KR100292699B1

KR100292699B1 - 프로브 검사장치

Info

Publication number: KR100292699B1
Application number: KR1019970018665A
Authority: KR
Inventors: 히데아키 다나카; 요시히토 마루모
Original assignee: 히가시 데쓰로; 동경 엘렉트론 주식회사
Priority date: 1996-05-17
Filing date: 1997-05-15
Publication date: 2001-08-07
Also published as: KR970077433A; US5936416A

Abstract

프로브 검사장치의 사용국과 출하국이 상이하고, 또한 사용국과 출하국의 사용국의 사용언어가 서로 이해되기 어려운 경우에는 메인터넌스에 즈음해서 표시장치의 표시 패널에 표시된 조작 키의 조작 내용을 조작시마다 대조표 등에 의하여 확인하지 않으면 안되기 때문에, 대조 작업에 시간을 많이 들며 메인터넌스에 많은 시간을 필요로 하며 에러 대책 등의 메인터넌스 대책을 신속히 세우는 것이 가능하지 않다.

본 프로브 검사장치(10)는, 카세트(C)내의 반도체 웨이퍼(W)를 반송하는 핀 세트(12)를 구비한 로더부(13)와, 상기 핀 세트(12)를 거쳐서 반송된 반도체 웨이퍼(W)를 검사하는 프로버부(14)와, 이 프로버부(14) 및 로더부(13)를 제어하는 제어기(15)와, 이 제어기(15)의 조작 키(161A)를 표시하는 표시 패널을 가지는 표시장치(16)를 구비하며, 상기 조작 키(161A)에 대응하는 식별기호 키(S1)를 조작 키(161A)와 함께 표시 패널(161)에 표시하고, 식별기호 키(S1)의 조작에 의하여 그 조작 키(161A)의 조작 내용을 사용국의 언어와는 상이한 별개의 표현으로 표시하는 것을 특징으로 한다.

Description

프로브 검사장치{PROBE INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 반도체 웨이퍼에 형성된 IC 칩과 같은 1개 또는 복수의 반도체 소자의 전기적 특성을 검사하는 프로브(probe) 검사 장치에 관한 것이다.

종래의 이런 종류의 검사 장치는 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 카세트를 위에 배치하는 카세트 배치부와, 이 카세트 배치부의 반도체 웨이퍼를 반송하는 핀세트를 구비한 로더부와, 이 로더부의 핀세트에 의해 반송된 반도체 웨이퍼를 검사하는 프로버부와, 이들 배치부, 로더부 및 프로버부의 여러가지 기구와, 부재의 움직임을 제어하는 제어기를 구비하고 있다. 또 이와 같은 장치에는 반도체 웨이퍼의 검사결과나, 로더부, 프로버부의 동작상황, 또는 조작 에러, 동작 에러 등을 표시하는 표시 패널 또는 스크린을 갖는 표시 장치가 설치되어 있다.

또한, 상기 표시 패널에는 제어기를 통해 각종 기구 및 부재의 구동을 조작하기 위한 조작 패널이 표시된다. 이 검사 장치의 조작은 조작 패널에 표시된 여러가지 조작 키 또는 터치 키를 거쳐 실행된다. 각각의 조작 키에는 그 조작내용이 사용국(검사장치가 사용되는 나라)의 언어로 표시되어 있고, 조작 키의 조작내용을 판독하는데 필요한 조작 키를 눌러서 여러가지의 조작을 수행할 수 있다.

