하다.
다음으로 관리 장치(10)는 취득한 동명 파일의 내용을 수정 가능한 편집 모드 상태인지에 대한 여부를 판정한다[스텝(S36)]. 편집 모드로 진입할지에 대해서는 전술한 바와 같이 조작 표시부(13)에서 접수된 조작자로부터의 지시에 따라 결정된다. 스텝(S36)에서 편집 모드 상태가 아니라고 판정한 경우[스텝(S36)]에서 「하지 않는다」)에는 본 처리를 종료한다. 스텝(S36)에서 편집 모드 상태라고 판정한 경우[스텝(S36)]에서 「한다」)는 조작 표시부(13)에서 접수한 조작자로부터의 지시에 따라, 취득한 동명 파일의 편집을 수행, 즉 취득한 동명 파일의 내용을 수정한다[스텝(S37)]. 취득한 동명 파일의 내용을 수정한 경우, 제어부(11)는 도 5의 비교 파일 관리 정보(12c) 중의 편집 플래그를 OFF에서 ON으로 한다.
다음으로 관리 장치(10)는 조작 표시부(13)에서 접수한 조작자로부터의 지시에 따라, 편집 모드로 수정한 동명 파일을 기판 처리 장치(20)에 출력하고[스텝(S38)], 본 처리를 종료한다.
다음으로 스텝(S38)의 수정 파일 출력 처리에 대하여 도 8을 이용하여 설명한다. 우선 관리 장치(10)는 조작 표시부(13)에서 접수한 조작자로부터의 지시에 따라 출력 방법에 관한 정보를 취득한다. 즉 기판 처리 장치(20)에 일괄 출력하는지 또는 개별 출력하는지에 대한 정보를 취득한다[스텝(S41)]. 전술한 바와 같이 도 6에 도시하는 바와 같은 파일 비교 화면에서 표시한 콘텍스트 메뉴 중에서 「모두 송신」을 선택하는 것에 의해 일괄 출력이 지시되고, 표시한 콘텍스트 메뉴 중에서 「송신」을 선택하는 것에 의해 개별 출력이 지시된다.
다음으로 관리 장치(10)는 도 5의 비교 파일 관리 정보(12c)로부터 각 기판 처리 장치(20)의 동명 파일의 편집 상태, 즉 각 기판 처리 장치(20)의 파일이 수정 완료되었는지에 대한 정보를 취득한다[스텝(S42)].
계속해서 관리 장치(10)는 스텝(S42)에서 취득한 각 기판 처리 장치(20)의 동명 파일이 수정 완료되었는지에 대한 여부를 판정한다[스텝(S43)]. 동명 파일이 수정 완료된 경우[스텝(S43)에서 「편집 완료」]에는 상기 동명 파일이 속하는 기판 처리 장치(20)에 출력하고[스텝(S44)], 스텝(S45)으로 천이(遷移)한다. 동명 파일이 수정 완료되지 않은 경우[스텝(S43)에서 「미(未)편집」]에는 상기 동명 파일이 속하는 기판 처리 장치(20)에 출력하지 않고, 스텝(S45)으로 천이한다.
스텝(S45)에서 관리 장치(10)는 스텝(S41)에서 취득한 출력 방법이 일괄 출력인지, 개별 출력인지를 판정한다[스텝(S45)]. 출력 방법이 개별 출력인 경우[스텝(S45)에서 「개별」]에는 본 처리를 종료한다.
출력 방법이 일괄 출력인 경우[스텝(S45)에서 「일괄」]에는 도 5의 비교 파일 관리 정보(12c)에서 수정 완료되고 출력 완료되지 않은 남은 파일이 있는지에 대한 여부를 판정, 즉 수정 완료되고 출력 완료되지 않은 동명 파일을 가지는 기판 처리 장치(20)가 남아 있는지에 대한 여부를 판정한다[스텝(S46)]. 수정 완료된 남은 파일이 없는 경우[스텝(S46)에서 「남은 파일 없음」], 즉 수정 완료되고 출력 완료되지 않은 동명 파일을 가지는 기판 처리 장치(20)가 남아 있지 않은 경우에는 본 처리를 종료한다. 수정 완료된 남은 파일이 있는 경우[스텝(S46)에서 「잔 파일 있음」], 즉 수정 완료되고 출력 완료되지 않은 동명 파일을 가지는 기판 처리 장치(20)가 남아 있는 경우에는 스텝(S44)으로 돌아가 상기 기판 처리 장치(20)에 동명 파일을 출력한다.
예컨대 출력 방법이 일괄 출력이며 도 5의 비교 파일 관리 정보(12c)에서 장치B 내지 장치n의 편집 플래그가 모두 ON인 경우, 장치B의 수정 완료 파일이 장치B에 송신되고, 이어서 장치C의 수정 완료 파일이 장치C에 송신되고, 이어서 장치D의 수정 완료 파일이 장치D에 송신되고, 마지막으로 장치n의 수정 완료 파일이 장치n에 송신된다. 이와 같이 해서 각 기판 처리 장치(20)의 수정 완료 파일이 각각의 수정 완료 파일이 속하는 기판 처리 장치(20)에 송신된다.
본 실시 형태에 의하면 적어도 다음 효과를 갖는다.
(a) 동일 기판 처리를 수행하는 3대 이상의 기판 처리 장치의 파일을 동시에 비교할 수 있기 때문에 2대씩 비교하는 것보다 효율 향상을 도모할 수 있다.
(b) 관리 장치에서 기판 처리 장치의 동명 파일의 내용을 수정하고, 수정한 동명 파일을 기판 처리 장치에 출력하도록 지시할 수 있기 때문에 파일 갱신 처리의 효율 향상을 도모할 수 있다.
(c) 파일 비교 화면(도 6)에서 동명 파일의 내용을 수정하고, 수정한 동명 파일을 기판 처리 장치에 출력하도록 지시할 수 있기 때문에 파일 갱신 처리의 효율 향상을 한층 더 도모할 수 있다.
