KR101536842B1

KR101536842B1 - 기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 알람 관리 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체

Info

Publication number: KR101536842B1
Application number: KR1020137023830A
Authority: KR
Inventors: 도모히로 가네코
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2011-09-29
Filing date: 2012-09-27
Publication date: 2015-07-14
Also published as: US20140203941A1; US9224283B2; JP2013077053A; KR20130133844A; JP5742635B2; TW201330146A; WO2013047651A1; TWI533387B

Abstract

기판 처리 장치는, 복수의 모듈 중 하나 이상에 대하여 인터록을 거는 요인을 검출하고, 검출 신호를 출력하는 검출부(41a∼41d)와, 검출부로부터의 검출 신호에 기초하여, 인터록을 거는 요인이 발생한 경우에 인터록을 걸어야 할 모듈에 대하여 인터록을 거는 인터록 수단(42, 43a∼43c)과, 인터록을 거는 요인이 검출된 것을 나타내는 친알람과, 각 모듈에 인터록이 걸린 것을 나타내는 자알람의 친자 관계를 판단하고, 친자 관계에 있는 친알람 및 자알람을 그룹화하여 표시부(5)에 표시시키는 알람 관리부(4)를 구비한다.

Description

기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 알람 관리 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체{SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, ALARM MANAGEMENT METHOD OF SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND COMPUTER-READABLE STORAGE MEDIUM}

본 발명은 기판 처리 장치 내에서 알람을 관리하는 기술에 관한 것이다.

기판인 반도체 웨이퍼(이하, 웨이퍼라고 함)의 표면에 대한 집적 회로의 적층 구조의 제조, 혹은 FPD(Flat Panel Display)나 PV(Photo Voltaic) 패널 등의 제조에 있어서는, 성막 처리, 에칭 처리, 포토리소그래피 공정에서의 레지스트막의 도포, 현상 처리 등, 여러가지 프로세스 처리를 기판에 대하여 행하는 기판 처리 장치가 이용되고 있다.

기판 처리 장치에는, 기판 처리 장치 내에 설치되어 있는 각종 센서로부터 취득한 정보나 프로세스 레시피의 제어 파라미터의 설정치 등이 표시되는 조작 디스플레이에 의해, 장치의 가동 상황을 감시할 수 있도록 되어 있는 것이 있다.

기판 처리 장치의 가동 상황의 감시를 위한 중요한 정보의 하나로서, 제어 파라미터가 설정 범위를 벗어난 경우나, 센서가 장치의 이상을 검출한 경우 등에 발보(發報)되는 알람이 있다. 알람에는 이상의 발생 개소 및 내용 등을 나타내는 정보가 포함되어 있고, 그에 따른 적절한 처치를 실행함으로써, 기판 처리 장치의 가동 상태를 정상적으로 유지하고, 또한 기판 처리 장치의 손상을 방지할 수 있다.

많은 경우에 있어서, 일단 발보된 알람은, 미리 정해진 리커버리(회복) 동작을 실행함으로써, 상기 알람의 발보 상태가 해제되도록 되어 있다. 또한, 복수의 알람이 발보된 경우에는, 알람의 간과나 리커버리 동작의 실행 누락을 방지하기 위해, 모든 알람이 시계열순으로 표시되고, 각 알람에 대하여 필요한 리커버리 동작을 실행하지 않으면, 모든 알람의 발보 상태를 해제할 수 없도록 되어 있는 것도 있다.

기판 처리 장치에는, 인터록을 거는 요인이 하나 발생하면, 기판 처리 장치 내의 복수의 기기에서 인터록이 작동하여 이들 기기가 정지하는 설정으로 되어 있는 것도 있고, 이 경우, 단시간에 수십 이상의 알람이 발보된다. 이 경우, 실제의 처치가 필요한 알람은, 상기 인터록을 거는 요인을 통지하는 하나의 알람뿐이다. 이 요인이 해소되면, 다른 알람에 필요한 리커버리 동작은, 예컨대 「처리 속행」의 지시 입력이나 알람의 「표시 삭제」의 지시 입력 등, 간단한 것에 불과한 경우도 있다. 이러한 경우라도, 수십이나 되는 알람의 하나하나의 리커버리 동작을 확인하면서 실행하는 것은 오퍼레이터에게 있어 부담이 크다.

일본 특허 공개 평11-307612호 공보(단락 0054∼0055, 도 9 등)에는, 기판의 처리중 등에 발생한 트러블의 발생 시간, 발생 개소 및 알람(경보)의 명칭, 및 알람의 종류에 따른 리커버리 동작을 실행하는 조작 버튼(알람 리스타트 버튼, 캔슬 리스타트 버튼)을 조작 디스플레이(경보 화면)에 표시하는 기판 처리 장치가 기재되어 있다. 그러나, 일본 특허 공개 평11-307612호 공보에는, 복수의 알람을 효율적으로 관리하는 기술은 기재되어 있지 않다.

본 발명은, 복수의 알람의 리커버리를 효율적으로 실행할 수 있는 기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 알람 관리 방법 및 이 방법을 기억한 기억 매체를 제공한다.

본 발명은, 복수의 모듈을 구비한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 복수의 모듈 중 하나 이상에 대하여 인터록을 거는 요인을 검출하고, 검출 신호를 출력하는 검출부와, 상기 검출부로부터의 검출 신호에 기초하여, 상기 요인이 발생한 경우에 인터록을 걸어야 할 모듈에 대하여 인터록을 거는 인터록 수단과, 인터록을 거는 요인이 검출된 것을 나타내는 친(親)알람과, 각 모듈에 인터록이 걸린 것을 나타내는 자알람의 친자(親子) 관계를 판단하고, 친자 관계에 있는 친알람 및 자알람을 그룹화하여 표시부에 표시시키는 알람 관리부를 구비한 것을 특징으로 하다.

상기 인터록 수단은, 상기 검출부로부터의 검출 신호에 기초하여, 상기 요인이 발생한 경우에 인터록을 걸어야 할 모듈에 대하여 인터록 지시 신호를 출력하고, 상기 친알람을 상기 알람 관리부에 출력하는 인터록 관리부와, 상기 각 모듈에 설치되고, 상기 인터록 관리부로부터의 인터록 지시 신호에 기초하여 상기 모듈에 인터록을 걸고, 상기 모듈에 관련되는 상기 자알람을 상기 알람 관리부에 출력하는 모듈 컨트롤러를 가져도 좋다.

이를 대신하여, 상기 인터록 수단은, 상기 검출부로부터의 검출 신호에 기초하여, 상기 요인이 발생한 경우에 상기 친알람을 상기 알람 관리부에 출력하는 인터록 관리부와, 상기 각 모듈에 설치되고, 상기 검출부로부터 수취한 검출 신호에 기초하여 상기 모듈에 인터록을 걸고, 상기 모듈에 관련되는 상기 자알람을 상기 알람 관리부에 출력하는 모듈 컨트롤러를 갖고 있어도 좋다.

일실시형태에 있어서, 상기 알람 관리부는, 그룹화하여 표시된 친자 관계에 있는 친알람 및 자알람을 일괄하여 리커버리하는 일괄 리커버리 기능을 구비하고 있다. 또한, 상기 알람 관리부는, 상기 일괄 리커버리 기능 외에, 자알람의 리커버리를 친알람의 리커버리로부터 독립시켜 행하는 개별 리커버리 기능을 포함할 수도 있고, 이 경우, 상기 기판 처리 장치는, 상기 일괄 리커버리 기능의 실행 및 개별 리커버리 기능의 실행 중 어느 것을 선택하는 선택부를 더 구비한다.

