KR20090086045A - 제조 장치, 정보 처리 방법 및, 프로그램이 수록된 기록매체 - Google Patents

제조 장치, 정보 처리 방법 및, 프로그램이 수록된 기록매체 Download PDF

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KR20090086045A
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Abstract

(과제) 제조 장치에서 이용되는 부품(parts)의 정보를 적절히 관리할 수 있는 제조 장치를 제공한다.
(해결 수단) 피(被)처리 기판에 대한 반도체 프로세스를 행하는 제조 장치(30)에서 이용되는 부품을 식별하는 부품 식별 정보를 접수하는 부품 식별 정보 접수부(31), 접수된 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 속성을 나타내는 부품 속성 정보를 접수하는 부품 속성 정보 접수부(32), 제조 장치(30)에서 이용되는 부품을 식별하는 부품 식별 정보와, 그 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 부품 속성 정보를 대응지어서 갖는 부품 속성 대응 정보가 기억되는 부품 속성 대응 정보 기억부(33), 접수된 부품 식별 정보와, 접수된 부품 속성 정보를 이용하여, 부품 속성 대응 정보를 갱신하는 부품 속성 대응 정보 관리부(34)를 구비한다.
부품 식별 정보, 부품 속성 정보, 부품 속성 대응 정보

Description

제조 장치, 정보 처리 방법 및, 프로그램이 수록된 기록매체 {MANUFACTURING APPARATUS, INFORMATION PROCESSING METHOD, AND RECORDING MEDIUM HAVING PROGRAM THEREON}
본 발명은, 제조 장치에서 이용되는 부품(parts)의 속성을 관리하는 제조 장치 등에 관한 것이다.
종래, 반도체 제조 장치에서 이용되는 부품을 관리하는 시스템이 알려져 있었다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
또한, 관련된 기술로서, 소위 배치(batch)식 종형(縱型) 열처리 장치가 알려져 있었다(특허문헌 2, 특허문헌 3 참조).
[특허문헌 1] 일본공개특허공보 2004-206702호
[특허문헌 2] 일본공개특허공보 평7-297257호
[특허문헌 3] 일본공개특허공보 2002-25997호
반도체 제조 장치 등의 제조 장치에서 이용되는 부품은, 눈으로 보아서는 판단하기 어려운 소재의 차이나, 표면 가공의 차이, 수 밀리밀터 정도의 형상의 차이 등이 있고, 부품 그 자체를 봄으로써 판단할 수 없어, 부품의 데이터베이스 등에 의존하지 않을 수 없었다. 그러나, 종래의 반도체 제조 장치 등의 제조 장치에 있어서는, 제조 장치에서 이용되는 부품과, 그 부품에 관한 정보로 나뉘어져 관리되고 있는 경우가 많았다. 예를 들면, 부품 발주용으로 공장의 데이터베이스에 있어서 관리되고 있고, 출하 이력으로서 공장 문서에 있어서 관리되고 있고, 보수(保守) 서비스용으로 보수 서비스 데이터베이스에서 관리되고 있는 식으로, 복수의 데이터베이스 등에서 관리되고 있는 일이 많았다. 그 결과, 실제로 이용되고 있는 부품과, 관리하고 있는 부품의 정보에 차이가 생기는 일도 있었다. 예를 들면, 부품의 장착 후에 메인터넌스(maintenance)를 행하여, 부품이 변경되어 있는 바와 같은 경우에는, 발주용의 데이터베이스와, 메인터넌스용의 데이터베이스에서는, 부품의 다른 정보가 관리되고 있게 되어 버린다는 문제가 있었다.
본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 제조 장치에서 이용되는 부품의 정보를, 실제로 제조 장치에서 이용되고 있는 부품에 맞춰서 적절히 관리할 수 있는 제조 장치 등을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 의한 제조 장치는, 피(被)처리 기판 에 대한 반도체 프로세스를 행하는 제조 장치로서, 상기 제조 장치에서 이용되는 부품을 식별하는 정보인 부품 식별 정보를 접수하는 부품 식별 정보 접수부와, 상기 부품 식별 정보 접수부가 접수한 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 속성을 나타내는 정보인 부품 속성 정보를 접수하는 부품 속성 정보 접수부와, 상기 제조 장치에서 이용되는 부품을 식별하는 부품 식별 정보와, 당해 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 부품 속성 정보를 대응지어서 갖는 정보인 부품 속성 대응 정보가 기억되는 부품 속성 대응 정보 기억부와, 상기 부품 식별 정보 접수부가 접수한 부품 식별 정보와, 상기 부품 속성 정보 접수부가 접수한 부품 속성 정보를 이용하여, 상기 부품 속성 대응 정보를 갱신하는 부품 속성 대응 정보 관리부를 구비한 것이다.
이러한 구성에 의해, 제조 장치에서 이용되는 부품을, 그 제조 장치에 있어서 관리하기 때문에, 부품의 관리를 보다 정확하게 행할 수 있게 된다. 따라서, 복수의 데이터베이스 등에 있어서 부품의 정보가 관리되고 있는 경우에는, 그 데이터베이스 간에서 정보에 차이가 생기는 일도 있을 수 있었지만, 그러한 일을 회피할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 제조 장치에서, 상기 부품 속성 대응 정보 관리부는, 부품이 상기 제조 장치에 장착될 때에, 당해 부품의 부품 식별 정보를 포함하는 부품 속성 대응 정보를 상기 부품 속성 대응 정보 기억부에 축적하고, 상기 부품 속성 정보는, 부품의 사용 이력에 관한 정보인 사용 이력 정보를 포함해도 좋다.
이러한 구성에 의해, 부품의 사용 이력을 관리할 수 있게 된다. 그 사용 이 력을 이용함으로써, 예를 들면, 부품을 앞으로 얼마나 사용할 수 있는지를 확인할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 의한 제조 장치에서, 상기 부품 속성 대응 정보 관리부는, 부품의 사용 상황에 따라서 상기 사용 이력 정보를 갱신해도 좋다.
이러한 구성에 의해, 제조 장치에 있어서 부품이 사용된 것에 따라서, 부품의 사용 이력 정보를 갱신할 수 있어, 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품의 사용 이력 정보를 최신의 정보로 유지할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 제조 장치에서, 상기 부품 속성 정보 접수부는, 상기 제조 장치에 장착된 부품의 과거의 사용 이력 정보를 포함하는 부품 속성 정보도 접수하는 것이며, 상기 부품 속성 대응 정보 관리부는, 상기 부품 속성 정보 접수부가 접수한 부품 속성 정보에 포함되는 과거의 사용 이력 정보를 이용하여, 당해 부품 속성 정보에 대응하는 부품 속성 대응 정보에 있어서의 부품 속성 정보를 갱신해도 좋다.
이러한 구성에 의해, 과거의 사용 이력 정보를 승계받을 수 있어, 보다 정확한 사용 이력 정보로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 제조 장치에서는, 부품이 상기 제조 장치로부터 제거되었을 때에, 당해 부품에 대응하는 부품 속성 대응 정보에 포함되는 사용 이력 정보를 포함하는 부품 속성 정보를 출력하는 제1 부품 속성 정보 출력부를 추가로 구비해도 좋다.
이러한 구성에 의해, 제조 장치에서 사용된 부품의 사용 이력 정보를, 그 부 품이 사용되는 다른 제조 장치로 승계할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 제조 장치에서, 상기 부품 속성 대응 정보는, 부품의 종류를 식별하는 정보인 부품 종류 식별 정보를 포함하고, 부품 종류 식별 정보와, 부품의 수명을 나타내는 정보인 수명 정보를 대응지어서 갖는 정보인 수명 대응 정보가 기억되는 수명 대응 정보 기억부와, 상기 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 종류 식별 정보와 대응지어져 있는 수명 정보와, 당해 부품 속성 대응 정보에 포함되는 사용 이력 정보를 이용하여, 당해 부품 속성 대응 정보에 대응하는 부품의 수명이 도래하는지 어떤지를 판단하는 수명 판단부와, 상기 수명 판단부가, 부품의 수명이 도래한다고 판단한 부품의 부품 식별 정보를 적어도 포함하는 정보인 수명 도래 정보를 출력하는 수명 도래 정보 출력부를 추가로 구비해도 좋다.
이러한 구성에 의해, 제조 장치에서 이용되는 부품의 수명이 도래하는 것을 사용자 등에게 경고할 수 있다. 그 결과, 예를 들면, 사용자는, 수명이 도래하는 부품을 발주할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 제조 장치에서는, 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 속성 정보의 출력을 지시하는 정보인 출력 지시 정보를 접수하는 출력 지시 정보 접수부와, 상기 출력 지시 정보 접수부가 접수한 출력 지시 정보에서 출력하는 것이 지시된 부품 속성 정보를 상기 부품 속성 대응 정보 기억부로부터 판독하여 출력하는 제2 부품 속성 정보 출력부를 추가로 구비해도 좋다.
이러한 구성에 의해, 제조 장치에서 관리되고 있는 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 속성 정보가 출력되게 되어, 예를 들면, 사용자가, 그 내용을 확인 할 수 있다.
본 발명에 의한 제조 장치 등에 의하면, 제조 장치에 있어서 부품에 관한 정보를 관리하기 위해, 제조 장치에서 이용되는 부품의 정보를, 실제로 제조 장치에서 이용되고 있는 부품에 맞춰서 적절하게 관리할 수 있다.
이하, 본 발명에 의한 제조 장치에 대해서, 실시 형태를 이용하여 설명한다. 또한, 이하의 실시 형태에 있어서, 동일한 부호를 붙인 구성 요소 및 스텝은 동일 또는 상당하는 것이어서, 재차의 설명을 생략하는 일이 있다.
(실시 형태 1)
본 발명의 실시 형태 1에 의한 군(群)관리 시스템에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.
도1 은, 본 실시 형태에 의한 군관리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 도1 에 있어서, 본 실시 형태에 의한 군관리 시스템은, 서버 장치(10)와, 클라이언트 장치(20)와, N개의 제조 장치(30)를 구비한다. 여기에서, N은, 1 또는 2 이상의 정수(整數)이다. 군관리 시스템에 있어서, 서버 장치(10), 클라이언트 장치(20), 1 이상의 제조 장치(30)는, 유선 또는 무선의 통신 회선을 통하여 서로 통신 가능하도록 접속되어 있다. 그 통신 회선은, 예를 들면, 인터넷이나 인트라넷, 공중전화 회선망 등이다.