그러나, 종래의 프로브 검사 장치의 경우에 있어서, 표시 패널은 이 장치의 사용국의 언어로 표시되는데, 예를 들면 사용국이 한국인 경우에는 조작 패널의 조작 키의 조작내용은 한글문자로 표시되어 있다. 이 때문에, 예를 들면 일본인 사용자가 프로브 검사 장치의 보수유지를 수행하기 위해서 반도체 웨이퍼의 검사상태나 각부의 작동상태, 또는 조작 에러, 동작 에러 등의 에러 상태를 확인하려고 해도, 일본인이 한글문자를 이해하지 못하는 경우가 많다. 이 때문에 보수유지에 즈음하여 조작 키의 조작 내용을 조작시마다 확인하지 않으면 안되며, 이 확인에는 각 표시내용에 의거한 대조표 등을 사전준비하고, 이 대조표에 의거하여 조작해야 하므로, 대조작업에 시간이 소요되고, 보수유지에 많은 시간을 요하고, 에러 대책 등의 보수유지 대책을 신속히 행할 수 없는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 사용 언어에 좌우되지 않고, 표시 패널에 비춰져 나타난 조작 패널의 조작 내용을 용이하고 신속하게 확인할 수 있고, 에러 대책 등의 보수유지 대책을 신속히 수행할 수 있는 프로브 검사장치를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 프로브 검사장치의 외관을 개략적으로 도시하는 사시도,

도 2는 프로브 검사장치의 프로버부를 절단하여 개략적으로 도시하는 부분단면도,

도 3은 프로브 검사장치의 전체의 구성을 개략적으로 도시하는 평면도,

도 4a 내지 도 4c는 각각 사용국이 다른 경우의 표시 패널에 비춰진 조작 패널의 예를 도시한 도면,

도 5는 에러 표시 모드를 표시 패널에 표시처리하는 프로그램의 흐름도,

도 6은 표시 패널에 표시된 에러 표시 선택화면을 표시하는 도면,

도 7은 표시 패널에 표시된 에러 이력 표시 화면을 도시하는 도면이다.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 프로브 장치 11 : 카세트 배치부

12 : 핀 세트(반송기구) 13 : 로더부

14 : 프로버부 15 : 제어기

16 : 표시장치 18 : 배치대

161 : 표시 패널 161A : 조작 키

161B : 공통 스페이스 S1 : 식별기호 키

이하, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 프로브 검사장치를 첨부 도면을 참조하여 설명한다.

프로브 검사장치(10)는 도 1 내지 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, IC 칩등의 반도체 소자가 형성된 복수의 반도체 웨이퍼(W)가 서로 상하방향으로 소정 간격을 두고 수평으로 배열된 2개의 카세트(C)를 배치 또는 지지하는 카세트 배치부(11)와, 이 배치부(11)에 배치된 카세트(C)로부터 그리고 카세트내로 반도체 웨이퍼(W)를 반송하는 반송 기구로서의 핀세트(12)를 구비한 로더부(13)와, 이 로더부(13)의 핀세트(12)에 의해 반송된 반도체 웨이퍼(W)를 검사하는 프로버부(14)와, 이 부분(11, 13, 14)의 각종 기구 및 부재의 움직임을 제어하는 제어기(15)와, 이 제어기(15)를 조작하는 조작 패널 또는 화면 등의 제화면이 비춰지는 표시 패널(161)을 갖는 표시 장치(16)를 구비하고 있다. 이 표시장치(16)에는 조작 패널 및 후술하는 각종 모드의 패널을 표시 패널에 표시하기 위해, 예를 들면 CPU와, 드라이브 회로와, 메모리 등의 공지의 화상형성 요소로 구성된 화상형성 수단이 설치되어 있다.

이 표시 패널(161)에는, 예를 들면 CCD 카메라 등으로 촬영한 프로버부(14)내 등의 부내의 모양을 표시하는 화면이 표시되기도 하고, 조작 패널이 표시되기도 하며, 이들 화면은 전환 가능하게 되어 있다. 표시 패널(161)에 비춰진 화면의 일부에는 터치 키 또는 조작 키가 표시되고, 이 조작 키에 접촉함으로써, 예를 들면 표시화면을 촬영화상의 표시화면으로부터 조작 패널의 표시 화면으로 전환시킬 수 있다. 또한, 이하에서 또는 도면에서는 이해를 용이하게 하기 위해서 표시 패널과, 이 표시 패널에 비춰진 조작 패널에 공통의 부호(161)가 사용되었다.

