JP2013201378A - 装置情報送信装置、装置情報送信システム - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体工場の構外から半導体製造装置の遠隔監視を行うことを可能にする装置情報送信装置を提供する。
【解決手段】製造装置の状態を示す情報を取得する取得手段を備え、取得した情報を外部へ送信する装置情報送信装置に、前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を記憶する送信条件記憶手段と、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たすか否かを判定する判定手段と、該判定手段が前記送信条件を満たすと判定した場合、メール送信プロトコルに従って、前記製造装置の情報を外部へ送信する送信手段とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】製造装置の状態を示す情報を取得する取得手段を備え、取得した情報を外部へ送信する装置情報送信装置に、前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を記憶する送信条件記憶手段と、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たすか否かを判定する判定手段と、該判定手段が前記送信条件を満たすと判定した場合、メール送信プロトコルに従って、前記製造装置の情報を外部へ送信する送信手段とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、製造装置の状態を示す情報を外部へ送信する装置情報送信装置及び装置情報送信システムに関する。
半導体製造装置の遠隔監視システムは該半導体製造装置、サーバ及び遠隔端末装置によって構成され、各装置がネットワークによって常時接続されている。各装置間で半導体製造装置に係るデータの送受信を行うことで、半導体製造装置の遠隔監視、アラームの通知などの機能が実現されている。
しかしながら、半導体工場の構内ネットワークの範囲においては常時接続が比較的容易に実現できるものの、構内ネットワークと構外ネットワークとを常時接続することは行われていない。半導体工場の構内及び構外のネットワークを常時接続すると、半導体製造ノウハウの漏洩、半導体製造装置の誤動作などを招く虞があるためである。従って、半導体工場外から半導体製造装置の遠隔監視を行うことは事実上困難であった。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、電子メールを利用して、製造装置の装置状態などを示した情報を送受信することで、製造工場の構外から製造装置の遠隔監視を行うことを可能にする装置情報送信装置及び装置情報送信システムを提供することにある。
本発明に係る装置情報送信装置は、製造装置の状態を示す情報を取得する取得手段を備え、取得した情報を外部へ送信する装置情報送信装置において、前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を記憶する送信条件記憶手段と、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たすか否かを判定する判定手段と、該判定手段が前記送信条件を満たすと判定した場合、メール送信プロトコルに従って、前記製造装置の情報又は該情報が前記送信条件を満たした旨を示す所定情報を外部へ送信する送信手段とを備えることを特徴とする。
本発明に係る装置情報送信装置は、前記取得手段は、前記製造装置の状態を示す情報を、前記製造装置から定期的に取得するようにしてあり、更に、前記取得手段にて定期的に取得した前記製造装置の状態を示す情報を記憶する状態記憶手段を備えることを特徴とする。
本発明に係る装置情報送信装置は、前記送信条件は、前記製造装置の状態変化の前後の状態を示した情報を含み、前記判定手段は、前記状態記憶手段が記憶する前記製造装置の状態の変化が前記送信条件の状態変化に合致した場合、前記送信条件を満たすと判定するように構成してあることを特徴とする。
本発明に係る装置情報送信装置は、前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を、メール受信プロトコルに従って受信する受信手段を備え、前記送信条件記憶手段は、前記受信手段にて受信した送信条件を記憶するようにしてあることを特徴とする。