또한 본 발명은, 복수의 모듈을 구비한 기판 처리 장치의 알람 관리 방법에 있어서, 상기 복수의 모듈 중 하나 이상에 대하여 인터록을 거는 요인을 검출하고, 검출 신호를 출력하는 공정과, 상기 인터록을 거는 요인이 검출된 것을 나타내는 친알람을 알람 관리부로 보내는 공정과,

상기 검출 신호에 기초하여, 상기 요인이 발생한 경우에 인터록을 걸어야 할 모듈에 대하여 인터록을 거는 공정과, 인터록을 걸어야 할 모듈에 대하여 인터록이 걸린 것을 나타내는 자알람을 상기 알람 관리부로 보내는 공정과, 상기 알람 관리부에 의해, 친알람과 자알람의 친자 관계를 판단하고, 친자 관계에 있는 것으로 판단된 친알람 및 자알람에 관해 이들을 그룹화하여 표시부에 표시시키는 공정을 포함한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 알람 관리부에서 알람의 친자 관계가 판단되고, 친자 관계에 있는 것으로 판단된 알람이 그룹화되어 표시되기 때문에, 복수 알람의 리커버리를 효율적으로 실행할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 관련된 액처리 장치의 횡단면도이다.
도 2는 상기 액처리 장치의 외관을 도시하는 사시도이다.
도 3은 상기 액처리 장치에 설치되어 있는 액처리 모듈의 종단도이다.
도 4는 상기 액처리 모듈의 배치를 도시하는 모식도이다.
도 5는 상기 액처리 모듈이 공용하고 있는 반송, 배기 및 약액 계통의 설명도이다.
도 6은 상기 액처리 장치 내의 알람 발보 시스템의 일부를 도시하는 블록도이다.
도 7은 상기 알람 발보 시스템의 작동 상태의 제1 예를 도시하는 설명도이다.
도 8은 상기 알람 발보 시스템의 작동 상태의 제2 예를 도시하는 설명도이다.
도 9는 상기 알람 발보 시스템에서 출력되는 알람의 예를 도시하는 설명도이다.
도 10은 상기 액처리 장치의 알람 발보 화면을 도시하는 설명도이다.
도 11은 상기 알람 발보 화면을 도시하는 설명도이다.
도 12는 상기 알람 발보 화면을 도시하는 설명도이다.
도 13은 상기 알람 발보 화면을 도시하는 설명도이다.
도 14는 상기 알람 발보 화면을 도시하는 설명도이다.
도 15는 상기 알람 발보 화면을 도시하는 설명도이다.
도 16은 상기 알람 발보 화면을 도시하는 설명도이다.
도 17은 상기 알람 발보 화면을 도시하는 설명도이다.
도 18은 상기 알람 발보 화면을 도시하는 설명도이다.
도 19는 상기 알람 발보 화면을 도시하는 설명도이다.
도 20은 상기 알람 발보 화면을 도시하는 설명도이다.
도 21은 다른 알람 발보 시스템의 작동 상태의 제1 예를 도시하는 설명도이다.
도 22는 다른 알람 발보 시스템의 작동 상태의 제2 예를 도시하는 설명도이다.

이하, 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 일례로서의, 기판인 웨이퍼(W)의 표면의 세정을 행하는 액처리 장치(1)에 관해 설명한다. 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 액처리 장치(1)는, 복수의 웨이퍼(W)를 수용한 캐리어인 FOUP(100)를 배치하는 배치 블록(11)과, 배치 블록(11)에 배치된 FOUP(100)로부터의 웨이퍼(W)의 반입·반출을 행하는 반입반출 블록(12)과, 반입반출 블록(12)과 후단의 액처리 블록(14) 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 행하는 전달 블록(13)과, 웨이퍼(W)에 액처리를 실시하기 위한 액처리 블록(14)을 구비하고 있다. 배치 블록(11), 반입반출 블록(12), 전달 블록(13) 및 액처리 블록(14)은, 이 순서로 인접하여 설치되어 있다.

배치 블록(11)은, 복수의 웨이퍼(W)를 수평 상태로 수용하는 FOUP(100)를 배치하는 배치대(111)를 갖는다. 반입반출 블록(12)에서는, FOUP(100)로부터 인출된 웨이퍼(W)의 반송이 행해진다. 전달 블록(13)에서는, 웨이퍼(W)의 전달이 행해진다. 반입반출 블록(12) 및 전달 블록(13)은, 하나의 하우징 내에 수용되어 있다.

반입반출 블록(12)은, 제1 웨이퍼 반송 모듈(121)을 갖고 있다. 제1 웨이퍼 반송 모듈(121)은, 웨이퍼(W)를 유지하는 반송 아암(122), 및 반송 아암(122)을 전후로 이동시키는 기구를 갖고 있다. 또한 제1 웨이퍼 반송 모듈(121)은, FOUP(100)의 배열 방향으로 연장되는 수평 가이드(123)(도 1 참조)를 따라서 이동하는 기구와, 수직 방향으로 설치된 도시되지 않은 수직 가이드를 따라서 이동하는 기구와, 수평면 내에서 반송 아암(122)을 회전시키는 기구를 갖고 있다. 이 제1 웨이퍼 반송 모듈(121)에 의해, FOUP(100)와 전달 블록(13) 사이에서 웨이퍼(W)가 반송된다.

전달 블록(13)은, 웨이퍼(W)를 배치할 수 있는 전달 선반(131)을 갖고 있다. 전달 블록(13)에서는, 이 전달 선반(131)을 통해 반입반출 블록(12)과 액처리 블록(14) 사이에서 웨이퍼(W)의 전달이 행해지도록 되어 있다.

액처리 블록(14)은, 복수의 액처리 모듈(2)이 배치된 액처리부(141)와, 웨이퍼(W)의 반송이 행해지는 반송부(142)를 하나의 하우징 내에 수용한 구성으로 되어있다. 반송부(142)는, 전달 블록(13)과의 접속부를 기단(基端)으로 한 전후 방향으로 연장되는 공간 내에, 제2 웨이퍼 반송 모듈(143)을 배치하여 이루어진다. 제2 웨이퍼 반송 모듈(143)은, 웨이퍼(W)를 유지하는 반송 아암(144), 및 반송 아암(144)을 전후로 이동시키는 기구를 갖고 있다.

또한, 제2 웨이퍼 반송 모듈(143)은, 전후 방향으로 연장되는 수평 가이드(145)(도 1 참조)를 따라서 이동하는 기구와, 수직 방향으로 설치된 수직 가이드(146)를 따라서 이동하는 기구와, 수평면 내에서 반송 아암(144)을 회전시키는 기구를 갖고 있다. 이 제2 웨이퍼 반송 모듈(143)에 의해, 이미 설명한 전달 선반(131)과 각 액처리 모듈(2) 사이에서 웨이퍼(W)의 반송이 행해진다. 도 2에서의 부호 147은, 액처리 블록(14) 내의 공간에 청정 공기를 공급하는 FFU를 나타내고 있다.

도 1에 도시한 바와 같이 액처리부(141)에는, 반송부(142)를 형성하는 공간이 연장되는 방향을 따라서, 복수대의 액처리 모듈(2)이 나란히 배치되어 있다. 각 액처리 모듈(2)은, 예컨대 스핀 처리에 의해 웨이퍼(W)의 액처리를 1장씩 행할 수 있다. 도 3의 종단 측면도에 예시하는 바와 같이, 액처리 모듈(2)은, 아우터 챔버(21) 내에 배치된 웨이퍼 유지부(23)에서 웨이퍼(W)를 거의 수평으로 유지하고, 이 웨이퍼 유지부(23)를 수직축 둘레로 회전시킴으로써 웨이퍼(W)를 회전시킨다. 그리고 회전하는 웨이퍼(W)의 상측으로 노즐 아암(24)을 진입시켜, 그 선단부에 설치된 노즐부(241)로부터 처리액 및 린스액을 미리 정해진 순서로 공급함으로써, 웨이퍼의 상면(표면을 상면을 향하게 하여 유지되고 있는 경우에는 표면, 이면을 상면을 향하게 하고 있는 경우에는 이면)의 액처리가 행해진다.

액처리는, 예컨대 알칼리성의 처리액인 SC1액(암모니아와 과산화수소수의 혼합액)에 의한 파티클이나 유기성의 오염 물질의 제거, 계속해서 린스액인 탈이온수(DeIonized Water : DIW)에 의한 린스 세정, 계속해서 산성 약액인 희불산 수용액(이하, DHF(Diluted HydroFluoric acid))에 의한 자연 산화막의 제거, 계속해서 DIW에 의한 린스 세정이 행해진다. 또한, 이들 처리시에, 브러시나 액체 스프레이에 의한 물리적 세정을 행해도 좋다. 이들 약액은 아우터 챔버(21)나 그 내측에 배치된 이너 컵(22)에 받아들여져 배액구(211, 221)로부터 배출된다. 또한 아우터 챔버(21) 내의 분위기는 배기구(212)로부터 배기되고 있다. 약액에 의한 액처리를 끝내면, 웨이퍼(W)를 회전시키면서 그 상면에 IPA(IsoPropyl Alcohol)를 공급하고, IPA를 흔들어 터는 IPA 건조를 행한다.

