JP2000311930A - 半導体検査装置と半導体検査装置におけるウエハ上の各ダイの属性を指定する方法 - Google Patents

半導体検査装置と半導体検査装置におけるウエハ上の各ダイの属性を指定する方法

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JP2000311930A JP11121184A JP12118499A JP2000311930A JP 2000311930 A JP2000311930 A JP 2000311930A JP 11121184 A JP11121184 A JP 11121184A JP 12118499 A JP12118499 A JP 12118499A JP 2000311930 A JP2000311930 A JP 2000311930A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 パラメトリック・テストの対象となる半導体
ウエハ上のダイの複数の属性のデータの一元管理、同一
ツール上での実時間上での編集作業、表示を可能にす
る。 【解決手段】 ウエハ上のダイの属性を複数の属性から
選んで指定するのに際して、各ダイに関する属性データ
を３値以上のデータとして展開して保持するメモリ手段
（１０２）と、オペレータが各ダイについていずれの属
性をも同一表示内で選択でき、選択された属性を直ちに
ダイの特性としてディスプレイ上の表示に反映するディ
スプレイコントロール手段（１０１）とを含んでなる半
導体検査装置および半導体検査装置におけるウエハ上の
各ダイの属性を指定する方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体検査装置に
おけるウエハ上の各ダイの属性を指定する方法および半
導体検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体回路素子の製造プロセスにおいて
は、通常、ウエハをチップに切り出す前にウエハ上で電
気的試験／評価が行われる。このようなＴＥＧ(test el
ementgroup)を用いたパラメトリック・テストにおいて
は、まず、不良ダイの発生確率が低いウエハの中心領域
において１または複数のダイについて試験を行う。もし
ここで異常がなければ、不良の可能性がより高くなるウ
エハの周縁部にあるダイについて全数あるいはより高い
密度の試験を行う。
【０００３】図７を参照しながら、この用途に使用され
る半導体パラメトリック・テスタの一例を説明する。半
導体パラメトリック・テスト・システム１は、被測定物
たるウエハ２に対して電気信号を供給しウエハ２からの
電気信号を測定するテスタ本体３と、ウエハ・ロット４
から測定するウエハ２を取り出し、所定のダイ上に探針
（プローブ）を接触させるブローバ５と、テスタ本体３
およびブローバ５の制御を行い、測定データの処理を行
うコンピュータ６Ａと、コンピュータ６Ａを動作させる
測定プログラム群６Ｂを備えている。測定プログラム群
６Ｂは、ウエハ２やその上のデバイス等の情報ファイル
で構成されるテストプラン７と、測定アルゴリズムを定
義するファイルで構成される測定アルゴリズム８と、各
部の初期化やテストプラン７および測定アルゴリズム８
のロードや実行等を行うコアプログラム９と、リミット
・ファイル１０とを具備する。また、測定プログラム群
６Ｂは、ディスプレイおよびキーボードを介して操作者
との情報の入出力を行うユーザーインターフェースプロ
グラム９ａを含み、テストプラン７、測定アルゴリズム
８、リミットファイル１０には、それぞれ、使用者が容
易にファイルを作成できるようにするための、例えば、
フィル・イン・ザ・ボックス方式のビルダが備えられて
いる。
【０００４】テストプラン７は、ウエハ上のダイの名
前、位置、その他の属性を定義するウエハスペック７ａ
と、ダイ上のモジュールの名前と位置を定義するダイス
ペック７ｂと、プローバ５内のプローブカードのデバイ
スパッドとスイッチングマトリクスのピンの接続を定義
するプローブスペック７ｃと、デバイスのテストに使用
する測定アルゴリズムを定義するテストスペック７ｄを
