JP5077992B2 - サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム - Google Patents
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Description
また、関連する技術として、いわゆるバッチ式縦型熱処理装置が知られていた(特許文献2、特許文献3参照)。
このような構成により、変更情報により、レシピの内容が変更された旨を知ることができる。その結果、例えば、内容が変更されたレシピにアクセスすることによって、レシピの変更の内容を知ることができうる。
このような構成により、変更情報により、変更後のレシピの内容について知ることができる。その結果、変更後のレシピにアクセスする必要がなくなり、ユーザの利便性が向上されている。
また、本発明によるサーバ装置では、レシピの内容の変更が、レシピの管理に関する情報の内容の変更であってもよい。
このような構成により、例えば、異同情報によって比較対象となる2個のレシピに差異があることが示される場合には、変更情報によって、そのことを知ることができ、異同情報によって比較対象となる2個のレシピの差分が示される場合には、変更情報によって、その差分を知ることができる。
このような構成により、変更情報により、変更後のレシピの内容について知ることができる。その結果、変更後のレシピにアクセスする必要がなくなり、ユーザの利便性が向上されている。
このような構成により、適切な条件を設定することにより、不必要な変更情報の送信を行わないようにすることができる。
本発明の実施の形態1による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施の形態による群管理システムの構成を示すブロック図である。図1において、本実施の形態による群管理システムは、クライアント装置10と、サーバ装置20と、N個の製造装置40とを備える。ここで、Nは、1以上の整数である。群管理システムにおいて、クライアント装置10、サーバ装置20、1以上の製造装置40は、有線または無線の通信回線を介して互いに通信可能なように接続されている。その通信回線は、例えば、インターネットやイントラネット、公衆電話回線網等である。
判断部26は、変更情報を送信するかどうか判断する。判断部26は、レシピ受信部23が受信した最新のレシピについて、所定の条件が満たされる場合に、変更情報を送信すると判断してもよい。その所定の条件は、例えば、レシピ受信部23が受信した最新のレシピについて、変更情報を送信することが設定されていることであってもよく、レシピ受信部23が受信した最新のレシピについて、所定の期間以上変更がなされていないことであってもよい。
変更通知送信部44は、レシピ変更部43がレシピ記憶部41で記憶されているレシピの内容を変更した場合に、レシピの内容が変更された旨を通知する情報である変更通知をサーバ装置20に送信する。この変更通知には、例えば、変更通知を送信する製造装置40を識別する装置識別情報が含まれていてもよく、内容が変更されたレシピを識別するレシピ識別情報が含まれていてもよい。
(ステップS101)入力受付部11は、変更指示の入力を受け付けたかどうか判断する。そして、その入力を受け付けた場合には、ステップS102に進み、そうでない場合には、ステップS103に進む。
(ステップS103)変更情報受信部13は、変更情報を受信したかどうか判断する。そして、変更情報を受信した場合には、ステップS104に進み、そうでない場合には、ステップS101に戻る。
なお、図6のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
(ステップS201)変更通知受信部21は、変更通知を受信したかどうか判断する。そして、変更通知を受信した場合には、ステップS202に進み、そうでない場合には、変更通知を受信するまで、ステップS201の処理を繰り返す。
(ステップS205)判断部26は、ステップS203においてレシピ受信部23が受信した変更後のレシピについて、変更情報を送信するかどうか判断する。そして、変更情報を送信すると判断した場合には、ステップS206に進み、そうでない場合には、ステップS201に戻る。
(ステップS207)送信先情報取得部29は、送信先情報記憶部28から送信先情報を取得する。
なお、図7のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
(ステップS301)変更指示受付部42は、変更指示を受け付けたかどうか判断する。そして、変更指示を受け付けた場合には、ステップS302に進み、そうでない場合には、ステップS304に進む。
(ステップS303)変更通知送信部44は、レシピの内容が変更された旨を通知する情報である変更通知をサーバ装置20に送信する。そして、ステップS301に戻る。
(ステップS307)変更情報出力部48は、変更情報受信部47が受信した変更情報を出力する。そして、ステップS301に戻る。
この具体例では、各製造装置40が、装置識別情報によって識別されているものとする。そして、装置識別情報「D001」で識別される製造装置40のレシピ記憶部41において、図9で示されるレシピが最新のレシピとして記憶されているものとする。図9で示されるレシピは、レシピ識別情報「R001」で識別されるものであり、レシピのバージョンを示すレシピバージョンが「111」である。このレシピバージョンは、新しいものほど、値が大きくなるものとする。なお、レシピ識別情報「R001」で識別されるレシピのことをレシピR001と呼ぶこともある。他のレシピについても同様であるとする。
本発明の実施の形態2による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。本実施の形態による群管理システムは、サーバ装置において、レシピ受信部が受信した最新のレシピと、その直前のレシピとの異同に関する情報である異同情報を取得し、その異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に変更情報を送信するものである。
また、変更情報構成部27は、異同情報取得部51が取得した異同情報を含む変更情報を構成してもよい。
