JPH09330959A

JPH09330959A - 検査装置

Info

Publication number: JPH09330959A
Application number: JP8168268A
Authority: JP
Inventors: Yukihiko Fukazawa; 幸彦深澤; Yoshito Marumo; 芳人丸茂
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1996-06-08
Filing date: 1996-06-08
Publication date: 1997-12-22

Abstract

(57)【要約】【課題】ユーザがプリンタフォーマットを変更する場
合には、その都度プリンタプログラムを書き換えなくて
はならず、書き換えに多大な労力と時間が必要であっ
た。【解決手段】本プローブ装置１０は、複数種の検査結
果及び各検査結果に関連する複数の管理情報を印字用紙
Ｐの所定領域に印字するプリンタ２５と、上記所定領域
に対応する画面１６１Ｄを表示する表示装置１６と、上
記各管理情報に対応して設定された識別記号Ｓを表示装
置１６に表示することを指令する移動キー２６２Ｃとを
備え、上記移動キー２６２Ｃの指令により所望する識別
記号Ｓを所望する配列で配列して上記画面１６１上で印
字フォーマットを編集し、この編集内容に即した印字フ
ォーマットで上記印字用紙に印字することを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数種の検査結果
及び各検査結果に関連する複数の管理情報をプリンタで
印刷する際に、複数種の管理情報の中から任意の管理情
報を任意に選択して印刷できる検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の検査装置、例えば半導体ウェーハ
の電気的検査を行うプローブ装置１０は、図９、図１０
に示すように、カセットＣ内に収納された半導体ウェー
ハＷを載置するカセット載置部１１及びこのカセット載
置部１１の半導体ウェーハＷを搬送するピンセット１２
とを備えたローダ部１３と、このローダ部１３のピンセ
ット１２を介して搬送された半導体ウェーハＷを検査す
るプローバ部１４と、このプローバ部１４及びローダ部
１３を制御するコントローラ１５と、このコントローラ
１５を操作する操作パネルを兼ねる表示装置１６とを備
えて構成されている。

【０００３】また、上記ローダ部１３にはオリエンテー
ションフラットを基準にして半導体ウェーハＷの向きを
合わせる、いわゆるプリアライメントを行うサブチャッ
ク１７が配設されている。従って、ピンセット１２はカ
セットから半導体ウェーハを搬出し、サブチャック１７
でプリアライメントした後、半導体ウェーハＷをプロー
バ部１４へ搬送するようになっている。

【０００４】また、プローバ部１４には、半導体ウェー
ハＷを載置するＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動可能なメイ
ンチャック１８と、このメインチャック１８上に載置さ
れた半導体ウェーハＷを検査位置に正確に位置合わせす
るアライメントブリッジ１９Ａ等を有するアライメント
機構１９と、アライメント機構１９により位置合わせさ
れた半導体ウェーハＷの電気的検査を行うためのプロー
ブ針２０Ａを有するプローブカード２０とが配設されて
いる。また、プローバ部１４にはテストヘッド２１が旋
回可能に配設され、プローバ部１４上に旋回したテスト
ヘッド２１を介してプローブカード２０とテスタ（図示
せず）間を電気的に接続し、テスタからの所定の信号を
プローブカード２０を介してメインチャック１８上の半
導体ウェーハＷにおいて授受し、半導体ウェーハＷに形
成された複数のＩＣチップの電気的検査をテスタによっ
て順次行うようになっている。

【０００５】ところで、半導体ウェーハＷにはロジック
回路やメモリ回路等からなるＩＣチップが形成される
が、その回路の種類によって検査内容が異なる。従っ
て、テスタは半導体ウェーハの検査内容に応じてそれぞ
れの検査に即した信号を送信し、プローブ装置１０はそ
れぞれの信号をプローブ針２０Ａを介して半導体ウェー
ハＷのＩＣチップの電極に送信し、所定の電気的検査を
確実に行うようにしてある。そして、検査結果はプロー
ブ装置１０の記憶装置（図示せず）に記憶させている。

