JP2005259930A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 短時間にかつ正確にメンテナンスを実施することができる基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
【解決手段】 動画表示部ＭＶ１には、メンテナンス方法を示す動画が映し出される。作業者は、操作パネル２００動画表示部ＭＶ１に表示された動画を見ることにより、メンテナンス方法を把握することができる。それにより、動画表示部ＭＶ１に表示された動画に従って、メンテナンスを短時間にかつ正確に実施する。
【選択図】 図６

Description

本発明は、基板に所定の処理を行う基板処理装置および基板処理方法に関する。

近年、液処理ユニット、熱処理ユニット等の複数の処理ユニットが設けられた基板処理装置が開発されている。この基板処理装置においては、基板に対する一連の処理を行う必要があることから、これらの複数の処理ユニット間で基板を搬送することが可能な基板搬送ロボットが設けられている。

この基板搬送ロボットにトラブルが発生した場合、操作パネルにトラブルに関連する所定の情報が表示される基板処理装置が開発されている（特許文献１参照）。この基板処理装置においては、トラブルが発生した場合に、操作パネルにトラブルからの復帰手順が表示される。
特開平１１−３０７６１２号公報

しかしながら、上記基板処理装置の操作パネルに表示されるトラブルからの復帰手順が文字により簡単に表示されるため、トラブルから復帰するにはさらに詳細な取扱説明書を読む必要があり、時間および手間がかかる。

本発明の目的は、短時間にかつ正確にメンテナンスを実施することができる基板処理装置および基板処理方法を提供することである。

第１の発明に係る基板処理装置は、基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、基板処理装置のメンテナンス方法を示す動画情報を記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶された動画情報を動画として表示する表示手段とを備えたものである。

第１の発明に係る基板処理装置においては、メンテナンス方法を示す動画情報が記憶手段により記憶され、その記憶された動画情報が動画として表示手段により表示される。

この場合、作業者は、表示された動画を見ることにより基板処理装置のメンテナンス方法を容易に把握することができる。それにより、メンテナンスを短時間にかつ正確に実施することができる。

記憶手段は、メンテナンスに要する時間に関する時間情報をさらに記憶し、表示手段は、記憶手段に記憶されたメンテナンスに要する時間に関する時間情報を表示してもよい。

この場合、作業者は、表示された時間情報に基づいて作業時間を見積もることができる。

記憶手段は、メンテナンスすべき位置に関する位置情報をさらに記憶し、表示手段は、記憶手段に記憶されたメンテナンスすべき位置に関する位置情報を表示してもよい。

この場合、作業者は、表示された位置情報に基づいて基板処理装置のメンテナンス位置を容易に把握することができる。

記憶手段は、メンテナンスにおいて調整すべき値に関する調整値情報をさらに記憶し、表示手段は、記憶手段に記憶されたメンテナンスにおいて調整すべき値に関する調整値情報を表示してもよい。

この場合、作業者は、表示された調整値情報に基づいて調整すべき値を容易に把握することができる。したがって、調整を繰り返すことなく短時間で調整を行うことができる。

記憶手段は、メンテナンス方法を示す文字情報をさらに記憶し、表示手段は、記憶手段に記憶されたメンテナンス方法を示す文字情報を表示してもよい。

この場合、作業者は、表示された動画および文字を見ることにより容易にメンテナンス方法を把握することができる。それにより、メンテナンスをより短時間にかつ正確に実施することができる。

記憶手段は、メンテナンスを実施する時期を報知するための報知情報をさらに記憶し、表示手段は、記憶手段に記憶されたメンテナンスを実施する時期を報知するための報知情報を表示してもよい。

この場合、作業者は、表示された報知情報を見ることにより容易にメンテナンスを実施する時期を把握することができる。それにより、メンテナンスを実施する時期を忘れることを防止することができる。

