JP2002050555A

JP2002050555A - 半導体製造システム

Info

Publication number: JP2002050555A
Application number: JP2000231023A
Authority: JP
Inventors: Shigeki Tojo; 茂樹東條
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2000-07-31
Filing date: 2000-07-31
Publication date: 2002-02-15

Abstract

(57)【要約】【課題】作業を一層効率的に行なうことができる半導
体製造システムを提供する。【解決手段】複数の製造工程からなる製造ラインが各
種データベースのもとで管理される半導体製造システム
において、上記製造工程毎の作業者に対する指示項目を
コード化するコード化手段と、上記コード化手段により
コード化されてなるコードを、該コードに対応する作業
指示内容をあらわすデータと共に、ホストコンピュータ
における所定のデータベースに登録する登録手段と、上
記製造工程毎に、上記各コードの組合せを、ローカルコ
ンピュータにおける所定の端末に表示させる表示手段
と、各処理ロット毎に、上記コード及びデータをホスト
コンピュータにおける所定のデータベースに保存する保
存手段と、同時に保存されたデータを端末から検索する
検索手段とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、製造ラインが各種
データベースのもとで管理される半導体製造システムに
関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体製造システムとして、一般
に、コンピュータを利用した製造の自動化システムが採
用されるようになってきた。半導体製造システムの製造
ラインにおいては、通常、製品毎に、採用されるべき処
理装置及びそのレシピに関する情報がホストコンピュー
タに予め登録され、それらの情報に基づき、作業が行な
われる。かかる製造ラインでは、種々の機能・装置が追
加されることによって、更なる効率化が図られており、
例えば日本特許第３００１３５９号から、製品毎に若し
くは製造工程毎に、所定の作業条件の組が設定されるこ
とが知られている。また、他に、例えば特開平７−１５
３６５３号公報から、上記のような作業条件の組を、電
子ファイルとしてコンピュータ上に保存することが知ら
れている。

【０００３】更に、従来では、標準的な作業条件を文書
データとしてコンピュータ上に保存し且つ管理し得るシ
ステムが、例えばロータス・ノーツ・ドミノ(Lotus Not
es Domino)等のグループウェアを用いて実現されてい
る。また、複数の製造工程を幾つかの群に分割し、各群
毎に作業指示フォーマットを変更することが、紙文書又
は電子文書としては実現されている。更に、動画像，静
止画像及び音声等のファイル（所謂マルチメディアファ
イル）をデータベースとして保存することが行われてい
る。また、更に、例えば特開平８−１４７３６８号公報
に示されるように、生産管理シミュレータが使用されて
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前述した従来の技術で
は、上記各製造工程における検査結果，最終の検査結果
などの検査結果を、製品の履歴情報の１つとして管理す
ることが可能であるものの、設定すべき作業条件につい
ては、処理レシピ名などの一部のパラメータの他に履歴
情報として残っていないため、詳細な分析を行なうこと
ができない。また、各製造工程についての作業条件は、
プロセス設定の担当者が製造工程毎に設定し、文書とし
て作成した上で、例えば上司並びに関連部門の関係者に
よる審査・承認を受けた後に、製造ラインに配布され、
実際の処理時に使用されるため、非常に面倒である。

【０００５】また、上記製造ラインでは、製造工程数が
多い上に、プロセスルールの変化が頻繁に行なわれるに
伴ない、作業条件の作成，変更及び削除の頻度が非常に
高い。このため、文書の作成及び管理に多くの工数が必
要である。更に、作業条件が記載される指示書は、紙又
は電子ファイルで運用されているため、上司並びに関連
部門の関係者による審査・承認は、指示書の単位でしか
行うことができないため、全項目に付いて審査・承認さ
れないと製造ラインへの適用ができず、機動性に欠ける
という問題がある。更に、審査・承認中の指示書は容易
に閲覧可能な状態でないため、同じ工程の指示書に対し
て複数の人が、同じ変更若しくは矛盾した変更を行う惧
れがあり、それを回避するためのチェックには多くの手
間が必要である。かかる問題を解消するために、作業条
件をコード化し、そのコード毎にそのデータをデータベ
ースで個別に管理することも考えられる。しかし、コー
ド数が膨大であるため、コード毎にデータベースとアク
セスすると、ネットワーク負荷の問題が発生する可能性
があり、また、サーバとのデータ通信に時間がかかり、
作業指示書の新規作成時や変更項目が多い場合、相当な
待ち時間が発生する可能性がある。

【０００６】更に、コード毎にデータベースに登録した
場合には、検索結果がコードとデータの羅列で表示さ
れ、作業者が見易い形にはならない。また、更に、作業
者への指示の内容は、コード化可能なデータだけでな
く、文章による作業指示，図面又は写真等もあるため、
データの表示のみでは、全ての情報を網羅することがで
きない。