상기 표시 패널(161)에는 화면 표시 모드, 조작 표시 모드, 에러 표시 모드 등의 여러가지 모드의 표시 화면이 표시되고, 각 화면에는 화면 코드 번호가 붙여져 있다. 각 모드의 화면은 제어기 또는 표시장치에 설치된 기억 장치에 기억된 소정의 프로그램에 따라 표시 패널(161)에 표시된다. 화면 표시 모드의 경우에는 반도체 웨이퍼의 검사결과 등의 데이터 화일이 판독되어, 표시 패널(161)에 표시되고, 이 화면의 화면 코드는 이력 파일에 기억된다. 조작 표시 모드 또는 에러 표시 모드에서도 동일하게 조작 키의 조작 이력 또는 에러 이력이 이력 파일에 각기 기억되어 있다. 이에 의해서, 조작 키의 조작 이력이나 에러 이력을 보수유지 등에 적절히 메모리로부터 판독해서 표시 패널에 표시하여 확인할 수 있다.

예를 들면, 조작 표시 모드의 경우에는, 도 4a 내지 도 4c에 도시한 바와 같이, 표시 패널(161)에 N개의 여러가지 조작 키 또는 터치 키가 표시되고[도면상에서는 혼동을 방지하기 위해서 N개의 조작 키중 좌측 상부에 배치된 키(161A)와, 우측 하부에 배치된 키(161N)만이 도시되어 있다], 사용자에 의한 조작 키(161A)의 터치 조작에 의해 다음 화면으로의 전환 및/또는 프로브 장치(10)의 조작이 이루어지게 된다. 조작 내용(예를 들면, 도 4a에서는 ＂START＂)이 이들 도면에서는 조작 패널의 하영역, 즉 공통 스페이스(161B)에 표시되어 있지만, 후술하는 바와 같이 이 조작 내용은 식별기호 키를 누를 때까지 표시되지 않는다.

조작 패널(161)의 좌측 상부의 조작 키(161A)는 예를 들면 도 4a 내지 도 4c에 도시한 바와 같이 소정의 처리를 개시하기 위한 조작 키(161A)이고, 이 조작 키(161A)를 터치 조작하는 것에 의해서 처리가 개시된다. 이 경우, 이 프로브 검사장치(10)의 사용국이 일본이면 조작 키(161A)의 직사각형의 키 화면에는 「開始」라는 일본어가 표시된다(도 4a 참조). 이와 달리 사용국이 영어권이면 조작키(161A) 화면에는 「開始」가 영어로 표시되고(도 4b 도 참조), 또 사용국이 한국인 경우에는 조작 키(161A)의 키 화면에 「開始」가 한글 문자로 표시된다(도 4c 참조). 이와 같이 하여, 좌측 상부의 조작 키(161A)가 처리를 개시하기 위한 개시용의 조작 키라는 것을, 이 장치를 사용하는 나라의 사용자가 알 수 있도록 되어있다. 마찬가지로, 이 조작 키(161A)와 다른 조작을 하게 하기 위한 조작 키에도 이들 직사각형 키 화면에 각각의 조작 내용을 사용국의 언어로 표시할 수 있다.

이 프로브 검사 장치(10)에 있어서 도 4a 내지 도 4c에 도시된 바와 같이, 여러가지 조작 키에는 각각의 조작 내용에 대응하는 식별기호 키 또는 터치 키(S1)가 조작 키와 함께 조작 패널(161)에 표시되어 있다[도면에는 좌측 상부의 조작 키(161A)에 대응하는 식별기호 키(S1)와, 좌측 하부의 조작 키(161N)에 대응하는 조작 키(Sn)가 표시되어 있고, 이 키를 표시하는 S1 및 Sn의 문자는 터치 키의 원형의 키 화면에 비춰져 있다]. 이들 식별 기호 키중 어느 한 개[예를 들면 키(S1)]를 터치 조작하면, 조작 패널(161)의 하측 가장자리부에 공통 스페이스(161B)가 열리고, 이 공통 스페이스(161B)에 조작 키(161A)의 조작 내용이 사용국의 언어와 다른 별개의 언어, 예를 들면 이 장치의 제조국의 언어로 표시된다. 그 결과, 사용국과 출하국이 상이하더라도 출하국의 보수유지 요원이 사용국에서 그 장치를 보수유지하는 경우나, 이 장치에 여러가지의 에러가 있는 경우, 보수유지 요원이 사용국의 언어를 이해할 수 없는 경우에도, 식별 기호(S1)를 거쳐 조작 키(161A)의 조작 내용을 용이하고 신속하게 확인하여 조작 키(161A)를 조작하는 것이 가능하다. 또한, 장치에 에러가 발생한 경우에는 특정의 조작 키 및 식별기호 키가 표시되고, 이들 키를 터치 조작하는 것에 의해서 조작 키의 조작 이력 또는 에러 이력등이 기호로 표시되고, 이를 판독하는 것에 의해서 신속히 에러 대책을 취할 수 있다.