含む。
【０００５】テストプラン７を立てる上で、まず、ウエ
ハスペック７ａのステップにおいて、ウエハのインデッ
クスや寸法などのウエハ全体に関するデータと、１つの
ウエハ上に複数ある個々のダイの属性を指定する。ダイ
とは、半導体ウエハ上に作り込まれる複数のチップ領域
のそれぞれをいう。多くの場合、ウエハの周縁部のダイ
は、素子の製造には実際には用いられないので、他のダ
イを特定する上で役に立つ指標ダイとして自動的に指定
されるが、ウエハとダイの寸法によっては、手動でその
ような指標ダイの指定を行う必要がある。また、直流導
通試験他いろいろな試験があるが、どのダイにどのよう
な試験を行うかをダイの属性の一つとして指定する必要
がある。あるいは、予備のダイとして、あるテストがう
まくいかなかったときに、次にテストを行うダイとして
指定しておくことも必要かもしれない。
【０００６】ダイは、通常、いくつかのモジュールから
なって、一つのまとまりを構成している。個々のダイの
内部のモジュールの構成がダイスペック（７ｂ）として
指定される。そして、このダイについて用いられるプロ
ーブの種類などに応じてプローブスペック（７ｃ）が指
定される。そして、最後にどのような内容の試験を行う
のかが、測定アルゴリズムとして指定されるのである。
これをテストスペック（７ｄ）と呼ぶ。このような指定
が完成してテストプランが完成すると、コアプログラム
９にロードされて、実際のテストが行われる。
【０００７】このようなパラメトリック・テスタによ
り、半導体ウエハ上に多数形成された複数のチップ領域
（ダイ）に対してダイソート・テスト工程で電気的特性
の試験を行う。この試験は、テスタであるプローバのプ
ローブをダイに接触させて行われる。近年では、ダイの
歩留まりの向上にともない、全てのダイについて試験を
行う代わりに、いくつかの選ばれたダイについてのみ試
験を行い、それらに異常がなければ、先の工程へと進む
ようにして、生産性を向上させている。このときの試験
対象となるダイは、予め選択しておくが、通常、不良は
ウエハの周辺で起こりやすいので、ウエハ周辺に多くの
試験対象ダイを設定する。したがって、ウエハ全体にわ
たって等間隔に試験対象のダイを配置することはあまり
行われていない。
【０００８】従来、ウエハ上のダイをテスト対象とする
ために選択指示作業を行う際、ダイの数が多くなった場
合、特に周縁部での選択指示作業は適当な指標がなく困
難であった。そのため、あるきまった間隔で座標値を表
示したり、目盛りの代わりをする色や模様をウエハマッ
プ上に描いて選択作業を補助を行うようにしていた。こ
うして描かれた補助は機械的に施されており、多種の半
導体製品を一つのラインで製造する場合など、個々のウ
エハで異なるダイ配置とは有機的な関係が見られず、特
に周縁部でのダイの複雑な配置には指標としての効果が
低かった。
【０００９】そして、従来、試験対象を特定する際に用
いる指標に関する位置情報は、試験の対象として選択す
る、しないという、試験に直接必要とされるデータとは
異なる属性のデータとして管理されていた。このように
別個のデータとして管理すると、本来の試験に必要なデ
ータと指標のためのデータとが別々になり、両者を関連
付けるデータの保持が必要であり、管理を面倒にしてい
た。そして、それらの異なる属性のデータを編集する際
には、データが別々に管理されているため、編集対象を
明確に指示して画面に呼び出してから編集することが必
要であったり、個々のデータ属性ごとに異なるツールを
使用して行う必要があったりして、面倒であった。たと
えば、指標となるダイを選択するモードと、試験対象と
なるダイを指定するモードとが別であり、切り替えてそ
れぞれの作業を行わなければならなかった。
【００１０】さらに、このような異なるデータの重複表
示に関していえば、1)実際に試験対象となるダイの表示
と、2)編集作業において指標となるダイの表示と、3)プ
ローバによるダイへの電気的接続を行う際の初期位置の
表示と、4)現在編集対象としてしているダイへのカーソ
ル表示とがあり、同一画面上にこれらの重複表示を行う
例はあった。しかし、データが属性の目的ごとに用意さ
れており、それらを多重化して扱うのは表示の時だけ
で、編集の際にはデータの属性ごとに別々に行う必要が
あった。たとえば、編集作業において指標となるダイを
指定した後で、試験対象のダイを指定する場合、それぞ
れの指定されたダイは同時に表示されるが、種類の異な
るダイを指定するためにはモードを切り替える必要があ
った。
【００１１】このようなモードの切り替えを要すると、
必ずしも習熟度の高くないオペレータにとっては、作業
がどのように進行しているのか把握しにくくなり、エラ
ーのもととなるという問題がある。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来技術
の問題点に鑑み、本発明は、試験自体に必要なデータ
と、試験対象のダイを特定するのに必要な一情報とを一
元的に管理し、異なる種類のデータを一括して取り扱え
るようにすることを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、ウエハ上の一
つのダイに対する複数の属性のデータを多値化して一元
管理を行い、それをグラフィカルデータおよびテキスト
データとして表示する手段を提供する。また、本発明
は、それらの表示情報を通して多値化したデータをリア
ルタイムに編集する手段をも提供する。より具体的に
は、本発明の方法により、ウエハ上の個々のダイに対す
る複数のデータを三値以上に多値化して記録し、各ダイ
に関する異なる属性、例えば何も指定されていない、テ
スト対象として指定されている、予備として指定されて
いるといった属性を一元管理できるようになり、また、
指定作業の間も指定作業の結果を即時に画面に表示する
ことができる。
【００１４】本発明は、ウエハ上のあるダイの属性を複
数の属性から選んで指定するのに際して、各ダイに関す
る属性データを３値以上のデータとして一元的に管理
し、オペレータが各ダイについていずれの属性をも同一
表示内で選択でき、選択された属性が直ちにダイの特性
としてディスプレイ上の表示に反映されることを特徴と
する、半導体検査装置におけるウエハ上の各ダイの属性
を指定する方法を提供する。
【００１５】本発明は、また、ウエハ上のダイの属性を
複数の属性から選んで指定するのに際して各ダイに関す
る属性データを３値以上のデータとして展開して保持す
るメモリ手段と、オペレータが各ダイについていずれの
属性をも同一表示内で選択でき、選択された属性を直ち
にダイの特性としてディスプレイ上の表示に反映するデ
ィスプレイコントロール手段とを含んでなる半導体検査
装置を提供する。
【００１６】ここで、本発明が対象とするのは、あるダ
イについて属性が２以上ある場合である。例えば、属性
が２個である場合、それを表すためには、３つの値が必
要となる。すなわち、あるダイについて、属性Ａのみが
指定される場合、属性Ｂのみが指定される場合、属性Ａ
もＢも指定されない場合を表す３つの値である。（も
し、属性ＡとＢの両方が同時に指定されることがあるな
らば、４つ目の値が必要となろう。）そして、これらの
属性の一つを選択することは、一つの画面内でおこなう
ことができ、モードの切り替えなどは必要ではない。こ
れは、属性データを３値以上の多値データとしたことに
より可能となった。また、ここで「直ちに」とは、モー
ドの切り替えなどの作業を行うことなく、ある属性を指
定しさえすれば、その結果がディスプレイ上の表示に反
映されることをいう。また、ディスプレイという語は、
ＣＲＴや液晶などのディスプレイに限定されず、ここで
は、オペレータに対してデータを提示することができる
表示装置一般を指す意味で使用されるものである。さら
に、属性としては、個々のダイについて指定されうる全
ての特性が含まれ、特別な属性が付与されないダイか、
テスト対象か、標識ダイか、テストの予備のダイかの別
や、どのようなテストが行われるのかテストの種類の
別、ダイをグループ分けしたときに特定のダイがどのグ
ループにはいるのか、どのような順でプローブがダイを
回るのかといった情報があるが、これらに限定されるも
のではない。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明は、従来からあるようなコ
ンピュータ本体６Ａと、モニター６ａや、キーボード６