【０００６】上記記憶装置に記憶された検査結果及び検
査結果に関連する管理情報（良品チップ数、不良品チッ
プ数、歩留り等の情報）は必要に応じて表示装置１６の
表示画面１６１に出力したりプリンタ（図示せず）に出
力してそれぞれの検査結果を確認し、検討すると共に管
理情報として保存できるようにしてある。出力すべき検
査結果及びその出力順序は記憶装置に予め登録されたプ
ログラムによって設定されており、この設定内容に従っ
て検査結果及びその出力順序を一定のフォーマットで表
示画面１６１及びプリンタに出力するようにしてある。
例えば、半導体ウェーハＷについて検査を行い、その検
査結果として、ウェーハ番号、半導体ウェーハ中の良品
チップ数、不良品チップ数、テストチップ数及び歩留り
に関するデータを管理情報としてプリントアウトする場
合には、印字タイトルとして「ウェーハ番号△良品数△
不良品数△テスト数△歩留り」（△はスペースを示す）
と予めプログラムされている。

【０００７】従って、プローブ装置１０で行った検査結
果を管理情報としてプリントアウトする場合には、プロ
ーブ装置１０を始動した後、例えば図１１の（ａ）に示
すように測定開始スイッチをＯＮすると（Ｓ１）、まず
上述のタイトル（「ウェーハ番号△良品数△不良品数△
テスト数△歩留り」）が例えば図８のＰ１で示すように
印字される（Ｓ２）。次いで、搬送機構によりローダ部
１３からプローバ部１４のメインチャック１８へ半導体
ウェーハＷをロードすると（Ｓ３）、メインチャック１
８が駆動して半導体ウェーハＷの位置合わせを行った
後、半導体ウェーハＷの全ＩＣチップについて検査を開
始し、その検査結果を記憶装置へ記録する（Ｓ４）。１
枚の半導体ウェーハＷの検査が終了する度毎に、その半
導体ウェーハＷ内のテスト結果の集計を上記タイトルの
配列に従って図８のＰ２で示すように印字する（Ｓ
５）。そして、あるロットの全ての半導体ウェーハＷに
ついて検査が終了したか否かを判断し（Ｓ６）、検査す
べき半導体ウェーハＷが残っていると判断すれば、検査
を終了した半導体ウェーハＷをメインチャック１８から
アンロードし（Ｓ７）、Ｓ３の処理へ移行する。そし
て、あるロットの全ての半導体ウェーハＷについて検査
が終了するまでＳ３からＳ７の処理を繰り返す。そし
て、Ｓ６の処理において全ての半導体ウェーハＷについ
て検査が終了したと判断すれば、プローブ装置１０内で
全ての半導体ウェーハＷに関する検査データを集計し、
その集計結果を上記タイトルに即した内容で印字する
（Ｓ８）。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プローブ装置の場合には、上述したようにプリンタによ
り出力されるフォーマットはプログラムによって予め設
定し、常に一定のフォーマットで検査結果及び検査結果
に関連する管理情報をプリントアウトするようにしてあ
る。そのため、このプログラムは、例えば、図１１の
（ｂ）で示す印字処理フローチャートに従って印字タイ
トルが作成されている。従って、例えば不良品数を良品
数よりも先に印字したいという要望がユーザからあれ
ば、その要望がある度毎にプログラムを図１１の（ｂ）
に示す印字処理フローに従って書き換えて不良品数を良
品数よりも先に配列する変更をしなければならないとい
う課題があった。しかも、プログラムの変更はプローブ
装置１０のオペレータには難しいため、ユーザはメーカ
に印字仕様を提示し、メーカではその仕様に従ったプロ
グラムに変更しなくてはならず、短時間でプログラムを
変更することができないばかりか、プログラム変更、検
査、プログラム輸送等に多大な時間と経費を掛けなくて
はならないという課題があった。

