JP2014102234A - 測定結果表示装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】膨大な測定結果の中から必要な不良結果のみを抽出し、不良が確認された被試験デバイスの不良結果を簡易的に確認すること。
【解決手段】表示制御部１４は、少なくとも評価試験における被試験デバイスの良品数及び不良品数とその割合とを含む合否判定結果を表示する合否判定結果表示エリアＥ２を有する測定終了画面内に表示された不良結果表示切替キーＭ１が選択されると、合否判定結果の中から不良が確認された被試験デバイスの不良結果情報のみが測定パラメータ毎にエリア分けした状態でそれぞれ表示される不良結果表示画面Ｓ２を表示制御する。
【選択図】図３

Description

本発明は、被試験デバイスとなる移動体通信端末や送信用増幅回路等の各種ディジタル通信デバイスに対する評価試験を行った測定結果を表示する測定結果表示装置及び方法に関するものである。

従来から、ディジタル通信デバイスである送信用増幅回路や移動体通信端末等の被試験デバイスに対する評価試験を行い、その試験内容に応じた測定結果を表示する装置として、例えば下記特許文献１に開示されるスペクトラムアナライザが知られている。

特開平１０−２２１３８７号公報

ところで、近年、ディジタル通信デバイス（特に携帯電話等の移動体通信端末用）の通信規格は、データ通信の高速化を図るため規格の変更が頻繁に行われており、このような新規の通信規格を実現するために新しい規格、変調方式等に対する評価・試験に加えて、デバイスの製造時等にも厳密な検査が必要となっている。

また、一般的なスペクトラムアナライザで実施される試験の測定項目は、例えば被試験デバイスを介して入力した被試験信号のパワーを測定するパワー測定、被試験デバイスからの信号の帯域内における理想変調信号に対する測定変調信号の位置ずれの度合いを測定して信号のひずみを評価するＥＶＭ（Error Vector Magnitude）測定、目的信号であるキャリア近傍や高調波のスプリアス（不要成分）であるスプリアス測定等の多岐にわたり、各試験の測定条件（周波数、信号レベル、測定項目の選択数等）となる各測定パラメータを細かく設定すると、その項目数は膨大となる。

しかしながら、特許文献１の装置では、実施した試験における全測定項目の測定結果が表示されてしまうため、例えば製造ラインにおいて作業員が測定結果を確認するような場合、必要な測定結果を検索するのに時間を要し、スムーズな良否判定が行えないという問題があった。

また、細かく測定パラメータを設定して試験を行うと、その膨大な測定結果を表示画面上に全て表示しきれないこともあり、このような場合は測定結果の検索に加えて表示内容の切り替え操作を行って良否結果を確認しなければならず、確認作業が煩雑であった。

そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、被試験デバイスの良否判定をする際、全測定結果の中から所望する測定結果（特に不良結果）のみを抽出して表示することのできる測定結果表示装置及び方法を提供することを目的とするものである。

上記した目的を達成するため、請求項１記載の測定結果表示装置１は、被試験デバイスを介して入力した被測定信号とローカル信号とをミキシングして所定の中間周波数の信号成分を取り出し、当該中間周波数の信号成分を検波したアナログ出力をディジタル変換したデータを測定データとして出力する入力信号処理部１１と、
該入力信号処理部から出力された前記測定データに対し、測定条件となる複数の測定パラメータが設定された評価試験に従って所定の信号解析処理を実施した解析結果を解析結果データとして出力する信号解析部１３ａと、
該信号解析部から出力された前記解析結果データを表示部１４に表示制御する表示制御部１３ｃと、
を備えた測定結果表示装置１において、
前記表示制御部は、少なくとも前記評価試験における前記被試験デバイスの良品数及び不良品数とその割合とを含む合否判定結果を表示する合否判定結果表示エリアＥ２を有する測定終了画面内に表示された不良結果表示切替キーＭ１が選択されると、前記合否判定結果の中から不良が確認された前記被試験デバイスの不良結果情報のみが前記測定パラメータ毎にエリア分けした状態でそれぞれ表示される不良結果表示画面Ｓ２を表示制御することを特徴とする。