서버 장치(10)는, 1 이상의 제조 장치(30)에 있어서의 각종의 측정 정보를 격납 가능한 것이다. 또한, 서버 장치(10)는, 클라이언트 장치(20)로부터의 요구에 따라서 처리를 실행하여, 그 처리 결과를 적절히, 클라이언트 장치(20)에 송신한다. 또한, 서버 장치(10)는, 후술하는 부품 속성 대응 정보를, 제조 장치로부터 취득하여 제조 장치마다 관리하고 있어도 좋다.
제조 장치(30)는, 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 장치이다. 제조 장치(30)는, 예를 들면, 반도체 제조 장치나, 액정 패널 제조 장치, 유기 EL 디스플레이 제조 장치, 플라즈마 표시 패널 제조 장치 등이다. 피처리 기판은, 예를 들면, 반도체 웨이퍼나 FPD(Flat Panel Display) 기판 등이다. FPD 기판은, 예를 들면, 유리 기판 등이다. 또한, 제조 장치(30)가 실행하는 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스는, 적어도 반도체에 관한 프로세스를 포함하는 것이면, 그 전(前)공정이나 후공정 등을 포함해도 좋고, 혹은, 포함하지 않아도 좋다. 제조 장치(30)가 피처리 기판에 대하여 행하는 처리는, 예를 들면, 성막 처리, 에칭 처리, 열산화 처리 등이어도 좋다.
클라이언트 장치(20)는, 서버 장치(10) 혹은 제조 장치(30)에 대한 각종의 처리를 요구한다. 또한, 클라이언트 장치(20)는, 그들의 처리의 요구에 대한 처리 결과를 접수한다.
제조 장치(30)는, 예를 들면, 전술의 특허문헌 2, 또는 특허문헌 3 등에 있어서의 배치(batch)식 종형 열처리 장치이다. 제조 장치(30)의 예를 도2 에 나타낸다. 제조 장치(30)는, 로딩실(loading chamber)로서, 다른 실(chamber)에 대하 여 밀폐 가능하게 이루어지고, 불활성 분위기로서 N2 가스가 공급·진공흡인 가능하게 이루어진 소위 로드록실(load lock chamber) 구조로 이루어진 장치이다. 제조 장치(30)는, 피처리체인 웨이퍼(W)에 소정의 처리를 행하는 처리실인 프로세스 튜브(a)와, 이 프로세스 튜브(처리실)(a)에 대하여 다수매(sheets), 예를 들면 100매의 웨이퍼(W)를 수납한 지지체로서의 웨이퍼 보트(지지쌍)(f)를 삽입·이탈시키는 이송 기구(g)를 구비한 로딩실로서의 로드록실(h)과, 이 로드록실(h)에 대하여 웨이퍼(W)를 반출입하는 반출입실(ab)과, 이 반출입실(ab)에 형성된 카세트 수용 용기용 포트(ac)와, 이 포트(ac)에 올려놓여진 카세트 수용 용기(ad)를 반출입실(ab) 내로 취입하는 취입 수단(ae)과, 취입한 카세트 수용 용기(ad)를 일시적으로 보관하는 용기 보관 스테이지(af)와, 카세트 수용 용기(ad) 내에 수용된 카세트(C)를 취출하는 카세트 취출 스테이지(ag)와, 반출입실(ab) 내에서 카세트 수용 용기(ad)의 인수인도를 행하는 용기 이재(transfer) 수단(ah)과, 로드록실(h)과 반출입실(ab)과의 사이에 배치되는 웨이퍼 보트(f)를 수용하는 지지체 수용실(ai)로 주요부가 구성되어 있다. 또한, 도2 의 제조 장치(30)의 예에 있어서의, 그 이외의 부위 및, 동작에 대해서는, 공지기술(특허문헌 2 참조)이기 때문에 상세한 설명은 생략한다. 또한, 제조 장치(30)를 구성하는 챔버로서, 특허문헌 3의 도1 에 있어서의 챔버가 매우 적합하다. 또한, 제조 장치(30)는, 도2 에 나타나는 것 이외의 것이라도 좋은 것은 말할 것도 없다. 또한, 제조 장치(30)는, 예를 들면, 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스에 관한 정보인 레시피(recipe)를 유지하고 있 어, 이 레시피를 이용하여 프로세스 제어 등을 실행한다.
다음으로, 본 실시 형태에 의한 제조 장치(30)의 구성에 대해서, 도3 의 블록도를 이용하여 설명한다. 또한, 도3 의 블록도에서는, 본 실시 형태에 의한 군관리 시스템에 있어서 특징적인 부분만을 명기하고 있으며, 그 이외의 부분은 생략하고 있지만, 제조 장치(30)는, 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스에 관한 처리를 실행하는 구성, 예를 들면, 피처리 기판을 반송하는 구성이나, 제조 공정에서의 온도나 압력 등을 서버 장치(10)에 송신하는 구성 등을 갖고 있어도 좋다.
제조 장치(30)는, 부품 식별 정보 접수부(31)와, 부품 속성 정보 접수부(32)와, 부품 속성 대응 정보 기억부(33)와, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)와, 부품 제거 검지부(35)와, 제1 부품 속성 정보 출력부(36)와, 출력 지시 정보 접수부(37)와, 제2 부품 속성 정보 출력부(38)와, 수명 대응 정보 기억부(39)와, 수명 판단부(40)와, 수명 도래 정보 출력부(41)를 구비한다.
부품 식별 정보 접수부(31)는, 제조 장치(30)에서 이용되는 부품을 식별하는 정보인 부품 식별 정보를 접수한다. 부품 식별 정보는, 부품을 일 의미(一意)로 특정할 수 있는 정보이면, 어떠한 정보라도 좋다. 부품 식별 정보는, 예를 들면, 독자 형식의 정보라도 좋고, 부품의 명칭과, 부품의 모델번호(model number)와, 부품의 제조번호(시리얼 넘버)를 포함하는 정보라도 좋고, 그 이외의 정보라도 좋다. 부품은, 제조 장치(30)에서 이용되는 것이면, 그 종류를 한정하지 않는다. 예를 들면, 부품은, 웨이퍼 보트, 샤워 헤드, 포커스 링, 히터, 웨이퍼 재치대(loading table) 등이라도 좋다.
부품 식별 정보 접수부(31)가, 부품 식별 정보를 접수하는 타이밍은 불문한다. 예를 들면, 부품에 관한 규정의 액션이 행해졌을 때에, 그 액션이 행해진 부품 식별 정보를 접수해도 좋다. 규정의 액션이란, 예를 들면, 부품의 장착, 부품의 제거, 부품의 수리, 부품의 파기(destruction), 부품에 대한 메인터넌스 등이어도 좋다. 그러한 액션이 행해졌을 때에, 부품 식별 정보 접수부(31)는, 자동적으로 부품 식별 정보를 접수해도 좋고, 혹은 수동으로 입력된 부품 식별 정보를 접수해도 좋다. 전자(前者)의 경우로서는, 예를 들면, 부품에 대한 액션을 검지하는 도시하지 않는 액션 검지부를 제조 장치(30)가 갖고 있으며, 그 액션 검지부가 부품에 대한 액션을 검지했을 때에, 부품 식별 정보 접수부(31)는, 그 액션이 행해진 부품을 식별하는 부품 식별 정보를 취득해도 좋다. 부품 식별 정보 접수부(31)가, 부품에 대하여 규정의 액션이 행해졌을 때에 부품 식별 정보를 접수하는 경우에는, 부품 식별 정보 접수부(31)가, 부품 식별 정보와 함께, 액션을 식별하는 정보인 액션 식별 정보를 접수해도 좋다.
부품 식별 정보 접수부(31)는, 예를 들면, 입력 디바이스(예를 들면, 키보드나 마우스, 터치 패널 등)로부터 입력된 부품 식별 정보를 접수해도 좋고, 유선 또는 무선의 통신 회선을 통하여 송신된 부품 식별 정보를 수신해도 좋고, 소정의 기록 매체(예를 들면, 광디바이스나 자기 디스크, 반도체 메모리 등)로부터 판독된 부품 식별 정보를 접수해도 좋다. 또한, 부품 식별 정보 접수부(31)는, 접수를 행하기 위한 디바이스(예를 들면, 모뎀이나 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 혹 은 포함하지 않아도 좋다. 또한, 부품 식별 정보 접수부(31)는, 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 혹은 소정의 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
부품 속성 정보 접수부(32)는, 부품 식별 정보 접수부(31)가 접수한 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 속성을 나타내는 정보인 부품 속성 정보를 접수한다. 부품 속성 정보 접수부(32)는, 부품 식별 정보 접수부(31)가 부품 식별 정보를 접수하는 타이밍에서, 부품 속성 정보를 접수해도 좋고, 혹은, 그렇지 않아도 좋다. 어느 경우이더라도, 부품 속성 정보와, 부품 식별 정보는, 관련지어져 있는 것이 매우 적합하다. 이 관련성은, 직접적이어도 좋고, 간접적이어도 좋다. 전자(前者)의 경우에는, 예를 들면, 부품 식별 정보와 부품 속성 정보의 각각에, 양자를 관련짓기 위한 정보가 대응지어져 있어, 그 관련짓기 위한 정보를 이용하여, 양자의 관련지음이 이루어져도 좋다. 구체적으로는, 동일한 정보나, 소정의 관계를 갖는 정보(예를 들면, 한쪽의 정보가 나타내는 수치에 소정의 연산(예를 들면, 1을 더한다, 역수로 한다, 자릿수를 교체한다 등)을 한 것이 다른 쪽의 정보가 나타내는 수치로 되는 등의 관계를 갖는 정보라도 좋음)가 대응지어져 있는 부품 식별 정보와 부품 속성 정보는, 관련지어져 있다고 판단되어도 좋다. 간접적으로 관련지어져 있는 경우에는, 예를 들면, 소정의 시간 간격 이내에 부품 식별 정보 접수부(31)에서 접수된 부품 식별 정보와, 부품 속성 정보 접수부(32)에서 접수된 부품 속성 정보는, 관련지어져 있다고 판단되어도 좋다. 부품 속성 정보 접수부(32)가, 부품 식별 정보 접수부(31)가 부품 식별 정보를 접수하는 타이밍에서, 부품 속성 정보를 접수하는 경우에, 부품 식별 정보 접수부(31)와 부품 속성 정보 접수부(32)는, 일체의 구성 요소라도 좋고, 그렇지 않아도 좋다.
