JP4550908B2 - 製造装置、情報処理方法、及びプログラム - Google Patents

Description

本発明は、製造装置で用いられるパーツの属性を管理する製造装置等に関する。

従来、半導体製造装置で用いられるパーツを管理するシステムが知られていた（例えば、特許文献１参照）。
なお、関連する技術として、いわゆるバッチ式縦型熱処理装置が知られていた（特許文献２、特許文献３参照）。
特開２００４−２０６７０２号公報 特開平７−２９７２５７号公報 特開２００２−２５９９７号公報

半導体製造装置等の製造装置で用いられるパーツは、目視では判断しにくい素材の違いや、表面加工の違い、数ミリ程度の形状の違い等があり、パーツそのものを見ることによって判断することはできず、パーツのデータベース等に頼らざるを得なかった。しかしながら、従来の半導体製造装置等の製造装置においては、製造装置で用いられるパーツと、そのパーツに関する情報とが分かれて管理されていることが多かった。例えば、パーツ発注用に工場のデータベースにおいて管理されており、出荷履歴として工場文書において管理されており、保守サービス用に保守サービスデータベースで管理されていると言ったように、複数のデータベース等で管理されていることが多かった。その結果、実際に用いられているパーツと、管理しているパーツの情報とに齟齬が生じることもあった。例えば、パーツの装着後にメンテナンスを行い、パーツが変更されているような場合には、発注用のデータベースと、メンテナンス用のデータベースでは、パーツの異なる情報が管理されていることになってしまう、と言う問題があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、製造装置で用いられるパーツの情報を、実際に製造装置で用いられているパーツに合わせて適切に管理することができる製造装置等を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明による製造装置は、被処理基板に対する半導体プロセスを行う製造装置であって、前記製造装置で用いられるパーツを識別する情報であるパーツ識別情報を受け付けるパーツ識別情報受付部と、前記パーツ識別情報受付部が受け付けたパーツ識別情報で識別されるパーツの属性を示す情報であるパーツ属性情報を受け付けるパーツ属性情報受付部と、前記製造装置で用いられるパーツを識別するパーツ識別情報と、当該パーツ識別情報で識別されるパーツのパーツ属性情報とを対応付けて有する情報であるパーツ属性対応情報が記憶されるパーツ属性対応情報記憶部と、前記パーツ識別情報受付部が受け付けたパーツ識別情報と、前記パーツ属性情報受付部が受け付けたパーツ属性情報とを用いて、前記パーツ属性対応情報を更新するパーツ属性対応情報管理部と、を備えたものである。

このような構成により、製造装置で用いられるパーツを、その製造装置において管理するため、パーツの管理をより正確に行いうることになる。したがって、複数のデータベース等においてパーツの情報が管理されている場合には、そのデータベース間で情報に齟齬が生じることもあり得たが、そのようなことを回避することができうる。

また、本発明による製造装置では、前記パーツ属性対応情報管理部は、パーツが前記製造装置に装着される際に、当該パーツのパーツ識別情報を含むパーツ属性対応情報を前記パーツ属性対応情報記憶部に蓄積し、前記パーツ属性情報は、パーツの使用履歴に関する情報である使用履歴情報を含んでもよい。

このような構成により、パーツの使用履歴を管理することができるようになる。その使用履歴を用いることにより、例えば、パーツをあとどれぐらい使用できるのかを確認することができるようになりうる。

また、本発明による製造装置では、前記パーツ属性対応情報管理部は、パーツの使用状況に応じて前記使用履歴情報を更新してもよい。
このような構成により、製造装置においてパーツが使用されたことに応じて、パーツの使用履歴情報を更新することができ、パーツ属性対応情報に含まれるパーツの使用履歴情報を最新の情報に維持することができうる。

また、本発明による製造装置では、前記パーツ属性情報受付部は、前記製造装置に装着されたパーツの過去の使用履歴情報を含むパーツ属性情報をも受け付けるものであり、前記パーツ属性対応情報管理部は、前記パーツ属性情報受付部が受け付けたパーツ属性情報に含まれる過去の使用履歴情報を用いて、当該パーツ属性情報に対応するパーツ属性対応情報におけるパーツ属性情報を更新してもよい。
このような構成により、過去の使用履歴情報を受け継ぐことができ、より正確な使用履歴情報とすることができうる。

また、本発明による製造装置では、パーツが前記製造装置から取り外された際に、当該パーツに対応するパーツ属性対応情報に含まれる使用履歴情報を含むパーツ属性情報を出力する第１のパーツ属性情報出力部をさらに備えてもよい。
このような構成により、製造装置で使用されたパーツの使用履歴情報を、そのパーツが使用される他の製造装置に受け継ぐことができうる。

また、本発明による製造装置では、前記パーツ属性対応情報は、パーツの種類を識別する情報であるパーツ種類識別情報を含み、パーツ種類識別情報と、パーツの寿命を示す情報である寿命情報とを対応付けて有する情報である寿命対応情報が記憶される寿命対応情報記憶部と、前記パーツ属性対応情報に含まれるパーツ種類識別情報と対応付けられている寿命情報と、当該パーツ属性対応情報に含まれる使用履歴情報とを用いて、当該パーツ属性対応情報に対応するパーツの寿命が到来するかどうか判断する寿命判断部と、前記寿命判断部が、パーツの寿命が到来すると判断したパーツのパーツ識別情報を少なくとも含む情報である寿命到来情報を出力する寿命到来情報出力部と、をさらに備えてもよい。

このような構成により、製造装置で用いられるパーツの寿命が到来することをユーザ等に警告することができうる。その結果、例えば、ユーザは、寿命の到来するパーツを発注することができうる。

また、本発明による製造装置では、パーツ属性対応情報に含まれるパーツ属性情報の出力を指示する情報である出力指示情報を受け付ける出力指示情報受付部と、前記出力指示情報受付部が受け付けた出力指示情報で出力することが指示されたパーツ属性情報を前記パーツ属性対応情報記憶部から読み出して出力する第２のパーツ属性情報出力部と、をさらに備えてもよい。

このような構成により、製造装置で管理されているパーツ属性対応情報に含まれるパーツ属性情報が出力されることになり、例えば、ユーザが、その内容を確認することができうる。

本発明による製造装置等によれば、製造装置においてパーツに関する情報を管理するため、製造装置で用いられるパーツの情報を、実際に製造装置で用いられているパーツに合わせて適切に管理することができる。

以下、本発明による製造装置について、実施の形態を用いて説明する。なお、以下の実施の形態において、同じ符号を付した構成要素及びステップは同一または相当するものであり、再度の説明を省略することがある。

（実施の形態１）
本発明の実施の形態１による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施の形態による群管理システムの構成を示すブロック図である。図１において、本実施の形態による群管理システムは、サーバ装置１０と、クライアント装置２０と、Ｎ個の製造装置３０とを備える。ここで、Ｎは、１または２以上の整数である。群管理システムにおいて、サーバ装置１０、クライアント装置２０、１以上の製造装置３０は、有線または無線の通信回線を介して互いに通信可能なように接続されている。その通信回線は、例えば、インターネットやイントラネット、公衆電話回線網等である。

サーバ装置１０は、１以上の製造装置３０における各種の測定情報を格納可能なものである。また、サーバ装置１０は、クライアント装置２０からの要求に応じて処理を実行し、その処理結果を適宜、クライアント装置２０に送信する。また、サーバ装置１０は、後述するパーツ属性対応情報を、製造装置から取得して製造装置ごとに管理していてもよい。

製造装置３０は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う装置である。製造装置３０は、例えば、半導体製造装置や、液晶パネル製造装置、有機ＥＬディスプレイ製造装置、プラズマ表示パネル製造装置等である。被処理基板は、例えば、半導体ウエハやＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）基板等である。ＦＰＤ基板は、例えば、ガラス基板等である。なお、製造装置３０が実行する被処理基板に対する所定の半導体プロセスは、少なくとも半導体に関するプロセスを含むものであれば、その前工程や後工程等を含んでもよく、あるいは、含まなくてもよい。製造装置３０が被処理基板に対して行う処理は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等であってもよい。