本発明の実施の形態3による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。本実施の形態による群管理システムは、サーバ装置において、レシピ受信部が受信した最新のレシピと、マスタレシピとの異同に関する情報である異同情報を取得し、その異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に変更情報を送信するものである。本実施の形態によるサーバ装置は、比較の対象となるレシピがマスタレシピとなった以外は、実施の形態2とほぼ同様の構成及び動作となる。
また、変更情報構成部27は、異同情報取得部62が取得した異同情報を含む変更情報を構成してもよい。
また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
11 入力受付部
12 変更指示送信部
13 変更情報受信部
14 変更情報出力部
20、50、60 サーバ装置
21 変更通知受信部
22 レシピ要求部
23 レシピ受信部
24 レシピ記憶部
25 レシピ蓄積部
26 判断部
27 変更情報構成部
28 送信先情報記憶部
29 送信先情報取得部
30 変更情報送信部
40 製造装置
41 レシピ記憶部
42 変更指示受付部
43 レシピ変更部
44 変更通知送信部
45 レシピ要求受信部
46 レシピ送信部
47 変更情報受信部
48 変更情報出力部
51、62 異同情報取得部
61 マスタレシピ記憶部
Claims (7)
- 被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う1以上の製造装置と、当該1以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記1以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部と、
前記製造装置のレシピの内容が変更された場合に、変更後のレシピを受信するレシピ受信部と、
前記レシピ受信部が受信したレシピを前記レシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積部と、
レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成部と、
前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部と、
前記送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得部と、
前記送信先情報取得部が取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成部が構成した変更情報を送信する変更情報送信部と、を備え、
前記変更情報構成部は、前記レシピ記憶部で記憶されている変更前のレシピと前記レシピ受信部が受信した変更後のレシピとの差分を求め、当該差分を含む変更情報を構成する、サーバ装置。 - レシピの内容の変更は、レシピにおける製造装置の設定に関する情報の内容の変更である、請求項1記載のサーバ装置。
- レシピの内容の変更は、レシピの管理に関する情報の内容の変更である、請求項1記載のサーバ装置。
- 前記送信先情報は、レシピごとに設定されており、
前記送信先情報取得部は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピに対応する送信先情報を取得する、請求項1から請求項3のいずれか記載のサーバ装置。 - 前記送信先情報は、製造装置ごとに設定されており、
前記送信先情報取得部は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピが用いられる製造装置に対応する送信先情報を取得する、請求項1から請求項3のいずれか記載のサーバ装置。 - 被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う1以上の製造装置と接続されているサーバ装置で用いられる情報処理方法であって、
前記製造装置のレシピの内容が変更された場合に、変更後のレシピを受信するレシピ受信ステップと、
前記レシピ受信ステップで受信したレシピを、前記1以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積ステップと、
レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成ステップと、
前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得ステップと、
前記送信先情報取得ステップで取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成ステップで構成した変更情報を送信する変更情報送信ステップと、を備え、
前記変更情報構成ステップでは、前記レシピ記憶部で記憶されている変更前のレシピと前記レシピ受信ステップで受信した変更後のレシピとの差分を求め、当該差分を含む変更情報を構成する、情報処理方法。 - コンピュータに、
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う1以上の製造装置と接続されているサーバ装置における処理を実行させるプログラムであって、
前記製造装置のレシピの内容が変更された場合に、変更後のレシピを受信するレシピ受信ステップと、
前記レシピ受信ステップで受信したレシピを、前記1以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積ステップと、
レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成ステップと、
前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得ステップと、
前記送信先情報取得ステップで取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成ステップで構成した変更情報を送信する変更情報送信ステップと、を実行させ、
前記変更情報構成ステップでは、前記レシピ記憶部で記憶されている変更前のレシピと前記レシピ受信ステップで受信した変更後のレシピとの差分を求め、当該差分を含む変更情報を構成する、プログラム。
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