報知情報に基づいて作業者に警報を出力する警報出力手段をさらに備えてもよい。

この場合、作業者は、報知情報に基づいて警報出力手段により警報が出力されるので、報知情報を忘れずに確実にメンテナンスを実施することができる。

警報出力手段は、報知情報に基づいて警報音を出力してもよい。この場合、作業者は、警報音により報知情報を確実に把握することができる。

警報出力手段は、報知情報に基づいて警報を表示してもよい。この場合、作業者は、警報が表示されることにより報知情報を確実に把握することができる。

記憶手段は、基板処理装置のメンテナンスの履歴に関する履歴情報をさらに記憶してもよい。この場合、作業者は、履歴情報に基づいて各々の基板処理装置のメンテナンス状況を把握することができる。

第２の発明に係る基板処理方法は、基板に所定の処理を施す基板処理方法であって、基板処理装置のメンテナンス方法を示す動画情報を記憶するステップと、記憶された動画情報を動画として表示するステップとを備えたものである。

第２の発明に係る基板処理方法においては、メンテナンス方法を示す動画情報が記憶され、その記憶された動画情報が動画として表示される。

この場合、作業者は、表示された動画を見ることにより基板処理装置のメンテナンス方法を容易に把握することができる。それにより、メンテナンスを短時間にかつ正確に実施することができる。

本発明によれば、基板処理装置におけるメンテナンスを短時間にかつ正確に実施することができる。

以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。

以下の説明において、基板とは、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等をいう。

図１は、本実施の形態に係る基板処理装置１００の概略構成図であり、図２は、図１の多段熱処理ユニット２ａ〜２ｄの構成を説明する図である。図１（ａ）は基板処理装置１００の平面図を示し、図１（ｂ）は基板処理装置１００の正面図を示す。

図１（ａ），（ｂ）に示す基板処理装置１００は、インデクサＩＤ、インタフェースＩＦ、処理ユニット部ＭＰおよび制御部５００を含む。

図１（ａ）に示すように、処理ユニット部ＭＰの四隅には、基板Ｗに処理液による処理を施す塗布処理ユニット（スピンコータ）ＳＣ１，ＳＣ２および現像処理ユニット（スピンデベロッパ）ＳＤ１，ＳＤ２が配置される。塗布処理ユニットＳＣ１，ＳＣ２の間には、洗浄処理ユニットＳＳ（スピンスクラバ）が配置される。

塗布処理ユニットＳＣ１，ＳＣ２では、基板Ｗを回転させつつレジスト塗布処理が行われる。現像処理ユニットＳＤ１，ＳＤ２では、基板Ｗを回転させつつ露光後の基板Ｗの現像処理が行われる。洗浄処理ユニットＳＳでは、基板Ｗを回転させつつ基板Ｗの表面の洗浄処理が行われる。

また、図２に示すように、多段熱処理ユニット２ａの最下段から１〜３段目には基板Ｗの冷却処理を行うクーリングプレート部ＣＰ１〜ＣＰ３が設けられる。最下段から４段目には、基板Ｗに対して密着強化処理を行う密着強化処理部ＡＨが設けられ、最下段から５段目および６段目には、それぞれ基板Ｗの加熱処理を行うホットプレート部ＨＰ１，ＨＰ２が設けられる。

多段熱処理ユニット２ｂの最下段から１〜３段目にはクーリングプレート部ＣＰ４〜ＣＰ６が設けられている。最下段から４〜６段目にはホットプレート部ＨＰ３〜ＨＰ５が設けられている。

多段熱処理ユニット２ｃの最下段から１段目および２段目には、それぞれクーリングプレート部ＣＰ７，ＣＰ８が設けられており、最下段から３段目および４段目には、それぞれホットプレート部ＨＰ６，ＨＰ７が設けられている。なお、本実施の形態の基板処理装置１００において、最下段の２段は空状態となっているが、用途および目的に応じてホットプレート部、クーリングプレート部またはその他の処理ユニットを配置してもよい。