クライアント装置２０は、サーバ装置１０あるいは製造装置３０に対する各種の処理を要求する。また、クライアント装置２０は、それらの処理の要求に対する処理結果を受け付ける。

製造装置３０は、例えば、上述の特許文献２、または特許文献３等におけるバッチ式縦型熱処理装置である。製造装置３０の例を図２に示す。製造装置３０は、ローディング室として、他の室に対して密閉可能になされ、不活性雰囲気としてＮ２ガスが供給・真空引き可能になされたいわゆるロードロック室構造になされた装置である。製造装置３０は、被処理体であるウエハＷに所定の処理を施す処理室であるプロセスチューブａと、このプロセスチューブ（処理室）ａに対して多数枚、例えば１００枚のウエハＷを収納した保持体としてのウエハボート（保持対）ｆを挿脱する移送機構ｇを備えたローディング室としてのロードロック室ｈと、このロードロック室ｈに対してウエハＷを搬出入する搬出入室ａｂと、この搬出入室ａｂに形成されたカセット収容容器用ポートａｃと、このポートａｃに載置されたカセット収容容器ａｄを搬出入室ａｂ内に取り込む取り込み手段ａｅと、取り込んだカセット収容容器ａｄを一時的に保管する容器保管ステージａｆと、カセット収容容器ａｄ内に収容されたカセットＣを取り出すカセット取り出しステージａｇと、搬出入室ａｂ内にてカセット収容容器ａｄの受け渡しを行う容器移載手段ａｈと、ロードロック室ｈと搬出入室ａｂとの間に配置されるウエハボートｆを収容する保持体収容室ａｉとで主要部が構成されている。なお、図２の製造装置３０の例における、その他の部位、及び動作については、公知技術（特許文献２参照）であるので詳細な説明は省略する。また、製造装置３０を構成するチャンバーとして、特許文献３の図１におけるチャンバーが好適である。また、製造装置３０は、図２で示される以外のものであってもよいことは言うまでもない。また、製造装置３０は、例えば、被処理基板に対する所定の半導体プロセスに関する情報であるレシピを保持しており、そのレシピを用いてプロセス制御等を実行する。

次に、本実施の形態による製造装置３０の構成について、図３のブロック図を用いて説明する。なお、図３のブロック図では、本実施の形態による群管理システムにおいて特徴的な部分のみを明記しており、その他の部分は省略しているが、製造装置３０は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスに関する処理を実行する構成、例えば、被処理基板を搬送する構成や、製造工程での温度や圧力等をサーバ装置１０に送信する構成等を有していてもよい。

製造装置３０は、パーツ識別情報受付部３１と、パーツ属性情報受付部３２と、パーツ属性対応情報記憶部３３と、パーツ属性対応情報管理部３４と、パーツ取り外し検知部３５と、第１のパーツ属性情報出力部３６と、出力指示情報受付部３７と、第２のパーツ属性情報出力部３８と、寿命対応情報記憶部３９と、寿命判断部４０と、寿命到来情報出力部４１とを備える。

パーツ識別情報受付部３１は、製造装置３０で用いられるパーツを識別する情報であるパーツ識別情報を受け付ける。パーツ識別情報は、パーツを一意に特定することができる情報であれば、どのような情報であってもよい。パーツ識別情報は、例えば、独自形式の情報であってもよく、パーツの名称と、パーツの型番と、パーツの製造番号（シリアルナンバー）とを含む情報であってもよく、その他の情報であってもよい。パーツは、製造装置３０で用いられるものであれば、その種類を限定されない。例えば、パーツは、ウエハボート、シャワーヘッド、フォーカスリング、ヒーター、ウエハ載置台等であってもよい。

パーツ識別情報受付部３１が、パーツ識別情報を受け付けるタイミングは問わない。例えば、パーツに関する規定のアクションが行われた際に、そのアクションの行われたパーツ識別情報を受け付けてもよい。規定のアクションとは、例えば、パーツの装着、パーツの取り外し、パーツの修理、パーツの破棄、パーツに対するメンテナンス等であってもよい。それらのアクションが行われた際に、パーツ識別情報受付部３１は、自動的にパーツ識別情報を受け付けてもよく、あるいは、手動で入力されたパーツ識別情報を受け付けてもよい。前者の場合としては、例えば、パーツに対するアクションを検知する図示しないアクション検知部を製造装置３０が有しており、そのアクション検知部がパーツに対するアクションを検知した際に、パーツ識別情報受付部３１は、そのアクションの行われたパーツを識別するパーツ識別情報を取得してもよい。パーツ識別情報受付部３１が、パーツに対して規定のアクションが行われた際に、パーツ識別情報を受け付ける場合には、パーツ識別情報受付部３１は、パーツ識別情報と共に、アクションを識別する情報であるアクション識別情報を受け付けてもよい。

パーツ識別情報受付部３１は、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力されたパーツ識別情報を受け付けてもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信されたパーツ識別情報を受信してもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出されたパーツ識別情報を受け付けてもよい。なお、パーツ識別情報受付部３１は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、パーツ識別情報受付部３１は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。

パーツ属性情報受付部３２は、パーツ識別情報受付部３１が受け付けたパーツ識別情報で識別されるパーツの属性を示す情報であるパーツ属性情報を受け付ける。パーツ属性情報受付部３２は、パーツ識別情報受付部３１がパーツ識別情報を受け付けるタイミングで、パーツ属性情報を受け付けてもよく、あるいは、そうでなくてもよい。いずれの場合であっても、パーツ属性情報と、パーツ識別情報とは、紐付けられていることが好適である。この紐付けは、直接的であってもよく、間接的であってもよい。前者の場合には、例えば、パーツ識別情報とパーツ属性情報とのそれぞれに、両者を紐付けるための情報が対応付けられており、その紐付けるための情報を用いて、両者の紐付けがなされてもよい。具体的には、同じ情報や、所定の関係を有する情報（例えば、一方の情報の示す数値に所定の演算（例えば、１を足す、逆数にする、桁を入れ替える等）をしたものが他方の情報の示す数値になる等の関係を有する情報であってもよい）の対応付けられているパーツ識別情報とパーツ属性情報とは、紐付けられていると判断されてもよい。間接的に紐付けられている場合には、例えば、所定の時間間隔以内にパーツ識別情報受付部３１で受け付けられたパーツ識別情報と、パーツ属性情報受付部３２で受け付けられたパーツ属性情報とは、紐付けられていると判断されてもよい。パーツ属性情報受付部３２は、パーツ識別情報受付部３１がパーツ識別情報を受け付けるタイミングで、パーツ属性情報を受け付ける場合には、パーツ識別情報受付部３１とパーツ属性情報受付部３２とは、一体の構成要素であってもよく、そうでなくてもよい。

パーツ属性情報は、例えば、使用履歴情報を含んでいてもよく、パーツの名称を含んでいてもよく、パーツの型番を含んでいてもよく、パーツの製造番号（シリアルナンバー）を含んでいてもよく、パーツを担当している担当者名を含んでいてもよく、パーツを担当している担当者の連絡先を含んでいてもよく、パーツのサイズや重量等を含んでいてもよく、その他のパーツに関する情報を含んでいてもよい。パーツ属性情報に含まれる使用履歴情報は、パーツの使用履歴に関する情報である。使用履歴情報は、例えば、パーツの使用開始の時間的な時点（例えば、年月日や日時等）を示す情報であってもよく、パーツの使用期間を示す情報であってもよく、パーツの使用回数を示す情報であってもよく、パーツがどれぐらい使用されたのかを示す情報であれば、その他の情報であってもよい。

パーツ属性情報受付部３２が、パーツ属性情報を受け付けるタイミングは問わない。例えば、パーツに関する規定のアクションが行われた際に、そのアクションの行われたパーツ属性情報を受け付けてもよい。それらのアクションが行われた際に、パーツ属性情報受付部３２は、自動的にパーツ属性情報を受け付けてもよく、あるいは、手動で入力されたパーツ属性情報を受け付けてもよい。前者の場合としては、例えば、パーツに対するアクションを検知する図示しないアクション検知部を製造装置３０が有しており、そのアクション検知部がパーツに対するアクションを検知した際に、パーツ属性情報受付部３２は、そのアクションの行われたパーツのパーツ属性情報を取得してもよい。

パーツ属性情報受付部３２は、製造装置３０に装着されたパーツの過去の使用履歴情報を含むパーツ属性情報をも受け付けてもよい。パーツの過去の使用履歴情報とは、例えば、あるパーツが他の装置で使用された後に取り外されて、製造装置３０に装着された場合などにおける、他の装置でのパーツの使用履歴情報である。

パーツ属性情報受付部３２は、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力されたパーツ属性情報を受け付けてもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信されたパーツ属性情報を受信してもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出されたパーツ属性情報を受け付けてもよい。なお、パーツ属性情報受付部３２は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、パーツ属性情報受付部３２は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。

また、パーツ識別情報受付部３１によるパーツ識別情報の受け付けや、パーツ属性情報受付部３２によるパーツ属性情報の受け付けは、例えば、２次元バーコードやＲＦＩＤに含まれるパーツ識別情報やパーツ属性情報の読み出しであってもよく、ＤｅｖｉｃｅＮｅｔ等の通信を介したパーツ識別情報やパーツ属性情報の受け付けであってもよい。２次元バーコードや、ＲＦＩＤは、パーツ自身に取り付けられていてもよく、そうでなくてもよい。

パーツ属性対応情報記憶部３３では、パーツ属性対応情報が記憶される。パーツ属性対応情報は、製造装置３０で用いられるパーツを識別するパーツ識別情報と、そのパーツ識別情報で識別されるパーツのパーツ属性情報とを対応付けて有する情報である。パーツ属性対応情報に含まれるパーツ識別情報は、パーツ識別情報受付部３１で受け付けられたパーツ識別情報である。一方、パーツ属性対応情報に含まれるパーツ属性情報は、パーツ属性情報受付部３２で受け付けられたパーツ属性情報であってもよく、あるいは、そうでなくてもよい。後者の場合としては、後述するように、パーツ属性対応情報管理部３４によって更新されたパーツ属性情報が、パーツ属性対応情報に含まれる場合であってもよく、あるいは、パーツ属性情報受付部３２が受け付けるパーツ属性情報は、パーツの属性の変化の差分を示す情報であり、パーツ属性対応情報に含まれるパーツ属性情報は、パーツの属性そのものを示す情報（差分ではない情報）である場合であってもよい。

パーツ属性対応情報は、パーツの種類を識別する情報であるパーツ種類識別情報を含んでもよい。パーツ種類識別情報は、例えば、独自形式の情報であってもよく、パーツの名称と、パーツの型番とを含む情報であってもよく、その他の情報であってもよい。本実施の形態では、パーツ属性対応情報にパーツ種類識別情報が含まれている場合について説明する。

パーツ属性対応情報記憶部３３での記憶は、ＲＡＭ等における一時的な記憶でもよく、あるいは、長期的な記憶でもよい。パーツ属性対応情報記憶部３３は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。

パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツ識別情報受付部３１が受け付けたパーツ識別情報と、パーツ属性情報受付部３２が受け付けたパーツ属性情報とを用いて、パーツ属性対応情報を更新する。パーツ属性対応情報の更新は、パーツ属性対応情報の新規作成（すなわち、新規の蓄積）、パーツ属性対応情報の内容の変更、パーツ属性対応情報の削除等を含む概念である。また、パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツ識別情報受付部３１が受け付けたパーツ識別情報と、パーツ属性情報受付部３２が受け付けたパーツ属性情報との両方を同時に用いてパーツ属性対応情報を更新してもよく、パーツ識別情報受付部３１が受け付けたパーツ識別情報のみを用いてパーツ属性対応情報を更新してもよく、あるいは、パーツ属性情報受付部３２が受け付けたパーツ属性情報のみを用いてパーツ属性対応情報を更新してもよい。

パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツが製造装置３０に装着される際に、そのパーツのパーツ識別情報を含むパーツ属性対応情報をパーツ属性対応情報記憶部３３に蓄積してもよい。また、パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツ属性情報受付部３２が受け付けたパーツ属性情報に含まれる過去の使用履歴情報を用いて、そのパーツ属性情報に対応するパーツ属性対応情報におけるパーツ属性情報を更新してもよい。また、パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツが製造装置３０から取り外される際に、そのパーツのパーツ識別情報を含むパーツ属性対応情報を無効化する処理を行ってもよい。パーツ属性対応情報を無効化する処理とは、例えば、パーツ属性対応情報を削除する処理であってもよく、パーツ属性対応情報に無効である旨のフラグを設定する処理であってもよく、その他の処理であってもよい。

また、パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツの使用状況に応じて使用履歴情報を更新してもよい。ここで、パーツの使用状況を取得する方法について簡単に説明する。パーツ属性対応情報管理部３４は、製造装置３０の使用状況をパーツの使用状況として取得してもよい。また、パーツ属性対応情報管理部３４は、製造装置３０の使用状況とパーツの使用状況とを対応付ける情報を用いて、製造装置３０の使用状況をパーツの使用状況に換算することによって、パーツの使用状況を取得してもよい。例えば、製造装置３０の使用状況と、パーツの使用状況とに、２：１の関係があるのであれば、製造装置３０の使用状況を半分にしたものを、パーツの使用状況として取得してもよい。また、パーツ属性対応情報管理部３４は、各パーツに対してなされる制御に応じて、パーツごとにパーツの使用状況を取得してもよい。例えば、あるパーツを１回使用する制御を行う場合には、パーツ属性対応情報管理部３４は、そのパーツの使用状況として、１回使用された旨を取得してもよい。また、パーツ属性対応情報管理部３４は、プロセス時間を累計した時間である累計プロセス時間を用いて、パーツの使用状況を取得してもよい。その場合に、パーツ属性対応情報管理部３４は、累計プロセス時間をそのままパーツの使用状況としてもよく、累計プロセス時間をパーツの使用状況に換算することによって、パーツの使用状況を取得してもよい。プロセス時間とは、例えば、ガス導入時間や、プラズマ印加時間等である。製造装置３０の使用状況や、パーツの使用状況は、例えば、使用開始の時間的な時点（例えば、年月日や日時等）を示す情報であってもよく、使用期間を示す情報であってもよく、使用回数を示す情報であってもよく、製造装置３０やパーツがどれぐらい使用されたのかを示す情報であれば、その他の情報であってもよい。

パーツ属性対応情報管理部３４がパーツ属性対応情報を更新するタイミングは問わない。例えば、パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツ識別情報受付部３１がパーツ識別情報を受け付けたタイミングで、パーツ属性対応情報を更新してもよく、パーツ属性情報受付部３２がパーツ属性情報を受け付けたタイミングで、パーツ属性対応情報を更新してもよく、パーツの使用状況を取得したタイミングで、パーツ属性対応情報を更新してもよく、パーツが製造装置３０に装着されるタイミングで、そのパーツのパーツ識別情報を含むパーツ属性対応情報を蓄積してもよく、パーツ属性情報受付部３２が製造装置３０に装着されたパーツの過去の使用履歴情報を受け付けたタイミングで、パーツ属性情報受付部３２が受け付けたパーツ属性情報に含まれる過去の使用履歴情報を用いて、そのパーツ属性情報に対応するパーツ属性対応情報におけるパーツ属性情報を更新してもよい。

また、パーツ識別情報受付部３１や、パーツ属性情報受付部３２が、アクション識別情報をも受け付けた場合には、パーツ属性対応情報管理部３４は、そのアクション識別情報をも、パーツ属性対応情報記憶部３３で記憶されているパーツ属性対応情報に含ませるようにしてもよい。また、パーツ属性対応情報管理部３４がアクション識別情報をパーツ属性対応情報に蓄積する際に、その蓄積する年月日や日時と共にアクション識別情報を蓄積するようにしてもよい。そのようにすることで、パーツに対して、過去にどのようなアクションが行われたのかがパーツ属性対応情報で管理されるようになる。パーツ属性対応情報管理部３４は、年月日や日時を、図示しないカレンダー部や時計部から取得してもよい。