(d) 파일 비교 화면(도 6)에서 동명 파일의 마스터 파일과 다른 부분의 표시색을 변경하는 등 시인성을 높였기 때문에 조작자가 마스터 파일과 다른 부분을 인식하는 것이 용이해진다.
(e) 수정 완료 파일 정보 표시 화면에서 수정한 부분의 표시색을 변경하는 등 시인성을 높였기 때문에 조작자가 수정한 부분을 인식하는 것이 용이해진다.
(f) 파일 비교 화면(도 10)에서 차이 부분(차이가 있는 파라미터나 파라미터 항목)만을 표시할 수 있다. 또한 동명 파일의 마스터 파일과 다른 부분의 표시색을 변경하는 등 시인성을 높였기 때문에 조작자가 마스터 파일과 다른 부분을 인식하는 것이 용이해진다.
(g) 또한 도 11의 (b)에 도시하는 바와 같이 파일 비교 화면에서 비교 불필요한 장치를 배제하여 표시할 수 있다. 또한 동명 파일의 마스터 파일과 다른 부분의 표시색을 변경하는 등 시인성을 높였기 때문에 조작자가 마스터 파일과 다른 부분을 인식하는 것이 용이해진다.
(h) 또한 도 12의 (b)에 도시하는 바와 같이 파일 비교 화면에서 특정한 파라미터(또는 파라미터 항목)로 배열 변경을 수행하여 표시할 수 있다. 또한 동명 파일의 마스터 파일과 다른 부분의 표시색을 변경하는 등 시인성을 높였기 때문에 조작자가 마스터 파일과 다른 부분을 인식하는 것이 용이해진다. 이에 의해 특정의 파라미터에 대하여 파라미터 값에 의한 수정의 필요 여부를 판단하기 쉬워져 파라미터 수정에서의 조작성이 향상된다. 또한 지정한 파라미터 항목으로 배열 변경을 수행하는 것에 의해, 마스터 파일을 보지(保持)하는 장치와의 설정 내용과 다른 장치 대수의 파악이 가능해진다.
(i) 또한 도 13의 (b)에서 도시하는 바와 같이 파일 비교 화면에서 동명 파일의 마스터 파일과 다른 부분의 표시색을 변경하는 등 시인성을 높였기 때문에 조작자가 마스터 파일과 다른 부분을 인식하는 것이 용이해진다. 또한 파일의 일괄 비교 실시 후, 마스터 파일을 절체하는 것에 의해 다른 시점에서의 파일 일괄 비교가 가능해진다. 예컨대 마스터 파일에 지정한 장치 파일의 일부 항목과 비교 대상 장치의 상기 항목이 다른 경우, 마스터 파일의 설정이 타당하지 않을 가능성이 있다. 그렇기 때문에 마스터 파일을 절체하는 것에 의해 상기 항목의 비교 대상의 기판 처리 장치가 명확해진다.
(j) 또한 본 실시 형태에 의하면 장치 파라미터 조정 시간 단축에 따른 조기 시작[立上](셋업)에 공헌할 수 있다. 예컨대 신규로 장치를 설치하거나 또는 기설치된 장치의 막종 변경에 따른 장치 파라미터 설정 시, 동일 막종의 다른 기설치된 장치와 파라미터 설정 내용의 확인 및 차이 부분의 편집을 군 관리로 일괄적으로 수행하는 것이 가능해지기 때문에, 지금까지 소요된 장치 사이의 비교 반복 및 차이 부분의 메모 작업, 사무소로부터 클린룸내의 장치로 이동하여 파일을 편집하는 시간 단축이 가능해지고, 결과적으로 동일 막종 장치의 기차(機差)의 삭감에 따른 시간 단축에 공헌할 수 있다.
(k) 또한 본 실시 형태에 의하면 소프트웨어의 버전 차이에 의한 장치 파라미터의 차이 부분의 조기 발견이 가능하다. 기판 처리 장치는 출하 시기에 따라 소프트웨어의 버전이 다른 경우가 있기 때문에 동일 막종 장치이어도 소프트웨어 버전의 차이에 의해 파라미터의 설정 내용이 다른 경우가 있다. 그래서 본 실시 형태에서 장치 파일 일괄 비교를 수행하는 것에 의해 장치 사이의 파라미터의 차이 부분을 용이하게 발견하는 것이 가능해지고, 결과적으로 장치 사이의 기차를 삭감할 수 있다.
(l) 또한 본 실시 형태에 의하면 생산 결과가 다른 요인의 조기 발견이 가능해진다. 예컨대 동일 막종의 장치이어도 생산 결과에 차이가 발생하는 경우가 있다. 이 경우, 장치의 생산 레시피의 설정에 차이가 있을 가능성이 있고, 그 차이를 본 실시 형태에서의 장치 파일의 일괄 비교를 수행하는 것에 의해 레시피의 설정의 차이를 용이하게 발견하는 것이 가능해지고, 결과로서 생산 효율의 향상에 공헌할 수 있다.
또한 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 갖가지 변경이 가능하다는 것은 말할 필요도 없다.
(다른 실시 형태)
마스터 파일의 변경 지시가 있었을 경우, 상기 실시 형태에서 변경 지시에 따라 지정된 파일을 마스터 파일로서 가장 좌단(左端)에 표시하는 것에 의해, 파일 비교가 재차 실시되고[도 7의 스텝(S34)], 파일 비교 화면의 변경 표시가 이루어졌다[도 7의 스텝(S35)]. 이에 한정되지 않고, 다른 실시 형태에서는 마스터 파일의 변경 지시에 따라 도 7의 스텝(S31)에 돌아가도록 해도 좋다.
또한 상기 실시 형태에서는 마스터 파일로서 기판 처리 레시피 파일을 이용하여 설명했지만 기판 처리 레시피 이외의 파일, 예컨대 파라미터로 구성되는 파라미터 파일이어도 좋다.
또한 상기 실시 형태에서는 관리 장치의 조작부와 표시부를 별체형의 조작 표시부로 했지만, 예컨대 터치패널을 이용하여 조작부와 표시부를 일체로 구성해도 좋다.
또한 상기 실시 형태에서는 마스터 파일을 관리 장치의 배하의 기판 처리 장치로부터 취득했지만, 기판 처리 장치 이외로부터 취득하도록 구성해도 좋다. 예컨대 기판 처리의 기준이 되는 마스터 파일을 관리 장치나 컴퓨터로 작성하고 관리 장치의 기억부에 격납해도 좋다.
또한 관리 장치는 반드시 사무소 외나 클린 룸 외에 설치될 필요는 없고, 예컨대 사무소 내에 설치해도 좋다. 또한 관리 장치는 그 기억부나 제어부나 조작부나 표시부를 일체로 할 필요는 없고 각각을 별체로 하여 설치해도 좋다. 또한 상기 실시 형태에서는 파일 비교 화면 등을 관리 장치에 표시했지만 기판 처리 장치에 표시하고 기판 처리 장치의 조작 표시부로부터 조작자가 각종 지시를 수행하도록 구성해도 좋다.
상기 실시 형태에서 설명한 관리 장치의 제어부나 조작 표시부나 기억부는 관리 장치의 전용이 아니어도 좋고, 예컨대 컴퓨터 등의 일반적인 컴퓨터 시스템을 이용하여 실현할 수 있다. 예컨대 범용 컴퓨터에 전술한 처리를 실행하기 위한 프로그램(상기 실시 형태에서는 파일 비교 갱신 처리 프로그램)을 격납한 기록 매체(플렉시블 디스크 및 CD-ROM 및 USB메모리 등)로부터 상기 프로그램을 인스톨하는 것에 의해 전술한 처리를 실행하는 제어부를 구성할 수 있다. 예컨대 기판 처리 장치 자체에 상기 실시 형태에서 설명한 파일 비교 갱신 처리 프로그램을 실행하기 위한 제어부 등을 실현할 수 있다.
또한 전술한 처리를 실행하는 프로그램(파일 비교 갱신 처리 프로그램)을 공급하기 위한 수단은 임의로 선택할 수 있다. 전술한 바와 같이 소정의 기록 매체를 개재하여 공급하는 것 외에, 예컨대 통신 회선 및 통신 네트워크 및 통신 시스템 등을 개재하여 공급할 수 있다. 이 경우 예컨대 통신 네트워크의 게시판에 상기 프로그램을 게시하고 네트워크를 개재하여 공급해도 좋다. 그리고 이와 같이 하여 제공된 프로그램을 기동하고, 관리 장치의 OS(Operating System)의 제어 하, 다른 어플리케이션 프로그램과 마찬가지로 실행하는 것에 의해 전술한 처리를 실행할 수 있다.
또한 본 발명은 반도체 제조 장치뿐만 아니라 LCD제조 장치와 같은 유리기판을 처리하는 장치나 다른 기판 처리 장치에도 적용할 수 있다. 기판 처리의 처리 내용은 CVD, PVD, Epi, 그 외의 산화막, 질화막, 금속 함유막 등을 형성하는 성막 처리뿐만 아니라, 어닐링 처리, 산화 처리, 확산 처리, 에칭 처리, 노광 처리, 리소그래피, 도포 처리, 몰드 처리, 현상 처리, 다이싱 처리, 와이어 본딩 처리, 검사 처리 등이어도 좋다.
<본 발명의 바람직한 형태>
이하, 본 발명의 바람직한 형태에 대하여 부기(附記)한다.
(부기1)
본 발명의 일 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 보유하는 기판 처리 장치에 접속되는 관리 장치로서, 상기 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보를 기억하는 기억부; 조작자로부터의 지시를 접수하고 정보 표시를 수행하는 조작 표시부; 및 상기 장치 정보를 상기 기판 처리 장치로부터 취득하고, 상기 취득한 취득 장치 정보와 상기 기억부에 기억한 상기 기준 장치 정보에 기초하여 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 장치 정보 비교 화면으로서 상기 조작 표시부에 표시하고, 상기 취득 장치 정보의 상기 기준 장치 정보와의 차이 부분의 수정 지시를 상기 조작 표시부로부터 접수하면 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 기판 처리 장치에 송신하도록 제어하는 제어 동작을 수행하는 제어부;를 구비하는 관리 장치가 제공된다.
(부기2)
바람직하게는 부기1의 관리 장치로서, 상기 장치 정보는 상기 기판 처리 장치에서의 기판 처리의 파라미터를 포함하는 레시피 정보인 관리 장치가 제공된다.
(부기3)
바람직하게는 부기1 또는 부기2의 관리 장치로서, 상기 기준 장치 정보는 상기 장치 정보의 종별마다 상기 기억부에 기억되고, 상기 제어부는 상기 장치 정보의 종별마다 상기 제어 동작을 수행하는 관리 장치가 제공된다.
(부기4)
바람직하게는 부기1 내지 부기3의 관리 장치로서, 상기 제어부는 상기 취득 장치 정보에 대하여 상기 차이 부분을 상기 기준 장치 정보의 내용과 동일하게 수정을 수행하도록 제어하는 관리 장치가 제공된다.
(부기5)
바람직하게는 부기1 내지 부기4의 관리 장치로서, 상기 조작 표시부는 상기 장치 정보 비교 화면에서 상기 수정 지시를 접수하는 관리 장치가 제공된다.
(부기6)
본 발명의 다른 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 보유하는 기판 처리 장치와 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 관리 장치는, 상기 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보를 기억하는 기억부; 조작자로부터의 지시를 접수하고 정보 표시를 수행하는 조작 표시부; 및 상기 장치 정보를 상기 기판 처리 장치로부터 취득하고, 상기 취득한 취득 장치 정보와 상기 기억부에 기억한 상기 기준 장치 정보에 기초하여 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 장치 정보 비교 화면으로서 상기 조작 표시부에 표시하고, 상기 취득 장치 정보의 상기 기준 장치 정보와의 차이 부분의 수정 지시를 상기 조작 표시부로부터 접수하면 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 기판 처리 장치에 송신하도록 제어하는 제어 동작을 수행하는 제어부;를 구비하는 기판 처리 시스템이 제공된다.
(부기7)
바람직하게는 부기6의 기판 처리 시스템으로서, 상기 관리 장치는 상기 기억부에 기억한 상기 기준 장치 정보의 명칭에 기초하여 상기 장치 정보를 상기 기판 처리 장치로부터 취득하고, 상기 기준 장치 정보에 포함되는 기판 처리용 파라미터와, 상기 장치 정보에 포함되는 기판 처리용 파라미터를 상기 장치 정보 비교 화면에 표시하는 기판 처리 시스템이 제공된다.
(부기8)
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 기판 처리 장치로부터 취득하는 취득 공정; 상기 취득한 취득 장치 정보와 상기 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보를 비교하는 비교 공정; 상기 취득 장치 정보의 상기 기준 장치 정보와의 차이 부분의 수정 지시를 접수하는 수정 지시 접수 공정; 및 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 기판 처리 장치에 송신하는 장치 정보 수정 공정;을 구비하는 장치 정보 갱신 방법이 제공된다.
(부기9)
바람직하게는 부기8의 장치 정보 갱신 방법으로서, 상기 취득 공정에서 상기 기준 장치 정보의 명칭에 기초하여 상기 장치 정보를 상기 기판 처리 장치로부터 취득하는 장치 정보 갱신 방법이 제공된다.
(부기10)
바람직하게는 부기8 또는 부기9의 장치 정보 갱신 방법으로서, 상기 비교 공정에서 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 장치 정보 비교 화면으로서 표시하는 장치 정보 갱신 방법이 제공된다.
(부기11)
바람직하게는 부기10의 장치 정보 갱신 방법으로서, 상기 수정 지시 접수 공정에서 상기 장치 정보 비교 화면 상에서 상기 수정 지시를 접수하는 장치 정보 갱신 방법이 제공된다.
(부기12)
바람직하게는 부기10의 장치 정보 갱신 방법으로서, 상기 장치 정보 수정 공정에서 상기 장치 정보 비교 화면 상에 상기 차이 부분의 수정 후의 정보를 표시하는 장치 정보 갱신 방법이 제공된다.
(부기13)
바람직하게는 부기11 또는 부기12의 장치 정보 갱신 방법으로서, 상기 장치 정보 비교 화면에서 상기 차이 부분 또는 상기 차이 부분을 수정한 수정부를 식별하기 쉽도록 명시하는(색을 변경하여 표시하거나, 점멸 표시하거나, 또는 밑줄 표시한다) 장치 정보 갱신 방법이 제공된다.
(부기14)
바람직하게는 부기13의 장치 정보 갱신 방법으로서, 상기 장치 정보 비교 화면에서 상기 기준 장치 정보의 상기 차이 부분에 대응하는 부분을 식별하기 쉽도록 명시하는 장치 정보 갱신이 제공된다.
(부기15)
바람직하게는 부기13 또는 부기14의 장치 정보 갱신 방법으로서, 상기 장치 정보 비교 화면에서 상기 취득 장치 정보의 상기 차이 부분을 수정 전과 수정 후의 색깔을 구분하여 표시하는 장치 정보 갱신 방법이 제공된다.
(부기16)
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 기판 처리 장치로부터 취득하는 취득 공정; 상기 취득한 취득 장치 정보와 상기 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보를 비교하는 비교 공정; 및 상기 취득 장치 정보의 상기 기준 장치 정보와의 차이 부분을 식별하기 쉽도록 명시하는 명시 공정;을 구비하는 장치 정보 표시 방법이 제공된다.
(부기17)
바람직하게는 부기16의 장치 정보 표시 방법으로서, 상기 명시 공정에서 상기 기준 장치 정보의 상기 차이 부분에 대응하는 부분을 식별하기 쉽도록 명시하는 장치 정보 표시 방법이 제공된다.
(부기18)
바람직하게는 부기16 또는 부기17의 장치 정보 표시 방법으로서, 상기 명시 공정에서 상기 취득 장치 정보의 상기 차이 부분을 식별하기 쉽도록 명시하는 장치 정보 표시 방법이 제공된다.
(부기19)
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 기판 처리 장치로부터 취득하는 취득 처리; 상기 취득한 취득 장치 정보와. 상기 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보를 비교하는 비교 처리; 상기 취득 장치 정보의 상기 기준 장치 정보와의 차이 부분의 수정 지시를 접수하는 수정 지시 접수 처리; 및 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 기판 처리 장치에 송신하는 장치 정보 수정 처리;를 포함하는 장치 정보 갱신 프로그램이 제공된다.
(부기20)
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 기판 처리 장치로부터 취득하는 취득 처리; 상기 취득한 취득 장치 정보와 상기 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보를 비교하는 비교 처리; 상기 취득 장치 정보의 상기 기준 장치 정보와의 차이 부분의 수정 지시를 접수하는 수정 지시 접수 처리; 및 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 기판 처리 장치에 송신하는 장치 정보 수정 처리;를 포함하는 장치 정보 갱신 프로그램이 격납된 기록 매체가 제공된다.
