KR20090079228A - 서버 장치, 정보 처리 방법 및 프로그램 - Google Patents
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Abstract
레시피의 내용의 변경이 행하여진 경우에, 그 변경에 관한 주의 환기를 행한다. 서버 장치(20)는, 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부(24)와, 제조 장치의 레시피의 내용이 변경된 경우에, 변경 후의레시피를 수신하는 레시피 수신부(23)와, 레시피 수신부(23)가 수신한 레시피를 레시피 기억부(24)에 축적하는 레시피 축적부(25)와, 레시피의 내용 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성부(27)와, 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부(28)와, 송신처 정보 기억부(28)로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득부(29)와, 송신처 정보 취득부(29)가 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성부(27)가 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신부(30)를 구비한다.
Description
본 발명은, 레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 송신하는 서버 장치 등에 관한 것이다.
종래, 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와, 그 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비한 군(群) 관리 시스템이 알려져 있었다. 또한, 그러한 군 관리 시스템에서 레시피를 이용한 반도체 프로세스 등이 행하여지고 있었다.
또한, 관련 기술로서, 서버 장치와 하나 이상의 반도체 제조 장치 사이에, 쌍방에서 유지되고 있는 레시피의 정합을 취하기 위한 레시피의 관리 방법이 있었다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
또한, 관련 기술로서, 이른바 배치(batch)식 종형 열처리 장치가 알려져 있었다(특허 문헌 2, 특허 문헌 3 참조).
특허 문헌 1：일본특허공개공보 2006-73845호
특허 문헌 2：일본특허공보 3543996호
특허 문헌 3：일본특허공개공보 2002-25997호
발명이 해결하고자하는 과제
제조 장치에서 유지되고 있는 레시피의 내용을 변경함으로써, 예를 들면, 제조 장치에서 실행되는 프로세스 등을 변경할 수 있다. 그러나, 그러한 프로세스 등의 변경이 부주의하게 행하여짐으로써 설정 오류 등이 발생한 경우에는, 제품의 로트 아웃(lot-out) 등이 발생하게 된다.
본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 레시피의 내용의 변경이 행하여진 경우에, 그 변경에 관한 주의 환기를 행할 수 있는 서버 장치 등을 제공하는 것을 목적으로 한다
과제를 해결하기 위한 수단
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 의한 서버 장치는, 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와, 해당 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비한 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치로서, 상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부와, 상기 제조 장치의 레시피의 내용이 변경된 경우에, 변경 후의 레시피를 수신하는 레시피 수신부와, 상기 레시피 수신부가 수신한 레시피를 상기 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적부와, 레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성부와, 상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부와, 상기 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득부와, 상기 송신처 정보 취득부가 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성부가 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신부를 구비한 것이다.
이러한 구성에 의하여, 레시피의 내용의 변경이 행하여진 경우에, 그 변경에 관한 주의 환기를 행할 수 있으므로, 부주의한 레시피의 내용의 변경에 기인하는 로트 아웃 등의 발생을 피할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 변경 정보 구성부는, 레시피의 내용이 변경된 취지를 포함하는 변경 정보를 구성해도 좋다.
이러한 구성에 의하여, 변경 정보에 의해 레시피의 내용이 변경된 취지를 알 수 있다. 그 결과, 예를 들면, 내용이 변경된 레시피에 액세스함으로써, 레시피의 변경 내용을 알 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 변경 정보 구성부는, 상기 레시피 수신부가 수신한 변경 후의 레시피를 포함하는 변경 정보를 구성해도 좋다.
이러한 구성에 의하여, 변경 정보에 의해 변경 후의 레시피의 내용에 대해 알 수 있다. 그 결과, 변경 후의 레시피에 액세스할 필요가 없어지므로, 유저의 편리성이 향상된다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 변경 정보 구성부는, 상기 레시피 기억부에 기억되어 있는 변경 전의 레시피와 상기 레시피 수신부가 수신한 변경 후의 레시피와의 차분(差分)을 구하여, 해당 차분을 포함하는 변경 정보를 구성해도 좋다.
이러한 구성에 의하여, 변경 정보에 의해, 변경 전의 레시피의 내용과, 변경 후의 레시피의 내용과의 차분(差分)을 알 수 있다. 그 결과, 변경 후의 레시피에 액세스할 필요가 없을 뿐만 아니라, 변경 정보로부터 레시피의 내용의 어디가 변경되었는지를 용이하게 알 수 있으므로, 유저의 편리성이 향상된다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 레시피의 내용의 변경이, 레시피에서의 제조 장치의 설정에 관한 정보의 내용의 변경이여도 좋다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 레시피의 내용의 변경이, 레시피의 관리에 관한 정보의 내용의 변경이여도 좋다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치는, 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와, 해당 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비한 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치로서, 상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부와, 상기 제조 장치의 레시피를 수신하는 레시피 수신부와, 상기 레시피 수신부가 수신한 레시피를 상기 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적부와, 레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성부와, 상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부와, 상기 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득부와, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피와, 해당 최신의 레시피가 이용되는 제조 장치의 레시피이고, 상기 레시피 기억부에 기억되어 있는, 해당 최신의 레시피에 가장 가까운 시기의 레시피를 비교하여, 양쪽 레시피의 이동(異同)에 관한 정보인 이동 정보를 취득하는 이동 정보 취득부와, 상기 이동 정보 취득부가 취득한 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에, 상기 송신처 정보 취득부가 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성부가 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신부를 구비한 것이다.
이러한 구성에 의하여, 레시피의 내용의 변경이 행하여진 경우에, 그 변경에 관한 주의 환기를 행할 수 있으므로, 부주의한 레시피의 내용의 변경에 기인하는 로트 아웃 등의 발생을 피할 수 있다. 또한, 이동(異同) 정보에 의해, 비교 대상의 2 개의 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에 변경 정보를 송신하므로, 불필요한 변경 정보의 송신을 피할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치는, 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와, 해당 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비한 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치로서, 상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부와, 상기 제조 장치의 레시피를 수신하는 레시피 수신부와, 상기 레시피 수신부가 수신한 레시피를 상기 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적부와, 기준이 되는 레시피인 마스터 레시피가 기억되는 마스터 레시피 기억부와, 레시피의 내용 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성부와, 상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부와, 상기 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득부와, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피와, 상기 마스터 레시피 기억부에 기억되어 있는 마스터 레시피를 비교하여, 양쪽 레시피의 이동(異同)에 관한 정보인 이동 정보를 취득하는 이동 정보 취득부와, 상기 이동 정보 취득부가 취득한 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에, 상기 송신처 정보 취득부가 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성부가 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신부를 구비한 것이다.
이러한 구성에 의하여, 레시피의 내용의 변경이 행하여진 결과, 그 레시피와 마스터 레시피가 상이해진 경우에, 그 변경에 관한 주의 환기를 행할 수 있으므로, 부주의한 레시피의 내용 변경에 기인하는 로트 아웃 등의 발생을 피할 수 있다. 또한, 이동 정보에 의해, 비교 대상의 2 개의 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에 변경 정보를 송신하므로, 불필요한 변경 정보의 송신을 피할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 이동 정보 취득부는, 양쪽 레시피의 제조 장치의 설정에 관한 정보를 비교하여, 해당 제조 장치의 설정에 관한 정보의 이동(異同)에 관한 이동 정보를 취득해도 좋다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 제조 장치의 설정에 관한 정보는, 레시피에 포함되는 단계이며, 상기 이동 정보 취득부는, 양쪽 레시피에 포함되는 단계마다 비교하여, 단계마다의 이동(異同)을 나타내는 이동 정보를 취득해도 좋다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 이동 정보 취득부는, 양쪽 레시피의 관리에 관한 정보를 비교하여, 해당 레시피의 관리에 관한 정보의 이동(異同)에 관한 이동 정보를 취득해도 좋다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 변경 정보 구성부는, 상기 이동(異同) 정보 취득부가 취득한 이동 정보를 포함하는 변경 정보를 구성해도 좋다.
이러한 구성에 의하여, 예를 들면, 이동 정보에 의해 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에는, 변경 정보에 의해, 그것을 알 수 있으며, 이동 정보에 의해 비교 대상이 되는 2 개의 레시피의 차분(差分)이 나타나는 경우에는, 변경 정보에 의해, 그 차분을 알 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 변경 정보 구성부는, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피를 포함하는 변경 정보를 구성해도 좋다.
이러한 구성에 의하여, 변경 정보에 의해 변경 후의 레시피의 내용에 대해 알 수 있다. 그 결과, 변경 후의 레시피에 액세스할 필요가 없어지므로, 유저의 편리성이 향상된다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 변경 정보를 송신할지의 여부를 판단하는 판단부를 추가로 구비하고, 상기 변경 정보 송신부는, 상기 판단부에 의한 판단 결과에 따라 상기 변경 정보를 송신해도 좋다.
이러한 구성에 의하여, 판단부에 의한 판단 결과에 따라 변경 정보를 송신할 수 있으므로, 불필요한 변경 정보의 송신을 행하지 않도록 할 수 있다. 그 결과, 필요한 변경 정보가, 불필요한 변경 정보에 묻히게 되는 사태를 피할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 판단부는, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피에 대하여, 소정의 조건이 충족되는 경우에, 변경 정보를 송신한다고 판단해도 좋다.
이러한 구성에 의하여, 적절한 조건을 설정함으로써, 불필요한 변경 정보의 송신을 행하지 않도록 할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 소정의 조건은, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피에 대하여, 변경 정보를 송신하는 것이 설정되어 있어도 좋다.
이러한 구성에 의하여, 변경 정보를 송신하는 레시피와, 변경 정보를 송신하지 않는 레시피를 설정할 수 있다. 따라서, 내용이 변경된 경우에 영향이 큰 레시피에 대해서는, 변경 정보를 송신하도록 설정해 둠으로써, 그 변경에 관한 주의 환기를 적절하게 행할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 소정의 조건은, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피에 대하여, 소정의 기간 이상(以上) 변경이 이루어지지 않아도 좋다.
이러한 구성에 의하여, 안정적으로 일정한 기간 이상 이용되고 있는 레시피가 변경된 경우에, 변경 정보를 송신함으로써 그 내용의 주의를 환기시킬 수 있다. 한편, 시행 착오에 의해 최적의 레시피를 발견하고자 하는 경우에, 빈번하게 레시피가 변경되었다고 하더라도 변경 정보를 송신하지 않음으로써, 필요성이 낮은 변경 정보가 송신되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 필요성이 높은 변경 정보가 필요성이 낮은 변경 정보에 묻히게 되는 사태를 피할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 송신처 정보는, 레시피마다 설정되어 있으며, 상기 송신처 정보 취득부는, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피에 대응하는 송신처 정보를 취득해도 좋다.
이러한 구성에 의하여, 레시피마다 변경 정보의 송신처를 설정할 수 있다. 예를 들면, 레시피마다 레시피의 관리자가 상이한 경우에, 그 관리자에 대응하는 송신처를 레시피마다 설정할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 서버 장치에서는, 상기 송신처 정보는, 제조 장치마다 설정되어 있으며, 상기 송신처 정보 취득부는, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피가 이용되는 제조 장치에 대응하는 송신처 정보를 취득해도 좋다.
이러한 구성에 의하여, 제조 장치마다 변경 정보의 송신처를 설정할 수 있다. 예를 들면, 제조 장치마다 레시피의 관리자가 상이한 경우에, 그 관리자에 대응하는 송신처를 제조 장치마다 설정할 수 있다.
발명의 효과
본 발명에 의한 서버 장치 등에 의하면, 레시피의 내용의 변경이 행하여진 경우에, 그 변경을 확인할 수 있으므로, 부주의한 레시피의 내용의 변경에 기인하는 로트 아웃 등의 발생을 피할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 의한 군 관리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 제조 장치의 일례를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 클라이언트 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 서버 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 제조 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 클라이언트 장치의 동작을 나타내는 순서도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 서버 장치의 동작을 나타내는 순서도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 의한 제조 장치의 동작을 나타내는 순서도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에서의 레시피의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시예에서의 레시피의 일례를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시예에서의 레시피의 일례를 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시예에서의 레시피 관리 정보의 일례를 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 실시예에서의 판단부에 의한 판단에서 이용되는 조건의 일례를 나타내는 도면이다.
도 14는 본 발명의 실시예에서의 변경 정보에 포함되는 텍스트 정보의 일례를 나타내는 도면이다.
도 15는 본 발명의 실시예에서의 송신처 정보 기억부에 기억되어 있는 송신처 정보의 일례를 나타내는 도면이다.
도 16은 본 발명의 실시예에서의 전자 메일로 송신되는 변경 정보의 일례를 나타내는 도면이다.
도 17은 본 발명의 실시예에서의 장치 식별 정보와 어드레스와의 대응의 일례를 나타내는 도면이다.
도 18은 본 발명의 실시예에서의 변경 정보의 표시의 일례를 나타내는 도면이다.
도 19는 본 발명의 실시예에서의 송신처 정보 기억부에 기억되어 있는 송신처 정보의 일례를 나타내는 도면이다.
도 20은 본 발명의 실시예에서의 송신처 정보 기억부에 기억되어 있는 송신처 정보의 일례를 나타내는 도면이다.
도 21은 본 발명의 실시예에서의 전자 메일로 송신되는 변경 정보의 일례를 나타내는 도면이다.
도 22는 본 발명의 실시예 2에 의한 군 관리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 23은 본 발명의 실시예에 의한 서버 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 24는 본 발명의 실시예에 의한 서버 장치의 동작을 나타내는 순서도이다.
도 25는 본 발명의 실시예 3에 의한 군 관리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 26은 본 발명의 실시예에 의한 서버 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 27은 본 발명의 실시예에 의한 서버 장치의 동작을 나타내는 순서도이다.
