JP2005276046A - アラーム表示装置 - Google Patents

アラーム表示装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2005276046A
JP2005276046A JP2004091431A JP2004091431A JP2005276046A JP 2005276046 A JP2005276046 A JP 2005276046A JP 2004091431 A JP2004091431 A JP 2004091431A JP 2004091431 A JP2004091431 A JP 2004091431A JP 2005276046 A JP2005276046 A JP 2005276046A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
alarm
window
controller
module
display device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004091431A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4725765B2 (ja
Inventor
Sukekazu Kuwatani
資一 桑谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP2004091431A priority Critical patent/JP4725765B2/ja
Publication of JP2005276046A publication Critical patent/JP2005276046A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4725765B2 publication Critical patent/JP4725765B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】 モジュール構成を階層表示するコントローラ状態表示ウィンドウよりモジュールを指定することでアラームウィンドウに指定されたモジュールのアラームメッセージを抽出して表示することができるアラーム表示装置を実現する。
【解決手段】 上位装置と通信するコントローラの診断情報に基づき、コントローラを構成するモジュールの稼動状態情報及びアラームメッセージを、前記上位装置のコントローラ状態表示ウィンドウ及びアラームウィンドウに通知して表示するアラーム表示装置おいて、
前記コントローラ状態表示ウィンドウの呼び出しにより起動され、指定されたモジュールに発生しているアラームメッセージを抽出して前記アラームウィンドウに表示する関連付け起動手段を備える。
【選択図】 図1

