CN107884697A - 电子部件输送装置及电子部件检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供电子部件输送装置以及电子部件检查装置，能够确立电子部件的可追踪性，并管理各个电子部件的品质。电子部件输送装置具有：个体识别信息读取部，能够读取记载于电子部件上的电子部件的个体识别信息；电子部件信息生成发送部，能够生成包括个体识别信息的、发送至检查电子部件的检查部的电子部件信息，并能够将电子部件信息发送至检查部；电子部件检查载置部配置部，能够配置可检查电子部件的电子部件检查载置部；以及电子部件输送部，能够载置电子部件，并向电子部件检查载置部配置部输送电子部件，检查部能够合并存储检查电子部件的结果和个体识别信息。

Description

电子部件输送装置及电子部件检查装置

技术领域

本发明涉及电子部件输送装置及电子部件检查装置。

背景技术

以往，有在IC(半导体集成电路装置)等电子部件的电特性检查中，根据合格品、不合格品的检查结果分类、容纳电子部件的IC检查用处理机。

使用IC检查用处理机实施检查的电子部件以实施检查的个数为单位管理合格品、不合格品。此外，倾向于附加值高的电子部件分个体管理品质。

例如，公开了拍摄电子部件而识别电子部件的种类，并将检查电子部件的检查程序传送至试验机(检查部)(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-178807号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，在专利文献1中，没有公开在实施了检查之后，关联各个电子部件和由试验机检查的记录以进行确认的方法。

用于解决技术问题的方案

本发明是为了解决上述问题的至少一部分而提出的，可作为以下的方式或应用例而实现。

[应用例1]本应用例涉及的电子部件输送装置的特征在于，具有：个体识别信息读取部，能够读取记载于电子部件上的所述电子部件的个体识别信息；电子部件信息生成发送部，能够生成包括所述个体识别信息的、发送至检查所述电子部件的检查部的电子部件信息，并能够将所述电子部件信息发送至所述检查部；电子部件检查载置部配置部，能够配置可检查所述电子部件的电子部件检查载置部；以及电子部件输送部，能够载置所述电子部件，并向所述电子部件检查载置部配置部输送所述电子部件，所述检查部能够合并存储检查所述电子部件而得的结果和所述个体识别信息。

根据本应用例，由于附加个体识别信息读取部，使用个体识别信息读取部读取标识于电子部件上的个体识别信息，并在检查时将由个体识别信息读取部读取的个体识别信息发送至检查部，因此能够合并(关联)记录电子部件的个体识别信息和检查结果。由此，能够在以后确认电子部件个体和由检查部检查的记录，在电子部件输送装置中也能够实施实施检查的电子部件的个体管理。结果，能够确立电子部件的可追踪性，并管理(分析)输送路径中的各个电子部件的品质差异。

[应用例2]在上述应用例所述的电子部件输送装置中，优选具有把持所述电子部件的把持部，所述个体识别信息读取部读取载置于所述电子部件输送部的所述电子部件以及通过所述把持部所把持的所述电子部件中的任一方的所述个体识别信息。

根据本应用例，由于在将电子部件载置于电子部件检查载置部的电子部件检查载置部配置部中，吸附电子部件的上表面而输送，因此使用个体识别信息读取部读取个体识别信息存在困难，但能够在将电子部件输送至电子部件检查载置部配置部之前读取个体识别信息。由此，能够分电子部件将个体识别信息发送至检查部，该电子部件载置于电子部件检查载置部。

[应用例3]在上述应用例所述的电子部件输送装置中，优选所述个体识别信息读取部是代码阅读器和摄像装置中的任一方。

根据本应用例，在个体识别信息包括字符串、条码以及二维码等时，依然能够容易地从个体识别信息中读取成为个体标识的信息。

[应用例4]在上述应用例所述的电子部件输送装置中，优选所述电子部件信息生成发送部基于来自所述检查部的信号而将所述电子部件信息发送至所述检查部。

根据本应用例，能够在实施检查之前将电子部件的个体识别信息发送至检查部。

[应用例5]在上述应用例所述的电子部件输送装置中，优选在所述个体识别信息读取部无法读取所述电子部件的所述个体识别信息时，所述检查部不检查所述电子部件，所述电子部件输送部将所述电子部件载置于规定的载置部。

根据本应用例，在无法读取个体识别信息而无法识别个体识别信息时，在将该电子部件输送至电子部件检查载置部之后，个体识别信息不发送至检查部。由此，检查部能够判断将电子部件分类成不合格，或再检查。例如，在检查前检验电子部件，从而在判断为不合格时能够不检查而退回。

[应用例6]在上述应用例所述的电子部件输送装置中，优选所述电子部件输送装置具有操作部，所述操作部能够设定和确认所述个体识别信息读取部的读取位置，所述操作部具有触摸面板，所述触摸面板能够进行用于设定所述读取位置的输入以及用于确认所述读取位置的显示。

根据本应用例，能够容易地设定和确认个体识别信息读取部的读取位置。

[应用例7]在上述应用例所述的电子部件输送装置中，优选所述电子部件输送装置具有操作部，所述操作部能够设定和确认所述个体识别信息读取部的读取位置，所述操作部具有：输入部，能够进行用于设定所述读取位置的输入；以及显示部，能够进行用于确认所述读取位置的显示。

根据本应用例，能够容易地设定和确认个体识别信息读取部的读取位置。

[应用例8]在上述应用例所述的电子部件输送装置中，优选在所述电子部件信息中，除所述个体识别信息之外，还包括在所述电子部件输送装置中所述电子部件的输送路径的信息。

根据本应用例，能够从电子部件信息制作电子部件的输送路径图，并基于检查结果确立可追踪性。此外，能够管理(分析)在输送路径中的各个电子部件的品质差异。

[应用例9]本应用例涉及的电子部件检查装置的特征在于，具有：个体识别信息读取部，能够读取记载于电子部件上的所述电子部件的个体识别信息；检查部，检查所述电子部件；电子部件信息生成发送部，能够生成包括所述个体识别信息的、发送至所述检查部的电子部件信息，并能够将所述电子部件信息发送至所述检查部；电子部件检查载置部，能够检查所述电子部件；以及电子部件输送部，能够载置所述电子部件，并向所述电子部件检查载置部输送所述电子部件，所述检查部能够合并存储检查所述电子部件而得的结果和所述个体识别信息。

根据本应用例，由于附加个体识别信息读取部，使用个体识别信息读取部读取标识于电子部件上的个体识别信息，并在检查时将由个体识别信息读取部读取的个体识别信息发送至检查部，因此能够合并(关联)记录电子部件的个体识别信息和检查结果。由此，能够在以后确认电子部件个体和由检查部检查的记录，在电子部件输送装置中也能够实施实施检查的电子部件的个体管理。结果，能够确立电子部件的可追踪性，并管理(分析)输送路径中的各个电子部件的品质差异。

附图说明

图1是示出第一实施方式涉及的电子部件检查装置的结构的示意俯视图。

图2是示出电子部件检查装置的结构的概略立体图。

图3是代码阅读器以及第一穿梭台的侧视图。

图4是用于说明电子部件的示意俯视图。

图5是电子部件检查装置的电控制框图。

图6是示出代码阅读器的设定画面的一个例子的图。

图7是示出电子部件的检查方法的流程图。

图8是示出输送部和检查部的通信序列的图。

图9是示出第二以及第三实施方式涉及的电子部件检查装置的结构的示意俯视图。

图10是用于说明变形例1涉及的电子部件的示意俯视图。

图11是用于说明变形例2涉及的电子部件的示意俯视图。

具体实施方式

在本实施方式中，对具备电子部件输送装置的电子部件检查装置和该电子部件输送装置输送电子部件的方法的特征性的例子进行说明。以下，参照附图对实施方式进行说明。需要注意的是，由于使各附图中的各部件作为在各附图上可识别程度的大小，因此对每个部件采用不同的比例尺进行图示。