多段熱処理ユニット２ｄの最下段から１段目には、クーリングプレート部ＣＰ４が、設けられており、最下段から２段目には、基板Ｗに対して露光後のベーキング処理を行う露光後ベークプレート部ＰＥＢが設けられている。露光後ベークプレート部ＰＥＢより上段側は空状態となっているが、用途および目的に応じてホットプレート部、クーリングプレート部またはその他の処理ユニットを配置してもよい。

なお、塗布処理ユニットＳＣ１，ＳＣ２、現像処理ユニットＳＤ１，ＳＤ２、洗浄処理ユニットＳＳ、ホットプレート部ＨＰ１〜ＨＰ７、クーリングプレート部ＣＰ１〜ＣＰ９、密着強化処理部ＡＨおよび露光後ベークプレート部ＰＥＢを総称して処理ユニットと呼ぶ。

図１（ａ）のインデクサＩＤは、基板処理装置１００への基板Ｗの搬入および基板処理装置１００からの基板Ｗの搬出を行う。処理ユニット部ＭＰは、基板Ｗに処理を行う複数の処理ユニットおよび各処理ユニットに対して基板Ｗの搬入出を行う基板搬送ロボットＴＲを含む。基板搬送ロボットＴＲの詳細については後述する。

インタフェースＩＦは、露光装置（図示せず）と処理ユニット部ＭＰとの間で基板Ｗの受け渡しを行う。インタフェースＩＦは、処理ユニット部ＭＰにおいてレジストの塗布が終了した基板Ｗを露光装置に渡し、露光後の基板Ｗを露光装置から受け取る。インタフェースＩＦは、基板搬送ロボットＴＲとの間で基板Ｗを受け渡すロボット（図示せず）と、基板を載置するバッファカセット（図示せず）とを備えている。それにより、インタフェースＩＦは、基板Ｗを一時的にストックする機能を有する。

また、図１（ｂ）に示すように、処理ユニット部ＭＰの最下部に薬剤を貯留するタンクおよび配管等を収納するケミカルキャビネット１１が配置される。

さらに、塗布処理ユニットＳＣ１，ＳＣ２および現像処理ユニットＳＤ１，ＳＤ２のそれぞれの上方には、クリーンエアのダウンフローを形成するフィルタファンユニットＦＦＵが設けられている。各フィルタファンユニットＦＦＵおよび洗浄処理ユニットＳＳ上には、基板Ｗに熱処理を行う多段熱処理ユニット２ａ〜２ｄが設けられている。この多段熱処理ユニット２ａ〜２ｄの構成については後述する。

また、基板処理装置１００の処理ユニット部ＭＰの最上部には、クリーンエアのダウンフローを形成するフィルタファンユニットＦＦＵが設けられている。それにより、処理ユニット部ＭＰ内が清浄な雰囲気に保たれる。

また、基板処理装置１００のインデクサＩＤの壁面には、基板Ｗの処理状況等の情報を表示するとともに、使用者による操作入力が可能な操作パネル２００が設けられる。さらに、インデクサＩＤの壁面には、作業者に対して警報音を出力するスピーカ２５０が設けられる。基板処理装置１００のインデクサＩＤの上部には、表示灯２６０が設けられる。

次いで、図３は、図１の基板処理装置１００の制御部５００および操作パネル２００との関係を説明するためのブロック図である。

図３に示すように、基板処理装置１００の制御部５００には、記憶部５１０、操作パネル２００、スピーカ２５０および表示灯２６０が接続される。また、操作パネル２００は、表示部２１０および入力部２２０を含む。

図３の制御部５００は、各処理ユニットにおける基板Ｗの処理状況または基板搬送ロボットＴＲによる基板Ｗの搬送状況を作業者に通知するための情報を操作パネル２００の表示部２１０に送信するとともに、作業者による操作パネル２００の入力部２２０からの情報を受信する。