부품 속성 정보는, 예를 들면, 사용 이력 정보를 포함하고 있어도 좋고, 부품의 명칭을 포함하고 있어도 좋고, 부품의 모델번호를 포함하고 있어도 좋고, 부품의 제조번호(시리얼 넘버)를 포함하고 있어도 좋고, 부품을 담당하고 있는 담당자명을 포함하고 있어도 좋고, 부품을 담당하고 있는 담당자의 연락처를 포함하고 있어도 좋고, 부품의 사이즈나 중량 등을 포함하고 있어도 좋고, 그 이외의 부품에 관한 정보를 포함하고 있어도 좋다. 부품 속성 정보에 포함되는 사용 이력 정보는, 부품의 사용 이력에 관한 정보이다. 사용 이력 정보는, 예를 들면, 부품의 사용 개시의 시간적인 시점(예를 들면, 연월일이나 일시 등)을 나타내는 정보라도 좋고, 부품의 사용 기간을 나타내는 정보라도 좋고, 부품의 사용 횟수를 나타내는 정보라도 좋고, 부품이 얼마나 사용되었는지를 나타내는 정보이면, 그 이외의 정보라도 좋다.
부품 속성 정보 접수부(32)가, 부품 속성 정보를 접수하는 타이밍은 불문한다. 예를 들면, 부품에 관한 규정의 액션이 행해졌을 때에, 그 액션이 행해진 부품 속성 정보를 접수해도 좋다. 그러한 액션이 행해졌을 때에, 부품 속성 정보 접수부(32)는, 자동적으로 부품 속성 정보를 접수해도 좋고, 혹은, 수동으로 입력된 부품 속성 정보를 접수해도 좋다. 전자의 경우로서는, 예를 들면, 부품에 대한 액션을 검지하는 도시하지 않는 액션 검지부를 제조 장치(30)가 갖고 있어, 그 액션 검지부가 부품에 대한 액션을 검지했을 때에, 부품 속성 정보 접수부(32)가, 그 액 션이 행해진 부품의 부품 속성 정보를 취득해도 좋다.
부품 속성 정보 접수부(32)는, 제조 장치(30)에 장착된 부품의 과거의 사용 이력 정보를 포함하는 부품 속성 정보를 접수해도 좋다. 부품의 과거의 사용 이력 정보란, 예를 들면, 어느 부품이 다른 장치에서 사용된 후에 제거되어, 제조 장치(30)에 장착된 경우 등에 있어서의, 다른 장치에서의 부품의 사용 이력 정보이다.
부품 속성 정보 접수부(32)는, 예를 들면, 입력 디바이스(예를 들면, 키보드나 마우스, 터치 패널 등)로부터 입력된 부품 속성 정보를 접수해도 좋고, 유선 또는 무선의 통신 회선을 통하여 송신된 부품 속성 정보를 수신해도 좋고, 소정의 기록 매체(예를 들면, 광디스크나 자기 디스크, 반도체 메모리 등)로부터 판독된 부품 속성 정보를 접수해도 좋다. 또한, 부품 속성 정보 접수부(32)는, 접수를 행하기 위한 디바이스(예를 들면, 모뎀이나 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 혹은 포함하지 않아도 좋다. 또한, 부품 속성 정보 접수부(32)는, 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 혹은 소정의 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
또한, 부품 식별 정보 접수부(31)에 의한 부품 식별 정보의 접수나, 부품 속성 정보 접수부(32)에 의한 부품 속성 정보의 접수는, 예를 들면, 2차원 바코드나 RFID에 포함되는 부품 식별 정보나 부품 속성 정보의 판독이어도 좋고, 디바이스넷(DeviceNet) 등의 통신을 통한 부품 식별 정보나 부품 속성 정보의 접수라도 좋다. 2차원 바코드나, RFID는, 부품 자체에 부착되어 있어도 좋고, 그렇지 않아도 좋다.
부품 속성 대응 정보 기억부(33)에서는, 부품 속성 대응 정보가 기억된다. 부품 속성 대응 정보는, 제조 장치(30)에서 이용되는 부품을 식별하는 부품 식별 정보와, 그 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 부품 속성 정보를 대응지어서 갖는 정보이다. 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 식별 정보는, 부품 식별 정보 접수부(31)에서 접수되어진 부품 식별 정보이다. 한편, 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 속성 정보는, 부품 속성 정보 접수부(32)에서 접수되어진 부품 속성 정보라도 좋고, 혹은, 그렇지 않아도 좋다. 후자의 경우로서는, 후술하는 바와 같이, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)에 의해 갱신된 부품 속성 정보가, 부품 속성 대응 정보에 포함되는 경우라도 좋고, 혹은, 부품 속성 정보 접수부(32)가 접수하는 부품 속성 정보는, 부품의 속성의 변화의 차분(差分)을 나타내는 정보이고, 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 속성 정보는, 부품의 속성 그 자체를 나타내는 정보(차분이 아닌 정보)인 경우라도 좋다.
부품 속성 대응 정보는, 부품의 종류를 식별하는 정보인 부품 종류 식별 정보를 포함해도 좋다. 부품 종류 식별 정보는, 예를 들면, 독자 형식의 정보라도 좋고, 부품의 명칭과, 부품의 모델번호를 포함하는 정보라도 좋고, 그 이외의 정보라도 좋다. 본 실시 형태에서는, 부품 속성 대응 정보에 부품 종류 식별 정보가 포함되어 있는 경우에 대해서 설명한다.
부품 속성 대응 정보 기억부(33)에서의 기억은, RAM 등에 있어서의 일시적인 기억이라도 좋고, 혹은, 장기적인 기억이라도 좋다. 부품 속성 대응 정보 기억 부(33)는, 소정의 기록 매체(예를 들면, 반도체 메모리나 자기 디스크, 광디스크 등)에 의해 실현될 수 있다.
부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품 식별 정보 접수부(31)가 접수한 부품 식별 정보와, 부품 속성 정보 접수부(32)가 접수한 부품 속성 정보를 이용하여, 부품 속성 대응 정보를 갱신한다. 부품 속성 대응 정보의 갱신은, 부품 속성 대응 정보의 신규 작성(즉, 신규의 축적), 부품 속성 대응 정보의 내용의 변경, 부품 속성 대응 정보의 삭제 등을 포함하는 개념이다. 또한, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품 식별 정보 접수부(31)가 접수한 부품 식별 정보와, 부품 속성 정보 접수부(32)가 접수한 부품 속성 정보의 양쪽을 동시에 이용하여 부품 속성 대응 정보를 갱신해도 좋고, 부품 식별 정보 접수부(31)가 접수한 부품 식별 정보만을 이용하여 부품 속성 대응 정보를 갱신해도 좋고, 혹은, 부품 속성 정보 접수부(32)가 접수한 부품 속성 정보만을 이용하여 부품 속성 대응 정보를 갱신해도 좋다.
부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품이 제조 장치(30)에 장착될 때에, 그 부품의 부품 식별 정보를 포함하는 부품 속성 대응 정보를 부품 속성 대응 정보 기억부(33)에 축적해도 좋다. 또한, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품 속성 정보 접수부(32)가 접수한 부품 속성 정보에 포함되는 과거의 사용 이력 정보를 이용하여, 그 부품 속성 정보에 대응하는 부품 속성 대응 정보에 있어서의 부품 속성 정보를 갱신해도 좋다. 또한, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품이 제조 장치(30)로부터 제거될 때에, 그 부품의 부품 식별 정보를 포함하는 부품 속성 대응 정보를 무효화하는 처리를 행해도 좋다. 부품 속성 대응 정보를 무효화하는 처 리란, 예를 들면, 부품 속성 대응 정보를 삭제하는 처리라도 좋고, 부품 속성 대응 정보에 무효라는 취지의 플래그(flag)를 설정하는 처리라도 좋고, 그 이외의 처리라도 좋다.
또한, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품의 사용 상황에 따라서 사용 이력 정보를 갱신해도 좋다. 여기에서, 부품의 사용 상황을 취득하는 방법에 대해서 간단히 설명한다. 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 제조 장치(30)의 사용 상황을 부품의 사용 상황으로서 취득해도 좋다. 또한, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 제조 장치(30)의 사용 상황과 부품의 사용 상황을 대응짓는 정보를 이용하여, 제조 장치(30)의 사용 상황을 부품의 사용 상황으로 환산함으로써, 부품의 사용 상황을 취득해도 좋다. 예를 들면, 제조 장치(30)의 사용 상황과, 부품의 사용 상황에, 2 : 1의 관계가 있는 것이면, 제조 장치(30)의 사용 상황을 절반으로 한 것을, 부품의 사용 상황으로서 취득해도 좋다. 또한, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 각 부품에 대하여 이루어지는 제어에 따라서, 부품마다 부품의 사용 상황을 취득해도 좋다. 예를 들면, 어느 부품을 1회 사용하는 제어를 행하는 경우에는, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)가, 그 부품의 사용 상황으로서, 1회 사용된 취지를 취득해도 좋다. 또한, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 프로세스 시간을 누계한 시간인 누계 프로세스 시간을 이용하여, 부품의 사용 상황을 취득해도 좋다. 그 경우에, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 누계 프로세스 시간을 그대로 부품의 사용 상황으로 해도 좋고, 누계 프로세스 시간을 부품의 사용 상황으로 환산함으로써, 부품의 사용 상황을 취득해도 좋다. 프로세스 시간이란, 예를 들 면, 가스 도입 시간이나, 플라즈마 인가 시간 등이다. 제조 장치(30)의 사용 상황이나, 부품의 사용 상황은, 예를 들면, 사용 개시의 시간적인 시점(예를 들면, 연원일이나 일시 등)을 나타내는 정보라도 좋고, 사용 기간을 나타내는 정보라도 좋고, 사용 횟수를 나타내는 정보라도 좋고, 제조 장치(30)나 부품이 어느 정도 사용되었는지를 나타내는 정보이면, 그 이외의 정보라도 좋다.
부품 속성 대응 정보 관리부(34)가 부품 속성 대응 정보를 갱신하는 타이밍은 불문한다. 예를 들면, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품 식별 정보 접수부(31)가 부품 식별 정보를 접수한 타이밍에서, 부품 속성 대응 정보를 갱신해도 좋고, 부품 속성 정보 접수부(32)가 부품 속성 정보를 접수한 타이밍에서, 부품 속성 대응 정보를 갱신해도 좋고, 부품의 사용 상황을 취득한 타이밍에서, 부품 속성 대응 정보를 갱신해도 좋고, 부품이 제조 장치(30)에 장착되는 타이밍에서, 그 부품의 부품 식별 정보를 포함하는 부품 속성 대응 정보를 축적해도 좋고, 부품 속성 정보 접수부(32)가 제조 장치(30)에 장착된 부품의 과거의 사용 이력 정보를 접수한 타이밍에서, 부품 속성 정보 접수부(32)가 접수한 부품 속성 정보에 포함되는 과거의 사용 이력 정보를 이용하여, 그 부품 속성 정보에 대응하는 부품 속성 대응 정보에 있어서의 부품 속성 정보를 갱신해도 좋다.