第一实施方式

参照图1至图8对本实施方式涉及的电子部件检查装置进行说明。

(电子部件检查装置)

图1是示出电子部件检查装置的结构的示意俯视图，是去掉壳体的图。图2是示出电子部件检查装置的结构的概略立体图。

如图1所示，电子部件检查装置1具备长方形的板状的底座2。在底座2的俯视观察中，将与底座2正交的两边延长的方向作为X方向以及Y方向，铅垂方向的向下的方向作为-Z方向。电子部件检查装置1主要由检查电子部件10的检查部1a和将电子部件10输送至检查部1a的作为电子部件输送装置的输送部1b构成。输送部1b具备电子部件检查载置部配置部，其可以配置可以检查电子部件10的检查用插口34。电子部件检查载置部配置部可以配置可以检查电子部件10的检查用插口34。电子部件检查载置部配置部例如是检查电子部件10的检查用插口34(检查部1a)。

在底座2上的X方向一侧设置有沿X方向长长地延伸的6个带输送机。带输送机从-Y方向一侧起依次是第一输送机3、第二输送机4、第三输送机5、第四输送机6、第五输送机7以及第六输送机8。第一输送机3是供料用的带输送机，在第一输送机3上载置有托盘9。托盘9通过隔板被划分成5行5列的矩阵状，在各划分中载置有电子部件10。因此，托盘9沿正交的2方向排列，从而能够载置电子部件10。

第一输送机3的内部具备电动机、减速机以及滑轮，电动机以通过减速机所减速的转数而转动滑轮(未图示)。而且，带与滑轮的外周接触地设置，并通过电动机转动滑轮而带移动。而且，载置于第一输送机3上的托盘9与带一同沿X方向往返移动。将第一输送机3移动托盘9的X方向作为第一方向3c。第二输送机4～第六输送机8是与第一输送机3相同的结构，可以与第一输送机3同样地使托盘9沿X方向往返移动。

第二输送机4以及第三输送机5是放置空托盘9的地方，第四输送机6是放置存放被判断为不合格的电子部件10的托盘9的地方。而且，第五输送机7以及第六输送机8是放置存放被判断为合格品的电子部件10的托盘9的地方。

电子部件10的方式没有特别限定，但在本实施方式中，例如，电子部件10能够适应扁平封装等各种封装方式的IC(Integrated Circuit：集成电路)、CIS、液晶面板、液晶模块以及电子模块等。而且，电子部件检查装置1是检查电子部件10的电特性，并区分合格品和不合格品的装置。作为IC的例子，可以列举LSI(Large Scale Integration：大规模集成电路)、将IC多个模块封装化的模块IC、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor：互补金属氧化物半导体)、CCD(Charge Coupled Device：电感耦合器件)、晶体器件、压力传感器、气压传感器、惯性(加速度)传感器、回转(角速度)传感器、指纹传感器、照度传感器、颜色传感器、温度传感器、紫外线传感器、光传感器等。

在与第一输送机3～第六输送机8相对的地方设置有托盘输送部11。托盘输送部11具备跨越第一输送机3～第六输送机8而设置的门型的托盘输送支承部12。托盘输送支承部12是沿着Y方向的长条形状，在托盘输送支承部12的-X方向一侧设置有沿Y方向延长的导轨13。

在导轨13的-X方向一侧设置有沿着导轨13移动的托盘移动台14。将托盘移动台14移动的Y方向作为第二方向14a。第二方向14a是与第一方向3c正交的方向，并且第一方向3c以及第二方向14a是电子部件10排列在托盘9上的方向。在托盘输送支承部12的内部设置有使托盘移动台14移动的线性(直线)运动机构。该线性运动机构的种类没有特别限定，可以使用线性电动机；电动机与滚珠丝杠的组合；齿条、小齿轮以及电动机的组合等各种方式。在本实施方式中，例如采用伺服电动机和滚珠丝杠的组合。

在托盘移动台14的-X方向一侧的表面隔着托盘把持支承部15设置有托盘把持部16。托盘把持部16具备升降装置和真空卡盘。真空卡盘具备吸盘，吸盘通过配管与真空泵相连。而且，升降装置具备使真空卡盘升降的功能。升降装置降下真空卡盘使真空卡盘的吸盘与托盘9接触。而且，通过使吸盘和托盘9之间成为真空而真空卡盘把持托盘9。其后，通过升降装置使托盘9上升而托盘9远离第一输送机3，从而托盘移动台14可以使托盘9沿Y方向移动。托盘输送部11通过托盘输送支承部12、导轨13、托盘移动台14、托盘把持支承部15以及托盘把持部16等构成。

在第一输送机3～第六输送机8的-X方向一侧设置有电子部件卸料供料部20。在底座2上的-Y方向一侧设置有电子部件供料部29。电子部件供料部29具备第一支承部25。第一支承部25是沿着X方向的长条形状，在第一支承部25的Z方向一侧设置有沿X方向延长的导轨18。

在导轨18的Z方向一侧设置有沿着导轨18移动的供料X台23。在第一支承部25中内置有线性运动机构，该线性运动机构使供料X台23沿X方向往返移动。需要注意的是，第一支承部25的线性运动机构可以使用与驱动托盘移动台14的线性运动机构同样的机构。

供料X台23具备第一支承梁22。第一支承梁22是沿着Y方向的长条形状，在第一支承梁22的Z方向一侧设置有沿Y方向延长的导轨19。

在导轨19的Z方向一侧设置有沿着导轨19移动的供料Y台27。在第一支承梁22中内置有线性运动机构，该线性运动机构使供料Y台27沿Y方向往返移动。需要注意的是，第一支承梁22的线性运动机构可以使用与驱动托盘移动台14的线性运动机构同样的机构。

在供料Y台27的-Z方向一侧的表面设置有供料电子部件把持部(把持部)28。供料电子部件把持部28把持电子部件10。供料电子部件把持部28具备升降装置和真空卡盘。该升降装置以及真空卡盘是与托盘把持部16具备的升降装置以及真空卡盘同样的构造，省略说明。通过第一支承梁22、供料X台23、第一支承部25、供料Y台27以及供料电子部件把持部28等构成了电子部件供料部29。

在供料电子部件把持部28中，升降装置降下真空卡盘使真空卡盘的吸盘与电子部件10接触。而且，通过使吸盘和电子部件10之间成为真空而真空卡盘把持电子部件10。其后，通过升降装置使电子部件10上升而供料X台23以及供料Y台27能够将电子部件10沿X方向以及Y方向移动。

同样地，在底座2上的Y方向一侧设置有电子部件卸料部33。电子部件卸料部33具备第二支承部30。第二支承部30是沿着X方向的长条形状，在第二支承部30的Z方向一侧设置有沿X方向延长的导轨21。

在导轨21的Z方向一侧设置有沿着导轨21移动的卸料X台24。在第二支承部30中内置有线性运动机构，该线性运动机构使卸料X台24沿X方向往返移动。需要注意的是，第二支承部30的线性运动机构可以使用与驱动托盘移动台14的线性运动机构同样的机构。

卸料X台24具备第二支承梁26。第二支承梁26是沿着Y方向的长条形状，在第二支承梁26的Z方向一侧设置有沿Y方向延长的导轨39。

在导轨39的Z方向一侧设置有沿着导轨39移动的卸料Y台31。在第二支承梁26中内置有线性运动机构，该线性运动机构使卸料Y台31沿Y方向往返移动。需要注意的是，第二支承梁26的线性运动机构可以使用与驱动托盘移动台14的线性运动机构同样的机构。