また、図３の記憶部５１０には、後述する基板処理装置１００のメンテナンス情報が予め記憶されている。メンテナンス情報とは、メンテナンスに関する情報をいい、保守、点検、修理、部品交換、整備および洗浄等を含む。このメンテナンス情報の詳細は後述する。

制御部５００は、記憶部５１０に記憶されたメンテナンス情報に基づいて作業開始から所定時間が経過した場合、または基板処理装置の各部からメンテナンスおよびトラブルに関する情報が入力された場合に、各処理ユニット部へ動作の停止を指示するとともに、スピーカ２５０に警報音を出力するよう指示し、表示灯２６０に点灯または点滅するように指示する。

作業者は、警報音または表示灯２６０により基板処理装置１００のメンテナンスの必要性およびトラブルの発生を認識することができ、確実にかつ早期に基板処理装置１００のメンテナンスを行うことができる。作業者は、基板処理装置１００のメンテナンスを終了した場合、操作パネル２００の入力部２２０を操作して、メンテナンスの履歴（以下、メンテナンス履歴情報と呼ぶ。）を入力する。制御部５００は、メンテナンス履歴情報を受け取り、記憶部５１０に記憶する。

次に、メンテナンスの一例として基板搬送ロボットＴＲのメンテナンスの詳細について説明する。図４は、図１の基板搬送ロボットＴＲの外観斜視図である。

図４の基板搬送ロボットＴＲは、アーム部１１、伸縮部１２および回転部１３を含む。

図４に示すように、回転部１３上に伸縮部１２が設けられ、伸縮部１２上にアーム部１１が設けられる。アーム部１１には、アーム３１ａ，３１ｂ、ステージ３２、一対のセンサ基板検出センサ２１ａ，２１ｂおよびセンサ固定用ブラケット２２が設けられる。

アーム部１１は、基板Ｗを保持する一対のアーム３１ａ，３１ｂを伸縮移動させるアーム駆動機構部（図示せず）をステージ３２内に備える。また、伸縮部１２は、アーム部１１を鉛直方向に上下移動させる、いわゆるテレスコピック構造を有する昇降機構部（図示せず）を備える。回転部１３は、アーム部１１および伸縮部１２を鉛直軸周りに回転させる回転駆動機構部（図示せず）を備える。

また、一対のアーム３１ａ，３１ｂは、それぞれ異なる高さに設けられており、本実施の形態においては、アーム３１ａがアーム３１ｂよりも上側に設けられている。したがって、一対のアーム３１ａ，３１ｂが互いに干渉することなく、各々伸縮動作を行うことができる。

それにより、一対のアーム３１ａ，３１ｂは、個々に各処理ユニットにアクセスでき、基板Ｗの搬入および受け取りが可能となる。

例えば、一対のアーム３１ａ，３１ｂを互い違いに伸縮動作させることで、アーム３１ａにより塗布処理ユニットＳＣ１内から処理済み基板Ｗを受け取り、その後、アーム３１ｂにより未処理の基板Ｗを塗布処理ユニットＳＣ１内に搬入することができる。

また、センサ固定用ブラケット２２には、一対の基板検出センサ２１ａ，２１ｂが取り付けられている。この基板検出センサ２１ａ，２１ｂは、アーム３１ａ上に基板Ｗが存在するか否かを検出可能に設けられる。同様にアーム３１ｂ上に基板Ｗが存在するか否かを検出する一対の基板検出センサ（図示せず）も設けられる。

次に、操作パネル２００に表示されるメンテナンス情報について説明する。本実施の形態においては、基板処理装置１００の基板搬送ロボットＴＲの基板検出センサ２１ａ，２１ｂのメンテナンスを行う場合について説明を行う。