이하, 본 발명에 의한 군 관리 시스템에 대하여 실시예를 이용하여 설명한다. 또한, 이하의 실시예에서 동일한 부호를 붙인 구성 요소 및 단계는 동일하거나 상당한 것이므로, 재설명을 생략하는 경우가 있다.
(실시예 1)
본 발명의 실시예 1에 의한 군 관리 시스템에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 본 실시예에 의한 군 관리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 1에서, 본 실시예에 의한 군 관리 시스템은 클라이언트 장치(10)와, 서버 장치(20)와, N 개의 제조 장치(40)를 구비한다. 여기서, N은 1 이상의 정수이다. 군 관리 시스템에서, 클라이언트 장치(10), 서버 장치(20), 하나 이상의 제조 장치(40)는 유선 또는 무선의 통신 회선을 통하여 서로 통신 가능하게 접속되어 있다. 그 통신 회선은, 예를 들면, 인터넷 또는 인트라넷, 공중 전화 회선망 등이다.
클라이언트 장치(10)는 서버 장치(20) 및 제조 장치(40)와 통신 가능한 단말 장치이다. 클라이언트 장치(10)의 유저는, 예를 들면, 제조 장치(40)에서 유지되어 있는 레시피의 내용을 변경할 수 있다. 또한, 레시피는 엄밀하게는 레시피를 나타내는 정보이지만, 본 실시예에서는 단순히 레시피라고 부르기로 한다. 또한, 본 실시예에서는, 군 관리 시스템에서, 클라이언트 장치(10)가 1 개만 존재하는 경우에 대하여 설명하지만, 군 관리 시스템은 2 개 이상의 클라이언트 장치(10)를 구비해도 좋다.
서버 장치(20)는 제조 장치(40)가 유지하고 있는 레시피가 변경된 경우에, 그 변경 후의 레시피를 수신하고, 그 레시피의 수신에 응답하여 변경 정보를 송신한다. 이 처리의 상세에 대해서는 후술한다. 또한, 서버 장치(20)는 하나 이상의 제조 장치(40)에서의 각종 측정 정보를 저장할 수 있다. 또한, 서버 장치(20)는 클라이언트 장치(10)로부터의 요구에 응답하여 처리를 실행하여, 그 처리 결과를 적 절하게 클라이언트 장치(10)로 송신해도 좋다.
제조 장치(40)는 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 장치이다. 제조 장치(40)는, 예를 들면, 반도체 제조 장치 또는 액정 패널 제조 장치, 플라즈마 표시 패널 제조 장치 등이다. 피처리 기판은, 예를 들면, 반도체 웨이퍼 또는 FPD(Flat Panel Display) 기판 등이다. FPD 기판은, 예를 들면, 유리 기판 등이다. 또한, 제조 장치(40)가 실행하는 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스는, 적어도 반도체에 관한 프로세스를 포함하는 것이라면, 그 전공정 또는 후공정 등을 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다. 제조 장치(40)가 피처리 기판에 대하여 행하는 처리는, 예를 들면, 성막 처리, 에칭 처리, 열산화 처리 등이여도 좋다.
제조 장치(40)는, 예를 들면, 상술한 특허 문헌 2 또는 특허 문헌 3 등에서의 배치(batch)식 종형 열처리 장치이다. 제조 장치(40)의 예를 도 2에 나타낸다. 제조 장치(40)는 로딩실로서, 그 밖의 실(室)에 대하여 밀폐가 가능하게 이루어지고, 불활성 분위기로서 N2 가스가 공급·진공 배기 가능하게 이루어진 이른바 로드록실 구조로 이루어진 장치이다. 제조 장치(40)는, 피처리체인 웨이퍼(W)에 소정의 처리를 실시하는 처리실인 프로세스 튜브(a)와, 이 프로세스 튜브(a)에 대해 다수 매, 예를 들면 100 매의 웨이퍼(W)를 수납한 유지체로서의 웨이퍼 보트(f)를 삽탈하는 이송 기구(g)를 구비한 로딩실로서의 로드록실(h)과, 이 로드록실(h)에 대해 웨이퍼(W)를 반출입하는 반출입실(ab)과, 이 반출입실(ab)에 형성된 카세트 수용 용기용 포트(ac)와, 이 포트(ac)에 재치된 카세트 수용 용기(ad)를 반출입실(ab) 내로 운반하는 운반 수단(ae)과, 운반한 카세트 수용 용기(ad)를 일시적으로 보관하는 용기 보관 스테이지(af)와, 카세트 수용 용기(ad) 내에 수용된 카세트(C)를 취출하는 카세트 취출 스테이지(ag)와, 반출입실(ab) 내에서 카세트 수용 용기(ad)의 전달을 행하는 용기 이동 재치 수단(ah)과, 로드록실(h)과 반출입실(ab)과의 사이에 배치되는 웨이퍼 보트(f)를 수용하는 유지체 수용실(ai)로 주요부가 구성되어 있다. 또한, 도 2의 제조 장치(40)의 예에서의 그 밖의 부위 및 동작에 대해서는, 공지 기술(특허 문헌 2 참조)이므로 상세한 설명은 생략한다. 또한, 제조 장치(40)를 구성하는 챔버로서, 특허 문헌 3의 도 1의 챔버가 바람직하다. 또한, 제조 장치(40)는 도 2에 나타내는 것 이외의 것이여도 당연히 좋다. 또한, 제조 장치(40)는, 예를 들면, 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스에 관한 정보인 레시피를 유지하고 있으며, 그 레시피를 이용하여 프로세스 제어 등을 실행한다.
이어서, 본 실시예에 의한 클라이언트 장치(10), 서버 장치(20), 제조 장치(40)의 구성에 대하여 도 3 ~ 도 5의 블록도를 이용하여 설명한다. 또한, 도 3 ~ 도 5의 블록도에서는, 본 실시예에 의한 군 관리 시스템에서 특징적인 부분만을 명기하고 있으며, 그 밖의 부분은 생략하였지만, 클라이언트 장치(10), 서버 장치(20), 제조 장치(40)는 반도체를 갖는 디바이스의 제조에 관한 처리를 실행하는 구성, 예를 들면, 제조 장치(40)에서의 피처리 기판을 반송하는 구성, 또는 제조 장치(40)에서의 제조 공정에서의 온도 또는 압력 등의 정보를 서버 장치(20)로 송신하는 구성 등을 가지고 있어도 좋다.
도 3은 본 실시예에 의한 클라이언트 장치(10)의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 3에서, 본 실시예에 의한 클라이언트 장치(10)는 입력 접수부(11)와, 변경 지시 송신부(12)와, 변경 정보 수신부(13)와, 변경 정보 출력부(14)를 구비한다.
입력 접수부(11)는 입력 디바이스(예를 들면, 키보드 또는 마우스, 터치 패널 등)로부터 입력된 정보를 받아들인다. 입력 접수부(11)는, 예를 들면, 후술하는 변경 지시 송신부(12)가 송신하는 변경 지시의 내용, 그 변경 지시를 송신하라는 취지의 명령, 변경 지시의 송신처를 특정하는 정보 등을 받아들인다. 또한, 입력 접수부(11)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 소정의 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
변경 지시 송신부(12)는 변경 지시를 제조 장치(40)로 송신한다. 이 변경 지시는 제조 장치(40)가 갖는 레시피의 내용을 변경하는 취지의 지시이다. 레시피의 내용을 변경한다는 것은 레시피에서 설정되어 있는 파라미터 등을 변경하는 것이다. 변경 지시 송신부(12)는 변경 지시를 제조 장치(40)로 직접 송신해도 좋고, 또는 소정의 서버 등을 통하여 송신해도 좋다. 또한, 변경 지시 송신부(12)는 통신을 행하기 위한 통신 디바이스(예를 들면, 모뎀 또는 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다(이 경우에는, 변경 지시 송신부(12)와 통신 회선 사이에 도시하지 않은 통신 디바이스가 존재하게 된다). 또한, 변경 지시 송신부(12)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 통신 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
변경 정보 수신부(13)는 변경 정보를 수신한다. 이 변경 정보는 서버 장 치(20)로부터 송신된 것이다. 변경 정보의 상세에 대해서는 후술한다. 또한, 변경 정보 수신부(13)는 수신을 행하기 위한 수신 디바이스(예를 들면, 모뎀 또는 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다(이 경우에는, 변경 정보 수신부(13)와 통신 회선 사이에 도시하지 않은 수신 디바이스가 존재하게 된다). 또한, 변경 정보 수신부(13)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 수신 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
변경 정보 출력부(14)는 변경 정보 수신부(13)가 수신한 변경 정보를 출력한다. 여기서, 이 출력은, 예를 들면, 표시 디바이스(예를 들면, CRT 또는 액정 디스플레이 등)에 표시되어도 좋고, 소정의 기기에 통신 회선을 통하여 송신되어도 좋고, 프린터에 의해 인쇄되어도 좋으며, 스피커에 의해 음성 출력되어도 좋고, 적색 회전등을 동작시켜도 좋다. 본 실시예에서는, 표시 디바이스에 표시되는 것으로 한다. 또한, 변경 정보 출력부(14)는 출력를 행하는 디바이스(예를 들면, 표시 디바이스 또는 프린터 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다. 또한, 변경 정보 출력부(14)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 이들 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
도 4는 본 실시예에 의한 서버 장치(20)의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 4에서, 본 실시예에 의한 서버 장치(20)는 변경 통지 수신부(21)와, 레시피 요구부(22)와, 레시피 수신부(23)와, 레시피 기억부(24)와, 레시피 축적부(25)와, 판단부(26)와, 변경 정보 구성부(27)와, 송신처 정보 기억부(28)와, 송신처 정보 취득부(29)와, 변경 정보 송신부(30)를 구비한다.
변경 통지 수신부(21)는 변경 통지를 수신한다. 여기서, 변경 통지란 제조 장치(40)가 유지하고 있는 레시피의 내용이 변경된 취지를 통지하는 정보이다. 변경 통지는 유지하고 있는 레시피의 내용이 변경된 제조 장치(40)로부터 송신되는 것으로 한다. 변경 통지에 의해, 어느 제조 장치(40)가 유지하고 있는 레시피의 내용이 변경되었는지에 대해 나타나는 것이 바람직하고, 또한 어느 레시피의 내용이 변경되었는지에 대해 나타나는 것이 바람직하다. 예를 들면, 변경 통지의 송신원의 어드레스 등에 의해 내용의 변경이 행하여진 레시피를 유지하고 있는 제조 장치(40)가 특정되어도 좋고, 또는 내용의 변경이 행하여진 레시피를 유지하고 있는 제조 장치(40)를 식별하는 장치 식별 정보가 변경 통지에 포함되어 있어도 좋다. 또한, 예를 들면, 내용이 변경된 레시피를 식별하는 레시피 식별 정보가 변경 통지에 포함되어 있어도 좋다.
또한, 변경 통지 수신부(21)는 수신을 행하기 위한 수신 디바이스(예를 들면, 모뎀 또는 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다(이 경우에는, 변경 통지 수신부(21)와 통신 회선 사이에 도시하지 않은 수신 디바이스가 존재하게 된다). 또한, 변경 통지 수신부(21)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 수신 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
레시피 요구부(22)는, 변경 통지 수신부(21)가 변경 통지를 수신한 경우에, 그 변경 통지에 의해 통지된 레시피의 내용의 변경이 행하여진 제조 장치(40)로, 변경 후의 레시피를 송신하라는 취지의 요구를 송신한다. 여기서, 레시피의 내용의 변경이란, 예를 들면, 레시피에서의 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보의 내용의 변경이여도 좋고, 또는 레시피의 관리에 관한 정보의 내용의 변경이여도 좋다. 레시피에서의 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보는, 예를 들면, 제조 장치(40)의 프로세스에 관한 정보여도 좋고, 제조 장치(40)의 레이아웃에 관한 정보여도 좋으며, 또는 그 밖의 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보여도 좋다. 레시피의 관리에 관한 정보는, 예를 들면, 레시피의 내용 변경의 여부에 관한 정보 등이다. 레시피는 레시피에서의 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보와, 레시피의 관리에 관한 정보의 양쪽 모두를 포함해도 좋다. 또는, 레시피는 레시피에서의 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보를 포함하고, 레시피의 관리에 관한 정보를 포함하지 않아도 좋다. 레시피에서의 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보와, 레시피의 관리에 관한 정보는, 1 개의 파일로 구성되어 있어도 좋고, 또는 별개의 파일이여도 좋다. 레시피 요구부(22)는, 예를 들면, 변경 통지 수신부(21)가 수신한 변경 통지의 송신원의 어드레스로, 레시피를 송신하라는 취지의 요구를 송신한다.