전술한 구성을 구비한 액처리 모듈(2)은, 이미 설명한 바와 같이 반송부(142)를 형성하는 공간을 따라서 나란히 배치되어 있다. 이 배치 상태에 관해 자세히 설명하면, 복수대 여기서는 5대의 액처리 모듈(2)이 반송부(142)를 따른 열을 이루고 있고, 액처리 모듈(2)의 열은 반송부(142)를 사이에 두고 양측에 설치되어 있고, 상하 2단으로 적층되어 있다. 따라서, 본예의 액처리 장치(1)는, 합계 20대의 액처리 모듈(2)을 구비하고 있게 된다. 도 1에 도시한 부호 141a는, 하단측의 액처리부를 나타내고, 부호 141b는 상단측의 액처리부를 나타내고 있다.

이와 같이 배치된 20대의 액처리 모듈(2)에 관해, 각 액처리 모듈(2)을 구별하기 위한 관리 번호를 붙인다. 도 4의 모식도에 도시한 바와 같이, 하단측의 액처리부(141a)에 있어서, 배치 블록(11)측에서 보아 반송부(142)의 왼쪽 열의 액처리 모듈(2)에 대하여, 배치 블록(11)측부터 순서대로 201∼205의 관리 번호를 붙이고, 반송부(142)의 오른쪽 열의 액처리 모듈(2)에 관해 206∼210의 관리 번호를 붙인다. 또한, 상단측의 액처리부(141b)에 관해서는, 반송부(142)의 왼쪽 열의 액처리 모듈(2)에 대하여 301∼305, 오른쪽 열의 액처리 모듈(2)에 대하여 306∼310의 관리 번호를 붙인다.

또한, 이들 20대의 액처리 모듈(2)은, 웨이퍼(W)의 반입반출을 행하는 제2 웨이퍼 반송 모듈(143)이나, 각 액처리 모듈(2)의 배기구(212)에 접속되어 있는 배기관 등의 배기 계통, 노즐부(241)에 약액이나 린스액의 공급을 행하는 약액 공급 계통을, 복수대의 액처리 모듈(2)에서 공용하는 구성으로 되어 있다. 도 5의 테이블에 도시한 바와 같이 본예에서는, 하나의 웨이퍼 반송 계통(제2 웨이퍼 반송 모듈(143))을 전액처리 모듈(2)에서 공용하고 있다.

한편, 배기 계통은, 5대의 액처리 모듈(2)마다 하나의 배기 계통을 공용하여, 관리 번호 201∼205의 것은 제1 계통, 관리 번호 206∼210의 것은 제2 계통, 관리 번호 301∼305의 것은 제3 계통, 관리 번호 306∼310의 것은 제4 계통의 배기 계통에 각각 접속되어 있다. 약액 계통에 관해서도, 배기 계통과 마찬가지로 그룹화된 액처리 모듈(2)이, 각 그룹에 대응하는 약액 계통에 접속되어 제1∼제4 약액 계통을 형성하고 있다.

또한 도 2에 도시한 바와 같이 액처리부(14)를 구성하는 하우징의 측벽면에는, 각 액처리 모듈(2)을 수용하는 위치에 모듈 사이드 커버(151)가 설치되어 있고, 각 모듈 사이드 커버(151)는 액처리부(14)의 하우징으로부터 자유롭게 착탈할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 액처리 모듈(2)로부터의 배기 계통, 약액의 공급 계통이 수용되어 있는 위치에도, 도 5에 도시한 그룹마다, 자유롭게 착탈할 수 있는 배기·약액계 사이드 커버(152)가 설치되어 있다. 또한 도 2 중의 부호 153은, 반송부(142) 내의 제2 웨이퍼 반송 모듈(143)(이하, 알람 관리상으로는 프로세스·아암이라고 함)에 액세스하기 위해, 액처리 장치(1)의 후단면에 설치된 PA(프로세스·아암) 리어 사이드 커버를 나타내고 있다.

이상에 설명한 구성을 구비하는 액처리 장치(1)는, 도 1에 도시한 바와 같이 주제어부(4)에 접속되어 있다. 주제어부(4)는 도시하지 않은 CPU와 기억부를 구비한 컴퓨터로 이루어지고, 기억부에는 액처리 장치(1)의 작용, 즉 FOUP(100)로부터 웨이퍼(W)를 순차적으로, 인출하고, 반입반출 블록(12), 전달 블록(13)을 통해 각 액처리 모듈(2)에 반송하여, 웨이퍼(W)의 액처리를 하고 나서, 반입시와는 반대의 경로로 웨이퍼(W)를 반송하여 FOUP(100)에 수납하기까지의 동작에 관련된 제어에 관한 단계(명령)군이 짜여진 프로그램이 기록되어 있다. 이 프로그램은, 예컨대 하드 디스크, 컴팩트 디스크, 마그넷 옵티컬 디스크, 메모리 카드 등의 기억 매체에 저장되어, 그곳으로부터 컴퓨터에 인스톨된다.

또한 본예의 액처리 장치(1)는, 배경 기술에서 설명한 복수의 알람 발보시의 오퍼레이터에 대한 부담을 경감시키기 위해, 이들 알람에 대한 리커버리 동작을 일괄하여 실행할 수 있다. 이하, 상기 기능을 실현하기 위해 액처리 장치(1) 내에 설치되어 있는 알람 발보 시스템의 구성 및 그 작용에 관해 도 6∼도 8을 참조하면서 설명한다.

본예의 액처리 장치(1)와 같이, 반도체의 제조 프로세스에서 사용되는 기판 처리 장치에서는, 발생 개소나 문제점의 내용 등에 따라 수십∼수백 종류나 되는 알람이 설정되는 경우가 있다. 예컨대 도 6은, 액처리 모듈에 대하여 실행되는 인터록의 작동 시스템 및 이것에 따른 알람 발보 시스템의 일부를 나타내고 있다. 도 6에 도시한 시스템 부분은, 도 2에 도시한 각 액처리 모듈(2)의 모듈 사이드 커버(151)나 반송부(142)의 PA 리어 사이드 커버(153)가 개방되었을 때, 개방된 커버(151, 153)에 따라 미리 설정된 위치의 액처리 모듈(2)을 정지하는 인터록을 작동시키고, 그 알람을 발보하는 기능을 실행하는 부분에 해당하고 있다.

모듈 커버 센서(41a∼41c)는, 각 액처리 모듈(2)을 수용하는 위치에 설치된 모듈 사이드 커버(151)의 개방을 검출하는 센서이다. 이들 센서(41a∼41c)는, 모듈 사이드 커버(151)가 폐쇄되어 있을 때에는 인터록 관리부(42)와 전기적으로 도통 상태로 되어 있고, 이 도통 상태가 단절 상태로 전환되었을 때 모듈 사이드 커버(151)가 개방 상태로 된 것이 검출된다.

모듈 사이드 커버(151)가 개방된 것을 검출하면, 인터록 관리부(42)는, 모듈 커버 센서(41a∼41c)가 작동한 모듈 사이드 커버(151)에 대응하는 위치의 액처리 모듈(2)을 정지시키기 위해, 대응하는 모듈 컨트롤러(43a∼43c)를 향해 인터록 작동 명령(인터록을 거는 명령)을 출력한다. 인터록 관리부(42)로부터 인터록 작동 명령을 수취한 모듈 컨트롤러(43a∼43c)는, 대응하는 액처리 모듈(2)의 동작을 정지시킨다.

한편, PA 리어 커버 센서(41d)는, 모든 액처리 모듈(2)에 공통된 반송 계통에 설치된 PA 리어 사이드 커버(153)의 개방을 검출하는 센서이다. PA 리어 커버 센서(41d)는, 이미 서술한 모듈 커버 센서(41a∼41c)와 마찬가지로, PA 리어 사이드 커버(153)가 폐쇄되어 있을 때 인터록 관리부(42)와 전기적으로 도통 상태이고, PA 리어 사이드 커버(153)가 개방되면 단절 상태로 전환된다.

PA 리어 사이드 커버(153)가 개방된 것을 검출하면, 인터록 관리부(42)는, 반송 계통을 공용하는 모든 액처리 모듈(2)(관리 번호 201∼210, 301∼310의 모듈(도 5를 참조))을 정지시키는 설정으로 되어 있어, 전모듈 컨트롤러(43a∼43c)를 향해 인터록 작동 명령을 출력한다.