本発明に係る装置情報送信装置は、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たす都度、前記製造装置の情報若しくは前記所定情報を送信する送信態様を示す第1送信態様情報、又は前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たした場合、前記製造装置の情報若しくは前記所定情報を1回に限り送信する送信態様を示す第2送信態様情報を、前記送信条件に対応付けて記憶する手段と、前記製造装置の状態を示す情報を送信した場合、前記送信条件に前記第2送信態様情報が対応付けられているとき、該送信条件を無効にする手段とを備え、前記送信手段は、前記送信条件に前記第1送信態様情報が対応付けられている場合、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たす都度、前記製造装置の状態を示す情報又は前記所定情報を送信するようにしてあることを特徴とする。
本発明に係る装置情報送信システムは、上述のいずれか一つの装置情報送信装置と、該装置情報送信装置から送信された情報を受信する携帯通信装置とを備えることを特徴とする。
本発明にあっては、製造装置の状態がある送信条件を満たした場合、該製造装置の状態を示す情報又は所定情報がメール送信プロトコルに従って外部へ送信される。従って、外部から製造装置にアクセスできるように、製造装置と、外部のネットワークとを常時接続する場合に比べて、製造装置の情報が外部へ漏洩する虞を軽減することができる。
本発明にあっては、定期的に製造装置の状態を示した情報を取得し、状態記憶手段がその情報を記憶する。
本発明にあっては、送信条件に示す状態変化が製造装置に生じた場合、製造装置の状態を示す情報又は所定情報を外部へ送信する。
本発明にあっては、必要に応じて、送信条件を満たした場合の情報の送信を1回に限定するか、都度繰り返し行うかを選択することが可能である。送信回数を限定することによって、不必要に情報が外部へ送信されることを避けることができる。また、不要な送信条件を解除する手間を省くことができるため便宜である。
本発明によれば、電子メールを利用して、製造装置の装置状態などを示した情報を送受信することで、製造工場の構外から製造装置の遠隔監視を行うことができる。
例えば、新規の長時間プロセス立ち上げ時などで、半導体製造装置近傍で作業担当者が張り付いて監視する時間を減少させ、作業担当者のリソースを有効に活用することができる。
半導体製造装置における顧客担当エリアが広域なメンテナンス担当者又はフィールドエンジニアなど、すぐに現地に赴くことができない場合であっても、半導体製造装置の問題に対して速やかに対応することが可能になる。
例えば、新規の長時間プロセス立ち上げ時などで、半導体製造装置近傍で作業担当者が張り付いて監視する時間を減少させ、作業担当者のリソースを有効に活用することができる。
半導体製造装置における顧客担当エリアが広域なメンテナンス担当者又はフィールドエンジニアなど、すぐに現地に赴くことができない場合であっても、半導体製造装置の問題に対して速やかに対応することが可能になる。
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。
図1は、本実施の形態に係る装置情報送信システムの一構成例を示す説明図である。本発明の実施の形態に係る装置情報送信システムは、複数の半導体製造装置(製造装置)1と、各半導体製造装置1の状態を示す装置状態情報、その他の各種情報を収集して解析する群管理装置2と、該群管理装置2から前記装置状態情報を定期的に取得し、取得した情報を適宜外部へ送信する装置情報送信装置3と、該装置情報送信装置3から送信された情報を受信する携帯通信装置6とを備える。
図1は、本実施の形態に係る装置情報送信システムの一構成例を示す説明図である。本発明の実施の形態に係る装置情報送信システムは、複数の半導体製造装置(製造装置)1と、各半導体製造装置1の状態を示す装置状態情報、その他の各種情報を収集して解析する群管理装置2と、該群管理装置2から前記装置状態情報を定期的に取得し、取得した情報を適宜外部へ送信する装置情報送信装置3と、該装置情報送信装置3から送信された情報を受信する携帯通信装置6とを備える。
半導体製造装置1は、例えば、半導体デバイス等製造用のシリコンウエハ等の被処理体を処理するレジスト塗布現像装置、熱処理炉装置、プラズマCVD装置、プラズマエッチング装置、スパッタリング装置、PVD装置等の基板処理装置である。半導体製造装置1は、群管理装置2の求めに応じて、自身の状態を示す装置状態情報を該群管理装置2へ送信する送信部を有する。装置状態情報としては、例えば、装置の名称、実行中のメインレシピ名、サブレシピ名、プロセスの終了予定時刻、開始時刻、プロセス終了までの残り時間、実行中のステップ番号等の情報、被処理体の投入可否を示した情報、被処理体の払い出し待ち状態にあるか否かを示した情報、異常状態を示した情報等が挙げられる。なお、これらの情報は、装置状態情報の一例である。
また、本実施の形態では製造装置の例として主に半導体処理装置を例示して説明するが、半導体処理装置にのみならず、LCDに係る製造装置、太陽電池に係る製造装置、有機ELに係る製造装置等に本発明を適用することができる。