이에 부가하여, 다수의 조작 키의 각각에 대응하여 표시 패널(161)에 표시되는 각각의 식별기호 키는 각각의 식별 기호 키를 터치조작하면 공통 스페이스(161B)에 조작된 식별 기호 키에 대응한 조작 키의 조작 내용의 상세한 설명이 사용국의 언어 및/또는 출하국의 언어로 표시될 수 있다. 그 결과, 사용자가 각각의 조작 키의 내용의 상세한 설명을 이해할 수 있다.

예를 들면, 도 4b에 도시한 바와 같이, 프로브 검사장치의 출하국이 일본이고 사용국이 영어권인 경우에는, 조작 키(161A)에 그의 조작 내용인「開始」가 사용국의 언어인 영어로 표시되고, 식별기호 키(S1)를 누르면, 공통 스페이스(161B)에는 「개시」를 의미하는「開始」라는 문자가 일본어로 표시된다. 대신해서, 도 4c에 도시한 바와 같이, 프로브 검사장치의 출하국이 일본이고 사용국이 한국인 경우에는 조작 키(161A)에는 그의 조작 내용인「개시」가 사용국의 언어인 한글로 표시되고, 식별기호 키(S1)를 누르면, 공통 스페이스(161B)에는「개시」를 의미하는「開始」라고 일본어로 표시된다. 따라서, 사용자(보수유지 요원)는 한글문자로「개시」의 의미를 이해할 수 없더라도, 식별기호 키(S1)를 터치 조작하는 것과, 공통 스페이스(161B)에 표시된「開始」라고 하는 일본어의 표시를 읽는 것으로, 조작 키(161A)의 조작내용을 용이하고 신속하게 확인할 수 있다.

게다가, 조작 키의 조작내용을 상세히 알고 싶을 때에는 이에 대응하는 식별기호 키를 조작하는 것에 의해, 공통 스페이스(161B)에 상세한 설명이 필요한 언어로 표시할 수 있다.

이어서, 표시 패널(161)에 표시된 에러 표시 모드를 사용하여 프로브 검사장치(10)의 조작 이력이나 에러 이력을 확인하는 동작에 관해서 도 5 및 도 6을 참조하면서 설명한다.

보수유지시 등에 에러 이력을 확인하는 경우에는 에러 표시 모드를 사용한다. 이 에러 표시 모드는 도 5에 도시한 흐름도에 따라서 표시 패널(161)상에 에러 내용 및 이력을 표시처리한다. 프로브 검사장치(10)의 사용국이 한국이면 표시 패널(161)에는 한글문자가 표시되고, 사용자가 한글문자를 이해할 수 없는 경우에는 에러 표시 모드 화면에 표시된 각종의 조작 키(161A 내지 161N)의 조작 내용을 각기 할당된 식별기호 키(S1 내지 Sn)로 조작하면 그 조작 내용을 조작시마다 사용자가 확인할 수 있어서, 표시 패널(161)상에서 에러 이력을 용이하며 또한 신속하게 확인할 수 있다. 이제, 조작 패널에서 에러 표시 모드를 선택하는 조작 키를 조작하면 도 6에 도시한 표시선택 화면이 표시된다. 이 에러 표시 선택 화면에는「로더상태」와,「스테이지상태」와,「옵션상태」와,「조작로그」와,「에러로그」와「VT 로그」가 조작 키의 조작내용으로서 표시되고 이들 조작 키의 우측하부에는 ○기호로 각각의 식별기호 키가 표시된다. 도 7에 도시한 에러 이력 표시 화면에는「이전 화면」과 마찬가지로,「다음 페이지」와「프린트」와「FD 기입」이 조작 키의 조작내용으로서 표시되고 이들 조작 키의 우측 하부에는 ○기호로 각각의 식별기호 키가 표시된다.