在卸料X台24的-Z方向一侧的表面设置有卸料电子部件把持部32。卸料电子部件把持部32具备升降装置和真空卡盘。该升降装置以及真空卡盘与托盘把持部16具备的升降装置以及真空卡盘是同样的构造，省略说明。通过第二支承梁26、卸料X台24、第二支承部30、卸料Y台31以及卸料电子部件把持部32等构成了电子部件卸料部33。

在卸料电子部件把持部32中，升降装置降下真空卡盘使真空卡盘的吸盘与电子部件10接触。而且，通过使吸盘和电子部件10之间成为真空而真空卡盘把持电子部件10。其后，通过升降装置使电子部件10上升而卸料X台24以及卸料Y台31能够将电子部件10沿X方向以及Y方向移动。

在托盘输送支承部12的-X方向上设置有在底座2上作为电子部件检查载置部的检查用插口34。检查用插口34是检查电子部件10的地方。在检查用插口34形成有与电子部件10的外形形状大致相同的形状的凹部，在该凹部可以设置电子部件10。而且，在凹部设置有能够与电子部件10的端子电连接的探针。在检查用插口34设置有4个凹部，能够同时检查4个电子部件10。

在检查用插口34的X方向上，在检查用插口34和托盘输送支承部12之间设置有一对导轨35。导轨35沿着Y方向延长地设置，在导轨35上设置有沿着导轨35移动的作为电子部件输送部的第一穿梭台36。第一穿梭台36能够载置电子部件10，并向检查用插口34(检查部1a)输送电子部件10。在底座2上，在一对导轨35之间内置有线性运动机构，该线性运动机构使第一穿梭台36沿Y方向往返移动。需要注意的是，导轨35之间的线性运动机构可以使用与驱动托盘移动台14的线性运动机构同样的机构。

在第一穿梭台36的朝向Z方向的表面上设置有8个用于设置电子部件10的凹部37。其中4个凹部37配置于第一穿梭台36的-Y方向一侧，该凹部37作为供料用凹部37a。剩下的4个凹部37配置于第一穿梭台36的Y方向一侧，该凹部37作为卸料用凹部37b。当卸料用凹部37b位于检查用插口34旁边时，在俯视观察底座2时，供料用凹部37a位于电子部件供料部29的供料电子部件把持部28能够移动的地方。同样地，当供料用凹部37a位于检查用插口34旁边时，在俯视观察底座2时，卸料用凹部37b位于电子部件卸料部33的卸料电子部件把持部32能够移动的地方。

在检查用插口34的-X方向上，在检查用插口34和底座2之间设置有一对导轨40。导轨40沿着Y方向延长地设置，在导轨40上设置有沿着导轨40移动的作为电子部件输送部的第二穿梭台41。第二穿梭台41能够载置电子部件10，并向检查用插口34(检查部1a)输送电子部件10。在底座2上，在一对导轨40之间内置有线性运动机构，该线性运动机构使第二穿梭台41沿Y方向往返移动。需要注意的是，导轨40之间的线性运动机构可以使用与驱动托盘移动台14的线性运动机构同样的机构。

在第二穿梭台41的朝向Z方向的表面上设置有8个用于设置电子部件10的凹部42。其中4个凹部42配置于第二穿梭台41的-Y方向一侧，该凹部42作为供料用凹部42a。剩下的4个凹部42配置于第二穿梭台41的Y方向一侧，该凹部42作为卸料用凹部42b。当卸料用凹部42b位于检查用插口34旁边时，在俯视观察底座2时，供料用凹部42a位于电子部件供料部29的供料电子部件把持部28能够移动的地方。同样地，当供料用凹部42a位于检查用插口34旁边时，在俯视观察底座2时，卸料用凹部42b位于电子部件卸料部33的卸料电子部件把持部32能够移动的地方。

第一以及第二穿梭台36、41上的Z方向一侧设置有作为个体识别信息读取部的代码阅读器17。代码阅读器17优选读取载置于第一以及第二穿梭台36、41上的电子部件10以及通过供料电子部件把持部28所把持的电子部件10中至少一方的个体识别二维码10e。由此，由于可以选择读取个体识别二维码10e的代码阅读器17的设置位置，从而可以选择成本或速度优先。

代码阅读器17设置于进出检查部1a的第一以及第二穿梭台36、41的上部。代码阅读器17设置有4个。代码阅读器17在供料用凹部37a通过的上部沿X方向并排地设置有2台。代码阅读器17在供料用凹部42a通过的上部沿X方向并排地设置有2台。在凹部37、42(在与第一以及第二穿梭台36、41的移动方向正交的方向上排列)的Z方向上方配置有各个代码阅读器17。在本实施方式中，代码阅读器17经由安装配件63并通过螺钉(未图示)等安装在按压支承部44。只要代码阅读器17能够固定在能够读取载置于第一以及第二穿梭台36、41上的电子部件10的个体识别二维码10e的位置，则不管安装处。例如，代码阅读器17也可以安装于导轨45或隔板55等上。由此，通过设置多台代码阅读器17，能够加快输送速度。需要注意的是，也可以在高温时相对于代码阅读器17追加维持温度用的空调设备。此外，也可以在低温时进行低温维持。

代码阅读器17能够读取作为载置于第一以及第二穿梭台36、41的电子部件10的个体识别信息的个体识别二维码10e。据此，能够读取电子部件10的条码以及二维码等中的至少一个。此外，据此，在将电子部件10载置于检查用插口34的检查部1a中，由于吸附电子部件10的上表面而输送，因此使用代码阅读器17读取个体识别二维码10e存在困难，但能够在将电子部件10输送至检查用插口34之前读取个体识别二维码10e。由此，能够针对载置于检查用插口34的各电子部件10将个体识别二维码(电子部件信息)10e发送至检查部1a。

代码阅读器17能够读取记载于各个电子部件10上的电子部件10的品种二维码10d。代码阅读器17是将二维的代码转换成文字数据的装置。代码阅读器17能够对品种二维码10d以及个体识别二维码10e射出光线17a并扫描(参照图3)。而且，代码阅读器17能够接收反射光，并将反射光的光强度信号转换成品种二维码10d以及个体识别二维码10e表示的文字信息。需要注意的是，也可以使用照相机(拍摄装置)等拍摄，并通过图像处理识别品种二维码10d以及个体识别二维码10e表示的文字信息。

代码阅读器17能够读取矩阵型的二维码。矩阵型的二维码是QR代码(注册商标)、Data Matrix、Veri Code等。代码阅读器17能够读取堆叠型的二维码。堆叠型的二维码是PDF417、CODE49等。代码阅读器17能够读取条码。条码是JAN等。据此，在个体识别二维码10e包括字符串、条码以及二维码等时，也能够容易地从个体识别二维码10e读取成为个体标识的信息。

图3是代码阅读器17以及第一穿梭台36的侧视图。

代码阅读器17相对于个体识别二维码10e倾斜地安装。由此，是为了不使光源的强反射光射入图像(个体识别二维码10e)的光接收透镜。具体而言，激光式代码阅读器使激光从倾斜的方向对二维码标签进行照射，通过接收其漫反射光而能够读取二维码。例如，需要以15度左右倾斜地设置。当激光和二维码标签以成为直角而设置(正反射安装)时，从二维码标签表面局部性地返回非常强的反射光(正反射光或直接反射光)。在“带角度地安装”时，由于全部的反射光漫反射，因此能够正常地完成从模拟波形转换成数字波形，但在“正反射安装”时，由于接收正反射光，因此模拟波形的一部分与漫反射相比成为非常高的水平，变得无法正常地转换成数字波形。为此，在进行了正反射安装时，变得无法读取。

在与第一穿梭台36以及第二穿梭台41相对的地方设置有电子部件按压装置43。电子部件按压装置43具备跨越第一穿梭台36以及第二穿梭台41而设置的门型的按压支承部44。按压支承部44是沿着X方向的长条形状，在按压支承部44的Y方向一侧设置有沿X方向延长的导轨45。