【０００９】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、予め登録されているプログラムを書き換え
ることなく、プリンタフォーマットを自由に編集、変更
して所望のプリンタフォーマットを低コストで且つ迅速
に作成することができる検査装置を提供することを目的
としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の検査装置は、被検査体上に形成された電気回路の電気
的検査を行う検査装置において、複数種の検査結果及び
各検査結果に関連する複数の管理情報を印字用紙の所定
領域に印字するプリンタと、上記所定領域に対応する画
面を表示する表示手段と、上記各管理情報に対応して設
定された識別記号を上記表示手段に表示することを指令
する指令手段とを備え、上記指令手段の指令により所望
する上記識別記号を所望する配列で配列して上記画面上
で印字フォーマットを編集し、この編集内容に即した印
字フォーマットで上記印字用紙に印字することを特徴と
するものである。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図８に示す実施形態
に基づいて本発明を説明する。本実施形態のプローブ装
置１０は、図９、図１０に示すように、半導体ウェーハ
Ｗをロード、アンロードするローダ部１３と、このロー
ダ部１３からメインチャック１８上にロードされた半導
体ウェーハＷを検査するプローバ部１４と、これら両者
１３、１４を制御するコントローラ１５と、このコント
ローラ１５を操作する操作パネルを兼ねる表示装置１６
とを備え、ハード的には従来のものに準じて構成されて
いる。従って、ハード的な構成については従来と同一ま
たは相当部分には同一符号を附してその説明を省略し、
本発明の特徴を中心に説明する。

【００１２】そして、本実施形態では、プローブ装置１
０による検査結果及び検査結果に関連する管理情報（以
下、単に「検査結果及び管理情報」と称す。）を印字用
紙に印字する際に、図１〜図３に示すように印字すべき
検査結果及び管理情報を上記コントローラ１５を介して
表示装置１６の表示画面上で自由に編集し、プリンタフ
ォーマットを変更することができるようにしてある。上
記コントローラ１５は、例えば図４に示すように、通
常、中央演算処理装置（ＣＰＵ）２２と、主記憶装置２
３と、補助記憶装置２４を備えている。主記憶装置２３
は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなり、プローブ装置１０の駆
動に必要な基本的なプログラムや検査に必要な基本的な
固定データ等を記憶すると共にＣＰＵ２２の制御下で各
プログラムを実行して半導体ウェーハの検査を行い、検
査結果及び管理情報を記憶するようにしてある。また、
補助記憶装置２４は、固定ディスク装置やフォロッピー
ディスク等からなり、種々のユーティリティプログラム
等を記憶したり、主記憶装置２３から転送された検査結
果及び管理情報を記憶したりするようにしてある。そし
て、検査装置１０にはプリンタ２５が付設され、例えば
主記憶装置２３のＲＯＭに格納されたプログラムに従っ
て検査結果及び管理情報を予め設定されたプリンタフォ
ーマットで印字用紙に印字するようにしてある。

【００１３】さて、本実施形態のプローブ装置１０の場
合には、上記プログラムとは別に、図１〜図３に示すよ
うに表示画面１６１上でプリンタフォーマットを所望の
フォーマットとして編集できるプログラムがフォーマッ
トエディタとして補助記憶装置２４に格納されている。
このフォーマットエディタは、表示画面１６１に表示さ
れたプリンタエディタを選択するキー１６１Ａ（図４参
照）をタッチ操作することで選択できるようにしてあ
る。そして、フォーマットエディタにより編集すべき検
査結果及び管理情報は図１、図２に示すように表示画面
１６１のウィンドウ上に複数の管理項目（例えば図１に
表示された「ウェーハ番号」、「良品数」、「不良品
数」等の項目）として表示し、表示画面１６１上で所望
の管理項目を選択し、印字用紙に出力するに際しての文
字、文字数及びその配置について編集できるようにして
ある。従って、フォーマットエディタを用いれば、プロ
グラムで設定されたプリンターフォーマットに制限され
ることなく、所望のプリンタフォーマットを低コストで
且つ短時間で変更、編集することができ、従来のように
プリンタフォーマットを変更する度毎にプログラムを書
き換える必要がない。