(부기21)
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 보유하는 기판 처리 장치와 접속되는 관리 장치로서, 상기 장치 정보 중 상기 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보를 설정하는 설정부; 상기 설정부에 설정된 상기 기준 장치 정보에 기초하여 상기 장치 정보를 상기 기판 처리 장치로부터 취득하고, 상기 취득한 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보를 비교하고, 추출된 차이 부분과 상기 기준 장치 정보를 포함하는 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 조작 표시부; 및 상기 차이 부분의 수정 지시를 상기 조작 표시부로부터 접수하면 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 기판 처리 장치에 송신하도록 제어하는 제어 동작을 수행하는 제어부;를 구비하는 관리 장치가 제공된다.
(부기22)
바람직하게는 부기21의 관리 장치로서, 상기 기준 장치 정보에 기초하여 취득 대상인 상기 장치 정보를 보유하는 상기 기판 처리 장치를 등록하는 등록부를 더 구비하고, 상기 등록부는 상기 기판 처리 장치의 명칭, 마스터 파일의 지정 정보, 비교 파일의 명칭 및 편집의 유무를 나타내는 편집 플래그를 포함하는 관리 장치가 제공된다.
(부기23)
바람직하게는 부기21의 관리 장치로서, 상기 조작 표시부는 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 장치 정보 비교 화면을 더 구비하고, 상기 장치 정보 비교 화면은 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분만을 표시하는 버튼을 가지는 관리 장치가 제공된다.
(부기24)
바람직하게는 부기21의 관리 장치로서, 상기 조작 표시부는 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 장치 정보 비교 화면을 더 구비하고, 상기 장치 정보 비교 화면은 상기 기준 장치 정보의 차이가 있는 상기 장치 정보를 편집하는 편집 모드로 절체하는 편집부를 포함하는 관리 장치가 제공된다.
(부기25)
바람직하게는 부기21의 관리 장치로서, 상기 조작 표시부는 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 장치 정보 비교 화면을 더 구비하고, 상기 장치 정보 비교 화면은, 상기 기준 장치 정보를 보유하는 기판 처리 장치를 변경하는 변경부; 상기 비교 불필요한 장치 정보를 보유하는 기판 처리 장치를 비표시로 하는 비표시부; 및 상기 기준 장치 정보 중 특정 파라미터를 기준으로 정렬 표시하는 정렬부;를 포함하는 관리 장치가 제공된다.
(부기26)
바람직하게는 부기25의 관리 장치로서, 상기 장치 정보 비교 화면 상에서 상기 변경부가 선택되면, 상기 조작 표시부는 상기 기준 장치 정보를 보유하는 상기 기판 처리 장치를 변경하고, 변경된 기준 장치 정보에 기초하여 상기 취득 장치 정보와 변경된 기준 장치 정보를 비교하고, 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 변경된 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 관리 장치가 제공된다.
(부기27)
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 보유하는 기판 처리 장치와 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 관리 장치는, 상기 장치 정보 중 상기 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보를 설정하는 설정부; 상기 설정부에 설정된 상기 기준 장치 정보에 기초하여 상기 장치 정보를 상기 기판 처리 장치로부터 취득하고, 상기 취득한 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보를 비교하여 추출된 차이 부분과 상기 기준 장치 정보를 포함하는 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 조작 표시부; 상기 차이 부분의 수정 지시를 상기 조작 표시부로부터 접수하면 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 기판 처리 장치에 송신하도록 제어하는 제어 동작을 수행하는 제어부;를 구비하는 기판 처리 시스템이 제공된다.
(부기28)
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 보유하는 기판 처리 장치와 접속되는 관리 장치로서, 상기 장치 정보 중 상기 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보를 설정하는 설정부; 상기 설정부에 설정된 상기 기준 장치 정보에 기초하여 상기 기판 처리 장치로부터 취득된 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이를 추출하여 얻어진 차이 부분과 상기 기준 장치 정보를 포함하는 상기 장치 정보의 내용을 각각 표시하고, 상기 차이 부분의 수정 지시를 하는 조작 표시부; 및 상기 차이 부분에 대한 수정 지시를 상기 조작 표시부로부터 수신하면 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정하여 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 기판 처리 장치에 송신하도록 제어하는 제어부;구비하는 관리 장치가 제공된다.
(부기29)
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 보유하는 기판 처리 장치와 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 관리 장치는, 상기 장치 정보 중 상기 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보를 설정하는 설정부; 상기 설정부에 설정된 상기 기준 장치 정보에 기초하여 상기 기판 처리 장치로부터 취득된 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이를 추출하여 얻어진 차이 부분과 상기 기준 장치 정보를 포함하는 상기 장치 정보의 내용을 각각 표시하고, 상기 차이 부분의 수정을 지시하는 조작 표시부; 및 상기 차이 부분에 대한 수정 지시를 상기 조작 표시부로부터 수신하면 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정하여 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 기판 처리 장치에 송신하도록 제어하는 제어부;를 구비하는 기판 처리 시스템이 제공된다.
(부기30)
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 기판 처리 장치로부터 취득하는 취득 장치 정보와 상기 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보의 차이를 추출하는 추출 공정; 상기 차이 부분과 상기 기준 장치 정보를 포함하는 상기 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 표시 공정; 상기 취득 장치 정보의 상기 기준 장치 정보와의 차이 부분의 수정 지시를 수신하는 수정 지시 접수 공정; 및 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 기판 처리 장치에 송신하는 장치 정보 수정 공정;
을 구비하는 장치 정보 갱신 방법이 제공된다.
(부기31)
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 기판 처리 장치로부터 취득하는 취득 장치 정보와 상기 장치 정보의 기준이 되는 기준 장치 정보의 차이를 추출하는 추출 처리; 상기 차이 부분과 상기 기준 장치 정보를 포함하는 상기 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 표시 처리와 상기 취득 장치 정보의 상기 기준 장치 정보와의 차이 부분의 수정 지시를 수신하는 수정 지시 접수 처리; 및 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 기판 처리 장치에 송신하는 장치 정보 수정 처리;를 포함하는 장치 정보 갱신 프로그램이 격납된 기록 매체가 제공된다.