請求項２記載の測定結果表示装置は、請求項１記載の測定結果表示装置において、前記不良結果表示画面Ｓ２に表示される不良結果情報は、前記測定パラメータで設定された測定項目毎の合否判定用比較情報である閾値と不良であった測定結果とを含み、
さらに、前記測定パラメータエリア内で、前記不良が確認された測定項目毎に前記不良結果情報が関連付けされた状態で表示されていることを特徴とする。

請求項３記載の測定結果表示方法は、被試験デバイスを介して入力した被測定信号とローカル信号とをミキシングして所定の中間周波数の信号成分を取り出し、当該中間周波数の信号成分を検波したアナログ出力をディジタル変換したデータを測定データとして出力する入力信号処理ステップと、
前記測定データに対し、測定条件となる複数の測定パラメータが設定された評価試験に従って所定の信号解析処理を実施した解析結果を解析結果データとして出力する信号解析ステップと、
少なくとも前記評価試験における前記被試験デバイスの良品数及び不良品数とその割合とを含む合否判定結果を表示する合否判定結果表示エリアＥ２を有する測定終了画面内に表示された不良結果表示切替キーＭ１が選択されると、前記合否判定結果の中から不良が確認された前記被試験デバイスの不良結果のみが前記測定パラメータ毎にエリア分けした状態でそれぞれ表示される不良結果表示画面Ｓ２を表示する表示制御ステップと、
を含むことを特徴とする。

本発明によれば、測定終了後に不良が確認された被試験デバイスの不良結果のみが抽出された不良結果表示画面に切り替えることができるため、必要な測定結果を検索する手間が省け、簡易的に被試験デバイスの良否判定を行うことができる。

また、被試験デバイスの評価試験において、細かく測定パラメータが設定されているような場合でも、その膨大な測定結果の中から必要な不良結果のみを抽出しているため、表示内容の切り替え操作を何度も行って良否結果を確認することなく不良結果のみを確認することができる。

本発明に係る測定結果表示装置の機能ブロック図である。 同装置における表示画面例を示す説明図である。 同装置における他の表示画面例を示す説明図である。 同装置における他の表示画面例を示す説明図である。 同装置における他の表示画面例を示す説明図である。 同装置における他の表示画面例を示す説明図である。

以下、本発明を実施するための形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。また、以下の実施の形態により本発明が限定されるものではなく、この形態に基づいて当業者等により考案される実施可能な他の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれるものである。

図１に示すように、本例の測定結果表示装置１としてのスペクトラムアナライザは、入力信号処理部１１と、データ記憶部１２と、処理制御部１３と、表示部１４と、設定入力部１５とで構成されている。測定結果表示装置１は、装置内部に設けられた信号発生部１６（設置箇所は装置外部でも可）から所定の測定パラメータ（周波数、信号レベル等）が設定された被測定信号（信号種別として、例えばＯＦＤＭ（orthogonal frequency-division multiplexing）変調信号等がある）を被試験デバイス（Device Under Test ：ＤＵＴ）に出力し、被試験デバイスを介して入力した被測定信号に関する各種データ（測定データ、解析結果データ、判定結果データ等）を適宜選択して表示部１４に表示している。

なお、本例の測定結果表示装置１で実施される被試験デバイスに対する評価試験は、主として測定条件となる測定パラメータ（被測定信号の信号名、該信号の周波数、信号レベル等の信号情報や実施する測定項目とその閾値等）を測定項目毎に設定された試験シナリオに沿って実施されるため、その測定項目数が多数存在する。

従って、本装置では、評価試験実施後に複数の測定パラメータ毎の測定項目に対する測定結果を取得し、設定入力部１６からの設定情報に応じて、取得した測定結果の中からユーザが所望する測定結果（本例では不良が確認された被試験デバイスの測定結果を主とする）を適宜抽出して表示部１４に表示制御している。

入力信号処理部１１は、被試験デバイスを介して入力する被測定信号を適正レベルに減衰させて出力する減衰器１１ａと、ローカル信号を発生して出力する水晶発振器等のローカル発振器１１ｂと、ローカル信号の周波数を掃引する掃引信号発生器１１ｃと、減衰器１１ａで所定レベルに減衰された被測定信号とローカル発振器１１ｂからのローカル信号とをミキシングして出力するミキサ１１ｄと、ミキサ１１ｄの出力から所定の中間周波数の信号成分を取り出して出力する中間周波数フィルタ１１ｅと、中間周波数フィルタ１１ｅで取り出された信号を検波（ポジティブピーク検波、ネガティブピーク検波、サンプル検波等）して出力する検波器１１ｆと、検波器１１ｆからの出力（アナログ信号）をディジタル信号に変換し出力するＡ／Ｄ変換器１１ｇとで構成されている。

データ記憶部１２は、例えばＲＯＭ、ＲＡＭ等の半導体メモリやＨＤＤ等の各種記憶装置で構成され、Ａ／Ｄ変換器１１ｇで変換され出力されたディジタル信号（以下、「測定データ」という）と、処理制御部１３で解析処理又は合否判定処理された測定データに関する信号解析結果や判定処理結果とを、被測定信号の信号情報（信号名、信号レベル、周波数等の信号の素性を示す情報）と関連付けした状態で記憶している。

処理制御部１３は、例えばＣＰＵやＲＯＭ，ＲＡＭ等のマイクロコンピューターで構成され、信号解析部１３ａと、判定処理部１３ｂと、表示制御部１３ｃとを備えている。

信号解析部１３ａは、測定データ記憶部１２に記憶される測定データを用いてユーザにより設定された測定条件（被測定信号の周波数、信号レベル、測定項目数等の各測定パラメータ）に則した評価試験を行って被測定信号に対する所望の信号解析処理を行い、これら解析結果を解析結果データとして判定処理部１３ｂと表示制御部１３ｃとに出力している。

信号解析部１３ａによる被測定信号の解析処理としては、例えば被試験デバイスを介して入力し被測定信号のパワーを測定するパワー測定（Power Measurement ）、被試験デバイスからの信号の帯域内における理想変調信号に対する測定変調信号の位置ずれの度合いを測定して信号のひずみを評価するＥＶＭ（Error Vector Magnitude）測定、被測定信号（キャリア）近傍に発生したスプリアス（不要成分）や、被測定信号の整数倍の周波数に発生したスプリアスを測定するスプリアス測定（Sprious ）等の種々の解析処理があり、被試験デバイスを試験するのに必要な各種解析処理が行われる。

なお、上述した被測定信号の解析処理例であるパワー測定、ＥＶＭ測定、スプリアス測定は、従来から一般的に普及するスペクトラムアナライザで実施される周知の信号解析処理と同様であり、また各処理に関する詳細な解析処理内容として、例えば特開２００４−３４７３２０号公報（パワー測定）、特開２００５−３０３４５５号公報（ＥＶＭ測定）、特開２００５−５７５８０号公報（スプリアス測定）等に詳述されているため、本明細書ではこれら処理に関する説明を省略する。

判定処理部１３ｂは、設定入力部１５からの設定情報に従い、信号解析部１３ａで解析された解析結果データと、解析処理毎に予め設定された合否判定用比較情報（閾値等）とを比較して解析結果データの合否判定処理（Pass／Fail）を行う。そして、判定処理部１３ｂは、この判定結果を判定結果データとしてデータ記憶部１２と表示制御部１３ｃに出力している。

表示制御部１３ｃは、設定入力部１５からの設定情報により、一般的なスペクトラムアナライザの駆動に必要な各種表示画面の表示制御に加え、データ記憶部１２に記憶される被測定信号の測定データ、信号解析部１３ａで解析された解析結果を示す解析結果データ、判定処理部１３ｂで合否判定処理された判定結果データの中から表示に必要なデータのみを抽出し、予め設定された画面フォーマットに従って表示部１４の表示画面上に表示制御している。

ここで、図２〜図６を参照しながら、表示部１４に表示制御される測定終了後の測定結果表示画面例について説明する。本例の測定結果表示装置１では、被測定信号の測定終了画面を起点とし、設定入力部１５からの所定操作によって表示画面上の特定の表示切替メニューＭ（画面上右端の各ソフトキー）が選択されることで、その操作に応じた表示画面を表示部１４の表示画面上に表示制御している。

まず、ユーザが設定した測定条件に則した試験シナリオを実行して被測定信号に関する測定処理、解析処理及び判定処理が完了すると、図２に示すような測定終了を示す測定終了画面Ｓ１が表示される。

＜測定終了画面の表示形態＞
図２に示す表示例では、測定対象となった被試験デバイスの識別情報（ロットナンバーやモデル名）、試験シーケンスの種類等の実施した試験の概要を簡易表示する試験概要表示エリアＥ１と、実施した評価試験において合否判定（良品（Pass）及び不良品（Fail）を判定）をしたときの良品数とその割合及び不良品数とその割合を簡易的に表示する合否判定結果表示エリアＥ２とが測定終了画面Ｓ１内にエリア分けされて表示される。

図例では、試験概要表示エリアＥ１には、測定状態又は停止状態を表示する項目欄として「Status」、被試験デバイスのロットナンバーを表示する項目欄として「Lot Number」、モデル名を表示する項目欄として「Model 」、シーケンス名を表示する項目欄として「Sequence」がそれぞれ表示されている。また、合否判定結果表示エリアＥ２には、直近で実施された試験の測定時間（ｍｓ）を表示する項目欄として「Last Measurement Time 」、直近で実施された試験の測定結果を表示する項目欄として「Last Measurement Result 」、実施した試験における良品数とその割合を表示する項目欄として「Pass」、実施した試験における不良品数とその割合を表示する項目欄として「Fail」、試験対象となった被試験デバイスの総数を表示する項目欄として「Total 」がそれぞれ表示されている。

なお、合否判定結果表示エリアＥ２は、測定終了画面Ｓ１の背景色を異なる配色としたり、文字色を測定条件表示エリアと異なる配色にすることで、ユーザが一目で合否判定結果を確認することができる。

また、図２に合否判定結果表示エリアＥ２が表示された状態で表示切替メニューＭにおける不良結果表示切替キーＭ１である「Fail Result 」を選択すると、図３に示すような不良が確認された被試験デバイスの不良結果のみを表示する不良結果表示画面Ｓ２が表示される。

＜不良結果表示画面の表示形態＞
図３に示す表示例では、試験により不良が確認された被試験デバイスの識別番号（シリアル番号等）において、実施した試験で設定された測定パラメータ名と、その測定パラメータにおいて不良が確認された測定項目名、測定結果及び閾値（設定された測定項目のみ表示）とが関連付けされた状態で、測定パラメータ毎にエリア分けした測定パラメータ毎のエリア内に表示されている。図例では、測定パラメータとして「Parameter File A」、「Parameter File B」の２種類の測定パラメータにおいてそれぞれ不良が確認されたことを示し「Parameter File A」では不良が確認された測定項目が「EVM 」及び「Power Measurement」であり、「Parameter File B」では「EVM 」及び「Harmonics 」であることを示している。

また、図３に表示された表示切替メニューＭのうち、不良が確認された被試験デバイスを一覧表示したいときに、不良デバイス一覧表示切替キーＭ２である「Fail Device List」を選択すると、図４に示す不良デバイス一覧表示画面Ｓ３が表示される。さらに、不良が確認された被試験デバイスの数を各測定パラメータにおける測定項目毎に表示したいときに、測定項目別不良デバイス数表示キーＭ３である「Fail Item List」を選択すると、図５に示す測定項目別不良デバイス数表示画面Ｓ４が表示される。また、他の被試験デバイスの不良結果表示画面を表示したいときに、他デバイス不良結果表示切替キーＭ４である「Fail Device Number」を選択することで、不良が確認された他の被試験デバイスの不良結果表示画面Ｓ２に切り替えることができる。

＜不良デバイス一覧表示画面の表示形態＞
図４に示す表示例では、被試験デバイスのロット数と不良が確認された被試験デバイスの総数が表示され、該当する被試験デバイスの識別番号が一覧表示されている。図例では、不良が確認されたデバイスの識別番号が一覧表示されている。