【００１４】次に、上記フォーマットエディタについて
説明する。上記フォーマットエディタ２６は、図５に示
すように、検査結果及び管理情報のうち所望の管理項目
に付与するタイトルとして印字する文字を適宜選択して
印字用紙のタイトルとして印字する文字及びその印字用
紙上での配置を編集するタイトル印字編集手段２６１
と、各半導体ウェーハの測定終了毎に印字用紙に印字す
る各管理項目に対応する数値データについて印字用紙に
印字する桁数及びその配置を各管理項目に対応して付与
された識別記号Ｓを用いて編集するウェーハ毎印字編集
手段２６２と、全ての半導体ウェーハの測定終了後に印
字用紙に印字する管理項目に対応する数値データについ
て印字用紙に印字する桁数及びその配置を編集する集計
印字編集手段２６３とを有し、フォーマットエディタ２
６によって編集された管理項目に関する半導体ウェーハ
毎のデータ及び全半導体ウェーハの集計データを表示画
面１６１及びプリンタ２５へ出力するようにしてある。

【００１５】ところで、上記検査の種類としては例えば
ＩＣチップの断線、短絡検査等の種々の機能検査や特性
検査等があり、検査結果としてはＩＣチップの良否があ
り、検査結果に関連する管理情報としては、例えば、１
枚の半導体ウェーハ内の良品チップ数（ＰＡＳＳ）、不
良品チップ数（ＦＡＩＬ）、各カテゴリに対応したチッ
プ数（ＣＡＴＥＧＯＲＹ）、及びテストチップの総数
（ＴＥＳＴ）の他、歩留り、不良品率、良品率の平均
値、あるいは良品の分散値等の統計的データが管理項目
として定義されている。そして、本実施形態では、例え
ば、カセットの何枚目のウェーハかを示すウェーハ番号
（ＷＡＦＥＲＮｏ.）に対しては「Ｗ」、良品チップ数
（ＰＡＳＳ）に対しては「Ｐ」、不良品チップ数（ＦＡ
ＩＬ）に対しては「Ｆ」、欠陥の度合いに応じた用途分
類したカテゴリ（ＣＡＴＥＧＯＲＹ）対しては
「Ｃ_i」、及びテストチップ数（ＴＥＳＴ）に対しては
「Ｔ」という識別記号Ｓをそれぞれ付与してあり、各識
別記号Ｓに該当する検査結果及び管理情報のデータを記
憶装置の対応する記憶領域番地から読み出してプリンタ
２５及び表示画面１６１へ出力するようにしてある。

【００１６】また、各識別記号Ｓの後にはそれぞれに該
当する数値データの最大桁数を入力してそれぞれの数値
データの大きさを指定するようにしてある。例えば検査
する半導体ウェーハの総数が２５枚であれば、識別記号
Ｓである「Ｗ」の後に「（２）」と入力して数値データ
の最大桁数が２桁であり、ウェーハＮｏ.を例えば２桁
の数字「１２」として表示するようにしてある。また、
各半導体ウェーハの良品チップ数に対しては「Ｐ」の後
に「（４）」と入力してその数値データを例えば４桁の
数字「１２３４」として表示するようにしてある。そし
て、識別記号Ｓとして「Ｗ（２）」、「Ｐ（４）」を設
定した場合には、ＣＰＵ２２では識別記号Ｓである「Ｗ
（２）」、「Ｐ（４）」をそれぞれ解読し、例えばウェ
ーハ番号１２の半導体ウェーハに対しては２桁で「半導
体ウェーハの番号」を「１２」と表示画面１６１に表示
すると共にプリンタ２５でプリントアウトし、その半導
体ウェーハの良品チップ数の数値データが格納された主
記憶装置２３の記憶領域から良品チップ数の数値データ
を読み取り、その個数である「１２３４」を表示画面１
６１へ出力すると共にプリンタ２５からプリントアウト
するようにしてある。

【００１７】更に、フォーマットエディタ２６について
詳述する。上記タイトル印字編集手段２６１は、図５に
示すように、複数の管理項目に付与するタイトルとして
印字する文字を記憶したメニューテーブル２６１Ａと、
このメニューテーブル２６１Ａの各管理項目に付与する
タイトルとして印字する文字を表示画面１６１のメニュ
ー表示部１６１Ｂ及びタイトル表示部１６１Ｃに表示し
た後、一連の編集作業処理を実行するようにＣＰＵ２２
に指令するプログラムを有するタイトル編集プログラム
部２６１Ｂとからなっている。