이들 인터록이 작동했을 때, 각 모듈 컨트롤러(43a∼43c)로부터, 상기 인터록에 의해 액처리 모듈(2)을 정지시킨 것을 나타내는 알람이 알람 관리부(40)를 향해 출력된다. 주제어부(4)는, 터치 패널 디스플레이(표시부)(5) 등의 인터페이스부와 접속되어 있어, 알람을 수취한 알람 관리부(40)는, 상기 알람을 터치 패널 디스플레이(5)에 표시하고, 알람의 발보를 행한다.

그리고 터치 패널 디스플레이(5)에 표시된 알람을 확인한 오퍼레이터가, 알람의 대상이 된 커버(151, 153)를 폐쇄하면, 커버 센서(41a∼41d)가 이들 커버(151, 153)의 폐쇄를 검출한 것이 인터록 관리부(42)에 출력된다(각 커버 센서(41a∼41d)와 인터록 관리부(42)가 도통 상태로 됨). 또한, 오퍼레이터가 터치 패널 디스플레이(5)를 통해 소정의 리커버리 동작을 실행하면, 상기 리커버리 동작이 행해진 것을 나타내는 정보가 주제어부(4)로부터 인터록 관리부(42)에 출력되어, 인터록의 작동 상태가 해제된다.

상기 커버 센서(41a∼41d)는, 액처리 장치(1) 내의 모듈에 대하여 인터록을 거는 요인을 검출하는 검출부에 해당한다. 또한, 인터록 관리부(42) 및 모듈 컨트롤러(43a∼43c)는, 검출부로부터의 검출 신호에 기초하여, 인터록을 걸어야 할 모듈에 대하여 인터록을 거는 인터록 수단을 구성하고 있다.

여기서 PA 리어 커버 센서(41d)가 PA 리어 사이드 커버(153)의 개방을 검출한 경우에는, 도 7에 실선의 화살표로 도시한 바와 같이, 인터록 관리부(42)로부터, 관리 번호 201∼210, 301∼310의 액처리 모듈(2)에 접속된 모듈 컨트롤러(43a∼43c)에 인터록 작동 명령이 출력된다. 이 결과, 합계 20대의 액처리 모듈(2)이 정지하고, 이 인터록의 작동에 대응하는 알람이 알람 관리부(40)를 향해 출력된다.

알람 관리부(40)가 다수의 알람을 접수하여 이들을 정리하지 않고 발보하면, 배경 기술에서 설명한 바와 같이 오퍼레이터는 개별 알람에 대한 리커버리 동작을 하나하나 실행해야 하므로, 부담이 크다.

그래서 본예의 액처리 장치(1)는, 모듈 컨트롤러(43a∼43c)로부터의 알람과 병행하여, 인터록 관리부(42)로부터도 알람을 출력한다. 그리고, 인터록 관리부(42)로부터의 알람에 기초하여 발보되는 알람을 「친알람」, 모듈 컨트롤러(43a∼43c)로부터의 알람에 기초하여 발보되는 알람을 「자알람」으로 하여 서로 관련시키고 있다. 이 결과, 인터록을 거는 요인(인터록 요인)의 검출(여기서는 PA 리어 사이드 커버(153)가 개방된 것의 검출)과, 이 인터록 요인에의 응답(여기서는 액처리 모듈(2)에 대한 인터록의 작동)에 의해 발보된 복수의 알람이 서로 관련되어 그룹화된다.

이와 같이 인터록 요인의 검출과 상기 인터록 요인에의 응답에 대응하여 발보되는 복수의 알람을 하나의 그룹으로 통합함으로써, 복수의 알람에 대하여 일괄하여 필요한 처치(PA 리어 사이드 커버(153)를 폐쇄하는 것 및 터치 패널 디스플레이(5)로부터의 리커버리 동작)를 강구할 수 있게 된다.

「친알람」과 자알람을 관련시키는 방법으로는, 여러가지 수법을 생각할 수 있다. 본예에서는, 도 9의 좌측으로부터 2열분의 알람 테이블(421, 431)에 도시한 바와 같이, 인터록 요인의 종류에 따라, 출력되는 알람에 포함되는 알람 명칭의 리스트를 인터록 관리부(42) 및 모듈 컨트롤러(43a∼43c)에 미리 기억시켜 둔다. 그리고, 인터록 요인(PA 리어 사이드 커버(153)가 개방된 것의 검출)에 따라, 인터록 관리부(42)는, 상기 리스트로부터 출력하는 알람 명칭을 선택하여(예컨대 도 9에 나타내는 「PA 리어 사이드 커버 에러」), 상기 알람 명칭 정보에 친알람인 것을 나타내는 정보(「***」)를 부가한 알람(알람 정보)(예컨대 도 9에 나타내는 「***_PA 리어 사이드 커버 에러」)을, 알람 관리부(40)에 출력한다.

한편, 관리 번호 201의 액처리 모듈(2)을 컨트롤하는 모듈 컨트롤러(43a)는, 인터록 관리부(42)에서 선택된 것과 동일한 알람 명칭 정보(「PA 리어 사이드 커버 에러」)에, 친알람을 나타내는 정보(「***」)와는 상이한 정보(예컨대 상기 모듈의 관리 번호「201」)를 부가한 알람(알람 정보)(「201_PA 리어 사이드 커버 에러」)을, 알람 관리부(40)에 출력한다. 마찬가지로, 관리 번호「202」의 액처리 모듈(2)의 모듈 컨트롤러(43b)는, 「202_PA 리어 사이드 커버 에러」라는 알람을 출력한다.

인터록 관리부(42) 및 모듈 컨트롤러(43a∼43c)로부터 알람을 수취한 알람 관리부(40)는, 공통의 알람 명칭을 갖는 복수의 알람 중, 「***」의 문자열이 부가된 것을 친알람으로 판단하고, 한편으로, 다른 문자열(「201」, 「202」등)이 부가된 것을 자알람으로 판단한다. 이와 같이 하여, 알람 관리부(40)는 알람의 친자 관계를 판단하고, 친자 관계에 있는 알람을 그룹화하여 터치 패널 디스플레이(5)에 표시시킨다.

이와 같이, 인터록 관리부(42) 및 모듈 컨트롤러(43a∼43c)가 알람 명칭 정보 및 알람의 친자 관계를 판별할 수 있는 정보를 포함하는 알람(알람 정보)을 알람 관리부(40)에 출력하고 있다. 이 때문에, 알람 관리부(40)는, 공통의 알람 명칭을 갖는 알람을 그룹화하고, 그 중에서 친알람을 용이하게 추출할 수 있기 때문에, 단시간에 다수의 알람을 그룹화하여 발보할 수 있다.

이상에 설명한 바와 같이, 인터록 관리부(42)는, 커버 센서(41a∼41d)로부터의 인터록 요인의 검출 신호(모듈 사이드 커버(151)가 개방된 것의 검출)를 수취하여, 상기 인터록 요인이 검출된 것을 나타내는 알람을 친알람으로서 출력하는 기능을 포함하게 된다. 또한, 모듈 컨트롤러(43a∼43c)는, 대응하는 모듈에 인터록이 걸린(인터록이 작동한) 것을 나타내는 알람을 자알람으로서 출력하는 기능을 갖고 있게 된다.

한편, 도 8에 도시한 예와 같이, 관리 번호 201의 액처리 모듈(2)의 모듈 사이드 커버(151)가 개방된 것을 검출한 경우에는, 인터록이 작동하여 정지하는 액처리 모듈(2)은 1대뿐이며, 그 결과로서 발생하는 알람의 수도 적다. 그래서 본예에서는, 알람이 하나밖에 출력되지 않는 인터록 요인에 대해서는, 인터록 관리부(42)로부터 친알람을 출력하지 않고 모듈 컨트롤러(43a)로부터 단독의 알람이 출력되도록 되어 있다. 이 경우에는, 각 모듈 컨트롤러(43a∼43c)로부터 출력되는 알람에는 자알람인 것을 나타내는 정보가 부가되지 않는다. 그러나, 상기를 대신하여, 모듈 컨트롤러(43a∼43c)로부터 출력되는 알람에 자알람인 것을 나타내는 정보를 항상 부가하여, 알람 관리부(40)가 인터록 관리부(42)로부터 친알람을 수취했는지 여부에 따라, 자알람의 그룹화를 행할지 여부를 판단해도 좋다.

여기서 도 6∼도 8에 1점 쇄선으로 둘러싸 도시한 바와 같이, 인터록 관리부(42), 모듈 컨트롤러(43a∼43c), 주제어부(4)(알람 관리부(40))는, 전체로서 액처리 장치(1)의 제어부(400)를 구성하고 있다.