また、本実施の形態では製造装置の例として主に半導体処理装置を例示して説明するが、半導体処理装置にのみならず、LCDに係る製造装置、太陽電池に係る製造装置、有機ELに係る製造装置等に本発明を適用することができる。
群管理装置2は、各半導体製造装置1及び装置情報送信装置3との間で有線又は無線で情報を送信する通信部を有する。半導体製造装置1の装置状態情報は、製造ノウハウに関わる情報を含むため、半導体製造装置1、群管理装置2及び装置情報送信装置3間で行われる情報通信は、閉じたローカルエリアで行うことが望ましい。
群管理装置2は、通信部を介して各半導体製造装置1に対して装置状態情報の送信を求め、各半導体製造装置1から送信された装置状態情報を収集し、収集した装置状態情報を、各半導体製造装置1の識別情報に対応付けてDB21に格納する。群管理装置2は、DB21に格納した情報を用いて、処理の解析処理などを実行する。また、群管理装置2は、各半導体製造装置1の装置状態情報、その他の各種情報を、装置情報送信装置3からの求めに応じて送信する。
群管理装置2は、通信部を介して各半導体製造装置1に対して装置状態情報の送信を求め、各半導体製造装置1から送信された装置状態情報を収集し、収集した装置状態情報を、各半導体製造装置1の識別情報に対応付けてDB21に格納する。群管理装置2は、DB21に格納した情報を用いて、処理の解析処理などを実行する。また、群管理装置2は、各半導体製造装置1の装置状態情報、その他の各種情報を、装置情報送信装置3からの求めに応じて送信する。
図2は、本実施の形態に係る装置情報送信装置3の一構成例を示すブロック図である。装置情報送信装置3は、該装置情報送信装置の各構成部の動作を制御する制御部31、例えばCPU(Central Processing Unit)を備えたコンピュータである。制御部31には、通信路を介して一次記憶装置32、二次記憶装置33、データベース更新部34、メール送信部35及びメール受信部36が接続されている。
なお、データベース更新部34をハードウェアのように図示しているが、言うまでも無く制御部31の処理によって実現されるものであっても良いし、ハードウェアで構成しても良い。また、メール送信部35及びメール受信部36を別のハードウェアのように図示しているが、言うまでも無く、ハードウェアとして構成された送受信部で各部の機能を実現するように構成すると良い。更に、本実施の形態では、群管理装置2と、装置情報送信装置3とを別装置として構成する例を説明するが、装置情報送信装置3の機能を群管理装置2に実現させるように構成しても良い。
なお、データベース更新部34をハードウェアのように図示しているが、言うまでも無く制御部31の処理によって実現されるものであっても良いし、ハードウェアで構成しても良い。また、メール送信部35及びメール受信部36を別のハードウェアのように図示しているが、言うまでも無く、ハードウェアとして構成された送受信部で各部の機能を実現するように構成すると良い。更に、本実施の形態では、群管理装置2と、装置情報送信装置3とを別装置として構成する例を説明するが、装置情報送信装置3の機能を群管理装置2に実現させるように構成しても良い。
一次記憶装置32は、コンピュータの初期動作に必要な制御プログラムを記憶したマスクROM、EEPROM等の不揮発性メモリと、コンピュータの動作に必要な制御プログラムを記憶し、制御部31の演算処理を実行する際に生ずる各種データを一時記憶するDRAM、SRAM等のメモリとで構成される。
二次記憶装置33は、ハードディスクドライブ、若しくはソリッドステートドライブ等の読み出しが可能なディスクドライブ、可搬式の記憶媒体(不図示)からのデータの読み出しが可能なCD−ROMドライブ等の装置である。
また、二次記憶装置33は、装置状態情報を格納したDB33aを記憶している。制御部31は、群管理装置2のDB21が記憶している装置状態情報を定期的に取得し、取得した装置状態情報を自身のDB33aに記憶させる処理を実行している。このため、DB33aが記憶する装置状態情報の内容は、タイムラグが存在するが、群管理装置2のDB21と同様である。
更に、二次記憶装置33は、DB33aが記憶した装置状態情報を外部の携帯通信装置6へ送信すべきか否かを判定するための通知条件、通知先、送信回数等を規定した送信態様情報などを記憶する。通知先及び送信態様情報は、通知条件に対応付けられている。送信態様情報は、例えば、半導体製造装置1の装置状態情報が通知条件を満たす都度、該装置状態情報又は通知条件を満たしたことを示す所定情報を携帯通信装置6へ送信する第1モードと、装置状態情報が通知条件を満たした場合、1回に限り携帯通信装置6へ装置状態情報又は所定情報を送信する第2モードとを含む。
このように、二次記憶装置33は、状態記憶手段及び送信条件記憶手段として機能する。