また、図４に表示された表示切替メニューＭのうち、被試験デバイスを選択するためのデバイス選択キーＭ５である「Cursor Up 」及び「Cursor Down 」を操作することで一覧表示された被試験デバイスの識別番号を指定することができる。そして、デバイス選択キーＭ５で識別番号を指定した状態で不良結果表示切替キーＭ６である「Fail Device Result」を選択すると、図３に示すような指定された被試験デバイスに関する不良結果表示画面Ｓ２が表示される。さらに、不良が確認された被試験デバイスの数を各測定パラメータにおける測定項目毎に表示したいときに、測定項目別不良デバイス数表示切替キーＭ３である「Fail Item List」を選択すると、図５に示す測定項目別不良デバイス数表示画面Ｓ４が表示される。

＜測定項目別不良デバイス数表示画面の表示形態＞
図５に示す表示例では、被試験デバイスのロット数と不良が確認された被試験デバイスの総数が表示され、実施した試験で設定された測定パラメータファイル名と、その測定パラメータにおいて不良が確認された測定項目毎の被試験デバイスの数とその割合が関連付けされた状態で、測定パラメータ毎にエリア分けした測定パラメータ毎のエリア内に表示されている。

また、図５に表示された表示切替メニューＭのうち、測定項目を選択するための測定項目選択キーＭ７である「Cursor Up 」及び「Cursor Down 」を操作することで表示された測定項目を指定することができる。そして、測定項目選択キーＭ７で測定項目を指定した状態で測定項目別不良デバイス結果表示切替キーＭ８である「Fail Item Detail Info 」を選択すると、図６に示すような指定された測定項目で不良が確認された被試験デバイスの一覧と測定結果とが関連付けされた測定項目別不良デバイス結果表示画面Ｓ５が表示される。さらに、不良結果表示切替キーＭ６である「Fail Device Result」が選択されると、図３に示すような被試験デバイスに関する不良結果表示画面Ｓ２が表示される。また、不良が確認された被試験デバイスを一覧表示したいときに、不良デバイス一覧表示切替キーＭ２である「Fail Device List」を選択すると、図４に示す不良デバイス一覧表示画面Ｓ３が表示される。

＜測定項目別不良デバイス結果表示画面の表示形態＞
図６に示す表示例では、被試験デバイスのロット数と選択した測定項目で不良が確認された被試験デバイスの総数が表示され、また選択した測定項目（EVM ）とその閾値（Limit:-40.00dB）とが表示され、該当する被試験デバイスの識別番号とその測定結果が関連付けされた状態で一覧表示されている。

また、図６に表示された表示切替メニューのうち、被試験デバイスを選択するためのデバイス選択キーＭ５である「Cursor Up 」及び「Cursor Down 」を操作することで表示された被試験デバイスの識別番号を指定することができる。そして、デバイス選択キーＭ５で識別番号を指定した状態で不良結果表示切替キーＭ６である「Fail Device Result」を選択すると、図３に示すような指定された被試験デバイスに関する不良結果表示画面Ｓ２が表示される。さらに、不良が確認された被試験デバイスを一覧表示したいときに、不良デバイス一覧表示切替キーＭ２である「Fail Device List」を選択すると、図４に示す不良デバイス一覧表示画面Ｓ３が表示される。また、不良が確認された被試験デバイスの数を各測定パラメータにおける測定項目毎に表示したいときに、測定項目別不良デバイス数表示切替キーＭ３である「Fail Item List」を選択すると、図５に示す測定項目別不良デバイス数表示画面Ｓ４が表示される。

なお、上述した説明では、測定終了画面Ｓ１が表示された状態で「Fail Result 」を選択すると、図３に示すような不良結果表示画面Ｓ２が表示される構成で説明したが、これに限定されることはなく、例えば測定終了時に１つでも不良が確認されたときに測定終了画面Ｓ１から自動的に不良結果表示画面Ｓ２に表示切替されるように設定してもよい。また、表示する画面は、不良結果表示画面Ｓ２に限らず、不良が確認された際にユーザが確認したい表示画面（不良デバイス一覧表示画面Ｓ３、測定項目別不良デバイス数表示画面Ｓ４、測定項目別不良デバイス結果表示画面Ｓ５の何れか）を適宜表示してもよい。