ｂ、マウス、プリンタなどの入出力装置からなるセット
アップにおいて実施される。上記のように、コンピュー
タ６Ａは、テスタ３とプローバ５との間でデータのやり
とりができるようになっている。
【００１８】本発明によれば、次のような流れで作業を
行うことができる。図１に編集スタート時のコンピュー
タディスプレイ１１に現れた画面を示す。この画面では
データの本体部を入力するための「Ｂｏｄｙ」のタブ１
５が付いた画面が示されている。この画面１１の上部が
文字形式データ表示編集部１２となっており、下部がグ
ラフィック形式データ表示編集部１３となっている。別
の「Ａｔｔｒｉｂｕｔｅｓ」のタブ１６が付いた画面で
予めダイの縦と横の大きさなどのウエハの属性を入力し
ておくと、この下部のグラフィック形式のデータ表示編
集部１３のウエハ表示部２１には、バックグラウンドに
入力されたダイの縦横の大きさに対応する格子が表示さ
れる。キーボードの特定キーと「Ａｄｄ Ａｌｌ」ボタ
ン１７あるいは「Ｄｅｌ Ａｌｌ」ボタン１８などを組
み合わせて指示することにより、ウエハ２２上であって
その格子点が４つ入らないダイ、すなわち格子点が一つ
でもウエハの外にでる格子パネルに対応する部分にメッ
シュ２３を表示させる。この格子上では、中央のダイを
原点（０，０）として、それから横方向（ｘ軸方向）と
縦方向（ｙ軸方向）にいくつ格子を移動したかによっ
て、ダイの位置を示す。図１の例では右向きと上向きを
正の方向としているが、その他の設定も可能である。そ
して、それと同時にそのようなメッシュがかかったダイ
の格子の座標における位置と、指標としてのみ用いられ
ることを示すための「＃」の記号２４（コメント化した
データとして取り扱うことを示す。）が、文字形式デー
タ表示編集部の右側のダイラベル表示パネル２５に示さ
れる。このダイラベル表示パネル２５のカーソル２６と
下部のウエハ表示部２１のカーソル２７は対応して移動
し、対応する情報を同時に指し示すようになっている。
たとえば、図１に示すように、ウエハ表示部２１のカー
ソル２７が（２，４）の位置にあるとすると、ダイラベ
ル表示部２５においても、カーソル２６は、（２，４）
のダイに対応する位置に来ることとなる。これと同時
に、ダイ位置入力部２８には、２，４の表示がでる。こ
の２，４という座標入力部２８の表示をキーボードを用
いて書き換えることにより、カーソル２６，２７は、入
力された座標にまでジャンプする。また、ダイラベル入
力部３０においては、キーボードを用いて特定のダイを
特徴づける情報を入力することができる。ダイタイプ表
示部２９にはダイタイプが表示される。つまり、ダイタ
イプ入力部３１に入力されたダイタイプを表示する文字
が現れる。
【００１９】図２にはテストの対象となるダイを３つ選
択した状態を示す。ウエハ２２上で濃いメッシュで示さ
れているダイ（（０，４）、（４，０）、（０，−
４））がそれである。カーソル２７は、（０，−４）の
ダイの上にある。これに対応して、ダイラベル表示部２
５においては、カーソル２６が図示の（０，−４）を示
す位置にある。ここで留意されたいのは、テストの対象
となる３つのダイについては、コメントを表す「＃」が
付いていないことである。このようにテストの対象とな
るダイは、その上にカーソル２７を移動して、マウスで
クリックするなどして指定することができ、あるいは、
ダイ位置入力部２８においてダイの位置をキーボードか
ら入力することによっても指定できる。このようにして
指定された結果は、直ちにウエハ表示部２１とダイラベ
ル表示部２５の画面に反映される。
【００２０】図３には、５つのテスト対象ダイ（（−
４，０）、（０，−４）、（０，４）、（４，０）、
（０，０））を選択した状態を示す。テスト対象ダイの
色は濃くなっている（ハッチがかかっている）。ダイラ
ベル表示部２５には、５つのダイに関するデータが
「＃」マークなしに示されている。ダイラベル表示部２
５とウエハ表示部２１の両方においてカーソル２６とカ
ーソル２７が（０，０）を示しているのが分かる。ダイ
位置入力部には、カーソルの位置が座標で（０，０）と
示されている。
【００２１】図４には、図３の状態から、テスト対象と
なっていた中央の（０，０）位置にあるダイをマウス操