在导轨45的Y方向一侧设置有沿着导轨45移动的测定X台46。在按压支承部44的内部设置有使测定X台46移动的线性运动机构。需要注意的是，测定X台46的线性运动机构可以使用与驱动托盘移动台14的线性运动机构同样的机构。

在测定X台46的Y方向一侧设置有检查电子部件把持部47，检查电子部件把持部47具备升降装置以及真空卡盘。该升降装置以及真空卡盘与托盘把持部16具备的升降装置以及真空卡盘是同样的构造，省略说明。检查电子部件把持部47的真空卡盘具备4个吸盘，能够一次把持4个电子部件10。

在检查电子部件把持部47中，升降装置降下真空卡盘使真空卡盘的吸盘与电子部件10接触。而且，通过使吸盘和电子部件10之间成为真空而真空卡盘把持电子部件10。其后，通过升降装置使电子部件10上升而测定X台46能够将电子部件10沿X方向往返移动。

而且，电子部件按压装置43把持载置于第一穿梭台36的供料用凹部37a的电子部件10并移动至检查用插口34。而且，电子部件按压装置43将电子部件10按压至检查用插口34。此时，由于电子部件10的端子被按压于探针，因此端子和探针确实地电连接。能够进行维持在该状态的电子部件10的电特性检查。而且，在电子部件10的电特性检查结束之后，电子部件按压装置43将电子部件10移动至第一穿梭台36的卸料用凹部37b。在同样的程序下，检查电子部件把持部47将载置于第二穿梭台41的电子部件10移动至检查用插口34为止，并通过将电子部件10按压至检查用插口34而辅助电特性检查。

电子部件供料部29、第一穿梭台36、第二穿梭台41以及电子部件按压装置43向实施规定的处置的位置输送。该规定的处置是为了将电子部件10进入检查用插口34而改变电子部件10的朝向，将电子部件10插入检查用插口34，对电子部件10通入电流来检查等处置。

在底座2的-X方向一侧设置有电特性检查装置50。电特性检查装置50与设置于检查用插口34的探针连接。而且，电特性检查装置50是与电子部件10进行电信号的相互通信，并进行电子部件10的电特性的好坏判断的装置。在底座2的X方向一侧设置有控制部51。控制部51是控制电子部件检查装置1的动作的装置。在控制部51中设置有作为操作部的显示部(信息输出部、信息显示部以及警报输出部)的信息显示装置51a以及作为操作部的输入部(信息输入部)的信息输入装置51b。进而，如图2所示，在位于第三输送机5的Z方向的地方设置有信息显示装置48。信息显示装置48以及信息显示装置51a是液晶显示装置等显示装置，是显示对操作者的通知信息的装置。信息输入装置51b是键盘、鼠标等装置，是用于操作者对控制部51输入指示内容的装置。进而，信息输入装置51b具备与外部机器相互通信而输入数据的功能。

信息显示装置51a是显示用于确认代码阅读器17的读取位置的信息的装置。信息输入装置51b具备输入用于设定代码阅读器17的读取位置的信息的功能。据此，能够容易地设定和确认代码阅读器17的读取位置。

需要注意的是，信息输入装置51b也可以是输入用于设定代码阅读器17的读取位置的信息，以及显示用于确认代码阅读器17的读取位置的信息的装置。信息输入装置51b也可以触摸面板，其能够进行用于设定读取位置的输入和用于确认读取位置的显示。据此，能够容易地设定和确认代码阅读器17的读取位置。

在底座2的X方向一侧且Y方向一侧的角设置有警告灯52。警告灯52是在非预定检查的电子部件10混入时闪烁从而提醒操作者注意的装置。电子部件检查装置1在Z方向一侧设置有壳体53，信息显示装置48固定于壳体53。壳体53通过透光的树脂形成，能够穿过壳体53观察内部。而且，壳体53防止尘土、灰尘进入电子部件检查装置1中。

在壳体53的Z方向一侧设置有空气供给部54。空气供给部54具备防止尘土、灰尘通过的过滤器和风扇。而且，空气供给部54将去除了尘土、灰尘的空气供给电子部件检查装置1。空气从空气供给部54流入壳体53的内部，并从底座2以及底座2与壳体53之间流出。由此，尘土、灰尘不进入电子部件检查装置1中。

检查用插口34具备加热器，能够加热电子部件10。由此，能够以规定的温度检查电子部件10。而且，设置有包围检查用插口34以及电子部件按压装置43的隔板55。隔板55抑制热从检查用插口34的周围散出。由此，加热电子部件10的热量停留在检查用插口34的周围。

电子部件检查装置1中检查用插口34以及电特性检查装置50构成检查部1a。而且，电子部件检查装置1中在托盘9和检查用插口34之间输送电子部件10的各个台以及输送机构构成输送部1b。

图4是用于说明电子部件的示意俯视图。

如图4所示，电子部件10上印刷有制造商名10a、品种显示名10b以及表示个体识别号码10c的字符串。进而，在电子部件10上印刷有用二维码表示品种显示名10b的品种二维码10d和用二维码表示个体识别号码10c的个体识别二维码10e。

通过将代码体系从一维变成二维，能够增加可表示的文字数量。因此，能够使标示在电子部件10上的信息量变多。需要注意的是，个体识别信息是在电子部件10上所标记的标识语、标记等图形；制造商名等文字信息；电子部件的型号、序列号、批号等数字信息，是能够识别符合的电子部件和其它电子部件的信息。文字的内容、配置等属性没有特别限定，设置于每件电子部件10上。

图5是电子部件检查装置1的电控制框图。

在图5中，电子部件检查装置1具备控制电子部件检查装置1的动作的控制部51。而且，控制部51具备作为处理器的进行各种运算处理的CPU(中央运算处理装置)58和存储各种信息的存储器59。进而，台驱动装置60、输送机驱动装置61、把持部驱动装置62、代码阅读器17、信息输入装置51b、信息显示装置48、信息显示装置51a、信息输出装置65以及电特性检查装置50经由输入输出接口66以及数据总线67连接于CPU58。

需要注意的是，电特性检查装置50和控制部51的通信也可以使用包括GP-IB、RS-232C、DIO(数字I/O)的通信。检查部1a和输送部1b的通信也可以使用GP-IB通信。此外，代码阅读器17和控制部51的通信也可以使用RS-232C、USB、LAN通信。

台驱动装置60驱动设置于托盘移动台14以及托盘把持部16上的托盘升降台68。各台具备检测位置的装置。而且，台驱动装置60能够通过移动台使托盘把持部16移动到希望的地方并停止，直到到达移动目的地为止。

进而，台驱动装置60驱动供料Y台27、供料X台23以及设置于供料电子部件把持部28的供料Z台69。进而，台驱动装置60驱动卸料Y台31、卸料X台24以及设置于卸料电子部件把持部32的卸料Z台70。而且，台驱动装置60能够通过移动台使供料电子部件把持部28以及卸料电子部件把持部32移动到希望的地方并停止，直到到达移动目的地为止。

进而，台驱动装置60驱动第一穿梭台36、第二穿梭台41、测定X台46以及设置于检查电子部件把持部47的测定Z台71。而且，台驱动装置60通过驱动各台，使电子部件10能够在第一穿梭台36、第二穿梭台41以及检查用插口34之间移动。

输送机驱动装置61驱动第一输送机3～第六输送机8。输送机驱动装置61能够驱动各输送机，通过移动输送机使托盘9移动到希望的地方并停止，直到托盘9到达移动目的地为止。

把持部驱动装置62驱动托盘把持部16、供料电子部件把持部28、卸料电子部件把持部32以及检查电子部件把持部47。把持部驱动装置62驱动与各把持部相连的真空泵。而且，驱动在各把持部与真空泵之间设置的阀并开关阀。由此，把持部驱动装置62能够使各把持部在把持电子部件10之后释放。信息输出装置65是与外部仪器连接、具有向外部仪器输出信息转化的电信号的接口功能的装置。