Description

本発明は、上位装置と通信するコントローラの診断情報に基づき、コントローラを構成するモジュールの稼動状態情報及びアラームメッセージを、前記上位装置のコントローラ状態表示ウィンドウ及びアラームウィンドウに通知して表示するアラーム表示装置に関する。
図6は、分散型制御システムに適用された従来のアラーム表示装置の一例を示す機能ブロック図である。1は上位装置、2はコントローラであり、ネットワーク3を介して上位装置1と通信する。
上位装置1において、11はコントローラ状態表示ウィンドウ、12はコントローラ稼動状態取得手段である。コントローラ稼動状態取得手段12は、コントローラ2より通知される現在の稼動状態情報及びコントローラを構成するモジュール毎のアラーム有無情報を取得し、コントローラ状態表示ウィンドウ11に渡して表示させる。
13はアラームウィンドウ、14はメッセージ収集手段、15は全アラームメッセージ保持手段である。メッセージ収集手段14は、コントローラ2より通知されるモジュール毎のアラームメッセージを取得し、アラームウィンドウ13に渡して表示させる。
コントローラ2において、21はCPU診断手段、22は電源診断手段、23はIOM(入出力モジュール)診断手段であり、コントローラ2を構成するモジュールの状態を診断して異常のあるモジュール及び異常内容を表すアラームメッセージを出力する。
24はシステムモニタ手段であり、前記各診断手段よりモジュールの稼動状態情報を取得して現在の稼動状態情報及びコントローラを構成するモジュール毎のアラーム有無情報を上位装置1のコントローラ稼動状態取得手段12に通知する。
25はアラーム管理手段であり、前記各診断手段より異常モジュールのアラームメッセージ出力を収集して全アラームメッセージ保持手段26に出力すると共に、上位装置1のメッセージ収集手段14に通知する。
このような構成において、コントローラ状態表示ウィンドウ11は、コントローラを構成するモジュールの現在稼動状態をグラフィカルに表示する。図7はその表示画面例であり、異常が発生しているモジュールは赤色、正常のモジュールは緑色等で色分けして表示される。図ではハッチングで示したPSM(電源モジュール)及びIOM3のモジュールが赤色表示され、異常が発生していることを表示している。
このようなグラフィカル表示により、オペレータはコントローラ上に異常が発生しているモジュールを一目で知る事が出来るが、何の原因で異常が発生したかはこのウィンドウだけでは分からない。
このように、コントローラ状態表示ウィンドウ11は、コントローラの各診断手段が出力するアラームメッセージとは関連付いていないため、オペレータが異常解析をする場合には、アラームウィンドウ13を別途操作して、全アラームメッセージの中から該当するモジュールのアラームメッセージを手作業で抽出する必要がある。
特開平5−166086号公報
従来のアラーム表示装置では、モジュールの異常解析をする上で次のような問題点がある。
(1)異常の原因はアラームメッセージとして上位装置に通知されるが、そのメッセージはコントローラ状態表示ウィンドウとは関連付いていないアラームウィンドウで参照する必要があり、煩雑で時間のかかる操作をしなければならない。
(2)モジュールに異常が発生し、直後に復帰したワンショットの異常発生の場合には、コントローラ状態表示ウィンドウだけでは異常が発生した履歴がわからない。
(3)コントローラ状態表示ウィンドウのグラフィカル表示では、モジュール毎(CPUやIOM等のカード毎)にアラームを整理して把握することができない。
従って本発明が解決しようとする課題は、モジュール構成を階層表示するコントローラ状態表示ウィンドウよりモジュールを指定することでアラームウィンドウに指定されたモジュールのアラームメッセージを抽出して表示することができるアラーム表示装置を実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明の構成は次の通りである。
(1)コントローラを構成するモジュールの稼動状態情報及びアラームメッセージを、前記上位装置のコントローラ状態表示ウィンドウ及びアラームウィンドウに通知して表示するアラーム表示装置おいて、
前記コントローラ状態表示ウィンドウの呼び出しにより起動され、指定されたモジュールに発生しているアラームメッセージを抽出して前記アラームウィンドウに表示する関連付け起動手段を備えたことを特徴とするアラーム表示装置。
(2)前記コントローラはシステムモニタ手段を備え、このシステムモニタ手段はモジュールの稼動状態情報及びモジュール毎のアラーム有無情報を収集して前記上位装置に通知すると共に、前記モジュール毎のアラーム有無情報をアラーム管理手段に渡すことを特徴とする(1)に記載のアラーム表示装置。
(3)前記アラーム管理手段は、アラームメッセージ出力を収集して前記上位装置に通知すると共に、前記システムモニタ手段よりモジュール毎のアラーム有無情報を取得することを特徴とする(2)に記載のアラーム表示装置。
(4)前記上位装置は、前記アラーム管理手段から通知されるアラームメッセージ出力を収集するメッセージ収集手段を備え、このメッセージ収集手段は前記アラームウィンドウより与えられる抽出条件に合致したモジュールのアラームメッセージを前記アラームウィンドウに返すことを特徴とする(1)乃至(3)のいずれかに記載のアラーム表示装置。
(5)前記コントローラ状態表示ウィンドウは、コントローラを構成するモジュールを階層的にツリー表示することを特徴とする(1)乃至(4)のいずれかに記載のアラーム表示装置。
(6)前記コントローラ状態表示ウィンドウ及びアラームウィンドウは、コントローラの一覧表示ウィンドウと、指定されたコントローラのモジュールを階層的に表示すると共に、指定されたモジュールのアラームメッセージを表示する詳細表示ウィンドウとで構成されていることを特徴とする(1)乃至(5)のいずれかに記載のアラーム表示装置。
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
(1)コントローラの各種診断手段が出力したアラームメッセージと稼動状態を関連付けして表示するユーザインターフェースを提供することにより、単なる監視機能だけではなく、システム異常の原因を解析する効率的な環境を提供できる。
(2)ワンショットで発生した異常情報(異常発生後に直ぐに復帰した異常情報)も見逃すことがなく、異常が発生したモジュールは必ずオペレータに通知される。
(3)モジュール毎にアラームの有無が分かり、モジュール毎にアラームをフィルタリング表示できる。フィルタリング表示は、モジュールをクリックした後にアラームボタンを押すことにより当該モジュールに関連するアラームメッセージだけを抽出して表示できる。従ってフィルタリング条件は手入力する必要がない。
(4)コントローラ状態表示手段は、モジュールを階層化したツリー表記で表示する。この階層化は実際のハードウェアに合致しており、トップ階層の状態を見ただけでアラームの有無が全て分かる。アラームがあるということは、オペレータが確認していない異常があることを意味する。
(5)階層化したアラームウィンドウの呼び出しインターフェースを提供できる。即ち、上位のノードから呼び出せば、ノードにある全ての下位のIOMのアラームメッセージを表示することができ、IOMから呼び出せば、そのIOMに関連したアラームメッセージのみを表示することができる。
以下、本発明を図面により詳細に説明する。図1は本発明を分散型制御システムに適用したアラーム表示装置の一実施形態を示す機能ブロック図である。図6で説明した従来装置と同一要素には同一符号を付し、説明を省略する。以下、本発明の特徴部につき説明する。
図1において、100は上位装置であり、コントローラ稼動状態取得手段102、全アラームメッセージ保持手段105は、図6の従来装置におけるコントローラ稼動状態取得手段12、全アラームメッセージ保持手段15の機能と同一機能を有する。
コントローラ状態表示ウィンドウ101は、基本的には従来装置のコントローラ状態表示ウィンドウ11と同様にコントローラ200を構成するモジュールの現在の稼動状態とアラームの存在有無を表示したウィンドウである。
本発明が適用されたコントローラ状態表示ウィンドウ101によれば、オペレータはこのコントローラ状態表示ウィンドウからモジュールを指定してアラームウィンドウを起動してアラーム発生の原因の解析を行うことができる。
即ち、コントローラ状態表示ウィンドウ101は、コントローラ稼動状態取得手段102から表示するデータを取得すると共に、関連付け起動手段106を呼び出して指定したモジュール毎にアラームウィンドウ103を同一画面に起動することができる。
オペレータは、コントローラ状態表示ウィンドウ101に表示されている異常があるモジュールをクリックし、アラームボタンを押すことにより、アラームウィンドウ103が備えるフィルタ機能により、メッセージ収集手段104に抽出条件を通知し、そのモジュールが出力したシステムアラームメッセージのみを取得してアラームウィンドウに103に表示する。
又、アラームは階層構成で管理されているため、あるモジュールより上位のモジュールをクリックしてアラームボタンを押すと、そのモジュール以下にある全下位モジュールのアラームメッセージを表示できる。例えば、IOMで異常を検知した場合に、その上位のIOノードをクリック後アラームボタンを押すと、そのIOノード以下にある全IOMのアラームメッセージを表示できる。
本発明が適用されたアラームウィンドウ103は、全アラームメッセージから関連付け起動手段を介して指定されるモジュールをフィルタ条件(ステーション,ノード,カード)毎にメッセージ収集手段104から抽出して表示する。
この表示画面で、オペレータはアラームメッセージ毎に確認と削除操作を行うことができる。削除することでアラームメッセージは表示されなくなり、この削除はコントローラ状態表示ウィンドウ101に反映され、モジュールに表示されたアラームマークも消える。
本発明が適用されたメッセージ収集手段104は、コントローラ200のアラーム管理手段205から通知される全アラームメッセージを取得し、全アラームメッセージ保持手段105に格納すると共に、アラームウィンドウ103からのモジュール指定によるアラームメッセージ取得要求に応える。つまり、メッセージ収集手段104は、フィルタ条件に合致したアラームメッセージのみを抽出してアラームウィンドウ103に渡す。
本発明が適用されたコントローラ200において、201はCPU診断手段、202は電源診断手段、203はIOM(入出力モジュール)診断手段であり、コントローラ200を構成するモジュールの状態を診断して異常のあるモジュール及び異常内容を表すアラームメッセージを出力する。これら要素は、図6の従来装置におけるCPU診断手段21、電源診断手段22、IOM診断手段23と同一機能である。
本発明が適用されるシステムモニタ手段204は、各種診断手段によるモジュールの稼動状態とモジュール毎のアラーム有無情報を取得してその両方の情報を上位装置100のコントローラ稼動状態取得手段102に通知する従来機能に加えて、モジュール毎のアラーム有無情報をアラーム管理手段205に渡す機能を有する。
本発明が適用されるアラーム管理手段205は、各種診断手段が出力したアラームメッセージ出力収集を管理し、全アラームメッセージを上位装置100のメッセージ収集手段104に通知する。
207はモジュール毎のアラーム有無情報保持手段であり、アラーム管理手段205より渡された情報を保持し、この情報は全アラームメッセージと共に上位装置100のメッセージ収集手段104に通知される。
上位装置100のアラームウィンドウ103の画面で実行されるオペレータによるアラームメッセージの確認及び削除操作の結果は、このアラーム管理手段205が管理している全アラームメッセージに反映される。
本発明が適用されるコントローラ状態表示ウィンドウ101及びアラームウィンドウ103は、相互に関連付けされて一体に表示される。即ち、図2に示すコントローラ一覧表示ウィンドウと図3で示す詳細表示ウィンドウよりなる。
図3の詳細ウィンドウの左側は、コントローラ状態表示ウィンドウ101の機能であり、モジュール構成と異常の有無の表示をハードウェアに合わせた階層的ツリー構造で表現し、トップ階層を見るだけで異常の有無(コントローラの診断機能が発したアラーム有無)が分かるユーザインターフェースを提供している。
即ち、オペレータが未確認のアラームがあれば図2及び図3のように、モジュール名(コントローラ名,ノード名,カード名(CPU,電源,IOM))の横に◆マークを付加して表示する。
図3の詳細ウィンドウの右側は、アラームウィンドウ103の機能であり、指定されたモジュール(この例では、Controller2 のIO Node2のIOM(1))のアラームメッセージがメッセージ収集手段104より抽出されて表示される。
図3の詳細ウィンドウの左側の階層的ツリー表示部分は、実際のハードウェア構成と1:1に対応する表示である。例えば、図4の様なモジュール構成のコントローラの場合、図3の様な階層的ツリー状態表示となる。
画面に表示されるアラームマークは、異常の原因が復帰していれば、オペレータが確認削除することでこれを消去することができる。即ち、アラームマークは、そのモジュール内の全てのアラームメッセージを削除すれば消去することができる。
図5は、本発明を敷衍した応用例を示す機能ブロック図である。例えば、IOM2のアラームマークのクリックでIOM2に関するアラームウィンドウ103が起動される本発明の構成に加えて、入力チャネルの変化を記録してそれを表示するIOM2に関係するSOE(Sequence of Event)ウィンドウとも連携すれば、コントローラ状態表示ウィンドウがトップウィンドウとなり、システムの異常解析はコントローラ状態表示ウィンドウを経由して全て行える環境を構築することができる。
以上説明した実施形態は、本発明を分散型制御システムに適用した例であるが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではない。例えば、プロセスプラントにおいて人身や環境保護を目的とし、プロセス異常や機器故障が原因で発生する危険を感知して安全サイドにプラントを操業する安全計装システム(SIS:Safety Information System)におけるアラーム表示装置に適用すれば、故障原因の解析を短時間で効率的に処理できるシステムを提供することができる。
本発明を分散型制御システムに適用したアラーム表示装置の一実施形態を示す機能ブロック図である。 コントローラ一覧表示ウィンドウの画面例である。 詳細表示ウィンドウの画面例である。 コントローラ状態表示ウィンドウのツリー表示部分と1:1に対応する実際のモジュール構成図である。 本発明を敷衍した応用例を示す機能ブロック図である。 分散型制御システムに適用された従来のアラーム表示装置の一例を示す機能ブロック図である。 モジュールの現在稼動状態をグラフィカルに表示した、図6のコントローラ状態表示ウィンドウの画面例である。
符号の説明
3 ネットワーク
100 上位装置
101 コントローラ状態表示ウィンドウ
102 コントローラ稼動状態取得手段
103 アラームウィンドウ
104 メッセージ収集手段
105 全アラームメッセージ保持手段
106 関連付け起動手段
200 コントローラ
201 CPU診断手段
202 電源診断手段
203 IOM診断手段
204 システムモニタ手段
205 アラーム管理手段
206 全アラームメッセージ保持手段
207 アラーム有無情報保持手段

