JP2007206038A - 基板検査システム及び記憶媒体 - Google Patents
基板検査システム及び記憶媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007206038A JP2007206038A JP2006028983A JP2006028983A JP2007206038A JP 2007206038 A JP2007206038 A JP 2007206038A JP 2006028983 A JP2006028983 A JP 2006028983A JP 2006028983 A JP2006028983 A JP 2006028983A JP 2007206038 A JP2007206038 A JP 2007206038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- format
- output
- result
- data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】GMS10は、ICチップの電気的検査を行う検査プローバ11及びディスプレイ39を有するPC44を備え、PC44は、利用者の所望のタイミングでディスプレイ39にGMS編集ツール50を表示し、GMS編集ツール50のフォーマット入力部51において編集された検査結果のフォーマットを表すデータを受け付け、さらに、受け付けた検査結果のフォーマットを表すデータをスクリプトに変換して検査プローバ11に送信し、検査プローバ11は、送信されたスクリプトを出力用プログラムに変換し、該出力用プログラムに応じてICチップの検査結果を出力する。
【選択図】図4
Description
10 GMS
11 検査プローバ
34 中央処理部
39 ディスプレイ
44 PC
50 GMS編集ツール
51 フォーマット入力部
63 「識別」列
64 「データ」列
65 「書式」列
66 「データ長」列
67 「コメント」列
70 センタチップ
71 基点チップ
Claims (12)
- 基板上に形成された半導体デバイスを検査し、且つ前記半導体デバイスの検査結果を出力する検査装置を備える基板検査システムにおいて、
前記出力される検査結果の形式を編集する出力形式編集装置を備え、
前記検査装置は前記出力形式編集装置において編集された検査結果の形式に基づいて前記検査結果を出力することを特徴とする基板検査システム。 - 前記出力形式編集装置は、前記出力される検査結果の形式をテーブル形式のデータとして受け付け、且つ該受け付けたテーブル形式のデータをスクリプトに変換することを特徴とする請求項1記載の基板検査システム。
- 前記出力される検査結果の形式に関連して編集される項目は、検査結果の出力に関する制御方法、検査結果のデータ長及び検査結果のデータ書式を少なくとも含むことを特徴とする請求項1又は2記載の基板検査システム。
- 前記制御方法に関する関数が予め設定されていることを特徴とする請求項3記載の基板検査システム。
- 前記検査装置と前記出力形式編集装置とは別体であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板検査システム。
- 前記検査装置と前記出力形式編集装置とは一体であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板検査システム。
- 前記出力形式編集装置は前記検査装置が保有するデータの出力形式を編集し、
前記検査装置は前記出力形式編集装置において編集された出力形式に基づいて前記検査装置が保有するデータを出力することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の基板検査システム。 - 基板上に形成された半導体デバイスを検査し、且つ前記半導体デバイスの検査結果を出力する検査装置を備える基板検査システムにおいて前記検査結果の出力方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、前記プログラムは、
前記出力される検査結果の形式を編集する出力形式編集モジュールと、
前記編集された検査結果の形式に基づいて前記検査結果を出力する検査結果出力モジュールとを有することを特徴とする記憶媒体。 - 前記出力形式編集モジュールは、前記出力される検査結果の形式をテーブル形式のデータとして受け付け、且つ該受け付けたテーブル形式のデータをスクリプトに変換することを特徴とする請求項8記載の記憶媒体。
- 前記出力される検査結果の形式に関連して編集される項目は、検査結果の出力に関する制御方法、検査結果のデータ長及び検査結果のデータ書式を少なくとも含むことを特徴とする請求項8又は9記載の記憶媒体。
- 前記制御方法に関する関数が予め設定されていることを特徴とする請求項10記載の記憶媒体。
- 前記出力形式編集モジュールは前記検査装置が保有するデータの出力形式を編集し、前記検査結果出力モジュールは前記出力形式編集モジュールにおいて編集された出力形式に基づいて前記検査装置が保有するデータを出力することを特徴とする請求項8乃至11のいずれか1項に記載の記憶媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006028983A JP4954561B2 (ja) | 2006-02-06 | 2006-02-06 | 基板検査システム及び記憶媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006028983A JP4954561B2 (ja) | 2006-02-06 | 2006-02-06 | 基板検査システム及び記憶媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007206038A true JP2007206038A (ja) | 2007-08-16 |
JP4954561B2 JP4954561B2 (ja) | 2012-06-20 |
Family
ID=38485614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006028983A Active JP4954561B2 (ja) | 2006-02-06 | 2006-02-06 | 基板検査システム及び記憶媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4954561B2 (ja) |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02217936A (ja) * | 1989-02-20 | 1990-08-30 | Nec Corp | オンライン試験方式 |
JPH09330959A (ja) * | 1996-06-08 | 1997-12-22 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
JPH10246753A (ja) * | 1997-03-04 | 1998-09-14 | Ando Electric Co Ltd | Ic試験装置およびそのプログラム記録媒体 |
JPH11281704A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Ando Electric Co Ltd | Icテスト装置の試験データ処理装置 |
JP2000133686A (ja) * | 1998-10-26 | 2000-05-12 | Advantest Corp | 被試験デバイスの不良ナビゲーションを行う不良解析装置 |
JP2001118396A (ja) * | 1999-10-15 | 2001-04-27 | Nec Corp | 半導体検査システム及び方法並びに検査システム用プログラムを記録した記録媒体 |
JP2002043199A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-02-08 | Jeol Ltd | 欠陥発生最小化システム及び欠陥発生最小化方法 |
JP2002050555A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-15 | Ricoh Co Ltd | 半導体製造システム |