또한, 부품 식별 정보 접수부(31)나, 부품 속성 정보 접수부(32)가, 액션 식별 정보도 접수한 경우에는, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 그 액션 식별 정보도, 부품 속성 대응 정보 기억부(33)에서 기억되고 있는 부품 속성 대응 정보에 포함시키도록 해도 좋다. 또한, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)가 액션 식별 정 보를 부품 속성 대응 정보에 축적할 때에, 그 축적하는 연월일이나 일시와 함께 액션 식별 정보를 축적하도록 해도 좋다. 그렇게 함으로써, 부품에 대하여, 과거에 어떤 액션이 행해졌는지가 부품 속성 대응 정보에서 관리되게 된다. 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 연월일이나 일시를, 도시하지 않는 캘린더(calendar)부나 시계부로 부터 취득해도 좋다.
부품 제거 검지부(35)는, 부품이 제조 장치(30)로부터 제거된 것을 검지한다. 부품 제거 검지부(35)가, 부품이 제거된 것을 검지하는 방법은 불문한다. 예를 들면, 센서나 그 이외의 기구 등을 이용하여, 상주적(常駐的)으로 부품이 장착되어 있는지 어떤지를 확인하고 있는 경우에는, 부품이 장착되지 않게 된 시점에서, 부품이 제거된 것을 검지해도 좋고, 혹은, 사용자가 입력 디바이스 등을 통하여 부품을 제거한 것을 입력한 시점에서, 부품이 제거된 것을 검지해도 좋고, 적절히 부품이 제거된 것을 검지할 수 있는 것이면, 그 검지를 다른 방법으로 행해도 좋다.
제1 부품 속성 정보 출력부(36)는, 부품이 제조 장치(30)로부터 제거되었을 때에, 그 부품에 대응하는 부품 속성 대응 정보에 포함되는 사용 이력 정보를 포함하는 부품 속성 정보를 출력한다. 본 실시 형태에서, 제1 부품 속성 정보 출력부(36)는, 부품 제거 검지부(35)가 부품이 제거된 것을 검지했을 때에, 그 부품에 대응하는 부품 속성 정보를 출력하는 것으로 한다. 제거된 부품에 대응하는 부품 속성 정보란, 제거된 부품을 식별하는 부품 식별 정보를 갖는 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 속성 정보로서, 그 부품 속성 대응 정보에 포함되는 사용 이력 정보를 포함하는 부품 속성 정보이다. 제1 부품 속성 정보 출력부(36)는, 예를 들면, 부품 제거 검지부(35)로부터, 제거된 부품에 대응하는 부품 식별 정보를 수취하여, 그 부품 식별 정보를 검색 키(key)로 하여 부품 속성 대응 정보 기억부(33)에서 기억되고 있는 부품 속성 대응 정보를 검색하고, 그 검색으로 히트(hit)한 부품 속성 대응 정보로부터, 사용 이력 정보를 포함하는 부품 속성 정보를 취득하여 출력해도 좋다. 또한, 제1 부품 속성 정보 출력부(36)가 출력하는 부품 속성 정보는, 사용 이력 정보를 포함하는 것 이외에는, 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 속성 정보와 동일해도 좋고, 혹은 상이해도 좋다. 예를 들면, 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 속성 정보에는, 부품의 담당자명 등이 포함되어 있는 경우라도, 제1 부품 속성 정보 출력부(36)가 출력하는 부품 속성 정보에는, 그 부품의 담당자명 등이 포함되어 있지 않아도 좋다. 이와 같이, 제1 부품 속성 정보 출력부(36)가 출력하는 부품 속성 정보는, 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 속성 정보의 일부의 정보라도 좋다.
여기에서, 이 출력은, 예를 들면, 표시 디바이스(예를 들면, CRT나 액정 디스플레이 등)로의 표시라도 좋고, 소정의 기기로의 통신 회선을 통한 송신이라도 좋고, 프린터에 의한 인쇄라도 좋고, 기록 매체로의 축적이라도 좋고, 다른 구성 요소로의 인도(transfer)라도 좋다. 또한, 제1 부품 속성 정보 출력부(36)는, 출력을 행하는 디바이스(예를 들면, 표시 디바이스나 프린터 등)를 포함해도 좋고, 혹은 포함하지 않아도 좋다. 또한, 제1 부품 속성 정보 출력부(36)는, 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 혹은, 그들 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어 에 의해 실현되어도 좋다.
출력 지시 정보 접수부(37)는, 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 속성 정보의 출력을 지시하는 정보인 출력 지시 정보를 접수한다. 출력 지시 정보에는, 출력하는 부품 속성 정보를 특정하기 위한 정보가 포함되어 있는 것이 매우 적합하다. 출력하는 부품 속성 정보를 특정하기 위한 정보는, 예를 들면, 부품 식별 정보라도 좋고, 부품의 명칭이나 모델번호 등이어도 좋고, 그 이외의 정보라도 좋다. 또한, 출력 지시 정보는, 모든 부품 속성 정보를 출력하는 것을 지시하는 정보라도 좋다.
출력 지시 정보 접수부(37)는, 예를 들면, 입력 디바이스(예를 들면, 키보드나 마우스, 터치 패널 등)로부터 입력된 출력 지시 정보를 접수해도 좋고, 유선 또는 무선의 통신 회선을 통하여 송신된 출력 지시 정보를 수신해도 좋다. 또한, 출력 지시 정보 접수부(37)는, 접수를 행하기 위한 디바이스(예를 들면, 모뎀이나 네트워크 카드 등)를 포함해도 좋고, 혹은 포함하지 않아도 좋다. 또한, 출력 지시 정보 접수부(37)는, 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 혹은 소정의 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
제2 부품 속성 정보 출력부(38)는, 출력 지시 정보 접수부(37)가 접수한 출력 지시 정보에서 출력하는 것이 지시된 부품 속성 정보를 부품 속성 대응 정보 기억부(33)로부터 판독하여 출력한다. 제2 부품 속성 정보 출력부(38)는, 예를 들면, 출력 지시 정보에 포함되는 부품 속성 정보를 특정하기 위한 정보를 이용하여, 부품 속성 대응 정보 기억부(33)에서 기억되고 있는 부품 속성 대응 정보를 검색하 고, 그 검색으로 히트한 부품 속성 대응 정보로부터 부품 속성 정보를 취득하여 출력해도 좋다.
여기에서, 이 출력은, 예를 들면, 표시 디바이스(예를 들면, CRT나 액정 디스플레이 등)로의 표시라도 좋고, 소정의 기기로의 통신 회선을 통한 송신이라도 좋고, 프린터에 의한 인쇄라도 좋고, 기록 매체로의 축적이라도 좋고, 다른 구성 요소로의 인도라도 좋다. 또한, 제2 부품 속성 정보 출력부(38)는, 출력을 행하는 디바이스(예를 들면, 표시 디바이스나 프린터 등)를 포함해도 좋고, 혹은 포함하지 않아도 좋다. 또한, 제2 부품 속성 정보 출력부(38)는, 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 혹은, 그들 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
수명 대응 정보 기억부(39)에서는, 부품 종류 식별 정보와, 부품의 수명을 나타내는 정보인 수명 정보를 대응지어서 갖는 정보인 수명 대응 정보가 기억된다. 부품 종류 식별 정보는, 예를 들면, 부품의 종류를 식별하는 독자의 정보라도 좋고, 혹은, 부품의 명칭이나 모델번호 등으로 구성되는 정보라도 좋다. 수명 정보는, 부품의 수명을 나타내는 정보이면, 어떠한 것이어도 좋다. 수명 정보는, 예를 들면, 부품의 수명을 사용 횟수(예를 들면, 100회 등)로 나타내는 것이라도 좋고, 부품의 수명을 사용 기간(예를 들면, 1년 등)으로 나타내는 것이라도 좋고, 부품의 수명을 연월일이나 일시(예를 들면, 2007년 12월 20일 등)로 나타내는 것이라도 좋다. 또한, 이 수명 정보는, 엄밀한 수명보다도 조금 짧게 설정되어 있는 것이라도 좋다. 예를 들면, 엄밀한 수명을 나타내는 사용 횟수가 100회인 경우에, 수명 정 보가 「95회」로 설정되어도 좋다.
수명 대응 정보 기억부(39)에 수명 대응 정보가 기억되는 과정은 불문한다. 예를 들면, 기록 매체를 통하여 수명 대응 정보가 수명 대응 정보 기억부(39)에서 기억되도록 해도 좋고, 통신 회선 등을 통하여 송신된 수명 대응 정보가 수명 대응 정보 기억부(39)에서 기억되도록 해도 좋고, 혹은, 입력 디바이스를 통하여 입력된 수명 대응 정보가 수명 대응 정보 기억부(39)에서 기억되도록 해도 좋다. 수명 대응 정보 기억부(39)에서의 기억은, RAM 등에 있어서의 일시적인 기억이라도 좋고, 혹은, 장기적인 기억이라도 좋다. 수명 대응 정보 기억부(39)는, 소정의 기록 매체(예를 들면, 반도체 메모리나 자기 디스크, 광디스크 등)에 의해 실현될 수 있다.
수명 판단부(40)는, 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 종류 식별 정보와 대응지어져 있는 수명 정보와, 그 부품 속성 대응 정보에 포함되는 사용 이력 정보를 이용하여, 그 부품 속성 대응 정보에 대응하는 부품의 수명이 도래하는지 어떤지를 판단한다. 보다 구체적으로, 수명 판단부(40)는, 어떤 부품 속성 대응 정보로부터 부품 종류 식별 정보와 사용 이력 정보를 취득하고, 그 취득한 부품 종류 식별 정보를 검색 키로 하여 수명 대응 정보 기억부(39)에서 기억되고 있는 수명 대응 정보를 검색하여, 검색으로 히트한 수명 대응 정보의 레코드(record)에 포함되는 수명 정보를 취득한다. 그리고, 수명 판단부(40)는, 취득한 수명 정보와, 미리 부품 속성 대응 정보로부터 취득해 있던 사용 이력 정보를 비교하여, 그 부품의 수명이 도래해 있는지 어떤지를 판단한다. 수명 판단부(40)는, 예를 들면, 취득한 사용 이력 정보가 나타내는 사용 이력이, 수명 정보가 나타내는 수명과 일치하거나 혹은, 넘어서 있는 경우에는, 수명이 도래한다고 판단해도 좋다. 또한, 수명 판단부(40)는, 예를 들면, 취득한 사용 이력 정보가 나타내는 사용 이력을 소정수만큼 길게 하는 처리를 한 정보(예를 들면, 사용 이력을 1.1배 등으로 한 정보)가, 수명 정보가 나타내는 수명과 일치하거나 혹은, 넘어서 있는 경우에는, 수명이 도래했다고 판단해도 좋다. 또한, 수명 판단부(40)는, 예를 들면, 취득한 사용 이력 정보가 나타내는 사용 이력이, 수명 정보가 나타내는 수명을 소정수만큼 짧게 하는 처리를 한 정보(예를 들면, 수명을 0.9배 등으로 한 정보)와 일치하거나 혹은, 넘어서 있는 경우에는, 수명이 도래했다고 판단해도 좋다. 구체적으로는, 수명 정보가 나타내는 사용 횟수가 「100회」인 경우에, 수명 판단부(40)는, 수명 정보를 「95회」로 환산하여, 사용 이력 정보와의 비교를 행해도 좋다.
예를 들면, 사용 이력 정보도, 수명 정보도 부품의 사용 횟수로 나타나 있어, 사용 이력 정보가 나타내는 사용 횟수가 「90회」이고, 수명 정보가 나타내는 사용 횟수가 「100회」인 경우에, 수명 판단부(40)는, 수명이 아직 도래하지 않았다고 판단해도 좋다. 한편, 사용 이력 정보가 나타내는 사용 횟수가 「101회」이고, 수명 정보가 나타내는 사용 횟수가 「100회」인 경우에는, 수명 판단부(40)가, 수명이 도래한다, 혹은, 도래했다고 판단해도 좋다. 또한, 수명 판단부(40)는, 사용 이력 정보와 수명 정보를 비교할 때에, 정보의 변환을 행해도 좋다. 예를 들면, 사용 이력 정보가 사용 개시의 일시를 나타내는 정보이고, 수명 정보가 사용 기간을 나타내는 정보인 경우에, 사용 이력 정보가 나타내는 사용 개시 일시와, 판 단 시의 일시를 이용해, 사용 이력 정보를, 사용 기간을 나타내는 정보로 환산하여, 그 환산 후의 사용 이력 정보와 수명 정보를 비교해도 좋다. 수명 판단부(40)는, 그 경우에 이용되는 판단 시의 일시를, 도시하지 않는 캘린더부나 시계부 등으로부터 취득하는 것으로 한다. 또한, 수명 판단부(40)는, 수명이 도래한다고 판단한 부품을 식별하는 부품 식별 정보를, 도시하지 않는 기록 매체에 있어서 일시적으로 기억해도 좋다.
수명 도래 정보 출력부(41)는, 수명 판단부(40)가, 부품의 수명이 도래한다고 판단한 부품의 부품 식별 정보를 적어도 포함하는 정보인 수명 도래 정보를 출력한다. 예를 들면, 수명 판단부(40)가, 수명이 도래한다고 판단한 부품을 식별하는 부품 식별 정보를, 도시하지 않는 기록 매체에 있어서 일시적으로 기억하고 있는 경우에, 수명 도래 정보 출력부(41)는, 그 기록 매체로부터, 부품의 수명이 도래한다고 판단한 부품의 부품 식별 정보를 판독함으로써 취득해도 좋다. 또한, 수명 도래 정보는, 수명이 도래하는 부품을 식별할 수 있는 정보이면, 그 이외에 어떤 정보가 포함되어 있어도 좋다. 예를 들면, 수명 도래 정보는, 수명이 도래하는 부품의 발주 정보라도 좋고, 단순히 부품의 수명이 도래하는 것을 나타낼 뿐인 정보라도 좋다. 수명 도래 정보는, 수명 도래 정보 출력부(41)가 구성해도 좋고, 혹은, 다른 구성 요소 등에 있어서 구성되어도 좋다. 예를 들면, 수명 도래 정보의 템플릿(template)이 도시하지 않는 기록 매체에 있어서 기억되어 있으며, 수명 도래 정보 출력부(41)는, 그 템플릿에, 수명이 도래한다고 판단된 부품을 식별하는 부품 식별 정보를 삽입해 수명 도래 정보를 구성하여, 그 수명 도래 정보를 출력해 도 좋다.
여기에서, 이 출력은, 예를 들면, 표시 디바이스(예를 들면, CRT나 액정 디스플레이 등)로의 표시라도 좋고, 소정의 기기로의 통신 회선을 통한 송신이라도 좋고, 프린터에 의한 인쇄라도 좋고, 스피커에 의한 음성 출력이라도 좋고, 기록 매체로의 축적이라도 좋고, 다른 구성 요소로의 인도라도 좋다. 또한, 수명 도래 정보 출력부(41)는, 출력을 행하는 디바이스(예를 들면, 표시 디바이스나 프린터 등)를 포함해도 좋고, 혹은 포함하지 않아도 좋다. 또한, 수명 도래 정보 출력부(41)는, 하드웨어에 의해 실현되어도 좋고, 혹은, 그들 디바이스를 구동하는 드라이버 등의 소프트웨어에 의해 실현되어도 좋다.
또한, 부품 속성 대응 정보 기억부(33)와, 수명 대응 정보 기억부(39)는, 동일한 기록 매체에 의해 실현되어도 좋고, 혹은, 별개의 기록 매체에 의해 실현되어도 좋다. 전자의 경우에는, 부품 속성 대응 정보를 기억하고 있는 영역이 부품 속성 대응 정보 기억부(33)로 되며, 수명 대응 정보를 기억하고 있는 영역이 수명 대응 정보 기억부(39)로 된다.
다음으로, 본 실시 형태에 의한 제조 장치의 동작에 대해서, 도4 의 플로우 차트를 이용하여 설명한다.
(스텝 S101) 부품 식별 정보 접수부(31)는, 부품 식별 정보를 접수했는지 어떤지를 판단한다. 그리고, 부품 식별 정보를 접수한 경우에는, 스텝 S102로 나아가고, 그렇지 않은 경우에는, 스텝 S103으로 나아간다.
(스텝 S102) 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품 식별 정보 접수부(31) 가 접수한 부품 식별 정보를 이용하여, 부품 속성 대응 정보를 갱신한다. 그리고, 스텝 S101로 되돌아간다.
(스텝 S103) 부품 속성 정보 접수부(32)는, 부품 속성 정보를 접수했는지 어떤지를 판단한다. 그리고, 부품 속성 정보를 접수한 경우에는, 스텝 S104로 나아가고, 그렇지 않은 경우에는, 스텝 S105로 나아간다.
(스텝 S104) 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품 속성 정보 접수부(32)가 접수한 부품 속성 정보를 이용하여, 부품 속성 대응 정보를 갱신한다. 그리고, 스텝 S101로 되돌아간다.
(스텝 S105) 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품 속성 대응 정보에 포함되는 사용 이력 정보를 갱신하는 타이밍인지 어떤지를 판단한다. 그리고, 사용 이력 정보를 갱신하는 타이밍인 경우에는, 스텝 S106으로 나아가고, 그렇지 않은 경우에는, 스텝 S107로 나아간다. 예를 들면, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)가, 정기적으로 부품의 사용 상황을 취득하여, 사용 이력 정보를 갱신하는 경우에, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 정기적으로, 사용 이력 정보를 갱신하는 타이밍이라고 판단해도 좋다. 또한, 예를 들면, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)가, 다른 구성 요소 등으로부터 부품의 사용 상황을 접수했을 때에 사용 이력 정보를 갱신하는 경우에, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품의 사용 상황을 접수했을 때에, 사용 이력 정보를 갱신하는 타이밍이라고 판단해도 좋다.
(스텝 S106) 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품의 사용 상황에 따라서, 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품의 사용 이력 정보를 갱신한다. 그리고, 스텝 S101로 되돌아간다.
(스텝 S107) 부품 제거 검지부(35)는, 부품이 제거된 것을 검지했는지 어떤지를 판단한다. 그리고, 부품이 제거된 것을 검지한 경우에는, 스텝 S108로 나아가고, 그렇지 않은 경우에는, 스텝 S111로 나아간다.
(스텝 S108) 제1 부품 속성 정보 출력부(36)는, 부품 제거 검지부(35)가 제거된 것을 검지한 부품에 대응하는 부품 속성 정보를 부품 속성 대응 정보 기억부(33)로부터 판독한다.
(스텝 S109) 제1 부품 속성 정보 출력부(36)는, 판독한 부품 속성 정보를 출력한다.
(스텝 S110) 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품 제거 검지부(35)가 제거된 것을 검지한 부품에 대응하는 부품 속성 대응 정보를 무효화한다. 이 무효화는, 예를 들면, 부품 속성 대응 정보의 삭제라도 좋고, 부품 속성 대응 정보에 대응지어서 무효라는 취지의 플래그(flag)를 설정하는 것이라도 좋다. 그리고, 스텝 S101로 되돌아간다.
(스텝 S111) 출력 지시 정보 접수부(37)는, 출력 지시 정보를 접수했는지 어떤지를 판단한다. 그리고, 출력 지시 정보를 접수한 경우에는, 스텝 S112로 나아가고, 그렇지 않은 경우에는, 스텝 S114로 나아간다.
(스텝 S112) 제2 부품 속성 정보 출력부(38)는, 출력 지시 정보 접수부(37)가 접수한 출력 지시 정보에서 출력하는 것이 지시되는 부품 속성 정보를 부품 속성 대응 정보 기억부(33)로부터 판독한다.
(스텝 S113) 제2 부품 속성 정보 출력부(38)는, 판독한 부품 속성 정보를 출력한다. 그리고, 스텝 S101로 되돌아간다.
(스텝 S114) 수명 판단부(40)는, 수명이 도래했는지 어떤지의 판단을 행하는 타이밍인지 어떤지를 판단한다. 그리고, 그 타이밍이라고 판단한 경우에는, 스텝 S115로 나아가고, 그렇지 않은 경우에는, 스텝 S101로 되돌아간다. 수명 판단부(40)는, 예를 들면, 정기적으로 수명이 도래했는지 어떤지의 판단을 행하는 타이밍이라고 판단해도 좋고, 혹은, 소정의 이벤트의 발생을 검지한 경우에, 그 타이밍이라고 판단해도 좋다. 소정의 이벤트란, 예를 들면, 사용자로부터의 수명 판단의 지시가 접수된 것이라도 좋다.
(스텝 S115) 수명 판단부(40)는, 부품 속성 대응 정보 기억부(33)에서 기억되고 있는 각 부품 속성 대응 정보에 대응하는 부품에 대해서, 수명이 도래했는지 어떤지의 판단을 행한다.
(스텝 S116) 수명 판단부(40)는, 수명이 도래한다고 판단된 부품이 존재하는지 어떤지를 판단한다. 그리고, 존재하는 경우에는, 스텝 S117로 나아가고, 존재하지 않는 경우에는, 스텝 S101로 되돌아간다.
(스텝 S117) 수명 도래 정보 출력부(41)는, 수명이 도래한다고 판단된 부품의 부품 식별 정보를 적어도 포함하는 수명 도래 정보를 출력한다. 그리고, 스텝 S101로 되돌아간다.
또한, 도4 의 플로우 차트에 있어서, 전원 오프나 처리 종료의 끼어듦에 의해 처리는 종료된다. 또한, 도4 의 플로우 차트에 있어서, 스텝 S101과, 스텝 S103의 처리는, 일체로서 행해져도 좋고, 또한, 그 경우에는, 스텝 S102와, 스텝 S104와의 처리도, 일체로서 행해져도 좋다.
다음으로, 본 실시 형태에 의한 제조 장치(30)의 동작에 대해서, 구체예를 이용하여 설명한다.
이 구체예에 있어서, 부품 식별 정보와 부품 속성 정보가, 부품에 형성되어 있는 RFID에서 유지되고 있는 경우(구체예 1)와, 부품 식별 정보가 부품에 형성되어 있는 2차원 바코드에서 유지되고 있고, 부품 속성 정보가 서버 장치(10)에서 유지되고 있는 경우(구체예 2)에 대해서 설명한다.
[구체예 1]
부품 식별 정보 「P001」로 식별되는 부품(이하, 이 부품을 부품(P001)이라고 부르는 일도 있음, 다른 부품에 대해서도 동일하게 함)을 제조 장치(30)에 장착했다고 한다. 그러면, 제조 장치(30)에 형성되어 있는 RFID 리더 라이터(RFID reader/writer)가, 그 부품(P001)이 장착된 것을 검지하여, 그 부품(P001)의 RFID로부터 부품 식별 정보 「P001」과, 부품 속성 정보를 판독했다고 한다(스텝 S101, S103). 또한, 그 부품 속성 정보에는, 부품의 명칭 「AAA」와, 모델번호 「1234」와, 사용 이력 정보 「0」이 포함되어 있다고 한다.
부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 부품 식별 정보 접수부(31)가 접수한 부품 식별 정보 「P001」과, 부품 속성 정보 접수부(32)가 접수한 부품 속성 정보를 대응짓는 부품 속성 대응 정보를 구성하여, 부품 속성 대응 정보 기억부(33)에 축적한다(스텝 S102, S104). 도5 의 첫 번째의 레코드는, 그와 같이 하여 축적된 부 품 속성 대응 정보이다.
다음으로, 제조 장치(30)에 있어서, 피(被)처리 기판에 대한 반도체 프로세스가 실행되어, 부품(P001)이 1회 사용되었다고 한다. 그러면, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 그 일을 검지하여(스텝 S105), 부품 속성 대응 정보 기억부(33)에 있어서, 부품 식별 정보 「P001」에 대응지어져 있는 사용 이력 정보를 「1」만큼 인크리먼트(increment)한다(스텝 S106). 그 결과, 부품 속성 대응 정보는, 도6 에서 나타나는 바와 같이 된다.
다음으로, 부품의 수명에 관한 판단 처리에 대해서 설명한다.
이 구체예에 있어서, 수명 대응 정보 기억부(39)에서는, 도7 에서 나타나는 수명 대응 정보가 기억되어 있었다고 한다. 도7 의 수명 대응 정보에 있어서, 부품 종류 식별 정보와, 수명 정보가 대응지어져 있다. 부품 종류 식별 정보는, 부품의 명칭과, 모델번호로 구성된다. 또한, 수명 정보는, 부품의 사용 횟수를 나타내는 정보이다. 즉, 부품의 사용 횟수가 수명 정보가 나타내는 사용 횟수로 된 경우에, 그 부품은 수명이 도래했다고 판단되게 된다.
또한, 제조 장치(30)에 있어서, 피처리 기판에 대한 반도체 프로세스가 반복하여 실행되게 됨으로써, 부품 속성 대응 정보가 도8 에서 나타나는 바와 같이 되었다고 한다. 즉, 부품(P001)의 사용 횟수가 20회에 도달했다고 한다. 또한, 수명 판단부(40)는, 정기적으로 수명의 판단을 행하는 것이며, 그 수명을 판단하는 타이밍이 왔다고 한다(스텝 S114). 그러면, 수명 판단부(40)는, 도8 에서 나타나는 복수의 부품 속성 대응 정보로부터, 첫 번째의 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품의 명칭 「AAA」, 모델번호 「1234」와, 사용 이력 정보 「20」을 취득하고, 그 중 부품의 명칭 「AAA」, 모델번호 「1234」를 검색 키로 하여, 도7 에서 나타나는 수명 대응 정보를 검색한다. 그러면, 첫 번째의 수명 대응 정보가 히트한다. 수명 판단부(40)는, 그 검색된 첫 번째의 수명 대응 정보로부터 수명 정보 「20」을 판독한다. 그리고, 수명 판단부(40)는, 취득한 사용 이력 정보 「20」이, 취득한 수명 정보 「20」 이상인지 어떤지를 판단한다. 이 경우에는, 사용 이력 정보가 수명 정보 이상이기 때문에, 수명 판단부(40)는, 첫 번째의 부품 속성 대응 정보에 대응하는 부품의 수명이 도래한다고 판단한다. 또한, 수명 판단부(40)는, 다른 부품 속성 대응 정보에 대해서도 동일한 판단을 행한다(스텝 S115). 이 판단에 있어서, 도8 의 첫 번째의 부품 속성 대응 정보만이 수명이 도래한 것으로 판단되었다고 한다. 그러면, 수명 판단부(40)는, 수명이 도래하는 부품이 있었다고 판단하고(스텝 S116), 그 첫 번째의 부품 속성 대응 정보로부터 부품 식별 정보(P001)를 판독하여 수명 도래 정보 출력부(41)에 넘긴다. 수명 도래 정보 출력부(41)는, 수명 판단부(40)로부터 수취한 부품 식별 정보(P001)를 포함하는 수명 도래 정보를 출력한다(스텝 S117). 이 수명 도래 정보는, 예를 들면, 「부품 식별 정보(P001)로 식별되는 부품이 수명이 다했습니다.」라는 텍스트 데이터라도 좋다. 이 수명 도래 정보가 출력됨으로써, 그 수명 도래 정보를 본 사용자는, 부품 식별 정보(P001)로 식별되는 부품이 수명이 다한 것을 알 수 있다.
다음으로, 부품이 제거될 때의 처리에 대해서 설명한다.
도8 에서 나타나는 두 번째의 부품 속성 대응 정보에 대응하는 부품(P101)이 제조 장치(30)로부터 제거되었다고 한다. 그러면, 부품 제거 검지부(35)로서의 RFID 리더 라이터는, 부품(P101)이 제거된 것을 검지하여(스텝 S107), 그 부품을 식별하는 부품 식별 정보(P101)를 부품 속성 대응 정보 관리부(34)와, 제1 부품 속성 정보 출력부(36)에 넘긴다. 제1 부품 속성 정보 출력부(36)는, 그 부품 식별 정보(P101)에 대응하는 부품 속성 대응 정보로부터, 사용 이력 정보 「12」를 포함하는 부품 속성 정보를 판독하여(스텝 S108), 부품(P101)에 형성되어 있는 RFID에 사용 이력 정보 「12」를 기입한다(스텝 S109). 즉, 제1 부품 속성 정보 출력부(36)도 RFID 리더 라이터인 것으로 한다. 그 결과, 부품(P101)에 형성되어 있는 RFID는, 도8 의 두 번째의 부품 속성 대응 정보와 동일한 정보를 가지게 된다. 또한, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 수취한 부품 식별 정보(P101)에 대응하는 부품 속성 대응 정보, 즉, 도8 의 두 번째의 부품 속성 대응 정보를 부품 속성 대응 정보 기억부(33)로부터 삭제한다(스텝 S110). 또한, 이 이후에, 제거된 부품(P101)이, 다른 제조 장치(30)에 장착된 경우에는, 전술의 설명과 동일하게 하여, 그 부품(P101)의 RFID로부터 사용 이력 정보 「12」를 포함하는 부품 속성 정보 등이 판독되어, 부품 속성 대응 정보 기억부(33)에 축적됨으로써, 그때까지의 부품의 사용 이력이 반영된 부품 속성 대응 정보가, 그 부품(P101)이 장착된 제조 장치(30)에서 관리되게 된다.
다음으로, 출력 지시 정보가 접수되었을 때의 처리에 대해서 설명한다.
도8 에서 나타나는 부품 속성 대응 정보가 부품 속성 대응 정보 기억부(33)에서 기억되고 있는 경우에, 출력 지시 정보 접수부(37)가, 부품 식별 정보(P001) 를 포함하는 출력 지시 정보를 접수했다고 한다(스텝 S111). 그러면, 제2 부품 속성 정보 출력부(38)는, 그 부품 식별 정보(P001)를 검색 키로 하여, 부품 속성 대응 정보 기억부(33)를 검색하고, 그 검색으로 히트한 첫 번째의 부품 속성 대응 정보로부터 부품 속성 정보를 판독하여, 출력한다(스텝 S112, S113). 그 결과, 그 출력된 부품(P001)에 대응하는 부품 속성 정보에 의해, 사용자는, 부품(P001)의 명칭이나 모델번호, 사용 이력 등을 알 수 있다.
[구체예 2]
이 구체예에서는, 부품 속성 정보가 서버 장치(10)에서 유지되고 있는 것으로 한다. 도9 는, 서버 장치(10)에서 유지되고 있는 부품 속성 정보의 일 예를 나타내는 도면이다. 도9 에서 나타나는 바와 같이, 부품 속성 정보는, 부품 식별 정보와 대응지어져서 서버 장치(10)에서 유지되고 있는 것으로 한다.