また、二次記憶装置33は、装置状態情報を格納したDB33aを記憶している。制御部31は、群管理装置2のDB21が記憶している装置状態情報を定期的に取得し、取得した装置状態情報を自身のDB33aに記憶させる処理を実行している。このため、DB33aが記憶する装置状態情報の内容は、タイムラグが存在するが、群管理装置2のDB21と同様である。
更に、二次記憶装置33は、DB33aが記憶した装置状態情報を外部の携帯通信装置6へ送信すべきか否かを判定するための通知条件、通知先、送信回数等を規定した送信態様情報などを記憶する。通知先及び送信態様情報は、通知条件に対応付けられている。送信態様情報は、例えば、半導体製造装置1の装置状態情報が通知条件を満たす都度、該装置状態情報又は通知条件を満たしたことを示す所定情報を携帯通信装置6へ送信する第1モードと、装置状態情報が通知条件を満たした場合、1回に限り携帯通信装置6へ装置状態情報又は所定情報を送信する第2モードとを含む。
このように、二次記憶装置33は、状態記憶手段及び送信条件記憶手段として機能する。
データベース更新部34は、群管理装置2のDB21から各半導体製造装置1の装置状態情報を取得し、取得した装置状態情報にてDB33aの内容を更新する処理を実行する機能部である。
メール送信部35は、SMTPなどの所定のメール送信プロトコルに従って、メール送信サーバ4にアクセスし、装置状態情報などの各種情報のメール送信を依頼する機能部である。
メール受信部36は、POPなどの所定のメール受信プロトコルに従って、メール受信サーバ5にアクセスし、外部から装置情報送信装置3へメール送信された情報の転送を依頼する機能部である。
メール送信サーバ4は、装置情報送信装置3からのメール送信依頼を受信した場合、送信先である携帯通信装置6の図示しないSMTPサーバへ装置状態情報を送信する。携帯通信装置6側の図示しないPOPサーバは、携帯通信装置6の求めに応じて、又は定期的に、受信した装置状態情報を携帯通信装置6へ送信する。
メール受信サーバ5は、携帯通信装置6から図示しないSMTPサーバを経由して装置情報送信装置3宛に送信された各種情報を該装置情報送信装置3へ送信する。
携帯通信装置6は、例えば、メール通信機能を有する携帯電話端末である。携帯通信装置6は、制御部31、記憶部、表示部、操作部及び送受信部等を備える。制御部31は、装置情報送信装置3からメール送信された情報を受信し、受信した情報に基づいて映像を表示部に表示させる。例えば、装置状態情報を受信した場合、該装置状態情報に基づいて、半導体製造装置1の装置状態を文字又は図形を用いて表示部に表示させる。また、制御部31は、操作部にて半導体製造装置1の装置状態の送信指示を受け付け、通信部を介して、送信の指示を依頼するメールを装置情報送信装置3へ送信する。
図3及び図4は、制御部31の処理手順を示すフローチャートである。装置情報送信装置3のメール受信部36は、定期的にメール受信サーバ5に問い合わせを行い、携帯通信装置6から装置情報送信装置3宛の電子メールを受信する(ステップS11)。
次いで、制御部31は、受信した電子メールが、半導体製造装置1の装置状態情報の取得を要求するメールであるか否かを判定する(ステップS12)。装置状態情報の取得を要求するメールであると判定した場合(ステップS12:YES)、制御部31は、DB33aに格納された装置状態情報を読み出す(ステップS13)。なお、制御部31は、群管理装置2に装置状態情報を要求し、要求に応じて群管理装置2から送信された装置状態情報を取得するように構成しても良い。メール送信部35は、DB33aから読み出された装置状態情報の送信をメール送信サーバ4に依頼し、該装置状態情報を携帯通信装置6へ送信させる(ステップS14)。携帯通信装置6は、装置情報送信装置3から送信された装置状態情報を電子メールとして受信する。
なお、言うまでも無く、装置状態情報の送信先は特定の範囲に制限されるべきであり、二次記憶装置33は、装置状態情報の取得を要求し、装置状態情報の受信が許可された携帯通信装置6の電子メールアドレス、機器ID等を記憶している。また、装置状態情報の送信を要求する使用者を認証するための認証情報を二次記憶装置33に記憶させても良い。制御部31は、二次記憶装置33が記憶している電子メールアドレス、機器ID、認証情報等に基づいて、装置状態情報の送信の可否を判定し、送信可と判定した場合、装置状態情報の取得を要求する携帯通信装置6へ装置状態情報を送信するように構成してある。
また電子メールで装置状態情報を送信する際、該装置状態情報を暗号化して携帯通信装置6へ送信すると良い。