作により指標データに変換した状態を示す。マウスの操
作は、例えば、キーボードのシフトキーを押しながら、
マウスをクリックすることにより達成される。再度同じ
操作をすると、このダイは再びテスト対象となるように
なっている。このダイは薄い色のメッシュとして表示さ
れている。ダイラベル表示部２５においては、カーソル
２６がある行には「＃」マークが現れて、この特定のダ
イがコメント化されていることが分かるようになってい
る。
【００２２】図５に、ＫＩＣ９１５と名付けられている
ダイをグループ分けして、左側のＫＩＣ９１５＿ＬＥＦ
Ｔのグループに属するダイ（（−１，４）、（−４，
０）、（−１，−４））のみを表示した様子を示す。こ
の状態では、ウエハの周縁部の指標となっているダイを
表示していない。カーソル２６，２７は、ともに（−
１，−４）のダイを指定し、ダイタイプ表示部２９で
は、ＫＩＣ９１５＿ＬＥＦＴにカーソル３２があり、そ
のダイタイプ入力部３１ではこのグループ名が表示され
ている。このように、適当な名前を付けて、ダイをグル
ープ分けすることができる。このグループ分け機能によ
り、例えば、半導体素子がエージングに耐えるかどうか
をウエハ上でテストするウエハのバーンインを行う場合
に、有るグループのダイにある条件でバーンインを行
い、他のグループに別の条件でバーンインを行う、ある
いは、あるグループには直流通電試験を行い、別のグル
ープにはバーンインを行うといったことが容易に設定で
きる。この本発明方法の特徴は、もちろんその他の種類
の異なるテストを行う上でも有用である。また、このよ
うにして、テストの順番をグループ毎に設定してゆくこ
ともできる。
【００２３】つぎに、図６を参照して、データの流れの
例を標準的な編集作業を仮定して説明する。テキストデ
ータの形で保持されているデータ２０２をコンピュータ
本体３０１内の本発明にかかるウエハマップエディタ２
０１の作業エリア(メモリ上あるいはファイル上)に内部
３値以上のデータとして展開する。その展開したものが
テンポラリデータとしてメモリ１０２に一時的に保存さ
れている。
【００２４】ディスプレイコントロール部１０１におい
てこのテンポラリデータメモリ１０２内のテンポラリデ
ータをグラフィカル形式情報および文字形式情報として
取り扱い、その情報に対して作業を行う。その編集作業
を行うのがエディットコントロール部１０３である。キ
ーボード３０３またはマウスのようなポインティングデ
バイス３０４を用いて、あるいはそれらの両方を用い
て、テンポラリデータに対する編集作業を、ディスプレ
イコントロール部１０１からの信号を受けているディス
プレイ３０２上で行うことができる。その際、グラフィ
カルな表示と文字形式表示の双方に対して、適宜編集を
行うことができ、その結果は双方にただちにディスプレ
イ３０２上に反映される。
【００２５】なおこれらのグラフィカル及び文字の情報
を取り扱うディスプレイコントロール１０１、デンポラ
リデータメモリ１０２、エディットコントロール部１０
３は、ウエハマップエディタとして一つのソフトウエア
を構成するものである。そして表１に示すテキストデー
タ２０２は、テンポラリデータに対応するものである
が、このテキストデータ２０２は必要に応じて、外部デ
ータ記憶装置３０５に保存されたり、また、そこからウ
エハマップエディタ２０１に読み込まれたりするもので
ある。
【００２６】下記の表１には、テキストデータ２０３の
フォーマットと実際の数値の一例を示す。[Header]で始
まるのがデータヘッダー部であり、[Body]とあるのが本
発明方法により編集されるダイについての情報を含むダ
イ定義部であり、[Attributes]がダイの大きさなどにつ
いての情報を含むウエハ属性データ部である。そして、
ダイ定義部では、従来の方法では、標識ダイであるか否
かの２値データと、テスト対象ダイであるか否かの２値
データとをそれぞれ別個に管理指定していたのに対し
て、特に何も指定しない、標識ダイとして指定する、テ
スト対象として指定するという、少なくとも３値のデー
タとしてここのダイの属性を取り扱う。例えば、テスト
が通常の直流通電試験と、バーンインテストとがある場