또한, 레시피 요구부(22)는, 송신을 행하기 위한 송신 디바이스(예를 들면, 모뎀 또는 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다(이 경우에는, 레시피 요구부(22)와 통신 회선 사이에 도시하지 않은 송신 디바이스가 존재하게 된다). 또한, 레시피 요구부(22)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 송신 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
레시피 수신부(23)는 레시피 요구부(22)가 송신한 요구에 응답하여 제조 장치(40)로부터 송신된 변경 후의 레시피를 수신한다. 즉, 레시피 수신부(23)는, 제 조 장치(40)의 레시피의 내용이 변경된 경우에, 그 변경 후의 레시피를 수신하게 된다. 또한, 레시피 수신부(23)는 레시피 이외의 정보를 수신하여도 좋다. 예를 들면, 레시피 수신부(23)는 레시피의 내용의 변경이 행하여진 제조 장치(40)를 식별하는 장치 식별 정보를 레시피와 함께 수신해도 좋고, 레시피의 내용의 변경을 행한 유저의 이름 또는 유저 ID 등을 레시피와 함께 수신해도 좋다. 또한, 레시피 수신부(23)는 수신을 행하기 위한 수신 디바이스(예를 들면, 모뎀 또는 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다(이 경우에는, 레시피 수신부(23)와 통신 회선 사이에 도시하지 않은 수신 디바이스가 존재하게 된다). 또한, 레시피 수신부(23)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 수신 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
레시피 기억부(24)에서는, 하나 이상의 제조 장치(40)에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억된다. 레시피 기억부(24)에서는, 제조 장치(40)에서 과거에 이용된 레시피가 기억되어 있어도 좋고, 또는 기억되어 있지 않아도 좋다. 본 실시예에서는, 전자의 경우에 대하여 설명한다. 레시피 기억부(24)에서는, 기억되어 있는 레시피가 어느 제조 장치(40)에 대응하는 것인지를 알 수 있도록, 예를 들면, 레시피와, 제조 장치(40)를 식별하는 정보인 장치 식별 정보가 대응되어 기억되어 있어도 좋다. 레시피 기억부(24)는, 소정의 기록 매체(예를 들면, 반도체 메모리 또는 자기 디스크, 광 디스크 등)에 의해 실현될 수 있다. 레시피 기억부(24)에서의 기억은 레시피의 RAM 등에서의 일시적인 기억이여도 좋고, 또는 장기적인 기억이여도 좋다.
레시피 축적부(25)는 레시피 수신부(23)가 수신한 레시피를 레시피 기억부(24)에 축적한다.
판단부(26)는 변경 정보를 송신할지의 여부를 판단한다. 판단부(26)는 레시피 수신부(23)가 수신한 최신의 레시피에 대하여, 소정의 조건이 충족되는 경우에, 변경 정보를 송신하는 것으로 판단해도 좋다. 그 소정의 조건은, 예를 들면, 레시피 수신부(23)가 수신한 최신의 레시피에 대하여, 변경 정보를 송신하는 것이 설정되어 있는 것도 좋고, 레시피 수신부(23)가 수신한 최신의 레시피에 대하여, 소정의 기간 이상 변경이 이루어져 있지 않는 것도 좋다.
변경 정보 구성부(27)는 레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성한다. 변경 정보 구성부(27)는, 예를 들면, 레시피의 내용이 변경된 취지를 포함하는 변경 정보를 구성해도 좋고, 레시피 수신부(23)가 수신한 최신의 레시피, 즉 변경 후의 레시피를 포함하는 변경 정보를 구성해도 좋으며, 레시피 기억부(24)에 기억되어 있는 변경 전의 레시피와 레시피 수신부(23)가 수신한 변경 후의 레시피와의 차분을 구하여, 그 차분을 포함하는 변경 정보를 구성해도 좋다. 변경 정보에는, 내용이 변경된 레시피를 식별하는 정보가 포함되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 변경 정보에는, 내용이 변경된 레시피를 유지하고 있는 제조 장치(40)를 식별하는 정보가 포함되어 있는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 변경 정보에, 레시피의 내용을 변경한 유저를 특정할 수 있는 정보, 예를 들면, 유저의 이름 또는 유저 ID 등이 포함되어 있어도 좋다. 또한, 변경 정보에, 레시피의 내용 변경이 행하여진 일시를 나타내는 정보가 포함되어 있어도 좋다.
송신처 정보 기억부(28)에서는 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억된다. 이 송신처 정보는 레시피마다 설정되어 있어도 좋고, 레시피가 이용되는 제조 장치(40)마다 설정되어 있어도 좋으며, 그 양쪽 모두가 조합되어도 좋고, 또는 모든 레시피, 제조 장치(40)에 대하여 동일하게 설정되어 있어도 좋다. 또한, 송신처 정보가 나타내는 송신처는 단수여도 좋고 복수여도 좋다. 또한, 송신처 정보가 나타내는 송신처는, 예를 들면, IP 어드레스, 메일 어드레스, 전화 번호 등의 송신처 정보의 송신처의 어드레스 등을 나타내는 정보여도 좋고, 또는 장치 식별 정보 등의 송신처의 장치 등을 특정하는 정보여도 좋다. 후자의 경우에는, 예를 들면, 장치 식별 정보 등과 어드레스를 대응시킨 정보를 이용하여, 장치 식별 정보 등에 대응하는 어드레스를 취득할 수 있는 것으로 한다. 송신처 정보 기억부(28)에서의 기억은, 송신처 정보의 RAM 등에서의 일시적인 기억이여도 좋고, 또는 장기적인 기억이여도 좋다. 전자의 경우에는, 송신처 정보 기억부(28)는, 예를 들면, 서버 장치(20)가 수신한 패킷의 송신원의 어드레스가 일시적으로 기억되어 있는 메모리 등이여도 좋다.
또한, 송신처 정보 기억부(28)에 송신처 정보가 기억되는 과정은 무엇이든 상관없다. 예를 들면, 기록 매체를 통하여 송신처 정보가 송신처 정보 기억부(28)에 기억되도록 되어 있어도 좋고, 통신 회선 등을 통하여 송신된 송신처 정보가 송신처 정보 기억부(28)에 기억되도록 되어 있어도 좋으며, 또는 입력 디바이스를 통하여 입력된 송신처 정보가 송신처 정보 기억부(28)에 기억되도록 되어 있어도 좋다.
송신처 정보 취득부(29)는, 송신처 정보 기억부(28)로부터 송신처 정보를 취득한다. 또한, 예를 들면, 송신처 정보가 레시피마다 설정되어 있는 경우에는, 송신처 정보 취득부(29)는 레시피 수신부(23)가 수신한 최신의 레시피에 대응하는 송신처 정보를 취득한다. 또한, 예를 들면, 송신처 정보가 제조 장치(40)마다 설정되어 있는 경우에는, 송신처 정보 취득부(29)는 레시피 수신부(23)가 수신한 최신의 레시피가 이용되는 제조 장치(40)에 대응하는 송신처 정보를 취득한다.
변경 정보 송신부(30)는 송신처 정보 취득부(29)가 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 변경 정보 구성부(27)가 구성한 변경 정보를 송신한다. 변경 정보 송신부(30)는 판단부(26)에 의한 판단 결과에 따라 변경 정보를 송신한다. 즉, 판단부(26)에 의해 변경 정보를 송신한다고 판단된 경우에는 변경 정보를 송신하고, 판단부(26)에 의해 변경 정보를 송신하지 않는다고 판단된 경우에는, 변경 정보를 송신하지 않아도 된다. 또한, 판단부(26)에 의한 판단 결과에 따른 변경 정보의 송신은 결과적으로 이와 같이 되면 좋다. 따라서, 예를 들면, 변경 정보 송신부(30)는, 변경 정보 구성부(27)가 변경 정보를 구성한 경우에는, 변경 정보를 송신하는 것이므로, 판단부(26)에 의해 변경 정보를 송신한다고 판단된 경우에는, 변경 정보 구성부(27)가 변경 정보를 구성하고, 판단부(26)에 의해 변경 정보를 송신하지 않는다고 판단된 경우에는, 변경 정보 구성부(27)가 변경 정보를 구성하지 않아도 된다. 또한, 예를 들면, 변경 정보 송신부(30)는, 송신처 정보 취득부(29)가 송신처 정보를 취득한 경우에는, 변경 정보를 송신하는 것이므로, 판단부(26)에 의해 변경 정보를 송신한다고 판단된 경우에는, 송신처 정보 취득부(29)가 송신처 정 보를 취득하고, 판단부(26)에 의해 변경 정보를 송신하지 않는다고 판단된 경우에는, 송신처 정보 취득부(29)가 송신처 정보를 취득하지 않아도 된다.
변경 정보 송신부(30)에 의한 변경 정보의 송신은, 예를 들면, 전자 메일에 의한 송신이여도 좋고, FTP에 의한 통신이여도 좋으며, 그 밖의 IP 통신에 의한 송신이여도 좋으며, 자동 FAX 송신 또는 자동 음성에 의한 전화 등이여도 좋다. 또한, 변경 정보 송신부(30)는 변경 정보를 송신처에 직접 송신해도 좋고, 또는 소정의 서버 등을 통하여 송신해도 좋다.
또한, 변경 정보 송신부(30)는 송신을 행하기 위한 송신 디바이스(예를 들면, 모뎀 또는 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다(이 경우에는, 변경 정보 송신부(30)와 통신 회선 사이에 도시하지 않은 송신 디바이스가 존재하게 된다). 또한, 변경 정보 송신부(30)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 송신 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
또한, 레시피 기억부(24)와 송신처 정보 기억부(28)는 동일한 기록 매체에 의해 실현되어도 좋고, 또는 별개의 기록 매체에 의해 실현되어도 좋다. 전자의 경우에는, 레시피를 기억하고 있는 영역이 레시피 기억부(24)가 되고, 송신처 정보를 기억하고 있는 영역이 송신처 정보 기억부(28)가 된다.
도 5는 본 실시예에 의한 제조 장치(40)의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 5에서, 본 실시예에 의한 제조 장치(40)는 레시피 기억부(41)와, 변경 지시 접수부(42)와, 레시피 변경부(43)와, 변경 통지 송신부(44)와, 레시피 요구 수신부(45) 와, 레시피 송신부(46)와, 변경 정보 수신부(47)와, 변경 정보 출력부(48)를 구비한다.
레시피 기억부(41)에서는, 제조 장치(40)에서 이용되는 레시피가 기억된다. 레시피 기억부(41)는 제조 장치(40)에서 이용되고 있던 과거의 레시피를 기억하고 있어도 좋고, 또는 기억하고 있지 않아도 좋다. 레시피 기억부(41)는 소정의 기록 매체(예를 들면, 반도체 메모리 또는 자기 디스크, 광 디스크 등)에 의해 실현될 수 있다. 레시피 기억부(41)에서의 기억은 레시피의 RAM 등에서의 일시적인 기억이여도 좋고, 또는 장기적인 기억이여도 좋다.
변경 지시 접수부(42)는 변경 지시를 받아들인다. 이 변경 지시는 레시피 기억부(41)에 기억되어 있는 레시피의 내용을 변경하라는 취지의 지시이다. 여기서, 이 접수는, 예를 들면, 입력 디바이스(예를 들면, 키보드 또는 마우스, 터치 패널 등)로부터 입력된 변경 지시의 접수여도 좋고, 유선 또는 무선의 통신 회선을 통하여 송신된 변경 지시의 수신이여도 좋으며, 소정의 기록 매체(예를 들면, 광 디스크 또는 자기 디스크, 반도체 메모리 등)로부터 독출된 변경 지시의 접수여도 좋다. 송신된 변경 지시를 수신하는 경우에는, 그 변경 지시는, 예를 들면, 클라이언트 장치(10)로부터 송신된 것이여도 좋고, 다른 장치로부터 송신된 것이여도 좋다. 본 실시예에서는, 변경 지시는 클라이언트 장치(10)로부터 송신되는 것으로 한다. 또한, 변경 지시 접수부(42)는 접수를 행하기 위한 디바이스(예를 들면, 모뎀 또는 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다. 또한, 변경 지시 접수부(42)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 소정의 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
레시피 변경부(43)는 변경 지시 접수부(42)가 받아들인 변경 지시에 따라, 레시피 기억부(41)에 기억되어 있는 레시피의 내용을 변경한다.
변경 통지 송신부(44)는 레시피 변경부(43)가 레시피 기억부(41)에 기억되어 있는 레시피의 내용을 변경한 경우에, 레시피의 내용이 변경된 취지를 통지하는 정보인 변경 통지를 서버 장치(20)로 송신한다. 이 변경 통지에는, 예를 들면, 변경 통지를 송신하는 제조 장치(40)를 식별하는 장치 식별 정보가 포함되어 있어도 좋고, 내용이 변경된 레시피를 식별하는 레시피 식별 정보가 포함되어 있어도 좋다.
또한, 변경 통지 송신부(44)는 송신을 행하기 위한 송신 디바이스(예를 들면, 모뎀 또는 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다(이 경우에는, 변경 통지 송신부(44)와 통신 회선 사이에 도시하지 않은 송신 디바이스가 존재하게 된다). 또한, 변경 통지 송신부(44)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 송신 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
레시피 요구 수신부(45)는 서버 장치(20)로부터 송신된 변경 후의 레시피를 송신하라는 취지의 요구를 수신한다. 또한, 레시피 요구 수신부(45)는 수신을 행하기 위한 수신 디바이스(예를 들면, 모뎀 또는 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다(이 경우에는, 레시피 요구 수신부(45)와 통신 회선 사이에 도시하지 않은 수신 디바이스가 존재하게 된다). 또한, 레시피 요구 수신부(45)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 수신 디바이스를 구동하는 드라 이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
레시피 송신부(46)는, 레시피 요구 수신부(45)가 레시피를 송신하라는 취지의 요구를 수신한 경우에, 레시피 기억부(41)에 기억되어 있는 변경 후의 레시피를 독출하여, 그 레시피를 서버 장치(20)로 송신한다. 또한, 레시피 송신부(46)는 송신을 행하기 위한 송신 디바이스(예를 들면, 모뎀 또는 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다(이 경우에는, 레시피 송신부(46)와 통신 회선 사이에 도시하지 않은 송신 디바이스가 존재하게 된다). 또한, 레시피 송신부(46)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 송신 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
변경 정보 수신부(47)는 서버 장치(20)로부터 송신된 변경 정보를 수신한다. 변경 정보에 대해서는 상술한 바와 같다. 또한, 변경 정보 수신부(47)는 수신을 행하기 위한 수신 디바이스(예를 들면, 모뎀 또는 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다(이 경우에는, 변경 정보 수신부(47)와 통신 회선 사이에 도시하지 않은 수신 디바이스가 존재하게 된다). 또한, 변경 정보 수신부(47)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 수신 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
변경 정보 출력부(48)는, 변경 정보 수신부(47)가 수신한 변경 정보를 출력한다. 여기서, 이 출력은, 예를 들면, 표시 디바이스(예를 들면, CRT 또는 액정 디스플레이 등)에 표시되어도 좋고, 소정의 기기에 통신 회선을 통하여 송신되어도 좋으며, 프린터에 의해 인쇄되어도 좋고, 스피커에 의해 음성 출력되어도 좋고, 적 색 회전등을 동작시켜도 좋다. 본 실시예에서는, 표시 디바이스에 표시되는 것과, 적색 회전등을 동작시키는 것으로 한다. 또한, 변경 정보 출력부(48)는 출력를 행하는 디바이스(예를 들면, 표시 디바이스 또는 프린터 등)를 포함해도 좋고, 또는 포함하지 않아도 좋다. 또한, 변경 정보 출력부(48)는 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 또는 이들 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
이어서, 본 실시예에 의한 클라이언트 장치(10)의 동작에 대하여 도 6의 순서도를 이용하여 설명한다.
