WO2014189045A1 - 管理装置、基板処理システム、装置情報更新方法、及び記録媒体 - Google Patents

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寿朗 越巻
一秀 浅井
清水　英人
佳代子 屋敷
一良 山本
修久 牧野
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株式会社日立国際電気
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Definitions

  • the present invention relates to a management apparatus for managing apparatus information stored in a file such as a film forming recipe held by a substrate processing apparatus for processing a substrate such as a wafer, a substrate processing system including the management apparatus and the substrate processing apparatus,
  • the present invention relates to a method for updating apparatus information held by a substrate processing apparatus and a recording medium.
  • the substrate processing apparatus performs processing such as film formation on a semiconductor substrate (for example, a semiconductor wafer) on which a semiconductor integrated circuit (hereinafter referred to as IC) is formed, for example.
  • a management apparatus for centrally managing a substrate processing apparatus group composed of a plurality of substrate processing apparatuses is introduced, and each substrate processing under the management apparatus is performed in the management apparatus. It is possible to monitor the production status of the device and to store and refer to production history and failure history.
  • the management apparatus and each substrate processing apparatus are connected by a network such as a LAN capable of high-speed communication.
  • Each substrate processing apparatus has a substrate processing recipe for substrate processing, and performs substrate processing based on the substrate processing recipe held by itself.
  • the same substrate processing apparatus that performs the same substrate processing is the same among the plurality of substrate processing apparatuses.
  • a plurality of film forming apparatuses are included.
  • the substrate processing recipe of such a same substrate processing apparatus originally has the same contents, but as the substrate processing is repeated, the substrate processing recipe is improved in a certain substrate processing apparatus, for example, a parameter setting value of the substrate processing recipe (for example, substrate processing) Room temperature setting value) may be changed. And when the result is favorable, it will be reflected in another same substrate processing apparatus.
  • the improved substrate processing recipe file is compared with a plurality of substrate processing recipe files held by other substrate processing apparatuses, and the parameters of the difference portion are extracted and output. Based on the parameters, the substrate processing recipe file of another substrate processing apparatus is corrected.
  • FIG. 9 is a flowchart of file comparison update processing according to the background art.
  • the substrate processing apparatus A has an appropriate file.
  • the files held by other substrate processing apparatuses (substrate processing apparatus B or the like) match the appropriate files of the substrate processing apparatus A are compared in the management apparatus, and if there is a difference,
  • the file of the substrate processing apparatus B or the like is corrected so as to match the file of the substrate processing apparatus A.
  • the substrate processing apparatus A and the substrate processing apparatus B are installed in a clean room, and are connected to a management apparatus installed in the office via a network such as a LAN.
  • the management apparatus acquires a file of the substrate processing apparatus A (step S61 in FIG. 9), acquires a file of the substrate processing apparatus B (step S62), and compares the acquired two files (step S63). . As a result of the comparison (step S64), if there is no difference between the two files, the process is terminated. If there is a difference between the two files, the comparison result is output (for example, CSV output), or the operator takes a note of the difference (step S65).
  • step S66 the operator moves from the office into the clean room (step S66), and the substrate processing apparatus B corrects and updates the file based on the comparison result output or the memo (step S67).
  • step S68 the operator moves from the clean room to the office (step S68) and confirms whether the file update has been performed correctly. If the file was not updated correctly, move to the clean room again and correct the file. If the file update is correctly performed, the process returns to step S62, and the file of the next substrate processing apparatus, for example, the substrate processing apparatus C is compared and corrected.
  • the management device can compare two files, but cannot simultaneously compare three or more files. For this reason, if there are three or more substrate processing apparatuses to be compared, it takes a lot of time to update the file, and the original substrate processing cannot be started, leading to a reduction in the operating rate of the apparatus.
  • An object of the present invention is to provide a management apparatus, a substrate processing system, an apparatus information update method, and a recording medium that can extract apparatus information differences between substrate processing apparatuses and update apparatus information.
  • a management apparatus connected to a substrate processing apparatus that holds apparatus information for processing a substrate, wherein reference apparatus information that serves as a reference for the apparatus information is included in the apparatus information.
  • a setting unit for setting, a difference unit obtained by extracting a difference between the acquisition device information acquired from the substrate processing apparatus based on the reference device information set in the setting unit and the reference device information, and the reference The contents of the device information including device information are respectively displayed, an operation display unit for instructing correction of the difference portion, and a correction instruction for the difference portion received from the operation display unit, based on the correction instruction, the acquisition
  • the acquisition includes a control unit that corrects the apparatus information to create correction apparatus information, and controls the correction apparatus information to be transmitted to the substrate processing apparatus.
  • a substrate processing system comprising a substrate processing apparatus that holds apparatus information for processing a substrate, and a management device, wherein the management device includes the device of the device information.
  • a setting unit configured to set reference device information serving as a reference of information; and a difference between the acquisition device information acquired from the substrate processing apparatus based on the reference device information set in the setting unit and the reference device information.
  • the difference between the acquired acquisition apparatus information for acquiring the apparatus information for processing the substrate from the substrate processing apparatus and the reference apparatus information serving as a reference for the apparatus information is extracted.
  • a display step for displaying each of the extraction step, the difference portion, and the contents of the device information including the reference device information; and a correction instruction for receiving a correction instruction for a difference portion between the reference device information of the acquisition device information An accepting step, a device information correcting step of creating correction device information by correcting the acquisition device information based on the correction instruction, and transmitting the correction device information to the substrate processing apparatus, and a device information updating method comprising a bag Provided.
  • the difference between the acquired acquisition apparatus information for acquiring the apparatus information for processing the substrate from the substrate processing apparatus and the reference apparatus information serving as a reference for the apparatus information is extracted.
  • a display process for displaying the extraction process, the difference part, and the content of the device information including the reference device information, and a correction instruction for receiving a correction instruction for a difference part between the reference device information of the acquisition device information An accepting process, a device information correcting process for correcting the acquired device information based on the correction instruction, a device information correcting process for transmitting the corrected device information to the substrate processing device, and a device information update program including a bag A stored recording medium is provided.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of a substrate processing system according to an embodiment of the present invention. It is a block diagram of the management apparatus which concerns on embodiment of this invention. It is a flowchart which shows the outline of the file comparison update process which concerns on embodiment of this invention. It is an example of the substrate processing apparatus file information which concerns on embodiment of this invention. It is an example of the comparison file management information which concerns on embodiment of this invention. It is an example of the file comparison result information which concerns on embodiment of this invention. It is a file comparison update process flowchart which concerns on embodiment of this invention. It is a flowchart of the edit file output in the flowchart of FIG. It is a file comparison update process flowchart concerning background art. It is an example of the file comparison result information which concerns on embodiment of this invention.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of a substrate processing system according to an embodiment of the present invention.
  • the substrate processing system includes a plurality of substrate processing apparatuses 20 (apparatus A, apparatus B, apparatus C,... Apparatus n), a management apparatus 10, and an operation display unit that constitutes a part of the management apparatus 10.
  • a network 31 that connects the plurality of substrate processing apparatuses 20 and the management apparatus 10
  • a network 32 that connects the management apparatus 10 and the GUI 13.
  • the management apparatus 10 and the GUI 13 may be configured separately.
  • Each substrate processing apparatus 20 is installed in a clean room, and the GUI 13 is installed in an office having an atmosphere with a lower cleanliness than that of the clean room.
  • the management apparatus 10 is installed outside the clean room and outside the office.
  • the management device 10 may be installed in an office. In this case, the management apparatus 10 and the GUI 13 do not need to be connected via a network, and may be directly connected.
  • FIG. 3 is a flowchart showing an outline of the file comparison update process according to the present embodiment.
  • the file of this embodiment is apparatus information of the substrate processing apparatus 20 for processing a substrate.
  • a setting unit for setting a master file is provided on the operation screen of the operation display unit 13, and a file serving as a comparison source (referred to as a master file) is set via this setting unit.
  • the management apparatus 10 performs comparison based on the master file.
  • the specific file of the substrate processing apparatus 20A is set as a master file by the operator.
  • the master file is a file in which reference device information serving as a reference for device information is stored.
  • the management apparatus 10 acquires a master file (for example, the file name is “recipe 1”) designated by the operator from the substrate processing apparatus 20A (apparatus A) via the network 31 (step 1). S11).
  • the management apparatus 10 acquires a file having the same name as the master file (referred to as the same name file) from the substrate processing apparatus 20B (apparatus B) (step S12).
  • the management apparatus 10 sequentially acquires the same name file from each apparatus, and finally acquires from the substrate processing apparatus 20n (apparatus n) (step S13).
  • the management apparatus 10 acquires this same name file from all the substrate processing apparatuses 20 under the management apparatus 10.
  • not only files with the same name but also files with different names can be compared together. For example, it is configured to be able to perform batch comparison of similar file names.
  • the management apparatus 10 compares the contents of the same name file acquired from the apparatuses B to n with the contents of the master file in parallel (step S14). If there is no difference in the comparison result, that is, if there is no difference in step S15, this process is terminated. If there is a difference in the comparison result, that is, if there is a difference in step S15, the management apparatus 10 determines whether or not the operator has issued an editing instruction from the operation display unit 13 of the management apparatus 10 (step S16). . If there is no editing instruction in step S16, the process is terminated. Regarding the presence / absence of an editing instruction from the operator, for example, a dialog box or the like may be displayed on the screen to inquire about the presence / absence of the editing instruction, or the presence / absence of the editing instruction may be managed by time.
  • the management apparatus 10 edits, that is, corrects, the same name file acquired from the apparatuses B to n (step S17), and transmits the corrected file via the network 31.
  • the file with the same name before the correction is updated by replacing the file with the same name before the correction with the corrected file received from the management device 10.
  • management apparatus 10 After transmitting the corrected file to apparatuses B to n, management apparatus 10 returns to step S11 and proceeds to a file comparison / update process based on the next master file (for example, the file name is “recipe 2”).
  • the management apparatus 10 since the management apparatus 10 has a file editing function, all operations by the operator are performed on the operation display unit 13 of the management apparatus 10, that is, performed in the office. Therefore, even if there are three or more devices to be compared, for example, there is no need to reciprocate between an office and a clean room many times. Therefore, during the file comparison / update process, wasted time that is not directly related, such as travel time between the office and the clean room, is suppressed. In addition, since the editing process in the clean room is unnecessary, it can be expected that the clean room atmosphere is maintained in a clean environment.
  • the substrate processing apparatus 20 performs a substrate process, for example, a film forming process for forming a film on the surface of the substrate, and various apparatus information regarding the substrate processing apparatus together with an apparatus information ID that is an identifier for identifying each apparatus information. These are stored as files in the storage unit of the substrate processing apparatus 20.
  • This apparatus information includes, for example, a substrate processing recipe including a procedure for performing substrate processing.
  • the recipe includes an alarm recipe and an abort recipe that are executed when an error occurs during execution of the substrate processing recipe.
  • the files include not only recipes but also control parameter files such as pressure parameters, temperature parameters, and gas flow rate parameters used in the substrate processing recipe. These various parameters such as control parameters are also included in the device information.
  • FIG. 2 is a configuration diagram of the management apparatus according to the embodiment of the present invention.
  • the management device 10 includes a control unit 11, a storage unit 12, an operation display unit 13, and a communication unit 14.
  • the operation display unit 13 includes an operation unit composed of a keyboard and a mouse for receiving various instructions and data input from the operator, and a display unit composed of an LCD for displaying various data and the like. And the display unit are configured separately.
  • the operation display unit 13 is connected to the management apparatus 10 via the network 32 in the present embodiment.
  • the communication unit 14 is connected to the network 31 and performs communication with each substrate processing apparatus 20 connected to the network 31.
  • the bag storage unit 12 stores device file information 12a, acquired file information 12b, comparison file management information 12c, comparison result information 12d, and corrected file information 12e.
  • FIG. 4 shows a configuration example of the device file information 12a of this embodiment.
  • the device file information 12a the file names of files held by all the substrate processing apparatuses 20 connected to the management apparatus 10 under the management apparatus 10 are stored in association with the apparatus names of the substrate processing apparatuses 20. Has been.
  • the device file information 12a can be displayed on the operation display unit 13.
  • the device file information 12a includes, for example, the substrate processing apparatus 20A whose apparatus name is “apparatus A”, the file names “File01”, “File02”, “File03”,. Contains information that the file is owned by Note that an apparatus identifier that identifies the substrate processing apparatus 20 may be used instead of the apparatus name. Further, a file identifier for specifying a file may be used instead of the file name.
  • the acquired file information 12b is content information of a file having the same name as the master file acquired from each substrate processing apparatus 20 in the above-described file comparison / update process, and includes the content information of the master file.