なお、言うまでも無く、装置状態情報の送信先は特定の範囲に制限されるべきであり、二次記憶装置33は、装置状態情報の取得を要求し、装置状態情報の受信が許可された携帯通信装置6の電子メールアドレス、機器ID等を記憶している。また、装置状態情報の送信を要求する使用者を認証するための認証情報を二次記憶装置33に記憶させても良い。制御部31は、二次記憶装置33が記憶している電子メールアドレス、機器ID、認証情報等に基づいて、装置状態情報の送信の可否を判定し、送信可と判定した場合、装置状態情報の取得を要求する携帯通信装置6へ装置状態情報を送信するように構成してある。
また電子メールで装置状態情報を送信する際、該装置状態情報を暗号化して携帯通信装置6へ送信すると良い。
携帯通信装置6は、装置情報送信装置3から送信された装置状態情報を電子メールにて受信する。装置状態情報を受信した携帯通信装置6は、装置リスト表示画面を表示部に表示させることができる。
図5は、装置リスト表示画面例の模式図である。装置リスト表示画面には、例えば、監視対象の複数の半導体製造装置1の名称が含まれる。また、名称と共に、半導体製造装置1の種類等を表したアイコンを表示するように構成しても良い。更に、携帯通信装置6は、各半導体製造装置1に異常が発生している場合、異常が発生している旨を示す警告アイコンを表示する。
携帯通信装置6は、ある一つの半導体製造装置1の指定を操作部にて受け付けた場合、指定された半導体製造装置1のプロセス状態を表したプロセス状態表示画面を表示部に表示させる。
図6は、プロセス状態表示画面例の模式図である。プロセス状態表示画面には、指定された半導体製造装置1の名称、プロセス状態、実行中のプロセスレシピ名、被処理体の状態などが表示される。また、半導体製造装置1に異常が発生している場合、警告ボタンが表示される。
図6に示した警告ボタンが操作された場合、又は図5の警告アイコンが操作された場合、携帯通信装置6は、警告画面を表示部に表示する。
図7は、警告画面の一例を示した模式図である。警告画面には、半導体製造装置1の名称と、警告の概要を示した警告項目ボタンが表示される。警告項目ボタンが操作された場合、携帯通信装置6は、警告内容の詳細を表示した警告内容表示画面を表示部に表示させる。
図7は、警告画面の一例を示した模式図である。警告画面には、半導体製造装置1の名称と、警告の概要を示した警告項目ボタンが表示される。警告項目ボタンが操作された場合、携帯通信装置6は、警告内容の詳細を表示した警告内容表示画面を表示部に表示させる。
図8は、警告内容の詳細を示した警告内容表示画面例の模式図である。警告内容表示画面には、半導体製造装置1で発生した問題の内容、原因、対処方法等が表示される。なお、問題の原因及び対処方法の情報は、装置情報送信装置3から装置状態情報を送信する際、該装置状態情報と共に送信するように構成すると良い。また、問題に対する典型的な原因及び対処方法が一意に定まるようなものである場合、原因及び対処方法を携帯通信装置6が予め記憶しておき、装置状態情報に含まれる情報に対応する原因及び対処方法を特定し、表示するようにしても良い。
図3に戻り、ステップS14の処理を終えた場合、又はステップS12において、装置状態情報の取得を要求するメールでは無いと判定した場合(ステップS12:NO)、制御部31は、ステップS11で受信したメールが、装置状態情報の通知条件の設定を要求する電子メールであるか否かを判定する(ステップS15)。通知条件の設定を要求する電子メールであると判定した場合(ステップS15:YES)、制御部31は、受信した電子メールに記述されている通知条件をDB33aに記憶させる(ステップS16)。通知条件は、半導体製造装置1がある状態になった場合に、半導体製造装置1の状態を示す情報を外部の携帯通信装置6へ送信すべきか否かを判定するための情報である。また、半導体製造装置1がある所定の第1状態から、所定の第2状態になった場合に、半導体製造装置1の状態を示す情報を、外部の携帯通信装置6へ送信すべきか否かを判定するための情報としても良い。つまり、半導体製造装置1の前後の状態の組み合わせを、通知条件としても良い。
図9は、プロセス状態毎に設定された通知条件及び選択形式の一例を示した図表である。左欄の項目は半導体製造装置1のプロセス状態の例が示されている。半導体製造装置1のプロセス状態を示す情報としては、実行中のメインレシピ名、実行中のサブレシピ名、終了予定時刻、プロセス開始時刻、プロセス残り時間、実行中のステップ、被処理体の投入が可能である状態、被処理体の払い出し待ち状態、アラーム発生状態などがある。中欄は各プロセス状態について通知条件を設定できる対象であるか否かを示す情報が設定されている。例えば、実行中メインレシピ名に丸印が設定されているため、実行されているプロセスのメインレシピ名が電子メール送信のトリガに設定することができることを示している。右欄は、通知条件の形式を示している。例えば、電子メールによる通知条件として、実行中のメインレシピ名を設定する場合、複数のメインレシピ名の中から特定のメインレシピ名を選択することになるため、「選択式」の形式が設定されている。また、電子メールによる通知条件として、プロセス残り時間を設定する場合、時間を数字で設定することになるため、「数値入力」の形式が設定されている。