パーツ取り外し検知部３５は、パーツが製造装置３０から取り外されたことを検知する。パーツ取り外し検知部３５が、パーツが取り外されたことを検知する方法は問わない。例えば、センサやその他の機構等を用いて、常駐的にパーツが装着されているかどうかを確認している場合には、パーツが装着されないようになった時点で、パーツが取り外されたことを検知してもよく、あるいは、ユーザが入力デバイス等を介してパーツを取り外したことを入力した時点で、パーツが取り外されたことを検知してもよく、適切にパーツの取り外されたことを検知できるのであれば、その検知を他の方法で行ってもよい。

第１のパーツ属性情報出力部３６は、パーツが製造装置３０から取り外された際に、そのパーツに対応するパーツ属性対応情報に含まれる使用履歴情報を含むパーツ属性情報を出力する。本実施の形態では、第１のパーツ属性情報出力部３６は、パーツ取り外し検知部３５が、パーツが取り外されたことを検知した際に、そのパーツに対応するパーツ属性情報を出力するものとする。取り外されたパーツに対応するパーツ属性情報とは、取り外されたパーツを識別するパーツ識別情報を有するパーツ属性対応情報に含まれるパーツ属性情報であって、そのパーツ属性対応情報に含まれる使用履歴情報を含むパーツ属性情報である。第１のパーツ属性情報出力部３６は、例えば、パーツ取り外し検知部３５から、取り外されたパーツに対応するパーツ識別情報を受け取って、そのパーツ識別情報を検索キーとしてパーツ属性対応情報記憶部３３で記憶されているパーツ属性対応情報を検索し、その検索でヒットしたパーツ属性対応情報から、使用履歴情報を含むパーツ属性情報を取得して出力してもよい。なお、第１のパーツ属性情報出力部３６が出力するパーツ属性情報は、使用履歴情報を含む以外は、パーツ属性対応情報に含まれるパーツ属性情報と同じであってもよく、あるいは、異なっていてもよい。例えば、パーツ属性対応情報に含まれるパーツ属性情報には、パーツの担当者名などが含まれている場合であっても、第１のパーツ属性情報出力部３６が出力するパーツ属性情報には、そのパーツの担当者名などが含まれていなくてもよい。このように、第１のパーツ属性情報出力部３６が出力するパーツ属性情報は、パーツ属性対応情報に含まれるパーツ属性情報の一部の情報であってもよい。

ここで、この出力は、例えば、表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）への表示でもよく、所定の機器への通信回線を介した送信でもよく、プリンタによる印刷でもよく、記録媒体への蓄積でもよく、他の構成要素への引き渡しでもよい。なお、第１のパーツ属性情報出力部３６は、出力を行うデバイス（例えば、表示デバイスやプリンタなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、第１のパーツ属性情報出力部３６は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは、それらのデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。

出力指示情報受付部３７は、パーツ属性対応情報に含まれるパーツ属性情報の出力を指示する情報である出力指示情報を受け付ける。出力指示情報には、出力するパーツ属性情報を特定するための情報が含まれていることが好適である。出力するパーツ属性情報を特定するための情報は、例えば、パーツ識別情報であってもよく、パーツの名称や型番等であってもよく、その他の情報であってもよい。また、出力指示情報は、すべてのパーツ属性情報を出力することを指示する情報であってもよい。

出力指示情報受付部３７は、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された出力指示情報を受け付けてもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された出力指示情報を受信してもよい。なお、出力指示情報受付部３７は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、出力指示情報受付部３７は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。

第２のパーツ属性情報出力部３８は、出力指示情報受付部３７が受け付けた出力指示情報で出力することが指示されたパーツ属性情報をパーツ属性対応情報記憶部３３から読み出して出力する。第２のパーツ属性情報出力部３８は、例えば、出力指示情報に含まれるパーツ属性情報を特定するための情報を用いて、パーツ属性対応情報記憶部３３で記憶されているパーツ属性対応情報を検索し、その検索でヒットしたパーツ属性対応情報からパーツ属性情報を取得して出力してもよい。

ここで、この出力は、例えば、表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）への表示でもよく、所定の機器への通信回線を介した送信でもよく、プリンタによる印刷でもよく、記録媒体への蓄積でもよく、他の構成要素への引き渡しでもよい。なお、第２のパーツ属性情報出力部３８は、出力を行うデバイス（例えば、表示デバイスやプリンタなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、第２のパーツ属性情報出力部３８は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは、それらのデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。

寿命対応情報記憶部３９では、パーツ種類識別情報と、パーツの寿命を示す情報である寿命情報とを対応付けて有する情報である寿命対応情報が記憶される。パーツ種類識別情報は、例えば、パーツの種類を識別する独自の情報であってもよく、あるいは、パーツの名称や型番等から構成される情報であってもよい。寿命情報は、パーツの寿命を示す情報であれば、どのようなものであってもよい。寿命情報は、例えば、パーツの寿命を使用回数（例えば、１００回など）で示すものであってもよく、パーツの寿命を使用期間（例えば、１年など）で示すものであってもよく、パーツの寿命を年月日や日時（例えば、２００７年１２月２０日など）で示すものであってもよい。また、この寿命情報は、厳密な寿命よりも少し短く設定されているものであってもよい。例えば、厳密な寿命を示す使用回数が１００回である場合に、寿命情報が「９５回」に設定されてもよい。

寿命対応情報記憶部３９に寿命対応情報が記憶される過程は問わない。例えば、記録媒体を介して寿命対応情報が寿命対応情報記憶部３９で記憶されるようになってもよく、通信回線等を介して送信された寿命対応情報が寿命対応情報記憶部３９で記憶されるようになってもよく、あるいは、入力デバイスを介して入力された寿命対応情報が寿命対応情報記憶部３９で記憶されるようになってもよい。寿命対応情報記憶部３９での記憶は、ＲＡＭ等における一時的な記憶でもよく、あるいは、長期的な記憶でもよい。寿命対応情報記憶部３９は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。

寿命判断部４０は、パーツ属性対応情報に含まれるパーツ種類識別情報と対応付けられている寿命情報と、そのパーツ属性対応情報に含まれる使用履歴情報とを用いて、そのパーツ属性対応情報に対応するパーツの寿命が到来するかどうか判断する。より具体的には、寿命判断部４０は、あるパーツ属性対応情報からパーツ種類識別情報と使用履歴情報とを取得し、その取得したパーツ種類識別情報を検索キーとして寿命対応情報記憶部３９で記憶されている寿命対応情報を検索し、検索でヒットした寿命対応情報のレコードに含まれる寿命情報を取得する。そして、寿命判断部４０は、取得した寿命情報と、あらかじめパーツ属性対応情報から取得していた使用履歴情報とを比較し、そのパーツの寿命が到来しているかどうかを判断する。寿命判断部４０は、例えば、取得した使用履歴情報の示す使用履歴が、寿命情報の示す寿命と一致するかあるいは、超えている場合には、寿命が到来すると判断してもよい。また、寿命判断部４０は、例えば、取得した使用履歴情報の示す使用履歴を所定数だけ伸ばす処理をした情報（例えば、使用履歴を１．１倍などした情報）が、寿命情報の示す寿命と一致するかあるいは、超えている場合には、寿命が到来したと判断してもよい。また、寿命判断部４０は、例えば、取得した使用履歴情報の示す使用履歴が、寿命情報の示す寿命を所定数だけ短くする処理をした情報（例えば、寿命を０．９倍などした情報）と一致するかあるいは、超えている場合には、寿命が到来したと判断してもよい。具体的には、寿命情報の示す使用回数が「１００回」である場合に、寿命判断部４０は、寿命情報を「９５回」に換算して、使用履歴情報との比較を行ってもよい。