(단계 S101) 입력 접수부(11)는 변경 지시의 입력을 받아들였는지의 여부를 판단한다. 그리고, 그 입력을 받아들인 경우에는 단계 S102로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 단계 S103로 진행한다.
(단계 S102) 변경 지시 송신부(12)는 변경 지시를 제조 장치(40)로 송신한다. 그리고, 단계 S101로 되돌아간다.
(단계 S103) 변경 정보 수신부(13)는 변경 정보를 수신했는지의 여부를 판단한다. 그리고, 변경 정보를 수신한 경우에는 단계 S104로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 단계 S101로 되돌아간다.
(단계 S104) 변경 정보 출력부(14)는 변경 정보 수신부(13)가 수신한 변경 정보를 출력한다. 그리고, 단계 S101로 되돌아간다.
또한, 도 6의 순서도에서, 전원 오프 또는 처리 종료의 인터럽트에 의해 처리는 종료된다.
이어서, 본 실시예에 의한 서버 장치(20)의 동작에 대하여 도 7의 순서도를 이용하여 설명한다.
(단계 S201) 변경 통지 수신부(21)는 변경 통지를 수신했는지의 여부를 판단한다. 그리고, 변경 통지를 수신한 경우에는 단계 S202로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 변경 통지를 수신할 때까지 단계 S201의 처리를 반복한다.
(단계 S202) 레시피 요구부(22)는 변경 통지를 송신한 제조 장치(40)에 변경 후의 레시피를 송신하라는 취지의 요구를 송신한다. 예를 들면, 레시피 요구부(22)는 그 요구를 변경 통지의 송신원으로 송신함으로써, 변경 통지를 송신한 제조 장치(40)로 송신할 수 있다.
(단계 S203) 레시피 수신부(23)는 제조 장치(40)로부터 송신된 변경 후의 레시피를 수신했는지의 여부를 판단한다. 그리고, 수신한 경우에는 단계 S204로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 수신할 때까지 단계 S203의 처리를 반복한다. 또한, 변경 후의 레시피를 송신하라는 취지의 요구가 송신되고 나서 일정한 시간이 경과해도, 레시피를 수신하지 않는 경우에는 타임 아웃으로서, 단계 S201로 되돌아가도 좋다.
(단계 S204) 레시피 축적부(25)는 레시피 수신부(23)가 수신한 레시피를 레시피 기억부(24)에 축적한다.
(단계 S205) 판단부(26)는 단계 S203에서 레시피 수신부(23)가 수신한 변경 후의 레시피에 대하여 변경 정보를 송신할지의 여부를 판단한다. 그리고, 변경 정보를 송신한다고 판단한 경우에는 단계 S206로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 단 계 S201로 되돌아간다.
(단계 S206) 변경 정보 구성부(27)는 단계 S203에서 레시피 수신부(23)가 수신한 변경 후의 레시피에 대하여 변경 정보를 구성한다.
(단계 S207) 송신처 정보 취득부(29)는 송신처 정보 기억부(28)로부터 송신처 정보를 취득한다.
(단계 S208) 변경 정보 송신부(30)는, 변경 정보 구성부(27)가 구성한 변경 정보를, 송신처 정보 취득부(29)가 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처로 송신한다. 그리고, 단계 S201로 되돌아간다. 또한, 송신처 정보 취득부(29)가 2 개 이상의 송신처 정보를 취득한 경우에는, 변경 정보 송신부(30)는 각 송신처 정보가 나타내는 각각의 송신처로 변경 정보를 송신해도 좋다.
또한, 도 7의 순서도에서, 전원 오프 또는 처리 종료의 인터럽트에 의해 처리는 종료된다.
이어서, 본 실시예에 의한 제조 장치(40)의 동작에 대하여 도 8의 순서도를 이용하여 설명한다.
(단계 S301) 변경 지시 접수부(42)는 변경 지시를 받아들였는지의 여부를 판단한다. 그리고, 변경 지시를 받아들인 경우에는 단계 S302로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 단계 S304로 진행한다.
(단계 S302) 레시피 변경부(43)는 변경 지시 접수부(42)가 받아들인 변경 지시에 따라, 레시피 기억부(41)에 기억되어 있는 레시피의 내용을 변경한다.
(단계 S303) 변경 통지 송신부(44)는 레시피의 내용이 변경된 취지를 통지하 는 정보인 변경 통지를 서버 장치(20)로 송신한다. 그리고, 단계 S301로 되돌아간다.
(단계 S304) 레시피 요구 수신부(45)는 변경 후의 레시피를 송신하라는 취지의 요구를 수신했는지의 여부를 판단한다. 그리고, 수신한 경우에는 단계 S305로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 단계 S306로 진행한다.
(단계 S305) 레시피 송신부(46)는 레시피 기억부(41)로부터 변경 후의 레시피를 독출하여, 그 레시피를 서버 장치(20)로 송신한다. 그리고, 단계 S301로 되돌아간다.
(단계 S306) 변경 정보 수신부(47)는 변경 정보를 수신했는지의 여부를 판단한다. 그리고, 변경 정보를 수신한 경우에는 단계 S307로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 단계 S301로 되돌아간다.
(단계 S307) 변경 정보 출력부(48)는 변경 정보 수신부(47)가 수신한 변경 정보를 출력한다. 그리고, 단계 S301로 되돌아간다.
또한, 도 8의 순서도에서, 전원 오프 또는 처리 종료의 인터럽트에 의해 처리는 종료된다. 또한, 변경 지시에 따라 레시피의 내용을 변경할 때에, 그 변경 지시를 입력한 유저 또는 변경 지시를 송신한 유저의 권한에 따라, 그 변경 지시에 따른 레시피의 내용의 변경을 행할 수 있는지의 여부에 대해 판단하며, 레시피의 내용의 변경을 행할 수 있다고 판단된 경우에, 레시피의 내용의 변경을 행하여도 좋다.
이어서, 본 실시예에 의한 군 관리 시스템의 동작에 대하여, 구체예를 이용 하여 설명한다.
이 구체예에서는, 각 제조 장치(40)가 장치 식별 정보에 의해 식별되어 있는 것으로 한다. 그리고, 장치 식별 정보 「D001」로 식별되는 제조 장치(40)의 레시피 기억부(41)에서, 도 9에 나타내는 레시피가 최신의 레시피로서 기억되어 있는 것으로 한다. 도 9에서 나타내는 레시피는, 레시피 식별 정보 「R001」로 식별되는 것이며, 레시피의 버전을 나타내는 레시피 버전이 「111」이다. 이 레시피 버전은 새로운 것일수록, 값이 커지는 것으로 한다. 또한, 레시피 식별 정보 「R001」로 식별되는 레시피를 레시피 R001이라고 부르는 경우도 있다. 다른 레시피에 대해서도 마찬가지로 한다.
또한, 도 9에 나타내는 레시피는 헤더와 바디를 갖는다. 헤더에는 레시피의 관리에 관한 정보가 포함되어 있다. 구체적으로는, 헤더는 레시피의 갱신이 가능한지의 여부를 나타내는 정보와, 레시피를 갱신할 수 있는 레벨에 관한 정보를 포함한다. 이 헤더에 의해, 갱신 가능 레벨이 3 이상인 유저가, 변경 지시를 입력하거나 변경 지시를 송신한 경우에, 레시피 변경부(43)는 그 변경 지시에 따른 레시피의 내용의 변경을 행하는 것이 나타나 있다.
바디에는 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보가 포함된다. 이 정보는, 예를 들면, 제조 장치(40)의 프로세스에 관한 정보여도 좋고, 제조 장치(40)의 레이아웃에 관한 정보여도 좋으며, 또는 그 밖의 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보여도 좋다. 이 구체예에서는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 레시피의 바디에 프로세스에 관한 정보가 포함되어 있는 것으로 한다.
우선, 클라이언트 장치(10)의 유저로서, 3 이상의 갱신 가능 레벨이 설정되어 있는 유저가, 클라이언트 장치(10)에 접속되어 있는 입력 디바이스를 조작하여, 장치 식별 정보 「D001」로 식별되는 제조 장치(40)의 레시피 R001의 단계 2의 처리 시간을 「T20」으로 변경하고, 단계 3의 프로세스 가스를 「C」로 변경하는 취지의 변경 지시를 입력했다고 한다. 그러면, 그 변경 지시는 입력 접수부(11)에서 받아들여져(단계 S101), 변경 지시 송신부(12)에 전달된다. 변경 지시 송신부(12)는 입력 접수부(11)로부터 수취한 변경 지시와, 클라이언트 장치(10)에서 유지되고 있는, 그 조작을 행하고 있는 유저의 갱신 가능 레벨을 장치 식별 정보 「D001」로 식별되는 제조 장치(40)로 송신한다(단계 S102).
그 변경 지시 등은 통신 회선을 통하여 송신되어, 장치 식별 정보 「D001」로 식별되는 제조 장치(40)의 변경 지시 접수부(42)에서 수신된다(단계 S301). 그러면, 레시피 변경부(43)는, 레시피 기억부(41)를 참조하여, 변경 지시로 변경의 대상이 되어 있는 레시피 R001가 갱신 가능하고, 갱신 가능 레벨이 3인 것을 취득한다. 그리고, 변경 지시 접수부(42)가, 3 이상의 레벨인 갱신 가능 레벨을 수신하고 있기 때문에, 레시피 변경부(43)는 변경 지시에 따라 레시피 R001를 갱신 가능하다고 판단하여, 레시피 R001를 변경 지시에 따라 갱신하고, 레시피 버전을 1만큼 인크리먼트한다(단계 S302). 그 결과, 레시피 기억부(41)에 의해 기억되어 있는 레시피는 도 10에 나타내는 바와 같이 된다.
그 후, 변경 통지 송신부(44)는, 레시피 변경부(43)가 내용을 변경한 레시피의 레시피 식별 정보 「R001」와, 제조 장치(40)의 장치 식별 정보 「D001」와, 레 시피가 변경된 취지를 포함하는 변경 통지를 구성하여, 그 변경 통지를 서버 장치(20)로 송신한다(단계 S303). 변경 통지 송신부(44)는 변경 통지를 송신하는 시점에 서버 장치(20)의 어드레스를 알고 있는 것으로 한다.
그 변경 통지는 통신 회선을 통하여 송신되어, 서버 장치(20)의 변경 통지 수신부(21)에서 수신된다(단계 S201). 그러면, 레시피 요구부(22)는 변경 후의 레시피를 송신하라는 취지의 요구를 제조 장치(40)로 송신한다(단계 S202). 그 요구의 송신처는 변경 통지 수신부(21)가 수신한 변경 통지의 송신원의 어드레스이다.
그 요구는 통신 회선을 통하여 송신되어, 장치 식별 정보 「D001」로 식별되는 제조 장치(40)의 레시피 요구 수신부(45)에서 수신된다(단계 S304). 그러면, 레시피 송신부(46)는 레시피 기억부(41)에 기억되어 있는 변경 후의 레시피, 즉 도 10에서 나타내는 레시피를 독출하여, 서버 장치(20)로 송신한다(단계 S305). 또한, 이 레시피와 함께, 제조 장치(40)의 장치 식별 정보 「D001」도 송신되는 것으로 한다.
그 레시피 등은 통신 회선을 통하여 송신되어, 서버 장치(20)의 레시피 수신부(23)에서 수신된다(단계 S203). 그리고, 레시피 축적부(25)는 그 레시피를 장치 식별 정보 「D001」에 대응시켜 레시피 기억부(41)에 축적한다(단계 S204). 도 11은 그와 같이 하여 축적된 장치 식별 정보 「D001」로 식별되는 제조 장치(40)의 레시피를 나타내는 도면이다.
또한, 레시피 기억부(24)에서는 레시피뿐만 아니라, 레시피 관리 정보도 기억되어 있는 것으로 한다. 레시피 관리 정보는 제조 장치(40)와, 레시피와, 레시피 버전과, 레시피가 변경된 일시를 대응시키는 정보로 한다. 도 12는 레시피 기억부(24)에 기억되어 있는 레시피 관리 정보의 일례를 나타내는 도면이다. 도 12의 첫번째의 레코드에서 나타내는 바와 같이, 레시피 축적부(25)는 레시피 수신부(23)가 수신한 장치 식별 정보 「D001」와, 레시피 수신부(23)가 수신한 레시피의 레시피 식별 정보 「R001」와, 레시피 버전 「112」과, 레시피의 내용의 변경이 행하여진 일시 「2006년 9월 15일 오전 11시 0분」를 축적한다. 또한, 레시피의 내용의 변경이 행하여진 일시는, 레시피 수신부(23)가 변경 후의 레시피를 수신한 일시여도 좋고, 제조 장치(40)에서 레시피가 변경된 일시가 제조 장치(40)로부터 송신된 경우에는, 그 일시여도 좋으며, 또는 레시피의 내용의 변경에 관한 그 밖의 일시여도 좋다.
판단부(26)는, 소정의 레시피의 내용의 변경이 이루어진 경우에, 변경 정보를 송신한다고 판단하는 것으로 한다. 도 13은 판단부(26)가 도시하지 않은 기록 매체에서 유지하고 있는 변경 정보를 송신하는 레시피 식별 정보인 것으로 한다. 이 구체예에서는, 레시피 R001가 변경되었기 때문에, 판단부(26)는 도 13에서 나타내는 정보를 참조하여, 변경 정보를 송신한다고 판단한다(단계 S205). 그리고, 판단부(26)는 그 레시피 식별 정보 「R001」를 송신처 정보 취득부(29)에 전달하며, 레시피 기억부(24)로부터 레시피 R001의 최신 버전을 독출하여, 그 레시피 R001와, 레시피의 내용의 변경이 행하여진 제조 장치(40)의 장치 식별 정보 「D001」와, 그 레시피의 레시피 식별 정보 「R001」를 변경 정보 구성부(27)로 전달한다.
변경 정보 구성부(27)는 장치 식별 정보 등을 이용하여 도 14에서 나타내는 텍스트 정보를 작성한다. 이 텍스트 정보는 변경 정보 구성부(27)가 도시하지 않은 기록 매체에서 유지하고 있는 템플릿 등을 이용하여 작성되어도 좋다. 또한, 변경 정보 구성부(27)는 그 텍스트 정보와 레시피 R001를 포함하는 변경 정보를 구성하여(단계 S206), 그 구성한 변경 정보를 변경 정보 송신부(30)에 전달한다.
한편, 송신처 정보 기억부(28)에서는, 도 15에서 나타내는 바와 같이, 레시피 식별 정보와 송신처 정보가 대응되어 유지되고 있다. 그리고, 송신처 정보 취득부(29)는 판단부(26)로부터 수취한 레시피 식별 정보 「R001」에 대응되어 있는 송신처 정보 「user001＠tel...com」, 「C001」, 「레시피가 있는 제조 장치」를 취득한다(단계 S207). 또한, 송신처 정보 「레시피가 있는 제조 장치」를 취득했기 때문에, 송신처 정보 취득부(29)는 판단부(26)에 문의하여 레시피의 내용이 변경된 제조 장치(40)의 장치 식별 정보 「D001」를 송신처 정보로서 취득한다. 그리고, 송신처 정보 취득부(29)는 송신처 정보 「user001＠tel...com」, 「C001」, 「D001」를 변경 정보 송신부(30)에 전달한다.
변경 정보 송신부(30)는 송신처 정보 「user001＠tel...com」, 「C001」, 「D001」를 수취하면, 그 1 번째의 송신처 정보에 대하여, 도 16에 나타내는 전자 메일을 구성하여 송신한다. 이 전자 메일에서, 송신처의 어드레스는 송신처 정보가 나타내는 전자 메일 어드레스이다. 또한, 송신원의 어드레스는 사전에 변경 정보 송신부(30)에서 설정되어 있는 것으로 한다. 또한, 전자 메일의 건명(件名)은 변경 정보 구성부(27)가 구성한 변경 정보에 포함되는 텍스트 정보의 1 행째의 문장을 사용하도록 사전에 설정되어 있는 것으로 한다.
또한, 변경 정보 송신부(30)는 도시하지 않은 기록 매체에서 도 17에서 나타내는 장치 식별 정보와 어드레스를 대응시킨 정보를 유지하고 있고, 그 정보를 이용하여 송신처 정보 「C001」, 「D001」에 대응하는 어드레스를 취득한다. 그리고, 그 각 어드레스를 송신처로 하여, 도 14의 텍스트 정보와, 레시피 R001를 포함하는 변경 정보를 송신한다. 이와 같이 하여, 변경 정보 송신부(30)에 의한 변경 정보의 송신이 행하여진다(단계 S208).
또한, 전자 메일을 수신하는 처리는 이미 알려져 있으므로, 도 16에서 나타내는 전자 메일을, 전자 메일 어드레스 「user001＠tel...com」에 대응하는 유저가 정보 단말기 등에 의해 수신하는 처리의 설명을 생략한다. 또한, 그 유저는 도 16에서 나타내는 전자 메일을 봄으로써 레시피의 내용이 변경된 것을 알 수 있다. 그리고, 그 레시피의 내용의 변경이 적절하지 않으면, 그 유저는, 예를 들면, 클라이언트 장치(10) 등으로부터 변경 지시를 제조 장치(40)로 송신함으로써, 변경 내용을 원래대로 되돌릴 수 있다.
도 1의 군 관리 시스템에서의 클라이언트 장치(10)의 장치 식별 정보가 「C001」이었다고 한다. 그러면, 서버 장치(20)로부터 송신된 변경 정보는 클라이언트 장치(10)의 변경 정보 수신부(13)에서 수신된다(단계 S103). 그리고, 그 클라이언트 장치(10)에 접속되어 있는 디스플레이에, 도 18에서 나타내는 레시피의 내용의 변경을 통지하는 취지의 정보가 표시된다(단계 S104). 이 표시에서, 유저가, 마우스를 조작함으로써, 레시피 R001의 아이콘을 클릭하면, 레시피 R001의 레시피 버전(112)의 내용이 디스플레이에 표시되는 것으로 한다. 이 표시를 클라이언트 장 치(10)의 유저가 봄으로써, 레시피의 내용의 변경에 관한 유저에게의 주의 환기가 행해지게 된다. 만약, 그 레시피의 내용의 변경이 적절하지 않으면, 유저는, 클라이언트 장치(10)로부터 다시, 변경 지시를 제조 장치(40)로 송신함으로써, 변경 내용을 원래대로 되돌릴 수 있다.
서버 장치(20)로부터 장치 식별 정보 「D001」로 식별되는 제조 장치(40)로 송신된 변경 정보는, 제조 장치(40)의 변경 정보 수신부(47)에서 수신된다(단계 S306). 그리고, 디스플레이에 도 18과 동일한 표시가 이루어지고, 또한 적색 회전등이 작동함으로써, 레시피의 내용의 변경에 관한 제조 장치(40)의 유저에게의 주의 환기가 행해지게 된다(단계 S307). 만약, 그 레시피의 내용의 변경이 적절하지 않으면, 유저는 제조 장치(40)에 접속되어 있는 입력 디바이스 등을 조작함으로써, 변경 내용을 원래대로 되돌릴 수 있다.
또한, 이 구체예에서는, 송신처 정보 기억부(28)에서 레시피 식별 정보마다 송신처 정보가 설정되어 있는 경우에 대하여 설명하였지만, 송신처 정보 기억부(28)에 기억되어 있는 송신처 정보는 이에 한정되지 않는다. 송신처 정보 기억부(28)에서, 예를 들면, 도 19에서 나타내는 바와 같이, 제조 장치(40)의 장치 식별 정보마다 송신처 정보가 설정되어 있어도 좋고, 도 20에서 나타내는 바와 같이, 레시피 식별 정보 및 장치 식별 정보마다 송신처 정보가 설정되어 있어도 좋으며, 또는 레시피 식별 정보 또는 장치 식별 정보에 대응되지 않고서 송신처 정보가 설정되어 있어도 좋다. 또한, 송신처 정보가 장치 식별 정보마다 설정되어 있는 경우에는, 예를 들면, 변경 후의 레시피와 함께 송신된, 레시피의 내용이 변경된 제조 장치(40)를 식별하는 장치 식별 정보를 이용하여, 송신처 정보 취득부(29)가 송신처 정보를 취득해도 좋다.
또한, 이 구체예에서는 송신처 정보가 전자 메일 어드레스 또는 장치 식별 정보인 경우에 대하여 설명하였지만, 송신처 정보는 IP 어드레스 또는 전화 번호, IEEE1394의 어드레스 등이여도 좋다. 또한, 송신처 정보는 「모든 장치」여도 좋다. 그 경우에는, 변경 정보 송신부(30)는 브로드캐스트에 의해 통신 회선에 접속되어 있는 모든 장치에 변경 정보를 송신해도 좋다.
또한, 이 구체예에서는, 변경 정보에 변경 후의 레시피가 포함되는 경우에 대하여 설명하였지만, 변경 정보에는 변경 후의 레시피와 변경 전의 레시피와의 차분이 포함되어도 좋고, 또는 레시피가 변경된 취지만이 포함되어도 좋다. 레시피의 차분을 포함하는 변경 정보가 전자 메일로 송신되는 경우에는, 예를 들면, 도 21에서 나타내는 전자 메일이 송신되어도 좋다.
또한, 이 구체예에서는, 도 13에서 나타내는 바와 같이, 변경 정보를 송신하는 레시피가 사전에 설정되어 있으며, 그 설정에 따라 판단부(26)가 변경 정보를 송신할지의 여부의 판단를 행하는 경우에 대하여 설명하였지만, 판단부(26)는 이 이외의 판단을 행하여도 좋다. 예를 들면, 레시피의 내용의 변경 전에 소정의 기간(예를 들면, 3 개월 등) 이상 변경이 이루어지지 않은 경우에는, 판단부(26)가 변경 정보를 송신한다고 판단하고, 그 이외의 경우에는, 판단부(26)는 변경 정보를 송신하지 않는다고 판단해도 좋다. 예를 들면, 소정의 기간이 3 개월인 설정에 있어서, 레시피 R001가 변경된 경우에는, 판단부(26)는, 예를 들면, 도 12에서 나타 내는 레시피 관리 정보를 참조하여, 레시피 R001의 변경 간격이 3 개월 이상이므로, 변경 정보를 송신한다고 판단해도 좋다. 또한, 레시피 관리 정보에서, 예를 들면, 레시피가 변경없이 사용되고 있는 기간을 나타내는 연속 사용 기간이 유지되고 있는 경우에는, 판단부(26)는 그 연속 사용 기간이 소정의 기간 이상인지의 여부를 판단함으로써, 레시피의 내용의 변경 전에 소정의 기간 이상 변경이 이루어지지 않는지의 여부를 판단해도 좋다. 이와 같이 함으로써, 안정적으로 장기간 이용되고 있는 레시피가 변경된 경우에, 변경 정보를 송신함으로써 그 취지의 주의를 환기시킬 수 있다. 한편, 시행 착오에 의해 최적의 레시피를 발견하고자 하는 경우에, 빈번하게 레시피가 변경되었다고 하더라도 변경 정보를 송신하지 않음으로써, 필요성이 낮은 변경 정보가 송신되는 것을 방지할 수 있고, 또한 필요성이 높은 변경 정보가 필요성이 낮은 변경 정보에 묻히게 되는 사태를 피할 수 있다. 또한, 이 경우에는, 변경 정보에, 레시피가 변경없이 연속하여 사용되고 있던 기간을 나타내는 정보를 포함하여도 좋다. 그와 같이 함으로써, 변경 정보를 본 유저는, 어느 정도의 기간동안 안정적으로 레시피가 이용되고 있는지를 즉시 알 수 있으므로, 레시피의 내용의 변경이 타당한지의 여부의 판단을 보다 용이하게 할 수 있다.
또한, 판단부(26)는, 예를 들면, 소정의 폴더에 저장되어 있는 레시피의 내용의 변경이 행하여진 경우에는, 변경 정보를 송신한다고 판단하고, 그 이외의 레시피의 내용의 변경이 행하여진 경우에는, 변경 정보를 송신하지 않는다고 판단해도 좋다. 또한, 판단부(26)는, 예를 들면, 소정의 제조 장치(40)에서 레시피의 내용의 변경이 행하여진 경우에는, 변경 정보를 송신한다고 판단하고, 그 이외의 제 조 장치(40)에서 레시피의 내용의 변경이 행하여진 경우에는, 변경 정보를 송신하지 않는다고 판단해도 좋다.
소정의 조건이 충족되는지의 여부에 따라, 변경 정보를 송신할지의 여부를 판단부(26)가 판단하는 경우에, 그 소정의 조건은, 판단부(26)가 액세스 가능한 기록 매체에서 유지되고 있어도 좋다. 그 기록 매체는, 예를 들면, 판단부(26)가 가져도 좋다.
이상의 같이, 본 실시예에 의한 군 관리 시스템에 의하면, 제조 장치(40)가 유지하고 있는 레시피의 내용이 변경된 경우에, 그 변경에 관한 변경 정보를 송신할 수 있다. 그리고, 그 변경 정보에 의해, 유저는 레시피의 내용이 변경된 것을 알 수 있으므로, 그 변경의 타당성을 판단할 수 있다. 그 판단의 결과, 그 변경이 타당하지 않은 경우에는, 레시피의 내용을 원래대로 되돌리거나, 또는 다른 내용으로 변경할 수 있다. 이와 같이 하여, 부주의한 레시피의 내용의 변경을 방지할 수 있으므로, 부주의한 레시피의 내용의 변경에 기인하는 로트 아웃 등의 발생을 피할 수 있다.
또한, 판단부(26)의 판단 결과에 따라 변경 정보를 송신함으로써, 변경 정보를 송신할 필요성이 없는 경우, 또는 필요성이 낮은 경우에 변경 정보를 송신하는 사태를 피할 수 있다.
또한, 변경 정보에 변경 후의 레시피 또는 레시피의 차분(差分)이 포함되어 있는 경우에는, 유저는 그 변경 정보에 의해 레시피의 변경의 내용을 알 수 있으므로, 서버 장치(20) 또는 제조 장치(40)에 액세스함으로써 레시피의 변경 내용을 취 득하는 작업을 행하지 않아도 좋아지므로, 유저의 편리성이 향상된다.