【０００７】更に、作業指示については、文章からのみ
ではその内容の理解が難しい。このため、通常、製造に
携わる各作業者が、作業指示に対応する作業方法を予め
把握しておく必要がある。これに対処すべく、通常、例
えば新人教育等のオリエンテーションで、実際に作業動
作を見せて教育することが行なわれている。しかし、こ
の仕方では、比較的手間がかかるとともに、手本を示す
人によってその動作にばらつきがある惧れがある。ま
た、一方、標準的な作業方法をビデオ撮影した上でそれ
を上映して教育することも行われているが、この仕方で
は、実際の現場で確認することができないという問題が
ある。

【０００８】また、作業指示文書に記載された処理パラ
メータを処理装置にセットする場合に、文書と装置のデ
ィスプレイとを同時に確認する必要があり、見間違いに
よる設定ミスが発生する。更に、電子文書を用いる場
合、端末のディスプレイ装置で確認するしかなく、処理
装置と端末とが離れている場合には、作業性に大きな問
題がある。これに対処すべく、音声で指示することも考
えられるが、音声を用いた場合には、発声速度が一定で
あるため、不慣れな作業者にとっては速すぎ、逆に、習
熟度の高い作業者にとっては遅すぎるという問題があ
る。更に、音声を用いた場合には、聞き逃し等による確
認漏れが発生する惧れがあり、重要な項目については確
認を何度も繰り返すなどの工夫が必要となる。しかし、
音声による繰返しは、特に習熟度の高い作業者にとって
煩わしく、作業性をかえって低下させることがある。

【０００９】また、更に、作業指示文書中の作業パラメ
ータの値は、製品ロットの品質を決める重要なパラメー
タであるにもかかわらず、オンライン管理されていない
処理装置については、一部のパラメータを除きロットの
履歴情報として管理することができない。このため、工
程のばらつきを抑制すべく、工程内の検査を行って、そ
の傾向を管理するような場合には、検査結果に影響を及
ぼす作業パラメータをすべて履歴に残しておかないと、
判断を誤ることがある。

【００１０】また、更に、品質向上のため、品質管理
（ＱＣ：quality control）工程図による工程管理が求
められているが、品質管理工程図そのもので工程内検査
を行っているライン以外では、作業指示文書に記載され
た工程内検査のパラメータが変更される毎に、ＱＣ工程
図も同時に変更する作業が発生し、効率が悪い上に、変
更漏れも発生しやすい。また、生産ラインにとって、原
材料の在庫管理を精度良く行うには、製品ロット毎に使
用する原材料の量を把握しておく必要がある。しかし、
半導体の製造に際しては、その製造プロセスの変更が頻
繁に行なわれ、これに伴ない、原材料の種類及び量が変
更される必要があり、結果的に、過去の実績に基づき在
庫管理を行っている現状である。また、環境管理上、製
造ラインから廃棄される物質の種類と量を削減させるた
め、生産量に応じた削減計画を立てる必要があるが、使
用量と同じく、過去の実績から行わざるを得ない。

【００１１】更に、半導体の製造に際して、処理工程が
多く、工程毎の処理装置や処理時間が様々であるため、
生産管理が困難であり、一般に、コンピュータを用いた
シミュレーションによる納期管理が行われている。しか
し、製造プロセスや適用される装置等の変更があると、
その時点からシミュレーション結果に狂いが生じる惧れ
がある。これを回避すべく、上記プロセスや構成の変更
をリアルタイムにシミュレータに入力して、再計算を行
う必要があるが、かかる再計算作業には多くの手間が必
要とされ、また、これに伴ない、時間のずれも発生する
ことがある。

【００１２】本発明は、上記技術的課題に鑑みてなされ
たもので、作業を一層効率的に行なうことが可能である
半導体製造システムを提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本願の請求項１に係る発
明は、複数の製造工程からなる製造ラインが各種データ
ベースのもとで管理される半導体製造システムにおい
て、上記製造工程毎の作業者に対する指示項目をコード
化するコード化手段と、上記コード化手段によりコード
化されてなるコードを、該コードに対応する作業指示内
容をあらわすデータと共に、ホストコンピュータにおけ
る所定のデータベースに登録する登録手段と、上記製造
工程毎に、上記各コードの組合せを、ローカルコンピュ
ータにおける所定の端末に表示させる表示手段と、各処
理ロット毎に、上記コード及びデータをホストコンピュ
ータにおける所定のデータベースに保存する保存手段
と、同時に保存されたデータを端末から検索する検索手
段とを有していることを特徴としたものである。

【００１４】また、本願の請求項２に係る発明は、請求
項１に係る発明において、上記作業者に対する指示項目
として、処理可能な装置名，レシピ名，装置に対する設
定パラメータ，適用する品種名，保管制限時間，次工程
への搬送方法，最大処理可能な枚数，装置に対するウエ
ハのセッティング方法，異常発生時の処置方法，作業上
の確認事項，処理時間，使用する材料及び量，注意事項
のうちの少なくとも１つが含まれることを特徴としたも
のである。