存储器59是包括RAM、ROM等那样的半导体存储器、硬盘、DVD-ROM那样的外部存储装置的概念。在功能上，设定有存储区域，其存储记录了电子部件检查装置1的动作的控制次序的程序软件72。另外，设定有存储区域，其存储作为检测出的设置于电子部件10的个体识别号码10c的数据的个体识别数据75。另外，设定有作为用于CPU58的工作区、临时文件夹等发挥作用的存储区域、其它各种存储区域。

CPU58按照存储于存储器59中的程序软件72进行检查电子部件10的控制。作为具体的功能实现部具有台控制部76。台控制部76与台驱动装置60进行相互通信并获取各台的位置信息。而且，台控制部76以使各台移动至希望的地方并停止的方式向台驱动装置60输出指令信号。进而，台控制部76与输送机驱动装置61进行相互通信，并获取第一输送机3～第六输送机8的位置信息。而且，台控制部76以使各输送机移动至希望的地方并停止的方式向输送机驱动装置61输出指令信号。

另外，CPU58具有把持控制部77。把持控制部77使把持部驱动装置62驱动托盘把持部16、供料电子部件把持部28、卸料电子部件把持部32以及检查电子部件把持部47。而且，进行使各把持部吸附电子部件10的动作和释放动作的控制。而且，台控制部76和把持控制部77联合输送电子部件10。

另外，CPU58具有信息显示控制部81。信息显示控制部81在信息显示装置48以及信息显示装置51a上显示算出的个体识别数据75。

另外，CPU58具有电子部件信息生成发送部82。电子部件信息生成发送部82经由信息输出装置65向外部仪器输出个体识别数据75。

电子部件信息生成发送部82可以生成电子部件信息。电子部件信息生成发送部82可以将电子部件信息发送至检查电子部件10的检查部1a。电子部件信息包括个体识别二维码10e。除个体识别二维码10e之外，电子部件信息包括位置信息。位置信息是例如，由检查部1a检查电子部件10时的检查用插口34的凹部的号码。

需要注意的是，除个体识别信息以外，在电子部件信息中也可以包括在输送部1b的电子部件10的输送路径的信息。据此，从电子部件信息能够制作电子部件10的输送路径图。而且，基于检查结果能够确立托盘可追踪性。电子部件10的输送路径的信息是供给时托盘9的号码和其排列、回收时托盘9的号码和其排列、检查用插口34的凹部的号码、检查顺序以及检查的种类等。需要注意的是，输送路径的信息也可以记录在其电子部件10上。

电子部件信息生成发送部基于来自检查部1a的信号，能够将个体识别二维码(电子部件信息)10e发送至检查部1a。检查部1a能够合并(关联)存储检查电子部件10而得的结果和个体识别二维码10e。据此，能够在实施检查之前将电子部件10的个体识别信息发送至检查部1a。

需要注意的是，在本实施方式中，上述的各功能是使用CPU58通过程序软件来实现的，但在能够通过不使用CPU58的单独的电子电路(硬件)来实现上述的各功能的情况下，也可使用那样的电子电路。

图6是示出代码阅读器17的设定画面的一个例子的图。

基于图6对代码阅读器17的设定方法进行说明。

在图6所示的“二维码设定”画面G1中，例如包括“存在二维码使用”选择区域RA1、“读取错误的处理”选择区域RA2以及“设定穿梭台1”选择区域RA3。

在图6所示的例子中，在选择区域RA1中包括“有效”字符串、与该字符串对应附带的单选按钮RB1、“无效”字符串和与该字符串对应附带的单选按钮RB2。

操作者通过敲打(点击)显示于选择区域RA1中的2个单选按钮(单选按钮RB1以及单选按钮RB2)中的一个而选择有无使用二维码。在设定了单选按钮RB2时，不进行个体识别二维码10e的读取，成为通常运转。

在选择区域RA2中，包括“即时停止错误”字符串、与该字符串对应附带的单选按钮RB3、“延续错误”字符串、与该字符串对应附带的单选按钮RB4、用于接收错误类别的输入窗口N1、用于接收连续错误次数的输入窗口N2。

操作者通过敲打(点击)显示于选择区域RA2中的2个单选按钮(单选按钮RB3以及单选按钮RB4)中的一个而设定在发生读取错误时的处理。操作者通过在显示于选择区域RA2中的2个输入窗口(输入窗口N1以及输入窗口N2)中输入任意的数值而设定在发生读取错误时的处理。操作者在选择区域RA2设定在个体识别二维码10e的读取失败时的处理。

在设定了单选按钮RB3时，如果发生读取错误立刻停止错误。在设定了单选按钮RB4时，在连续发生使用输入窗口N2设定的次数时，停止错误。使用输入窗口N1设定的值是写入读取失误的凹部37、42的错误类别号码。不实施写入错误类别的电子部件10的检查。需要注意的是，在代码阅读器17中搭载有自动重试功能。

在选择区域RA3中，包括“读取位置”的字符串、与该字符串对应附带的输入窗口N3、“移动”按钮BT1、“Reg.”按钮BT2、“等待时间”字符串、与该字符串对应附带的输入窗口N4、“穿梭台1A列”选择区域RA4、“穿梭台1B列”选择区域RA5。

在“穿梭台1A列”选择区域RA4中，包括“读取”按钮BT3、与该按钮对应附带的输出窗口S1以及输出窗口S2。

操作者指定读取载置于供料用凹部37a、42a的-Y一侧的电子部件10的个体识别二维码10e时的位置(第一以及第二穿梭台36、41的位置)。通过点击按钮BT2能够登记目前的第一以及第二穿梭台36、41的位置。

操作者在第一以及第二穿梭台36、41移动至读取位置之后，先等待指定时间再开始执行读取。

操作者点击按钮BT1。第一以及第二穿梭台36、41移动至读取位置。

操作者点击按钮BT2。以目前的第一以及第二穿梭台36、41的位置更新输入窗口N3的值。

操作者点击按钮BT3。代码阅读器17成为反复执行读取的状态。当个体识别二维码10e的读取成功时，在按钮BT3的右侧的输出窗口S1中显示读取的个体识别二维码10e，并在其下方的输出窗口S2中显示读取花费的时间。读取时间越短，读取条件越好(因为在内部的重试少)。当读取失败时，在输出窗口S1中显示“读取错误”。

在“穿梭台1B列”选择区域RA5中，包括“读取”按钮BT4、与该按钮对应附带的输出窗口S3以及输出窗口S4。需要注意的是，由于选择区域RA5与选择区域RA4是同样的功能，因此省略说明。

此外，由于“设定穿梭台2”选择区域RA6与选择区域RA3是同样的功能，因此省略说明。

在“保存日志文件”选择区域RA7中，包括“允许”字符串、与该字符串对应附带的单选按钮RB5、“禁止”字符串、与该字符串对应附带的单选按钮RB6。

操作者通过敲击(点击)显示于选择区域RA7的2个单选按钮(单选按钮RB5以及单选按钮RB6)中的一个而设定日志文件保存的有效、无效。

输送部1b在一定期间将个体识别二维码10e信息和检查结果作为控制部51内的日志数据而保存。例如，作为“Barcodexx1，Site1，Bin1，Barcodexx2，Site2，Bin3”“Barcodexx3，Site3，Bin1，Barcodexx4，Site4，Bin6”保存。

接着，对读取位置的登记进行说明。

读取位置调节由画面G1的选择区域RA3的“读取位置”、“等待时间”来实施。

首先，在第一穿梭台36的供料用凹部37a的-Y一侧插入作为检查对象的电子部件10。如果按压按钮BT1，则第一穿梭台36移动至供料用凹部37a的-Y一侧。

接着，通过在输入窗口N4任意地设定等待时间并按压按钮BT3，对应的代码阅读器17之一以设定的间隔开始连续读取。在以输入值设定时，反复进行如下操作而调节至能够读取的位置：在输入窗口N3输入“读取位置”的值，并按压按钮BT1。