表示部１４は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やＣＲＴ等の表示機器で構成され、表示制御部１３ｃからの表示制御に応じてデータ記憶部１２に記憶される測定データ、解析結果データ、判定結果データ等を表示データとして表示出力している。

設定入力部１５は、テンキーや各種操作キー（表示画面上に表示されたソフトキーと連動するファンクションキーを含む）、表示部１４の表示画面上に表示された表示要素の画像領域を操作するマウス又はタッチパネル等のポインティングデバイスで構成される。設定操作部は、ユーザが被試験デバイスの評価試験を行う際に所望の試験条件（測定パラメータの設定等）の設定や、表示部１４に表示する表示内容の切り替え時に操作され、操作した内容に応じた設定情報が設定対象となる設定先に出力される。

そして、上述した測定結果表示装置１では、まず設定入力部１５を所定操作して被試験デバイスに対する測定条件の設定（被測定信号のレベル調整や周波数設定、測定項目の選択等の各測定パラメータの設定）を行う。次に、評価試験を実施し、評価試験が終了すると、図２に示す測定終了画面が表示される。

ユーザは、表示された測定終了画面の合否判定結果表示エリアＥ２を確認し、被試験デバイスの不良が確認されたときは、設定入力部１５を所定操作して同画面上に表示された不良結果表示切替キーＭ１を選択する。これにより、表示画面上に不良が確認された被試験デバイスの不良結果のみを示す不良結果表示画面Ｓ２に切り替わる。また、ユーザは、不良結果の詳細を確認するため、必要に応じて設定入力部１５を所定操作し、表示切替メニューＭ（不良デバイス一覧表示切替キーＭ２、測定項目別不良デバイス数表示キーＭ３、他デバイス不良結果表示切替キーＭ４、デバイス選択キーＭ５、不良結果表示切替キーＭ６、測定項目選択キーＭ７、測定項目別不良デバイス結果表示切替キーＭ８の何れか）を適宜選択して不良デバイス一覧表示画面Ｓ３、測定項目別不良デバイス数表示画面Ｓ４、測定項目別不良デバイス結果表示画面Ｓ５の何れかの画面に切り替える。

以上説明したように、上述した測定結果表示装置１は、被試験デバイスを介して入力した被測定信号の解析が終了すると、合否判定結果表示エリアＥ２を有する測定終了画面Ｓ１が表示される。そして、ユーザは、合否判定結果エリアＥ２の表示内容から被試験デバイスの不良が確認されたときは、設定入力部１５を所定操作して同画面上に表示された不良結果表示切替キーＭ１を選択する。

また、ユーザは、不良結果の詳細を確認するため、必要に応じて設定入力部１５を所定操作して表示切替メニューＭ（不良デバイス一覧表示切替キーＭ２、測定項目別不良デバイス数表示キーＭ３、他デバイス不良結果表示切替キーＭ４、デバイス選択キーＭ５、不良結果表示切替キーＭ６、測定項目選択キーＭ７、測定項目別不良デバイス結果表示切替キーＭ８の何れか）を適宜選択して不良デバイス一覧表示画面Ｓ３、測定項目別不良デバイス数表示画面Ｓ４、測定項目別不良デバイス結果表示画面Ｓ５の何れかの画面に切り替える。

これにより、表示画面上にユーザが必要とする不良が確認された被試験デバイスの不良結果のみを示す不良結果表示画面Ｓ２に切り替わるため、簡易的に必要な測定結果を検索することができる。特に、被試験デバイスの製造ラインで使用する場合、測定結果内容を解析する知識を有さない作業者であっても容易に被試験デバイスの良否判定を行うことができ、作業効率の向上を図ることができる。

また、実施された評価試験によって細かく測定パラメータが設定されているような場合は、その膨大な測定結果の中から必要な不良結果のみを抽出して表示画面上に表示しているため、表示内容の切り替え操作を何度も行って良否結果を確認することなく、不良結果の確認を簡便に行うことができる。

ところで、上述した説明では、評価試験における測定項目としてパワーアンプ等の送信用デバイスの測定項目であるパワー測定、ＥＶＭ測定、スプリアス測定を実施した際の表示例を説明したが、これに限定されることはなく、例えば受信用のデバイスに関する測定項目に置き換えることで上述した構成と同様の効果を奏することができる。