알람 관리부(40)는, 전술한 바와 같이 친자 관계가 정의된 상태에서 그룹화하여 표시된 복수의 알람에 대하여, 친알람의 리커버리 지시를 행함으로써, 자알람의 리커버리도 일괄하여 행할 수 있는 일괄 리커버리 기능을 구비하고 있다. 이 경우에서의 알람의 발보 및 그 리커버리의 구체예에 관해 도 10∼도 20을 참조하면서 설명한다.

도 10은, PA 리어 사이드 커버(153)가 개방된 것의 검출에 따라 터치 패널 디스플레이(5)에 표시되는 알람 발보 화면의 일례를 도시하고 있다. 도면 중, 부호 51은 발보된 알람의 알람 명칭 및 그 발보 시각이 나란히 표시되는 알람 표시부이다. 알람 표시부(51)의 해당하는 알람 명칭의 표시 부분에 터치함으로써, 상기 알람을 선택할 수 있다. 또한, 부호 511은 알람 표시부(51)에 동시에 표시 가능한 수보다 많은 알람이 발보된 경우에 알람의 표시 범위를 이동시키는 스크롤바이다.

도 10의 알람 발보 화면에는, 각종 조작 버튼이 표시되어 있다. 전개 버튼(521)은, 알람 표시부(51)에서 선택된 친알람과 그룹으로 되어 있는 자알람을 표시시킬 때에 사용한다. 한편, 접음 버튼(522)은 자알람의 표시를 지우고 친알람만을 표시시킬 때에 사용한다.

소트 버튼(523)은, 미리 설정된 소트 항목에 기초하여 알람을 재배열할 때에 사용하고, 한정 버튼(524)은 정해진 한정 항목에 적합한 알람만을 알람 표시부(51)에 표시할 때에 사용한다. 리커버리 버튼(525)은 알람 표시부(51)에서 선택된 알람에 대한 리커버리 동작에 관련되는 조작 영역을 표시하기 위한 버튼이고, 화면 전환 버튼(56)은 상기 알람 발보 화면을 닫고, 터치 패널 디스플레이(5)의 표시를 예컨대 액처리 장치(1)의 운전 화면으로 전환하기 위한 버튼이다.

이하, 각 도면 중에 있어서, 터치 패널 디스플레이(5) 상에 표시된 화면 내에서 테두리선 및 명칭이 옅은 회색으로 표시되어 있는 버튼은, 상기 화면 상에서 그 버튼이 조작 불능인 것을 나타내고 있다. 또한, 각 도면 중에 있어서, 테두리 안이 짙은 회색으로 전부 칠해져 있는 버튼은, 상기 화면에서 그 버튼이 조작된 것(혹은 앞으로 조작할 것)을 나타내고 있다.

도 10에서 「PA 리어 사이드 커버 에러」의 친알람이 표시된 알람 표시부(51) 내의 상기 친알람을 선택하여 전개 버튼(521)을 누르면, 도 11에 도시한 바와 같이, 상기 친알람과 친자 관계에 있는 자알람이 상기 친알람과 함께 그룹화되어 표시된다. 본예의 알람 표시부(51)에서는, 친알람의 하측에, 알람 명칭의 기재 개시 위치를 친알람보다 우측으로 비키어 표시함으로써, 자알람인 것을 나타내고 있다.

도 11에 도시한 바와 같이, 리커버리 버튼(525)을 누르면, 알람 표시부(51)의 우측 영역에 리커버리 조작 표시부(53)가 표시된다. 이 리커버리 조작 표시부(53) 내에는, 일괄 선택 버튼(531)과 개별 선택 버튼(532)이 표시되어 있다. 일괄 선택 버튼(531)을 누르면, 알람 표시부(51) 내에서 선택되어 있는 친알람 및 그것과 친자 관계에 있는 모든 자알람을 선택할 수 있다. 개별 선택 버튼(532)을 누르면, 알람 표시부(51) 내에 표시되어 있는 자알람의 알람 명칭의 표시 영역(컬럼)을 개별적으로 터치함으로써, 1 또는 복수의 자알람을 개별적으로 선택할 수 있게 된다.

본예의 리커버리 조작 표시부(53)에서는 3종류의 리커버리 동작을 실행할 수 있도록 되어 있다. 재시행 버튼(533)은, 알람의 발보 요인을 해소한(예컨대, PA 리어 사이드 커버(153)를 폐쇄한) 후에 알람의 발보 요인이 검출되지 않는지 여부(PA 리어 사이드 커버(153)의 검출 확인)의 재시행을 지시하기 위한 것이다. 처리 속행 버튼(534)은 미리 설정된 처리의 속행을 지시하기 위한 것이다. 표시 삭제 버튼(535)은, 상기 알람의 삭제만을 지시하기 위한 것이다. 다만, 각 알람에 대한 리커버리 동작의 종류는 이것으로 한정되지 않고, 알람 발보 시스템의 설계에 기초하여, 다른 리커버리 동작을 설정해도 좋다.

또한 실행 버튼(536)은, 선택된 버튼 533∼535에 대응하는 리커버리 동작의 실행을 지시하기 위한 것이고, 삭제 버튼(537)은 알람 표시부(51) 내에서 선택된 알람을 리커버리 동작의 실행 대상으로부터 삭제하는 조작을 지시하기 위한 것이다.

도 11의 상태에서, 리커버리 조작 표시부(53)의 일괄 선택 버튼(531)을 누르면, 도 12에 도시한 바와 같이 알람 표시부(51)에 표시되어 있는 모든 친알람 및 자알람이 선택되고, 이들 선택된 알람에 대하여 실행 가능한 리커버리 동작의 버튼(533∼535 중 하나 또는 복수)이 지정 가능해진다. 「PA 리어 사이드 커버 에러」의 알람을 리커버리할 때에는, PA 리어 사이드 커버(153)를 폐쇄하는 처치가 필요하기 때문에, 알람 발보 화면 상에서는 PA 리어 사이드 커버(153)의 검출 확인을 재시행하는 재시행 버튼(533)의 지정만이 가능해진다.

그래서 재시행 버튼(533)을 누르고, 또한 실행 버튼(536)을 누르면, 도 6에 도시한 인터록 관리부(42)에서 PA 리어 커버 센서(41d)의 도통 확인이 이루어지고, 도통 상태가 확인되면, 인터록이 해제되고, 도 13에 도시한 바와 같이 알람의 발보 상태가 해소된다(알람이 리커버리됨).

또한 도 11의 상태에서 일괄 선택 버튼(531)을 누르는 대신에 개별 선택 버튼(532)을 누르면, 알람 표시부(51) 내의 알람 명칭을 터치함으로써 각 알람을 개별적으로 선택하는 것이 가능해진다. 이 때 친알람의 명칭을 터치하면, 상기 친알람 및 그것에 부수되는 자알람도 모두 선택되어 도 12와 동일한 상태가 된다. 한편, 자알람의 명칭에 터치하면, 상기 자알람만이 선택된다(도면에서는 상기 자알람 명칭을 표시하는 알람 표시부(51) 내의 컬럼이 짙은 회색으로 전부 칠해진 상태가 됨). 그 후, 재시행 버튼(533)을 누르고, 계속해서 실행 버튼(536)을 누르면, 상기 자알람이 리커버리(회복)된다.

전술한 바와 같이 개별 선택 버튼(532)은, 도 11에 도시한 바와 같이 미선택의 친알람 및 자알람이 열거된 알람 표시부(51)로부터, 친알람의 리커버리로부터 독립하여 리커버리를 행하는 자알람을 선택할 때에 이용된다. 즉, 일괄 선택 버튼(531) 및 개별 선택 버튼(532)은, 친자 관계에 있는 친알람 및 모든 자알람의 리커버리 동작을 일괄하여 행할지, 자알람의 리커버리를 개별적으로 행할지를 선택하는 선택부로서의 역할을 수행하고 있다고 할 수 있다.

이와 같이, 친자 관계에 있는 복수의 알람을 일괄 선택하여 리커버리 동작을 행함으로써, 하나하나의 알람을 개별적으로 선택하면서 리커버리 동작을 실행하는 경우에 비해 효율적으로 리커버리 동작을 실행할 수 있다. 그 한편으로, 예컨대 기기의 보수 등의 이유로 특정한 액처리 모듈(2)의 알람을 발보한 상태대로 유지하고, 액처리 모듈(2)이 동작하지 않도록 하고 싶은 경우가 있다. 그 때문에, 본예의 알람 발보 화면에서는, 특정한 알람을 리커버리 동작의 대상으로부터 삭제할 수도 있도록 되어 있다.