例えば、使用履歴情報も、寿命情報もパーツの使用回数で示されており、使用履歴情報の示す使用回数が「９０回」であり、寿命情報の示す使用回数が「１００回」である場合には、寿命判断部４０は、寿命がまだ到来しないと判断してもよい。一方、使用履歴情報の示す使用回数が「１０１回」であり、寿命情報の示す使用回数が「１００回」である場合には、寿命判断部４０は、寿命が到来する、あるいは、到来したと判断してもよい。また、寿命判断部４０は、使用履歴情報と、寿命情報とを比較する際に、情報の変換を行ってもよい。例えば、使用履歴情報が使用開始の日時を示す情報であり、寿命情報が使用期間を示す情報である場合に、使用履歴情報の示す使用開始日時と、判断時の日時とを用いて、使用履歴情報を、使用期間を示す情報に換算し、その換算後の使用履歴情報と、寿命情報とを比較してもよい。寿命判断部４０は、その場合に用いられる判断時の日時は、図示しないカレンダー部や時計部等から取得するものとする。また、寿命判断部４０は、寿命が到来すると判断したパーツを識別するパーツ識別情報を、図示しない記録媒体において一時的に記憶してもよい。

寿命到来情報出力部４１は、寿命判断部４０が、パーツの寿命が到来すると判断したパーツのパーツ識別情報を少なくとも含む情報である寿命到来情報を出力する。例えば、寿命判断部４０が、寿命が到来すると判断したパーツを識別するパーツ識別情報を、図示しない記録媒体において一時的に記憶している場合には、寿命到来情報出力部４１は、その記録媒体から、パーツの寿命が到来すると判断したパーツのパーツ識別情報を読み出すことによって取得してもよい。また、寿命到来情報は、寿命の到来するパーツを識別することができる情報であれば、それ以外にどのような情報が含まれていてもよい。例えば、寿命到来情報は、寿命が到来するパーツの発注情報であってもよく、単にパーツの寿命が到来することを示すだけの情報であってもよい。寿命到来情報は、寿命到来情報出力部４１が構成してもよく、あるいは、他の構成要素等において構成されてもよい。例えば、寿命到来情報のテンプレートが図示しない記録媒体において記憶されており、寿命到来情報出力部４１は、そのテンプレートに、寿命が到来すると判断されたパーツを識別するパーツ識別情報を挿入して寿命到来情報を構成し、その寿命到来情報を出力してもよい。

ここで、この出力は、例えば、表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）への表示でもよく、所定の機器への通信回線を介した送信でもよく、プリンタによる印刷でもよく、スピーカによる音声出力でもよく、記録媒体への蓄積でもよく、他の構成要素への引き渡しでもよい。なお、寿命到来情報出力部４１は、出力を行うデバイス（例えば、表示デバイスやプリンタなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、寿命到来情報出力部４１は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは、それらのデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。

なお、パーツ属性対応情報記憶部３３と、寿命対応情報記憶部３９とは、同一の記録媒体によって実現されてもよく、あるいは、別々の記録媒体によって実現されてもよい。前者の場合には、パーツ属性対応情報を記憶している領域がパーツ属性対応情報記憶部３３となり、寿命対応情報を記憶している領域が寿命対応情報記憶部３９となる。

次に、本実施の形態による製造装置の動作について、図４のフローチャートを用いて説明する。
（ステップＳ１０１）パーツ識別情報受付部３１は、パーツ識別情報を受け付けたかどうか判断する。そして、パーツ識別情報を受け付けた場合には、ステップＳ１０２に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０３に進む。

（ステップＳ１０２）パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツ識別情報受付部３１が受け付けたパーツ識別情報を用いて、パーツ属性対応情報を更新する。そして、ステップＳ１０１に戻る。

（ステップＳ１０３）パーツ属性情報受付部３２は、パーツ属性情報を受け付けたかどうか判断する。そして、パーツ属性情報を受け付けた場合には、ステップＳ１０４に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０５に進む。

（ステップＳ１０４）パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツ属性情報受付部３２が受け付けたパーツ属性情報を用いて、パーツ属性対応情報を更新する。そして、ステップＳ１０１に戻る。

（ステップＳ１０５）パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツ属性対応情報に含まれる使用履歴情報を更新するタイミングであるかどうか判断する。そして、使用履歴情報を更新するタイミングである場合には、ステップＳ１０６に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０７に進む。例えば、パーツ属性対応情報管理部３４が、定期的にパーツの使用状況を取得して、使用履歴情報を更新する場合には、パーツ属性対応情報管理部３４は、定期的に、使用履歴情報を更新するタイミングであると判断してもよい。また、例えば、パーツ属性対応情報管理部３４が、他の構成要素等からパーツの使用状況を受け付けた際に使用履歴情報を更新する場合には、パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツの使用状況を受け付けた際に、使用履歴情報を更新するタイミングであると判断してもよい。

（ステップＳ１０６）パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツの使用状況に応じて、パーツ属性対応情報に含まれるパーツの使用履歴情報を更新する。そして、ステップＳ１０１に戻る。

（ステップＳ１０７）パーツ取り外し検知部３５は、パーツの取り外されたことを検知したかどうか判断する。そして、パーツの取り外されたことを検知した場合には、ステップＳ１０８に進み、そうでない場合には、ステップＳ１１１に進む。

（ステップＳ１０８）第１のパーツ属性情報出力部３６は、パーツ取り外し検知部３５が取り外されたことを検知したパーツに対応するパーツ属性情報をパーツ属性対応情報記憶部３３から読み出す。

（ステップＳ１０９）第１のパーツ属性情報出力部３６は、読み出したパーツ属性情報を出力する。

（ステップＳ１１０）パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツ取り外し検知部３５が取り外されたことを検知したパーツに対応するパーツ属性対応情報を無効化する。この無効化は、例えば、パーツ属性対応情報の削除であってもよく、パーツ属性対応情報に対応付けて無効である旨のフラグを設定することであってもよい。そして、ステップＳ１０１に戻る。

（ステップＳ１１１）出力指示情報受付部３７は、出力指示情報を受け付けたかどうか判断する。そして、出力指示情報を受け付けた場合には、ステップＳ１１２に進み、そうでない場合には、ステップＳ１１４に進む。

（ステップＳ１１２）第２のパーツ属性情報出力部３８は、出力指示情報受付部３７が受け付けた出力指示情報で出力することが指示されるパーツ属性情報をパーツ属性対応情報記憶部３３から読み出す。

（ステップＳ１１３）第２のパーツ属性情報出力部３８は、読み出したパーツ属性情報を出力する。そして、ステップＳ１０１に戻る。

（ステップＳ１１４）寿命判断部４０は、寿命が到来したかどうかの判断を行うタイミングであるかどうか判断する。そして、そのタイミングであると判断した場合には、ステップＳ１１５に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０１に戻る。寿命判断部４０は、例えば、定期的に寿命が到来したかどうかの判断を行うタイミングであると判断してもよく、あるいは、所定のイベントの発生を検知した場合に、そのタイミングであると判断してもよい。所定のイベントとは、例えば、ユーザからの寿命判断の指示が受け付けられたことであってもよい。

（ステップＳ１１５）寿命判断部４０は、パーツ属性対応情報記憶部３３で記憶されている各パーツ属性対応情報に対応するパーツについて、寿命が到来したかどうかの判断を行う。

（ステップＳ１１６）寿命判断部４０は、寿命が到来すると判断されたパーツが存在するかどうか判断する。そして、存在する場合には、ステップＳ１１７に進み、存在しない場合には、ステップＳ１０１に戻る。

（ステップＳ１１７）寿命到来情報出力部４１は、寿命が到来すると判断されたパーツのパーツ識別情報を少なくとも含む寿命到来情報を出力する。そして、ステップＳ１０１に戻る。

なお、図４のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。また、図４のフローチャートにおいて、ステップＳ１０１と、ステップＳ１０３との処理は、一体として行われてもよく、また、その場合には、ステップＳ１０２と、ステップＳ１０４との処理も、一体として行われてもよい。

次に、本実施の形態による製造装置３０の動作について、具体例を用いて説明する。
この具体例において、パーツ識別情報とパーツ属性情報とが、パーツに設けられているＲＦＩＤで保持されている場合（具体例１）と、パーツ識別情報がパーツに設けられている２次元バーコードで保持されており、パーツ属性情報がサーバ装置１０で保持されている場合（具体例２）とについて説明する。