合には、テスト対象を、さらに直流通電試験対象と、バ
ーンインテスト対象に分けて、４値でダイの属性を管理
することが有利である。さらに、予備用のダイというの
も指定できるように５値でダイの属性を管理することも
できる。もちろん、６値以上で種々のダイ属性を管理す
ることもできる。このような属性の選択は全く任意であ
り、本発明は例示した属性に限定されるものではない。
【００２７】（表１） [Header] $Type: Wafer $Name: KIC915 $Vers: l $Desc: Wafer spec for KIC915 $Date: Ol/0l/1999 $Time: 09:OO:OO $User: specs [Body] Die Name X Y Die Label Comment $------------- -- -- ----------- -------- KIC915_A O 4 KIC915_A O O KIC915_A -4 O KIC915_A O -4 KIC915_A 4 O #KIC915_A O 2 #KIC91S_A O -2 #KIC915_A 2 O #KIC915_A -2 O #KIC915_A -2 3 #KIC915_A -3 2 #KIC915_A 2 3 #KIC915_A 3 2 #KIC915_A 3 -2 #KIC915_A 2 -3 #KIC915_A -2 -3 #KIC915_A -3 -2 KIC915 LEFT -1 4 KIC915_LEFT -1 -4 KIC915_LEFT -4 O KIC915 RIGHT 4 O KIC915_RIGHT 1 -4 KIC915_RIGHT 1 4 $------------ -- -- [Attribute] Name Type Unit Value Comment $------------ ------ ---- ----- --------- SIZE REAL mm 200.OOOOOO STEPX REAL um 2OOOO.OOOOOO STEPY REAL um 21000.OOOOOO FLAT INTEGER deg 180 ALIGNDIEX INTEGER l ALIGNDIEY INTEGER l ALIGNMODX REAL um 1000.00000 ALIGNMODY REAL um 1500.00000 CENTERDIEX INTEGER O CENTERDIEY INTEGER O OFFSETDIEX REAL O.OOOOOO OFFSETDIEY REAL O.OOOOOO COORDINATE INTEGER l $----------- ------ ---- ----- ---------
【００２８】さらに別の実施形態としては、ダイの多値
データの表示方法として、色、模様を変化させるだけで
なく、テスト対象のダイにＴを表示したり、標識ダイに
Ｉを表示するといったふうに、文字情報により識別する
ことや、それらを複数組み合わせることでも行える。ま
た、ダイの多値データの編集時の指示にポインティング
デバイスであるマウスなどとキーボードを用いて行う例
により説明したが、直接フラグデータをキーボードのみ
から入力することや、ポインティングデバイスの操作の
みで行う方法も十分可能である。たとえば、キーボード
の代わりにある数値や文字記号をディスプレイ上に表示
して、それらを必要に応じてマウスによりクリックする
ことにより、キーボードを省略することも可能である。
上記の実施形態においては、多値のデータの保持をテキ
ストデータの一項目としたが、保持データの形式を数値
データにしたり、一項目として独立させることなく他の
データ中にフラグとして埋め込むことも考えられる。
【００２９】
【発明の効果】上述のように、本発明方法によれば、ダ
イソートテストの対象となるダイの複数の属性のデータ
の一元管理、同一ツール上での実時間上での編集作業、
表示が可能となるので、必ずしも高度な技能を有してい
ないオペレータによっても、容易且つ確実にテスト用と
いったダイの属性の指定が行えるようになる。また、文
字形式のデータと図形式のデータを一度に表示してお
り、また片方への操作は直ちに他方へ反映されるので、