【００１５】更に、本願の請求項３に係る発明は、請求
項１又は２に係る発明において、更に、所定のデータベ
ースに登録されたコード及びデータの作成，変更及び削
除による編集に際して、登録情報をホストコンピュータ
からローカルコンピュータに転送する転送手段と、上記
ローカルコンピュータ上で登録情報の編集を行うための
編集手段と、編集後の変更点のみをホストコンピュータ
における変更点情報保存用のデータベースに登録するこ
とにより、上記作業指示データベースに対する変更点を
保存する保存手段とを有していることを特徴としたもの
である。

【００１６】また、更に、本願の請求項４に係る発明
は、請求項１〜３に係る発明のいずれか一において、ま
た、所定のデータベースに登録されたコード及びデータ
の作成，変更及び削除に際して、コード単位で、審査・
承認が実行可能であることを特徴としたものである。

【００１７】また、更に、本願の請求項５に係る発明
は、請求項１〜４に係る発明のいずれか一において、更
に、所定のデータベースに登録されたコード及びデータ
の作成，変更及び削除に際して、審査・承認中の内容に
基づき編集可能であることを特徴としたものである。

【００１８】また、更に、本願の請求項６に係る発明
は、請求項１〜５に係る発明のいずれか一において、上
記製造工程が複数の群に分けられ、各群毎に、上記コー
ド及びデータの表示が可能であることを特徴としたもの
である。

【００１９】また、更に、本願の請求項７に係る発明
は、請求項１〜６に係る発明のいずれか一において、上
記データとして、データファイル，動画像ファイル及び
静止画像ファイル並びに音声ファイルが含まれることを
特徴としたものである。

【００２０】また、更に、本願の請求項８に係る発明
は、請求項１〜７に係る発明のいずれか一において、更
に、作業者の音声を認識する認識手段と、認識手段によ
る認識結果に基づき、上記ホストコンピュータにおける
所定のデータベースから検索された検索結果に対応する
コード及びデータを、音声で作業者に指示する音声指示
手段を有していることを特徴としたものである。

【００２１】また、更に、本願の請求項９に係る発明
は、請求項８に係る発明において、上記音声指示手段に
よる指示速度が作業者及び作業内容毎に設定可能である
ことを特徴としたものである。

【００２２】また、更に、本願の請求項１０に係る発明
は、請求項８又は９に係る発明において、上記音声指示
手段が、予め設定されたコードについて、音声指示する
直前に、アラーム音，バイブレーション及び光源の点滅
の少なくともいずれか一を発生可能であることを特徴と
したものである。

【００２３】また、更に、本願の請求項１１に係る発明
は、請求項１〜１０に係る発明のいずれか一において、
所定のデータベースに登録されたコード及びデータによ
り、各製造工程での検査結果を補正する検索結果補正手
段を有していることを特徴としたものである。

【００２４】また、更に、本願の請求項１２に係る発明
は、請求項１〜１１に係る発明のいずれか一において、
品質管理工程図を自動作成する工程図作成手段を有して
いることを特徴としたものである。

【００２５】また、更に、本願の請求項１３に係る発明
は、請求項１〜１２に係る発明のいずれか一において、
使用材料の種類及び量，廃棄物の種類及び量の計画・実
績を自動作成する計画・実績作成手段を有していること
を特徴としたものである。

【００２６】また、更に、本願の請求項１４に係る発明
は、請求項１〜１３に係る発明のいずれか一において、
更に、品種及び工程毎の処理可能な装置及び処理時間を
抽出する抽出手段と、リアルタイムに生産管理シミュレ
ータの基礎データに反映する反映手段とを有しているこ
とを特徴としたものである。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、添付図面を参照しながら説明する。図１に、本発明
の実施の形態に係る半導体製造システムの構成を示す。
この半導体製造システム１０は、データベースとして、
製造ライン３０における作業者が製品ロットの処理時に
設定，確認，検査する項目及びデータ（以下、作業指示
パラメータという）を格納し管理する作業指示データベ
ース１１と、各製造工程において設定された作業指示を
変更する情報を格納し管理する作業指示変更情報データ
ベース１２と、製品ロットの処理時に、ロット処理の順
番及びその時点での処理位置についての情報を格納し管
理する製品ロットフローデータベース１３と、製品ロッ
ト処理の履歴を格納し管理する製品ロット処理履歴デー
タベース１４と、各種の生産計画を格納し管理する生産
計画データベース１５とを有している。また、この半導
体製造システム１０では、上記各データベース１１〜１
５によるデータに基づいてシミュレーションを行う生産
管理シミュレータ(図中では、シミュレータと表記)１８
が設けられている。更に、各データベース１１〜１５
と、事務所２０のＰＣ端末２１，２２，２３及び製造ラ
イン３０における作業端末３１(図には１つのみ示す)と
が、ネットワークで接続されている。