図５は、操作パネル２００に表示される状況確認画面を示す図である。

まず、図５に示すように、操作パネル２００の状況確認画面は、インデクサＩＤの状況表示Ｂ３１、現像処理ユニットＳＤ１の状況表示Ｂ３２、現像処理ユニットＳＤ２の状況表示Ｂ３３、塗布処理ユニットＳＣ１の状況表示Ｂ３４、塗布処理ユニットＳＣ２の状況表示Ｂ３５、基板搬送ロボットＴＲの状況表示Ｂ３６および洗浄処理ユニットＳＳの状況表示Ｂ３７を含む。さらに、操作パネル２００の状況確認画面の下方には、「メンテナンス」ボタンＢ１および「閉じる」ボタンＲＥが表示される。

作業者は、操作パネル２００の表示部２１０の状況表示Ｂ３１〜Ｂ３７を確認することにより、基板処理装置１００のインデクサＩＤ、塗布処理ユニットＳＣ１，ＳＣ２、現像処理ユニットＳＤ１，ＳＤ２、洗浄処理ユニットＳＳおよび基板搬送ロボットＴＲが正常か否かを判断する。

作業者は、状況表示Ｂ３１〜Ｂ３７が全て「正常」となっている場合、「閉じる」ボタンＲＥを押下する。一方、状況表示Ｂ３１〜Ｂ３７のいずれか一つでも「要交換」となっている場合、作業者は、「メンテナンス」ボタンＲＥを押下してメンテナンスへ移行する。

図５の操作パネル２００の状況確認画面においては、基板搬送ロボットＴＲの状況表示Ｂ３６が「要交換」となっている。したがって、作業者は、「メンテナンス」ボタンＲＥを押下する。

それにより、図３の制御部５００は、記憶部５１０に記憶された基板搬送ロボットＴＲに関するメンテナンス情報を選択し、表示部２１０に与える。それにより、操作パネル２００の表示部２１０にメンテナンス情報を含むメンテナンス画面が表示される。本実施の形態においては、メンテナンス情報に基板搬送ロボットＴＲの基板検出センサ２１ａ，２１ｂの交換を行うための動画情報が含まれる。

図６〜図８は、操作パネル２００にメンテナンス画面が表示された状態を示す図である。

図６〜図８のメンテナンス画面は、上段にメンテナンスを行う予定時期を示すメンテナンス予定時間Ｔ１、メンテナンスを実施してから終るまでに費やす時間を示す交換修復予定時間Ｔ２、メンテナンスを実施する修復交換部位Ｐ１およびメンテナンスを必要とする装置を示す修復場所Ｐ２を含む。また、メンテナンス画面は、中段に動画表示部ＭＶ１およびスクロールボタンＢ１０〜Ｂ１３を含む。また、メンテナンス画面は、下段に「アラームリスタート」ボタンＢ２１、「キャンセルリスタート」ボタンＢ２２、「詳細文章」ボタンＢ２３、「状況確認」ボタンＢ２４および「メンテナンス履歴」ボタンＰＤを含む。

図６〜図８に示すように、動画表示部ＭＶ１には、基板搬送ロボットＴＲの基板検出センサ２１ａ，２１ｂの交換開始から交換終了までの手順を示す動画が映し出される。例えば、図６の動画表示部ＭＶ１は、基板搬送ロボットＴＲの交換開始時の動画を示し、図７の動画表示部ＭＶ１は、基板搬送ロボットＴＲの一部を取り外した状態の動画を示し、図８の動画表示部ＭＶ１は、基板搬送ロボットＴＲの基板検出センサ２１ａ，２１ｂのコネクタを交換する状態の動画を示している。

作業者は、操作パネル２００に表示された交換修復予定時間Ｔ２に基づいて作業時間を見積もることができ、作業者は、修復場所Ｐ２および修復交換部位Ｐ１に基づいて基板処理装置１００のメンテナンス位置を容易に把握することができる。本例では、作業者は、交換修復予定時間Ｔ２によりメンテナンスを行う時間が５分であることを把握し、さらに修復場所Ｐ２および修復交換部位Ｐ１によりメンテナンス位置が基板搬送ロボットＴＲのセンサユニットをメンテナンスすべきことを把握することができる。

作業者は、操作パネル２００動画表示部ＭＶ１に表示された動画を見ることにより基板検出センサ２１ａ，２１ｂの交換手順を把握することができる。そして、動画表示部ＭＶ１に表示された交換手順に従って、基板搬送ロボットＴＲの基板検出センサ２１ａ，２１ｂの交換を短時間にかつ正確に実施することができる。

また、作業者は、メンテナンス予定時間Ｔ１を見ることにより容易にメンテナンスを実施する時期を把握することができる。本例では、作業者は、メンテナンス予定時間Ｔ１によりメンテナンスすべき時間が、２００３年１月３０日１４時１０分２２秒であることを把握することができる。それにより、作業者は、メンテナンスの実施時期を忘れることを防止できる。さらに、作業者は、スピーカ２５０による警報音または表示灯２６０による点灯等によりメンテナンスすべきことを確実に把握することができる。

また、動画表示部ＭＶ１に動画が表示されることに加えて、作業者に注意を促したい場合には、スピーカ２５０からビープ音が出力され、また操作パネル２００にメッセージが表示されてもよい。

なお、本実施の形態においては、複数の言語によるメンテナンス方法の説明を記憶部５１０に記憶させ、使用者の選択により、所定の言語によるメンテナンス方法の説明をスピーカ２５０から出力してもよい。

作業者が、「アラームリスタート」ボタンＢ２１を押下すると、警報音が停止する。再度、作業者が、「アラームリスタート」ボタンＢ２１を押下すると、基板Ｗに対する処理が再開される。

一方、「キャンセルリスタート」ボタンＢ２２を押下すると、警報音が停止する。再度、作業者が、「キャンセルリスタート」ボタンＢ２２を押下すると、現時点までの処理がキャンセルされ、新たな基板Ｗに対する処理が再開される。

なお、「アラームリスタート」ボタンＢ２１または「キャンセルリスタート」ボタンＢ２２の押下後に、基板Ｗに対する処理が再開されない場合、制御部５００は、スピーカ２５０から新たな警報音を発生させまたは表示灯を発光させ、基板処理装置１００の停止状態を継続させる。それにより、作業者は、基板処理装置１００のメンテナンスを忘れずに実施することができる。

また、「詳細文章」ボタンＢ２３を押下すると、操作パネル２００の表示内容がメンテナンス画面から後述する詳細文章画面に切り替わる。作業者が「詳細文章」ボタンＢ２３を押下することにより、制御部５００は、記憶部５１０に記憶されたメンテナンス情報から詳細文章のデータを選択し、操作パネル２００の表示部２１０に与える。それにより、操作パネル２００の表示が、詳細文章画面に切り替わる。

「状況確認」ボタンＢ２４を押下すると、操作パネル２００の表示内容が上述した図５の状況確認画面に切り替わる。

「メンテナンス履歴」ボタンＰＤを押下すると、操作パネル２００の表示内容が、後述するメンテナンス履歴画面に切り替わる。作業者が「メンテナンス履歴」ボタンＰＤを押下することにより、制御部５００は、記憶部５１０に記憶されたメンテナンス情報からメンテナンス履歴のデータを選択し、操作パネル２００の表示部２１０に与える。それにより、操作パネル２００の表示が、メンテナンス履歴画面に切り替わる。

次に、図９は、操作パネル２００に詳細文章画面が表示された状態を示す図である。

図９の詳細文章画面は、メンテナンス内容を示すメンテナンス情報表示部Ｂ４１、メンテナンスが必要な理由を示す修正内容表示部Ｂ４２、メンテナンスを行う際のメンテナンス方法を示す対処・復帰手順表示部Ｂ４３、メンテナンスを行う際の調整値を示す出力レベル（調整値）表示部Ｂ４４および「閉じる」ボタンＲＥを含む。

作業者は、メンテナンス情報表示部Ｂ４１に表示された内容に基づいてメンテナンス内容を把握することができる。

本例においては、メンテナンス情報表示部Ｂ４１によりメンテナンス内容が「基板検出センサ不良」であることを把握することができる。また、作業者は、修正内容表示部Ｂ４２に表示されたメンテナンスが必要な理由および対処・復帰手順表示部Ｂ４３に表示されたメンテナンス方法を把握することができる。本例においては、修正内容表示部Ｂ４２により「基板がないことを確認するために、空取り動作を行ったにもかかわらず、アーム上に基板が検出されました。」という状況であることを把握でき、さらに対処・復帰手順表示部Ｂ４３により「基板搬送ロボットの状態を確認し、アーム上に基板が存在すればそれを取り除いて下さい。基板が存在しなければ、基板検出センサの誤検知である可能性が高いです。センサユニットを調整または交換してください。」という対処方法を把握することができる。

この場合、作業者は、メンテナンスが必要な理由およびそれを改善するためのメンテナンス方法を把握することができるので、確実にメンテナンスを行うことができる。

さらに、作業者は、出力レベル（調整値）表示部Ｂ４４によりメンテナンスにおける調整値を容易に把握することができる。本例においては、出力レベル表示部Ｂ４４により、作業者は、センサユニット交換後のセンサの出力調整値を「５Ｖ」に調整すべきことを容易に把握することができる。

このように、作業者は、取扱説明書を用いて調整値の確認をすることなく、操作パネル２００の出力レベル表示部Ｂ４４に基づいて基板検出センサ２１ａ，２１ｂの調整すべき値を容易に把握することができる。したがって、基板検出センサ２１ａ，２１ｂの調整を繰り返すことなく短時間で調整を行うことができる。

次に、図６〜図８に示す操作パネル２００の「メンテナンス履歴」ボタンＰＤが押下された場合について説明する。図１０は、操作パネル２００にメンテナンス履歴画面が表示された状態を示す図である。

図１０のメンテナンス履歴画面は、左端から右端に順に、過去のメンテナンスを実施した時間を示すメンテナンス実施時間表示部Ｂ５１、過去の警報のレベルを示す警報レベル表示部Ｂ５２、過去のメンテナンスにおいて交換した部品を示す修復交換部品表示部Ｂ５３および過去のメンテナンスを実施した担当者を示す作業担当者表示部Ｂ５４を含む。

メンテナンス実施時間表示部Ｂ５１により、作業者は、どのぐらいの頻度でメンテナンスを実施しているかを把握することができ、さらに、警報レベル表示部Ｂ５２により、高いレベルで警報が作動したか否かの判断を行うことができ、修復交換部品Ｂ５３により交換部品の交換時期等を推測することができる。また、作業担当者表示部Ｂ５４により、メンテナンス作業を行った人を確認することもできる。

また、例えば、作業者がスクロールボタンＢ１０〜Ｂ１３を押下することにより、メンテナンス実施時間表示部Ｂ５１、警報レベル表示部Ｂ５２、修復交換部品Ｂ５３および作業担当者表示部Ｂ５４の表示を上下方向にスクロールさせることができる。それにより、基板処理装置１００の過去のメンテナンス履歴情報をメンテナンス履歴画面に表示させることができる。

この場合、作業者は、メンテナンス実施時間Ｂ５１、警報レベルＢ５２および修復交換部品Ｂ５３のメンテナンス履歴を確認することにより、基板処理装置１００の過去のメンテナンス状況を把握することができる。