(실시예 2)
본 발명의 실시예 2에 의한 군 관리 시스템에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 본 실시예에 의한 군 관리 시스템은, 서버 장치에서, 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피와, 그 직전의 레시피와의 이동(異同)에 관한 정보인 이동 정보를 취득하고, 그 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에 변경 정보를 송신하는 것이다.
도 22는 본 실시예에 의한 군 관리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 22에서, 본 실시예에 의한 군 관리 시스템은 클라이언트 장치(10)와, 서버 장치(50)와, N 개의 제조 장치(40)를 구비한다. 여기서, N은 1 이상의 정수이다. 서버 장치(50) 이외의 구성 및 동작은 실시예 1과 동일하므로, 그 설명을 생략한다.
도 23은 본 실시예에 의한 서버 장치(50)의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 23에서, 본 실시예에 의한 서버 장치(50)는 변경 통지 수신부(21)와, 레시피 요구부(22)와, 레시피 수신부(23)와, 레시피 기억부(24)와, 레시피 축적부(25)와, 판단부(26)와, 변경 정보 구성부(27)와, 송신처 정보 기억부(28)와, 송신처 정보 취득부(29)와, 변경 정보 송신부(30)와, 이동(異同) 정보 취득부(51)를 구비한다. 또한, 이동 정보 취득부(51) 이외의 구성 및 동작은, 변경 정보 송신부(30)가, 이동 정보 취득부(51)가 취득한 이동 정보에 의해, 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에 변경 정보를 송신하고, 이동 정보에 의해, 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 없는 것이 나타나는 경우에 변경 정보를 송신 하지 않는 것 이외에는, 실시예 1과 동일하므로, 그 설명을 생략한다.
여기서, 이동(異同) 정보에 의해, 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 없는 것이 나타나는 경우에는, 결과적으로 변경 정보 송신부(30)가 변경 정보를 송신하지 않으면 된다. 예를 들면, 이동 정보에 의해, 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 없는 것이 나타나는 경우에, 변경 정보 구성부(27)가 변경 정보를 구성하지 않거나, 또는 송신처 정보 취득부(29)가 송신처 정보를 취득하지 않음으로써, 변경 정보 송신부(30)가 변경 정보를 송신하지 않아도 되고, 또는 변경 정보 구성부(27)가 변경 정보를 구성하고, 송신처 정보 취득부(29)가 송신처 정보를 취득하고 있음에도 불구하고, 그 변경 정보를 변경 정보 송신부(30)가 송신하지 않아도 된다. 본 실시예에서는, 이동 정보에 의해, 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 없는 것이 나타나는 경우에는, 판단부(26)에 의한 판단을 행하지 않음으로써, 변경 정보의 구성 또는 송신처 정보의 취득이 행하여지지 않고, 변경 정보가 송신되지 않는 경우에 대하여 설명한다. 또한, 이동 정보에 의해, 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우라 하더라도, 다른 이유에 의해 변경 정보가 송신되지 않는 경우도 있을 수 있다. 예를 들면, 실시예 1에서 설명한 판단부(26)에 의한 판단에 의해, 변경 정보를 송신하지 않는다고 판단된 경우에는, 변경 정보는 송신되지 않는다.
또한, 본 실시예에서는, 레시피 수신부(23)가 수신하는 레시피는, 레시피의 내용이 변경된 제조 장치(40)의 레시피여도 좋고, 레시피의 내용이 변경되지 않은 제조 장치(40)의 레시피여도 좋다.
이동(異同) 정보 취득부(51)는 레시피 수신부(23)가 수신한 최신 레시피와, 그 최신 레시피가 이용되는 제조 장치(40)의 레시피이고, 레시피 기억부(24)에 기억되어 있는 레시피를 비교하여, 양쪽 레시피의 이동에 관한 정보인 이동 정보를 취득한다. 여기서, 비교의 대상이 되는 레시피 기억부(24)에 기억되어 있는 레시피는 레시피 수신부(23)가 수신한 최신의 레시피에 가장 가까운 시기의 레시피이다. 따라서, 이동 정보 취득부(51)는 최신의 레시피와, 그 최신의 레시피 직전의 레시피를 비교하게 된다. 또한, 이동 정보는, 예를 들면, 양쪽 레시피의 이동을 나타내는 정보를 포함해도 좋고, 양쪽 레시피에 차이가 존재하는 경우에, 그 차분을 나타내는 정보를 포함해도 좋다.
또한, 이동 정보 취득부(51)는 양쪽 레시피의 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보를 비교하여, 그 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보의 이동에 관한 이동 정보를 취득해도 좋다. 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보란, 예를 들면, 실시예 1에서 설명한 레시피의 바디여도 좋다. 레시피의 바디에는 일반적으로 단계가 포함되어 있으므로, 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보는 레시피에 포함되는 단계이며, 이동 정보 취득부(51)는 양쪽 레시피에 포함되는 단계마다 비교하여, 단계마다의 이동을 나타내는 이동 정보를 취득해도 좋다.
또한, 이동(異同) 정보 취득부(51)는 양쪽 레시피의 관리에 관한 정보를 비교하여, 그 레시피의 관리에 관한 정보의 이동에 관한 이동 정보를 취득해도 좋다. 관리에 관한 정보란, 예를 들면, 실시예 1에서 설명한 레시피의 헤더여도 좋다.
이동 정보 취득부(51)가 취득하는 이동 정보가 양쪽 레시피의 이동을 나타내 는 정보인 경우에는, 그 이동 정보는, 예를 들면, 양쪽 레시피의 이동을 나타내는 그래프를 갖는 정보여도 좋고, 이동 정보가 양쪽 레시피의 차분을 나타내는 정보인 경우에는, 그 이동 정보는, 예를 들면, 도 21에서 나타내는 변경 정보에서의 마지막 2 행과 같은 정보여도 좋다. 2 개의 정보의 차분을 작성하는 방법은 이미 알려져 있으므로, 그 설명을 생략한다.
또한, 변경 정보 구성부(27)는 이동 정보 취득부(51)가 취득한 이동 정보를 포함하는 변경 정보를 구성해도 좋다.
도 24는 본 실시예에 의한 서버 장치(50)의 동작을 나타내는 순서도이다. 또한, 단계 S401, S402 이외의 처리는 실시예 1에서의 도 7의 순서도의 각 처리와 동일하므로, 그 설명을 생략한다.
(단계 S401) 이동 정보 취득부(51)는 레시피 수신부(23)가 수신한 최신의 레시피, 즉 레시피 기억부(24)에 기억되어 있는 최신의 레시피와, 그 최신의 레시피가 이용되는 제조 장치(40)의 레시피이며, 레시피 기억부(24)에 기억되어 있는 직전의 레시피를 비교한다. 그리고, 이동 정보 취득부(51)는 그 양쪽 레시피의 이동에 관한 정보인 이동 정보를 취득한다.
(단계 S402) 판단부(26)는 이동(異同) 정보에 의해 양쪽 레시피에 차이가 존재하는 것이 나타나 있는지의 여부를 판단한다. 그리고, 차이가 존재하는 것이 나타나 있는 경우에는 단계 S205로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 단계 S201로 되돌아간다.
또한, 본 실시예에서는, 이동 정보에 의해 양쪽 레시피에 차이가 존재하는 것이 나타나 있는지의 여부의 판단을 판단부(26)가 행하는 경우에 대하여 설명하였지만, 전술한 바와 같이, 차이가 존재하지 않는 경우에, 결과적으로 변경 정보가 송신되지 않는다면, 다른 구성 요소가 판단해도 좋다. 예를 들면, 변경 정보 송신부(30)가 그 판단을 행하여도 좋다.
또한, 본 실시예에 의한 군 관리 시스템의 구체적인 동작 등은, 레시피에 대한 이동 정보를 취득하여, 그 이동 정보의 내용에 따라 변경 정보를 송신하는 것 이외에는, 실시예 1과 동일하므로, 그 설명을 생략한다.
이상과 같이, 본 실시예에 의한 군 관리 시스템에서는, 실시예 1과 동일한 효과에 부가하여, 취득한 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 없는 것이 나타나는 경우에는, 변경 정보를 송신하지 않기 때문에, 레시피의 내용이 변경된 경우에만 변경 정보를 송신할 수 있다. 그 결과, 무의미한 변경 정보의 송신을 피할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 서버 장치(50)가 변경 통지의 수신에 따라 레시피의 송신을 요구하고, 그 요구에 따라 수신한 레시피에 대하여 이동 정보를 취득하는 경우에 대하여 설명하였다. 따라서, 예를 들면, 레시피의 일부의 값을 변경하고, 그 후에 그 변경한 값을 원래의 값으로 되돌린다고 하는 레시피의 내용의 변경이 행하여지지 않는 한, 최신의 레시피와 그 직전의 레시피의 내용은 상이해진다고 생각된다. 그러나, 서버 장치(50)가 변경 통지에 관계없이, 예를 들면, 정기적으로 제조 장치(40)의 레시피를 수신하는 경우에는, 본 실시예에서 설명한 바와 같이, 이동 정보를 취득하여, 그 이동 정보의 내용에 따라 변경 정보를 송신하는 것은 매 우 효과적이다.
(실시예 3)
본 발명의 실시예 3에 의한 군 관리 시스템에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 본 실시예에 의한 군 관리 시스템은, 서버 장치에서, 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피와, 마스터 레시피와의 이동에 관한 정보인 이동 정보를 취득하여, 그 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에 변경 정보를 송신하는 것으로 한다. 본 실시예에 의한 서버 장치는 비교의 대상이 되는 레시피가 마스터 레시피가 된 것 이외에는, 실시예 2와 거의 동일한 구성 및 동작이 된다.
도 25는 본 실시예에 의한 군 관리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 25에서, 본 실시예에 의한 군 관리 시스템은 클라이언트 장치(10)와, 서버 장치(60)와, N 개의 제조 장치(40)를 구비한다. 여기서, N은 1 이상의 정수다. 서버 장치(60) 이외의 구성 및 동작은 실시예 1과 동일하므로, 그 설명을 생략한다.
도 26은 본 실시예에 의한 서버 장치(60)의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 26에서, 본 실시예에 의한 서버 장치(60)는 변경 통지 수신부(21)와, 레시피 요구부(22)와, 레시피 수신부(23)와, 레시피 기억부(24)와, 레시피 축적부(25)와, 판단부(26)와, 변경 정보 구성부(27)와, 송신처 정보 기억부(28)와, 송신처 정보 취득부(29)와, 변경 정보 송신부(30)와, 마스터 레시피 기억부(61)와, 이동(異同) 정보 취득부(62)를 구비한다. 또한, 마스터 레시피 기억부(61) 및 이동 정보 취득부(62) 이외의 구성 및 동작은, 변경 정보 송신부(30)가 이동 정보 취득부(51)가 취득한 이동 정보에 의해, 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에 변경 정보를 송신하고, 이동 정보에 의해 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 없는 것이 나타나는 경우에 변경 정보를 송신하지 않는 것 이외에는, 실시예 1과 동일하므로, 그 설명을 생략한다.
여기서, 이동 정보에 의해, 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 없는 것이 나타나는 경우에는, 결과적으로 변경 정보 송신부(30)가 변경 정보를 송신하지 않으면 된다. 예를 들면, 이동 정보에 의해, 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 없는 것이 나타나는 경우에, 변경 정보 구성부(27)가 변경 정보를 구성하지 않거나, 또는 송신처 정보 취득부(29)가 송신처 정보를 취득하지 않음으로써, 변경 정보 송신부(30)가 변경 정보를 송신하지 않아도 되고, 또는 변경 정보 구성부(27)가 변경 정보를 구성하고, 송신처 정보 취득부(29)가 송신처 정보를 취득하고 있음에도 불구하고, 그 변경 정보를 변경 정보 송신부(30)가 송신하지 않아도 된다. 본 실시예에서는, 이동 정보에 의해, 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 없는 것이 나타나는 경우에는, 판단부(26)에 의한 판단을 행하지 않음으로써, 변경 정보의 구성 또는 송신처 정보의 취득이 행하여지지 않고, 변경 정보가 송신되지 않는 경우에 대하여 설명한다. 또한, 이동 정보에 의해, 비교 대상이 되는 2 개의 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우라 하더라도, 다른 이유에 의해 변경 정보가 송신되지 않는 경우도 있을 수 있다. 예를 들면, 실시예 1에서 설명한 판단부(26)에 의한 판단에 의해, 변경 정보를 송신하지 않는다고 판단된 경우에는, 변경 정보는 송신되지 않게 된다.
또한, 본 실시예에서는, 레시피 수신부(23)가 수신하는 레시피는, 레시피의 내용이 변경된 제조 장치(40)의 레시피여도 좋고, 레시피의 내용이 변경되지 않은 제조 장치(40)의 레시피여도 좋다.
마스터 레시피 기억부(61)에서는 마스터 레시피가 기억된다. 여기서, 마스터 레시피란 기준이 되는 레시피이다. 예를 들면, 2 개 이상의 제조 장치(40)에서 동일한 레시피가 이용되는 경우에, 그 기준이 되는 레시피가 마스터 레시피로서 마스터 레시피 기억부(61)에 기억되어도 좋다. 마스터 레시피 기억부(61)에서는 하나의 마스터 레시피가 기억되어도 좋고, 또는 제조 장치(40)마다 또는 제조 장치(40)의 그룹마다 2 개 이상의 마스터 레시피가 기억되어도 좋다. 마스터 레시피 기억부(61)는 소정의 기록 매체(예를 들면, 반도체 메모리 또는 자기 디스크, 광 디스크 등)에 의해 실현될 수 있다. 마스터 레시피 기억부(61)에 마스터 레시피가 기억되는 과정은 무엇이든 상관없다. 예를 들면, 기록 매체를 통하여 마스터 레시피가 마스터 레시피 기억부(61)에 기억되도록 되어도 좋고, 통신 회선 등을 통하여 송신된 마스터 레시피가 마스터 레시피 기억부(61)에 기억되도록 되어도 좋으며, 또는 입력 디바이스를 통하여 입력된 마스터 레시피가 마스터 레시피 기억부(61)에 기억되도록 되어도 좋다. 또한, 도시하지 않은 수단에 의해, 마스터 레시피 기억부(61)에 기억되어 있는 마스터 레시피가 변경되도록 해도 좋다.