在用手移动第一穿梭台36而设定时，向能够读取的位置移动第一穿梭台36，并用按钮BT2登记位置。

具体而言，首先，点击按钮BT3，开始读取。接着，用手移动第一穿梭台36，寻找读取位置。接着，一边确认显示在输出窗口S1的个体识别二维码10e和显示在输出窗口S2的处理时间一边寻找最合适的位置。接着，使用按钮BT2登记位置。接着，更新输入窗口N3的值。接着，使用按钮BT1再次确认。接着，同样地第二穿梭台41一侧的位置也进行登记。

确认是否实际上电子部件10已注入、能够进行个体识别二维码10e的读取。在读取失败时，调节输入窗口N3、输入窗口N4的值，寻找最合适的设定。

放入电子部件10的第一以及第二穿梭台36、41以阶段动作移动每一列。通过代码阅读器17对检查前的电子部件10在第一以及第二穿梭台36、41上读取个体识别二维码10e。个体识别二维码10e经由GP-IB在检查开始后被发送至检查部1a。需要注意的是，个体识别二维码10e的读取也可以在检查后。

输送部1b将个体识别二维码10e和位置信息传递给检查部1a。输送部1b基于检查部1a的检查结果将电子部件10分级。

检查结果例如，以“Site1，Bin1，Site2，Bin3，Site3，Bin1，Site4，Bin6”的形式发送。

(电子部件的检查方法)

接着，使用图7以及图8对上述的使用电子部件检查装置检查电子部件的方法进行说明。

图7是示出电子部件的检查方法的流程图。图8是示出输送部1b和检查部1a的通信序列的图。

首先，如图7所示，步骤S10相当于托盘设置工序。该工序是操作者将托盘9设置在第一输送机3上的工序。

接着，转至步骤S20。步骤S20相当于标记摄像工序。该工序是代码阅读器17读取电子部件10的个体识别二维码10e的工序。

接着，转至步骤S30。步骤S30相当于检查工序。在该工序中，输送部1b将电子部件10输送至检查用插口34，检查部1a检查电子部件10的电特性。而且，是输送部1b将被检查的电子部件10容纳在托盘9的工序。

接着，转至步骤S40。步骤S40相当于空托盘移动工序。该工序是托盘输送部11在第一输送机3～第六输送机8之间移动空托盘9的工序。

接着，转至步骤S50。步骤S50相当于托盘除去工序。该工序是操作者从第四输送机6～第六输送机8除去容纳有完成检查的电子部件10的托盘9的工序。通过以上的工序结束检查电子部件10的工序。

接着，与图7所示的步骤对应，详细地说明电子部件10的检查方法。

步骤S10是托盘设置工序。操作者在托盘9上排列电子部件10而设置。该电子部件10是接下来预定进行电特性检查的零件。接着，操作者将设置有电子部件10的托盘9载置于第一输送机3上。

步骤S20是标记摄像工序。在步骤S20中，台控制部76使输送机驱动装置61驱动第一输送机3而使托盘9接近电子部件卸料供料部20。接着，台控制部76使台驱动装置60移动第一穿梭台36。而且，使供料用凹部37a移动至供料电子部件把持部28的移动范围内。

接着，台控制部76以及把持控制部77使台驱动装置60以及把持部驱动装置62驱动电子部件供料部29，使托盘9上的4个电子部件10移动至供料用凹部37a。

接着，台控制部76使台驱动装置60移动第一穿梭台36。代码阅读器17对品种二维码10d以及个体识别二维码10e射出光线17a并扫描(参照图3)。而且，代码阅读器17接收反射光，并将反射光的光强度信号转换成条码表示的文字信息。该文字信息是个体识别数据75。CPU58从代码阅读器17输入文字信息并存储至存储器59中。

即使发生堵塞使输送部停止而电子部件残留在输送区域，由于输送部的控制部保存个体识别二维码，因此已经摄像了个体识别二维码的电子部件也能够继续动作。

在代码阅读器无法读取电子部件的个体识别二维码时，检查部1a不检查电子部件10，输送部1b将电子部件10存放在作为规定的载置部的第四输送机6上载置的托盘9上。或者存放地点也可以是任意设定的地点。在本实施方式中，虽然将被判断为不合格的电子部件10存放在载置于第四输送机6上的托盘9上，但也可以重新设置再检查用的托盘9，存放于其上。据此，在无法读取个体识别二维码10e而无法识别个体识别二维码10e时，在将该电子部件10输送至检查用插口34后，不发送个体识别二维码10e至检查部1a。由此，检查部1a能够判断将电子部件10分类成不合格，还是再检查。例如，在检查前检验电子部件10，能够在被判断为不合格时不检查而退回。

步骤S30是检查工序。在步骤S30中，台控制部76使台驱动装置60移动第一穿梭台36，使供料用凹部37a移动至检查用插口34的侧面。

接着，台控制部76以及把持控制部77使台驱动装置60以及把持部驱动装置62驱动电子部件按压装置43。而且，把持控制部77使检查电子部件把持部47把持电子部件10。接着，台控制部76使测定X台46以及测定Z台71移动，使电子部件10从供料用凹部37a移动至检查用插口34。

接着，台控制部76使电子部件按压装置43将电子部件按压至检查用插口34。由此，检查用插口34的探针与电子部件10的端子接通。

接着，基于图8对输送部1b和检查部1a的通信序列进行说明。

首先，如图8所示，在步骤S100中，输送部1b在将电子部件10设置在检查用插口34后，将检查开始发送至检查部1a。

接着，在步骤S110中，检查部1a将个体识别二维码10e的请求发送至输送部1b。检查部1a向输送部1b询问设置有电子部件10的检查用插口34的号码。

读入全部的设置在检查用插口34的电子部件10的个体识别二维码10e。例如，将“BARCODE？”的字符串从检查部1a以GP-IB通信规格为基准发送至输送部1b。

读入指定的检查用插口34的电子部件10的个体识别二维码10e。例如，作为指令发送“BARCODE：S#？”。需要注意的是，在S#的部分设置检查用插口34的号码。

接着，在步骤S120中，输送部1b将保存在控制部51中的个体识别二维码(电子部件信息)10e发送至检查部1a。输送部1b将设置电子部件10的检查用插口34的号码通知给检查部1a。

发送全部的设置在检查用插口34的电子部件10的个体识别二维码10e。例如，作为指令发送“BARCODE：S#_xxxxx，S#_xxxxx，…；”。具体而言，发送“BARCODE：S1_1234567890，S2_，S3_1000234585，S4_1100345478；”。

发送指定的检查用插口34的电子部件10的个体识别二维码10e。例如，作为指令发送“BARCODE：S#_xxxxx；”。具体而言，发送“BARCODE：S1_1234567890；”。在S#的部分设置检查用插口34的号码，并将由输送部1b的控制部51保存的个体识别二维码10e以GP-IB通信规格为基准发送至检查部1a。

接着，在步骤S130中，检查部1a为了确认从输送部1b接收的个体识别二维码10e是否正确，将从输送部1b接收的个体识别二维码10e回复给输送部1b。

检查部1a将从输送部1b接收的个体识别二维码10e发送至输送部1b。例如，作为指令发送“ECHO S#_xxxxx，S#_xxxxx，…；”。具体而言，发送“ECHO S1_1234567890；”。

接着，在步骤S140中，输送部1b比较发送至检查部1a的个体识别二维码10e和从检查部1a接收的个体识别二维码10e，将是否完成正确地发送至检查部1a回答给检查部1a。