［具体例１］
パーツ識別情報「Ｐ００１」で識別されるパーツ（以下、このパーツをパーツＰ００１と呼ぶこともある。他のパーツについても同様であるとする）を製造装置３０に装着したとする。すると、製造装置３０に設けられているＲＦＩＤリーダライタが、そのパーツＰ００１が装着されたことを検知し、そのパーツＰ００１のＲＦＩＤからパーツ識別情報「Ｐ００１」と、パーツ属性情報とを読み出したとする（ステップＳ１０１，Ｓ１０３）。なお、そのパーツ属性情報には、パーツの名称「ＡＡＡ」と、型番「１２３４」と、使用履歴情報「０」とが含まれているとする。

パーツ属性対応情報管理部３４は、パーツ識別情報受付部３１が受け付けたパーツ識別情報「Ｐ００１」と、パーツ属性情報受付部３２が受け付けたパーツ属性情報とを対応付けるパーツ属性対応情報を構成して、パーツ属性対応情報記憶部３３に蓄積する（ステップＳ１０２，Ｓ１０４）。図５の１番目のレコードは、そのようにして蓄積されたパーツ属性対応情報である。

次に、製造装置３０において、被処理基板に対する半導体プロセスが実行され、パーツＰ００１が１回使用されたとする。すると、パーツ属性対応情報管理部３４は、そのことを検知し（ステップＳ１０５）、パーツ属性対応情報記憶部３３において、パーツ識別情報「Ｐ００１」に対応付けられている使用履歴情報を「１」だけインクリメントする（ステップＳ１０６）。その結果、パーツ属性対応情報は、図６で示されるようになる。

次に、パーツの寿命に関する判断処理について説明する。
この具体例において、寿命対応情報記憶部３９では、図７で示される寿命対応情報が記憶されていたとする。図７の寿命対応情報において、パーツ種類識別情報と、寿命情報とが対応付けられている。パーツ種類識別情報は、パーツの名称と、型番とから構成される。また、寿命情報は、パーツの使用回数を示す情報である。すなわち、パーツの使用回数が寿命情報の示す使用回数となった場合に、そのパーツは寿命が到来したと判断されることになる。

また、製造装置３０において、被処理基板に対する半導体プロセスが繰り返して実行されることによって、パーツ属性対応情報が図８で示されるようになったとする。すなわち、パーツＰ００１の使用回数が２０回に到達したとする。また、寿命判断部４０は、定期的に寿命の判断を行うものであり、その寿命を判断するタイミングが来たとする（ステップＳ１１４）。すると、寿命判断部４０は、図８で示される複数のパーツ属性対応情報から、１番目のパーツ属性対応情報に含まれるパーツの名称「ＡＡＡ」、型番「１２３４」と、使用履歴情報「２０」とを取得し、そのうちのパーツの名称「ＡＡＡ」、型番「１２３４」とを検索キーとして、図７で示される寿命対応情報を検索する。すると、１番目の寿命対応情報がヒットする。寿命判断部４０は、その検索された１番目の寿命対応情報から寿命情報「２０」を読み出す。そして、寿命判断部４０は、取得した使用履歴情報「２０」が、取得した寿命情報「２０」以上であるかどうか判断する。この場合には、使用履歴情報が寿命情報以上であるため、寿命判断部４０は、１番目のパーツ属性対応情報に対応するパーツの寿命が到来すると判断する。また、寿命判断部４０は、他のパーツ属性対応情報についても同様の判断を行う（ステップＳ１１５）。この判断において、図８の１番目のパーツ属性対応情報のみが寿命が到来すると判断されたとする。すると、寿命判断部４０は、寿命の到来するパーツがあったと判断し（ステップＳ１１６）、その１番目のパーツ属性対応情報からパーツ識別情報Ｐ００１を読み出して寿命到来情報出力部４１に渡す。寿命到来情報出力部４１は、寿命判断部４０から受け取ったパーツ識別情報Ｐ００１を含む寿命到来情報を出力する（ステップＳ１１７）。この寿命到来情報は、例えば、「パーツ識別情報Ｐ００１で識別されるパーツが寿命となっています。」とのテキストデータであってもよい。この寿命到来情報が出力されることによって、その寿命到来情報を見たユーザは、パーツ識別情報Ｐ００１で識別されるパーツが寿命となったことを知ることができる。

次に、パーツが取り外される際の処理について説明する。
図８で示される２番目のパーツ属性対応情報に対応するパーツＰ１０１が製造装置３０から取り外されたとする。すると、パーツ取り外し検知部３５としてのＲＦＩＤリーダライタは、パーツＰ１０１が取り外されたことを検知し（ステップＳ１０７）、そのパーツを識別するパーツ識別情報Ｐ１０１をパーツ属性対応情報管理部３４と、第１のパーツ属性情報出力部３６とに渡す。第１のパーツ属性情報出力部３６は、そのパーツ識別情報Ｐ１０１に対応するパーツ属性対応情報から、使用履歴情報「１２」を含むパーツ属性情報を読み出して（ステップＳ１０８）、パーツＰ１０１に設けられているＲＦＩＤに使用履歴情報「１２」を書き込む（ステップＳ１０９）。すなわち、第１のパーツ属性情報出力部３６もＲＦＩＤリーダライタであるとする。その結果、パーツＰ１０１に設けられているＲＦＩＤは、図８の２番目のパーツ属性対応情報と同じ情報を持つことになる。また、パーツ属性対応情報管理部３４は、受け取ったパーツ識別情報Ｐ１０１に対応するパーツ属性対応情報、すなわち、図８の２番目のパーツ属性対応情報をパーツ属性対応情報記憶部３３から削除する（ステップＳ１１０）。なお、この後に、取り外されたパーツＰ１０１が、他の製造装置３０に装着された場合には、前述の説明と同様にして、そのパーツＰ１０１のＲＦＩＤから使用履歴情報「１２」を含むパーツ属性情報等が読み出されて、パーツ属性対応情報記憶部３３に蓄積されることによって、それまでのパーツの使用履歴の反映されたパーツ属性対応情報が、そのパーツＰ１０１の装着された製造装置３０で管理されるようになる。

次に、出力指示情報が受け付けられた際の処理について説明する。
図８で示されるパーツ属性対応情報がパーツ属性対応情報記憶部３３で記憶されている場合に、出力指示情報受付部３７が、パーツ識別情報Ｐ００１を含む出力指示情報を受け付けたとする（ステップＳ１１１）。すると、第２のパーツ属性情報出力部３８は、そのパーツ識別情報Ｐ００１を検索キーとして、パーツ属性対応情報記憶部３３を検索し、その検索でヒットした１番目のパーツ属性対応情報からパーツ属性情報を読み出して、出力する（ステップＳ１１２，Ｓ１１３）。その結果、その出力されたパーツＰ００１に対応するパーツ属性情報によって、ユーザは、パーツＰ００１の名称や型番、使用履歴等を知ることができる。

［具体例２］
この具体例では、パーツ属性情報がサーバ装置１０で保持されているものとする。図９は、サーバ装置１０で保持されているパーツ属性情報の一例を示す図である。図９で示されるように、パーツ属性情報は、パーツ識別情報と対応付けられてサーバ装置１０で保持されているものとする。

パーツＰ００１が、製造装置３０に装着される際に、そのパーツＰ００１に設けられている２次元バーコードに含まれるパーツ識別情報Ｐ００１が、バーコードリーダで読まれたとする（ステップＳ１０１）。すると、パーツ属性対応情報管理部３４は、そのパーツ識別情報Ｐ００１を有するパーツ属性対応情報を、パーツ属性対応情報記憶部３３に蓄積する（ステップＳ１０２）。その後、図示しないパーツ属性情報要求部は、サーバ装置１０に対して、パーツ識別情報Ｐ００１で識別されるパーツのパーツ属性情報を送信する旨の要求を送信する。すると、サーバ装置１０は、図９で示される情報を検索し、パーツ識別情報Ｐ００１に対応するパーツ属性情報を読み出して、要求の送信元である製造装置３０に送信する。すると、パーツ属性情報受付部３２は、パーツの名称「ＡＡＡ」と、型番「１２３４」と、使用履歴情報「３」とを含むパーツ属性情報を受信し、パーツ属性対応情報管理部３４に渡す（ステップＳ１０３）。すると、パーツ属性対応情報管理部３４は、直前に蓄積したパーツ識別情報Ｐ００１のパーツ属性対応情報に、受信されたパーツ属性情報を追記する（ステップＳ１０４）。この際に、サーバ装置１０において、パーツ識別情報Ｐ００１に対応するパーツ属性情報は削除されてもよく、そうでなくてもよい。