이하에서는, 실제의 조작을 도 5에 도시한 흐름도를 참조하여 설명한다.

도 6에 도시한 바와 같이 표시 선택 화면이 표시 패널(161)에 표시되어 있다(단계 1). 그리고, 이 화면에 에러 이력을 표시하고 싶은 경우에는「에러로그」로 표시된 조작 키를 터치조작한다(단계 2). 그 결과, 에러 코드를 이력 화일로부터 판독함으로써 도 7에 도시한 에러 이력 표시 화면이 표시 패널(161)에 표시된다. 이 화면으로부터 에러의 발생일시와, 에러의 내용을 일괄하여 알 수 있다(단계 3). 도 7에는 에러 이력 표시 화면의 서식만을 도시하며, 구체적인 에러 내용은 생략되어 있다. 한편, 단계 2의 표시 선택에서 조작이력을 표시하는 경우에는 도 6에 「동작로그」로 표시된 조작 키를 터치 조작하면 조작 코드를 이력 화일로부터 판독함으로써 표시 패널(161)에 그 내용이 도 7의 표시내용에 준하여 표시된다(단계 4).

그 후, 도 7에 도시한 화면상의 처리의 선택을 대기하고(단계 5), 에러 이력 표시 모드 또는 조작 이력 표시 모드를 종료하여 이전화면으로 복귀하는 경우에는, 이전화면에 대응하는 조작 키를 누르는 것에 의해 단계 1로 복귀하여 표시 선택 화면이 표시 패널(161)에 표시되어, 단계 2에서의 표시 선택을 대기한다.

이력은 도 7에 도시한 화면에서「프린트」로 표시된 조작 키를 누르는 것에 의해, 프린터에 의해 프린트 출력하기도 하고(단계 6), 에러 이력 표시 화면상의 「FD 기입」으로 표시된 키를 조작하는 것에 의하여 플로피 디스크로 저장할 수도 있으며(단계 7), 사용자가 과거의 조작 이력을 파악하고 에러의 규명을 신속히 행하여 에러 대책을 신속히 추진할 수 있다.

도 6에 도시한 화면에서 「로더 상태」와,「스테이지 상태」와,「옵션 상태」를 표시하는 조작 키를 조작한 경우의 동작 및 도 7에 도시한 화면에서 「다음 페이지」를 표시하는 조작 키를 누른 경우의 동작은 생략되어 있다.

사용자가 조작 이력을 확인하는 경우에는, 조작 로그 키를 누르는 것에 의해, 제어기를 거쳐서 이력 파일을 판독하여 표시 패널(161)에 조작 이력을 공통 기호인 식별 기호 키 또는 영어 등의 국제 공통 언어로 또는 출하국의 언어로 표시하는 것에 의해 항상 프로브 검사장치(10)의 조작 이력을 사용국의 언어에 제한됨이 없이 파악할 수 있고, 그 이력은 프린터에 의해 프린트 출력할 수 있으며, 사용자가 과거의 조작 이력을 파악하고 보수유지의 참고로 하는 것이 가능하다.