부품(P001)이, 제조 장치(30)에 장착될 때에, 그 부품(P001)에 형성되어 있는 2차원 바코드에 포함되는 부품 식별 정보(P001)가, 바코드 리더로 읽혀졌다고 한다(스텝 S101). 그러면, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 그 부품 식별 정보(P001)를 갖는 부품 속성 대응 정보를, 부품 속성 대응 정보 기억부(33)에 축적한다(스텝 S102). 그 후, 도시하지 않는 부품 속성 정보 요구부는, 서버 장치(10)에 대하여, 부품 식별 정보(P001)로 식별되는 부품의 부품 속성 정보를 송신하는 취지의 요구를 송신한다. 그러면, 서버 장치(10)는, 도9 에서 나타나는 정보를 검색하여, 부품 식별 정보(P001)에 대응하는 부품 속성 정보를 판독하여, 요구의 송신원(送信元)인 제조 장치(30)에 송신한다. 그러면, 부품 속성 정보 접수부(32) 는, 부품의 명칭 「AAA」와, 모델번호 「1234」와, 사용 이력 정보 「3」을 포함하는 부품 속성 정보를 수신하여, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)에 넘긴다(스텝 S103). 그러면, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 직전에 축적한 부품 식별 정보(P001)의 부품 속성 대응 정보에, 수신된 부품 속성 정보를 추가 기재한다(스텝 S104). 이때에, 서버 장치(10)에 있어서, 부품 식별 정보(P001)에 대응하는 부품 속성 정보는 삭제되어도 좋고, 그렇지 않아도 좋다.
또한, 제조 장치(30)에 있어서, 사용 이력 정보가 갱신되는 처리나, 수명의 판단의 처리, 출력 지시 정보의 수신에 따라서, 부품 속성 정보가 출력되는 처리는, 구체예 1과 동일하며, 그 설명을 생략한다. 또한, 사용 이력 정보가 갱신될 때마다, 서버 장치(10)에 대하여, 갱신 후의 사용 이력 정보를 송신해도 좋고, 그렇지 않아도 좋다. 전자의 경우로서, 서버 장치(10)에서 송신 후의 부품 속성 정보도 유지하고 있는 경우에는, 서버 장치(10)는, 유지되고 있는 부품 속성 정보를 최신의 것으로 유지할 수 있다.
다음으로, 부품이 제거될 때의 처리에 대해서 설명한다.
부품이 제거될 때에, 부품 속성 대응 정보 기억부(33)에서 기억되고 있는 부품 속성 대응 정보가, 도8 에서 나타나는 바와 같이 되어 있었다고 한다. 그리고, 부품 제거 검지부(35)가, 부품(P001)이 제거된 것을 검지하면(스텝 S107), 그 부품을 식별하는 부품 식별 정보(P001)가, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)와, 제1 부품 속성 정보 출력부(36)에 넘겨진다. 제1 부품 속성 정보 출력부(36)는, 그 부품 식별 정보(P001)에 대응하는 부품 속성 대응 정보로부터, 사용 이력 정보 「20」을 포함하는 부품 속성 정보를 판독하여(스텝 S108), 부품 식별 정보(P001)와 대응지어서 서버 장치(10)에 송신한다(스텝 S109). 그 결과, 서버 장치(10)에서 유지되고 있는 부품 속성 정보는, 도10 에서 나타나는 바와 같이 갱신된다. 또한, 부품 속성 대응 정보 관리부(34)는, 수취한 부품 식별 정보(P001)에 대응하는 부품 속성 대응 정보, 즉, 도8 의 첫 번째의 부품 속성 대응 정보를 부품 속성 대응 정보 기억부(33)로부터 삭제한다(스텝 S110).
이상과 같이, 본 실시 형태에 의한 제조 장치(30)에 의하면, 제조 장치(30)에서 이용되는 부품의 정보를, 그 제조 장치(30)에 있어서 관리하기 때문에, 부품의 정보가 일원 관리됨으로써, 부품에 관한 정보를 알고 싶은 사용자 등은, 제조 장치(30)에 액세스하면 되게 되어, 부품의 정보에 차이가 생기는 사태를 회피할 수 있다.
또한, 제조 장치(30)에서 이용되는 부품의 정보를 제조 장치(30)에서 관리하고 있기 때문에, 그 제조 장치(30)는, 반도체 프로세스 등에 있어서 부적절한 부품을 이용하는 것에 의한 프로세스 불량이나 장치의 기동(起動) 불량 등을 회피하는 것도 가능해진다.
또한, 부품의 장착 시에 과거의 사용 이력 정보를 취입하거나, 부품의 제거 시에 사용 이력 정보를 출력하거나 함으로써, 부품을 제조 장치(30) 간에서 이동한 경우라도, 정확한 사용 이력 정보를 관리할 수 있다.
또한, 사용 이력 정보를 관리함으로써, 부품의 수명이 도래하는 취지를 출력할 수 있어, 예를 들면, 새로운 부품을 준비하거나, 부품을 교환하거나 하는 등의 처리를 행할 수 있게 된다.
또한, 본 실시 형태에서는, 제조 장치(30)에 있어서, 수명의 판단을 행하는 경우에 대해서 설명했지만, 그 수명의 판단을 행하지 않아도 좋다. 그 경우에는, 제조 장치(30)가, 수명 대응 정보 기억부(39), 수명 판단부(40), 수명 도래 정보 출력부(41)를 구비하고 있지 않아도 좋다.
또한, 본 실시 형태에서는, 제조 장치(30)가 출력 지시 정보 접수부(37)와, 제2 부품 속성 정보 출력부(38)를 구비하는 경우에 대해서 설명했지만, 제조 장치(30)는, 그들 구성 요소를 구비하고 있지 않아도 좋다. 그 경우에는, 예를 들면, 부품 속성 대응 정보 기억부(33)가 착탈 가능한 기록 매체로 구성되어 있어, 그 기록 매체를 제조 장치(30)로부터 제거함으로써, 부품 속성 대응 정보를 외부의 장치 등에서 이용할 수 있도록 해도 좋다.
또한, 본 실시 형태에서는, 부품이 제거되었을 때에 부품 속성 정보를 출력하는 제1 부품 속성 정보 출력부(36)를 제조 장치(30)가 구비하는 경우에 대해서 설명했지만, 제조 장치(30)는, 그 제1 부품 속성 정보 출력부(36)를 구비하고 있지 않아도 좋다. 제조 장치(30)가 제1 부품 속성 정보 출력부(36)를 구비하지 않는 경우, 제조 장치(30)는, 부품 제거 검지부(35)도 구비하고 있지 않아도 좋다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 제조 장치가 스탠드 얼론(stand-alone)인 경우에 대해서 설명했지만, 제조 장치는, 스탠드 얼론인 장치라도 좋고, 서버·클라이언트 시스템에 있어서의 서버 장치라도 좋다. 후자의 경우에는, 출력부나 접수부가, 통신 회선을 통하여 입력을 접수하거나, 화면을 출력하거나 하게 된다.
또한, 상기 실시 형태에 있어서, 각 처리 또는 각 기능은, 단일의 장치 또는 단일의 시스템에 의해 집중 처리됨으로써 실현되어도 좋고, 혹은, 복수의 장치 또는 복수의 시스템에 의해 분산 처리됨으로써 실현되어도 좋다.
또한, 상기 실시 형태에 있어서, 각 구성 요소가 실행하는 처리에 관계하는 정보, 예를 들면, 각 구성 요소가 접수하거나, 취득하거나, 선택하거나, 생성하거나, 송신하거나, 수신하거나 한 정보나, 각 구성 요소가 처리에서 이용하는 문턱값이나 수식, 어드레스 등의 정보 등은, 상기 설명에서 명기하고 있지 않은 경우라도, 도시하지 않는 기록 매체에 있어서, 일시적으로, 혹은 장기에 걸쳐서 유지되고 있어도 좋다. 또한, 그 도시하지 않는 기록 매체로의 정보의 축적을, 각 구성 요소, 혹은, 도시하지 않는 축적부가 행해도 좋다. 또한, 그 도시하지 않는 기록 매체로부터의 정보의 판독을, 각 구성 요소, 혹은, 도시하지 않는 판독부가 행해도 좋다.
또한, 상기 실시 형태에 있어서, 제조 장치에 포함되는 2 이상의 구성 요소가 통신 디바이스나 입력 디바이스 등을 갖는 경우에, 2 이상의 구성 요소가 물리적으로 단일의 디바이스를 가져도 좋고, 혹은, 별개의 디바이스를 가져도 좋다.
또한, 상기 실시 형태에 있어서, 각 구성 요소는 전용의 하드웨어에 의해 구성되어도 좋고, 혹은, 소프트웨어에 의해 실현 가능한 구성 요소에 대해서는, 프로그램을 실행함으로써 실현되어도 좋다. 예를 들면, 하드디스크나 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어·프로그램을 CPU 등의 프로그램 실행부가 판독하여 실행함으로써, 각 구성 요소가 실현될 수 있다. 또한, 상기 실시 형태에 있어서의 제조 장치를 실현하는 소프트웨어는, 이하와 같은 프로그램이다. 즉, 이 프로그램은, 컴퓨터를, 피처리 기판에 대한 반도체 프로세스를 행하는 제조 장치에서 이용되는 부품을 식별하는 정보인 부품 식별 정보를 접수하는 부품 식별 정보 접수부와, 상기 부품 식별 정보 접수부가 접수한 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 속성을 나타내는 정보인 부품 속성 정보를 접수하는 부품 속성 정보 접수부와, 상기 부품 식별 정보 접수부가 접수한 부품 식별 정보와, 상기 부품 속성 정보 접수부가 접수한 부품 속성 정보를 이용하여, 부품 속성 대응 정보 기억부에서 기억되는, 상기 제조 장치에서 이용되는 부품을 식별하는 부품 식별 정보와, 당해 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 부품 속성 정보를 대응지어서 갖는 정보인 부품 속성 대응 정보를 갱신하는 부품 속성 대응 정보 관리부로서 기능시키기 위한 것이다.
또한, 상기 프로그램에 있어서, 정보를 접수하는 접수 스텝 등에서는, 하드웨어에서밖에 행해지지 않는 처리, 예를 들면, 접수 스텝에 있어서의 모뎀이나 인터페이스 카드 등에서 행해지는 처리는 적어도 포함되지 않는다.
또한, 이 프로그램은, 서버 등으로부터 다운로드됨으로써 실행되어도 좋고, 소정의 기록 매체(예를 들면, CD-ROM 등의 광디스크나 자기 디스크, 반도체 메모리 등)에 기록된 프로그램이 판독됨으로써 실행되어도 좋다.
또한, 이 프로그램을 실행하는 컴퓨터는, 단수라도 좋고, 복수라도 좋다. 즉, 집중 처리를 행해도 좋고, 혹은 분산 처리를 행해도 좋다.
도11 은, 상기 프로그램을 실행하여, 상기 실시 형태에 의한 제조 장치(30)를 실현하는 컴퓨터의 외관의 일 예를 나타내는 개략도이다. 상기 실시 형태는, 컴퓨터 하드웨어 및 그 위에서 실행되는 컴퓨터 프로그램에 의해 실현된다.