図10は、選択式の通知条件の設定画面例の模式図である。図10に示すように、「選択式」の通知条件として、プロセス状態の変化を設定することができる。設定画面は、例えばメール通知のオン及びオフの選択を受け付けるボタンを含む。また、設定画面は、電子メールによる通知を都度行う第1モードと、電子メールによる通知を1回に限り行う第2モードとを選択するためのボタンを含む。更に、設定画面は、変化前のプロセス状態、変化後のプロセス状態を選択する選択ボックスを含む。更にまた、設定画面には、電子メールアドレスの送信先が表示され、設定ボタン及びキャンセルボタンが含まれている。
使用者は、携帯通信端末の操作部を操作し、メール通知のオンオフ、電子メールによる通知を繰り返し行うか否かの設定、通知の条件となる状態変化の内容を入力し、設定ボタンを選択すると、入力され通知条件が電子メールにて、装置情報送信装置3へ送信される。
使用者は、携帯通信端末の操作部を操作し、メール通知のオンオフ、電子メールによる通知を繰り返し行うか否かの設定、通知の条件となる状態変化の内容を入力し、設定ボタンを選択すると、入力され通知条件が電子メールにて、装置情報送信装置3へ送信される。
図11は、数値入力式の通知条件の設定画面例の模式図である。図11に示すように、「数値入力」の通知条件として、例えば、プロセス残り時間の数値を設定することができる。設定画面は、図10と同様、メール通知のオン及びオフの選択を受け付けるボタン、電子メールによる通知を繰り返し行うかどうかを選択するボタン、電子メールアドレスの送信先、設定ボタン及びキャンセルボタン等が含まれている。更に、設定画面は、閾値を入力するためのスライドバー、電子メールの通知条件として、閾値を下回った場合、閾値と同値になった場合、閾値を越えた場合などの条件を設定するための選択ボックスを含む。
使用者は、携帯通信端末の操作部を操作し、メール通知のオンオフ、電子メールによる通知を繰り返し行うか否かの設定、通知の条件となる数値等を入力し、設定ボタンを選択又は押下すると、入力され通知条件が電子メールにて、装置情報送信装置3へ送信される。
使用者は、携帯通信端末の操作部を操作し、メール通知のオンオフ、電子メールによる通知を繰り返し行うか否かの設定、通知の条件となる数値等を入力し、設定ボタンを選択又は押下すると、入力され通知条件が電子メールにて、装置情報送信装置3へ送信される。
図3に戻り、ステップS16の処理を終えた場合、又はステップS15において通知条件の設定を要求する電子メールでは無いと判定した場合(ステップS15:NO)、制御部31は、DB21の内容を監視する所定のタイミングであるか否かを判定する(ステップS17)。
前記所定の監視タイミングで無いと判定した場合(ステップS17:NO)、制御部31は、処理をステップS11へ戻す。前記所定のタイミングであると判定した場合(ステップS17:YES)、制御部31は、DB21が記憶する装置状態情報を取得し(ステップS18)、取得した装置状態情報をDB33aに記憶させることによって、DB33aが記憶する装置状態情報を最新の情報に更新する(ステップS19)。
ステップS19の処理を終えた制御部31は、DB33aが記憶している装置状態情報と、通知条件とを読み出し(ステップS20)、装置状態情報が通知条件を満たすか否かを判定する(ステップS21)。通知条件を満たさないと判定した場合(ステップS21:NO)、制御部31は、処理をステップS11へ戻す。通知条件を満たすと判定した場合(ステップS21:YES)、制御部31は、メール送信プロトコルに従って通知条件を満たした装置状態情報又は通知条件を満たした旨を示す所定情報を携帯通信装置6へ送信する(ステップS22)。具体的には、メール送信部35は、SMTPなどの所定のメール送信プロトコルに従って、メール送信サーバ4にアクセスし、装置状態情報などの情報のメール送信を依頼し、メール送信サーバ4から携帯通信装置6へ装置状態情報を電子メールにて送信する。
ステップS22の処理で送信された装置状態情報又は所定情報を受信した携帯通信装置6は、半導体製造装置1が通知条件を満たした旨を表示する。また、図5に示した装置リストを表示し、半導体製造装置1の状態を表示するように構成しても良い。
次いで、制御部31は、ステップS22で送信した装置状態情報が通知条件を満たすと判定した該通知条件に対応付けられた送信態様が第1モード、即ち「繰り返し」送信であるか否かを判定する(ステップS23)。送信態様が「繰り返し」で無いと判定した場合(ステップS23:NO)、制御部31は、前記通知条件を無効にし(ステップS24)、処理を終える。送信態様が「繰り返し」であると判定した場合(ステップS23:YES)、制御部31は、通信条件に変更を加えること無く、処理を終える。つまり、二次記憶装置33は、通知条件に対応付けられた送信態様が第1モードの「繰り返し」である場合、該通知条件を保持するため、再び装置状態情報が通知条件を満たした場合、その都度、装置状態情報が携帯通信装置6へ送信される。