Claims (6)

  1. コントローラを構成するモジュールの稼動状態情報及びアラームメッセージを、前記上位装置のコントローラ状態表示ウィンドウ及びアラームウィンドウに通知して表示するアラーム表示装置おいて、
    前記コントローラ状態表示ウィンドウの呼び出しにより起動され、指定されたモジュールに発生しているアラームメッセージを抽出して前記アラームウィンドウに表示する関連付け起動手段を備えたことを特徴とするアラーム表示装置。
  2. 前記コントローラはシステムモニタ手段を備え、このシステムモニタ手段はモジュールの稼動状態情報及びモジュール毎のアラーム有無情報を収集して前記上位装置に通知すると共に、前記モジュール毎のアラーム有無情報をアラーム管理手段に渡すことを特徴とする請求項1に記載のアラーム表示装置。
  3. 前記アラーム管理手段は、アラームメッセージ出力を収集して前記上位装置に通知すると共に、前記システムモニタ手段よりモジュール毎のアラーム有無情報を取得することを特徴とする請求項2に記載のアラーム表示装置。
  4. 前記上位装置は、前記アラーム管理手段から通知されるアラームメッセージ出力を収集するメッセージ収集手段を備え、このメッセージ収集手段は前記アラームウィンドウより与えられる抽出条件に合致したモジュールのアラームメッセージを前記アラームウィンドウに返すことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のアラーム表示装置。
  5. 前記コントローラ状態表示ウィンドウは、コントローラを構成するモジュールを階層的にツリー表示することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のアラーム表示装置。
  6. 前記コントローラ状態表示ウィンドウ及びアラームウィンドウは、コントローラの一覧表示ウィンドウと、指定されたコントローラのモジュールを階層的に表示すると共に、指定されたモジュールのアラームメッセージを表示する詳細表示ウィンドウとで構成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のアラーム表示装置。
JP2004091431A 2004-03-26 2004-03-26 アラーム表示装置 Expired - Lifetime JP4725765B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004091431A JP4725765B2 (ja) 2004-03-26 2004-03-26 アラーム表示装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004091431A JP4725765B2 (ja) 2004-03-26 2004-03-26 アラーム表示装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005276046A true JP2005276046A (ja) 2005-10-06
JP4725765B2 JP4725765B2 (ja) 2011-07-13

Family

ID=35175625

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004091431A Expired - Lifetime JP4725765B2 (ja) 2004-03-26 2004-03-26 アラーム表示装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4725765B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011118733A (ja) * 2009-12-04 2011-06-16 Yokogawa Electric Corp プログラマブルロジックコントローラ
JP2012194694A (ja) * 2011-03-15 2012-10-11 Omron Corp Plcの開発支援装置、およびplc開発支援用プログラム
WO2013047651A1 (ja) * 2011-09-29 2013-04-04 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板処理装置のアラーム管理方法および記憶媒体
JP5730453B1 (ja) * 2014-05-30 2015-06-10 三菱電機株式会社 アラーム位置表示装置およびアラーム位置表示方法
JP2015225392A (ja) * 2014-05-26 2015-12-14 ファナック株式会社 数値制御装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5940333B2 (ja) * 2012-03-15 2016-06-29 三菱重工業株式会社 ブロック線図表示装置、ブロック線図表示方法、及びプログラム

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01155507A (ja) * 1987-12-13 1989-06-19 Sony Corp 信号取出回路
JPH0535328A (ja) * 1991-07-25 1993-02-12 Toshiba Corp 監視方法
JPH07320174A (ja) * 1994-05-23 1995-12-08 Mitsubishi Electric Corp 警報表示装置
JPH0889937A (ja) * 1994-09-21 1996-04-09 Yuushin Denki Kk 上下水道の浄化処理施設に於ける監視及び制御装置
JPH09204591A (ja) * 1995-11-20 1997-08-05 Fujitsu Ltd 設備監視システム
JPH09212213A (ja) * 1996-02-02 1997-08-15 Omron Corp プログラマブルコントローラシステム統合モニタツール
JPH1185436A (ja) * 1997-09-09 1999-03-30 Yokogawa Electric Corp 分散制御装置
JPH11149312A (ja) * 1997-11-19 1999-06-02 Yokogawa Electric Corp プラント監視装置及びプラント監視プログラムを記録した記録媒体
JPH11338677A (ja) * 1998-05-29 1999-12-10 Fuji Electric Co Ltd システム構成の定義方法
JP2000259454A (ja) * 1999-03-05 2000-09-22 Hitachi Information Systems Ltd 監視用メッセージ表示システムと方法およびその処理プログラムを記録した記録媒体
JP2002163015A (ja) * 2000-11-29 2002-06-07 National Institute For Materials Science 設備運転システム等の故障診断方法および故障診断システム
JP2002278605A (ja) * 2001-03-21 2002-09-27 Hitachi Ltd Plcモニタ装置、及びその参照データ・動作プログラム
JP2003280733A (ja) * 2002-03-22 2003-10-02 Mitsubishi Electric Corp 監視制御システム

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01155507A (ja) * 1987-12-13 1989-06-19 Sony Corp 信号取出回路
JPH0535328A (ja) * 1991-07-25 1993-02-12 Toshiba Corp 監視方法
JPH07320174A (ja) * 1994-05-23 1995-12-08 Mitsubishi Electric Corp 警報表示装置
JPH0889937A (ja) * 1994-09-21 1996-04-09 Yuushin Denki Kk 上下水道の浄化処理施設に於ける監視及び制御装置
JPH09204591A (ja) * 1995-11-20 1997-08-05 Fujitsu Ltd 設備監視システム
JPH09212213A (ja) * 1996-02-02 1997-08-15 Omron Corp プログラマブルコントローラシステム統合モニタツール
JPH1185436A (ja) * 1997-09-09 1999-03-30 Yokogawa Electric Corp 分散制御装置
JPH11149312A (ja) * 1997-11-19 1999-06-02 Yokogawa Electric Corp プラント監視装置及びプラント監視プログラムを記録した記録媒体
JPH11338677A (ja) * 1998-05-29 1999-12-10 Fuji Electric Co Ltd システム構成の定義方法
JP2000259454A (ja) * 1999-03-05 2000-09-22 Hitachi Information Systems Ltd 監視用メッセージ表示システムと方法およびその処理プログラムを記録した記録媒体
JP2002163015A (ja) * 2000-11-29 2002-06-07 National Institute For Materials Science 設備運転システム等の故障診断方法および故障診断システム
JP2002278605A (ja) * 2001-03-21 2002-09-27 Hitachi Ltd Plcモニタ装置、及びその参照データ・動作プログラム
JP2003280733A (ja) * 2002-03-22 2003-10-02 Mitsubishi Electric Corp 監視制御システム

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011118733A (ja) * 2009-12-04 2011-06-16 Yokogawa Electric Corp プログラマブルロジックコントローラ
JP2012194694A (ja) * 2011-03-15 2012-10-11 Omron Corp Plcの開発支援装置、およびplc開発支援用プログラム
US9224283B2 (en) 2011-09-29 2015-12-29 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus, alarm management method of substrate processing apparatus, and storage medium
WO2013047651A1 (ja) * 2011-09-29 2013-04-04 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板処理装置のアラーム管理方法および記憶媒体
JP2013077053A (ja) * 2011-09-29 2013-04-25 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置、基板処理装置のアラーム管理方法および記憶媒体
KR101536842B1 (ko) * 2011-09-29 2015-07-14 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 알람 관리 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체
US10114360B2 (en) 2014-05-26 2018-10-30 Fanuc Corporation Numerical controller
JP2015225392A (ja) * 2014-05-26 2015-12-14 ファナック株式会社 数値制御装置
WO2015181985A1 (ja) * 2014-05-30 2015-12-03 三菱電機株式会社 アラーム位置表示装置およびアラーム位置表示方法
KR20160004992A (ko) * 2014-05-30 2016-01-13 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 알람 위치 표시 장치 및 알람 위치 표시 방법
CN105324727A (zh) * 2014-05-30 2016-02-10 三菱电机株式会社 报警位置显示装置以及报警位置显示方法
KR101673104B1 (ko) 2014-05-30 2016-11-04 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 알람 위치 표시 장치 및 알람 위치 표시 방법
JP5730453B1 (ja) * 2014-05-30 2015-06-10 三菱電機株式会社 アラーム位置表示装置およびアラーム位置表示方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4725765B2 (ja) 2011-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1679647B1 (en) Maschine management system and message server used for machine management
US6202158B1 (en) Detection method of illegal access to computer system
JP5893376B2 (ja) 健康管理及びプラント保全のために有毒ガスへの暴露のコンプライアンス及び警告を提供し有毒ガスへの暴露を警告するシステム及び方法
EP1895376A2 (en) Dynamic maintenance management system
EP3314550B1 (en) One-click commissioning and push updates to distributed, large-scale information handling system
CN105565103B (zh) 电梯故障检测方法及装置
EP1898286A1 (en) Support system for failure prognosis, warning and restoration operation of machine
CN111178828A (zh) 一种建筑消防安全预警的方法和系统
JP6633313B2 (ja) 原子力プラント監視支援システム
JP4725765B2 (ja) アラーム表示装置
US8040230B2 (en) Alarm control apparatus
JP2011215917A (ja) 機器情報管理システム
CN207709510U (zh) 一种智能型通风柜系统
CN104777826A (zh) 用于工厂监控系统的测试支持装置、测试支持方法和测试支持程序
JPH08147030A (ja) プラント監視装置
JP2008076353A (ja) 自動分析装置のリモートサービスシステムおよびリモートサービス方法
CN114726649A (zh) 态势感知的评价方法、装置、终端设备和存储介质
JP2003058967A (ja) 警報装置
JP2011118733A (ja) プログラマブルロジックコントローラ
CN107292079A (zh) 一种多病人监护方法及装置
CN112689123A (zh) 一种传染病智能预警系统及方法
KR101999781B1 (ko) 사물 인터넷 미지원 디바이스에 대한 모니터링 장치 및 그 방법
JP2002223293A (ja) ネットワーク保守管理方法および装置
JP2007201798A (ja) 電気通信設備の管理システム、電気通信設備の管理方法
JP4247743B2 (ja) アラーム監視装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060703

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080514

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080605

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080724

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091002

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091030

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100416

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100531

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20101019

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110113

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20110120

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110317

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110330

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4725765

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422

Year of fee payment: 3