なお、製造装置３０において、使用履歴情報が更新される処理や、寿命の判断の処理、出力指示情報の受信に応じて、パーツ属性情報が出力される処理は、具体例１と同様であり、その説明を省略する。また、使用履歴情報が更新されるごとに、サーバ装置１０に対して、更新後の使用履歴情報を送信してもよく、そうでなくてもよい。前者の場合であって、サーバ装置１０で送信後のパーツ属性情報も保持している場合には、サーバ装置１０は、保持しているパーツ属性情報を最新のものに維持することができうる。

次に、パーツが取り外される際の処理について説明する。
パーツが取り外される際に、パーツ属性対応情報記憶部３３で記憶されているパーツ属性対応情報が、図８で示されるようになっていたとする。そして、パーツ取り外し検知部３５が、パーツＰ００１が取り外されたことを検知すると（ステップＳ１０７）、そのパーツを識別するパーツ識別情報Ｐ００１が、パーツ属性対応情報管理部３４と、第１のパーツ属性情報出力部３６とに渡される。第１のパーツ属性情報出力部３６は、そのパーツ識別情報Ｐ００１に対応するパーツ属性対応情報から、使用履歴情報「２０」を含むパーツ属性情報を読み出して（ステップＳ１０８）、パーツ識別情報Ｐ００１と対応付けてサーバ装置１０に送信する（ステップＳ１０９）。その結果、サーバ装置１０で保持されているパーツ属性情報は、図１０で示されるように更新される。また、パーツ属性対応情報管理部３４は、受け取ったパーツ識別情報Ｐ００１に対応するパーツ属性対応情報、すなわち、図８の１番目のパーツ属性対応情報をパーツ属性対応情報記憶部３３から削除する（ステップＳ１１０）。

以上のように、本実施の形態による製造装置３０によれば、製造装置３０で用いられるパーツの情報を、その製造装置３０において管理するため、パーツの情報が一元管理されることにより、パーツに関する情報を知りたいユーザ等は、製造装置３０にアクセスすればよいこととなり、パーツの情報に齟齬が生じる事態を回避することができうる。

また、製造装置３０で用いられるパーツの情報を製造装置３０で管理しているため、その製造装置３０は、半導体プロセス等において不適切なパーツを用いることによるプロセス不良や装置の起動不良等を回避することも可能となる。

また、パーツの装着時に過去の使用履歴情報を取り込んだり、パーツの取り外し時に使用履歴情報を出力したりすることで、パーツを製造装置３０間で移動した場合であっても、正確な使用履歴情報を管理することができうる。

また、使用履歴情報を管理することによって、パーツの寿命が到来する旨を出力することができ、例えば、新たなパーツを用意したり、パーツを交換したりなどの処理を行うことができるようになる。

なお、本実施の形態では、製造装置３０において、寿命の判断を行う場合について説明したが、その寿命の判断を行わなくてもよい。その場合には、製造装置３０は、寿命対応情報記憶部３９、寿命判断部４０、寿命到来情報出力部４１を備えていなくてもよい。

また、本実施の形態では、製造装置３０が出力指示情報受付部３７と、第２のパーツ属性情報出力部３８とを備える場合について説明したが、製造装置３０は、それらの構成要素を備えていなくてもよい。その場合には、例えば、パーツ属性対応情報記憶部３３が着脱可能な記録媒体で構成されており、その記録媒体を製造装置３０から取り外すことによって、パーツ属性対応情報を外部の装置等で用いることができるようにしてもよい。

また、本実施の形態では、パーツが取り外された際にパーツ属性情報を出力する第１のパーツ属性情報出力部３６を製造装置３０が備える場合について説明したが、製造装置３０は、その第１のパーツ属性情報出力部３６を備えていなくてもよい。製造装置３０が第１のパーツ属性情報出力部３６を備えない場合には、製造装置３０は、パーツ取り外し検知部３５も備えていなくてもよい。

また、上記実施の形態では、製造装置がスタンドアロンである場合について説明したが、製造装置は、スタンドアロンの装置であってもよく、サーバ・クライアントシステムにおけるサーバ装置であってもよい。後者の場合には、出力部や受付部は、通信回線を介して入力を受け付けたり、画面を出力したりすることになる。

また、上記実施の形態において、各処理または各機能は、単一の装置または単一のシステムによって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置または複数のシステムによって分散処理されることによって実現されてもよい。

また、上記実施の形態において、各構成要素が実行する処理に関係する情報、例えば、各構成要素が受け付けたり、取得したり、選択したり、生成したり、送信したり、受信したりした情報や、各構成要素が処理で用いるしきい値や数式、アドレス等の情報等は、上記説明で明記していない場合であっても、図示しない記録媒体において、一時的に、あるいは長期にわたって保持されていてもよい。また、その図示しない記録媒体への情報の蓄積を、各構成要素、あるいは、図示しない蓄積部が行ってもよい。また、その図示しない記録媒体からの情報の読み出しを、各構成要素、あるいは、図示しない読み出し部が行ってもよい。

また、上記実施の形態において、製造装置に含まれる２以上の構成要素が通信デバイスや入力デバイス等を有する場合に、２以上の構成要素が物理的に単一のデバイスを有してもよく、あるいは、別々のデバイスを有してもよい。

また、上記実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。なお、上記実施の形態における製造装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータを、被処理基板に対する半導体プロセスを行う製造装置で用いられるパーツを識別する情報であるパーツ識別情報を受け付けるパーツ識別情報受付部と、前記パーツ識別情報受付部が受け付けたパーツ識別情報で識別されるパーツの属性を示す情報であるパーツ属性情報を受け付けるパーツ属性情報受付部と、前記パーツ識別情報受付部が受け付けたパーツ識別情報と、前記パーツ属性情報受付部が受け付けたパーツ属性情報とを用いて、パーツ属性対応情報記憶部で記憶される、前記製造装置で用いられるパーツを識別するパーツ識別情報と、当該パーツ識別情報で識別されるパーツのパーツ属性情報とを対応付けて有する情報であるパーツ属性対応情報を更新するパーツ属性対応情報管理部として機能させるためのものである。

なお、上記プログラムにおいて、情報を受け付ける受付ステップなどでは、ハードウェアでしか行われない処理、例えば、受付ステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理は少なくとも含まれない。

また、このプログラムは、サーバなどからダウンロードされることによって実行されてもよく、所定の記録媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭなどの光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。

また、このプログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。

図１１は、上記プログラムを実行して、上記実施の形態による製造装置３０を実現するコンピュータの外観の一例を示す模式図である。上記実施の形態は、コンピュータハードウェア及びその上で実行されるコンピュータプログラムによって実現される。

図１１において、コンピュータシステム１００は、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｋ Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）ドライブ１０５、ＦＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｄｉｓｋ）ドライブ１０６を含むコンピュータ１０１と、キーボード１０２と、マウス１０３と、モニタ１０４とを備える。

図１２は、コンピュータシステムを示す図である。図１２において、コンピュータ１０１は、ＣＤ−ＲＯＭドライブ１０５、ＦＤドライブ１０６に加えて、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）１１１と、ブートアッププログラム等のプログラムを記憶するためのＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）１１２と、ＣＰＵ１１１に接続され、アプリケーションプログラムの命令を一時的に記憶すると共に、一時記憶空間を提供するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）１１３と、アプリケーションプログラム、システムプログラム、及びデータを記憶するハードディスク１１４と、ＣＰＵ１１１、ＲＯＭ１１２等を相互に接続するバス１１５とを備える。なお、コンピュータ１０１は、ＬＡＮへの接続を提供する図示しないネットワークカードを含んでいてもよい。