  • the acquired file information 12b is stored with the device name, the file name, and the file content associated with each other.
  • the acquired file information 12b can be displayed on the operation display unit 13.
  • the comparison file management information 12c indicates which substrate processing device 20 has been corrected (edited) in the above-described file comparison update processing, that is, the substrate processing device 20 that has performed the file correction.
  • the substrate processing apparatus 20 that has not performed file correction is identified and shown.
  • the comparison file management information 12c can be displayed on the operation display unit 13.
  • FIG. 5 shows a configuration example of the comparison file management information 12c of this embodiment.
  • whether or not the substrate processing apparatus 20 has a master file, the file name of the master file, and an edit flag (correction flag) indicating whether or not the file has been corrected are included in the master file. (In the example of FIG.
  • File02 is stored in association with the names of all the substrate processing apparatuses 20 under the management apparatus 10 that have the same file name.
  • “File02” is designated as the master file
  • the apparatus A is the substrate processing apparatus 20 that holds the master file
  • none of the files with the same name that are held by the apparatuses B to n are modified. (Edit flag OFF).
  • FIG. 6 shows a configuration example of the comparison result information 12d of this embodiment.
  • the comparison result information 12d indicates a result of comparing the master file and the file having the same name in the file comparison update process described above.
  • the comparison result information 12d can be displayed on the operation display unit 13 as a file comparison screen (device information comparison screen).
  • the comparison result information 12d includes the name of the substrate processing apparatus 20 (master apparatus) that holds the master file, the file name of the master file, and the name of the substrate processing apparatus 20 that has the same name file as the master file.
  • the parameter values in the master file and the file with the same name are shown so as to be comparable between the substrate processing apparatuses 20.
  • FIG. 1 shows a configuration example of the comparison result information 12d of this embodiment.
  • the comparison result information 12d indicates a result of comparing the master file and the file having the same name in the file comparison update process described above.
  • the comparison result information 12d can be displayed on the operation display unit 13 as a file comparison screen (device information comparison screen
  • the temperature setting value of the master file “recipe 1” of apparatus A is 300 ° C., and the pressure setting value is 10,000 Pa.
  • the temperature setting value of the file “recipe 1” with the same name of the device B is 295 ° C., and the pressure setting value is 10,000 Pa.
  • the temperature setting value of the file “recipe 1” having the same name of the device C is 300 ° C., and the pressure setting value is 9900 Pa.
  • the temperature setting value of the file “recipe 1” with the same name in the apparatus n is 295 ° C., and the pressure setting value is 10,000 Pa.
  • the temperature setting value of the same-name file “Recipe 1” of the devices B and n is different from the temperature setting value (300 ° C.) of the master file, and the pressure setting value of the same-name file “Recipe 1” of the device C is the master file. Since there is a difference from the pressure setting value (10000 Pa), the parameter items having a difference (“temperature setting value”, “pressure setting value”) and the parameters having the difference (setting temperature, setting pressure, etc.) are underlined, for example. By displaying or the like, it is indicated that there is a difference from the master file. As a method of clearly displaying the difference, not only the underlined portion is drawn on the parameter or parameter item having the difference as shown in FIG. For example, a portion having a difference may be displayed with a background color, or a parameter name or a parameter item name may be displayed with a color.
  • the corrected file information 12e is file information (correcting device information) as a result of file correction in the above-described file comparison / update process.
  • the corrected file information 12e can be displayed on the operation display unit 13.
  • the corrected file information 12e is a file in a state where the temperature setting value of the file “Recipe 1” having the same name in the apparatus B is corrected to 300 ° C. which is the temperature setting value of the master file in the example of FIG.
  • the file “Recipe 1” having the same name in the device B is updated to the same content as the master file. Note that it is preferable to improve the visibility of the corrected parameter, for example, by making the display color different from other parameters.
  • the control unit 11 controls each component of the management device 10 described above.
  • the control unit 11 includes a CPU (Central Processing Unit) and a memory that stores an operation program of the control unit 11. Operates according to this operation program.
  • the control unit 11 includes a device file acquisition function 11a, a device file comparison function 11b, a device file correction function 11c, and a correction file output function 11d.
  • the heel control unit 11 registers and stores a file held by a specific substrate processing apparatus 20 in the storage unit 12 as a master file in accordance with an instruction from the operator received by the operation display unit 13. Let Then, the same name file is acquired from the substrate processing apparatus 20 under the management apparatus 10 having the same name file as the master file (apparatus file acquisition function 11a). At this time, the device information regarding the master file is clearly displayed. For example, an item for displaying device information related to a master file may be displayed with a background color.
  • control unit 11 refers to the device file information 12a stored in the storage unit 12, and among the substrate processing devices 20 under the management device 10, the control unit 11 performs processing for the substrate processing device 20 having the same name file as the master file. Then, an instruction (same name file transmission instruction) is performed via the communication unit 14 so as to transmit the same name file to the management apparatus 10.
  • an instruction (same name file transmission instruction) is performed via the communication unit 14 so as to transmit the same name file to the management apparatus 10.
  • each substrate processing apparatus 20 transmits the same name file held by the management apparatus 10 together with the apparatus name of the substrate processing apparatus 20 to the management apparatus 10.
  • the control unit 11 stores the same name file received from each substrate processing apparatus 20 in the storage unit 12 in association with the apparatus name of the substrate processing apparatus 20 as acquired file information 12b.
  • the control unit 11 acquires the same name file from each substrate processing apparatus 20 under the management device 10, and then acquires the contents of the acquired same name file and the master file stored in the storage unit 12. And the difference between the acquired file having the same name and the master file is extracted and clearly displayed (device file comparison function 11b). For example, as shown in the file comparison screen of FIG. 6 described above, different parameters and parameter items are displayed on the operation display unit 13 so as to stand out.
  • control unit 11 shifts to an edit mode in which the content of the acquired file with the same name can be edited, that is, can be corrected, in accordance with an instruction from the operator received by the operation display unit 13. And according to the instruction
  • the control unit 11 turns the editing flag in the comparison file management information 12c in FIG. 5 described above from OFF to ON.
  • the mouse constituting the operation display unit 13 is moved to the parameter position of the file with the same name displayed as the difference, A context menu is displayed by operating the mouse, and the editing mode is selected by selecting “edit” as an editing unit from the displayed context menu.
  • the user can leave the edit mode by displaying the context menu in the same manner and selecting “END EDIT” from the displayed context menu.
  • the parameter of the same name file displayed as the difference from the master file is corrected to be the same as the content of the master file.
  • the temperature setting value “295” of the file with the same name (recipe 1) of the device B is corrected to “300”, which is the same as the master file.
  • the operator may input a numerical value “300” from the operation display unit 13, but an “same modification” button for instructing the same correction as the master file is provided on the operation display unit 13. By pressing the “Modify” button, the same correction as the master file may be performed. In this way, erroneous input by the operator can be prevented.
  • the parameter of the file with the same name displayed as the difference from the master file may be modified to a value different from the contents of the master file. In this way, it becomes easy to finely adjust parameters for each substrate processing apparatus 20.
  • the control unit 11 can be configured to automatically modify the acquired parameter of the same name file so as to be the same as the content of the master file without an instruction from the operator. In this way, it becomes easy to correct the parameters to be the same as the contents of the master file.
  • control unit 11 causes the substrate processing apparatus 20 to output the same name file corrected in the edit mode according to the instruction from the operator received by the operation display unit 13 (modified file output function 11d). ). At this time, the control unit 11 can confirm whether or not the same-name file has been corrected in the edit mode by using the comparison file management information 12c described above. Specifically, the management apparatus 10 transmits the same name file corrected in the edit mode to the substrate processing apparatus 20 that had the same name file before correction. The substrate processing apparatus 20 that has received the corrected file with the same name replaces and updates the file with the same name that has been corrected and has the same name as the file that has been corrected.
  • the management apparatus 10 transmits the corrected file with the same name to the substrate processing apparatus 20, the same name corrected only for the instructed substrate processing apparatus 20 based on the instruction from the operator received by the operation display unit 13.
  • Individual transmission for transmitting the file can be performed, or batch transmission for transmitting the modified file with the same name can be performed to all the substrate processing apparatuses 20 to which the plurality of modified files with the same name belong.
  • the operator instructs the substrate processing apparatus 20 to which the correction file to be individually transmitted belongs on the operation display unit 13.
  • a context menu is displayed at the position of the name of the substrate processing apparatus 20 as the transmission destination, for example, the position of the apparatus B, and “Send” is selected from the displayed context menu. By clicking and selecting, the modified file is transmitted to the device B.
  • the operator instructs the operation display unit 13 to perform batch transmission.
  • a context menu is displayed, and by clicking “Send all” from the displayed context menu, all the modified files are displayed in the respective modified files.
  • the correction file “recipe 1” is sequentially transmitted to the apparatuses B to n.
  • FIG. 7 is a flowchart of file comparison update processing according to the present embodiment.
  • FIG. 8 is a flowchart of editing file output in the flowchart of FIG.
  • the operation of the management apparatus 10 is controlled by the control unit 11.
  • the management apparatus 10 registers and stores a specific file held by a specific substrate processing apparatus 20 in the storage unit 12 as a master file in accordance with an instruction from the operator received by the operation display unit 13 (see FIG. 7 step S31). Based on the apparatus file information 12a stored in the storage unit 12, the apparatus name of the substrate processing apparatus 20 under the management apparatus 10 and having the same name file as the master file is extracted. And it registers and memorize
  • the management apparatus 10 acquires the same name file from the substrate processing apparatus 20 having the registered apparatus name, that is, the substrate processing apparatus 20 having the same name file, and acquires the file in association with the apparatus name of each substrate processing apparatus 20.
  • the file information 12b is stored in the storage unit 12 (step S33).
  • the master file is a file “File02” held by the substrate processing apparatus 20A (apparatus A).
  • the management apparatus 10 compares the contents of the same name files of the apparatuses B to n acquired in step S33 with the contents of the master file of the apparatus A (step S34), and acquires the acquired files of the same name and the master file.
  • the parameter or parameter item having the difference is displayed on the operation display unit 13 so as to stand out (step S35).
  • the recipe file and the parameter file including the substrate processing recipe have a large number of items, all items cannot be actually displayed on one screen, and therefore, the screen is usually scrolled to refer to all items.
  • FIG. 10 shows an example of displaying only the different parts (difference parameters and parameter items) in step S35 in FIG.
  • a difference button is arranged at a predetermined position on the output screen.
  • the difference button is pressed, the screen shown in FIG. 10 is displayed.
  • it may be configured in advance so as to display only the difference portion in step S34. In this way, if only the difference portion is displayed, the item to be corrected becomes clear, and a parameter or parameter item having a difference can be edited.
  • FIG. 11B shows an example of displaying the result of eliminating devices that do not require comparison in step S35 in FIG.
  • a context menu is displayed at the position of the name of the substrate processing apparatus 20 (apparatus C) to be hidden, for example, the position of the apparatus C.
  • “Hide” as a non-display part
  • the selected substrate processing apparatus 20 (apparatus C) is hidden.
  • the selected device C is not displayed, and the device names after the device D are displayed with the positions thereof aligned to the left. Accordingly, by configuring the apparatus C that does not require comparison to be hidden, the substrate processing apparatus 20 to be compared is clarified, and a parameter or parameter item that is different can be edited.
  • FIG. 12B shows an example of displaying the result of rearranging with a specific parameter (or parameter item) in step S35 in FIG.
  • a context menu is displayed at the position of the selected item “Setting Value”, and “Sort” as the sorting unit is displayed from the displayed context menu.
  • the substrate processing apparatus 20 (apparatus D) having a temperature set value close to 300 ° C. of the substrate processing apparatus 20 (apparatus B) having the master file is displayed in order.
  • the parameters are displayed in order from the substrate processing apparatus 20 having a parameter file close to the master file.
  • FIG. 13B is an example of displaying the result of rearranging by changing the master file in step S35 in FIG.
  • a context menu is displayed in the column of the substrate processing apparatus 20 (apparatus B) that is the target of switching the master file, and a change unit is selected from the displayed context menu. Click to select “Master”. Thereby, the master file is switched. In this case, the file comparison is performed again based on the new master file.
  • the process returns to the file comparison step in step S34, and after file comparison is performed, the device B selected as the master file is moved to the leftmost position, and the file comparison is performed.
  • the result is displayed (step S35). After switching the master file to the device B, each parameter acquired from the device B becomes a reference value. Then, as shown in FIG. 13B, parameter comparison is performed again for each parameter set in each recipe file with respect to the changed master file, and the comparison result is displayed.
  • the master file can be arbitrarily set, for example, when parameter comparison is performed collectively at the time of setup of the substrate processing apparatus 20, a substrate processing apparatus that has been delivered in advance.