【００２８】上記作業指示データベース１１に格納され
る作業指示パラメータは、製造ライン３０における作業
者が、製品ロットの処理時に、この値に基づいて、各種
の装置の設定，確認，検査を実行するためのもので、そ
の作成，変更及び削除は、事務所２０のＰＣ端末２１，
２２及び２３により行なわれる。この作成，変更及び削
除に際して、事務所２０のＰＣ端末２１，２２及び２３
におけるディスプレイ上には、図２に示す編集画面が表
示される。この編集画面上で、事務所２０における作業
者は、必要に応じて、作業指示パラメータの作成，変更
及び削除を行なう。この編集画面では、「未登録内容も
表示」のボタンを押すことにより、その時点で審査及び
承認中のデータが合わせて表示されるようになってお
り、重なった変更若しくは矛盾する変更を回避すること
ができる。

【００２９】作業指示パラメータの作成，変更及び削除
が完了すると、変更前の内容との変更点がデータベース
上で自動的に検出され、事務所２０のＰＣ端末２１，２
２及び２３の画面上には、図３に示す確認画面が表示さ
れる。作成，変更及び削除を行なう作業者は、この確認
画面上で内容を確認した後、図４に示す設定画面で、予
め登録された複数の人物のなかから、審査及び承認の担
当者を設定する。この設定情報に基づき、審査及び承認
を依頼するための電子メールが、審査及び承認の担当者
に設定された人物へ送信される。また、これと同時に、
変更点が、作業指示変更情報データベース１２（図１参
照）に格納される。

【００３０】審査及び承認の担当者に設定された人物
は、それぞれ、電子メールを受信して、図５に示す審査
及び承認画面上で、作成，変更および削除後の内容を確
認し、審査及び承認を行う。審査及び承認が完了する
と、作成，変更及び削除後の作業指示パラメータが、作
業指示データベース１１に格納される。

【００３１】以上のように、従来の紙又は電子ファイル
による作業指示パラメータの作成，変更及び削除では、
作成，変更および削除後の内容の全体について承認する
かしないかの選択であったが、この実施の形態では、各
パラメータ毎に、変更点が管理され、その審査及び承認
が可能である。このことは、具体的に、図５に示す審査
及び承認画面上で、承認しないコードについては、
「選」欄のチェックを外すことによって実現可能であ
る。これにより、作成，変更及び削除後の内容に些細な
ミスがあっても、差戻しする必要がなくなり、作成，変
更及び削除作業のスピードアップを図ることができる。

【００３２】ところで、通常、データベースの変更をネ
ットワークを経由して行うには、例えばＯｒａｃｌｅ社
のＮｅｔ８等のミドルウエアが端末毎に必要である。こ
の場合、このインストール作業にかかる工数，バージョ
ンアップにかかる工数が多く、更に、ミドルウエアのラ
イセンスのコスト負担の必要が発生してくる。近年、イ
ントラネットにより、ミドルウエアなしでデータベース
にアクセスする手法が開発されたが、この手法でも、本
実施の形態のように、一度に多くの項目の変更が発生す
る用途にはレスポンスが思わしくない点で不向きであ
る。

【００３３】かかる問題に応じて、この実施の形態で
は、対象となる処理工程に関係するデータのみをサーバ
からダウンロードし、ローカルＰＣ端末で作成，変更及
び削除作業を行う。そして、図３に示す確認画面上で抽
出された変更点のみをイントラネットを通じてサーバへ
送るようにしている。これにより、作成，変更及び削除
作業におけるレスポンスを著しく向上させることができ
る。

【００３４】また、この実施の形態では、事務所２０の
ＰＣ端末２１，２２，２３から、作業指示データベース
１１の内容に加え、必要に応じて、作業指示変更情報デ
ータベース１２の内容も参照することができるが、製造
ライン３０におけるＰＣ端末３１からは、作業指示デー
タベース１１の内容しか参照できないようにしている。

【００３５】また、製品ロットを処理するに際して、ロ
ット処理の順番及びその時点での処理位置についての情
報を格納する製品ロットフローデータベース１３から、
製造ライン３０の作業端末３１に対して、処理すべき製
品ロットの処理工程データが送られる。この処理工程デ
ータに基づき、作業指示データベース１１から送られて
きた作業指示パラメータが作業端末３１に表示される。
製造ライン３０における作業者は、作業端末３１に表示
された作業指示パラメータに従い、必要なパラメータを
処理装置３８に設定して、確認及び検査作業を行う。