输送部1b确认发送的个体识别二维码10e和检查部1a接收的个体识别二维码10e是否相等。

例如，在相等时发送“ECHOOK”，在不等时发送“ECHONG”。具体而言，判断ECHO指令和BARCODE指令的数据是否吻合，如果吻合回复“ECHOOK”，如果不吻合回复“ECHONG”。

接着，电特性检查装置50与电子部件10相互通信检查电子部件10的电特性。检查部1a检查电子部件10。

接着，在步骤S150中，检查部1a将电子部件10的检查结果通知给输送部1b。

接着，在步骤S160中，输送部1b为了确认从检查部1a接收的检查结果数据是否正确，将检查结果发送至检查部1a。

接着，在步骤S170中，检查部1a将发送至输送部1b的检查结果与从输送部1b接收的检查结果进行对比，并将是否完成正确地发送至输送部1b回答至输送部1b。

在电特检查装置50检查电子部件10的电特性期间，台控制部76使第一穿梭台36移动，并使卸料用凹部37b移动至检查用插口34的侧面。接着，台控制部76使第二穿梭台41移动。而且，使供料用凹部42a移动至供料电子部件把持部28的移动范围内。接着，台控制部76以及把持控制部77使台驱动装置60以及把持部驱动装置62驱动电子部件供料部29，使托盘9上的4个电子部件10移动至第二穿梭台41的供料用凹部42a。接着，台控制部76使台驱动装置60移动第二穿梭台41，使供料用凹部42a移动至检查用插口34的侧面。而且，输送部1b待机，直到电子部件10的检查结束为止。

电子部件10的检查结束后，台控制部76使台驱动装置60移动测定X台46以及测定Z台71，使电子部件10从检查用插口34移动至第一穿梭台36的卸料用凹部37b。

检查部1a合并(关联)存储检查电子部件10的结果和个体识别二维码10e。

接着，台控制部76以及把持控制部77使台驱动装置60以及把持部驱动装置62驱动电子部件按压装置43。而且，把持控制部77使检查电子部件把持部47把持位于供料用凹部42a的电子部件10。接着，台控制部76使台驱动装置60移动测定X台46以及测定Z台71，使电子部件10从供料用凹部42a移动至检查用插口34。

接着，台控制部76使检查电子部件把持部47将电子部件10按压至检查用插口34。此时，检查用插口34的探针与电子部件10的端子接通。接着，电特性检查装置50与电子部件10相互通信而检查电子部件10的电特性。

在电特性检查装置50检查电子部件10的电特性期间，台控制部76使台驱动装置60移动第二穿梭台41。而且，台驱动装置60使卸料用凹部42b移动至检查用插口34的侧面。接着，台控制部76使台驱动装置60移动第一穿梭台36。而且，台驱动装置60使卸料用凹部37b移动至卸料电子部件把持部32的移动范围内。接着，台控制部76以及把持控制部77使卸料电子部件把持部32把持电子部件10。

在电特性检查的结果为检查的电子部件10是合格品时，台控制部76使电子部件卸料部33将电子部件10载置于第五输送机7或第六输送机8上的托盘9上。在电特性检查的结果为电子部件10是不合格品时，台控制部76使电子部件卸料部33将电子部件10载置于第四输送机6上的托盘9上。

需要注意的是，在1个托盘9上设定有多个配置区域，输送部1b也可以根据区别程度配置电子部件10。

接着，台控制部76使台驱动装置60驱动第一穿梭台36，使供料用凹部37a移动至供料电子部件把持部28的移动范围内。这样，电子部件供料部29、第一穿梭台36、第二穿梭台41以及电子部件按压装置43将电子部件10从第一输送机3上的托盘9移动至检查用插口34。而且，检查用插口34以及电特性检查装置50检查电子部件10的电特性。接着，电子部件按压装置43将电子部件10从检查用插口34移动至第一穿梭台36或第二穿梭台41。

接着，电子部件卸料部33将电子部件10从第一穿梭台36或第二穿梭平41移动至第四输送机6～第六输送机8上的托盘9上。依次反复该动作进行电子部件10的电特性检查。需要注意的是，各电子部件10的电特性检查的判断结果存储于存储器59中，并显示在信息显示装置48以及信息显示装置51a上。此外，电特性检查的判断结果可以通过信息输出装置65从存储器59向外部仪器输出。

接着，返回至图7，步骤S40是空托盘移动工序。在步骤S40中，台控制部76使台驱动装置60移动托盘移动台14，使输送机驱动装置61驱动第一输送机3。而且，电子部件10被移动而变空的托盘9和托盘把持部16相对，台控制部76使托盘9和托盘把持部16移动。

接着，台控制部76使台驱动装置60驱动设置于托盘把持部16的托盘升降台68，使托盘把持部16下降。接着，台控制部76向把持部驱动装置62输出指令信号，使托盘把持部16把持托盘9。接着，台控制部76向台驱动装置60以及把持部驱动装置62输出指令信号，使托盘9在第二输送机4上或第三输送机5上移动。

当在第四输送机6～第六输送机8上的托盘9上没有载置电子部件10的地方，而有设置托盘9的地方时，台控制部76向台驱动装置60、输送机驱动装置61以及把持部驱动装置62输出指令信号。而且，台控制部76使托盘9从第二输送机4以及第三输送机5移动至第四输送机6～第六输送机8上。

接着，步骤S50是托盘除去工序。在步骤S50中，台控制部76向输送机驱动装置61输出指令信号。而且，台控制部76使输送机驱动装置61驱动第四输送机6～第六输送机8，使载置有电子部件10的托盘9移动至壳体53的外侧。接着，操作者将载置有电子部件10的托盘9从电子部件检查装置1除去，并输送至接下来的工序的操作处。通过以上的工序结束检查电子部件10的工序。

根据本实施方式，由于附加代码阅读器17，使用代码阅读器17读取标识在电子部件10上的个体识别二维码10e，并在检查时将由代码阅读器17读取的个体识别二维码10e发送至检查部1a，因此能够合并(关联)记录电子部件10的个体识别二维码10e和检查结果。由此，能够在以后确认电子部件10个体和由检查部1a检查的记录，由输送部1b也能够实施实施检查的电子部件10的个体管理。结果，能够确立电子部件10的可追踪性，并管理各个电子部件10的品质。

在通过由检查部1a实施检查的结果将信息写入电子部件10时，能够在以后确认写入每个电子部件10的个体的数据。

第二实施方式

本实施方式与第一实施方式的不同之处在于条码阅读器17的设置位置。需要注意的是，对于与第一实施方式相同的点省略说明。

图9是示出第二以及第三实施方式涉及的电子部件检查装置的结构的示意俯视图。

本实施方式的代码阅读器38设置于第一支承梁22(供料电子部件把持部28)的下部。代码阅读器38经由安装配件(未图示)并通过螺钉(未图示)等而安装在第一支承梁22的下部。

代码阅读器38能够读取载置于第一以及第二穿梭台36、41的电子部件10的个体识别二维码10e。

代码阅读器38能够通过第一支承梁22的移动读取输送至第一以及第二穿梭台36、41的电子部件10的个体识别二维码10e。由此，由于通过1台代码阅读器38读取个体识别二维码10e，因此能够抑制成本。

此外，当在电子部件供料部29的供料Y台27上设置代码阅读器38时，由于供料Y台27变重因此移动速度下降。因此在该结构中，用于电子部件供料部29移动电子部件10的时间需要较长。与该结构相比，在本实施方式中，由于在第一支承梁22上设置代码阅读器38，因此能够生产性良好地使电子部件10移动。

第三实施方式

本实施方式与第一实施方式的不同之处在于代码阅读器17的设置位置。需要注意的是，对于与第一实施方式相同的点省略说明。

如图9所示，本实施方式的代码阅读器49设置于输送部1b的台面(底座2)上。代码阅读器49经由安装配件(未图示)并通过螺钉(未图示)等而安装在底座2上。

代码阅读器49能够读取通过供料电子部件把持部28所把持的电子部件10的个体识别二维码10e。由此，当在电子部件10的背面标识有个体识别二维码10e时有效。此外，也可以与第一以及第二实施方式中的至少任一方的代码阅读器17、38组合。