또한, 레시피 기억부(24)와, 송신처 정보 기억부(28)와, 마스터 레시피 기억부(61)의 임의의 2 개 이상의 기억부는 동일한 기록 매체에 의해 실현되어도 좋고, 또는 별개의 기록 매체에 의해 실현되어도 좋다.
이동(異同) 정보 취득부(62)는 레시피 수신부(23)가 수신한 최신의 레시피와, 마스터 레시피 기억부(61)에 기억되어 있는 마스터 레시피를 비교하여, 양쪽 레시피의 이동에 관한 정보인 이동 정보를 취득한다. 여기서, 비교의 대상이 되는 마스터 레시피는 레시피 수신부(23)가 수신한 최신의 레시피가 이용되는 제조 장치(40)에 대응하는 마스터 레시피이다. 또한, 이동 정보는, 예를 들면, 양쪽 레시피의 이동을 나타내는 정보를 포함해도 좋고, 양쪽 레시피에 차이가 존재하는 경우에, 그 차분을 나타내는 정보를 포함해도 좋다.
또한, 이동 정보 취득부(62)는 양쪽 레시피의 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보를 비교하여, 그 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보의 이동에 관한 이동 정보를 취득해도 좋다. 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보란, 예를 들면, 실시예 1에서 설명한 레시피의 바디여도 좋다. 레시피의 바디에는 일반적으로 단계가 포함되어 있으므로, 제조 장치(40)의 설정에 관한 정보는 레시피에 포함되는 단계이며, 이동 정보 취득부(62)는 양쪽 레시피에 포함되는 단계마다 비교하여, 단계마다의 이동을 나타내는 이동 정보를 취득해도 좋다.
또한, 이동(異同) 정보 취득부(62)는 양쪽 레시피의 관리에 관한 정보를 비교하여, 그 레시피의 관리에 관한 정보의 이동에 관한 이동 정보를 취득해도 좋다. 관리에 관한 정보란, 예를 들면, 실시예 1에서 설명한 레시피의 헤더여도 좋다.
또한, 변경 정보 구성부(27)는 이동 정보 취득부(62)가 취득한 이동 정보를 포함하는 변경 정보를 구성해도 좋다.
도 27은 본 실시예에 의한 서버 장치(60)의 동작을 나타내는 순서도이다. 또 한, 단계 S501, S502 이외의 처리는 실시예 1에서의 도 7의 순서도의 각 처리와 동일하므로, 그 설명을 생략한다.
(단계 S501) 이동 정보 취득부(62)는 레시피 수신부(23)가 수신한 최신의 레시피, 즉 레시피 기억부(24)에 기억되어 있는 최신의 레시피와, 마스터 레시피 기억부(61)에 기억되어 있는 마스터 레시피를 비교한다. 그리고, 이동 정보 취득부(62)는 그 양쪽 레시피의 이동에 관한 정보인 이동 정보를 취득한다.
(단계 S502) 판단부(26)는 이동(異同) 정보에 의해 양쪽 레시피에 차이가 존재하는 것이 나타나는지의 여부를 판단한다. 그리고, 차이가 존재하는 것이 나타나는 경우에는 단계 S205로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 단계 S201로 되돌아간다.
또한, 본 실시예에서는, 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 존재하는 것이 나타나는지의 여부의 판단을 판단부(26)가 행하는 경우에 대하여 설명하였지만, 전술한 바와 같이, 차이가 존재하지 않는 경우에, 결과적으로 변경 정보가 송신되지 않는다면, 다른 구성 요소가 판단해도 좋다. 예를 들면, 변경 정보 송신부(30)가 그 판단을 행해도 좋다.
또한, 본 실시예에 의한 군 관리 시스템의 구체적인 동작 등은, 레시피에 대한 이동 정보를 취득하여, 그 이동 정보의 내용에 따라 변경 정보를 송신하는 것 이외에는, 실시예 1과 동일하므로, 그 설명을 생략한다. 또한, 본 실시예와 같이, 복수의 제조 장치(40)에서 동일한 마스터 레시피를 가질 수 있으므로, 군 관리 시스템으로서 제조 장치(40) 간의 레시피의 차를 체크할 수 있다.
이상과 같이, 본 실시예에 의한 군 관리 시스템에서는, 실시예 1과 동일한 효과에 부가하여, 취득한 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 없는 것이 나타나는 경우에는, 변경 정보를 송신하지 않으므로, 제조 장치(40)에서 이용되고 있는 레시피가 마스터 레시피와 상이한 경우에만, 변경 정보를 송신할 수 있다. 그 결과, 무의미한 변경 정보의 송신을 피할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 서버 장치(50)가 변경 통지의 수신에 따라 레시피의 송신을 요구하여, 그 요구에 따라 수신한 레시피에 대하여 이동 정보를 취득하는 경우에 대하여 설명하였다. 그러나, 서버 장치(50)가 변경 통지와 관계없이, 예를 들면, 정기적으로 제조 장치(40)의 레시피를 수신해도 좋다.
또한, 상기 각 실시예에 의한 군 관리 시스템에서의 서버 장치(20, 50, 60)는 도 4 등의 구성에서 나타내는 바와 같이, 레시피의 관리를 할 뿐인 것이여도 좋다. 따라서, 군 관리 시스템에서의 그 밖의 처리, 예를 들면, 클라이언트 장치(10) 등의 요구에 따라 처리를 실행하여, 그 처리 결과를 클라이언트 장치(10)로 송신하는 처리, 또는 하나 이상의 제조 장치(40)로부터 송신된 각종 측정 정보를 축적하는 처리 등을 행하는 서버 장치가 서버 장치(20, 50, 60) 이외에 설치되어 있어도 좋다.
또한, 상기 각 실시예에 의한 군 관리 시스템을 구성하는 클라이언트 장치(10), 서버 장치(20, 50, 60), 제조 장치(40)가 본 실시예에서 설명한 이외의 구성 요소를 가지고 있어도 당연히 좋다.
또한, 상기 각 실시예에서는, 제조 장치(40)가 유지하고 있는 레시피가 변경 된 경우에, 그 취지를 나타내는 변경 통지가 서버 장치(20, 50, 60)로 송신되고, 그 변경 통지의 수신에 따라 서버 장치(20, 50, 60)는 제조 장치(40)로 변경 후의 레시피를 송신하라는 취지의 요구를 행하며, 그 요구에 따라 변경 후의 레시피가 제조 장치(40)로부터 서버 장치(20, 50, 60)로 송신되는 경우에 대하여 설명하였지만, 서버 장치(20, 50, 60)가 변경 후의 레시피를 수신하는 방법은, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제조 장치(40)가 유지하고 있는 레시피가 변경된 경우에, 변경 후의 레시피가 서버 장치(20, 50, 60)로 송신되어도 좋고, 레시피의 내용의 변경 유무에 관계없이 정기적으로 제조 장치(40)로부터 서버 장치(20, 50, 60)로 레시피가 송신되어도 좋고, 레시피의 내용의 변경 유무에 관계없이 정기적으로 서버 장치(20, 50, 60)로부터 제조 장치(40)에 대해 레시피를 송신하라는 취지의 요구를 행하여도 좋다. 레시피의 내용의 변경 유무에 관계없이 제조 장치(40)로부터 서버 장치(20, 50, 60)로 레시피가 송신되는 경우에는, 레시피 축적부(25)는 레시피의 내용의 변경이 행하여지고 있는 경우에만, 그 변경 후의 레시피를 레시피 기억부(24)에 축적해도 좋다. 또한, 상기 실시예 2, 3과 같이, 이동(異同) 정보를 취득하여, 레시피의 내용의 변경이 행하여졌는지의 여부를 판단해도 좋다. 레시피의 내용의 변경 유무에 관계없이 제조 장치(40)로부터 서버 장치(20, 50, 60)로 레시피가 송신되는 경우라 하더라도, 제조 장치(40)가 유지하고 있는 레시피가 변경된 때에는, 변경 후의 레시피가 송신되게 되므로, 레시피 수신부(23)는 제조 장치(40)의 레시피의 내용이 변경된 경우에, 변경 후의 레시피를 수신하게 된다. 또한, 서버 장치(20, 50, 60)로부터 변경 후의 레시피를 송신하라는 취지의 요구를 송신하지 않아도 좋은 경우에는, 서버 장치(20, 50, 60)는 변경 통지 수신부(21) 및 레시피 요구부(22)를 구비하지 않아도 좋다.
또한, 상기 각 실시예에서는, 서버 장치(20, 50, 60)가 판단부(26)를 구비하여, 판단부(26)의 판단 결과에 따라 변경 정보 송신부(30)가 변경 정보를 송신하는 경우에 대하여 설명하였지만, 서버 장치(20, 50, 60)는 판단부(26)를 구비하지 않아도 좋다. 그 경우에는, 레시피의 내용의 변경이 행하여진 경우에는, 변경 정보가 송신되게 된다. 또한, 레시피 수신부(23)가 변경 후의 레시피만을 수신하는 경우에는, 변경 후의 레시피가 수신된 경우에, 변경 정보가 송신되게 된다. 한편, 변경 유무에 관계없이 레시피 수신부(23)가 레시피를 수신하는 경우에는, 실시예 2와 같이 수신된 레시피가 변경 후의 것인지의 여부를 판단해도 좋고, 실시예 3과 같이 수신된 레시피가 마스터 레시피와 동일한지의 여부를 판단해도 좋다. 그 판단은, 예를 들면, 레시피 기억부(24)에 기억되어 있는 레시피와, 레시피 수신부(23)가 수신한 레시피를 비교함으로써 행할 수 있다. 실시예 2, 3에서는, 이동 정보를 이용하여 그 판단을 행할 수 있다. 그 판단은, 예를 들면, 변경 정보 구성부(27), 송신처 정보 취득부(29), 또는 변경 정보 송신부(30)가 행하여도 좋고, 또는 그 밖의 구성 요소가 행하여도 좋다. 그리고, 수신된 레시피가 변경 후의 것인 경우 또는 마스터 레시피와 상이한 것인 경우에, 변경 정보가 송신되게 된다.
또한, 하나의 레시피가 변경된 경우에, 2 개 이상의 송신처가 송신처 정보에 의해 설정되어 있는 경우에는, 그 송신처마다 상이한 변경 정보를 송신해도 좋다. 예를 들면, 유저의 휴대 전화 등의 송신처에는, 단순히 레시피가 변경된 취지만을 통지하는 변경 정보를 구성하여 송신하고, 클라이언트 장치(10) 또는 제조 장치(40) 등의 송신처에는, 변경 후의 레시피 또는 레시피의 차분(差分) 등을 포함하는 변경 정보를 구성하여 송신해도 좋다.
또한, 상기 각 실시예에서, 제조 장치(40)의 변경 지시 접수부(42)가 받아들이는 변경 지시의 입력원, 송신원은 무엇이든 상관없다. 예를 들면, 서버 장치(20, 50, 60)로부터 제조 장치(40)로 변경 지시가 송신되어도 좋고, 도 1에서 나타내는 것 이외의 장치로부터 제조 장치(40)로 변경 지시가 송신되어도 좋다.
또한, 상기 각 실시예에서, 서버 장치(20, 50, 60)가 송신하는 변경 정보의 송신처는 어디든 상관없다. 예를 들면, 서버 장치(20, 50, 60)는 도 1, 도 22, 도 25에서 나타내는 것 이외의 장치로 변경 정보를 송신해도 좋다.
또한, 상기 각 실시예에서, 예를 들면, 레시피가 헤더와 바디를 갖는 경우에 대하여 설명하였지만, 상기 각 실시예에 의한 군 관리 시스템에서 송수신되는 레시피는 바디만을 갖는 것이여도 좋고, 그 밖의 형식을 갖는 것이여도 좋으며, 상기 각 실시예에서의 설명에 한정되지 않는다.
또한, 상기 각 실시예에서, 각 처리 또는 각 기능은 단일 장치 또는 단일 시스템에 의해 집중 처리됨으로써 실현되어도 좋고, 또는 복수의 장치 또는 복수의 시스템에 의해 분산 처리됨으로써 실현되어도 좋다.
또한, 상기 각 실시예에서, 각 구성 요소는 전용 하드웨어에 의해 구성되어도 좋고, 또는 소프트웨어에 의해 실현 가능한 구성 요소에 대해서는, 프로그램을 실행함으로써 실현되어도 좋다. 예를 들면, 하드디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어·프로그램을 CPU 등의 프로그램 실행부가 독출하여 실행함으로써, 각 구성 요소가 실현될 수 있다. 또한, 상기 각 실시예에서의 서버 장치를 실현하는 소프트웨어는 이하와 같은 프로그램이다. 즉, 이 프로그램은, 컴퓨터에, 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치에서의 처리를 실행시키는 프로그램으로서, 상기 제조 장치의 레시피의 내용이 변경된 경우에, 변경 후의 레시피를 수신하는 레시피 수신 단계와, 상기 레시피 수신 단계에서 수신한 레시피를, 상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적 단계와, 레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성 단계와, 상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득 단계와, 상기 송신처 정보 취득 단계에서 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성 단계에서 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신 단계를 실행시키기 위한 것이다.