(부기32)
바람직하게는, 상기 조작 표시부는 상기 기준 장치 정보에 기초하여 취득 대상으로 하는 상기 장치 정보를 보유하는 상기 기판 처리 장치를 등록하는 등록부를 더 구비하고, 상기 등록부는 상기 기판 처리 장치의 명칭, 마스터 파일의 지정 정보, 비교 파일의 명칭 및 편집의 유무를 나타내는 편집 플래그를 포함하는 부기28의 관리 장치가 제공된다.
(부기33)
또한 바람직하게는,
상기 조작 표시부는 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 장치 정보 비교 화면을 구비하고,
상기 장치 정보 비교 화면은 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분만을 표시하는 버튼을 가지는 부기28의 관리 장치가 제공된다.
(부기34)
상기 조작 표시부는 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 장치 정보 비교 화면을 더 구비하고,
상기 장치 정보 비교 화면은,
상기 기준 장치 정보를 보유하는 기판 처리 장치를 변경하는 변경부;
상기 비교 불필요한 장치 정보를 보유하는 기판 처리 장치를 비표시로 하는 비표시부; 및
상기 기준 장치 정보 중 특정 파라미터를 기준으로 정렬 표시하는 정렬부;
를 포함하는 부기28의 관리 장치가 제공된다.
(부기35)
상기 장치 정보 비교 화면 상에서 상기 변경부가 선택되면, 상기 조작 표시부는 상기 기준 장치 정보를 보유하는 상기 기판 처리 장치를 변경하고, 변경된 기준 장치 정보에 기초하여 상기 취득 장치 정보와 변경된 기준 장치 정보를 비교하고, 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 변경된 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 부기34의 관리 장치가 제공된다.
(부기36)
상기 장치 정보는 상기 기판 처리 장치에서 기판 처리의 파라미터를 포함하는 레시피 정보인 부기28의 관리 장치가 제공된다.
(부기37)
상기 조작 표시부는 상기 기준 장치 정보와 상기 취득 장치 정보의 상기 차이 부분에 대응하는 부분을 식별하기 쉽도록 명시하는 부기28의 관리 장치가 제공된다.
(부기38)
상기 조작 표시부는 상기 장치 정보 비교 화면에서 상기 기준 장치 정보와 상기 취득 장치 정보의 상기 차이 부분을 수정 전과 수정 후의 색깔을 구분하여 표시하는 부기37의 관리 장치가 제공된다.
또한 본 출원은 2013년 5월 22일에 출원된 일본 특원 2013-108226에 기초하여 우선권의 이익을 주장하는 것이며, 그 개시(開示) 전체를 인용하여 명세서에 취입(取入)한다.
본 발명은 처리 장치 사이의 장치 정보의 차이를 추출하여 장치 정보 갱신을 수행하는 것이 가능한 처리 시스템에 바람직하게 이용된다.
10: 관리 장치 11: 제어부
11a: 장치 파일 취득 기능 11b: 장치 파일 비교 기능
11c: 장치 파일 수정 기능 11d: 수정 파일 출력 기능
12: 기억부 12a: 장치 파일 정보
12b: 취득 파일 정보 12c: 비교 파일 관리 정보
12d: 비교 결과 정보 12e: 수정 완료 파일 정보
13: 조작 표시부 14: 통신부
20: 기판 처리 장치 31: 네트워크
32: 네트워크

Claims (15)

  1. 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 각각 보유하는 복수의 기판 처리 장치에 접속되는 관리 장치로서,
    상기 복수의 기판 처리 장치 중 어느 하나의 장치에 저장된 장치 정보를 기준 장치 정보로서 설정하는 설정부;
    상기 설정부에 설정된 상기 기준 장치 정보에 기초하여 상기 복수의 기판 처리 장치 중 상기 어느 하나의 장치를 제외한 다른 장치들로부터 취득된 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이를 추출하여 얻어진 차이 부분 및 상기 기준 장치 정보를 각각 표시하고, 상기 차이 부분의 수정 지시를 하는 조작 표시부; 및
    상기 차이 부분에 대한 수정 지시를 상기 조작 표시부로부터 수신하면 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정하여 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 다른 장치들에 송신하도록 제어하는 제어부;
    를 구비하고,
    상기 조작 표시부는 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 장치 정보 비교 화면을 구비하고, 상기 장치 정보 비교 화면에 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보에서 일치하는 부분은 블랭크 표시시키며, 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 표시시켜 상기 차이 부분을 특정시키도록 구성되는 관리 장치.
  2. 기판을 처리하기 위한 장치 정보를 각각 보유하는 복수의 기판 처리 장치와 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서,
    상기 관리 장치는,
    상기 복수의 기판 처리 장치 중 어느 하나의 장치에 저장된 장치 정보를 기준 장치 정보로서 설정하는 설정부;
    상기 설정부에 설정된 상기 기준 장치 정보에 기초하여 상기 복수의 기판 처리 장치 중 상기 어느 하나의 장치를 제외한 다른 장치들로부터 취득된 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이를 추출하여 얻어진 차이 부분 및 상기 기준 장치 정보를 각각 표시하고, 상기 차이 부분의 수정 지시를 하는 조작 표시부; 및
    상기 차이 부분에 대한 수정 지시를 상기 조작 표시부로부터 수신하면 상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정하여 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 다른 장치들에 송신하도록 제어하는 제어부;
    를 구비하고,
    상기 조작 표시부는 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 장치 정보 비교 화면을 구비하고, 상기 장치 정보 비교 화면에 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보에서 일치하는 부분은 블랭크 표시시키며, 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 표시시켜 상기 차이 부분을 특정시키도록 구성되는 기판 처리 시스템.