  • the setup work can be performed efficiently.
  • the substrate processing apparatus 20 is modified, for example, when parameters are changed in accordance with a change in a film type or a process to be processed by the substrate processing apparatus 20.
  • the parameters to be changed can be accurately displayed by setting the parameters in use in the substrate processing apparatus 20 that has been delivered in advance in the master file.
  • the recipe file and parameter file including the substrate processing recipe have a large number of items, so it is not easy to grasp the items to be corrected, but the parameters and parameter items with differences are visually recognized on the operation screen. As a result, incorrect parameter settings can be minimized. Furthermore, by setting the parameters in use in the substrate processing apparatus 20 with a proven record in the master file, it is possible to expect a reduction in the setup time for the modification work.
  • the management apparatus 10 determines whether or not it is in an edit mode state in which the content of the acquired file with the same name can be modified (step S36). Whether or not to enter the edit mode is determined by an instruction from the operator received by the operation display unit 13 as described above. If it is determined in step S36 that the editing mode is not set ("NO” in step S36), this process ends. If it is determined in step S36 that the editing mode state is set ("YES" in step S36), the acquired file with the same name is edited according to the instruction from the operator received by the operation display unit 13, that is, the acquired same name. The contents of the file are corrected (step S37). When the content of the acquired file with the same name is corrected, the control unit 11 turns the edit flag in the comparison file management information 12c in FIG. 5 from OFF to ON.
  • the management apparatus 10 outputs the same-name file corrected in the edit mode to the substrate processing apparatus 20 in accordance with the instruction from the operator received by the operation display unit 13 (step S38), and ends this process.
  • the management apparatus 10 acquires information related to the output method in accordance with an instruction from the operator received by the operation display unit 13. That is, information on whether to perform batch output or individual output to the substrate processing apparatus 20 is acquired (step S41).
  • step S41 information on whether to perform batch output or individual output to the substrate processing apparatus 20 is acquired.
  • batch output is instructed by selecting “Send All” from the displayed context menu, and “Send” is selected from the displayed context menu. By doing so, individual output is instructed.
  • the management apparatus 10 acquires from the comparison file management information 12c in FIG. 5 the editing status of the same name file of each substrate processing apparatus 20, that is, whether or not the file of each substrate processing apparatus 20 has been modified. (Step S42).
  • the management apparatus 10 determines whether or not the same name file of each substrate processing apparatus 20 acquired in step S42 has been corrected (step S43). If the file with the same name has been modified (“edited” in step S43), the file is output to the substrate processing apparatus 20 to which the file with the same name belongs (step S44), and the process proceeds to step S45. If the file with the same name has not been corrected (“unedited” in step S43), the process proceeds to step S45 without outputting to the substrate processing apparatus 20 to which the file with the same name belongs.
  • step S45 the management device 10 determines whether the output method acquired in step S41 is batch output or individual output (step S45). If the output method is individual output (“individual” in step S45), this process ends.
  • step S45 it is determined whether or not there is a remaining file that has been corrected but not output in the comparison file management information 12c of FIG. It is determined whether or not there remains a substrate processing apparatus 20 having the same name file that has been output but not output (step S46). If there is no remaining file that has been corrected (“no remaining” in step S46), that is, if there is no remaining substrate processing apparatus 20 having the same name file that has been corrected and has not been output, this processing ends. If there is a modified remaining file (“remaining” in step S46), that is, if there is a substrate processing apparatus 20 having a file of the same name that has been modified but not output, the process returns to step S44 to process the substrate processing. The same name file is output to the device 20.
  • the corrected file of the device B is transmitted to the device B, and the next First, the modified file of device C is transmitted to device C, then the modified file of device D is transmitted to device D, and finally the modified file of device n is transmitted to device n.
  • the corrected file of each substrate processing apparatus 20 is transmitted to the substrate processing apparatus 20 to which each corrected file belongs.
  • the file comparison screen can be displayed by rearranging with specific parameters (or parameter items).
  • the visibility is improved by changing the display color of a part different from the master file of the same name file, the operator can easily recognize a part different from the master file. This makes it easy to determine whether or not a specific parameter needs to be corrected based on the parameter value, and improves operability in parameter correction. Furthermore, by rearranging the designated parameter items, it is possible to grasp the number of devices different from the setting contents with the device holding the master file.
  • I Also, as shown in FIG.
  • the visibility is improved by changing the display color of a part different from the master file of the same name file. Can be easily recognized by the operator.
  • the master file after performing a batch comparison of files, by switching the master file, it is possible to perform a batch comparison of files from different viewpoints. For example, if some items of the device file specified as the master file are different from the items of the comparison target device, the setting of the master file may not be appropriate. Therefore, by switching the master file, the substrate processing apparatus to be compared with the item becomes clear. (J) Further, according to the present embodiment, it is possible to contribute to the early start-up (setup) associated with the shortening of the apparatus parameter adjustment time.
  • the substrate processing recipe file is used as the master file.
  • a file other than the substrate processing recipe for example, a parameter file including parameters may be used.
  • the operation unit and the display unit of the management apparatus are separate operation display units.
  • the operation unit and the display unit may be integrally configured using a touch panel.
  • the master file is acquired from the substrate processing apparatus under the management apparatus.
  • the master file may be acquired from other than the substrate processing apparatus.
  • a master file serving as a reference for substrate processing may be created by a management device or a personal computer and stored in a storage unit of the management device.
  • the management device is not necessarily installed outside the office or outside the clean room, and may be installed inside the office, for example.
  • the management device does not need to be integrated with the storage unit, the control unit, the operation unit, and the display unit, and may be installed separately.
  • the file comparison screen or the like is displayed on the management apparatus.
  • the file comparison screen may be displayed on the substrate processing apparatus, and the operator may make various instructions from the operation display unit of the substrate processing apparatus.
  • the control unit, operation display unit, and storage unit of the management device described in the above embodiment may not be dedicated to the management device, and may be realized by using a general computer system such as a personal computer (personal computer), for example. be able to.
  • a general computer system such as a personal computer (personal computer), for example. be able to.
  • the control part which performs the above-mentioned process can be comprised.
  • a control unit for executing the file comparison update processing program described in the above embodiment can be realized in the substrate processing apparatus itself.
  • means for supplying a program (file comparison update processing program) for executing the above-described processing can be arbitrarily selected.
  • a program file comparison update processing program
  • it can be supplied via a communication line, a communication network, a communication system, or the like.
  • the program may be posted on a bulletin board of a communication network and supplied via the network.
  • the above-described processing can be executed by starting the program provided in this way and executing it in the same manner as other application programs under the control of the OS (Operating System) of the management apparatus.
  • the present invention can be applied not only to a semiconductor manufacturing apparatus but also to an apparatus for processing a glass substrate such as an LCD manufacturing apparatus and other substrate processing apparatuses.
  • Substrate processing includes CVD, PVD, Epi, and other film formation processes for forming oxide films, nitride films, metal-containing films, etc., as well as annealing, oxidation, diffusion, etching, exposure, and lithography.
  • Application processing, molding processing, development processing, dicing processing, wire bonding processing, inspection processing, and the like may be used.
  • a management apparatus connected to a substrate processing apparatus that holds apparatus information for processing a substrate, and stores reference apparatus information serving as a reference for the apparatus information
  • a storage unit an operation display unit that receives an instruction from a cocoon operator and displays information, and acquires the apparatus information from the substrate processing apparatus, and acquires the acquired acquisition apparatus information and the reference apparatus information stored in the storage unit
  • the content of the acquisition device information and the content of the reference device information are displayed on the operation display unit as a device information comparison screen, and the correction instruction for the difference between the acquisition device information and the reference device information is displayed.
  • a control unit that performs a control operation for generating correction device information by correcting the acquisition device information and transmitting the correction device information to the substrate processing apparatus; Comprising the management device is provided.
  • the management apparatus Preferably, the management apparatus according to Supplementary Note 1, wherein the device information is recipe information including substrate processing parameters in the substrate processing apparatus.
  • the reference device information is stored in the storage unit for each type of the device information, and the control unit is configured for each type of the device information. Further, a management device that performs the control operation is provided.
  • the management device according to Supplementary notes 1 to 3, wherein the control unit controls the acquisition device information so that the difference is made the same as the content of the reference device information.
  • a management device is provided.
  • the operation display unit is provided with a management device that receives the correction instruction on the device information comparison screen.
  • FIG. 6 Another aspect of the present invention is a substrate processing system comprising a substrate processing apparatus that holds apparatus information for processing a substrate, and a management apparatus, wherein the management apparatus is a reference for the apparatus information.
  • a storage unit that stores reference device information
  • an operation display unit that receives instructions from the operator and displays information, and acquires the device information from the substrate processing apparatus, and acquires the acquired acquisition device information and the storage
  • the content of the acquisition device information and the content of the reference device information are displayed on the operation display unit as a device information comparison screen
  • the reference device information of the acquisition device information Is received from the operation display unit
  • the correction device information is generated by correcting the acquisition device information, and the correction device information is transmitted to the substrate processing apparatus.
  • a substrate processing system including a control unit that performs a control operation to be controlled and a ridge.
  • the management device acquires the device information from the substrate processing device based on the name of the reference device information stored in the storage unit, and There is provided a substrate processing system for displaying a substrate processing parameter included in reference apparatus information and a substrate processing parameter included in the apparatus information on the apparatus information comparison screen.
  • Still another aspect of the present invention is that an acquisition step of acquiring apparatus information for processing a substrate from a substrate processing apparatus, the acquired acquisition apparatus information, and reference apparatus information serving as a reference for the apparatus information
  • a correction instruction receiving step for receiving a correction instruction for a difference between the reference device information of the acquisition device information, and a correction device information for correcting the acquisition device information based on the correction instruction.
  • An apparatus information correction step of creating and transmitting the correction apparatus information to the substrate processing apparatus, and an apparatus information update method including a bag are provided.
  • Appendix 9 Preferably, there is provided an apparatus information update method according to appendix 8, wherein an apparatus information update method for acquiring the apparatus information from the substrate processing apparatus based on the name of the reference apparatus information in the acquisition step is provided.
  • Additional remark 10 Preferably, it is the apparatus information update method of Additional remark 8 or Additional remark 9, Comprising:
  • the apparatus information which displays the content of the said acquisition apparatus information and the content of the said reference
  • An update method is provided.
  • a device information update method for displaying the corrected information on the device information comparison screen on the device information comparison screen is provided.
  • the difference information or the modified portion in which the difference is corrected is clearly indicated on the device information comparison screen so that it can be easily identified from others.
  • a device information update method is provided (displays in different colors, blinks, or underlines).
  • ⁇ device information update that clearly identifies a portion corresponding to the difference portion of the reference device information on the device information comparison screen so that it can be easily identified from others. Is provided.
  • the further another aspect of this invention is the acquisition process which acquires the apparatus information for processing a substrate from a substrate processing apparatus, the reference
  • a comparison step for comparing the above and a clarification step for clearly identifying a difference between the reference device information of the acquisition device information and a device information display method including a heel.
  • a device information display method according to supplementary note 16 or supplementary note 17, wherein in the explicit step, the device information display method is provided to clearly identify the difference portion of the acquisition device information from others. Is done.
  • Still another aspect of the present invention is that an acquisition process for acquiring apparatus information for processing a substrate from a substrate processing apparatus, an acquired acquisition apparatus information, and a reference apparatus information serving as a reference for the apparatus information
  • a correction instruction receiving process for receiving a correction instruction for a difference portion between the reference device information of the acquisition device information, and a correction device information for correcting the acquisition device information based on the correction instruction.
  • An apparatus information correction process for creating and transmitting the correction apparatus information to the substrate processing apparatus and an apparatus information update program including a bag are provided.
  • Still another aspect of the present invention is that an acquisition process for acquiring apparatus information for processing a substrate from a substrate processing apparatus, an acquired acquisition apparatus information, and a reference apparatus information serving as a reference for the apparatus information
  • a correction instruction receiving process for receiving a correction instruction for a difference portion between the reference device information of the acquisition device information, and a correction device information for correcting the acquisition device information based on the correction instruction.
  • a recording medium in which an apparatus information correction process for creating and transmitting the correction apparatus information to the substrate processing apparatus and an apparatus information update program including a bag are stored.
  • Still another aspect of the present invention is a management apparatus connected to a substrate processing apparatus that holds apparatus information for processing a substrate, and serves as a reference for the apparatus information in the apparatus information.
  • a setting unit that sets reference device information; and, based on the reference device information set in the setting unit, acquires the device information from the substrate processing apparatus, and acquires the acquired acquisition device information and the reference device information.
  • An operation display unit that compares and displays the extracted difference part and the contents of the device information including the reference device information, and a correction instruction for the difference part is received from the operation display unit, based on the correction instruction.
  • a management device is provided that includes a control unit that performs a control operation to create correction device information in which the acquisition device information is corrected and to transmit the correction device information to the substrate processing apparatus. That.
  • the management apparatus according to Supplementary note 21, further comprising a registration unit for registering the substrate processing apparatus that holds the apparatus information to be acquired based on the reference apparatus information, and the registration
  • the management unit includes a name of the substrate processing apparatus, master file designation information, the comparison file name, and an editing flag indicating whether or not editing is performed.
  • the management device according to Supplementary note 21, wherein the operation display unit further includes a device information comparison screen for displaying the content of the acquisition device information and the content of the reference device information, respectively.
  • the device information comparison screen is provided with a management device having a button for displaying only the difference between the acquisition device information and the reference device information.
  • the management device according to Supplementary Note 21, wherein the operation display unit further includes a device information comparison screen for displaying the content of the acquisition device information and the content of the reference device information.
  • the device information comparison screen is provided with a management device having an editing unit that switches to an edit mode for editing the device information that is different from the reference device information.
  • the management device Preferably, the management device according to Supplementary note 21, wherein the operation display unit further includes a device information comparison screen for displaying the content of the acquisition device information and the content of the reference device information, respectively.
  • the apparatus information comparison screen includes a change unit that changes the substrate processing apparatus that holds the reference apparatus information, a non-display unit that hides the substrate processing apparatus that holds the apparatus information that does not need comparison, and the reference apparatus information
  • a management device is provided that includes a rearrangement unit that rearranges and displays a specific parameter as a reference.
  • the operation display unit holds the substrate processing that holds the reference device information.
  • Change the device based on the changed reference device information, compare the acquisition device information and the changed reference device information, each of the content of the acquisition device information and the content of the changed reference device information A management device for displaying is provided.
  • Still another aspect of the present invention is a substrate processing system including a substrate processing apparatus that holds apparatus information for processing a substrate and a management apparatus, wherein the management apparatus Among these, the setting unit for setting the reference device information serving as a reference for the device information, and the reference information on the reference device set in the setting unit, the device information is acquired from the substrate processing apparatus, and the acquired Device information and the reference device information are compared, an operation display unit that displays the extracted difference part, the content of the device information including the reference device information, respectively, and a correction instruction for the difference part is displayed in the operation display unit.
  • a substrate processing system including a control unit and a basket.
  • Yet another aspect of the present invention is a management apparatus connected to a substrate processing apparatus that holds apparatus information for processing a substrate, and is a reference for the apparatus information in the apparatus information.
  • a setting unit for setting reference device information, and a difference unit obtained by extracting a difference between the acquisition device information acquired from the substrate processing apparatus and the reference device information based on the reference device information set in the setting unit And the contents of the device information including the reference device information, an operation display unit for instructing correction of the difference portion, and a correction instruction for the difference portion received from the operation display unit, the correction instruction
  • a control unit that controls to correct the acquisition device information to create correction device information and transmit the correction device information to the substrate processing apparatus.
  • a still further aspect of the present invention is a substrate processing system including a substrate processing apparatus that holds apparatus information for processing a substrate and a management apparatus, wherein the management apparatus Among them, a setting unit that sets reference device information serving as a reference for the device information, and an acquisition device information acquired from the substrate processing apparatus based on the reference device information set in the setting unit, and the reference device information A difference part obtained by extracting a difference, and the contents of the device information including the reference device information are respectively displayed, an operation display unit for instructing the correction of the difference part, and a correction instruction for the difference part in the operation A control unit configured to correct the acquisition device information to generate correction device information based on the correction instruction and control the correction device information to be transmitted to the substrate processing apparatus when received from the display unit; , A substrate processing system is provided.
  • the difference between the acquired acquisition apparatus information for acquiring the apparatus information for processing the substrate from the substrate processing apparatus and the reference apparatus information serving as a reference for the apparatus information is calculated.
  • An extraction step for extracting, a display step for displaying the difference portion, and contents of the device information including the reference device information, and a correction instruction for a difference portion between the reference device information of the acquisition device information are received.
  • a method is provided.
  • the difference between acquired acquisition device information for acquiring device information for processing a substrate from a substrate processing device and reference device information serving as a reference for the device information is calculated.
  • An extraction process to be extracted, a display process for displaying the difference part, and contents of the device information including the reference apparatus information, and a correction instruction for a difference part between the reference apparatus information of the acquisition apparatus information are received.
  • a correction instruction reception process Based on the correction instruction, a correction instruction reception process, a correction apparatus information that corrects the acquisition apparatus information is created, and the correction apparatus information is transmitted to the substrate processing apparatus.
  • a recording medium storing the program is provided.
  • the operation display unit includes a registration unit that registers the substrate processing apparatus having the apparatus information to be acquired based on the reference apparatus information, and the registration unit includes: The management apparatus according to appendix 28, which includes the name of the substrate processing apparatus, master file designation information, the comparison file name, and an editing flag indicating whether or not editing is performed.
  • the operation display unit includes a device information comparison screen for displaying the content of the acquisition device information and the content of the reference device information, and the device information comparison screen is the acquisition device.
  • the management device according to attachment 28 having a button for displaying only the difference between the information and the reference device information is provided.
  • the said operation display part is provided with the apparatus information comparison screen which each displays the content of the said acquisition apparatus information, and the content of the said reference
  • a management device according to supplementary note 28.
  • the operation display unit changes the substrate processing apparatus that holds the reference apparatus information, and based on the changed reference apparatus information.
  • a management device is provided for comparing the acquisition device information with the changed reference device information and displaying the contents of the acquisition device information and the changed reference device information, respectively.
  • the management apparatus according to Supplementary Note 28 is provided, wherein the apparatus information is recipe information including parameters for substrate processing in the substrate processing apparatus.
  • the present invention is preferably used in a processing system that can extract a difference in apparatus information between processing apparatuses and update apparatus information.
  • DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Management apparatus, 11 ... Control part, 11a ... Device file acquisition function, 11b ... Device file comparison function, 11c ... Device file correction function, 11d ... Correction file output function, 12 ... Storage part, 12a ... Device file information, 12b ... acquired file information, 12c ... comparison file management information, 12d ... comparison result information, 12e ... modified file information, 13 ... operation display unit, 14 ... communication unit, 20 ... substrate processing apparatus, 31 ... network, 32 ... network.

Abstract

基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置を、前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容をそれぞれ表示する操作表示部と、前記取得装置情報と前記基準装置情報との差異部の修正指示を前記操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、を備えるように構成する。

Description

管理装置、基板処理システム、装置情報更新方法、及び記録媒体
  本発明は、ウェハ等の基板を処理する基板処理装置が保有する成膜レシピ等のファイルに格納されている装置情報を管理する管理装置、該管理装置と基板処理装置を備える基板処理システム、上記基板処理装置が保有する装置情報の更新方法、記録媒体に関する。上記基板処理装置は、例えば、半導体集積回路（以下、ＩＣという。）が作り込まれる半導体基板（例えば、半導体ウェハ）に成膜等の処理を行うものである。
  大規模な半導体製造工場（以下、工場）では、複数の基板処理装置から構成される基板処理装置群を集中管理するための管理装置が導入され、管理装置において、該管理装置配下の各基板処理装置の生産状況の監視や、生産履歴や障害履歴の蓄積及び参照等が行えるようになっている。管理装置と各基板処理装置は、高速通信が可能なＬＡＮなどのネットワークで接続される。そして、各基板処理装置は、基板処理するための基板処理レシピをそれぞれ保有しており、自己の保有する基板処理レシピに基づき基板処理を行う。
  ところで、同一内容の基板処理を複数の基板処理装置で並行して行うため、複数の基板処理装置の中には、同一内容の基板処理を行う同一基板処理装置、例えば同一成膜処理を行う同一成膜処理装置が複数含まれる。このような同一基板処理装置の基板処理レシピは、もともと同一内容であるが、基板処理を繰り返すうちに、ある基板処理装置において基板処理レシピを改善、例えば基板処理レシピのパラメータ設定値（例えば基板処理室の温度設定値）を変更することがある。そして、その結果が良好であった場合は、他の同一基板処理装置へ反映させることになる。
  このような場合、改善した基板処理レシピファイルと、他の基板処理装置の保有する複数の基板処理レシピファイルとを比較して、差異部分のパラメータを抽出して出力し、該出力した差異部分のパラメータに基づき、他の基板処理装置の基板処理レシピファイルの修正を行う。
  背景技術のファイル比較更新処理を、図９を用いて説明する。図９は、背景技術に係るファイル比較更新処理フローチャートである。この例では、基板処理装置Ａが適正なファイルを保有しているものとする。そして、他の複数の基板処理装置（基板処理装置Ｂ等）が保有しているファイルが、基板処理装置Ａの適正なファイルと一致するかどうか、管理装置において比較し、差異がある場合は、基板処理装置Ｂ等のファイルを、基板処理装置Ａのファイルに合わせるように修正する。基板処理装置Ａと基板処理装置Ｂ等は、クリーンルーム内に設置されており、事務所内に設置されている管理装置にＬＡＮ等のネットワークにより接続されている。
  まず、管理装置において、基板処理装置Ａのファイルを取得し（図９のステップＳ６１）、基板処理装置Ｂのファイルを取得し（ステップＳ６２）、該取得した２つのファイルを比較する（ステップＳ６３）。比較した結果（ステップＳ６４）、２つのファイル間に差異がない場合は、処理を終了する。２つのファイル間に差異がある場合は、比較結果を出力（例えばＣＳＶ出力）する、あるいは操作者が差異部分のメモをとる（ステップＳ６５）。
  次に、操作者は、事務所からクリーンルーム内に移動し（ステップＳ６６）、基板処理装置Ｂにおいて、比較結果出力又はメモに基づき、ファイルを修正し更新する（ステップＳ６７）。次に、操作者は、クリーンルーム内から事務所に移動し（ステップＳ６８）、ファイル更新が正しく行われたか確認する。ファイル更新が正しく行われなかった場合は、再びクリーンルーム内に移動して、ファイルの修正を行う。ファイル更新が正しく行われた場合は、ステップＳ６２へ戻り、次の基板処理装置、例えば基板処理装置Ｃのファイルの比較と修正を行う。
  このように、背景技術においては、管理装置において２つのファイル間の比較は可能であるが、３つ以上のファイル間の同時比較はできなかった。このため、比較対象の基板処理装置が３台以上あると、ファイルの更新に多くの時間を費やすことになり、本来の基板処理が開始できず装置の稼働率低下を招いていた。
  本発明の目的は、基板処理装置間の装置情報の差異を抽出し装置情報更新を可能とする管理装置、基板処理システム、装置情報更新方法、及び記録媒体を提供することにある。
  本発明の一態様によれば、基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置であって、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容をそれぞれ表示し、前記差異部の修正指示をする操作表示部と、該差異部に対する修正指示を操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、 を備える管理装置が提供される。
  本発明の他の態様によれば  基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と、管理装置とを備える基板処理システムであって、  前記管理装置は、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容をそれぞれ表示し、前記差異部の修正指示をする操作表示部と、該差異部に対する修正指示を操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、  を備える基板処理システムが提供される。
  本発明の更に他の態様によれば、  基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得された取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報との差異を抽出する抽出工程と、前記差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示する表示工程と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受信する修正指示受付工程と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正工程と、  を備える装置情報更新方法が提供される。
  本発明の更に他の態様によれば、  基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得された取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報との差異を抽出する抽出処理と、前記差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示する表示処理と、前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受信する修正指示受付処理と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正処理と、  を含む装置情報更新プログラムが格納された記録媒体が提供される。
  上記の構成によれば、基板処理装置間の装置情報の差異を抽出し、及び抽出した装置情報の差異を操作画面に表示し、装置情報の更新を行うことができる。
本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成図である。 本発明の実施形態に係る管理装置の構成図である。 本発明の実施形態に係るファイル比較更新処理の概略を示すフローチャートである。 本発明の実施形態に係る基板処理装置ファイル情報の例である。 本発明の実施形態に係る比較ファイル管理情報の例である。 本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報の例である。 本発明の実施形態に係るファイル比較更新処理フローチャートである。 図７のフローチャートにおける編集ファイル出力のフローチャートである。 背景技術に係るファイル比較更新処理フローチャートである。 本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報の例である。 (ａ)本発明の実施形態に係る比較結果情報を説明するための図示例である。(ｂ)本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報説明するための図示例である。 (ａ)本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報を説明するための図示例である。(ｂ) 本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報を説明するための図示例である。 本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報を説明するための図示例である。(ｂ) 本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報を説明するための図示例である。
  本発明の実施形態について、図１ないし図８を用いて説明する。まず、基板処理システムの構成の概要を、図１を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成図である。  図１において、基板処理システムは、複数の基板処理装置２０（装置Ａ、装置Ｂ、装置Ｃ、・・・装置ｎ）と、管理装置１０と、管理装置１０の一部を構成する操作表示部であるＧＵＩ（Graphical User Interface）１３と、複数の基板処理装置２０と管理装置１０とを接続するネットワーク３１と、管理装置１０とＧＵＩ１３とを接続するネットワーク３２と、を備える。尚、図１に示すように管理装置１０とＧＵＩ１３とを個別の構成としてもよい。
  各基板処理装置２０は、クリーンルーム内に設置され、ＧＵＩ１３は、クリーンルームよりも清浄度の低い雰囲気の事務所内に設置されている。管理装置１０は、クリーンルーム外かつ事務所外に設置されている。なお、管理装置１０は、事務所内に設置してもよい。この場合、管理装置１０とＧＵＩ１３とをネットワークで接続する必要はなく、直接接続してもよい。
  次に、図３を用いて、本実施形態に係るファイル比較更新処理の概略を説明する。図３は、本実施形態に係るファイル比較更新処理の概略を示すフローチャートである。本実施形態のファイルは、基板を処理するための基板処理装置２０の装置情報である。  まず、ファイルの比較更新を行う場合、例えば、操作表示部１３の操作画面上にマスタファイルを設定するための設定部が設けられ、この設定部を介して比較元となるファイル（マスタファイルと称す）を操作者が決め、管理装置１０の操作表示部１３から指定する。管理装置１０は、そのマスタファイルに基づき比較を行う。図３の例では、基板処理装置２０Ａの特定ファイルが、操作者によりマスタファイルに設定されている。マスタファイルは、装置情報の基準となる基準装置情報が格納されたファイルである。
  図３において、まず、管理装置１０は、基板処理装置２０Ａ（装置Ａ）から、ネットワーク３１を介して、操作者から指定されたマスタファイル（例えばファイル名称が「レシピ１」）を取得する（ステップＳ１１）。次に、管理装置１０は、マスタファイルと同一名称のファイル(同名ファイルと称す)を、基板処理装置２０Ｂ（装置Ｂ）から取得する（ステップＳ１２）。こうして、管理装置１０は、同名ファイルを各装置から順次取得していき、最後に、基板処理装置２０ｎ（装置ｎ）から取得する（ステップＳ１３）。このようにして、管理装置１０は、この同名ファイルを、当該管理装置１０配下の全ての基板処理装置２０から取得する。ここで、同一名称のファイルだけでなく名称の異なるファイルでも一括して比較は可能である。例えば、類似したファイル名の一括比較も行えるように構成されている。
  次に、管理装置１０は、装置Ｂ～装置ｎから取得した同名ファイルの内容と、マスタファイルの内容とを並行して比較する（ステップＳ１４）。比較結果に差異がない場合、つまりステップＳ１５で違いなしの場合は、本処理を終了する。比較結果に差異がある場合、つまりステップＳ１５で違いありの場合は、操作者が、管理装置１０の操作表示部１３から編集指示を行ったか否かを、管理装置１０が判定する（ステップＳ１６）。ステップＳ１６で編集指示がなかった場合は、本処理を終了する。尚、操作者の編集指示の有無に関しては、例えば、ダイアログボックス等を画面に表示し、編集指示の有無を問合せてもよく、また、編集指示の有無を時間で管理してもよい。