このように構成された装置情報送信システムによれば、電子メールを利用して、半導体製造装置1の装置状態などを示した情報を送受信することができ、半導体工場の構外から半導体製造装置1の遠隔監視を行うことができる。
新規の長時間プロセス立ち上げ時などで、半導体製造装置1近傍で作業担当者が張り付いて監視する時間を減少させ、作業担当者のリソースを有効に活用することができる。
半導体製造装置1における顧客担当エリアが広域なメンテナンス担当者、フィールドエンジニアなど、すぐに現地に赴くことができない場合であっても、半導体製造装置1の問題に対して速やかに対応することが可能になる。
新規の長時間プロセス立ち上げ時などで、半導体製造装置1近傍で作業担当者が張り付いて監視する時間を減少させ、作業担当者のリソースを有効に活用することができる。
半導体製造装置1における顧客担当エリアが広域なメンテナンス担当者、フィールドエンジニアなど、すぐに現地に赴くことができない場合であっても、半導体製造装置1の問題に対して速やかに対応することが可能になる。
また、通知条件を設定する際、送信態様として、通知条件を満たす都度、通知を行う第1モードと、通知条件を満たした場合に1回に限り通知を行う第2モードとを選択し、設定できる構成であるため、送信回数を限定することができ、不要な情報が外部へ送信されることを避けることができる。また、不要な送信条件を解除する手間を省くことができるため便宜である。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものでは無いと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味では無く、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 半導体製造装置
2 群管理装置
3 装置情報送信装置
4 メール送信サーバ
5 メール受信サーバ
6 携帯通信装置
21 DB
31 制御部
32 一次記憶装置
33 二次記憶装置
33a DB
34 データベース更新部
35 メール送信部
36 メール受信部
2 群管理装置
3 装置情報送信装置
4 メール送信サーバ
5 メール受信サーバ
6 携帯通信装置
21 DB
31 制御部
32 一次記憶装置
33 二次記憶装置
33a DB
34 データベース更新部
35 メール送信部
36 メール受信部
Claims (6)
- 製造装置の状態を示す情報を取得する取得手段を備え、取得した情報を外部へ送信する装置情報送信装置において、
前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を記憶する送信条件記憶手段と、
前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たすか否かを判定する判定手段と、
該判定手段が前記送信条件を満たすと判定した場合、メール送信プロトコルに従って、前記製造装置の情報又は該情報が前記送信条件を満たした旨を示す所定情報を外部へ送信する送信手段と
を備えることを特徴とする装置情報送信装置。 - 前記取得手段は、
前記製造装置の状態を示す情報を、前記製造装置から定期的に取得するようにしてあり、
更に、前記取得手段にて定期的に取得した前記製造装置の状態を示す情報を記憶する状態記憶手段を備える
ことを特徴とする請求項1に記載の装置情報送信装置。 - 前記送信条件は、
前記製造装置の状態変化の前後の状態を示した情報を含み、
前記判定手段は、
前記状態記憶手段が記憶する前記製造装置の状態の変化が前記送信条件の状態変化に合致した場合、前記送信条件を満たすと判定するように構成してある
ことを特徴とする請求項2に記載の装置情報送信装置。 - 前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を、メール受信プロトコルに従って受信する受信手段を備え、
前記送信条件記憶手段は、
前記受信手段にて受信した送信条件を記憶するようにしてある
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載の装置情報送信装置。 - 前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たす都度、前記製造装置の情報若しくは前記所定情報を送信する送信態様を示す第1送信態様情報、又は前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たした場合、前記製造装置の情報若しくは前記所定情報を1回に限り送信する送信態様を示す第2送信態様情報を、前記送信条件に対応付けて記憶する手段と、