JP2002110754A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | ウエハ表面情報処理装置 |
JP2002214294A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-31 | Nec Corp | 半導体装置の検査方法及び検査装置 |
JP2004094489A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Kawasaki Steel Systems R & D Corp | 画面開発方法及び装置 |
JP2005078130A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-24 | Mitsubishi Electric Corp | 検査装置及びプログラミングツール |
-
2006
- 2006-02-06 JP JP2006028983A patent/JP4954561B2/ja active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02217936A (ja) * | 1989-02-20 | 1990-08-30 | Nec Corp | オンライン試験方式 |
JPH09330959A (ja) * | 1996-06-08 | 1997-12-22 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
JPH10246753A (ja) * | 1997-03-04 | 1998-09-14 | Ando Electric Co Ltd | Ic試験装置およびそのプログラム記録媒体 |
JPH11281704A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Ando Electric Co Ltd | Icテスト装置の試験データ処理装置 |
JP2000133686A (ja) * | 1998-10-26 | 2000-05-12 | Advantest Corp | 被試験デバイスの不良ナビゲーションを行う不良解析装置 |
JP2001118396A (ja) * | 1999-10-15 | 2001-04-27 | Nec Corp | 半導体検査システム及び方法並びに検査システム用プログラムを記録した記録媒体 |
JP2002043199A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-02-08 | Jeol Ltd | 欠陥発生最小化システム及び欠陥発生最小化方法 |
JP2002050555A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-15 | Ricoh Co Ltd | 半導体製造システム |
JP2002110754A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | ウエハ表面情報処理装置 |
JP2002214294A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-31 | Nec Corp | 半導体装置の検査方法及び検査装置 |
JP2004094489A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Kawasaki Steel Systems R & D Corp | 画面開発方法及び装置 |
JP2005078130A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-24 | Mitsubishi Electric Corp | 検査装置及びプログラミングツール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4954561B2 (ja) | 2012-06-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107038697B (zh) | 用于诊断半导体晶圆的方法和系统 | |
JP2009252853A (ja) | アライメント方法、針先位置検出装置及びプローブ装置 | |
JP2000311930A (ja) | 半導体検査装置と半導体検査装置におけるウエハ上の各ダイの属性を指定する方法 | |
WO2022012048A1 (zh) | 一种信号测试点检测方法、系统及相关组件 | |
CN110494965B (zh) | 检查系统、晶圆图显示器、晶圆图显示方法以及存储介质 | |
TW201500747A (zh) | 自動化測量系統及方法 | |
US7020582B1 (en) | Methods and apparatus for laser marking of integrated circuit faults | |
JP2002016115A (ja) | 半導体パラメトリック試験装置 | |
JP5438572B2 (ja) | プローブカード検査装置、検査方法及び検査システム | |
JP4842782B2 (ja) | 欠陥レビュー方法および装置 | |
JP2007218635A (ja) | プローブカード | |
JP4954561B2 (ja) | 基板検査システム及び記憶媒体 | |
US7991219B2 (en) | Method and apparatus for detecting positions of electrode pads | |
JP4247076B2 (ja) | 基板検査システム、及び基板検査方法 | |
JP2005150224A (ja) | プローブ情報を用いた半導体検査装置及び検査方法 | |
TWI380036B (ja) | ||
US7243039B1 (en) | System and method for determining probing locations on IC | |
JPH08155894A (ja) | プリント基板穴位置穴径検査機 | |
JP2003279624A (ja) | 電子部品試験装置 | |
JP2003194522A (ja) | プリント基板穴位置穴径検査機 | |
JP2006318965A (ja) | 半導体デバイスの検査方法および半導体デバイス検査装置 | |
JP2004342676A (ja) | 半導体ウエハ検査方法および半導体ウエハ検査装置 | |
KR100716057B1 (ko) | 프로빙 검사장치용 맵 형성 시스템 및 이를 이용하는 맵형성 방법 | |
JP2014163710A (ja) | 基板処理装置 | |
Liu et al. | PrintedCircuit Board (PCB) Probe Tester (PCBPT)-a Compact Desktop Systemthat Helps with Automatic PCBDebugging |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100409 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100420 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110426 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110624 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120306 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120314 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4954561 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150323 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |