JP2003271764A - 保守管理ポイントサービスシステム，サーバ装置，端末装置，プログラム，記録媒体及び保守管理ポイントサービスシステムの処理方法 - Google Patents

保守管理ポイントサービスシステム，サーバ装置，端末装置，プログラム，記録媒体及び保守管理ポイントサービスシステムの処理方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 できる限り顧客自ら保守（メンテナンス）を
行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減
する。 【解決手段】 保守管理の対象となる製造装置１２０が
接続された端末装置１１０と，保守管理サービスを行う
サーバ装置２１０とが回線網５００を介して双方向通信
可能に接続されており，端末装置は，所定時間ごとにサ
ーバ装置から受信したステータス情報送信要求に応じ
て，保守管理の対象となる装置のステータス情報をサー
バ装置に送信し，サーバ装置は，ステータス情報に基づ
いて発生させるステータスポイントを記憶するステータ
スポイント情報管理データベースを設け，所定時間ごと
にステータス情報を受信したか否かを判断し，ステータ
ス情報を受信したと判断するごとに所定ポイントを加え
てステータスポイント情報管理データベースのステータ
スポイントを更新する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，半導体製造装置な
どの保守管理ポイントサービスを提供するシステム，サ
ーバ，端末装置，プログラム，記録媒体および保守管理
ポイントサービスの処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来，顧客のもつ半導体製造装置などの
保守管理が必要な場合には，顧客が最最寄のサービスス
テーションにファックスや電話などにより連絡し，この
顧客からの連絡に応じて当該サービスステーションに所
属するサービスエンジニアなどのサービスマンが顧客先
へ出向き，メンテナンスを行うようになっていた（オン
コールサービス）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで，半導体製造
装置のメンテナンスは簡単なものであれば顧客自ら行う
ことができる場合もあり，また簡単なものではなくても
メンテナンス方法を提示すれば顧客自ら行うことができ
る場合もある。
【０００４】しかしながら，従来は顧客側で行うことが
できるようなメンテナンスであってもオンコールを受け
てサービスマンが顧客先に出向いていたため，サービス
マンに過度の負担がかかっていた。
【０００５】そこで，本発明は，このような問題に鑑み
てなされたもので，その目的とするところは，できる限
り顧客自ら保守（メンテナンス）を行うことを促すこと
ができ，サービスマンの負担を軽減することができる保
守管理ポイントサービスシステム等を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に，本発明のある観点によれば，保守管理の対象となる
装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サービ
スを行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能
に接続されており，前記端末装置は，保守管理の対象と
なる装置から少なくともその装置が通電状態か否かの情
報を含むステータス情報を収集し，収集したステータス
情報を前記サーバ装置からの要求に応じて前記回線網を
介して送信し，前記サーバ装置は，前記ステータス情報
に基づいて発生させるポイントを記憶するステータスポ
イント記憶手段を設け，所定時間ごとに，前記端末装置
からステータス情報を受信し，そのステータス情報に基
づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否
かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステ
ータスポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加
えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステ
ータスポイント記憶手段のポイントを更新しないことを
特徴とする保守管理ポイントサービスシステムが提供さ
れる。
【０００７】これによれば，保守管理の対象となる装置
（例えば半導体の製造装置など）が通電状態にあると
き，例えば端末装置からの問い合わせ（要求）に対して
製造装置などから何らかの応答（アクノリッジ）がある
ときに，一定時間ごとにポイントが加算される。これに
より，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典
としてのポイントがたまっていくので，顧客は自らメン
テナンスを行ってポイントをためようとする。これによ
り，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことがで
き，サービスマンの負担を軽減することができる。
【０００８】また，前記サーバ装置はさらに顧客側から
保守してほしい旨の要求があったか否かの情報を記憶す
る保守要求記憶手段を設け，この保守要求記憶手段に記
憶した情報に基づいて保守の要求があったと判断した場
合には，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを
更新しないようにすることが好ましい。これによれば，
保守してほしい旨の要求，例えば顧客の製造装置が故障
した場合などに，電話，ＦＡＸ，端末装置からインター
ネットなどの回線網などを介して顧客からメンテナンス
要求（オンコール）があった場合にはポイントは加算さ
れない。これにより，顧客はできる限りオンコールしな
いで自らメンテナンスを行ってポイントをためようとす
るため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すこと
ができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【０００９】また，前記ステータス情報は，さらに保守
管理の対象となる装置が異常状態か否かの情報を含み，
前記サーバ装置は，前記端末装置からのステータス情報
に基づいて保守管理の対象となる装置が異常状態である
と判断した場合は，前記ステータスポイント記憶手段の
ポイントを更新しないようにすることが好ましい。これ
によれば，例えば顧客の製造装置が何らかのトラブルが
発生しているような異常状態にある場合にはポイントは
加算されない。これにより，顧客はできる限り正常状態
を保ってポイントをためようとするため，顧客自らがメ
ンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマン
の負担を軽減することができる。
【００１０】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された
顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回
線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端
末装置は，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情
報を前記サーバ装置に送信し，前記サーバ装置は，保守
情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイ
ント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定された
ポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを設
け，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の
種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイント
を前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検
索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶する
ことを特徴とする保守管理ポイントサービスシステムが
提供される。これによれば，顧客自らが行ったメンテナ
ンスの種類に応じたポイントが発生する。これにより，
顧客はできる限りメンテナンスを行ってポイントをため
ようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを
促すことができ，サービスマンの負担を軽減することが
できる。
【００１１】さらに前記保守ポイント記憶手段は，時間
がかかる保守ほど高いポイントを設定すれば，顧客はよ
り時間がかかる難しいメンテナンスを行って，より高い
ポイントをためようとするため，難しいメンテナンスで
あっても顧客自らが行うことを促すことができ，サービ
スマンの負担を一層軽減することができる。
【００１２】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された
顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回
線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端
末装置は，保守管理の対象となる装置が再起動したか否
かを監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨
の情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信し，前
記サーバ装置は，前記再起動情報をきっかけにして行う
くじに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイ
ント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応さ
せて予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設
定記憶手段とを設け，前記端末装置から再起動情報を受
信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に
対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から
検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記
憶することを特徴とする保守管理ポイントサービスシス
テムが提供される。
【００１３】これによれば，例えばくじポイント設定記
憶手段にくじがはずれのときはポイントを０に設定し，
くじにあたったときには所定のポイントを設定しておけ
ば，製造装置を顧客がメンテナンスすることによりその
製造装置が再起動したときにくじを行って，あたったと
きにはポイントが発生する。これにより，顧客はくじを
あててポイントをためようとするため，顧客自らがメン
テナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの
負担を軽減することができる。
【００１４】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，保守管理サービスを行うサーバ装置であ
って，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の
端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されて
おり，前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収
集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含