이 경우, 도 12에 도시하는 상태에 있어서, 알람 표시부(51) 상에서 삭제하고 싶은 알람의 알람 명칭의 표시 부분을 터치하고 그 후 삭제 버튼(537)을 누르면, 도 14에 도시한 바와 같이 상기 알람의 선택 상태가 해제된다(도 14에서는, 알람 명칭을 표시하는 컬럼이 백색으로 되어 있음). 이렇게 한 후, 재시행 버튼(533)을 누르면, 선택되어 있는 친알람 및 자알람만에 대하여 「재시행(533)」에 의한 리커버리 동작이 실행되고, 도 15에 도시한 바와 같이 먼저 선택 해제된 자알람만이 단독으로 발보되고 있는 상태가 된다.

남아 있는 자알람을 리커버리(회복)하는 경우에는, 리커버리 버튼(525)을 눌러 리커버리 조작 표시부(53)를 표시하고, 개별 선택 버튼(532)을 눌러 알람 표시부(51)에 표시되어 있는 리커버리 대상의 알람을 선택한다. 이렇게 한 후, 재시행 버튼(533) 및 실행 버튼(536)을 누르면, 선택한 알람이 리커버리된다. 이에 따라, 모든 알람이 리커버리되어, 즉 모든 알람의 발보 상태가 해소된다(도 13).

도 16∼도 17은, 복수 종류의 친알람이 발보된 경우의 알람 발보 화면의 예이다. 도 16에 도시한 바와 같이 복수 종류의 친알람이 발보된 경우에, 쌍방의 친알람을 선택하여 전개 버튼(521)을 누르면, 도 17에 도시한 바와 같이, 알람 표시부(51)에 각 친알람에 대응하는 자알람이 친알람마다 그룹화되어 표시된다.

이 상태에서 리커버리 버튼(525)을 눌러 리커버리 조작 표시부(53)를 표시시키고, 일괄 선택 버튼(531)을 누른 후, 일괄하여 처리하고 싶은 그룹의 친알람의 알람 명칭을 터치하면, 그 친알람과 동일한 그룹의 자알람이 전부 선택되어, 이들 알람에 대하여 실행 가능한 리커버리 동작의 버튼을 조작할 수 있는 상태가 된다. 예컨대 「배기 모터 원점 확인 에러」에 있어서는, 배기 계통의 모터의 원점 조정이 필요한 한편, 상기 알람 발보 화면에서는 원점 확인을 재시행하는 재시행 버튼(533)의 조작이 가능해진다.

그리고 재시행 버튼(533)을 누르고, 실행 버튼(536)을 누르면, 배기 모터의 원점 확인이 이루어지고, 원점이 확인되면, 인터록이 해제되고 선택된 알람이 리커버리된다. 그러나 복수의 친알람이 발보되고 있는 경우에는, 먼저의 리커버리시에 선택되지 않은 알람의 그룹이 발보 상태대로 남아 있다. 이들 알람에 대해서도 알람의 일괄 선택 및 실행 가능한 리커버리 동작을 실행(예컨대 「모니터링 시스템 에러」의 예에서는 「처리 속행」)함으로써, 모든 알람의 발보 상태를 해소할 수 있다(도 13을 참조).

또한, 알람의 일괄 선택시에 복수의 친알람을 동시에 선택하여, 리커버리 동작을 실행하는 경우에 있어서, 발보 상태를 해소하기 위한 리커버리 동작이 상이한 복수 종류의 알람이 동시에 선택된 경우에는, 리커버리 조작 표시부(53)에서도 복수 종류의 리커버리 동작을 선택하는 것이 가능해진다. 이 경우, 예컨대 재시행 버튼(533)을 누르고 실행 버튼(536)을 누르면, 상기 리커버리 동작(재시행)에 의해 발보 상태를 해소할 수 있는 알람이 알람 표시부(51) 상에서 지워지고, 「재시행」에 의해 발보 상태를 해소할 수 없는 알람이 표시부(51) 상에 남는다. 이 때 남은 알람에 대해서는, 이미 일괄 선택이 되어 있기 때문에 처리 속행 버튼(534)을 누르고 실행 버튼(536)을 누르면, 「모니터링 시스템 에러」의 발보 상태가 해소된다. 또, 전술한 예와는 반대로, 「처리 속행」의 리커버리 동작을 먼저 실행하면 「모니터링 시스템 에러」의 발보 상태가 해소되고, 「배기 모터 원점 확인 에러」의 알람이 남게 된다.

이상에 설명한 예에서는 1종류의 친알람 및 그 자알람에 대하여 실행 가능한 리커버리 동작은 1종류로 했지만, 알람을 해소할 수 있는 리커버리 동작이 복수 종류 설정되어 있어도 좋다. 이 경우에는, 선택 가능한 복수의 리커버리 동작 중 어느 것을 실행함으로써, 상기 리커버리 동작에 의해 발보 상태를 해소할 수 있는 알람이 지워지게 된다.

그리고 또한, 하나의 공통된 친알람 하에서 그룹화된 복수의 자알람에 대하여, 종류가 상이한 리커버리 동작의 실행이 필요해지는 경우도 생각할 수 있다. 예컨대, 공통의 알람 발보 요인(예컨대, PA 리어 사이드 커버(153)가 개방된 것의 검출)에 대하여, 액처리 모듈(2)의 정지와, PA(제2 반송 모듈(143))의 정지라는 복수 종류의 인터록을 작동시키는 경우에, 이러한 설정이 되는 경우가 있다. 이 경우에, 친알람의 발보를 해소하는 리커버리 동작이 실행된 후라도, 먼저 일괄 선택이 되어 있으면, 남아 있는 자알람에 관해 재차 선택하지 않고 리커버리 동작의 실행을 접수할 수 있다.

다음으로 도 18, 도 19를 참조하면서, 소트 버튼(523)의 기능에 관해 설명한다. 예컨대 도 16에 도시한 바와 같이 복수 종류의 친알람이 발보되고 있는 경우에, 이들 친알람을 지정하여 전개 버튼(521)을 누른 후, 소트 버튼(523)을 누르면, 도 18에 도시한 바와 같이 알람 표시부(51)의 우측 영역에 소트 조작 표시부(54)가 표시된다. 본예에서는, 복수의 알람을, 「관계되는 액처리 모듈」을 소트 항목으로서 소트하는(재배열하는) 모듈 소트 버튼(541), 「관계되는 배기 계통」을 소트 항목으로서 소트하는 배기 계통 소트 버튼(542), 「관계되는 약액 공급 계통」을 소트 항목으로서 소트하는 약액 계통 소트 버튼(543), 「관계되는 PA의 반송 계통」을 소트 항목으로서 소트하는 반송 계통 소트 버튼(544)이 표시되어 있다.

여기서 예컨대 모듈 소트 버튼(541)을 누르면, 도 18에 도시한 바와 같이 각 알람이 관계되는 액처리 모듈(2)의 관리 번호별로 그룹화되고, 그룹화된 알람이 액처리 모듈(2)의 관리 번호순으로 표시되도록 재배열된다. 소트를 실행한 후의 알람 표시부(51)에서는, 「201 모듈」, 「202 모듈」등의 소트 항목 및 소트의 기준이 된 액처리 모듈의 관리 번호가 표시된다. 그리고 각 액처리 모듈의 관리 번호 하에 하나 또는 복수의 알람 명칭이 표시되는, 알람 명칭의 기재 개시 위치를 액처리 모듈의 관리 번호보다 우측으로 비켜 놓아 표시함으로써, 상기 알람이 위에 기재된 액처리 모듈에 관계되는 알람인 것을 나타내고 있다. 또한, 본예에서는, 어떠한 액처리 모듈(2)에도 관계되지 않는 친알람에 관해서는, 소트 항목에 따라서 소트된 자알람과는 별도로, 알람 표시부(51)의 최상단측에 통합하여 표시되어 있다. 또, 소트 버튼(523)을 재차 누르면, 소트 버튼(523)의 선택 상태가 해제되고, 알람 표시부(51)의 표시는 원래의 상태로 되돌아온다(이 경우, 소트 조작 표시부(54)의 표시도 지워짐).

도 18에 도시한 상태에서 리커버리 버튼(525)을 눌러, 리커버리 조작 표시부(53)를 표시하여 일괄 선택 버튼(531)을 누르면, 알람 표시부(51)에 표시되어 있는 알람이 소트된 상태대로, 친자 관계에 있는 알람이 일괄 선택된다. 그리고, 상기 일괄 선택된 알람에 대응하는 리커버리 동작을 실행하면, 일괄 선택된 알람의 발보 상태가 해소된다.