  3. 복수의 기판 처리 장치 중 어느 하나의 장치에 저장된 장치 정보를 기준 장치 정보로서 설정하고, 상기 복수의 기판 처리 장치 중 상기 어느 하나의 장치를 제외한 다른 장치들로부터 취득한 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 추출하는 추출 공정;
    상기 차이 부분 및 상기 기준 장치 정보를 각각 표시하는 표시 공정;
    상기 취득 장치 정보의 상기 기준 장치 정보의 상기 차이 부분의 수정 지시를 수신하는 수정 지시 접수 공정; 및
    상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 다른 장치들에 송신하는 장치 정보 수정 공정;
    을 구비하고,
    상기 표시 공정은
    상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 장치 정보 비교 화면에 표시할 때, 상기 장치 정보 비교 화면에 상기 장치 정보와 상기 기준 장치 정보에서 일치하는 부분은 블랭크 표시하고, 상기 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 표시하여 상기 차이 부분을 특정하는 공정을 포함하는 장치 정보 갱신 방법.
  4. 복수의 기판 처리 장치 중 어느 하나의 장치에 저장된 장치 정보를 기준 장치 정보로서 설정하고, 상기 복수의 기판 처리 장치 중 상기 어느 하나의 장치를 제외한 다른 장치들로부터 취득한 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 추출하는 추출 처리;
    상기 차이 부분 및 상기 기준 장치 정보를 각각 표시하는 표시 처리;
    상기 취득 장치 정보의 상기 기준 장치 정보와의 상기 차이 부분의 수정 지시를 수신하는 수정 지시 접수 처리; 및
    상기 수정 지시에 기초하여 상기 취득 장치 정보를 수정한 수정 장치 정보를 작성하고, 상기 수정 장치 정보를 상기 다른 장치들에 송신하는 장치 정보 수정 처리;
    를 컴퓨터에 실행시키고,
    상기 표시 처리는
    상기 장치 정보의 내용과 상기 기준 장치 정보의 내용을 각각 장치 정보 비교 화면에 표시할 때, 또한 상기 장치 정보 비교 화면에 상기 장치 정보와 상기 기준 장치 정보에서 일치하는 부분은 블랭크 표시하고, 상기 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 차이 부분을 표시하여 상기 차이 부분을 특정하는 처리를 포함하는 기록 매체에 기록된 장치 정보 갱신 프로그램.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 조작 표시부는 상기 기준 장치 정보에 기초하여 취득 대상으로 하는 상기 장치 정보를 보유하는 상기 복수의 기판 처리 장치를 등록하는 등록부를 더 구비하고,
    상기 등록부는 상기 복수의 기판 처리 장치의 명칭, 마스터 파일의 지정 정보, 비교 파일의 명칭 및 편집의 유무를 나타내는 편집 플래그를 포함하는 관리 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 조작 표시부는 상기 장치 정보 비교 화면에 상기 취득 장치 정보와 상기 기준 장치 정보의 상기 차이 부분만을 표시하는 버튼을 배치시키도록 구성되는 관리 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 조작 표시부는,
    상기 장치 정보 비교 화면에, 상기 기준 장치 정보를 보유하는 상기 어느 하나의 장치를 변경하는 변경부; 복수의 기판 처리 장치 중 비교가 필요없는 장치 정보를 보유하는 기판 처리 장치를 비표시로 하는 비표시부; 및 상기 기준 장치 정보 중 특정 파라미터를 기준으로 정렬 표시하는 정렬부;를 포함하는 메뉴 화면을 표시시키도록 구성되는 관리 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 메뉴 화면 상에서 상기 변경부가 선택되면 상기 변경부가 선택되면, 상기 조작 표시부는 상기 기준 장치 정보를 보유하는 상기 어느 하나의 장치를 복수의 기판 처리 장치 중의 다른 하나의 장치로 변경하고 상기 기준 장치 정보를 상기 다른 하나의 장치의 장치 정보로 변경하고, 변경된 기준 장치 정보에 기초하여 상기 변경된 기준 장치 정보를 포함하지 않는 기판 처리 장치로부터 취득되는 상기 취득 장치 정보와 변경된 기준 장치 정보를 비교하고, 상기 취득 장치 정보의 내용과 상기 변경된 기준 장치 정보의 내용을 각각 표시하는 관리 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 장치 정보는 상기 복수의 기판 처리 장치 각각의 기판 처리의 파라미터를 포함하는 레시피 정보인 관리 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 조작 표시부는 상기 기준 장치 정보와 상기 취득 장치 정보의 상기 차이 부분에 대응하는 부분을 식별하기 쉽도록 명시하는 관리 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 조작 표시부는 상기 장치 정보 비교 화면에서 상기 기준 장치 정보와 상기 취득 장치 정보의 상기 차이 부분을 수정 전과 수정 후의 색깔을 구분하여 표시하는 관리 장치.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 조작 표시부는 상기 메뉴 화면 상에서 상기 비표시부와 상기 정렬부 중 어느 하나의 선택을 반복하여 상기 기준 장치 정보와 상기 취득 장치 정보의 상기 차이 부분을 표시하고 상기 차이 부분을 편집시키도록 구성되는 관리 장치.
  13. 삭제
  14. 제7항에 있어서,
    상기 조작 표시부는 상기 메뉴 화면 상에서 상기 변경부와 상기 비표시부와 상기 정렬부 중 어느 하나의 선택을 반복하여 상기 기준 장치 정보와 상기 취득 장치 정보의 상기 차이 부분을 표시하고 상기 차이 부분을 편집시키도록 구성되는 관리 장치.