需要注意的是，本实施方式不限于上述的实施方式，也可以在本发明的技术思想内通过具有在本技术领域中通常的知识的人员施加各种变更、改良。在以下说明变形例。

变形例1

图10是用于说明本变形例涉及的电子部件的示意俯视图。

在上述的实施方式中，电子部件10的个体识别信息不限于个体识别二维码，例如，也可以是图10所示的标识。使用图10对显示有个体识别信息的电子部件85的一个变形例进行说明。在所述第一～第三实施方式中，在电子部件10上印刷有二维的个体识别二维码10e。代码不限于二维，也可以1维的条码。

在本变形例中，如图10所示，在电子部件85上印刷有示出制造商名85a、品种显示名85b以及个体识别号码85c的字符串。进而，在电子部件85上印刷有用条码显示品种显示名85b的品种条码85d和用条码表示个体识别号码85c的个体识别条码85e。需要注意的是，文字、条码的内容、配置等的属性没有特别限定，设定在每件电子部件85上。

代码阅读器17对品种条码85d以及个体识别条码85e射出光线17a并扫描。

变形例2

图11是用于说明本变形例涉及的电子部件的示意俯视图。

在所述变形例1中，在电子部件85上印刷有一维的个体识别条码85e。如图11所示，在电子部件88上印刷有表示制造商名88a、品种显示名88b以及作为个体识别信息的个体识别号码88c的字符串。

个体识别信息读取部是未图示的摄像装置。据此，作为电子部件10的个体识别信息，能够读取文字、条码以及二维码等中的至少一个。

摄像装置在内部组装有物镜、自动调焦装置、同轴落射照明装置和CCD(ChargeCoupled Device：电感耦合器件)摄像元件。摄像装置的物镜朝向电子部件88而设置。首先，从同轴落射照明装置射出的光照射电子部件88。摄像装置使由电子部件88反射的光穿过物镜而输入。而且，自动调焦装置在CCD摄像元件上成像。通过CCD摄像元件将图像转换成电信号而摄像装置能够摄像电子部件88。制造商名88a、品种显示名88b以及个体识别编号88c的字符串优选成为可被摄像装置摄像的色调。在本变形例中，例如，背景是白色，文字颜色成为黑色。需要注意的是，从摄像装置摄像的图像算出个体识别数据75的方法可以使用公知的方法。

变形例3

在上述变形例2中，摄像装置在内部组装了CCD摄像元件。将图像转换成电信号的装置不限于CCD摄像元件。可以使用摄像管、CMOS(辅助性金属氧化膜半导体)图像传感器。另外也可以使用红外线图像传感器。也可以综合摄像环境、电子部件88的印刷状况而选择。

附图标记说明

1电子部件检查装置；1a检查部；1b输送部(电子部件输送装置)；2底座；3第一输送机；3c第一方向；4第二输送机；5第三输送机；6第四输送机；7第五输送机；8第六输送机；9托盘；10电子部件；10a制造商名；10b品种显示名；10c个体识别号码；10d品种二维码；10e个体识别二维码(个体识别信息)；11托盘输送部；12托盘输送支承部；13导轨；14托盘移动台；14a第二方向；15托盘把持支承部；16托盘把持部；17代码阅读器(个体识别信息读取部)；17a光线；18、19导轨；20电子部件卸料供料部；21导轨；22第一支承梁；23供料X台；24卸料X台；25第一支承部；26第二支承梁；27供料Y台；28供料电子部件把持部(把持部)；29电子部件供料部；30第二支承部；31卸料Y台；32卸料电子部件把持部；33电子部件卸料部；34检查用插口(电子部件检查载置部)；35导轨；36第一穿梭台(电子部件输送部)；37凹部；37a供料用凹部；37b卸料用凹部；38代码阅读器(个体识别信息读取部)；39导轨；40导轨；41第二穿梭台(电子部件输送部)；42凹部；42a供料用凹部；42b卸料用凹部；43电子部件按压装置；44按压支承部；45导轨；46测定X台；47检查电子部件把持部；48信息显示装置；49代码阅读器(个体识别信息读取部)；50电特性检查装置；51控制部；51a信息显示装置；51b信息输入装置；52警告灯；53壳体；54空气供给部；55隔板；58CPU；59存储器；60台驱动装置；61输送机驱动装置；62把持部驱动装置；63安装配件；65信息输出装置；66输入输出接口；67数据总线；68托盘升降台；69供料Z台；70卸料Z台；71测定Z台；72程序软件；75个体识别数据；76台控制部；77把持控制部；81信息显示控制部；82电子部件信息生成发送部；85电子部件；85a制造商名；85b品种显示名；85c个体识别号码；85d品种条码；85e个体识别条码(个体识别信息)；88电子部件；88a制造商名；88b品种显示部；88c个体识别号码(个体识别信息)。

Claims (9)

1.一种电子部件输送装置，其特征在于，具有：

个体识别信息读取部，能够读取记载于电子部件上的所述电子部件的个体识别信息；

电子部件信息生成发送部，能够生成包括所述个体识别信息的、发送至检查所述电子部件的检查部的电子部件信息，并能够将所述电子部件信息发送至所述检查部；

电子部件检查载置部配置部，能够配置能够检查所述电子部件的电子部件检查载置部；以及

电子部件输送部，能够载置所述电子部件，并向所述电子部件检查载置部配置部输送所述电子部件，

所述检查部能够合并存储检查所述电子部件而得的结果和所述个体识别信息。

2.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述电子部件输送装置具有把持所述电子部件的把持部，

所述个体识别信息读取部读取载置于所述电子部件输送部的所述电子部件和通过所述把持部把持的所述电子部件中的任一方的所述个体识别信息。

3.根据权利要求1或2所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述个体识别信息读取部是代码阅读器和摄像装置中的任一方。

4.根据权利要求1或2所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述电子部件信息生成发送部基于来自所述检查部的信号而将所述电子部件信息发送至所述检查部。

5.根据权利要求1或2所述的电子部件输送装置，其特征在于，

在所述个体识别信息读取部无法读取所述电子部件的所述个体识别信息时，

所述检查部不检查所述电子部件，

所述电子部件输送部将所述电子部件载置于规定的载置部。

6.根据权利要求1或2所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述电子部件输送装置具有操作部，所述操作部能够设定和确认所述个体识别信息读取部的读取位置，

所述操作部具有触摸面板，所述触摸面板能够进行用于设定所述读取位置的输入以及用于确认所述读取位置的显示。

7.根据权利要求1或2所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述电子部件输送装置具有操作部，所述操作部能够设定和确认所述个体识别信息读取部的读取位置，

所述操作部具有：输入部，能够进行用于设定所述读取位置的输入；以及显示部，能够进行用于确认所述读取位置的显示。

8.根据权利要求1或2所述的电子部件输送装置，其特征在于，

在所述电子部件信息中，除所述个体识别信息之外，还包括在所述电子部件输送装置中所述电子部件的输送路径的信息。

9.一种电子部件检查装置，其特征在于，具有：

个体识别信息读取部，能够读取记载于电子部件上的所述电子部件的个体识别信息；

检查部，检查所述电子部件；

电子部件信息生成发送部，能够生成包括所述个体识别信息的、发送至所述检查部的电子部件信息，并能够将所述电子部件信息发送至所述检查部；

电子部件检查载置部，能够检查所述电子部件；以及

电子部件输送部，能够载置所述电子部件，并向所述电子部件检查载置部输送所述电子部件，

所述检查部能够合并存储检查所述电子部件而得的结果和所述个体识别信息。