前記製造装置の状態を示す情報を送信した場合、前記送信条件に前記第2送信態様情報が対応付けられているとき、該送信条件を無効にする手段と
を備え、
前記送信手段は、
前記送信条件に前記第1送信態様情報が対応付けられている場合、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たす都度、前記製造装置の状態を示す情報又は前記所定情報を送信するようにしてある
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の装置情報送信装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一つに記載の装置情報送信装置と、
該装置情報送信装置から送信された情報を受信する携帯通信装置と
を備えることを特徴とする装置情報送信システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012070035A JP2013201378A (ja) | 2012-03-26 | 2012-03-26 | 装置情報送信装置、装置情報送信システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012070035A JP2013201378A (ja) | 2012-03-26 | 2012-03-26 | 装置情報送信装置、装置情報送信システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013201378A true JP2013201378A (ja) | 2013-10-03 |
Family
ID=49521342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012070035A Pending JP2013201378A (ja) | 2012-03-26 | 2012-03-26 | 装置情報送信装置、装置情報送信システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013201378A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018110374A (ja) * | 2016-10-24 | 2018-07-12 | フィッシャー−ローズマウント システムズ,インコーポレイテッド | セキュリティ保護されたプロセス制御通信のためのデータダイオードを経由する安全なデータ転送 |
US11240201B2 (en) | 2016-10-24 | 2022-02-01 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Publishing data across a data diode for secured process control communications |
-
2012
- 2012-03-26 JP JP2012070035A patent/JP2013201378A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2018110374A (ja) * | 2016-10-24 | 2018-07-12 | フィッシャー−ローズマウント システムズ,インコーポレイテッド | セキュリティ保護されたプロセス制御通信のためのデータダイオードを経由する安全なデータ転送 |
US11240201B2 (en) | 2016-10-24 | 2022-02-01 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Publishing data across a data diode for secured process control communications |
JP7210135B2 (ja) | 2016-10-24 | 2023-01-23 | フィッシャー-ローズマウント システムズ,インコーポレイテッド | セキュリティ保護されたプロセス制御通信のためのデータダイオードを経由する安全なデータ転送 |
US11700232B2 (en) | 2016-10-24 | 2023-07-11 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Publishing data across a data diode for secured process control communications |
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