【００１８】上記タイトル印字編集手段２６１を用いて
タイトルを設定する場合について図１を参照しながら説
明する。それにはまず、図１のタイトル表示部１６１Ｃ
に示す印字位置指示キー１６１Ｄをタッチ操作し、タイ
トル表示部１６１Ｃ内のカーソルをタイトルを印字した
い位置に移動させ、次にメニュー表示部１６１Ｂの項目
移動キー２６１Ｃをタッチ操作して管理項目に付与され
たタイトルとして印字する文字（例えば「ウェーハ番
号」）を選択することでその管理項目をタイトル表示部
１６１Ｃのカーソルの位置に表示できるようにしてあ
る。次に、メニュー表示部１６１Ｂの項目確定キー２６
１Ｄをタッチ操作することで先に印字位置指示キー１６
１Ｄによって指示されたカーソル位置でのプリンタフォ
ーマットのタイトル位置に印字すべき文字が記録、設定
され、引き続き印字位置指示キー１６１Ｄによる次の印
字位置の設定が可能となるようにしてある。以下同様に
して「良品数」、「不良品数」、「テスト数」及び「歩
留り」をタイトル表示部１６１Ｃに表示し、終了キー２
６１Ｅをタッチ操作することで図２に示すようにタイト
ルが確定し、このタイトルフォーマットを図３に示すフ
ォーマットデータ３１０として補助記憶装置２４に記憶
した後ウェーハ毎印字編集画面に切り替わるようにして
ある。また、このタイトル印字編集手段２６１では所望
のタイトルとして印字する文字がなければ、カーソルを
キー入力枠に合わせることにより所望の文字をキー入力
し、その入力した文字をメニューテーブル２６１Ａに格
納できるようにしてある。タイトル印字編集手段２６１
によって編集されたタイトル印字用の文字は、フォーマ
ットデータ３１０として図３に示す形式で補助記憶装置
２４に記憶するようにしてある。

【００１９】また、上記ウェーハ毎印字編集手段２６２
は、図５に示すように、上記各管理項目に対応した識別
記号Ｓを記憶したメニューテーブル２６２Ａと、このメ
ニューテーブル２６２Ａの各識別記号Ｓを表示画面１６
１のメニュー表示部１６１Ｂ及びウェーハ毎印字編集画
面表示部１６１Ｅに表示した後、一連の編集作業処理を
実行するようにＣＰＵ２２に指令するプログラムを有す
るウェーハ毎印字編集プログラム部２６２Ｂとからなっ
ている。

【００２０】上記ウェーハ毎印字編集手段２６２を用い
てウェーハ毎に検査結果の印字内容を設定する場合につ
いて図２を参照しながら説明する。この場合にもタイト
ルを編集する場合と同様に識別記号移動キー２６２Ｃを
タッチ操作して識別記号Ｓ（例えばウェーハ番号であれ
ば「Ｗ］）を選択した後、識別記号確定キー２６２Ｄを
タッチ操作することでウェーハ毎印字編集画面表示部１
６１Ｅに識別記号Ｓである「Ｗ」を設定するようにして
ある。そして、識別記号Ｓである「Ｗ」の後に、桁数入
力キー２６２Ｅをタッチ操作して桁数を設定し、以下、
「良品数」、「不良品数」、「テスト数」及び「歩留
り」に対応する識別記号Ｓをウェーハ毎印字編集画面表
示部１６１Ｅに表示し、終了キー２６２Ｆをタッチ操作
することで図２に示すようにウェーハ毎に印字する管理
項目の識別記号Ｓの内容が確定するようにしてある。
尚、印字位置はウェーハ毎印字編集画面表示部１６１Ｅ
の印字位置指示キー１６１Ｄにより設定できるようにし
てある。そして、フォーマットエディタ２６により編集
されたデータの配列は、図３に示すフォーマットデータ
３２０として補助記憶装置２４に格納するようにしてあ
る。尚、図３において「ＳＰ２」はスペースが２個入る
ことを意味している。