【００３６】この作業指示パラメータは、各種の製造工
程について個々に設定され得る。例えばゲート酸化工程
については、酸化時間，ガス流量等の制御値が中心とな
る。また、この作業指示パラメータは、ウエハのセッテ
ィング方法やウエハ面内の確認ポイントのような図のデ
ータ，処理後のウエハを目視確認するための基準となる
画像データ（良品見本や不良品見本）が、ファイル形式
で保存されるものであってもよい。更に、この作業指示
パラメータは、実際の作業方法がビデオ撮影されて作成
された動画データが、動画ファイルとし保存されるもの
であってもよい。この動画ファイルは、必要に応じて、
製造ライン３０の作業端末３１にて参照され、再生表示
されることが可能である。作業者は、各種のファイル形
式で保存された作業指示パラメータに基づき、より効率
的に指示内容を認識することができる。

【００３７】作業指示パラメータがデータであるか若し
くはファイルであるかを判断するに際して、該パラメー
タの文字列に所定の拡張子が含まれているかどうかが判
断される。例えば、作業指示パラメータの文字列が「Ａ
ＡＡ１２３．ｂｍｐ」である場合、そのパラメータはビ
ットマップ方式の画像データと判断される。そして、そ
の画像ファイルを検索され、画像処理ソフト（例えばＷ
ｉｎｄｏｗｓ付属のペイント）が起動されて、その画像
が表示される。

【００３８】また、図６は、図２に示す編集画面上で、
コード欄の「ＳｅｑＦｉｌｅ」に対応するパラメータ
「Ｔｅｓｔ１．ｘｌｓ」をダブルクリックした場合に表
示されるレシピ・シーケンス内容をあらわすデータの画
面である。コード化しにくい内容，コード化しても活用
する必要性が低い内容，視覚的に訴える必要の大きい内
容等については、このようにファイル形式で登録され、
表示される。更に、作業指示パラメータは、作業者が処
理装置３８にて手入力することにより、若しくは、オン
ライン方式で自動的に処理装置３８に送信されることに
より設定されてもよい。また、処理結果についても同様
に、自動的に送信されて、製品ロット処理履歴データベ
ース１４に保存されてもよい。

【００３９】作業指示パラメータは、各製造工程毎に、
種類および量ともに多様であり、例えばフォトリソグラ
フィーの工程とゲート酸化の工程とを比較すれば、処理
装置３８に設定されるべきパラメータも、確認されるべ
き項目も全く異なる。このため、図２に示す編集画面で
は、確認が困難となる場合がある。これに対処すべく、
この実施の形態では、処理工程が複数の群に分けられ、
工程名と共にそれに関連するコード及びデータがデータ
ベースに保存されて、各群毎に、製造ライン３０におけ
る作業端末３１上で表示するフォーマットが作成される
ようになっている。図７には、例えばフォトリソグラフ
ィー工程群についての表示フォーマットの例を示す。か
かるフォーマットの画面を作成し、必要に応じて、群単
位で切換え可能とすることにより、作業者は、一層効率
的に表示された内容を認識することができる。

【００４０】また、作業指示パラメータはデータベース
化されているため、作業端末３１の画面上に表示される
だけでなく、音声認識技術を用いて検索され、更に、そ
の検索結果が音声で作業者に返されるようにすることが
可能である。これに関連して、図８に、本発明の他の実
施の形態に係る半導体製造システムの構成を示す。この
半導体製造システム８０は、前述した実施の形態に係る
半導体製造システム１０と略同じ構成を有しており、図
８に示す実施の形態では、更に、製造ライン３０におい
て、作業端末３１に接続され、また、携帯端末３３と通
信可能な無線ルータ３２が設けられている。作業者は、
検索に際して、携帯端末３３から音声で入力する。無線
ルータ３２を介して作業端末３１に入力された音声は、
音声認識処理により所定のコードとして認識される。こ
のコードに基づき、作業指示データベース中で検索が行
なわれ、その検索結果が、また、無線ルータ３２を介し
て、携帯端末３３から音声で出力される。作業者は、携
帯端末３３により作業端末３１の画面上の表示情報に対
応する音声情報を聞き、この情報に基づき、処理装置３
８の設定を行なう。このようにして、作業端末３１から
遠隔の場所でも、作業端末３１の画面上の表示情報を確
認しつつ、作業を行なうことができる。

【００４１】なお、上記のような音声によるガイダンス
を用いる場合には、そのガイダンスを作業者が聞き逃す
可能性がある。これに対処すべく、重要なパラメータを
発声させる前には、アラーム音で作業者の注意を喚起す
るようにしてもよい。アラーム音の発声の有無は、パラ
メータ毎にフラグとしてデータベースに保存し、他の指
示パラメータと同様に変更管理している。このフラグに
より、アラームだけでなく、特定のパラメータについて
は、複数回繰り返して発声させることや、バイブレーシ
ョン機能を含む携帯端末３３を使用する場合には、バイ
ブレーションで注意を喚起することも可能である。