コンピュータシステム１００に、上記実施の形態による製造装置３０の機能を実行させるプログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ１２１、またはＦＤ１２２に記憶されて、ＣＤ−ＲＯＭドライブ１０５、またはＦＤドライブ１０６に挿入され、ハードディスク１１４に転送されてもよい。これに代えて、そのプログラムは、図示しないネットワークを介してコンピュータ１０１に送信され、ハードディスク１１４に記憶されてもよい。プログラムは実行の際にＲＡＭ１１３にロードされる。なお、プログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ１２１やＦＤ１２２、またはネットワークから直接、ロードされてもよい。

プログラムは、コンピュータ１０１に、上記実施の形態による製造装置３０の機能を実行させるオペレーティングシステム（ＯＳ）、またはサードパーティプログラム等を必ずしも含んでいなくてもよい。プログラムは、制御された態様で適切な機能（モジュール）を呼び出し、所望の結果が得られるようにする命令の部分のみを含んでいてもよい。コンピュータシステム１００がどのように動作するのかについては周知であり、詳細な説明は省略する。
また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。

以上より、本発明による製造装置等によれば、製造装置で用いられるパーツの情報を、実際に製造装置で用いられているパーツに合わせて適切に管理することができるという効果が得られ、半導体プロセスを実行する製造装置等として有用である。

本発明の実施の形態１による群管理システムの構成を示すブロック図 同実施の形態による製造装置の一例を示す図 同実施の形態による製造装置の構成を示すブロック図 同実施の形態による製造装置の動作を示すフローチャート 同実施の形態におけるパーツ属性対応情報の一例を示す図 同実施の形態におけるパーツ属性対応情報の一例を示す図 同実施の形態における寿命対応情報の一例を示す図 同実施の形態におけるパーツ属性対応情報の一例を示す図 同実施の形態におけるサーバ装置で管理されているパーツ属性情報の一例を示す図 同実施の形態におけるサーバ装置で管理されているパーツ属性情報の一例を示す図 同実施の形態におけるコンピュータシステムの外観一例を示す模式図 同実施の形態におけるコンピュータシステムの構成の一例を示す図

符号の説明

１０ サーバ装置
２０ クライアント装置
３０ 製造装置
３１ パーツ識別情報受付部
３２ パーツ属性情報受付部
３３ パーツ属性対応情報記憶部
３４ パーツ属性対応情報管理部
３５ パーツ取り外し検知部
３６ 第１のパーツ属性情報出力部
３７ 出力指示情報受付部
３８ 第２のパーツ属性情報出力部
３９ 寿命対応情報記憶部
４０ 寿命判断部
４１ 寿命到来情報出力部

Claims (9)

1. 被処理基板に対する半導体プロセスを行う製造装置であって、
   前記製造装置で用いられるパーツを一意に識別する情報であるパーツ識別情報を受け付けるパーツ識別情報受付部と、
   前記パーツ識別情報受付部が受け付けたパーツ識別情報で識別されるパーツの属性を示す情報であるパーツ属性情報を受け付けるパーツ属性情報受付部と、
   前記製造装置で用いられるパーツを識別するパーツ識別情報と、当該パーツ識別情報で識別されるパーツのパーツ属性情報とを対応付けて有する情報であるパーツ属性対応情報が記憶されるパーツ属性対応情報記憶部と、
   前記パーツ識別情報受付部が受け付けたパーツ識別情報と、前記パーツ属性情報受付部が受け付けたパーツ属性情報とを用いて、前記パーツ属性対応情報を更新するパーツ属性対応情報管理部と、を備えた製造装置。
2. 前記パーツ属性対応情報管理部は、パーツが前記製造装置に装着される際に、当該パーツのパーツ識別情報を含むパーツ属性対応情報を前記パーツ属性対応情報記憶部に蓄積し、
   前記パーツ属性情報は、パーツの使用履歴に関する情報である使用履歴情報を含む、請求項１記載の製造装置。
3. 前記パーツ属性対応情報管理部は、パーツの使用状況に応じて前記使用履歴情報を更新する、請求項２記載の製造装置。
4. 前記パーツ属性情報受付部は、前記製造装置に装着されたパーツの過去の使用履歴情報を含むパーツ属性情報をも受け付けるものであり、
   前記パーツ属性対応情報管理部は、前記パーツ属性情報受付部が受け付けたパーツ属性情報に含まれる過去の使用履歴情報を用いて、当該パーツ属性情報に対応するパーツ属性対応情報におけるパーツ属性情報を更新する、請求項２または請求項３記載の製造装置。
5. パーツが前記製造装置から取り外された際に、当該パーツに対応するパーツ属性対応情報に含まれる使用履歴情報を含むパーツ属性情報を出力する第１のパーツ属性情報出力部をさらに備えた、請求項２から請求項４のいずれか記載の製造装置。
6. 前記パーツ属性対応情報は、パーツの種類を識別する情報であるパーツ種類識別情報を含み、
   パーツ種類識別情報と、パーツの寿命を示す情報である寿命情報とを対応付けて有する情報である寿命対応情報が記憶される寿命対応情報記憶部と、
   前記パーツ属性対応情報に含まれるパーツ種類識別情報と対応付けられている寿命情報と、当該パーツ属性対応情報に含まれる使用履歴情報とを用いて、当該パーツ属性対応情報に対応するパーツの寿命が到来するかどうか判断する寿命判断部と、
   前記寿命判断部が、パーツの寿命が到来すると判断したパーツのパーツ識別情報を少なくとも含む情報である寿命到来情報を出力する寿命到来情報出力部と、をさらに備えた、請求項２から請求項５のいずれか記載の製造装置。
7. パーツ属性対応情報に含まれるパーツ属性情報の出力を指示する情報である出力指示情報を受け付ける出力指示情報受付部と、
   前記出力指示情報受付部が受け付けた出力指示情報で出力することが指示されたパーツ属性情報を前記パーツ属性対応情報記憶部から読み出して出力する第２のパーツ属性情報出力部と、をさらに備えた、請求項１から請求項６のいずれか記載の製造装置。
8. 被処理基板に対する半導体プロセスを行う製造装置で用いられる情報処理方法であって、
   前記製造装置で用いられるパーツを一意に識別する情報であるパーツ識別情報を受け付けるパーツ識別情報受付ステップと、
   前記パーツ識別情報受付部が受け付けたパーツ識別情報で識別されるパーツの属性を示す情報であるパーツ属性情報を受け付けるパーツ属性情報受付ステップと、
   前記パーツ識別情報受付部が受け付けたパーツ識別情報と、前記パーツ属性情報受付部が受け付けたパーツ属性情報とを用いて、パーツ属性対応情報記憶部で記憶されている、前記製造装置で用いられるパーツを識別するパーツ識別情報と、当該パーツ識別情報で識別されるパーツのパーツ属性情報とを対応付けて有する情報であるパーツ属性対応情報を更新するパーツ属性対応情報管理ステップと、を備えた情報処理方法。
9. コンピュータを、
   被処理基板に対する半導体プロセスを行う製造装置で用いられるパーツを一意に識別する情報であるパーツ識別情報を受け付けるパーツ識別情報受付部と、
   前記パーツ識別情報受付部が受け付けたパーツ識別情報で識別されるパーツの属性を示す情報であるパーツ属性情報を受け付けるパーツ属性情報受付部と、
   前記パーツ識別情報受付部が受け付けたパーツ識別情報と、前記パーツ属性情報受付部が受け付けたパーツ属性情報とを用いて、パーツ属性対応情報記憶部で記憶される、前記製造装置で用いられるパーツを識別するパーツ識別情報と、当該パーツ識別情報で識別されるパーツのパーツ属性情報とを対応付けて有する情報であるパーツ属性対応情報を更新するパーツ属性対応情報管理部として機能させるためのプログラム。
   
   
   

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