  ステップＳ１６で編集指示があった場合は、管理装置１０は、装置Ｂ～装置ｎから取得した同名ファイルの編集、つまり修正を行い（ステップＳ１７）、該修正したファイルを、ネットワーク３１を介して、装置Ｂ～装置ｎへ出力、つまり送信する（ステップＳ１８）。装置Ｂ～装置ｎでは、管理装置１０から受信した修正済ファイルにより、修正前の同名ファイルを置換することで、修正前の同名ファイルを更新する。  管理装置１０は、修正済ファイルを装置Ｂ～装置ｎへ送信した後、ステップＳ１１に戻り、次のマスタファイル（例えばファイル名称が「レシピ２」）に基づくファイル比較更新処理に移行する。  このように、本実施形態では、管理装置１０がファイル編集機能を有するので、操作者による全ての操作が管理装置１０の操作表示部１３で行われる、つまり事務所内で行われる。したがって、比較対象の装置が３台以上であっても、例えば、事務所とクリーンルームとの間を何度も往復する必要がない。よって、ファイル比較更新処理時、事務所とクリーンルームとの移動時間等の直接関係ない時間で浪費することが抑制される。また、クリーンルームでの編集処理が不要なので、クリーンルームの雰囲気を清浄な環境に保つことが期待できる。
  基板処理装置２０について説明する。  基板処理装置２０は、基板処理、例えば基板表面に成膜を行う成膜処理を行うもので、基板処理装置に関する各種の装置情報を、各装置情報を識別するための識別子である装置情報ＩＤとともに、当該基板処理装置２０の記憶部にファイルとして記憶している。この装置情報には、例えば、基板処理を行うための手順を含む基板処理レシピ等が含まれる。また、レシピには、前記基板処理レシピを実行中にエラーが発生した場合に実行されるアラームレシピやアボートレシピが含まれる。また、ファイルはレシピだけでなく、該基板処理レシピで使用される圧力パラメータや温度パラメータやガス流量パラメータ等の制御パラメータファイルが含まれる。これら、制御パラメータ等の各種パラメータも装置情報に含まれる。
  図２を用いて管理装置について説明する。図２は、本発明の実施形態に係る管理装置の構成図である。  図２に示すように、管理装置１０は、制御部１１と、記憶部１２と、操作表示部１３と、通信部１４とを備える。操作表示部１３は、操作者からの各種指示やデータ入力等を受け付けるキーボードやマウス等で構成される操作部と、各種データ等を表示するＬＣＤ等から構成される表示部とを備え、操作部と表示部とが別体に構成されている。操作表示部１３は、前述したように、本実施形態では、ネットワーク３２により管理装置１０と接続されている。通信部１４は、ネットワーク３１と接続され、該ネットワーク３１に接続された各基板処理装置２０との間で通信を行う。
  記憶部１２は、装置ファイル情報１２ａと、取得ファイル情報１２ｂと、比較ファイル管理情報１２ｃと、比較結果情報１２ｄと、修正済ファイル情報１２ｅとを記憶する。（装置ファイル情報１２ａ）  図４に、本実施形態の装置ファイル情報１２ａの構成例を示す。装置ファイル情報１２ａには、管理装置１０の配下、つまり管理装置１０に接続されている全ての基板処理装置２０が保有するファイルのファイル名が、基板処理装置２０の装置名と対応付けられて記憶されている。装置ファイル情報１２ａは、操作表示部１３に表示することができる。図４の例では、装置ファイル情報１２ａは、例えば、装置名が「装置Ａ」である基板処理装置２０Ａが、ファイル名が「Ｆｉｌｅ０１」、「Ｆｉｌｅ０２」、「Ｆｉｌｅ０３」、・・・「Ｆｉｌｅｎｎ」であるファイルを保有する旨の情報を含んでいる。  なお、装置名の代わりに、基板処理装置２０を特定する装置識別子を用いてもよい。また、ファイル名の代わりに、ファイルを特定するファイル識別子を用いてもよい。
（取得ファイル情報１２ｂ）  取得ファイル情報１２ｂは、上述したファイル比較更新処理において各基板処理装置２０から取得した、マスタファイルと同一名称の同名ファイルの内容情報であり、マスタファイルの内容情報を含む。取得ファイル情報１２ｂは、装置名とファイル名とファイル内容とが対応付けられて記憶される。取得ファイル情報１２ｂは、操作表示部１３に表示することができる。
（比較ファイル管理情報１２ｃ）  比較ファイル管理情報１２ｃは、上述したファイル比較更新処理において、どの基板処理装置２０のファイル修正（編集）を行ったかを示す、つまり、ファイル修正を行った基板処理装置２０とファイル修正を行っていない基板処理装置２０を識別して示す。比較ファイル管理情報１２ｃは、操作表示部１３に表示することができる。  図５に、本実施形態の比較ファイル管理情報１２ｃの構成例を示す。比較ファイル管理情報１２ｃには、マスタファイルを保有する基板処理装置２０であるか否かと、マスタファイルのファイル名と、ファイル修正を行ったか否かを示す編集フラグ（修正フラグ）とが、マスタファイル（図５の例では「Ｆｉｌｅ０２」）と同名のファイルを保有する、管理装置１０配下の全ての基板処理装置２０の装置名と対応付けられて記憶されている。  図５の例では、「Ｆｉｌｅ０２」がマスタファイルに指定され、装置Ａがマスタファイルを保有する基板処理装置２０であり、装置Ｂ～装置ｎの保有する同名ファイルがいずれもファイル修正されていない状態（編集フラグＯＦＦ）であることを示す。
（比較結果情報１２ｄ）  図６に、本実施形態の比較結果情報１２ｄの構成例を示す。比較結果情報１２ｄは、上述したファイル比較更新処理において、マスタファイルと同名ファイルとを比較した結果を示す。比較結果情報１２ｄは、ファイル比較画面（装置情報比較画面）として、操作表示部１３に表示することができる。比較結果情報１２ｄには、マスタファイルを保有する基板処理装置２０（マスタ装置）の装置名と、マスタファイルのファイル名と、マスタファイルと同名の同名ファイルを保有する基板処理装置２０の装置名と、マスタファイル及び同名ファイル中のパラメータ値とが、各基板処理装置２０間で対比可能なように示されている。  図６の例では、マスタ装置の装置名である装置Ａと、マスタファイルのファイル名である「レシピ１」と、同名ファイルを保有する基板処理装置２０の装置名である装置Ｂ～装置ｎと、「レシピ１」のファイル中のパラメータである温度設定値及び圧力設定値とが示されている。
  図６の例では、装置Ａのマスタファイル「レシピ１」の温度設定値は３００℃で、圧力設定値は１００００Ｐａである。装置Ｂの同名ファイル「レシピ１」の温度設定値は２９５℃で、圧力設定値は１００００Ｐａである。装置Ｃの同名ファイル「レシピ１」の温度設定値は３００℃で、圧力設定値は９９００Ｐａである。装置ｎの同名ファイル「レシピ１」の温度設定値は２９５℃で、圧力設定値は１００００Ｐａである。装置Ｂと装置ｎの同名ファイル「レシピ１」の温度設定値は、マスタファイルの温度設定値（３００℃）と差異があり、装置Ｃの同名ファイル「レシピ１」の圧力設定値は、マスタファイルの圧力設定値（１００００Ｐａ）と差異があるので、差異のあるパラメータ項目（「温度設定値」、「圧力設定値」）と、差異のあるパラメータ（設定温度、設定圧力等）とを、例えば下線表示等することにより、マスタファイルと差異があることを示すようにしている。尚、差異を明確に表示する方法は、図６に示すように差異のあるパラメータやパラメータ項目に下線部を引くだけでなく、点滅表示や色別表示してもよい。例えば、差異のある部分に背景色を付けて表示してもよいし、パラメータ名称やパラメータ項目名称に色を付けて表示してもよい。
（修正済ファイル情報１２ｅ）  修正済ファイル情報１２ｅは、上述したファイル比較更新処理において、ファイル修正した結果のファイル情報（修正装置情報）である。修正済ファイル情報１２ｅは、操作表示部１３に表示することができる。例えば、修正済ファイル情報１２ｅは、上述の図６の例で、装置Ｂの同名ファイル「レシピ１」の温度設定値をマスタファイルの温度設定値である３００℃に修正した状態のファイルである。この修正済ファイル情報１２ｅが装置Ｂへ送信されることにより、装置Ｂの同名ファイル「レシピ１」がマスタファイルと同一内容に更新される。なお、修正したパラメータは、表示色を他のパラメータと異ならせる等、視認性を高めることが好ましい。
  制御部１１は、上記した管理装置１０の各構成部を制御するもので、ハードウエア構成としては、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と制御部１１の動作プログラム等を格納するメモリを備えており、ＣＰＵは、この動作プログラムに従って動作する。  図２に示すように、制御部１１は、装置ファイル取得機能１１ａ、装置ファイル比較機能１１ｂ、装置ファイル修正機能１１ｃ、修正ファイル出力機能１１ｄを備える。
（装置ファイル取得機能１１ａ）  制御部１１は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、特定の基板処理装置２０が保有しているファイルを、マスタファイルとして記憶部１２に登録し記憶させる。そして、マスタファイルと同名の同名ファイルを有する当該管理装置１０配下の基板処理装置２０から、同名ファイルを取得する（装置ファイル取得機能１１ａ）。このとき、マスタファイルに関する装置情報は、明確にして表示される。例えば、マスタファイルに関する装置情報を表示する項目は、背景色に色を付けて表示してもよい。
  詳しくは、制御部１１は、記憶部１２に記憶している装置ファイル情報１２ａを参照し、当該管理装置１０配下の基板処理装置２０のうち、マスタファイルの同名ファイルを有する基板処理装置２０に対し、該同名ファイルを当該管理装置１０へ送信するよう、通信部１４を介して指示（同名ファイル送信指示）を行う。管理装置１０からの同名ファイル送信指示を受信すると、各基板処理装置２０は、それぞれの保有する同名ファイルを、当該基板処理装置２０の装置名とともに、管理装置１０へ送信する。制御部１１は、各基板処理装置２０から受信した同名ファイルを、当該基板処理装置２０の装置名と対応付けて、取得ファイル情報１２ｂとして記憶部１２に記憶させる。
（装置ファイル比較機能１１ｂ）  また、制御部１１は、当該管理装置１０配下の各基板処理装置２０から、同名ファイルを取得した後、該取得した同名ファイルの内容と記憶部１２に記憶したマスタファイルの内容とを比較し、取得した同名ファイルとマスタファイルとの差異を抽出して明確に表示する（装置ファイル比較機能１１ｂ）。例えば、上述した図６のファイル比較画面のように、差異のあるパラメータやパラメータ項目が目立つように、操作表示部１３に表示する。
（装置ファイル修正機能１１ｃ）  また、制御部１１は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、取得した同名ファイルの内容を編集可能な、つまり修正可能な編集モードに移行する。そして、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、取得した同名ファイルの内容を修正して修正ファイル（修正装置情報）を作成する（装置ファイル修正機能１１ｃ）。取得した同名ファイルの内容を修正した場合、制御部１１は、上述した図５の比較ファイル管理情報１２ｃ中の編集フラグを、ＯＦＦからＯＮにする。
  例えば、図６のように、取得した同名ファイルとマスタファイルとの差異を表示した状態で、差異として表示された同名ファイルのパラメータの位置に、操作表示部１３を構成するマウスを移動し、該マウスを操作してコンテキストメニューを表示し、該表示されたコンテキストメニューから編集部としての「編集」を選択することにより、編集モードに移行する。編集モードから離脱する場合は、同様にコンテキストメニューを表示し、該表示されたコンテキストメニューから「編集終了」を選択することにより、編集モードから離脱することができる。
  そして、編集モードにおいて、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に基づき、マスタファイルとの差異として表示された同名ファイルのパラメータを、マスタファイルの内容と同一にするよう修正する。例えば、図６において装置Ｂの同名ファイル（レシピ１）の温度設定値「２９５」をマスタファイルと同じ「３００」に修正する。  このとき、編集前と編集後で更に色分けするなど、編集済であるかを明確にするのが好ましい。また、操作者が「３００」の数値を操作表示部１３から入力してもよいが、マスタファイルと同一に修正するよう指示する「同一修正」ボタンを操作表示部１３に設けておき、「同一修正」ボタンを押下することで、マスタファイルと同一に修正するようにしてもよい。このようにすると、操作者による誤入力を防止できる。
  なお、マスタファイルとの差異として表示された同名ファイルのパラメータを、マスタファイルの内容と異なる値に修正可能としてもよい。このようにすると、基板処理装置２０毎のパラメータの微調整を行うことが容易となる。  また、制御部１１は、操作者からの指示がなくても、取得した同名ファイルのパラメータを、マスタファイルの内容と同一にするよう、自動的に修正する構成とすることも可能である。このようにすると、パラメータをマスタファイルの内容と同一に修正することが容易となる。
（修正ファイル出力機能１１ｄ）  また、制御部１１は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、編集モードで修正した同名ファイルを、基板処理装置２０へ出力させる（修正ファイル出力機能１１ｄ）。このとき、制御部１１は、同名ファイルを編集モードで修正済みか否かを、上述した比較ファイル管理情報１２ｃにより確認することができる。  詳しくは、管理装置１０は、編集モードで修正した同名ファイルを、修正前の同名ファイルを保有していた基板処理装置２０へ送信する。修正された同名ファイルを受信した基板処理装置２０は、該基板処理装置２０が保有していた修正前の同名ファイルを、修正後の同名ファイルと置換し更新する。
  なお、管理装置１０は、修正された同名ファイルを基板処理装置２０へ送信するとき、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に基づき、指示された基板処理装置２０にのみ修正された同名ファイルを送信する個別送信を行うこともできるし、修正された複数の同名ファイルがそれぞれ属する全ての基板処理装置２０へ、それぞれ修正された同名ファイルを送信する一括送信を行うこともできる。
  個別送信する場合は、該個別送信する修正ファイルが属する基板処理装置２０を、操作表示部１３で操作者が指示する。例えば、図６に示すファイル比較画面において、送信先の基板処理装置２０の装置名の位置、例えば装置Ｂの位置でコンテキストメニューを表示し、表示したコンテキストメニューの中から「送信（Ｓｅｎｄ）」をクリックして選択することにより、修正ファイルが装置Ｂへ送信される。
  また、一括送信する場合は、一括送信する旨を、操作表示部１３で操作者が指示する。例えば、図６に示すファイル比較画面において、コンテキストメニューを表示し、表示したコンテキストメニューの中から「全て送信（Ｓｅｎｄ　ａｌｌ）」をクリックして選択することにより、全ての修正ファイルが、各修正ファイルが属する基板処理装置２０へ、順次送信される。例えば、図６の例では、修正ファイル「レシピ１」が、装置Ｂ～装置ｎへ、順次送信される。
（ファイル比較更新処理）  次に、管理装置のファイル比較更新処理について、図７と図８を用いて説明する。図７は、本実施形態に係るファイル比較更新処理フローチャートである。図８は、図７のフローチャートにおける編集ファイル出力のフローチャートである。ファイル比較更新処理において、管理装置１０の動作は、制御部１１により制御される。
  まず、管理装置１０は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、特定の基板処理装置２０が保有している特定のファイルを、マスタファイルとして記憶部１２に登録し記憶させる（図７のステップＳ３１）。そして、当該管理装置１０配下の基板処理装置２０であって、マスタファイルと同一名の同名ファイルを有する基板処理装置２０の装置名を、記憶部１２に記憶している装置ファイル情報１２ａに基づき抽出し、記憶部１２に登録し記憶させる（ステップＳ３２）。
  続いて管理装置１０は、上記登録した装置名の基板処理装置２０、つまり同名ファイルを有する基板処理装置２０から、同名ファイルを取得し、それぞれの基板処理装置２０の装置名と対応付けて、取得ファイル情報１２ｂとして記憶部１２に記憶する（ステップＳ３３）。図７の例では、マスタファイルは、基板処理装置２０Ａ（装置Ａ）が保有しているファイル「Ｆｉｌｅ０２」である。
  続いて管理装置１０は、ステップＳ３３で取得した装置Ｂ～装置ｎの各同名ファイルの内容と、装置Ａのマスタファイルの内容とを比較し（ステップＳ３４）、取得した各同名ファイルとマスタファイルとの差異を出力する、例えば図６のように、差異のあるパラメータやパラメータ項目が目立つように、操作表示部１３に表示する（ステップＳ３５）。ここで、基板処理レシピを含むレシピファイルやパラメータファイルは項目数が多いため、実際に１画面で全ての項目を表示できないので、通常は画面をスクロールして全ての項目を参照する。但し、差異のある部分がバラバラに存在する場合、手間がかかり、その差異部分を特定することだけでも時間を浪費してしまう。また、編集モード状態で画面をスクロールする場合、誤操作により設定しなくてもよいパラメータを変更してしまう恐れがある。そこで、後述する図１０、図１１、図１２、図１３にそれぞれ示されている操作画面に表示するパラメータやパラメータ項目を適切に表示する必要がある。これにより、後述する画面制御により操作性を向上することができ、差異のあるパラメータやパラメータ項目の編集を行うことができる。
ここで、図１０について説明する。図１０は、図７におけるステップＳ３５において、差異部分(差異のあるパラメータやパラメータ項目)のみを表示する際の図示例である。図示しないが、ステップＳ３４でファイル比較した結果、比較結果出力画面が表示されると、この出力画面に所定の箇所に差異ボタンが配置される。そして、この差異ボタンを押下すると、図１０に示される画面が表示されるように構成されている。尚、ステップＳ３４における差異部分のみを表示するように予め構成してもよいのは言うまでもない。このように、差異部分のみを表示するようにすれば、修正すべき項目が明確になり、差異のあるパラメータやパラメータ項目の編集を行うことができる。
次に、図１１について説明する。図１１(ｂ)は、図７におけるステップＳ３５において、比較不要な装置を排除した結果を表示する際の図示例である。図１１(ａ)におけるファイル比較結果出力画面上で、非表示にしたい基板処理装置２０(装置Ｃ)の装置名の位置、例えば装置Ｃの位置でコンテキストメニューを表示し、表示したコンテキストメニューの中から非表示部としての「非表示(Ｈｉｄｅ)」をクリックして選択することで、選択された対象の基板処理装置２０(装置Ｃ)が非表示となる。このように、図１１(ｂ)に示されるように、選択された装置Ｃを非表示にして、装置Ｄ以降の装置名の位置を左に詰めて表示される。これにより、比較不要な装置Ｃを非表示するように構成することにより、比較すべき基板処理装置２０が明確になり、差異のあるパラメータやパラメータ項目の編集が行える。