【００４２】また、一定速度の音声によるガイダンス
は、例えば処理装置３８の表示値を見ながら、その値と
指示パラメータの値を比較するに際して有用であるもの
の、時間が固定されるという問題がある。これに対処す
べく、作業に不慣れな作業者は長い時間を要し、また、
作業に慣れている作業者は、より短い時間で作業を行な
えることから、データベースに処理工程（作業単位）と
作業者の一覧を次の表１に示すように登録しておき、習
熟度に応じて発声速度を変えるようにしてもよい。

【表１】

【００４３】処理完了後、作業指示パラメータに従って
検査された結果は、指示パラメータ（例えば検査に用い
た方法）とともに作業端末３１に入力され、製品ロット
処理履歴データベース１４に保存される。すなわち、製
品ロット処理履歴データベース１４には、製品品種名，
ロットＩＤ，作業条件，工程内検査条件，工程内検査結
果等が、処理工程毎に時系列に保存されることになる。

【００４４】この結果は、製造ライン３０での管理図管
理や、歩留りとの相関による歩留り向上、並びに、不良
発生時の原因究明等に利用される。従来では、工程内検
査結果のみであった（例えば、パターン幅のトレンドを
作成しても、露光量のデータが存在しなかった）ため、
意味がなかったが、露光量とパターン幅のデータを一対
として製品ロットに関連付けることができるため、確実
に管理できるようになる。

【００４５】次の表２は、スパッタの膜厚についての検
査結果と投入パワーの設定値との関係をあらわしてい
る。

【表２】この表２から、１９９９年１１月１日付で投入パワーの
設定値を「６６０」に変更するに伴ない、検査結果によ
る膜厚が厚くなっていることが分かる。図９に示す検査
結果のトレンドデータでは、１１月１日から異常が発生
しているように見えるが、投入パワーの影響を過去のデ
ータの特徴（例えば投入パワーについての１０の増加
は、膜厚の２０の増加につながる）に基づき補正するこ
とにより、図１０に示すような正常なトレンドデータが
取得され得る。

【００４６】また、次の表３は、製品ロットフローデー
タベース１３から抽出した処理フローに対応する処理工
程毎の工程内検査結果を作業指示データベース１１から
抜き出して、ＱＣ工程図として構成し直したものであ
る。

【表３】このＱＣ工程図は、事務所２０のＰＣ端末２１，２２及
び２３から参照される毎に自動的に作成されるため、従
来のように変更管理する必要がなく、リアルタイムに正
確な判断が可能となる。

【００４７】次の表４は、製品ロットフローデータベー
ス１３から抽出した処理フローに対応する処理工程毎の
使用材料及び使用量を作業指示データベース１１から抜
き出して構成し直したものである。

【表４】これにより、１ロット生産するために必要な材料の種類
及び量が把握され得る。更に、このデータを、生産計画
データベース１４の月次生産ロット一覧のデータと組み
合わせることにより、次の表５にような月次材料使用量
集計表が自動的に作成される。

【表５】かかるデータに基づき、在庫管理を精度良く行うことが
可能となる。また、使用量に、工程毎に決まった係数を
掛けることにより、排出量を算出することができる。こ
れは、環境対策に有用なデータとして利用される。生産
管理シミュレータ１８（図１参照）は、実行前に、自動
的に作業指示データベース１１を参照し、品種及び工程
毎の処理時間及び適用装置を読み込み、そのデータに基
づきシミュレーションを行う。これにより、従来人手で
変更していた品種及び工程毎のデータファイルの管理が
不要になり、シミュレーションの精度を向上させること
ができる。

【００４８】なお、本発明は、例示された実施の形態に
限定されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
において、種々の改良及び設計上の変更が可能であるこ
とは言うまでもない。

【００４９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本願の
請求項１に係る発明によれば、複数の製造工程からなる
製造ラインが各種データベースのもとで管理される半導
体製造システムにおいて、上記製造工程毎の作業者に対
する指示項目をコード化するコード化手段と、該コード
化手段によりコード化されてなるコードを、それに対応
する作業指示内容をあらわすデータと共に、ホストコン
ピュータにおける所定のデータベースに登録する登録手
段と、上記製造工程毎に、上記各コードの組合せを、ロ
ーカルコンピュータにおける所定の端末に表示させる表
示手段と、各処理ロット毎に、上記コード及びデータを
ホストコンピュータにおける所定のデータベースに保存
する保存手段と、同時に保存されたデータを端末から検
索する検索手段とを有しているため、作業者に対する各
種指示内容の提示を確実に行ないつつ、より効率的に作
業を実行することができる。

【００５０】また、本願の請求項２に係る発明によれ
ば、上記作業者に対する指示項目として、処理可能な装
置名，レシピ名，装置に対する設定パラメータ，適用す
る品種名，保管制限時間，次工程への搬送方法，最大処
理可能な枚数，装置に対するウエハのセッティング方
法，異常発生時の処置方法，作業上の確認事項，処理時
間，使用する材料及び量，注意事項のうちの少なくとも
１つが含まれるため、種々の指示項目に対応可能であ
り、一層効率的に作業を行なうことできる。