１…測定結果表示装置（スペクトラムアナライザ）
１１…入力信号処理部（１１ａ…減衰器、１１ｂ…ローカル発振器、１１ｃ…掃引信号発生器、１１ｄ…ミキサ、１１ｅ…中間周波数フィルタ、１１ｆ…検波器、１１ｇ…Ａ／Ｄ変換器）
１２…データ記憶部
１３…処理制御部（１３ａ…信号解析部、１３ｂ…判定処理部、１３ｃ…表示制御部）
１４…表示部
１５…設定入力部
１６…信号発生部
Ｅ１…試験概要表示エリア
Ｅ２…合否判定結果表示エリア
Ｍ…表示切替メニュー（Ｍ１…不良結果表示切替キー、Ｍ２…不良デバイス一覧表示切替キー、Ｍ３…測定項目別不良デバイス数表示キー、Ｍ４…他デバイス不良結果表示切替キー、Ｍ５…デバイス選択キー、Ｍ６…不良結果表示切替キー、Ｍ７…測定項目選択キー、Ｍ８…測定項目別不良デバイス結果表示切替キーＭ８）
Ｓ１…測定終了画面
Ｓ２…不良結果表示画面
Ｓ３…不良デバイス一覧表示画面
Ｓ４…測定項目別不良デバイス数表示画面
Ｓ５…測定項目別不良デバイス結果表示画面

Claims (3)

1. 被試験デバイスを介して入力した被測定信号とローカル信号とをミキシングして所定の中間周波数の信号成分を取り出し、当該中間周波数の信号成分を検波したアナログ出力をディジタル変換したデータを測定データとして出力する入力信号処理部（１１）と、
   該入力信号処理部から出力された前記測定データに対し、測定条件となる複数の測定パラメータが設定された評価試験に従って所定の信号解析処理を実施した解析結果を解析結果データとして出力する信号解析部（１３ａ）と、
   該信号解析部から出力された前記解析結果データを表示部（１４）に表示制御する表示制御部（１３ｃ）と、
   を備えた測定結果表示装置１において、
   前記表示制御部は、少なくとも前記評価試験における前記被試験デバイスの良品数及び不良品数とその割合とを含む合否判定結果を表示する合否判定結果表示エリア（Ｅ２）を有する測定終了画面内に表示された不良結果表示切替キー（Ｍ１）が選択されると、前記合否判定結果の中から不良が確認された前記被試験デバイスの不良結果情報のみが前記測定パラメータ毎にエリア分けした状態でそれぞれ表示される不良結果表示画面（Ｓ２）を表示制御することを特徴とする測定結果表示装置。
2. 前記不良結果表示画面（Ｓ２）に表示される不良結果情報は、前記測定パラメータで設定された測定項目毎の合否判定用比較情報である閾値と不良であった測定結果とを含み、
   さらに、前記測定パラメータエリア内で、前記不良が確認された測定項目毎に前記不良結果情報が関連付けされた状態で表示されていることを特徴とする請求項１記載の測定結果表示装置。
3. 被試験デバイスを介して入力した被測定信号とローカル信号とをミキシングして所定の中間周波数の信号成分を取り出し、当該中間周波数の信号成分を検波したアナログ出力をディジタル変換したデータを測定データとして出力する入力信号処理ステップと、
   前記測定データに対し、測定条件となる複数の測定パラメータが設定された評価試験に従って所定の信号解析処理を実施した解析結果を解析結果データとして出力する信号解析ステップと、
   少なくとも前記評価試験における前記被試験デバイスの良品数及び不良品数とその割合とを含む合否判定結果を表示する合否判定結果表示エリア（Ｅ２）を有する測定終了画面内に表示された不良結果表示切替キー（Ｍ１）が選択されると、前記合否判定結果の中から不良が確認された前記被試験デバイスの不良結果のみが前記測定パラメータ毎にエリア分けした状態でそれぞれ表示される不良結果表示画面（Ｓ２）を表示する表示制御ステップと、
   を含むことを特徴とする測定結果表示方法。

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