次に、図１２について説明する。図１２(ｂ)は、図７におけるステップＳ３５において、特定のパラメータ(若しくはパラメータ項目)で並べ替えを行った結果を表示する際の図示例である。図１２(ａ)におけるファイル比較結果出力画面上で、選択した項目「Ｓｅｔｔｉｎｇ　Ｖａｌｕｅ」の位置でコンテキストメニューを表示し、表示したコンテキストメニューの中から並べ替え部としての「並べ替え(Ｓｏｒｔ)」をクリックして選択することで、マスタファイルを有する基板処理装置２０(装置Ｂ)の温度設定値３００℃に近い温度設定値を有する基板処理装置２０(装置Ｄ)から順に表示される。特に重要なパラメータ(若しくはパラメータ項目)について比較する際、マスタファイルに近いパラメータファイルを有する基板処理装置２０から順に表示する。これにより、重要なパラメータ値による修正の要否判断をしやすくなり、パラメータ修正における操作性が向上する。
次に、図１３について説明する。図１３(ｂ)は、図７におけるステップＳ３５において、マスタファイルを変更して並べ替えを行った結果を表示する際の図示例である。図１３(ａ)におけるファイル比較結果出力画面上で、マスタファイルの切り替え対象とする基板処理装置２０(装置Ｂ)の列で、コンテキストメニューを表示し、表示したコンテキストメニューの中から変更部としての「マスタ (Ｍａｓｔｅｒ)」をクリックして選択する。これにより、マスタファイルの切り替えが行われる。この場合、新しいマスタファイルを基準として再度ファイル比較が実施される。この際、「マスタ(Ｍａｓｔｅｒ)」が選択されると、ステップＳ３４のファイル比較ステップに戻り、ファイル比較が実施された後、マスタファイルに選択された装置Ｂを一番左端に移動され、ファイル比較した結果が表示される(ステップＳ３５)。マスタファイルを装置Ｂに切替え後、装置Ｂより取得した各パラメータが基準値となる。そして、図１３(ｂ)に示すように、変更後のマスタファイルに対して、各レシピファイル内に設定されている各パラメータについて、再度パラメータ比較が実施され、比較結果が表示される。
本実施の形態において、マスタファイルを任意に設定できるように構成されているので、例えば、基板処理装置２０のセットアップ時に一括してパラメータ比較を行う際に、予め納入済の実績のある基板処理装置２０で使用中のパラメータをマスタファイルに設定することで、セットアップ作業が効率よく行える。また、マスタファイルを任意に変更できるように構成されているので、基板処理装置２０を改造、例えば、基板処理装置２０で処理する膜種の変更やプロセスの変更に伴い、パラメータ変更を行う際に、予め納入済の実績のある基板処理装置２０で使用中のパラメータをマスタファイルに設定することで、変更すべきパラメータを的確に表示することができる。
本実施の形態において、基板処理レシピを含むレシピファイルやパラメータファイルは項目数が多いため、修正すべき項目を把握するのは容易ではないが、差異のあるパラメータやパラメータ項目を操作画面上で視認できるので、パラメータの誤設定が極力抑えられる。更に、実績のある基板処理装置２０で使用中のパラメータをマスタファイルに設定することで、改造作業に係るセットアップ時間の短縮が期待できる。
このような図１０乃至図１３に示されているファイル比較結果表示機能は、組合せ自由であるのは言うまでもない。例えば、図１２に示すように、特定パラメータで「並べ替え(Ｓｏｒｔ)」を行い、パラメータ修正要否を判断した後、図１１に示すように、同じパラメータ値を有する基板処理装置２０を「非表示(Ｈｉｄｅ)」にして非表示する。この操作を所定回数繰り返した後、ステップＳ３６でのパラメータ修正を行うことができる。また、上記操作の繰り返しの前に、図１０に示すように、差異のあるパラメータやパラメータ項目を表示しておくことも可能である。更に、上記操作の繰り返しの前に、図１３に示すように、マスタファイルの切り替えを行うことも可能である。
  次に、管理装置１０は、取得した同名ファイルの内容を修正可能な編集モード状態であるか否かを判定する（ステップＳ３６）。編集モードに入るか否かは、上述したように、操作表示部１３で受け付ける操作者からの指示により決定される。ステップＳ３６で編集モード状態でないと判定した場合（ステップＳ３６で「しない」）は、本処理を終了する。ステップＳ３６で編集モード状態であると判定した場合（ステップＳ３６で「する」）は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、取得した同名ファイルの編集を行う、つまり、取得した同名ファイルの内容を修正する（ステップＳ３７）。取得した同名ファイルの内容を修正した場合、制御部１１は、図５の比較ファイル管理情報１２ｃ中の編集フラグを、ＯＦＦからＯＮにする。
  次に、管理装置１０は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、編集モードで修正した同名ファイルを、基板処理装置２０へ出力し（ステップＳ３８）、本処理を終了する。
  次に、ステップＳ３８の修正ファイルの出力処理について、図８を用いて説明する。  まず、管理装置１０は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、出力方法に関する情報を取得する。つまり、基板処理装置２０へ一括出力するか、それとも個別出力するかの情報を取得する（ステップＳ４１）。上述したように、図６に示すようなファイル比較画面において、表示したコンテキストメニューの中から「全て送信」を選択することにより一括出力が指示され、表示したコンテキストメニューの中から「送信」を選択することにより個別出力が指示される。
  次に、管理装置１０は、図５の比較ファイル管理情報１２ｃから、各基板処理装置２０の同名ファイルの編集状態、つまり各基板処理装置２０のファイルが修正済みであるか否かの情報を取得する（ステップＳ４２）。
  続いて、管理装置１０は、ステップＳ４２で取得した各基板処理装置２０の同名ファイルが修正済みであるか否かを判定する（ステップＳ４３）。同名ファイルが修正済みである場合（ステップＳ４３で「編集済み」）は、該同名ファイルが属する基板処理装置２０へ出力し（ステップＳ４４）、ステップＳ４５へ遷移する。同名ファイルが修正済みでない場合（ステップＳ４３で「未編集」）は、該同名ファイルが属する基板処理装置２０へ出力することなく、ステップＳ４５へ遷移する。
  ステップＳ４５において、管理装置１０は、ステップＳ４１で取得した出力方法が一括出力であるか個別出力であるかを判定する（ステップＳ４５）。出力方法が個別出力である場合（ステップＳ４５で「個別」）は、本処理を終了する。
  出力方法が一括出力である場合（ステップＳ４５で「一括」）は、図５の比較ファイル管理情報１２ｃにおいて、修正済みであって出力済みでない残ファイルがあるか否かを判定する、つまり、修正済みであって出力済みでない同名ファイルを有する基板処理装置２０が残っているか否かを判定する（ステップＳ４６）。修正済みの残ファイルがない場合（ステップＳ４６で「残なし」）、つまり、修正済みであって出力済みでない同名ファイルを有する基板処理装置２０が残っていない場合は、本処理を終了する。修正済み残ファイルがある場合（ステップＳ４６で「残あり」）、つまり、修正済みであって出力済みでない同名ファイルを有する基板処理装置２０が残っている場合は、ステップＳ４４へ戻り、該基板処理装置２０へ同名ファイルを出力する。
  例えば、出力方法が一括出力であって、図５の比較ファイル管理情報１２ｃにおいて、装置Ｂ～装置ｎの編集フラグがすべてＯＮである場合、装置Ｂの修正済みファイルが装置Ｂへ送信され、次に、装置Ｃの修正済みファイルが装置Ｃへ送信され、次に、装置Ｄの修正済みファイルが装置Ｄへ送信され、最後に、装置ｎの修正済みファイルが装置ｎへ送信される。こうして、各基板処理装置２０の修正済みファイルが、それぞれの修正済みファイルが属する基板処理装置２０へ送信される。
  本実施形態によれば、少なくとも次の効果を奏する。  （ａ）同一基板処理を行う３台以上の基板処理装置のファイルを、同時に比較できるので、２台ずつ比較するよりも効率向上を図ることができる。  （ｂ）管理装置において、基板処理装置の同名ファイルの内容を修正し、修正した同名ファイルを基板処理装置へ出力するよう指示ができるので、ファイル更新処理の効率向上を図ることができる。  （ｃ）ファイル比較画面（図６）において、同名ファイルの内容を修正し、修正した同名ファイルを基板処理装置へ出力するよう指示ができるので、さらにファイル更新処理の効率向上を図ることができる。  （ｄ）ファイル比較画面（図６）において、同名ファイルのマスタファイルと異なる部分の表示色を変える等、視認性を高めるようにしているので、マスタファイルと異なる部分を操作者が認識することが容易にできる。  （ｅ）修正済ファイル情報表示画面において、修正した部分の表示色を変える等、視認性を高めるようにしているので、修正した部分を操作者が認識することが容易にできる。  （ｆ）ファイル比較画面（図１０）において、差異部分(差異のあるパラメータやパラメータ項目)のみを表示することができる。また、同名ファイルのマスタファイルと異なる部分の表示色を変える等、視認性を高めるようにしているので、マスタファイルと異なる部分を操作者が認識することが容易にできる。  （ｇ）また、図１１(ｂ)に示すように、ファイル比較画面において、比較不要な装置を排除して表示することができる。また、同名ファイルのマスタファイルと異なる部分の表示色を変える等、視認性を高めるようにしているので、マスタファイルと異なる部分を操作者が認識することが容易にできる。  （ｈ）また、図１２(ｂ)に示すように、ファイル比較画面において、特定のパラメータ(若しくはパラメータ項目)で並べ替えを行って表示することができる。また、同名ファイルのマスタファイルと異なる部分の表示色を変える等、視認性を高めるようにしているので、マスタファイルと異なる部分を操作者が認識することが容易にできる。これにより、特定のパラメータについて、パラメータ値による修正の要否判断をしやすくなり、パラメータ修正における操作性が向上する。更に、指定したパラメータ項目による並べ替えを行うことにより、マスタファイルを保持する装置との設定内容と異なる装置台数の把握が可能となる。  （ｉ）また、図１３(ｂ)に示すように、ファイル比較画面において、同名ファイルのマスタファイルと異なる部分の表示色を変える等、視認性を高めるようにしているので、マスタファイルと異なる部分を操作者が認識することが容易にできる。また、ファイルの一括比較実施後、マスタファイルを切替えることにより、異なる視点からのファイル一括比較が可能となる。例えば、マスタファイルに指定した装置ファイルの一部項目と比較対象装置の当該項目が異なっている場合、マスタファイルの設定が妥当でない可能性がある。このためマスタファイルを切替えることにより、当該項目の比較対象の基板処理装置が明確になる。  （ｊ）また、本実施形態によれば、装置パラメータ調整時間の短縮に伴う早期立ち上げ(セットアップ)に貢献できる。例えば、新規に装置の設置あるいは既設装置の膜種変更に伴う装置パラメータ設定時、他の同一膜種の既設装置とパラメータ設定内容の確認及び差異部分の編集を群管理にて一括して行うことが可能となるため、今まで要していた装置間比較の繰り返し及び差異部分のメモ作業、事務所からクリーンルーム内の装置に移動してのファイルを編集する時間の短縮が可能となり、結果として同一膜種装置の機差の削減に関わる時間の短縮に貢献できる。  （ｋ）また、本実施の形態によれば、ソフトウェアのバージョンの違いによる装置パラメータの差異部分の早期発見が可能である。基板処理装置は出荷時期によりソフトウェアのバージョンが異なる場合があるため同一膜種装置であってもソフトウェアバージョンの差異によりパラメータの設定内容が異なる場合がある。そこで、本実施の形態における装置ファイルの一括比較を行うことにより、装置間のパラメータの差異部分を容易に発見することが可能となり、結果として装置間での機差を削減することができる。　　　　　　　　　　　　　　　　 （ｌ）また、本実施の形態によれば、生産結果の異なる要因の早期発見が可能となる。例えば、同一膜種の装置であっても生産結果に差異が発生する場合がある。この場合、装置の生産レシピの設定に違いがある可能性があり、その違いを本実施の形態における装置ファイルの一括比較を行うことにより、レシピの設定の違いを容易に発見することが可能となり、結果として生産効率の向上に貢献できる。
  なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。  
（他の実施形態）　マスタファイルの変更指示があった場合、前記実施形態において、変更指示により指定されたファイルをマスタファイルとして一番左端に表示することにより、ファイル比較が再度実施され(図７のＳ３４)、ファイル比較画面の変更表示がされていた(図７のＳ３５)。これに限らず、他の実施形態では、マスタファイルの変更指示により、図７のＳ３１に戻るようにしてもよい。
  また、前記実施形態では、マスタファイルとして基板処理レシピファイルを用いて説明したが、基板処理レシピ以外のファイル、例えばパラメータで構成されるパラメータファイルであってもよい。
  また、前記実施形態では、管理装置の操作部と表示部を別体型の操作表示部としたが、例えばタッチパネルを用いて操作部と表示部を一体に構成してもよい。
  また、前記実施形態では、マスタファイルを管理装置配下の基板処理装置から取得したが、基板処理装置以外から取得するように構成してもよい。例えば、基板処理の基準となるマスタファイルを、管理装置やパソコンで作成し、管理装置の記憶部に格納するようにしてもよい。
  また、管理装置は、必ずしも事務所外やクリーンルーム外に設置される必要はなく、例えば事務所内に設置してもよい。また、管理装置は、その記憶部や制御部や操作部や表示部を一体にする必要はなく、それぞれを別体にして設置してもよい。また、前記実施形態では、ファイル比較画面等を管理装置に表示したが、基板処理装置に表示し、基板処理装置の操作表示部から、操作者が各種指示を行うように構成してもよい。
  前記実施形態で述べた管理装置の制御部や操作表示部や記憶部は、管理装置に専用のものでなくてもよく、例えばパソコン（パーソナルコンピュータ）等の一般的なコンピュータシステムを用いて実現することができる。例えば、汎用コンピュータに、上述した処理を実行するためのプログラム（前記実施形態ではファイル比較更新処理プログラム）を格納した記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ-ＲＯＭ、ＵＳＢメモリ等）から当該プログラムをインストールすることにより、上述の処理を実行する制御部を構成することができる。例えば、基板処理装置自体に、前記実施形態で述べたファイル比較更新処理プログラムを実行するための制御部等を実現できる。
  また、上述の処理を実行するプログラム（ファイル比較更新処理プログラム）を供給するための手段は、任意に選択できる。上述のように所定の記録媒体を介して供給するほか、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給することができる。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板に当該プログラムを掲示し、ネットワークを介して供給してもよい。そして、このようにして提供されたプログラムを起動し、管理装置のＯＳ（Operating System）の制御下、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。
  また、本発明は、半導体製造装置だけでなく、ＬＣＤ製造装置のようなガラス基板を処理する装置や、他の基板処理装置にも適用できる。基板処理の処理内容は、ＣＶＤ、ＰＶＤ、Ｅｐｉ、その他酸化膜、窒化膜、金属含有膜等を形成する成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、拡散処理、エッチング処理、露光処理、リソグラフィ、塗布処理、モールド処理、現像処理、ダイシング処理、ワイヤボンディング処理、検査処理等であってもよい。
＜　本発明の好ましい態様　＞　以下に、本発明の好ましい態様について付記する。（付記１）  本発明の一態様によれば、  基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置であって、  前記装置情報の基準となる基準装置情報を記憶する記憶部と、  操作者からの指示を受け付け、情報表示を行う操作表示部と、  前記装置情報を前記基板処理装置から取得し、該取得した取得装置情報と前記記憶部に記憶した前記基準装置情報とに基づき、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とを装置情報比較画面として前記操作表示部に表示し、前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を前記操作表示部から受け付けると、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御動作を行う制御部と、  を備える管理装置が提供される。
（付記２）好ましくは、付記１の管理装置であって、  前記装置情報は、前記基板処理装置における基板処理のパラメータを含むレシピ情報である管理装置が提供される。
（付記３）好ましくは、付記１又は付記２の管理装置であって、  前記基準装置情報は、前記装置情報の種別毎に前記記憶部に記憶され、  前記制御部は、前記装置情報の種別毎に、前記制御動作を行う管理装置が提供される。
（付記４） 好ましくは、付記１ないし付記３の管理装置であって、  前記制御部は、前記取得装置情報に対し、前記差異部を前記基準装置情報の内容と同じにする修正を行うよう制御する管理装置が提供される。
（付記５）好ましくは、付記１ないし付記４の管理装置であって、  前記操作表示部は、前記装置情報比較画面において、前記修正指示を受け付ける管理装置が提供される。
（付記６） 　本発明の他の態様は、  基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と、管理装置とを備える基板処理システムであって、  前記管理装置は、  前記装置情報の基準となる基準装置情報を記憶する記憶部と、  操作者からの指示を受け付け、情報表示を行う操作表示部と、  前記装置情報を前記基板処理装置から取得し、該取得した取得装置情報と前記記憶部に記憶した前記基準装置情報とに基づき、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とを装置情報比較画面として前記操作表示部に表示し、前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を前記操作表示部から受け付けると、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御動作を行う制御部と、  を備える基板処理システムが提供される。
（付記７）  好ましくは、付記６の基板処理システムであって、  前記管理装置は、前記記憶部に記憶した前記基準装置情報の名称に基づき、前記装置情報を前記基板処理装置から取得し、前記基準装置情報に含まれる基板処理用パラメータと、前記装置情報に含まれる基板処理用パラメータとを、前記装置情報比較画面に表示する基板処理システムが提供される。