이상 설명한 바와 같이 본 실시형태에 따르면, 표시 패널(161)에 표시되는 화면 또는 패널에 각종 조작 키(161A 내지 161N)와, 이들에 대응하는 식별기호 키(S1 내지 Sn)가 표시되고, 식별기호 키를 조작한 경우에는 화면의 하측 주변부의 공통 스페이스(161B)에 사용국과는 상이한 언어로 조작내용이 표시되고, 또한 필요에 따라서는 조작내용의 상세한 설명이 필요한 언어로 표시된다. 그 결과, 예를들면 일본인 사용자가 타국가에서 사용되고 있는 프로브 검사장치(10)의 에러 내용을 확인하는 경우에는 식별기호 키를 조작하는 것에 의하여 대응하는 조작 키의 내용을 이해할 수있고, 용이하며 신속하게 조작하여 에러 내용을 용이하게 확인하는 것이 가능하다. 따라서, 종래의 프로브 장치와 같이 한글문자와 일본어의 대조표 등을 준비할 필요가 없이 신속히 에러 대책 등의 보수유지 대책을 세우는 것이 가능하다.

본 발명은 사용 언어에 좌우됨이 없이, 표시 패널에 비춰져 나타난 조작 패널의 조작내용을 용이하고 신속하게 확인할 수 있고, 에러 대책 등의 보수유지 대책을 신속히 수행할 수 있다.

Claims

프로브 검사장치에 있어서,

피검사체를 배치하는 배치부와,

배치부의 피검사체를 반송하는 반송기구를 구비한 로더부와

상기 반송기구에 의하여 반송된 피검사체를 검사하는 프로버부와,

상기 프로버부 및 상기 로더부의 동작을 제어하는 제어기와,

표시 패널과, 상기 제어기를 조작하기 위한 조작 패널을 표시 패널에 비추는수단을 갖는 표시장치를 구비하며,

상기 조작 패널은 상기 제어기를 조작하기 위해, 조작내용이 사용국의 언어로 표시된 적어도 하나의 조작 터치 키와, 상기 조작 터치 키에 대응하는 식별기호 터치 키를 갖는

프로브 검사장치.
프로브 검사장치에 있어서,

피검사체를 배치하는 배치부와,

배치부의 피검사체를 반송하는 반송기구를 구비한 로더부와,

상기 반송기구에 의하여 반송된 피검사체를 검사하는 프로버부와,

상기 프로버부 및 상기 로더부의 동작을 제어하는 제어기와,

표시 패널과, 상기 제어기를 조작하기 위한 조작 패널을 표시 패널에 비추는 수단을 갖는 표시장치를 구비하며,

상기 조작 패널은 상기 제어기를 조작하기 위해, 조작내용이 사용국의 언어로 표시된 적어도 하나의 조작 터치 키와, 상기 조작 터치 키에 대응하는 조작내용을 상기 언어와는 상이한 언어로 표시시키는 식별기호 터치 키를 갖는

프로브 검사장치.
제 2 항에 있어서,

상기 표시 패널에 비춰진 조작 패널에는, 각기 상이한 조작내용이 표시된 복수의 조작 터치 키와, 상기 조작 키에 대응하는 조작내용을 상기 언어와는 다른 언어로 각기 표시시키는 식별기호 터치 키와, 어느 식별 기호 터치 키가 조작되어도 그의 조작내용이 표시되는 공통 스페이스를 포함하는

프로브 검사장치.
제 2 항에 있어서,

상기 식별 기호 터치 키는 조작 터치 키의 조작내용의 상세한 설명의 표시를 조작 패널에 나타내는

프로브 검사장치.
제 2 항에 있어서,

프로브 검사장치의 에러발생시에 대응하는 화면이 표시 패널에 표시되고, 이 화면에는 각기 상이한 조작내용이 표시되는 복수의 조작 터치 키와,

상기 조작 터치 키에 대응하는 조작내용을 상기 언어와는 상이한 언어로 각기 표시시키는 식별기호 터치 키가 표시되어 있는

프로브 검사장치.
제 2 항에 있어서,

상기 표시 장치 화면에는 상기 배치부, 로더부 및 프로버부의 동작 상태가 표시되는

프로브 검사장치.
제 2 항에 있어서,

상기 조작 터치 키에 표시되는 조작내용은 한글로 표시되고, 식별기호 터치 키로 표시되는 조작내용은 일본어로 표시되는

프로브 검사장치.