도 19는, 도 5에 그룹 분할을 나타낸 「관계되는 배기 계통」을 소트 항목으로 하여 알람을 소트한 경우의 표시예를 도시하고 있다. 알람 표시부(51)에는, 소트의 기준이 된 배기 계통을 특정하기 위해 소트 항목 및 관계되는 액처리 모듈(2)의 관리 번호(「201-205 배기 계통」)가 표시된다. 이 상태에서, 리커버리 버튼(525)을 눌러, 리커버리 조작 표시부(53)를 표시하면 친자 관계에 있는 알람의 일괄 선택, 리커버리 동작의 실행이 가능해진다. 이 경우에도, 소트되어 있지 않은 나머지 알람에 관해, 친자 관계에 있는 알람의 일괄 선택과 리커버리 동작을 계속하여 실행하는 것이 가능하지만, 그것에 관한 중복 설명 및 도시는 생략한다.

여기서 소트 조작 표시부(54)에 표시하는 소트 항목은, 도 18, 도 19에 도시한 것에 한정되지 않고, 예컨대 발보한 알람의 종류 등에 따라 적절히 변경해도 좋다. 상기 설명에서는, 알람 표시부(51)에 액처리 모듈(2)에 관계되는 알람이 표시된 경우에 관해 설명했기 때문에, 소트 조작 표시부(54)에는 액처리 모듈(2)에 관계되는 소트 항목이 열거되어 있었다. 이 예와는 별도로, 제1 웨이퍼 반송 모듈(121) 및 제2 웨이퍼 반송 모듈(143)에 관한 알람이 복수 발보되고 있는 경우에는, 예컨대 「전원 계통」등의 소트 항목을 형성해도 좋다.

또한 소트 항목은, 도 18, 도 19에 열거한 「모듈」,「배기 계통」등의 기기의 종별에 기초하는 것에 한정되지 않는다. 예컨대 「날짜」,「알람의 중요도」등을 소트 항목으로 해도 좋다. 이 경우, 선택할 수 있는 소트 항목의 리스트를 전환하여 표시할 수 있도록 해도 좋다.

또한 리커버리 동작을 실행하는 데 있어서, 알람 표시부(51)에 표시되어 있는 소트 항목 정보에 터치함으로써, 상기 소트 항목에 관계되는 복수의 알람을 일괄 선택할 수 있도록 해도 좋다.

계속해서, 도 20을 참조하여 한정 버튼(524)의 기능에 관해 설명한다. 도 16에 도시한 복수 종류의 친알람이 발보되고 있는 경우에, 이들 친알람의 양방을 선택하여 전개 버튼(521)을 누른 후, 한정 버튼(524)을 누르면, 도 20에 도시한 바와 같이, 알람 표시부(51)의 우측 영역에 한정 조작 표시부(55)가 표시된다. 본예에서는, 리커버리 동작의 종류에 따라 알람의 한정을 행하는, 재시행 한정 버튼(551), 처리 속행 한정 버튼(552), 표시 삭제 한정 버튼(553)의 3종류가 표시되어 있다. 그리고 알람 표시부(51)에 표시되어 있는 알람의 종류에 따라, 이들 3종류의 한정 버튼(551∼553) 중 사용 가능한 것이 표시된다.

예컨대 재시행 한정 버튼(551)을 선택하면, 도 20에 도시한 바와 같이 알람 표시부(51)에는, 「재시행」의 리커버리 동작에 의해 발보 상태를 해소할 수 있는 알람만이 표시된다. 그 후, 리커버리 버튼(525)을 눌러 리커버리 조작 표시부(53)를 표시하면, 한정 표시된 친자 관계에 있는 알람에 관한 일괄 선택 및 리커버리 동작의 실행이 가능한 점은, 소트 조작을 한 후에 일괄 선택을 행하는 이미 설명한 예와 동일하다.

한정 표시된 모든 알람에 대하여 리커버리 동작이 실행되면, 알람 표시부(51)에 표시되는 알람은 없어진다. 이 상태에서 한정 버튼(524)을 재차 누르면 상기 한정 버튼(524)의 선택 상태가 해제되고, 리커버리되어 있지 않은 발보중인 알람이 표시된다.

여기서 한정 조작 표시부(55)에 표시되는 한정 항목은, 도 20에 열거한 리커버리 동작의 내용에 한정되지 않는다. 예컨대 「알람의 중요도」등의 한정 항목을 설정해도 좋다. 또한, 한정 항목을 전환하여 표시할 수 있도록 해도 좋다.

또한 소트 버튼(523) 및 한정 버튼(524)의 중복 선택을 가능하게 해도 되고, 이 경우, 예컨대 도 18이나 도 19에 도시한 바와 같이 발보중인 알람을 소트한 후에 리커버리 동작별의 한정을 해도 좋고, 반대로 한정 후에 소트를 행해도 좋다.

본실시형태에 관련된 액처리 장치(1)에 따르면 이하의 효과가 있다.

알람 관리부(40)가, 인터록을 거는 요인이 검출된 것을 나타내는 친알람과, 각 모듈에 인터록이 걸린 것을 나타내는 자알람의 친자 관계를 판단하고, 친자 관계에 있는 친알람 및 자알람을 그룹화하여 알람 표시부(5)에 표시시키기 때문에, 그룹화된 알람 정보에 대하여 일괄하여 리커버리 동작을 행할 수 있어, 알람의 리커버리를 생력화(省力化)할 수 있다.

상기 실시형태에 있어서는, 도 6에 도시한 바와 같이 각 모듈 컨트롤러(43a∼43c)는 인터록 관리부(42)의 작동 명령에 기초하여 각 모듈에 인터록을 걸고 있었지만, 이것에는 한정되지 않는다. 예컨대 도 21 및 도 22에 도시한 바와 같이, 모듈 컨트롤러(43a∼43c)가, 직접 PA 리어 커버 센서(41d) 및 모듈 커버 센서(41a∼41c)의 도통 상태를 확인하여(즉, 모듈 컨트롤러가 센서로부터 직접, 검출 신호를 수취하여), PA 리어 사이드 커버(153) 또는 모듈 사이드 커버(151)가 개방된 것을 검출한 경우에는 모듈 컨트롤러(43a∼43c)의 판단에 기초하여 모듈에 인터록을 걸어도 좋다. 이 경우에도, 인터록 관리부(42) 및 모듈 컨트롤러(43a∼43c)에 의해 인터록 수단이 구성된다.

이 경우, 도 21에 도시한 인터록 관리부(42)는, PA 리어 사이드 커버(153)가 개방된 것을 검출한 상태로 되었을 때 친알람을 알람 관리부(40)에 출력하는 동작만을 실행하고, 인터록의 작동에는 관여하고 있지 않는 것처럼 보이기도 한다. 그러나, 도 6에서 설명한 바와 같이 상기 도면은 액처리 장치(1)의 인터록 작동 시스템의 일부를 추출하여 도시한 것이다. 인터록 관리부(42)는 도 21에 도시하고 있지 않은 다른 모듈(예컨대, 제1 웨이퍼 반송 모듈(121)이나 제2 웨이퍼 반송 모듈(143) 등)에 대하여 인터록의 작동 명령을 출력하는 기능을 구비하고 있다. 다만, 인터록 관리부(42)가 친알람을 알람 관리부(40)에 출력하는 동작만을 실행하고, 모듈 컨트롤러의 판단에 의해 각 모듈에 인터록을 거는 구성으로 해도 상관없다.

이들 도 21, 도 22에 도시한 블록도에 있어서도, 인터록 관리부(42), 모듈 컨트롤러(43a∼43c), 주제어부(4)(알람 관리부(40))는, 전체로서 액처리 장치(1)의 제어부(400)를 구성하고 있다.