【００５１】更に、本願の請求項３に係る発明によれ
ば、更に、所定のデータベースに登録されたコード及び
データの作成，変更及び削除による編集に際して、登録
情報をホストコンピュータからローカルコンピュータに
転送する転送手段と、上記ローカルコンピュータ上で登
録情報の編集を行うための編集手段と、編集後の変更点
のみをホストコンピュータにおける変更点情報保存用の
データベースに登録することにより、上記作業指示デー
タベースに対する変更点を保存するため、編集作業のレ
スポンスを著しく向上させることができる。

【００５２】また、更に、本願の請求項４に係る発明に
よれば、また、所定のデータベースに登録されたコード
及びデータの作成，変更及び削除に際して、コード単位
で、審査・承認が実行可能であるため、、作成，変更及
び削除後の内容に些細なミスがあっても、差戻しする必
要がなくなり、作成，変更及び削除作業のスピードアッ
プを図ることができる。

【００５３】また、更に、本願の請求項５に係る発明に
よれば、更に、所定のデータベースに登録されたコード
及びデータの作成，変更及び削除に際して、審査・承認
中の内容に基づき編集可能であるため、重複する変更や
矛盾する変更を回避することができる。

【００５４】また、更に、本願の請求項６に係る発明に
よれば、上記製造工程が複数の群に分けられ、各群毎
に、上記コード及びデータの表示が可能であるため、作
業者が、必要に応じて、群単位で切り換えて、一層効率
的に、表示された内容を認識することができる。

【００５５】また、更に、本願の請求項７に係る発明に
よれば、上記データとして、データファイル，動画像フ
ァイル及び静止画像ファイル並びに音声ファイルが含ま
れるため、作業者は、各種のファイル形式で保存された
作業指示パラメータに基づき、より効率的に指示内容を
認識することができる。

【００５６】また、更に、本願の請求項８に係る発明に
よれば、更に、作業者の音声を認識する認識手段と、認
識手段による認識結果に基づき、上記ホストコンピュー
タにおける所定のデータベースから検索された検索結果
に対応するコード及びデータを、音声で作業者に指示す
る音声指示手段を有しているため、作業端末から遠隔の
作業者も、指示内容を認識することができる。

【００５７】また、更に、本願の請求項９に係る発明に
よれば、上記音声指示手段による指示速度が作業者及び
作業内容毎に設定可能であるため、作業者の習熟度に応
じて、より効率的に作業を実施することができる。

【００５８】また、更に、本願の請求項１０に係る発明
によれば、上記音声指示手段が、予め設定されたコード
について、音声指示する直前に、アラーム音，バイブレ
ーション及び光源の点滅の少なくともいずれか一を発生
可能であるため、一層確実に作業者の注意を喚起して、
音声指示の聞き逃しをなくすることができる。

【００５９】また、更に、本願の請求項１１に係る発明
によれば、所定のデータベースに登録されたコード及び
データにより、各製造工程での検査結果を補正する検索
結果補正手段を有しているため、常に、正常なトレンド
を取得することができる。

【００６０】また、更に、本願の請求項１２に係る発明
によれば、品質管理工程図を自動作成する工程図作成手
段を有しているため、品質管理工程図の変更管理の必要
がなくなり、リアルタイムで正確な判断が行なえる。

【００６１】また、更に、本願の請求項１３に係る発明
によれば、使用材料の種類及び量，廃棄物の種類及び量
の計画・実績を自動作成する計画・実績作成手段を有し
ているため、作成された計画・実績に基づき、在庫管理
を精度良く実行することができる。

【００６２】また、更に、本願の請求項１４に係る発明
によれば、更に、品種及び工程毎の処理可能な装置及び
処理時間を抽出する抽出手段と、リアルタイムに生産管
理シミュレータの基礎データに反映する反映手段とを有
しているため、手作業により変更していた品種工程毎の
データファイルの管理が不要となり、シミュレーション
の精度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る半導体製造システ
ムの構成を示す図である。

【図２】上記半導体製造システムの各製造工程につい
て参照される作業条件の編集画面である。

【図３】データベース上で自動的に検出された変更前
の内容との変更点を表示する確認画面を示す。

【図４】作成，変更及び削除後の内容に関する審査及
び承認の担当者を設定する画面を示す。

【図５】審査及び承認の担当者が、作成，変更及び削
除後の内容について、審査及び承認を行う審査及び承認
画面を示す。

【図６】図２に示す編集画面上で、コード欄の「Ｓｅ
ｑＦｉｌｅ」に対応するパラメータ「Ｔｅｓｔ１．ｘｌ
ｓ」をダブルクリックした場合に表示されるレシピ・シ
ーケンス内容をあらわすデータを示す。