（付記８）　本発明の更に他の態様は、  基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得工程と、  前記取得した取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報とを比較する比較工程と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受け付ける修正指示受付工程と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正工程と、  を備える装置情報更新方法が提供される。
（付記９） 好ましくは、付記８の装置情報更新方法であって、  前記取得工程において、前記基準装置情報の名称に基づき、前記装置情報を前記基板処理装置から取得する装置情報更新方法が提供される。
（付記１０）  好ましくは、付記８又は付記９の装置情報更新方法であって、  前記比較工程において、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とを装置情報比較画面として表示する装置情報更新方法が提供される。
（付記１１）好ましくは、付記１０の装置情報更新方法であって、  前記修正指示受付工程において、前記装置情報比較画面上で前記修正指示を受け付ける装置情報更新方法が提供される。
（付記１２）好ましくは、付記１０の装置情報更新方法であって、  前記装置情報修正工程において、前記装置情報比較画面上に前記差異部の修正後の情報を表示する装置情報更新方法が提供される。
（付記１３）好ましくは、付記１１又は付記１２の装置情報更新方法であって、  前記装置情報比較画面において、前記差異部又は前記差異部を修正した修正部を、他から識別し易いよう明示する（色を変えて表示するか、又は点滅表示するか、あるいは下線表示する）装置情報更新方法が提供される。
（付記１４）好ましくは、付記１３の装置情報更新方法であって、  前記装置情報比較画面において、前記基準装置情報の前記差異部に対応する部分を、他から識別し易いよう明示する装置情報更新が提供される。
（付記１５）好ましくは、付記１３又は付記１４の装置情報更新方法であって、  前記装置情報比較画面において、前記取得装置情報の前記差異部を、修正前と修正後で色分け表示する装置情報更新方法が提供される。
（付記１６）  本発明の更に他の態様は、  基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得工程と、  前記取得した取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報とを比較する比較工程と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部を、他から識別し易いよう明示する明示工程と、  を備える装置情報表示方法が提供される。
（付記１７）  好ましくは、付記１６の装置情報表示方法であって、  前記明示工程において、前記基準装置情報の前記差異部に対応する部分を、他から識別し易いよう明示する装置情報表示方法が提供される。
（付記１８）好ましくは、付記１６又は付記１７の装置情報表示方法であって、  前記明示工程において、前記取得装置情報の前記差異部を、他から識別し易いよう明示する装置情報表示方法が提供される。
（付記１９）  本発明の更に他の態様は、  基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得処理と、  前記取得した取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報とを比較する比較処理と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受け付ける修正指示受付処理と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正処理と、  を含む装置情報更新プログラムが提供される。
（付記２０）  本発明の更に他の態様は、  基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得処理と、  前記取得した取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報とを比較する比較処理と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受け付ける修正指示受付処理と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正処理と、  を含む装置情報更新プログラムが格納された記録媒体が提供される。
（付記２１）  本発明の更に他の態様は、  基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置であって、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づいて、前記装置情報を前記基板処理装置から取得し、該取得した取得装置情報と前記基準装置情報とを比較し、抽出された差異部と前記基準装置情報を含む装置情報の内容とをそれぞれ表示する操作表示部と、前記差異部の修正指示を前記操作表示部から受け付けると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御動作を行う制御部と、  を備える管理装置が提供される。
（付記２２）  好ましくは、付記２１の管理装置であって、  更に、前記基準装置情報に基づいて、取得対象とする前記装置情報を保有する前記基板処理装置を登録する登録部を備え、前記登録部は、前記基板処理装置の名称と、マスタファイルの指定情報と、前記比較ファイル名称と、編集の有無を示す編集フラグと、を有する管理装置が提供される。
（付記２３）  好ましくは、付記２１の管理装置であって、  更に、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記取得装置情報と前記基準装置情報との差異部のみを表示するボタンを有する管理装置が提供される。
（付記２４）  好ましくは、付記２１の管理装置であって、  更に、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記基準装置情報と差異のある前記装置情報を編集する編集モードに切り替える編集部を有する管理装置が提供される。
（付記２５）  好ましくは、付記２１の管理装置であって、  更に、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記基準装置情報を保有する基板処理装置を変更する変更部と、前記比較不要な装置情報を保有する基板処理装置を非表示にする非表示部と、前記基準装置情報のうち特定パラメータを基準に並べ替え表示する並べ替え部と、を有する管理装置が提供される。
（付記２６）  好ましくは、付記２５の管理装置であって、  更に、前記装置情報比較画面上で前記変更部が選択されると、　前記操作表示部は、前記基準装置情報を保有する前記基板処理装置を変更し、変更された基準装置情報に基づいて、前記取得装置情報と変更された基準装置情報とを比較し、前記取得装置情報の内容と前記変更された基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する管理装置が提供される。
（付記２７）  本発明の更に他の態様は、基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と、管理装置とを備える基板処理システムであって、  前記管理装置は、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づいて、前記装置情報を前記基板処理装置から取得し、該取得した取得装置情報と前記基準装置情報とを比較し、抽出された差異部と、前記基準装置情報を含む装置情報の内容とをそれぞれ表示する操作表示部と、前記差異部の修正指示を前記操作表示部から受け付けると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御動作を行う制御部と、  を備える基板処理システムが提供される。
（付記２８）  本発明の更に他の態様は、基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置であって、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、　前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示し、前記差異部の修正指示をする操作表示部と、該差異部に対する修正指示を前記操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、を備える管理装置が提供される。
（付記２９）  本発明の更に他の態様は、基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と、管理装置とを備える基板処理システムであって、  前記管理装置は、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示し、前記差異部の修正指示をする操作表示部と、該差異部に対する修正指示を前記操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、  を備える基板処理システムが提供される。
（付記３０）  本発明の更に他の態様は、基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得された取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報との差異を抽出する抽出工程と、前記差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示する表示工程と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受信する修正指示受付工程と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正工程と、  を備える装置情報更新方法が提供される。
（付記３１）  本発明の更に他の態様は、基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得された取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報との差異を抽出する抽出処理と、前記差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示する表示処理と、前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受信する修正指示受付処理と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正処理と、  を含む装置情報更新プログラムが格納された記録媒体が提供される。
（付記３２）  更に、好ましくは、前記操作表示部は、前記基準装置情報に基づいて、取得対象とする前記装置情報を保有する前記基板処理装置を登録する登録部を備え、前記登録部は、前記基板処理装置の名称と、マスタファイルの指定情報と、前記比較ファイル名称と、編集の有無を示す編集フラグと、を有する付記２８の管理装置が提供される。
（付記３３）  更に、好ましくは、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記取得装置情報と前記基準装置情報との差異部のみを表示するボタンを有する付記２８の管理装置が提供される。
（付記３４）更に、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記基準装置情報を保有する基板処理装置を変更する変更部と、前記比較不要な装置情報を保有する基板処理装置を非表示にする非表示部と、前記基準装置情報のうち特定パラメータを基準に並べ替え表示する並べ替え部と、を有する付記２８の管理装置が提供される。
（付記３５）前記装置情報比較画面上で前記変更部が選択されると、　前記操作表示部は、前記基準装置情報を保有する前記基板処理装置を変更し、変更された基準装置情報に基づいて、前記取得装置情報と変更された基準装置情報とを比較し、前記取得装置情報の内容と前記変更された基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する付記３４の管理装置が提供される。
（付記３６）前記装置情報は、前記基板処理装置における基板処理のパラメータを含むレシピ情報である付記２８の管理装置が提供される。
（付記３７）前記操作表示部は、前記基準装置情報と前記取得装置情報の前記差異部に対応する部分を、他から識別し易いよう明示する付記２８の管理装置が提供される。
（付記３８）前記操作表示部は、前記装置情報比較画面において、前記基準装置情報と前記取得装置情報の前記差異部を、修正前と修正後で色分け表示する付記３７の管理装置が提供される。
尚、本出願は、２０１３年５月２２日に出願された日本出願特願２０１３－１０８２２６を基礎として優先権の利益を主張するものであり、その開示の全てを引用によってここに取り込む。
本発明は、処理装置間の装置情報の差異を抽出し装置情報更新を行うことが可能な処理システムに好適に利用される。
  １０…管理装置、１１…制御部、１１ａ…装置ファイル取得機能、１１ｂ…装置ファイル比較機能、１１ｃ…装置ファイル修正機能、１１ｄ…修正ファイル出力機能、１２…記憶部、１２ａ…装置ファイル情報、１２ｂ…取得ファイル情報、１２ｃ…比較ファイル管理情報、１２ｄ…比較結果情報、１２ｅ…修正済ファイル情報、１３…操作表示部、１４…通信部、２０…基板処理装置、３１…ネットワーク、３２…ネットワーク。

Claims (11)

  1. 基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置であって、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、　前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示し、前記差異部の修正指示をする操作表示部と、該差異部に対する修正指示を前記操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、を備える管理装置。
  2. 基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と、管理装置とを備える基板処理システムであって、  前記管理装置は、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示し、前記差異部の修正指示をする操作表示部と、該差異部に対する修正指示を前記操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、  を備える基板処理システム。
  3. 基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得された取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報との差異を抽出する抽出工程と、前記差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示する表示工程と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受信する修正指示受付工程と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正工程と、  を備える装置情報更新方法。
  4. 基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得された取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報との差異を抽出する抽出処理と、前記差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示する表示処理と、前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受信する修正指示受付処理と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正処理と、  を含む装置情報更新プログラムが格納された記録媒体。
  5. 更に、前記操作表示部は、前記基準装置情報に基づいて、取得対象とする前記装置情報を保有する前記基板処理装置を登録する登録部を備え、前記登録部は、前記基板処理装置の名称と、マスタファイルの指定情報と、前記比較ファイル名称と、編集の有無を示す編集フラグと、を有する請求項１の管理装置。
  6. 更に、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記取得装置情報と前記基準装置情報との差異部のみを表示するボタンを有する請求項１の管理装置。
  7. 更に、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記基準装置情報を保有する基板処理装置を変更する変更部と、前記比較不要な装置情報を保有する基板処理装置を非表示にする非表示部と、前記基準装置情報のうち特定パラメータを基準に並べ替え表示する並べ替え部と、を有する請求項１の管理装置。
  8. 前記装置情報比較画面上で前記変更部が選択されると、　前記操作表示部は、前記基準装置情報を保有する前記基板処理装置を変更し、変更された基準装置情報に基づいて、前記取得装置情報と変更された基準装置情報とを比較し、前記取得装置情報の内容と前記変更された基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する請求項７の管理装置。
  9. 前記装置情報は、前記基板処理装置における基板処理のパラメータを含むレシピ情報である請求項１の管理装置。
  10. 前記操作表示部は、前記基準装置情報と前記取得装置情報の前記差異部に対応する部分を、他から識別し易いよう明示する請求項１の管理装置。
  11. 前記操作表示部は、前記装置情報比較画面において、前記基準装置情報と前記取得装置情報の前記差異部を、修正前と修正後で色分け表示する請求項１０の管理装置。
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