여기서, 제어부(400) 내에서의 인터록 관리부(42), 모듈 컨트롤러(43a∼43c) 및 알람 관리부(40)의 구성은, 도 6∼8, 도 21∼22에 도시한 예로 한정되지는 않는다. 예컨대, 주제어부(4)에 알람 관리부(40)와 인터록 관리부(42)의 쌍방의 기능을 갖게 해도 좋다. 또한, 각 도면 중의 인터록 관리부(42)와 마찬가지로, 현장형의 마이크로 컴퓨터 내에 알람 관리부(40)의 기능을 갖게 해도 좋다. 또한, 인터록 관리부(42), 모듈 컨트롤러(43a∼43c) 및 알람 관리부(40)의 각 기능은, 복수의 마이크로 컴퓨터(또는 컨트롤러)에 분산되어 설치되어 있어도 좋다. 즉, 액처리 장치(1)의 제어부(400)를 구성하는 마이크로 컴퓨터나 컨트롤러 등의 제어 장치군 중에, 인터록 관리부(42), 모듈 컨트롤러(43a∼43c) 및 알람 관리부(40)의 기능이 포함되어 있으면 된다.

이상에 설명한 각 실시형태에서는, 공통의 알람 명칭에 식별 정보(친알람의 경우에는 「***」, 자알람의 경우에는 액처리 모듈(2)의 관리 번호 「201」, 「202」등)를 부가함으로써 친알람과 자알람을 식별 가능하게 하고 있지만, 알람의 친자 관계를 식별하는 수법은 이것으로 한정되지 않는다. 예컨대 인터록 관리부(42) 및 모듈 컨트롤러(43a∼43c)는, 식별 정보가 부가되지 않는 알람 명칭 정보를 포함하는 알람을 알람 관리부(40)에 대하여 출력해도 좋다. 이 경우, 알람 관리부(40)는, 상기 알람 정보를 출력한 모듈을 식별하여, 인터록 관리부(42)로부터 출력된 알람 정보를 친알람, 모듈 컨트롤러(43a∼43c)로부터 출력된 알람 정보를 자알람으로 식별한다. 이 경우, 정보를 출력한 모듈을 식별하기 위해 이용할 수 있는 정보로는 MAC(Media Access Control) 어드레스 등을 들 수 있다.

또, 인터록을 거는 대상은, 도 7, 도 21 등에 도시한 액처리 모듈(2)로 한정되지는 않는다. 예컨대, 리어 커버 센서(41d)가 개방된 경우에, 복수대의 PA(제2 웨이퍼 반송 모듈(143))에 대하여 인터록을 걸 수도 있다.

그리고 또한, 본 발명을 적용할 수 있는 기판 처리 장치는 웨이퍼(W)의 세정을 행하는 액처리 장치(1)로 한정되지는 않는다. 웨이퍼(W)나 유리 기판 등에 레지스트액을 도포하고, 노광 후의 현상을 행하는 도포, 현상 장치에 설치되어 있는 스핀 도포 모듈 및 가열 모듈; CVD(Chemical Vapor Deposition), ALD(Atomic Layer Deposition) 등에 의한 성막을 행하는 성막 장치의 성막 모듈; 플라즈마를 이용한 에칭 장치나 애싱 장치 등의 처리 모듈; 상기 장치 내에 설치되는 반송 모듈 등, 필요에 따라 인터록이 걸리는 모듈을 구비한 여러가지 기판 처리 장치에 본 발명을 적용할 수 있다.

Claims

복수의 모듈을 구비한 기판 처리 장치에 있어서,
상기 복수의 모듈 중 하나 이상에 대하여 인터록을 거는 요인을 검출하고, 검출 신호를 출력하는 검출부와,
상기 검출부로부터의 검출 신호에 기초하여, 상기 요인이 발생한 경우에 인터록을 걸어야 할 모듈에 대하여 인터록을 거는 인터록 수단과,
인터록을 거는 요인이 검출된 것을 나타내는 미리 기억된 친(親)알람과, 각 모듈에 인터록이 걸린 것을 나타내는 미리 기억된 자(子)알람의 친자 관계를 공통의 알람 명칭을 이용하여 판단하고, 친자 관계에 있는 상기 친알람 및 상기 자알람을 그룹화하여 표시부에 표시시키는 알람 관리부
를 구비하고,
상기 친알람은, 알람 명칭 정보에 친알람인 것을 나타내는 정보를 부가한 알람이고, 상기 자알람은, 상기 알람 명칭 정보에, 상기 친알람을 나타내는 정보와는 상이한 정보를 부가한 알람인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 인터록 수단은,
상기 검출부로부터의 검출 신호에 기초하여, 상기 요인이 발생한 경우에 인터록을 걸어야 할 모듈에 대하여 인터록 지시 신호를 출력하고, 상기 친알람을 상기 알람 관리부에 출력하는 인터록 관리부와,
상기 각 모듈에 설치되고, 상기 인터록 관리부로부터의 인터록 지시 신호에 기초하여 그 모듈에 인터록을 걸고, 그 모듈에 관련되는 상기 자알람을 상기 알람 관리부에 출력하는 모듈 컨트롤러를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 인터록 수단은,
상기 검출부로부터의 검출 신호에 기초하여, 상기 요인이 발생한 경우에 상기 친알람을 상기 알람 관리부에 출력하는 인터록 관리부와,
상기 각 모듈에 설치되고, 상기 검출부로부터 수취한 검출 신호에 기초하여 그 모듈에 인터록을 걸고, 그 모듈에 관련되는 상기 자알람을 상기 알람 관리부에 출력하는 모듈 컨트롤러를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제3항에 있어서, 상기 모듈 컨트롤러는 상기 검출부로부터 직접 검출 신호를 수취하는 것인 기판 처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 알람 관리부는, 그룹화하여 표시된 친자 관계에 있는 친알람 및 자알람을 일괄하여 리커버리하는 일괄 리커버리 기능을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제5항에 있어서, 상기 알람 관리부는, 상기 일괄 리커버리 기능 외에, 자알람의 리커버리를 친알람의 리커버리로부터 독립하여 행하는 개별 리커버리 기능을 포함하고, 상기 기판 처리 장치는, 상기 일괄 리커버리 기능의 실행 및 개별 리커버리 기능의 실행 중 어느 것을 선택하는 선택부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 모듈 컨트롤러가 설치된 모듈은, 기판에 대하여 처리를 행하기 위한 처리 모듈인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
복수의 모듈을 구비한 기판 처리 장치의 알람 관리 방법에 있어서,
상기 복수의 모듈 중 하나 이상에 대하여 인터록을 거는 요인을 검출하고, 검출 신호를 출력하는 공정과,
상기 인터록을 거는 요인이 검출된 것을 나타내는 미리 기억된 친알람을 알람 관리부로 보내는 공정과,
상기 검출 신호에 기초하여, 상기 요인이 발생한 경우에 인터록을 걸어야 할 모듈에 대하여 인터록을 거는 공정과,
인터록을 걸어야 할 모듈에 대하여 인터록이 걸린 것을 나타내는 미리 기억된 자알람을 상기 알람 관리부로 보내는 공정과,
상기 알람 관리부에 의해, 친알람과 자알람의 친자 관계를 공통의 알람 명칭을 이용하여 판단하고, 친자 관계에 있는 것으로 판단된 상기 친알람 및 상기 자알람에 관해 이들을 그룹화하여 표시부에 표시시키는 공정을 포함하고,
상기 친알람은, 알람 명칭 정보에 친알람인 것을 나타내는 정보를 부가한 알람이고, 상기 자알람은, 상기 알람 명칭 정보에, 상기 친알람을 나타내는 정보와는 상이한 정보를 부가한 알람인 것을 특징으로 하는 알람 관리 방법.
제8항에 있어서, 오퍼레이터에 의한 일괄 리커버리 지시의 상기 알람 관리부에의 입력에 따라, 그룹화하여 표시된 친자 관계에 있는 친알람 및 자알람을 일괄하여 리커버리하는 일괄 리커버리를 상기 알람 관리부에 의해 실행하는 공정을 더 포함한 것을 특징으로 하는 알람 관리 방법.
제8항에 있어서, 상기 알람 관리부에 의해, 일괄 리커버리 및 개별 리커버리 중 어느 것의 선택을 오퍼레이터에 재촉하는 표시를 상기 표시부에 표시시키는 공정과,
상기 선택에 기초하여, 그룹화하여 표시된 친자 관계에 있는 친알람 및 자알람을 일괄하여 리커버리하는 일괄 리커버리, 또는 자알람의 리커버리를 친알람의 리커버리로부터 독립하여 행하는 개별 리커버리를 상기 알람 관리부에 의해 실행하는 공정을 더 포함한 것을 특징으로 하는 알람 관리 방법.
삭제
복수의 모듈을 구비한 기판 처리 장치에 이용되는 컴퓨터 프로그램을 저장한 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체로서,
상기 프로그램은 제8항에 기재된 알람 관리 방법을 실행하기 위해 단계가 짜여져 있는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체.