【００２１】また、上記集計印字編集手段２６３は、メ
ニューテーブル２６３Ａと、集計印字編集プログラム２
６３Ｂからなっている。集計印字編集手段２６３の機能
はウェーハ毎印字編集手段２６２と同様であり、編集さ
れたデータの配列は、図３に示すようにフォーマットデ
ータ３３０として補助記憶装置２４に記憶するようにし
てある。

【００２２】上述のようにしてプリンタフォーマットを
編集した後、プローブ装置１０を始動させて図１１の
（ａ）に示すフローで半導体ウェーハＷの検査を行う
と、上述のようにして設定したプリンタフォーマットで
各半導体ウェーハの管理情報及び検査結果をウェーハ毎
印字編集表示部１６１Ｅ及び印字用紙Ｐの所定領域（図
８参照）に出力する。

【００２３】以下、本実施形態におけるプリンタエディ
タ２６で編集されたタイトルの印字処理の詳細について
図６を参照しながら説明する。図６は本実施形態におけ
る図１１の（ａ）のタイトル印字処理Ｓ２の詳細を示す
プログラムのフロー（以下、「プログラムフロー」称
す。）である。まず、タイトル印字編集手段２６１を用
いてタイトルを編集し、補助記憶装置２４に記憶したフ
ォーマットデータのタイトルデータ３１０の文字位置を
示すポインタを「０」に設定する（Ｓ１１）。次いで、
タイトルデータ３１０の文字列を先頭からポインタの指
示する位置の文字を取り込む（Ｓ１２）。取り込んだ文
字が文字列の最終位置に位置するデータ「￥ｏｆｆ」と
なっているか否かを判定し、最終位置を示していれば、
処理を終了する（Ｓ１６）。最終位置でなければ取り込
んだ文字を印字用紙に印字する（Ｓ１４）。次に、ポイ
ンタを一つ加算し、文字列の次の位置を指示させる（Ｓ
１５）。以降文字列の最後のポインタにより指示される
まで処理Ｓ１２から処理Ｓ１５までを繰り返す。

【００２４】上述したプログラムフローは、従来の技術
について説明した図１１の（ｂ）に相当するプログラム
フローである。上述した本実施形態のプログラムと従来
のプログラムとを比較すれば明らかなように、本実施形
態では、タイトルに印字する文字が変更になってもプロ
グラムを変更するすることなくフォーマットデータのタ
イトルデータ３１０を変更すれば良いことが判る。

【００２５】次いで、プリンタエディタ２６で編集され
たウェーハ毎のテスト結果の印字処理の詳細について図
７を参照しながら説明する。図７は本実施形態における
図１１の（ａ）のテスト結果の印字（ウェーハ毎印字）
処理Ｓ５の詳細を示すプログラムフローである。それに
は、ウェーハ毎印字編集手段２６２を用いてウェーハ毎
のテスト結果を編集し、補助記憶装置２４に記憶したフ
ォーマットデータのウェーハ毎印字データ３２０の最初
のデータを取り込む（Ｓ２１）。尚、データとデータの
区切りは図３の○で囲んだ記号３４０で定義されてい
る。次に、取り込んだデータがスペースを示す「ＳＰ」
であれば「ＳＰ］に続く数字が示す個数だけスペースを
印字する（Ｓ２３）。そうでなければデータの最後を示
すデータ「￥ｏｆｆ」となっているか否かを判定し、
「￥ｏｆｆ」であれば処理を終了する（２７）。「￥ｏ
ｆｆ」でなければ取り込んだデータが示す管理項目の数
値データを主記憶装置２３または補助記憶装置２４から
取り込み、指定されている桁数分プリンタ２５で印字す
る（Ｓ２５）。次に、次のフォーマットデータのウェー
ハ毎印字データ３２０内の次のデータを取り込む（Ｓ２
６）。以降取り込んだデータがデータの最後を示すまで
Ｓ２２からＳ２６までの処理を繰り返す。また、全半導
体ウェーハに対する集計データの印字処理はここで説明
したプログラムフローの処理に準じて実行される。