【図７】フォトリソグラフィー工程群についての表示
フォーマットを示す。

【図８】本発明の他の実施の形態に係る半導体製造シ
ステムの構成を示す図である。

【図９】検査結果のトレンドデータである。

【図１０】補正後のトレンドデータである。

【符号の説明】

１０半導体製造システム，１１作業指示データベー
ス，１２作業指示変更情報データベース，１３製品
ロットフローデータベース，１４製品ロット処理履歴
データベース，１５生産計画データベース，１８シ
ミュレータ，２０事務所，２１，２２，２３ＰＣ端
末，３０製造ライン，３１作業端末，３２無線ル
ータ，３３携帯端末，３８処理装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の製造工程からなる製造ラインが各
種データベースのもとで管理される半導体製造システム
において、上記製造工程毎の作業者に対する指示項目をコード化す
るコード化手段と、上記コード化手段によりコード化されてなるコードを、
該コードに対応する作業指示内容をあらわすデータと共
に、ホストコンピュータにおける所定のデータベースに
登録する登録手段と、上記製造工程毎に、上記各コードの組合せを、ローカル
コンピュータにおける所定の端末に表示させる表示手段
と、各処理ロット毎に、上記コード及びデータをホストコン
ピュータにおける所定のデータベースに保存する保存手
段と、同時に保存されたデータを端末から検索する検索手段と
を有していることを特徴とする半導体製造システム。
【請求項２】上記作業者に対する指示項目として、処
理可能な装置名，レシピ名，装置に対する設定パラメー
タ，適用する品種名，保管制限時間，次工程への搬送方
法，最大処理可能な枚数，装置に対するウエハのセッテ
ィング方法，異常発生時の処置方法，作業上の確認事
項，処理時間，使用する材料及び量，注意事項のうちの
少なくとも１つが含まれることを特徴とする請求項１記
載の半導体製造システム。
【請求項３】更に、所定のデータベースに登録された
コード及びデータの作成，変更及び削除による編集に際
して、登録情報をホストコンピュータからローカルコンピュー
タに転送する転送手段と、上記ローカルコンピュータ上で登録情報の編集を行うた
めの編集手段と、編集後の変更点のみをホストコンピュータにおける変更
点情報保存用のデータベースに登録することにより、上
記作業指示データベースに対する変更点を保存する保存
手段とを有していることを特徴とする請求項１又は２に
記載の半導体製造システム。
【請求項４】また、所定のデータベースに登録された
コード及びデータの作成，変更及び削除に際して、コー
ド単位で、審査・承認が実行可能であることを特徴とす
る請求項１〜３のいずれか一に記載の半導体製造システ
ム。
【請求項５】更に、所定のデータベースに登録された
コード及びデータの作成，変更及び削除に際して、審査
・承認中の内容に基づき編集可能であることを特徴とす
る請求項１〜４のいずれか一に記載の半導体製造システ
ム。
【請求項６】上記製造工程が複数の群に分けられ、各
群毎に、上記コード及びデータの表示が可能であること
を特徴とする請求項１〜５のいずれか一に記載の半導体
製造システム。
【請求項７】上記データとして、データファイル，動
画像ファイル及び静止画像ファイル並びに音声ファイル
が含まれることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一
に記載の半導体製造システム。
【請求項８】更に、作業者の音声を認識する認識手段
と、上記認識手段による認識結果に基づき、上記ホストコン
ピュータにおける所定のデータベースから検索された検
索結果に対応するコード及びデータを、音声で作業者に
指示する音声指示手段を有していることを特徴とする請
求項１〜７のいずれか一に記載の半導体製造システム。
【請求項９】上記音声指示手段による指示速度が作業
者及び作業内容毎に設定可能であることを特徴とする請
求項８の半導体製造システム。
【請求項１０】上記音声指示手段が、予め設定された
コードについて、音声指示する直前に、アラーム音，バ
イブレーション及び光源の点滅の少なくともいずれか一
を発生可能であることを特徴とする請求項８又は９に記
載の半導体製造システム。
【請求項１１】所定のデータベースに登録されたコー
ド及びデータにより、各製造工程での検査結果を補正す
る検索結果補正手段を有していることを特徴とする請求
項１〜１０のいずれか一に記載の半導体製造システム。
【請求項１２】品質管理工程図を自動作成する工程図
作成手段を有していることを特徴とする請求項１〜１１
のいずれか一に記載の半導体製造システム。
【請求項１３】使用材料の種類及び量，廃棄物の種類
及び量の計画・実績を自動作成する計画・実績作成手段
を有していることを特徴とする請求項１〜１２のいずれ
か一に記載の半導体製造システム。
【請求項１４】更に、品種及び工程毎の処理可能な装
置及び処理時間を抽出する抽出手段と、リアルタイムに生産管理シミュレータの基礎データに反
映する反映手段とを有していることを特徴とする請求項
１〜１３のいずれか一に記載の半導体製造システム。