KR970077433A - 프로브 검사장치 - Google Patents

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KR970077433A
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히데아키 다나카
요시히토 마루모
Original Assignee
히가시 데츠로
도쿄 에레쿠토론 가부시끼가이샤
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
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    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations

Abstract

프로브 검사장치의 사용국과 출하국이 상이하고, 또한 사용국과 출하국의 사용국의 사용언어가 서로 이해되기 어려운 경우에는 메인터넌스에 즈음해서 표시장치의 표시 패널에 표시된 조작 키의 조작 내용을 조작시마다 대조표 등에 의하여 확인하지 않으면 안되기 때문에, 대조 작업에 시간을 많이 들며 메인터넌스에 많은 시간을 필요로 하며 에러 대책 등의 메인터넌스 대책을 신속히 세우는 것이 가능하지 않다.
본 프로브 검사장치(10)는, 카세트(C)내의 반도체 웨이퍼(W)를 반송하는 핀세트(12)를 구비한 로더부(13)와, 상기 핀 세트(12)를 거쳐서 반송된 반도체 웨이퍼(W)를 검사하는 프로버부(14)와, 이 프로버부(14) 및 로더부(13)를 제어하는 제어기(15)와, 이 제어기(15)의 조작 키(161A)를 표시하는 표시 패널을 가지는 표시장치(16)를 구비하여, 상기 조작 키(161A)에 대응하는 식별기호 키(S1)를 조작 키(161A)와 함께 표시 패널(161)에 표시하고, 식별기호 키(S1)의 조작에 의하여 그 조작 키(161A)의 조작 내용을 사용국의 언어와는 상이한 별개의 표현으로 표시하는 것을 특징으로 한다.

Description

프로브 검사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4a도 내지 제4c도는 각각 사용국이 다른 경우의 표시 패널에 비춰진 조작 패널의 예를 도시한 도면.

Claims (7)

  1. 피검사체를 배치하는 배치부와, 배치부의 피검사체를 반송하는 반송기구를 구비한 로더부와 상기 반송기구에 의하여 반송된 피검사체를 검사하는 프로버부와, 이 프로버부 및 상기 로더부의 동작을 제어하는 제어기와, 표시 패널과, 상기 제어기를 조작하기 위한 조작 패널을 표시 패널에 비추는 수단을 가지는 표시장치를 포함하여, 상기 조작 패널을 상기 제어기를 조작하기 위한, 조작내용이 사용국의 언어로 표시된 적어도 1개의 조작 터치 키와, 이 조작 터치 키에 대응하는 식별기호 터치 키를 가지는 프로브 검사장치.
  2. 피검사체를 배치하는 배치부와, 배치부의 피검사체를 반송하는 반송기구를 구비한 로더부와, 상기 반송기구에 의하여 반송된 피검사체를 검사하는 프로버부와, 이 프로버부 및 상기 로더부의 동작을 제어하는 제어기와, 표시 패널과, 상기 제어기를 조작하기 위한 조작 패널을 표시 패널에 비추는 수단을 가지는 표시장치를 포함하여, 상기 조작 패널은 상기 제어기를 조작하기 위한, 조작내용이 사용국의 언어로 표시된 적어도 1개의 조작 터치 키와, 이 조작 터치 키에 대응하는 조작내용을 상기 언어와 상이한 언어로 표시시키는 식별기호 터치 키를 가지는 프로브 검사장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 표시 패널에 비춰진 조작 패널에는, 각기 상이한 조작내용이 표시된 복수의 조작 터치 키와, 이들 조작 키에 대응하는 조작내용을 상기 언어와는 다른 언어로 각기 표시시키는 식별기호 터치 키와, 어느 식별 기호 터치 키가 조작되어도 그의 조작내용이 표시되는 공통 스페이스를 포함하는 프로브 검사장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 식별 기호 터치 키는 조작 터치 키의 조작내용이 상세한 설명의 표시가 조작 패널에 나타나게 하는 프로브 검사장치.
  5. 제2항에 있어서, 프로브 검사장치의 에러발생시에 대응하는 화면이 표시 패널에 표시되고, 이 화면에는 각기 상이한 조작내용이 표시된 복수의 조작 터치 키와, 이들 조작 키에 대응하는 조작내용을 상기 언어와 상이한 언어로 각기 표시시키는 식별기호 터치 키가 표시되어 있는 프로브 검사장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 표시 장치 화면에는 상기 배치부, 로더부 및 프로버부의 동작 상태가 표시되는 프로브 검사장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 조작 터치 키에 표시되는 조작내용을 한글 문자로 표시되고, 식별기호 터치 키로 표시되는 조작내용은 일본어로 표시되는 프로브 검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970018665A 1996-05-17 1997-05-15 프로브 검사장치 KR100292699B1 (ko)

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