むステータス情報に基づいて発生させるポイントを記憶
するステータスポイント記憶手段を設け，所定時間ごと
に，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介
して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の
対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電
状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記
憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電
状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記
憶手段のポイントを更新しないことを特徴とするサーバ
装置が提供される。これにより，例えば製造装置の通電
状態が継続していれば特典としてのポイントがたまって
いくので，顧客は自らメンテナンスを行ってポイントを
ためようとする。これにより，顧客自らがメンテナンス
を行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽
減することができる。
【００１５】さらに顧客側から保守してほしい旨の要求
があったか否かの情報を記憶する保守要求記憶手段を設
け，この保守要求記憶手段に記憶した情報に基づいて保
守の要求があったと判断した場合には，前記ステータス
ポイント記憶手段のポイントを更新しないようにするこ
とが好ましく，また，前記ステータス情報はさらに保守
管理の対象となる装置が異常状態か否かの情報を含み，
前記端末装置からのステータス情報に基づいて保守管理
の対象となる装置が異常状態であると判断した場合は，
前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しな
いようにすることが好ましい。これにより，顧客はでき
る限りオンコールしないで，またできる限り正常状態を
保つように，自らメンテナンスを行ってポイントをため
ようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを
促すことができ，サービスマンの負担を軽減することが
できる。
【００１６】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，保守管理サービスを行うサーバ装置であ
って，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の
端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されて
おり，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に
基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント記
憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイン
トを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを設け，前記
端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取
得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保
守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポ
イントを前記保守ポイント記憶手段に記憶することを特
徴とするサーバ装置が提供される。これにより，顧客は
できる限りメンテナンスを行ってより多くのポイントを
ためようとするので，顧客自らがメンテナンスを行うこ
とを促すことができ，サービスマンの負担を軽減するこ
とができる。
【００１７】また，前記保守ポイント記憶手段は，時間
がかかる保守ほど高いポイントを設定することが好まし
い。これにより，顧客はより高いポイントをためようと
するため，難しいメンテナンスであっても顧客自らが行
うことを促すことができ，サービスマンの負担を一層軽
減することができる。
【００１８】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，保守管理サービスを行うサーバ装置であ
って，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の
端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されて
おり，保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報
を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことをき
っかけにして行うくじに基づいて発生させるポイントを
記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特定
範囲の数に対応させて予め設定されたポイントを記憶す
るくじポイント設定記憶手段を設け，前記端末装置から
再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生さ
せ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設
定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイン
ト記憶手段に記憶することを特徴とするサーバ装置が提
供される。これにより，顧客はくじをあててポイントを
ためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うこ
とを促すことができ，サービスマンの負担を軽減するこ
とができる。
【００１９】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された
顧客側の端末装置であって，保守管理サービスを行うサ
ーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されて
おり，保守管理の対象となる装置から少なくともその装
置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報を収集
し，収集したステータス情報を前記サーバ装置からの要
求に応じて前記回線網を介して送信することを特徴とす
る端末装置が提供される。これにより，ポイントを継続
して発生させるか否かの判断要素である，例えば製造装
置の通電状態が継続しているか否かの情報をサーバ装置
に知らせることができる。
【００２０】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された
顧客側の端末装置であって，保守管理サービスを行うサ
ーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されて
おり，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報を
前記サーバ装置に送信することを特徴とする端末措置が
提供される。メンテナンスの種類に基づくポイントを発
生させるか否かの判断要素となる情報，例えば顧客自ら
行ったメンテナンスの種類の情報をサーバ装置に知らせ
ることができる。
【００２１】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された
顧客側の端末装置であって，保守管理サービスを行うサ
ーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されて
おり，保守管理の対象となる装置が再起動したか否かを
監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の情
報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信することを
特徴とする端末装置が提供される。くじを行うきっかけ
となる情報，例えば製造装置が再起動した旨の情報をサ
ーバ装置に知らせることができる。
【００２２】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービス
を行うプログラムであって，コンピュータをして，保守
管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が
回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記
端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少な
くともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータ
ス情報に基づいて発生させるポイントを記憶するステー
タスポイント記憶手段を有するサーバ装置であって，所
定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前記
回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づいて
保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判
断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータス
ポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更
新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータス
ポイント記憶手段のポイントを更新しないサーバ装置と
して機能せしめるプログラムが提供される。これによ
り，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典と
してのポイントがたまっていくようにコンピュータをサ
ーバ装置として機能させることができる。
【００２３】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービス
を行うプログラムであって，コンピュータをして，保守
管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が
回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客
側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発
生させるポイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，
保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶す
る保守ポイント設定記憶手段とを有するサーバ装置であ
って，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法
の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイン
トを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，
検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶す
るサーバ装置として機能せしめるプログラムが提供され
る。これにより，メンテナンスの種類によってポイント
を発生するようにコンピュータをサーバ装置として機能
させることができる。
【００２４】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービス
を行うプログラムであって，コンピュータをして，保守
管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が
回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守
管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再起
動情報を前記端末装置から受信したことをきっかけにし
て行うくじに基づいて発生させるポイントを記憶するく
じポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に
対応させて予め設定されたポイントを記憶するくじポイ
ント設定記憶手段を有するサーバ装置であって，前記端
末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱
数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじ
ポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントを
くじポイント記憶手段に記憶するサーバ装置として機能
せしめるプログラムが提供される。これにより，例えば
製造装置が再起動したことをきっかけに行うくじの結果
によりポイントを発生させるようにコンピュータを機能
させることができる。
【００２５】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービス
を行うプログラムを記録した記録媒体であって，コンピ
ュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された
顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接
続されており，前記端末装置が保守管理の対象となる装
置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの
情報を含むステータス情報に基づいて発生させるポイン
トを記憶するステータスポイント記憶手段を有するサー
バ装置であって，所定時間ごとに，前記端末装置からス
テータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステー
タス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状
態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場
合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントに所定
ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場
合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新
しないサーバ装置として機能せしめるプログラムを記録
したコンピュータ読取り可能な記録媒体が提供される。
これにより，例えば製造装置の通電状態が継続していれ
ば特典としてのポイントがたまっていくようにコンピュ
ータをサーバ装置として機能させることができる。
【００２６】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービス
を行うプログラムを記録した記録媒体であって，コンピ
ュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された
顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接
続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保
守情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポ
イント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定され
たポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを有
するサーバ装置であって，前記端末装置から受信した保
守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種
類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段
に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイン
ト記憶手段に記憶するサーバ装置として機能せしめるプ
ログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体
が提供される。これにより，メンテナンスの種類によっ
てポイントを発生するようにコンピュータをサーバ装置
として機能させることができる。
【００２７】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービス
を行うプログラムを記録した記録媒体であって，コンピ
ュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された
顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接
続されており，保守管理の対象となる装置が再起動した
旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信した
ことをきっかけにして行うくじに基づいて発生させるポ
イントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用
する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイント
を記憶するくじポイント設定記憶手段を有するサーバ装
置であって，前記端末装置から再起動情報を受信すると
前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応した
ポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，
検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶するサ
ーバ装置として機能せしめるプログラムを記録したコン
ピュータ読取り可能な記録媒体が提供される。これによ
り，例えば製造装置が再起動したことをきっかけに行う
くじの結果によりポイントを発生させるようにコンピュ
ータを機能させることができる。
【００２８】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された
顧客側の端末装置と，保守管理サービスを行うサーバ装
置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守
管理ポイントサービスシステムの処理方法であって，前
記端末装置は，保守管理の対象となる装置から少なくと
もその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情
報を収集し，収集したステータス情報を前記サーバ装置
からの要求に応じて前記回線網を介して送信し，前記サ
ーバ装置は，前記ステータス情報に基づいて発生させる
ポイントを記憶するステータスポイント記憶手段を設
け，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報
を受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対
象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状
態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶
手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電状
態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶
手段のポイントを更新しないことを特徴とする保守管理
ポイントサービスシステムの処理方法が提供される。こ
れによれば，例えば製造装置の通電状態が継続していれ
ば特典としてのポイントがたまっていくので，顧客は自
らメンテナンスを行ってポイントをためようとする。こ
れにより，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すこ
とができ，サービスマンの負担を軽減することができ
る。
【００２９】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された
顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回
線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ポイ
ントサービスシステムの処理方法であって，前記端末装
置は，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報を
前記サーバ装置に送信し，前記サーバ装置は，保守情報
に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント
記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイ
ントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを設け，前
記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を
取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記
保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索した
ポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶することを
特徴とする保守管理ポイントサービスシステムの処理方
法が提供される。これにより，顧客はできる限りメンテ
ナンスを行ってより多くのポイントをためようとするの
で，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことがで
き，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００３０】上記課題を解決するために，本発明の別の
観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された
顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回
線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ポイ
ントサービスシステムの処理方法であって，前記端末装
置は，保守管理の対象となる装置が再起動したか否かを
監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の情
報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信し，前記サ
ーバ装置は，前記再起動情報をきっかけにして行うくじ
に基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイント
記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて
予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設定記
憶手段とを設け，前記端末装置から再起動情報を受信す