データの確認容易に行える。特に文字形式データの並び
を、テストの際におけるプローバのダイ訪問の順として
表示しているが、その文字形式データ上での並びを順に
トレースすると図情報上でカーソルによって訪問順序を
確認することができる。多値のデータにおいて、使用者
の目的により、３値めのデータを、指標データとして用
いることもできるし、テスト対象ダイの予備のものとし
て使用することもできるというように、各値の意味付け
は自由にすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるディスプレイ表示画面の１例を
示す図である。自動的に指定された標識ダイのみが表示
されており、テスト対象のダイはまだ指定されていな
い。
【図２】図１に対応するディスプレイ表示画面であっ
て、本発明により３つのダイをテスト対象のダイとして
指定した様子を示す図である。
【図３】図１に対応するディスプレイ表示画面であっ
て、本発明により５つのダイをテスト対象ダイとして指
定した様子を示す図である。
【図４】図１に対応するディスプレイ表示画面であっ
て、本発明により４つのダイをテスト対象のダイとして
指定し、中央のダイを指標ダイとして指定した様子を示
す図である。
【図５】図１に対応するディスプレイ表示画面であっ
て、本発明によりグループを指定して、その一つに含ま
れるダイのみを表示した様子を示す図である。
【図６】本発明におけるデータと操作の流れを示すダイ
アグラムである。
【図７】本発明が適用できる半導体パラメトリック・テ
スタの一例を示す図である。
【符号の説明】
１０１ ディスプレイコントロール １０２ テンポラリデータメモリ １０３ エディットコントロール ２０１ ウエハマップエディタ ２０２ テキストデータ ３０１ ＣＰＵ ３０２ ディスプレイ ３０５ 外部記憶装置

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ウエハ上のダイの属性を複数の属性から
    選んで指定するのに際して各ダイに関する属性データを
    ３値以上のデータとして一元的に管理し、オペレータが
    各ダイについていずれの属性をも同一表示内で選択で
    き、選択された属性が直ちにダイの特性としてディスプ
    レイ上の表示に反映されることを特徴とする、半導体検
    査装置におけるウエハ上の各ダイの属性を指定する方
    法。
  2. 【請求項２】 上記属性が、標識ダイ、テスト対象のダ
    イ、そのいずれかでもないダイからなる群から選択され
    るものである、請求項１記載の方法。
  3. 【請求項３】 上記属性が、標識ダイ、テスト対象ダ
    イ、複数のダイからなるあるグループに属するダイ、そ
    のいずれでもないダイからなる群から選択されるもので
    ある、請求項１記載の方法。
  4. 【請求項４】 上記属性の選択が、キーボードのみを用
    いても、あるいは、ポインティングデバイスのみを用い
    ても、また両方を組み合わせて使用しても可能である、
    請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
  5. 【請求項５】 ウエハ上のダイの属性を複数の属性から
    選んで指定するのに際して各ダイに関する属性データを
    ３値以上のデータとして展開して保持するメモリ手段
    と、オペレータが各ダイについていずれの属性をも同一
    表示内で選択でき、選択された属性を直ちにダイの特性
    としてディスプレイ上の表示に反映するディスプレイコ
    ントロール手段とを含んでなる半導体検査装置。
  6. 【請求項６】 上記属性が、標識ダイ、テスト対象のダ
    イ、そのいずれかでもないダイからなる群から選択され
    るものである、請求項５記載の装置。
  7. 【請求項７】 上記属性が、標識ダイ、テスト対象ダ
    イ、複数のダイからなるあるグループに属するダイ、そ
    のいずれでもないダイからなる群から選択されるもので
    ある、請求項５記載の装置。
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