도11 에 있어서, 컴퓨터 시스템(100)은, CD-ROM(Compact Disk Read Only Memory) 드라이브(105), FD(Flexible Disk) 드라이브(106)를 포함하는 컴퓨터(101)와, 키보드(102)와, 마우스(103)와, 모니터(104)를 구비한다.
도12 는, 컴퓨터 시스템을 나타내는 도면이다. 도12 에 있어서, 컴퓨터(101)는, CD-ROM 드라이브(105), FD 드라이브(106)에 더하여, CPU(Central Processing Unit)(111)와, 부트업(boot-up) 프로그램 등의 프로그램을 기억하기 위한 ROM(Read Only Memory)(112)과, CPU(111)에 접속되어, 어플리케이션 프로그램의 명령을 일시적으로 기억함과 함께, 일시 기억 공간을 제공하는 RAM(Random Access Memory)(113)과, 어플리케이션 프로그램, 시스템 프로그램 및, 데이터를 기억하는 하드디스크(114)와, CPU(111), ROM(112) 등을 상호 접속하는 버스(115)를 구비한다. 또한, 컴퓨터(101)는, LAN으로의 접속을 제공하는 도시하지 않는 네트워크 카드를 포함해도 좋다.
컴퓨터 시스템(100)에, 상기 실시 형태에 의한 제조 장치(30)의 기능을 실행시키는 프로그램은, CD-ROM(121), 또는 FD(122)에 기억되어서, CD-ROM 드라이브(105), 또는 FD 드라이브(106)에 삽입되어, 하드디스크(114)에 전송되어도 좋다. 이것을 대신하여, 그 프로그램은, 도시하지 않는 네트워크를 통하여 컴퓨터(101)에 송신되어, 하드디스크(114)에 기억되어도 좋다. 프로그램은, 실행 시에 RAM(113)에 로드된다. 또한, 프로그램은, CD-ROM(121)이나 FD(122), 또는 네트워크로부터 직접, 로드되어도 좋다.
프로그램은, 컴퓨터(101)에, 상기 실시 형태에 의한 제조 장치(30)의 기능을 실행시키는 오퍼레이팅 시스템(OS), 또는 서드 파티 프로그램(third party program) 등을 반드시 포함하고 있지 않아도 좋다. 프로그램은, 제어된 형태에서 적절한 기능(모듈)을 불러내어, 소망의 결과가 얻어지도록 하는 명령의 부분만을 포함하고 있어도 좋다. 컴퓨터 시스템(100)이 어떤 식으로 동작하는지에 대해서는 주지(周知)이며, 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명은, 이상의 실시 형태에 한정되는 일 없이, 여러 종류의 변경이 가능하며, 그것들도 본 발명의 범위 내에 포함되는 것임은 말할 필요도 없다.
이상으로부터, 본 발명에 따른 제조 장치 등에 의하면, 제조 장치에서 이용되는 부품의 정보를, 실제로 제조 장치에서 이용되고 있는 부품에 맞춰서 적절히 관리할 수 있다는 효과가 얻어져, 반도체 프로세스를 실행하는 제조 장치 등으로서 유용하다.
도1 은 본 발명의 실시 형태 1에 따른 군관리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다.
도2 는 동(同) 실시 형태에 따른 제조 장치의 일 예를 나타내는 도면이다.
도3 은 동 실시 형태에 따른 제조 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도4 는 동 실시 형태에 따른 제조 장치의 동작을 나타내는 플로우 차트이다.
도5 는 동 실시 형태에 있어서의 부품 속성 대응 정보의 일 예를 나타내는 도면이다.
도6 은 동 실시 형태에 있어서의 부품 속성 대응 정보의 일 예를 나타내는 도면이다.
도7 은 동 실시 형태에 있어서의 수명 대응 정보의 일 예를 나타내는 도면이다.
도8 은 동 실시 형태에 있어서의 부품 속성 대응 정보의 일 예를 나타내는 도면이다.
도9 는 동 실시 형태에 있어서의 서버 장치에서 관리되고 있는 부품 속성 정보의 일 예를 나타내는 도면이다.
도10 은 동 실시 형태에 있어서의 서버 장치에서 관리되고 있는 부품 속성 정보의 일 예를 나타내는 도면이다.
도11 은 동 실시 형태에 있어서의 컴퓨터 시스템의 외관의 일 예를 나타내는 개략도이다.
도12 는 동 실시 형태에 있어서의 컴퓨터 시스템의 구성의 일 예를 나타내는 도면이다.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
10 : 서버 장치
20 : 클라이언트 장치
30 : 제조 장치
31 : 부품 식별 정보 접수부
32 : 부품 속성 정보 접수부
33 : 부품 속성 대응 정보 기억부
34 : 부품 속성 대응 정보 관리부
35 : 부품 제거 검지부
36 : 제1 부품 속성 정보 출력부
37 : 출력 지시 정보 접수부
38 : 제2 부품 속성 정보 출력부
39 : 수명 대응 정보 기억부
40 : 수명 판단부
41 : 수명 도래 정보 출력부

Claims (9)

  1. 피(被)처리 기판에 대한 반도체 프로세스를 행하는 제조 장치로서,
    상기 제조 장치에서 이용되는 부품(parts)을 식별하는 정보인 부품 식별 정보를 접수하는 부품 식별 정보 접수부와,
    상기 부품 식별 정보 접수부가 접수한 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 속성을 나타내는 정보인 부품 속성 정보를 접수하는 부품 속성 정보 접수부와,
    상기 제조 장치에서 이용되는 부품을 식별하는 부품 식별 정보와, 상기 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 부품 속성 정보를 대응지어서 갖는 정보인 부품 속성 대응 정보가 기억되는 부품 속성 대응 정보 기억부와,
    상기 부품 식별 정보 접수부가 접수한 부품 식별 정보와, 상기 부품 속성 정보 접수부가 접수한 부품 속성 정보를 이용하여, 상기 부품 속성 대응 정보를 갱신하는 부품 속성 대응 정보 관리부를 구비한 제조 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 부품 속성 대응 정보 관리부는, 부품이 상기 제조 장치에 장착될 때에, 상기 부품의 부품 식별 정보를 포함하는 부품 속성 대응 정보를 상기 부품 속성 대응 정보 기억부에 축적하고, 상기 부품 속성 정보는, 부품의 사용 이력에 관한 정보인 사용 이력 정보를 포함하는 제조 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 부품 속성 대응 정보 관리부는, 부품의 사용 상황에 따라서 상기 사용 이력 정보를 갱신하는 제조 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 부품 속성 정보 접수부는, 상기 제조 장치에 장착된 부품의 과거의 사용 이력 정보를 포함하는 부품 속성 정보도 접수하는 것이며,
    상기 부품 속성 대응 정보 관리부는, 상기 부품 속성 정보 접수부가 접수한 부품 속성 정보에 포함되는 과거의 사용 이력 정보를 이용하여, 상기 부품 속성 정보에 대응하는 부품 속성 대응 정보에 있어서의 부품 속성 정보를 갱신하는 제조 장치.
  5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    부품이 상기 제조 장치로부터 제거되었을 때에, 상기 부품에 대응하는 부품 속성 대응 정보에 포함되는 사용 이력 정보를 포함하는 부품 속성 정보를 출력하는 제1 부품 속성 정보 출력부를 추가로 구비한 제조 장치.
  6. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 부품 속성 대응 정보는, 부품의 종류를 식별하는 정보인 부품 종류 식별 정보를 포함하고,
    부품 종류 식별 정보와, 부품의 수명을 나타내는 정보인 수명 정보를 대응지어서 갖는 정보인 수명 대응 정보가 기억되는 수명 대응 정보 기억부와,
    상기 부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 종류 식별 정보와 대응지어져 있는 수명 정보와, 상기 부품 속성 대응 정보에 포함되는 사용 이력 정보를 이용하여, 상기 부품 속성 대응 정보에 대응하는 부품의 수명이 도래하는지 어떤지를 판단하는 수명 판단부와,
    상기 수명 판단부가, 부품의 수명이 도래한다고 판단한 부품의 부품 식별 정보를 적어도 포함하는 정보인 수명 도래 정보를 출력하는 수명 도래 정보 출력부를 추가로 구비한 제조 장치.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    부품 속성 대응 정보에 포함되는 부품 속성 정보의 출력을 지시하는 정보인 출력 지시 정보를 접수하는 출력 지시 정보 접수부와,
    상기 출력 지시 정보 접수부가 접수한 출력 지시 정보에서 출력하는 것이 지시된 부품 속성 정보를 상기 부품 속성 대응 정보 기억부로부터 판독하여 출력하는 제2 부품 속성 정보 출력부를 추가로 구비한 제조 장치.
  8. 피처리 기판에 대한 반도체 프로세스를 행하는 제조 장치에서 이용되는 정보 처리 방법으로서, 상기 제조 장치에서 이용되는 부품을 식별하는 정보인 부품 식별 정보를 접수하는 부품 식별 정보 접수 스텝과,
    상기 부품 식별 정보 접수부가 접수한 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 속성을 나타내는 정보인 부품 속성 정보를 접수하는 부품 속성 정보 접수 스텝과,
    상기 부품 식별 정보 접수부가 접수한 부품 식별 정보와, 상기 부품 속성 정보 접수부가 접수한 부품 속성 정보를 이용하여, 부품 속성 대응 정보 기억부에서 기억되고 있는, 상기 제조 장치에서 이용되는 부품을 식별하는 부품 식별 정보와, 상기 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 부품 속성 정보를 대응지어서 갖는 정보인 부품 속성 대응 정보를 갱신하는 부품 속성 대응 정보 관리 스텝을 구비한 정보 처리 방법.
  9. 컴퓨터를,
    피처리 기판에 대한 반도체 프로세스를 행하는 제조 장치에서 이용되는 부품을 식별하는 정보인 부품 식별 정보를 접수하는 부품 식별 정보 접수부와,
    상기 부품 식별 정보 접수부가 접수한 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 속성을 나타내는 정보인 부품 속성 정보를 접수하는 부품 속성 정보 접수부와,
    상기 부품 식별 정보 접수부가 접수한 부품 식별 정보와, 상기 부품 속성 정보 접수부가 접수한 부품 속성 정보를 이용하여, 부품 속성 대응 정보 기억부에서 기억되는, 상기 제조 장치에서 이용되는 부품을 식별하는 부품 식별 정보와, 상기 부품 식별 정보로 식별되는 부품의 부품 속성 정보를 대응지어서 갖는 정보인 부품 속성 대응 정보를 갱신하는 부품 속성 대응 정보 관리부로서 기능시키기 위한 프로그램이 수록된 기록매체.
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