ると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応
したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索
し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶す
ることを特徴とする保守管理ポイントサービスシステム
の処理方法が提供される。これにより，顧客はくじをあ
ててポイントをためようとするため，顧客自らがメンテ
ナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負
担を軽減することができる。
【００３１】なお，本明細書中においてポイントとは，
いわゆる顧客における特典を意味し，例えば顧客はポイ
ントが貯まるとそのポイントと同等の価値のメンテナン
スなどサービスを受けられるものである。また，本明細
書中においてメンテナンスとは装置などの保守を意味す
る。また，メンテナンス方法，すなわち保守方法として
は点検，部品交換などを行って保守をする場合の他，故
障に対する修理を行って保守する場合も含まれる。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下，図面に基づいて本発明の実
施の形態を詳細に説明する。ここでは半導体を製造する
製造装置の保守管理ポイントサービスを提供するシステ
ムについて説明する。この保守管理ポイントサービスシ
ステムは，顧客に対して一定条件で特典としてのポイン
トを与え，できる限り顧客自らメンテナンスを行うこと
を促すことを可能とするものである。
【００３３】図１は，本実施の形態に係るシステム構成
図である。本実施の形態にかかる保守管理ポイントサー
ビスシステム１０は，製造装置の顧客としての立場にあ
る半導体を製造する工場１００Ａ，１００Ｂ…１００
Ｎ，製造装置の保守管理サービスを提供するベンダ２０
０等が双方向通信可能に接続する回線網である例えばイ
ンターネット５００を介して接続される。
【００３４】上記工場１００Ａ，１００Ｂ…１００Ｎ
は，各工場１００は，顧客側端末装置としての端末装置
１１０，保守管理の対象となる装置としての製造装置１
２０を備える。端末装置１１０と各製造装置１２０とは
ＬＡＮなどのネットワークで接続されている。なお，工
場１００Ａ，１００Ｂ…１００Ｎが有する製造装置１２
０は工場によってその種類，台数は様々であってよい。
例えばエッチング，成膜処理，アッシング，およびスパ
ッタリングなど種々の処理を行う装置であってもよく，
また１つの装置内で複数の処理を行うことが可能な，い
わゆるクラスタ装置化されたマルチチャンバ型製造装置
であってもよい。なお，上記端末装置１１０は，例えば
ファイヤーウォールを介して図示しないプロバイタなど
によりインターネット５００に接続されるものであって
もよく，端末装置１１０を構成するコンピュータにサー
バ機能を持たせて接続するようにしてもい。
【００３５】上記ベンダ２００は工場１００が有する製
造装置１２０の保守管理ポイントサービスを提供するベ
ンダである。ベンダ２００はサーバ装置としてのサーバ
２１０，コンピュータ２０２，２０４，２０６を有し，
これらは社内ネットワークで結ばれている。コンピュー
タ２０２，２０４，２０６はベンダ２００の各部門，各
事業所に設置されているコンピュータと考えてもよく，
コンピュータの台数はこれに限定するものではない。サ
ーバ２１０は双方向通信可能に接続する回線網である例
えばインターネット５００に接続されている。
【００３６】上記工場１００の端末装置１１０は，図２
に示すように，ＣＰＵ（中央処理装置），ＲＯＭ，ＲＡ
Ｍなどのメモリを有する制御手段１１２，ベンダ２００
のサーバ２１０から送信されたコンテンツや各種情報を
表示するディスプレイなどの表示手段１１４，各種デー
タを入力するための入力手段１１６，データ収集手段１
１７，サーバ２１０から受信した情報，プログラムなど
を記憶する記憶手段１１８，上記インターネット５００
を介してサーバ２１０との情報（データ）の送受信を行
う送受信手段１１９などから構成される。制御手段１１
２のメモリは，ＣＰＵによってアクセスされるためのプ
ログラムやデータが格納されるもので例えば必要に応じ
て記憶手段１１８に記憶したプログラムが読み出されて
格納される。上記データ収集手段１１７は，一定時間ご
と（例えば１時間ごと）に製造装置１２０のステータス
情報を収集する。ステータス情報には装置の稼動状況情
報および装置情報等が含まれる。
【００３７】上記ベンダ２００のサーバ２１０は，図３
に示すように，ＣＰＵ（中央処理装置），ＲＯＭ，ＲＡ
Ｍなどのメモリを有する制御手段２１２，ディスプレイ
などの表示手段２１４，各種データベース２１６，上記
インターネット５００を介してサーバ２１０との情報
（データ）の送受信を行う送受信手段２１８，くじデー
タテーブル２１９などから構成される。制御手段２１２
のメモリは，ＣＰＵによって，アクセスされるためのプ
ログラムやデータが格納されるもので，例えば必要に応
じて各種データベース２１６のプログラム格納データベ
ースから読み出されて格納される。
【００３８】上記くじデータテーブル２１９は，メンテ
ナンスが完了して製造装置１２０が再起動されたときに
行うくじで使用するものである。例えば製造装置１２０
の再起動をきっかけにして１桁の乱数を発生させる場合
は，図４に示すように予め０〜９の数に対応したあたり
はずれを記憶し，はずれの場合にはくじポイントを０と
し，あたりの場合にはくじポイントを適当な値として記
憶しておく。このくじデータテーブル２１９は後で書き
換えることができるように例えば書き換え可能なメモリ
などの記憶手段で構成する。
【００３９】上記各種データベース２１６は，図５に示
すように顧客情報管理データベース２１６ａ，ステータ
スポイント情報管理データベース（ステータスポイント
記憶手段）２１６ｂ，メンテナンスポイント情報管理デ
ータベース（保守ポイント記憶手段，保守ポイント設定
記憶手段）２１６ｃ，くじポイント情報管理データベー
ス（くじポイント記憶手段，くじポイント設定記憶手
段）２１６ｄ，累積ポイント情報管理データベース２１
６ｅ，メンテナンス方法指示情報管理データベース２１
６ｆ，コンテンツ情報管理データベース２１６ｇなどを
備える。
【００４０】顧客情報管理データベース２１６ａには，
例えば図６に示すように会社名（工場名を含めてもよ
い）などの顧客名，その顧客のＩＤ，パスワード，住
所，その顧客が所有する装置情報が記憶されている。所
有する装置は，メンテナンスの対象となる製造装置１２
０などであり，例えば所有する装置がシリアル番号で記
憶されている。
【００４１】ステータスポイント情報管理データベース
２１６ｂは，上記製造装置１２０の稼働状況情報などの
ステータス情報に基づいて発生させるポイント情報を管
理するものである。このステータスポイント情報管理デ
ータベース２１６ｂには，例えば図７に示すように顧客
名，ＩＤ，顧客が所有する装置，その装置のステータス
情報，ポイント，オンコール情報（保守してほしい旨の
情報），備考などが記憶されている。所有する装置は，
メンテナンスの対象となる製造装置１２０などであり，
例えば所有する装置がシリアル番号で記憶されている。
【００４２】またステータス情報には，稼働状況情報と
して例えば「異常なし（ＯＫ）」は異常なく稼働してい
る状態を示し，「異常あり（ＮＧ）」は異常があって停
止している状態を示す。「アイドル状態」は，異常はな
いが停止している状態を示す。これら「異常なし（Ｏ
Ｋ）」，「異常あり（ＮＧ）」，「アイドル状態」の場
合には製造装置１２０へのステータス情報の問い合わせ
に対する応答（アクノリッジ）があり，通電状態にあ
る。これに対して製造装置１２０が通電状態にないため
ステータス情報の問い合わせに対する応答がない場合に
は「応答なし」としてもよい。このステータス情報は一
定時間（例えば１時間ごと）ごとにサーバ２１０がイン
ターネット５００を介して端末装置１１０に接続して問
い合わせる。すなわちステータス情報要求（保守管理情
報送信要求に相当）をサーバ２１０に送信する。端末装
置１１０はステータス情報要求を受信するとこれに応じ
て各製造装置１２０のステータス情報をサーバ２１０に
送信する。
【００４３】またオンコール情報は，メンテナンスなど
のサービスを提供するベンダ側のサービスステーション
に顧客から電話，ＦＡＸ，メール，ホームページなどを
介してメンテナンスの要求があったか否かの情報であ
る。例えばメンテナンス要求がない場合にはオンコール
「なし」の情報が記憶され，メンテナンス要求があった
場合にはオンコール「あり」が記憶される。
【００４４】またステータスポイントには，顧客の所有
する製造装置１２０が正常に動作しているなど製造装置
１２０の通電が継続している場合に所定時間ごと（例え
ば１時間ごと）に所定ポイントずつ（例えば１ポイント
ずつ）加算されるポイントの現在値を記憶する。
【００４５】なお，上記ステータスポイント情報管理デ
ータベース２１６ｂに記憶されたステータスポイント情
報は，図８に示すように表示手段２１４に表示すること
ができる。この場合，ステータス情報にはステータスの
内容に応じて青丸，黄丸，赤丸を表示してもよい。例え
ば異常なし（ＯＫ）の場合には青丸，アイドル状態の場
合には黄丸，異常あり（ＮＧ）の場合には赤丸を表示し
てもよい。また，備考にはエラーメッセージを表示でき
るようにしてもよい。これにより，例えば顧客がメンテ
ナンスを行って後述するメンテナンス完了情報を送信し
た場合にその信憑性を確認することができ，不正を防止
できる。
【００４６】メンテナンスポイント情報管理データベー
ス２１６ｃは，顧客自らが行ったメンテナンス情報（保
守情報）に基づいて発生させるポイント情報を管理する
ものである。メンテナンスポイント情報管理データベー
ス２１６ｃには例えば図９に示すように，顧客名，Ｉ
Ｄ，メンテナンスした装置，メンテナンス方法の種類，
メンテナンスポイントなどが記憶されている。メンテナ
ンスした装置は顧客自らがメンテナンスした装置をシリ
アル番号で記憶したものであり，メンテナンス方法の種
類（保守情報の種類）は顧客自らが行ったメンテナンス
方法の種類である。メンテナンスポイントは顧客自らが
行ったメンテナンス方法の種類に応じて予め設定された
ポイントが記憶される。メンテナンス方法の種類とその
メンテナンスポイントはメンテナンス方法指示情報管理
データベース２１６ｆに予め記憶されている。
【００４７】くじポイント情報管理データベース２１６
ｄは，顧客自らがメンテナンスを行うことにより上記製
造装置１２０が再起動したときに行うくじによって発生
するポイント情報を管理するものである。くじポイント
情報管理データベース２１６ｄには，例えば図１０に示
すように顧客名，ＩＤ，再起動した装置，くじポイン
ト，再起動日などが記憶されている。再起動した装置
は，顧客自らがメンテナンスして再起動した製造装置を
シリアル番号で記憶したものである。くじポイントは，
再起動したときに行うくじの結果に応じて発生するポイ
ントである。くじポイントは，例えばくじの結果がはず
れの場合はくじポイントは０とし，当たった場合はその
ポイント数とする。
【００４８】累積ポイント情報管理データベース２１６
ｅは，顧客ごとに上記各ポイントを加算した累積ポイン
ト情報を管理するものである。この累積ポイント情報は
一定期間ごと例えば月ごとにデータを残しておくように
してもよい。累積ポイント情報管理データベース２１６
ｅには，例えば図１１に示すように顧客名，ＩＤ，月，
累積ポイントなどが記憶されている。この累積ポイント
としては上述したステータスポイント，メンテナンスポ
イント，くじポイント，合計が記憶されている。合計は
当月のステータスポイント，メンテナンスポイント，く
じポイントを加算したものである。
【００４９】メンテナンス方法指示情報管理データベー
ス２１６ｆは，顧客自らがメンテナンスを行うための手
順などのメンテナンス方法指示情報を管理するものであ
る。このメンテナンス方法指示情報は，顧客に対するメ
ンテナンス指示書情報となる。メンテナンス方法指示情
報管理データベース２１６ｆには，例えば図１２に示す
ように，メンテナンス方法の種類，メンテナンス所要時
間，メンテナンスポイント，メンテナンス方法の説明な
どが記憶されている。
【００５０】ここでいうメンテナンス方法の種類は階層
項目になっており，大項目，中項目，小項目に分けられ
る。大項目にはチャンバ，搬送系など最も広い概念が記
憶されている。中項目にはチャンバであれば上部電極，
下部電極などが記憶され，搬送系であればトランスファ
ーアーム，大気側アーム，インデクサーなどが記憶され
ている。小項目には具体的なメンテナンス方法の種類が
記憶されている。例えばチャンバの上部電極であれば交
換方法，洗浄方法，黙視方法などが記憶されており，搬
送系のトランスファーアームであれば調整方法，洗浄方
法などが記憶されている。
【００５１】またメンテナンス所要時間は，その具体的
なメンテナンスを行うための所要時間である。例えばチ
ャンバの上部電極であれば，その交換方法は２時間，洗
浄方法は１時間，目視検査は３０分，また搬送系のトラ
ンスファーアームであれば，その調整方法は２．５時
間，洗浄方法は１時間などとする。
【００５２】またメンテナンスポイントは，そのメンテ
ナンスを顧客自らが行った場合に与えられるポイント
で，メンテナンスの難度に応じて設定される。例えば通
常はメンテナンスの難度が高いほどメンテナンスに時間
がかかることを考慮して，上記所要時間に応じて設定さ
れる。この場合，時間がかかるメンテナンスほど高いメ
ンテナンスポイントを設定してもよい。例えばメンテナ
ンスにかかる時間で１時間当たりのポイントで設定す
る。例えば１時間当たり１００ポイントとすれば，チャ
ンバの上部電極であれば，その交換方法は所要時間２時
間より２００ポイント，洗浄方法は所要時間１時間より
１００ポイント，目視検査は所要時間３０分より５０ポ
イント，また搬送系のトランスファーアームであれば，
その調整方法は所要時間２．５時間より２５０ポイン
ト，洗浄方法は所要時間１時間より１００ポイントなど
とする。なお，顧客が獲得したポイントを利用する場合
には，ここで設定されているメンテナンスポイントに相
当するメンテナンスのサービスを受けることができる。
【００５３】コンテンツ情報管理データベース２１６ｇ
は，サーバ２１０が提供するＨＴＭＬファイル，ＧＩＦ
ファイルなどのグラフィカル・アイコン・ファイル，音
声，画像オブジェクトなどのハイパーテキストオブジェ
クトなどのコンテンツが格納され，例えばインターネッ
ト５００を介して，これらのオブジェクトが各端末装置
１１０に提供され，端末装置１１０の表示手段２１４で
表示等される。
【００５４】次に，本実施形態にかかる最適サービスの
選択支援システムの動作フローについて図１３〜図１９
を参照しながら説明する。なお，本システムの動作は，
典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録さ
れたプログラムによって実施することができる。
【００５５】図１３はステータスポイントを与える場合
の動作フローを示す。ステータスポイントは，顧客の所
有する製造装置１２０が継続して通電されているときに
所定時間ごと（例えば１時間ごと）に所定ポイント（例
えば１ポイント）ずつ与えるものである。但し，オンコ
ールがあった場合又はステータス情報が異常あり（Ｎ
Ｇ）又は応答なしの場合にはこれらが回復するまではポ
イントは加算されない。なお，この動作フローは各顧客
の有する装置ごとに行う。
【００５６】具体的には図１３に示すように，ステップ
Ｓ１００にてサーバ２１０はステータスポイント情報管
理データベース２１６ｂのオンコール情報に基づいてオ
ンコール情報があったか否かを判断し，オンコールなし
と判断した場合は，ステップＳ１１０にて１時間経過し
たかを判断する。この時間は例えばサーバ２１０を構成
するコンピュータの時計機能などを利用してもよい。
【００５７】ステップＳ１１０にて１時間経過したと判
断した場合は，ステップＳ１２０にてステータスポイン
ト情報管理データベース２１６ｂのステータス情報に基
づいてステータス情報が応答なし又は異常あり（ＮＧ）
か否かを判断し，ステータス情報が応答なし又は異常あ
り（ＮＧ）と判断した場合は，ステップＳ１３０にてス
テータスポイントを更新する。具体的にはステータスポ
イント情報管理データベース２１６ｂのステータスポイ
ント情報に記憶されているステータスポイントに所定ポ
イント（例えば１ポイント）を加えて新たなステータス
ポイントとする。
【００５８】上記ステップＳ１００にてオンコールがあ
ったと判断した場合，ステップＳ１２０にてステータス
情報が異常あり（ＮＧ）であると判断した場合は，とも
にステップＳ１００の処理に戻る。従って，これらの場
合にはステータスポイント情報管理データベース２１６
ｂのステータスポイントは更新されない。
【００５９】このように，例えば顧客の製造装置が故障
した場合など，ステータス情報が異常あり（ＮＧ）のと
き又は故障の有無を問わずに保守してほしい旨の要求
（オンコール）ありのときを除き（例外），保守管理の
対象となる製造装置１２０が通電状態にあるとき，すな
わち原則として端末装置からの問い合わせ（要求）に対
して製造装置などから何らかの応答（アクノリッジ）が
あるときには一定時間ごとにポイントが加算され，ポイ
ントがたまっていく。これにより，顧客はできる限りオ
ンコールしないで自らメンテナンスを行ってポイントを
ためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うこ
とを促すことができ，サービスマンの負担を軽減するこ
とができる。
【００６０】なお，例外を設けずに，製造装置１２０が
通電状態にあるとき，例えばステータス情報が異常なし
（ＯＫ），異常あり（ＮＧ），アイドル状態など端末装
置１１０からの問い合わせ（要求）に対して製造装置１
２０から何らかの応答（アクノリッジ）があれば一定時
間ごとにステータスポイントを加算し，応答がなければ
ステータスポイントを加算しないようにしてもよい。こ
れによっても，例えば製造装置の通電状態が継続してい
れば特典としてのポイントがたまっていくので，顧客は
自らメンテナンスを行ってポイントをためようとする。
これにより，顧客自らがメンテナンスを行うことを促す
ことができ，サービスマンの負担を軽減することができ
る。
【００６１】図１４はメンテナンスポイントを与える場
合の動作フローを示す。メンテナンスポイントは顧客が
自らメンテナンスを実行した場合にそのメンテナンス方
法の種類に応じて設定されたポイントを与えるものであ
る。
【００６２】具体的には図１４に示すようにステップＳ
２００にて端末装置１１０は例えばインターネット５０
０を介してサーバ２１０に接続する。例えばプロバイダ
コンテンツページその他ネット上のサイトから本実施形
態にかかるベンダ２００のサーバ２１０が提供するサイ
トにアクセスして接続してもよい。このとき例えば端末
装置１１０の表示手段２１４にメンテナンス方法の説明
を含む図１５に示すようなメニュー画面が表示される。
メニュー画面には，例えば半導体製造装置の説明，提供
するサービスの説明，メンテナンス方法の説明などがあ
る。
【００６３】上記メニュー画面でメンテナンス方法の説
明が選択されると図１６に示すようなメンテナンス方法
一覧画面が表示される。この画面にはメンテナンス方法
の種類の大項目，中項目，小項目がツリー状に表示され
る。ここで大項目が例えばポイントデバイスなどにより
クリックされるとその大項目に下の項目である中項目が
あればその内容が表示され，中項目をクリックするとそ
の中項目に下の項目である小項目があればその内容が表
示される。そして，小項目又は下の項目がない大項目や
中項目の１つをクリックすると図１７に示すようなメン
テナンス方法説明画面が表示される。この画面にはメン
テナンスの所要時間，メンテナンスポイントも表示され
る。これにより，顧客はメンテナンス方法の説明を取得
することができ，顧客自らメンテナンスを実行すること
ができるようになる。このとき，そのメンテナンスにつ
いてのメンテナンスポイントも表示されるので，顧客は
そのメンテナンスを実行した場合に取得できるポイント
も把握できる。
【００６４】また図１７に示すようにメンテナンス方法
説明画面にはそのメンテナンスを実行した装置のシリア
ル番号の入力欄，メンテナンス完了ボタンも表示され
る。このメンテナンス完了ボタンは，顧客自らが行った
メンテナンスが完了したときにサーバ２１０にメンテナ
ンス完了情報を送信するためのものである。すなわち，
メンテナンスした装置がシリアル番号で入力され，メン
テナンス完了ボタンが押されると（例えばポイントデバ
イスなどによりクリックされると），ステップＳ２１０
にて端末装置１１０はメンテナンスした装置，メンテナ
ンス方法の種類を含むメンテナンス完了情報をサーバ２
１０に送信する。
【００６５】次いで，ステップＳ３００にてサーバ２１
０は端末装置１１０からのメンテナンス完了情報を受信
すると，ステップＳ３１０にてメンテナンス方法指示情
報管理データベース２１６ｆからそのメンテナンス方法
の種類に対応するポイントを検索する。次いでステップ
Ｓ３２０にてメンテナンスポイント情報管理データベー
ス２１６ｃにメンテナンスした装置，メンテナンス方法
の種類，メンテナンスポイント，メンテナンス日を記憶
する。
【００６６】このように，顧客自らが行ったメンテナン
スの種類に応じたポイントが発生する。これにより，顧
客はできる限りメンテナンスを行ってポイントをためよ
うとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促
すことができ，サービスマンの負担を軽減することがで
きる。
【００６７】特に時間がかかる保守ほど高いポイントを
設定すれば，顧客はより時間がかかる難しいメンテナン
スを行って，より高いポイントをためようとするため，
難しいメンテナンスであっても顧客自らが行うことを促
すことができ，サービスマンの負担を一層軽減すること
ができる。
【００６８】図１８はくじポイントを与える場合の動作
フローを示す。くじポイントはメンテナンスなどで製造
装置１２０を再起動させた場合にくじを行い，くじが当
たったときに予め設定してあるくじポイントを与えるも
のである。
【００６９】具体的には図１８に示すようにステップＳ
４００にて端末装置１１０は製造装置１２０が再起動し
たか否かを判断する。すなわち，顧客自らメンテナンス
を行って製造装置１２０が再起動した場合にくじを行う
ために，製造装置１２０が再起動したか否かをチェック
する。再起動したと判断した場合はステップＳ４１０に
て再起動した旨，製造装置のシリアル番号などを含む再
起動情報をインターネット５００を介してサーバ２１０
に送信する。そして，ステップＳ５００にてサーバ２１
０は端末装置１１０からの再起動情報を受信すると，ス
テップＳ５１０にてサーバ２１０は乱数を発生させる。
例えば１桁の乱数を発生させる。次いでステップＳ５２
０にてサーバ２１０は発生した乱数に対応するくじポイ
ントを上記くじデータテーブル２１９から検索する。続
いてステップＳ５３０にて検索したくじポイント，再起
動した製造装置のシリアル番号，再起動日など必要な情
報をくじポイント情報管理データベース２１６ｄに記憶
する。
【００７０】このように，くじがはずれのときはポイン
トを０に設定し，くじにあたったときには所定のポイン
トを予め設定しておき，製造装置１２０を顧客がメンテ
ナンスすることによりその製造装置１２０が再起動した
ときにくじを行って，あたったときにはポイントが発生
する。これにより，顧客はくじをあててポイントをため
ようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを
促すことができ，サービスマンの負担を軽減することが
できる。
【００７１】図１９は累積ポイントを算出するための動
作フローを示す。この処理は各顧客ごとに実行する。ま
た，この処理は必要に応じて実行してもよく，また定期
的に例えば月ごとに実行してもよい。
【００７２】具体的には図１９に示すようにステップＳ
６００にてサーバ２１０はステータスポイントを合計し
て記憶する。すなわち図７に示すステータスポイント情
報管理データベース２１６ｂの各製造装置のステータス
ポイントを合計し，その合計値を図１１に示す累積ポイ
ント情報管理データベース２１６ｅのステータスポイン
ト欄に記憶する。
【００７３】次いでステップＳ６１０にてサーバ２１０
はメンテナンスポイントを合計して記憶する。すなわち
図９に示すメンテナンスポイント情報管理データベース
２１６ｃのメンテナンスポイントを合計し，その合計値
を図１１に示す累積ポイント情報管理データベース２１
６ｅのメンテナンスポイント欄に記憶する。
【００７４】続いてステップＳ６２０にてサーバ２１０
はくじポイントを合計して記憶する。すなわち図１０に
示すくじポイント情報管理データベース２１６ｄのくじ
ポイントを合計し，その合計値を図１１に示す累積ポイ
ント情報管理データベース２１６ｅのくじポイント欄に
記憶する。
【００７５】次にステップＳ６３０にてサーバ２１０は
累積ポイントの合計を算出する。すなわち累積ポイント
情報管理データベース２１６ｅのステータスポイント，
メンテナンスポイント，くじポイントの各欄のポイント
を合計したものを累積ポイントの合計欄に記憶する。従
って，累積ポイントの合計欄に記憶されたポイントがこ
の処理を実行した時点におけるその顧客の全ポイントで
ある。
【００７６】このようにメンテナンスの対象となる製造
装置が原則として継続して稼働できる状態にある場合，
顧客が自らメンテナンスを実行した場合，製造装置の再
起動によるくじであたった場合などに，顧客に対する特
典となるポイントを顧客に与えることにより，顧客自ら
が進んで製造装置のメンテナンスを行うことを促すこと
ができる。これにより，メンテナンスを行うサービスマ
ンの負担を軽減することができる。従って，より少ない
人数のサービスマンでより多くの製造装置を担当するこ
とができるようになり，メンテナンスサービスの効率化
を図ることができる。
【００７７】以上，添付図面を参照しながら本発明に係
る好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例
に限定されないことは言うまでもない。当業者であれ
ぱ，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種
の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであ
り，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属す
るものと了解される。
【００７８】例えば，本実施の形態においては，各種デ
ータベース２１６内の顧客情報管理データベース２１６
ａ，ステータスポイント情報管理データベース２１６
ｂ，メンテナンスポイント情報管理データベース２１６
ｃ，くじポイント情報管理データベース２１６ｄ，累積
ポイント情報管理データベース２１６ｅ，メンテナンス
方法指示情報管理データベース２１６ｆは，すべてサー
バ装置に相当するサーバ２１０内に設けるようにした場
合について説明したが，これらをサーバ装置に相当する
サーバとは独立して設け，サーバ装置と社内ネットワー
クで接続してもよいし，インターネットなどの公衆回線
で接続してもよい。
【００７９】また，例えば図１５に示すようなコンテン
ツメニューに「ポイント順位表を表示する」を加え，こ
れを選択すると，サーバ２１０はホームページ上の累積
ポイント情報管理データベース２１６ｅに記憶された各
顧客ごとの累積ポイントを，累積ポイントが多い順に並
べ替え（ソート）を行い，顧客と累積ポイントとの順位
表を作成し，これを端末装置１１０の表示手段１１４で
表示できるようにしてもよい。
【００８０】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば，例
えば保守管理の対象となる装置のステータス情報，顧客
が行った保守方法の種類の情報，顧客が行った保守によ
り装置が再起動したことをきっかけにして行うくじなど
に基づいて顧客に対する特典であるポイントを発生させ
記憶しておくことにより，できる限り顧客自ら保守（メ
ンテナンス）を行うことを促すことができ，保守サービ
スを提供するサービスマンの負担を軽減することができ
る。これにより，より少ない人数のサービスマンでより
多くの製造装置を担当することができるようになり，メ
ンテナンスサービスの効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかる保守管理ポイント
サービスシステムの構成を示すブロック図である。
【図２】本実施の形態にかかる端末装置の構成を示すブ
ロック図である。
【図３】本実施の形態にかかるサーバの構成を示すブロ
ック図である。
【図４】本実施の形態にかかるくじデータテーブルの１
例を示す図である。
【図５】本実施の形態にかかる各種データベースの構成
を示す図である。
【図６】本実施の形態にかかる顧客情報管理データベー
スの１例を示す図である。
【図７】本実施の形態にかかるステータスポイント情報
管理データベースの１例を示す図である。
【図８】本実施の形態にかかるサーバの表示手段に表示
されるステータスポイント情報画面の１例を示す図であ
る。
【図９】本実施の形態にかかるメンテナンスポイント情
報管理データベースの１例を示す図である。
【図１０】本実施の形態にかかるくじポイント情報管理
データベースの１例を示す図である。
【図１１】本実施の形態にかかる累積ポイント情報管理
データベースの１例を示す図である。
【図１２】本実施の形態にかかるメンテナンス方法指示
情報管理データベースの１例を示す図である。
【図１３】本実施の形態にかかるステータスポイントの
発生に関するサーバの処理の動作フローを示す図であ
る。
【図１４】本実施の形態にかかるメンテナンスポイント
の発生に関する端末装置の処理及びサーバの処理の動作
フローを示す図である。
【図１５】本実施の形態にかかるサーバの表示手段に表
示されるコンテンツメニュー画面の１例を示す図であ
る。
【図１６】本実施の形態にかかるサーバの表示手段に表
示されるメンテナンス方法一覧画面の１例を示す図であ
る。
【図１７】本実施の形態にかかるサーバの表示手段に表
示されるメンテナンス方法の説明画面の１例を示す図で
ある。
【図１８】本実施の形態にかかるくじポイントの発生に
関する端末装置の処理及びサーバの処理の動作フローを
示す図である。
【図１９】本実施の形態にかかるサーバが行う累積ポイ
ントの算出処理の動作フローを示す図である。
【符号の説明】
１０…保守管理ポイントサービスシステム １００…工場 １１０…端末装置 １１２…制御手段 １１４…表示手段 １１６…入力手段 １１７…データ収集手段 １１８…記憶手段 １１９…送受信手段 １２０…製造装置 ２００…ベンダ ２０２，２０４，２０６…コンピュータ ２１０…サーバ ２１２…制御手段 ２１４…表示手段 ２１６…各種データベース ２１６ａ…顧客情報管理データベース ２１６ｂ…ステータスポイント情報管理データベース ２１６ｃ…メンテナンスポイント情報管理データベース ２１６ｄ…ポイント情報管理データベース ２１６ｅ…累積ポイント情報管理データベース ２１６ｆ…メンテナンス方法指示情報管理データベース ２１６ｇ…コンテンツ情報管理データベース ２１８…送受信手段 ２１９…データテーブル ５００…インターネット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浜 貴一 東京都港区赤坂五丁目３番６号 ＴＢＳ放 送センター 東京エレクトロン株式会社内 Ｆターム(参考） 3C100 AA62 BB33 CC08 EE06 5H223 AA20 BB01 CC01 DD07 DD09 EE06 EE11

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 保守管理の対象となる装置が接続された
    顧客側の端末装置と，保守管理サービスを行うサーバ装
    置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されてお
    り，前記端末装置は，保守管理の対象となる装置から少
    なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステー
    タス情報を収集し，収集したステータス情報を前記サー
    バ装置からの要求に応じて前記回線網を介して送信し，
    前記サーバ装置は，前記ステータス情報に基づいて発生
    させるポイントを記憶するステータスポイント記憶手段
    を設け，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス
    情報を受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理
    の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通
    電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント
    記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通
    電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント
    記憶手段のポイントを更新しない，ことを特徴とする保
    守管理ポイントサービスシステム。
  2. 【請求項２】 前記サーバ装置は，さらに顧客側から保
    守してほしい旨の要求があったか否かの情報を記憶する
    保守要求記憶手段を設け，この保守要求記憶手段に記憶
    した情報に基づいて保守の要求があったと判断した場合
    には，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更
    新しない，ことを特徴とする請求項１に記載の保守管理
    ポイントサービスシステム。
  3. 【請求項３】 前記ステータス情報は，さらに保守管理
    の対象となる装置が異常状態か否かの情報を含み，前記
    サーバ装置は，前記端末装置からのステータス情報に基
    づいて保守管理の対象となる装置が異常状態であると判
    断した場合は，前記ステータスポイント記憶手段のポイ
    ントを更新しない，ことを特徴とする請求項１に記載の
    保守管理ポイントサービスシステム。
  4. 【請求項４】 保守管理の対象となる装置が接続された
    顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回
    線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端
    末装置は，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情
    報を前記サーバ装置に送信し，前記サーバ装置は，保守
    情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイ
    ント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定された
    ポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを設
    け，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の
    種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイント
    を前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検
    索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶す
    る，ことを特徴とする保守管理ポイントサービスシステ
    ム。
  5. 【請求項５】 前記保守ポイント記憶手段は，時間がか
    かる保守ほど高いポイントを設定することを特徴とする
    請求項４に記載の保守管理ポイントサービスシステム。
  6. 【請求項６】 保守管理の対象となる装置が接続された
    顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回
    線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端
    末装置は，保守管理の対象となる装置が再起動したか否
    かを監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨
    の情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信し，前
    記サーバ装置は，前記再起動情報をきっかけにして行う
    くじに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイ
    ント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応さ
    せて予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設
    定記憶手段とを設け，前記端末装置から再起動情報を受
    信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に
    対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から
    検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記
    憶する，ことを特徴とする保守管理ポイントサービスシ
    ステム。
  7. 【請求項７】 保守管理サービスを行うサーバ装置であ
    って，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の
    端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されて
    おり，前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収
    集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含
    むステータス情報に基づいて発生させるポイントを記憶
    するステータスポイント記憶手段を設け，所定時間ごと
    に，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介
    して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の
    対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電
    状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記
    憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電
    状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記
    憶手段のポイントを更新しない，ことを特徴とするサー
    バ装置。
  8. 【請求項８】 さらに顧客側から保守してほしい旨の要
    求があったか否かの情報を記憶する保守要求記憶手段を
    設け，この保守要求記憶手段に記憶した情報に基づいて
    保守の要求があったと判断した場合には，前記ステータ
    スポイント記憶手段のポイントを更新しない，ことを特
    徴とする請求項７に記載のサーバ装置。
  9. 【請求項９】 前記ステータス情報は，さらに保守管理
    の対象となる装置が異常状態か否かの情報を含み，前記
    端末装置からのステータス情報に基づいて保守管理の対
    象となる装置が異常状態であると判断した場合は，前記
    ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しない，
    ことを特徴とする請求項７に記載のサーバ装置。
  10. 【請求項１０】 保守管理サービスを行うサーバ装置で
    あって，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側
    の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続され
    ており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報
    に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント
    記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイ
    ントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを設け，前
    記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を
    取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記
    保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索した
    ポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶する，こと
    を特徴とするサーバ装置。
  11. 【請求項１１】 前記保守ポイント記憶手段は，時間が
    かかる保守ほど高いポイントを設定することを特徴とす
    る請求項１０に記載のサーバ装置。
  12. 【請求項１２】 保守管理サービスを行うサーバ装置で
    あって，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側
    の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続され
    ており，保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情
    報を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことを
    きっかけにして行うくじに基づいて発生させるポイント
    を記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特
    定範囲の数に対応させて予め設定されたポイントを記憶
    するくじポイント設定記憶手段を設け，前記端末装置か
    ら再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生
    させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント
    設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイ
    ント記憶手段に記憶する，ことを特徴とするサーバ装
    置。
  13. 【請求項１３】 保守管理の対象となる装置が接続され
    た顧客側の端末装置であって，保守管理サービスを行う
    サーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続され
    ており，保守管理の対象となる装置から少なくともその
    装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報を収
    集し，収集したステータス情報を前記サーバ装置からの
    要求に応じて前記回線網を介して送信する，ことを特徴
    とする端末装置。
  14. 【請求項１４】 保守管理の対象となる装置が接続され
    た顧客側の端末装置であって，保守管理サービスを行う
    サーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続され
    ており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報
    を前記サーバ装置に送信する，ことを特徴とする端末装
    置。
  15. 【請求項１５】 保守管理の対象となる装置が接続され
    た顧客側の端末装置であって，保守管理サービスを行う
    サーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続され
    ており，保守管理の対象となる装置が再起動したか否か
    を監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の
    情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信する，こ
    とを特徴とする端末装置。
  16. 【請求項１６】 顧客に対して保守管理ポイントサービ
    スを行うプログラムであって，コンピュータをして，保
    守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置
    が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前
    記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少
    なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステー
    タス情報に基づいて発生させるポイントを記憶するステ
    ータスポイント記憶手段を有するサーバ装置であって，
    所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前
    記回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づい
    て保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを
    判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータ
    スポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて
    更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータ
    スポイント記憶手段のポイントを更新しないサーバ装
    置，として機能せしめるプログラム。
  17. 【請求項１７】 顧客に対して保守管理ポイントサービ
    スを行うプログラムであって，コンピュータをして，保
    守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置
    が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧
    客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて
    発生させるポイントを記憶する保守ポイント記憶手段
    と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記
    憶する保守ポイント設定記憶手段とを有するサーバ装置
    であって，前記端末装置から受信した保守情報から保守
    方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポ
    イントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索
    し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記
    憶するサーバ装置，として機能せしめるプログラム。
  18. 【請求項１８】 顧客に対して保守管理ポイントサービ
    スを行うプログラムであって，コンピュータをして，保
    守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置
    が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保
    守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再
    起動情報を前記端末装置から受信したことをきっかけに
    して行うくじに基づいて発生させるポイントを記憶する
    くじポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数
    に対応させて予め設定されたポイントを記憶するくじポ
    イント設定記憶手段を有するサーバ装置であって，前記
    端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で
    乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記く
    じポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイント
    をくじポイント記憶手段に記憶するサーバ装置，として
    機能せしめるプログラム。
  19. 【請求項１９】 顧客に対して保守管理ポイントサービ
    スを行うプログラムを記録した記録媒体であって，コン
    ピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続され
    た顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に
    接続されており，前記端末装置が保守管理の対象となる
    装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否か
    の情報を含むステータス情報に基づいて発生させるポイ
    ントを記憶するステータスポイント記憶手段を有するサ
    ーバ装置であって，所定時間ごとに，前記端末装置から
    ステータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステ
    ータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電
    状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した
    場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントに所
    定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した
    場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更
    新しないサーバ装置，として機能せしめるプログラムを
    記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体。
  20. 【請求項２０】 顧客に対して保守管理ポイントサービ
    スを行うプログラムを記録した記録媒体であって，コン
    ピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続され
    た顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に
    接続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む
    保守情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守
    ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定さ
    れたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを
    有するサーバ装置であって，前記端末装置から受信した
    保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の
    種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手
    段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイ
    ント記憶手段に記憶するサーバ装置，として機能せしめ
    るプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録
    媒体。
  21. 【請求項２１】 顧客に対して保守管理ポイントサービ
    スを行うプログラムを記録した記録媒体であって，コン
    ピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続され
    た顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に
    接続されており，保守管理の対象となる装置が再起動し
    た旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信し
    たことをきっかけにして行うくじに基づいて発生させる
    ポイントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使
    用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイン
    トを記憶するくじポイント設定記憶手段を有するサーバ
    装置であって，前記端末装置から再起動情報を受信する
    と前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応し
    たポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索
    し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶す
    るサーバ装置，として機能せしめるプログラムを記録し
    たコンピュータ読取り可能な記録媒体。
  22. 【請求項２２】 保守管理の対象となる装置が接続され
    た顧客側の端末装置と，保守管理サービスを行うサーバ
    装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保
    守管理ポイントサービスシステムの処理方法であって，
    前記端末装置は，保守管理の対象となる装置から少なく
    ともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス
    情報を収集し，収集したステータス情報を前記サーバ装
    置からの要求に応じて前記回線網を介して送信し，前記
    サーバ装置は，前記ステータス情報に基づいて発生させ
    るポイントを記憶するステータスポイント記憶手段を設
    け，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報
    を受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対
    象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状
    態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶
    手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電状
    態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶
    手段のポイントを更新しない，ことを特徴とする保守管
    理ポイントサービスシステムの処理方法。
  23. 【請求項２３】 保守管理の対象となる装置が接続され
    た顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが
    回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ポ
    イントサービスシステムの処理方法であって，前記端末
    装置は，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報
    を前記サーバ装置に送信し，前記サーバ装置は，保守情
    報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイン
    ト記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポ
    イントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを設け，
    前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類
    を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前
    記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索し
    たポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶する，こ
    とを特徴とする保守管理ポイントサービスシステムの処
    理方法。
  24. 【請求項２４】 保守管理の対象となる装置が接続され
    た顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが
    回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ポ
    イントサービスシステムの処理方法であって，前記端末
    装置は，保守管理の対象となる装置が再起動したか否か
    を監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の
    情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信し，前記
    サーバ装置は，前記再起動情報をきっかけにして行うく
    じに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイン
    ト記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させ
    て予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設定
    記憶手段とを設け，前記端末装置から再起動情報を受信
    すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対
    応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検
    索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶
    する，ことを特徴とする保守管理ポイントサービスシス
    テムの処理方法。
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