또한, 다른 프로그램은, 컴퓨터에, 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치에서의 처리를 실행시키는 프로그램으로서, 상기 제조 장치의 레시피를 수신하는 레시피 수신 단계와, 상기 레시피 수신 단계에서 수신한 레시피를, 상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적 단계와, 레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구 성 단계와, 상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득 단계와, 상기 레시피 수신 단계에서 수신한 최신의 레시피와, 해당 최신의 레시피가 이용되는 제조 장치의 레시피이고, 상기 레시피 기억부에 기억되어 있는, 해당 최신의 레시피에 가장 가까운 시기의 레시피를 비교하여, 양쪽 레시피의 이동(異同)에 관한 정보인 이동 정보를 취득하는 이동 정보 취득 단계와, 상기 이동 정보 취득 단계에서 취득한 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에, 상기 송신처 정보 취득 단계에서 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성 단계에서 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신 단계를 실행시키기 위한 것이다.
또한, 다른 프로그램은, 컴퓨터에, 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치에서의 처리를 실행시키는 프로그램으로서, 상기 제조 장치의 레시피를 수신하는 레시피 수신 단계와, 상기 레시피 수신 단계에서 수신한 레시피를, 상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적 단계와, 레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성 단계와, 상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득 단계와, 상기 레시피 수신 단계에서 수신한 최신의 레시피와, 마스터 레시피 기억부에 기억되어 있는, 기준이 되는 레시피인 마스터 레시피를 비교하여, 양쪽 레시피의 이동(異同) 에 관한 정보인 이동 정보를 취득하는 이동 정보 취득 단계와, 상기 이동 정보 취득 단계에서 취득한 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에, 상기 송신처 정보 취득 단계에서 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성 단계에서 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신 단계를 실행시키기 위한 것이다.
또한, 상기 프로그램에서, 정보를 송신하는 송신 단계 또는 정보를 수신하는 수신 단계 등에서는, 하드웨어로만 행해지는 처리, 예를 들면, 송신 단계에서의 모뎀 또는 인터페이스 카드 등으로 행해지는 처리는 적어도 포함되지 않는다.
또한, 이 프로그램은, 서버 등으로부터 다운로드됨으로써 실행되어도 좋고, 소정의 기록 매체(예를 들면, CD-ROM 등의 광 디스크 또는 자기 디스크, 반도체 메모리 등)에 기록된 프로그램이 독출됨으로써 실행되어도 좋다.
또한, 이 프로그램을 실행하는 컴퓨터는 단수여도 좋고 복수여도 좋다. 즉, 집중 처리를 행하여도 좋고, 또는 분산 처리를 행하여도 좋다.
또한, 본 발명은, 이상의 실시예에 한정되지 않고, 다양한 변경이 가능하며, 이들도 본 발명의 범위 내에 당연히 포함된다.
이상과 같이, 본 발명에 관한 서버 장치 등에 따르면, 레시피의 내용의 변경이 행하여진 경우에, 그 변경에 관한 주의 환기를 할 수 있어, 부주의한 레시피의 내용의 변경에 기인하는 로트 아웃 등의 발생을 피할 수 있으므로, 하나 이상의 제조 장치를 구비하는 군 관리 시스템에서의 서버 장치 등으로서 유용하다.
Claims (30)
- 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와, 상기 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비한 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치로서,상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부와,상기 제조 장치의 레시피의 내용이 변경된 경우에, 변경 후의 레시피를 수신하는 레시피 수신부와,상기 레시피 수신부가 수신한 레시피를 상기 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적부와,레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성부와,상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부와,상기 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득부와,상기 송신처 정보 취득부가 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성부가 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신부를 구비한 서버 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 변경 정보 구성부는, 레시피의 내용이 변경된 취지를 포함하는 변경 정보를 구성하는 서버 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 변경 정보 구성부는, 상기 레시피 수신부가 수신한 변경 후의 레시피를 포함하는 변경 정보를 구성하는 서버 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 변경 정보 구성부는, 상기 레시피 기억부에 기억되어 있는 변경 전의 레시피와 상기 레시피 수신부가 수신한 변경 후의 레시피와의 차분(差分)을 구하여, 상기 차분을 포함하는 변경 정보를 구성하는 서버 장치.
- 제 1 항에 있어서,레시피의 내용의 변경은 레시피에서의 제조 장치의 설정에 관한 정보의 내용의 변경인 서버 장치.
- 제 1 항에 있어서,레시피의 내용의 변경은 레시피의 관리에 관한 정보의 내용의 변경인 서버 장치.
- 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와, 상기 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비한 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치로서,상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부와,상기 제조 장치의 레시피를 수신하는 레시피 수신부와,상기 레시피 수신부가 수신한 레시피를 상기 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적부와,레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성부와,상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부와,상기 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득부와,상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피와, 상기 최신의 레시피가 이용되는 제조 장치의 레시피이고, 상기 레시피 기억부에 기억되어 있는, 상기 최신의 레시피에 가장 가까운 시기의 레시피를 비교하여, 양쪽 레시피의 이동(異同)에 관한 정보인 이동 정보를 취득하는 이동 정보 취득부와,상기 이동 정보 취득부가 취득한 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에, 상기 송신처 정보 취득부가 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성부가 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신부를 구비한 서버 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 이동(異同) 정보 취득부는, 양쪽 레시피의 제조 장치의 설정에 관한 정보를 비교하여, 상기 제조 장치의 설정에 관한 정보의 이동(異同)에 관한 이동 정보를 취득하는 서버 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 제조 장치의 설정에 관한 정보는, 레시피에 포함되는 단계이며,상기 이동 정보 취득부는, 양쪽 레시피에 포함되는 단계마다 비교하여, 단계마다의 이동(異同)을 나타내는 이동 정보를 취득하는 서버 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 이동(異同) 정보 취득부는, 양쪽 레시피의 관리에 관한 정보를 비교하여, 상기 레시피의 관리에 관한 정보의 이동(異同)에 관한 이동 정보를 취득하는 서버 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 변경 정보 구성부는, 상기 이동 정보 취득부가 취득한 이동 정보를 포함하는 변경 정보를 구성하는 서버 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 변경 정보 구성부는, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피를 포함하는 변경 정보를 구성하는 서버 장치.
- 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와, 상기 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비한 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치로서,상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부와,상기 제조 장치의 레시피를 수신하는 레시피 수신부와,상기 레시피 수신부가 수신한 레시피를 상기 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적부와,기준이 되는 레시피인 마스터 레시피가 기억되는 마스터 레시피 기억부와,레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성부와,상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부와,상기 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득부와,상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피와, 상기 마스터 레시피 기억부에 기억되어 있는 마스터 레시피를 비교하여, 양쪽 레시피의 이동(異同)에 관한 정보인 이동 정보를 취득하는 이동 정보 취득부와,상기 이동 정보 취득부가 취득한 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에, 상기 송신처 정보 취득부가 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성부가 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신부를 구비한 서버 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 이동 정보 취득부는, 양쪽 레시피의 제조 장치의 설정에 관한 정보를 비교하여, 상기 제조 장치의 설정에 관한 정보의 이동(異同)에 관한 이동 정보를 취득하는 서버 장치.
- 제 14 항에 있어서,상기 제조 장치의 설정에 관한 정보는, 레시피에 포함되는 단계이며,상기 이동 정보 취득부는, 양쪽 레시피에 포함되는 단계마다 비교하여, 단계마다의 이동(異同)을 나타내는 이동 정보를 취득하는 서버 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 이동 정보 취득부는, 양쪽 레시피의 관리에 관한 정보를 비교하여, 상기 레시피의 관리에 관한 정보의 이동(異同)에 관한 이동 정보를 취득하는 서버 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 변경 정보 구성부는, 상기 이동 정보 취득부가 취득한 이동 정보를 포함하는 변경 정보를 구성하는 서버 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 변경 정보 구성부는, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피를 포함하는 변경 정보를 구성하는 서버 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 변경 정보를 송신할지의 여부를 판단하는 판단부를 추가로 구비하고,상기 변경 정보 송신부는, 상기 판단부에 의한 판단 결과에 따라 상기 변경 정보를 송신하는 서버 장치.
- 제 19 항에 있어서,상기 판단부는, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피에 대하여, 소정의 조건이 충족되는 경우에, 변경 정보를 송신한다고 판단하는 서버 장치.
- 제 20 항에 있어서,상기 소정의 조건은, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피에 대하여, 변경 정보를 송신하는 것이 설정되어 있는 것인 서버 장치.
- 제 20 항에 있어서,상기 소정의 조건은, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피에 대하여, 소정의 기간 이상(以上) 변경이 이루어지지 않은 것인 서버 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 송신처 정보는, 레시피마다 설정되어 있고,상기 송신처 정보 취득부는, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피에 대응하는 송신처 정보를 취득하는 서버 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 송신처 정보는, 제조 장치마다 설정되어 있고,상기 송신처 정보 취득부는, 상기 레시피 수신부가 수신한 최신의 레시피가 이용되는 제조 장치에 대응하는 송신처 정보를 취득하는 서버 장치.
- 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치에서 이용되는 정보 처리 방법으로서,상기 제조 장치의 레시피의 내용이 변경된 경우에, 변경 후의 레시피를 수신하는 레시피 수신 단계와,상기 레시피 수신 단계에서 수신한 레시피를, 상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적 단계와,레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성 단계와,상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득 단계와,상기 송신처 정보 취득 단계에서 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성 단계에서 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신 단계를 구비한 정보 처리 방법.
- 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치에서 이용되는 정보 처리 방법으로서,상기 제조 장치의 레시피를 수신하는 레시피 수신 단계와,상기 레시피 수신 단계에서 수신한 레시피를, 상기 하나 이상의 제조 장치에 서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적 단계와,레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성 단계와,상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득 단계와,상기 레시피 수신 단계에서 수신한 최신의 레시피와, 상기 최신의 레시피가 이용되는 제조 장치의 레시피이고, 상기 레시피 기억부에 기억되어 있는, 상기 최신의 레시피에 가장 가까운 시기의 레시피를 비교하여, 양쪽 레시피의 이동(異同)에 관한 정보인 이동 정보를 취득하는 이동 정보 취득 단계와,상기 이동 정보 취득 단계에서 취득한 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에, 상기 송신처 정보 취득 단계에서 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성 단계에서 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신 단계를 구비한 정보 처리 방법.
- 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치에서 이용되는 정보 처리 방법으로서,상기 제조 장치의 레시피를 수신하는 레시피 수신 단계와,상기 레시피 수신 단계에서 수신한 레시피를, 상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축 적 단계와,레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성 단계와,상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득 단계와,상기 레시피 수신 단계에서 수신한 최신의 레시피와, 마스터 레시피 기억부에 기억되어 있는, 기준이 되는 레시피인 마스터 레시피를 비교하여, 양쪽 레시피의 이동(異同)에 관한 정보인 이동 정보를 취득하는 이동 정보 취득 단계와,상기 이동 정보 취득 단계에서 취득한 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에, 상기 송신처 정보 취득 단계에서 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성 단계에서 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신 단계를 구비한 정보 처리 방법.
- 컴퓨터에,피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치에서의 처리를 실행시키는 프로그램으로서,상기 제조 장치의 레시피의 내용이 변경된 경우에, 변경 후의 레시피를 수신하는 레시피 수신 단계와,상기 레시피 수신 단계에서 수신한 레시피를, 상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축 적 단계와,레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성 단계와,상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득 단계와,상기 송신처 정보 취득 단계에서 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성 단계에서 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신 단계를 실행시키기 위한 프로그램.
- 컴퓨터에,피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치에서의 처리를 실행시키는 프로그램으로서,상기 제조 장치의 레시피를 수신하는 레시피 수신 단계와,상기 레시피 수신 단계에서 수신한 레시피를, 상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적 단계와,레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성 단계와,상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득 단계와,상기 레시피 수신 단계에서 수신한 최신의 레시피와, 상기 최신의 레시피가 이용되는 제조 장치의 레시피이고, 상기 레시피 기억부에 기억되어 있는, 상기 최신의 레시피에 가장 가까운 시기의 레시피를 비교하여, 양쪽 레시피의 이동(異同)에 관한 정보인 이동 정보를 취득하는 이동 정보 취득 단계와,상기 이동 정보 취득 단계에서 취득한 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에, 상기 송신처 정보 취득 단계에서 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성 단계에서 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신 단계를 실행시키기 위한 프로그램.
- 컴퓨터에,피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치에서의 처리를 실행시키는 프로그램으로서,상기 제조 장치의 레시피를 수신하는 레시피 수신 단계와,상기 레시피 수신 단계에서 수신한 레시피를, 상기 하나 이상의 제조 장치에서 이용되고 있는 레시피가 적어도 기억되는 레시피 기억부에 축적하는 레시피 축적 단계와,레시피의 내용의 변경에 관한 정보인 변경 정보를 구성하는 변경 정보 구성 단계와,상기 변경 정보의 송신처를 나타내는 정보인 송신처 정보가 기억되는 송신처 정보 기억부로부터 송신처 정보를 취득하는 송신처 정보 취득 단계와,상기 레시피 수신 단계에서 수신한 최신의 레시피와, 마스터 레시피 기억부에 기억되어 있는, 기준이 되는 레시피인 마스터 레시피를 비교하여, 양쪽 레시피의 이동에 관한 정보인 이동 정보를 취득하는 이동 정보 취득 단계와,상기 이동 정보 취득 단계에서 취득한 이동 정보에 의해, 양쪽 레시피에 차이가 있는 것이 나타나는 경우에, 상기 송신처 정보 취득 단계에서 취득한 송신처 정보가 나타내는 송신처에, 상기 변경 정보 구성 단계에서 구성한 변경 정보를 송신하는 변경 정보 송신 단계를 실행시키기 위한 프로그램.
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