本実施の形態においては、記憶部５１０が記憶手段に相当し、操作パネル２００の表示部２１０が表示手段に相当し、交換修復予定時間Ｔ２がメンテナンスに要する時間に関する時間情報に相当し、修復交換部位Ｐ１および修復場所Ｐ２がメンテナンスすべき位置に関する位置情報に相当し、出力レベル表示部Ｂ４４がメンテナンスにおいて調整すべき値に関する調整値情報に相当し、詳細文章画面のメンテナンス情報Ｂ４１、修正内容表示部Ｂ４２および対処・復帰手順表示部Ｂ４３がメンテナンス方法を示す文字情報に相当し、メンテナンス予定時間Ｔ１が報知情報およびメンテナンスを実施する時期に相当し、スピーカ２５０および表示灯２６０が警報出力手段に相当する。

本発明は、基板に所定の処理を行う基板処理装置に関してメンテナンスを実施する場合に利用することができる。

本実施の形態に係る基板処理装置の概略構成図である。 図１の多段熱処理ユニットの構成を説明する図である。 図１の基板処理装置の制御部および操作パネルとの関係を説明するためのブロック図である。 図１の基板搬送ロボットの外観斜視図である。 操作パネルに表示される状況確認画面を示す図である。 操作パネルにメンテナンス画面が表示された状態を示す図である。 操作パネルにメンテナンス画面が表示された状態を示す図である。 操作パネルにメンテナンス画面が表示された状態を示す図である。 操作パネルに詳細文章画面が表示された状態を示す図である。 操作パネルにメンテナンス履歴画面が表示された状態を示す図である。

符号の説明

２００ 操作パネル
２１０ 表示部
５１０ 記憶部
Ｂ４１ 詳細文章画面のメンテナンス情報
Ｂ４２ 修正内容表示部
Ｂ４３ 対処・復帰手順表示部
Ｂ４４ 出力レベル表示部
Ｐ１ 修復交換部位
Ｔ１ メンテナンス予定時間
Ｔ２ 交換修復予定時間

Claims (10)

1. 基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
   前記基板処理装置のメンテナンス方法を示す動画情報を記憶する記憶手段と、
   前記記憶手段に記憶された前記動画情報を動画として表示する表示手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。
2. 前記記憶手段は、メンテナンスに要する時間に関する時間情報をさらに記憶し、
   表示手段は、前記記憶手段に記憶されたメンテナンスに要する時間に関する時間情報を表示することを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
3. 前記記憶手段は、メンテナンスすべき位置に関する位置情報をさらに記憶し、
   前記表示手段は、前記記憶手段に記憶されたメンテナンスすべき位置に関する位置情報を表示することを特徴とする請求項１または２記載の基板処理装置。
4. 前記記憶手段は、メンテナンスにおいて調整すべき値に関する調整値情報をさらに記憶し、
   表示手段は、前記記憶手段に記憶されたメンテナンスにおいて調整すべき値に関する調整値情報を表示することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板処理装置。
5. 前記記憶手段は、メンテナンス方法を示す文字情報をさらに記憶し、
   前記表示手段は、前記記憶手段に記憶されたメンテナンス方法を示す文字情報を表示することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板処理装置。
6. 前記記憶手段は、メンテナンスを実施する時期を報知するための報知情報をさらに記憶し、
   前記表示手段は、前記記憶手段に記憶されたメンテナンスを実施する時期を報知するための報知情報を表示することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の基板処理装置。
7. 前記報知情報に基づいて作業者に警報を出力する警報出力手段をさらに備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の基板処理装置。
8. 前記警報出力手段は、前記報知情報に基づいて警報音を出力することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の基板処理装置。
9. 前記記憶手段は、前記基板処理装置のメンテナンスの履歴に関する履歴情報をさらに記憶することを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の基板処理装置。
10. 基板に所定の処理を施す基板処理方法であって、
    前記基板処理装置のメンテナンス方法を示す動画情報を記憶するステップと、
    前記記憶された動画情報を動画として表示するステップとを備えることを特徴とする基板処理方法。

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