【００２６】以上説明したように本実施形態によれば、
複数種の検査結果及び各管理情報を印字用紙Ｐの所定領
域に印字するプリンタ２５と、上記所定領域に対応する
画面を表示する表示装置１６と、上記各管理情報に対応
して設定された識別記号Ｓを表示装置１６の表示画面１
６１に表示することを指令するコマンドを有するフォー
マットエディタ２６とを備え、上記フォーマットエディ
タ２６の指令により所望する識別記号Ｓを所望する配列
で表示画面１６１に表示して印字用紙Ｐに印字する内容
を表示画面１６１上で編集するようにしたため、予め登
録されているプログラムを書き換えることなく、プリン
タフォーマットを自由に編集、変更して所望の管理項目
を自由に取り込み、所望のプリンタフォーマットを表示
画面１６１上で迅速に作成することができる。しかも、
オペレータが簡単にプリンタフォーマットを自由に編
集、変更できるため、短時間且つ低コストでプリンタフ
ォーマットを変更することができる。

【００２７】尚、上記実施形態では表示画面１６１に表
示されたタッチパネルを用いてプリンタフォーマットを
編集する場合について説明したが、本発明は上記実施形
態に何等制限されるものではなく、例えば、編集方法と
してマウスを用いてポインタを各管理項目等へ移動させ
たり、キーボードを用いてカーソルを各管理項目等へ移
動させたりして表示画面上でプリンタフォーマットを編
集することもできる。要は、表示画面上でプリンタフォ
ーマットを編集する手段を講じた検査装置であれば本発
明に包含される。

【００２８】

【発明の効果】本発明によれば、予め登録されているプ
ログラムを書き換えることなく、プリンタフォーマット
を自由に編集、変更して所望のプリンタフォーマットを
低コストで且つ迅速に作成することができる検査装置を
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態であるプローブ装置の表示
装置に印字タイトルを編集する画面を表示した状態を示
す正面図である。

【図２】図１に示すプローブ装置の表示装置に印字タイ
トルに即した半導体ウェーハ毎の印字内容を編集する画
面を表示した状態を示す正面図である。

【図３】プリンタフォーマットのデータ配列の一例を示
す配列図である。

【図４】本実施形態のプローブ装置示す構成図である。

【図５】本実施形態のフォーマットエディタとその周辺
機器との関係を示すブロック図である。

【図６】本実施形態におけるタイトル印字処理の詳細を
示すプログラムフローである。

【図７】テスト結果の印字（ウェーハ毎印字）処理Ｓ５
の詳細を示すプログラムフローである。

【図８】フォーマットエディタで編集された内容でプリ
ントアウトされた印字用紙を示す図である。

【図９】プローブ装置のプローバ部を破断して示す正面
図である。

【図１０】図９に示すプローブ装置の内部を示す平面図
である。

【図１１】（ａ）は本実施形態のプローブ装置における
プリンタプログラムの流れを示すフローチャート、
（ｂ）は従来のプリンタフォーマットをプログラミング
する場合の流れを示すフローチャートである。

【符号の説明】

１０プローブ装置１６表示装置（表示手段）２５プリンタ２６フォーマットエディタ１６１表示画面２６１Ｃ項目移動キー（指令手段）２６１Ｄ項目確定キー（指令手段）２６２Ｃ項目移動キー（指令手段）Ｗ半導体ウェーハ（被検査体）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体上に形成された電気回路の電気
的検査を行う検査装置において、複数種の検査結果及び
各検査結果に関連する複数の管理情報を印字用紙の所定
領域に印字するプリンタと、上記所定領域に対応する画
面を表示する表示手段と、上記各管理情報に対応して設
定された識別記号を上記表示手段に表示することを指令
する指令手段とを備え、上記指令手段の指令により所望
する上記識別記号を所望する配列で配列して上記画面上
で印字フォーマットを編集し、この編集内容に即した印
字フォーマットで上記印字用紙に印字することを特徴と
する検査装置。