  15. 삭제
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190108482A (ko) * 2018-03-14 2019-09-24 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 기판 처리 장치, 기판 처리 시스템, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6594989B2 (ja) 2015-09-30 2019-10-23 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理システム、基板処理装置のファイル管理方法及びプログラム
CN105467969A (zh) * 2016-01-18 2016-04-06 京东方科技集团股份有限公司 一种制造执行系统
CN112652557A (zh) * 2016-03-29 2021-04-13 株式会社国际电气 处理装置、装置管理控制器、计算机可读的记录介质、半导体器件的制造方法以及显示方法
JP6645993B2 (ja) * 2016-03-29 2020-02-14 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 処理装置、装置管理コントローラ、及びプログラム並びに半導体装置の製造方法
CN107305855B (zh) * 2016-04-19 2021-05-07 株式会社国际电气 衬底处理装置、装置管理控制器及装置管理方法
JP6710168B2 (ja) 2016-04-19 2020-06-17 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理装置、装置管理コントローラ及びプログラム並びに半導体装置の製造方法
JP2018067626A (ja) * 2016-10-19 2018-04-26 東京エレクトロン株式会社 半導体システム及びデータ編集支援方法
US10877466B2 (en) * 2017-08-09 2020-12-29 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Reconciliation of run-time and configuration discrepancies
JP7080065B2 (ja) * 2018-02-08 2022-06-03 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス データ処理方法、データ処理装置、データ処理システム、およびデータ処理プログラム
JP7161896B2 (ja) 2018-09-20 2022-10-27 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理システム
US11714394B2 (en) * 2018-09-28 2023-08-01 Fisher-Rosemount Systems, Inc Bulk commissioning of field devices within a process plant
JP6887545B2 (ja) * 2020-03-06 2021-06-16 東京エレクトロン株式会社 半導体システム及びデータ編集支援方法
JP2023169963A (ja) 2022-05-18 2023-12-01 東京エレクトロン株式会社 レシピの表示方法及び基板処理システム

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001189248A (ja) * 2000-01-06 2001-07-10 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置
JP2007194446A (ja) * 2006-01-20 2007-08-02 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
JP2007305613A (ja) * 2006-05-08 2007-11-22 Tokyo Electron Ltd 群管理システム、プロセス情報管理装置およびプログラム

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11354398A (ja) * 1998-06-08 1999-12-24 Kokusai Electric Co Ltd ウェーハ処理方法
US6442445B1 (en) * 1999-03-19 2002-08-27 International Business Machines Corporation, User configurable multivariate time series reduction tool control method
WO2003063044A2 (en) * 2002-01-23 2003-07-31 Intellitech Corporation Management system, method and apparatus for licensed delivery and accounting of electronic circuits
JP2006073845A (ja) * 2004-09-03 2006-03-16 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造システム
US7209798B2 (en) * 2004-09-20 2007-04-24 Tokyo Electron Limited Iso/nested cascading trim control with model feedback updates
US7308329B2 (en) * 2004-12-28 2007-12-11 Olympus Corporation Method and apparatus for inspecting semiconductor wafer
DE102005009022A1 (de) * 2005-02-28 2006-09-07 Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale Automatisches Durchsatzsteuerungssystem und Verfahren zum Betreiben desselben
JP4629728B2 (ja) * 2005-04-12 2011-02-09 富士通株式会社 生産管理プログラム、生産管理方法、生産管理システム
US7340320B2 (en) * 2005-04-13 2008-03-04 Asm Japan K.K. Method of recipe control operation
US7596421B2 (en) * 2005-06-21 2009-09-29 Kabushik Kaisha Toshiba Process control system, process control method, and method of manufacturing electronic apparatus
US7489980B2 (en) * 2005-08-09 2009-02-10 International Business Machines Corporation Factory level and tool level advanced process control systems integration implementation
JP2007071678A (ja) * 2005-09-07 2007-03-22 Hitachi High-Technologies Corp 検査システム
US7305320B2 (en) * 2006-02-15 2007-12-04 International Business Machines Corporation Metrology tool recipe validator using best known methods
JP5062806B2 (ja) * 2006-04-27 2012-10-31 東京エレクトロン株式会社 群管理システム、プロセス情報管理装置、制御装置、およびプログラム
JP4697878B2 (ja) * 2006-04-28 2011-06-08 東京エレクトロン株式会社 プロセス情報管理装置、およびプログラム
JP5077992B2 (ja) * 2006-11-06 2012-11-21 東京エレクトロン株式会社 サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム
JP4749385B2 (ja) * 2007-05-29 2011-08-17 本田技研工業株式会社 部品発注管理のためのコンピュータ／システム
US20090082897A1 (en) * 2007-09-21 2009-03-26 Cain Jason P Method and apparatus for generating metrology tags to allow automatic metrology recipe generation
JP2009272497A (ja) * 2008-05-08 2009-11-19 Hitachi High-Technologies Corp レシピパラメータ管理装置およびレシピパラメータ管理方法
US8285414B2 (en) * 2009-03-31 2012-10-09 International Business Machines Corporation Method and system for evaluating a machine tool operating characteristics
US9280151B2 (en) * 2012-05-15 2016-03-08 Wafertech, Llc Recipe management system and method
JP2014041976A (ja) * 2012-08-23 2014-03-06 Toshiba Corp レシピ管理装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001189248A (ja) * 2000-01-06 2001-07-10 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置
JP2007194446A (ja) * 2006-01-20 2007-08-02 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
JP2007305613A (ja) * 2006-05-08 2007-11-22 Tokyo Electron Ltd 群管理システム、プロセス情報管理装置およびプログラム

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190108482A (ko) * 2018-03-14 2019-09-24 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 기판 처리 장치, 기판 처리 시스템, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체
KR102210088B1 (ko) * 2018-03-14 2021-01-29 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 기판 처리 장치, 기판 처리 시스템, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체
US10930533B2 (en) 2018-03-14 2021-02-23 Kokusai Electric Corporation Substrate processing apparatus, substrate processing system and method of manufacturing semiconductor device

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KR20160002978A (ko) 2016-01-08
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US10289781B2 (en) 2019-05-14
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CN105247657A (zh) 2016-01-13

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