JP2539055B2 - 集積回路試験装置 - Google Patents
集積回路試験装置Info
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- JP2539055B2 JP2539055B2 JP1266315A JP26631589A JP2539055B2 JP 2539055 B2 JP2539055 B2 JP 2539055B2 JP 1266315 A JP1266315 A JP 1266315A JP 26631589 A JP26631589 A JP 26631589A JP 2539055 B2 JP2539055 B2 JP 2539055B2
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- measurement
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、集積回路の診断を高速、かつ、能率的に行
うことが可能な試験装置に関する。
うことが可能な試験装置に関する。
［従来の技術］ 集積回路が大規模になるにつれて、内部ゲート数と測
定可能な集積回路チップの外部端子数の比が大きくな
り、通常のLSIテスタのみでは診断が困難になってき
た。そこで、電子ビーム、またはレーザビームを照射す
るか、あるいは金属針を被測定回路の集積回路（以下、
DUTという）の表面に直接接触させ、該集積回路内部の
任意箇所の信号波形を測定する装置が開発され、診断に
応用されている。電子ビーム試験装置の場合には、第５
図に示すようなCADデータベースとの結合を有する装置
が開発されている。この従来装置の動作を第６図に基づ
いて説明する。
定可能な集積回路チップの外部端子数の比が大きくな
り、通常のLSIテスタのみでは診断が困難になってき
た。そこで、電子ビーム、またはレーザビームを照射す
るか、あるいは金属針を被測定回路の集積回路（以下、
DUTという）の表面に直接接触させ、該集積回路内部の
任意箇所の信号波形を測定する装置が開発され、診断に
応用されている。電子ビーム試験装置の場合には、第５
図に示すようなCADデータベースとの結合を有する装置
が開発されている。この従来装置の動作を第６図に基づ
いて説明する。
測定したいネット名を決める。
ネットリストモニタ回路は、CADデータベース内で
のネット名の識別信号（ネット番号）を求める。
のネット名の識別信号（ネット番号）を求める。
該ネット番号は、レイアウトモニタ回路に自動的に
渡され、対応する配線パタンがCADデータベースより取
り出され、結果的に該レイアウトモニタ回路上に該配線
パタン形成が表示され、表示画面の中央座標が画像モニ
タ回路に渡される。
渡され、対応する配線パタンがCADデータベースより取
り出され、結果的に該レイアウトモニタ回路上に該配線
パタン形成が表示され、表示画面の中央座標が画像モニ
タ回路に渡される。
画像モニタ回路は、レイアウトの座標系とステージ
の座標系間の変換式を有しており、該レイアウトの中心
座標に対応するステージ座標を求め、ステージ制御回路
に渡す。
の座標系間の変換式を有しており、該レイアウトの中心
座標に対応するステージ座標を求め、ステージ制御回路
に渡す。
ステージ制御回路は、DUTを保持したままステージ
を移動し、該ステージ座標位置に位置決めする。
を移動し、該ステージ座標位置に位置決めする。
画像モニタ回路は、電子ビームでDUTの一定領域を
操作し、DUT表面の状態を画像として映し出す。ステー
ジの位置ぎめの結果、画像モニタ回路には、レイアウト
モニタ回路に対応した領域が表示される。後者に表示さ
れた測定配線パタンに対応する配線パタンを前者にて探
し測定点を求める。
操作し、DUT表面の状態を画像として映し出す。ステー
ジの位置ぎめの結果、画像モニタ回路には、レイアウト
モニタ回路に対応した領域が表示される。後者に表示さ
れた測定配線パタンに対応する配線パタンを前者にて探
し測定点を求める。
電子ビームの走査を停止し、において定めた測定
点に点照射する。この点から得られる測定信号波形は検
出器を介して波形モニタ回路に表示される。
点に点照射する。この点から得られる測定信号波形は検
出器を介して波形モニタ回路に表示される。
測定した信号波形は、波形データファイルに格納さ
れる。測定信号波形データは、随時読み出され、波形モ
ニタ回路に表示される。
れる。測定信号波形データは、随時読み出され、波形モ
ニタ回路に表示される。
測定した波形に対応したシミュレーション波形をシ
ミュレーションデータファイルより探しだし、両者が一
致したか否かを判定し、机上に広げた回路図面の上に記
入する。
ミュレーションデータファイルより探しだし、両者が一
致したか否かを判定し、机上に広げた回路図面の上に記
入する。
故障がどのような伝わり方をしているかをこの回路
図面の上で追跡することにより故障の発生位置を予測し
次の測定点を決める。その後に戻り、波形の測定を行
なう。
図面の上で追跡することにより故障の発生位置を予測し
次の測定点を決める。その後に戻り、波形の測定を行
なう。
以上の説明のように、従来の試験装置は、測定したい
回路ネット名を入力し、DUTの対応する箇所を探しだ
し、波形を測定するだけの装置であり、測定波形とシミ
ュレーション結果との比較、回路図面上での故障追跡過
程及びは、すべて人手を介する他なかった。
回路ネット名を入力し、DUTの対応する箇所を探しだ
し、波形を測定するだけの装置であり、測定波形とシミ
ュレーション結果との比較、回路図面上での故障追跡過
程及びは、すべて人手を介する他なかった。
このため、従来技術には次のような問題点が存在し
た。
た。
（１） 測定波形の名前を人手により入力するため、ネ
ットリスト上のネットの名前と一致する保証がなく、測
定波形に対応したシミュレーション波形を探し出す作業
は、測定者の記憶に頼るしかなかった。参照用のシミュ
レーション波形は、通常数百から数千のオーダーとなる
から、所定の波形を探し出すための労力が非常に大きい
だけでなく、人為的なミスが生じる可能性も極めて高か
った。
ットリスト上のネットの名前と一致する保証がなく、測
定波形に対応したシミュレーション波形を探し出す作業
は、測定者の記憶に頼るしかなかった。参照用のシミュ
レーション波形は、通常数百から数千のオーダーとなる
から、所定の波形を探し出すための労力が非常に大きい
だけでなく、人為的なミスが生じる可能性も極めて高か
った。
（２） 測定の履歴を回路図に表示するために必要なデ
ータは、CADデータベース、測定データファイル、ネッ
トリストモニタ回路に分散して存在し、しかも、これら
は互いに独立して存在していた。そのため測定した回路
ネットの履歴を回路図の上に表示するモニタ回路を備え
ることは困難であった。
ータは、CADデータベース、測定データファイル、ネッ
トリストモニタ回路に分散して存在し、しかも、これら
は互いに独立して存在していた。そのため測定した回路
ネットの履歴を回路図の上に表示するモニタ回路を備え
ることは困難であった。
（３） 測定の履歴は、測定の都度、回路図面を机の上
にひろげて故障の伝わり方を人手によつて記入する必要
があった。大規模LSIの場合には、この回路図が数十枚
におよび、作業自体が非常に困難となることがしばしば
あった。また、故障現象が複雑な場合（例えば故障が複
数箇所から同時に発生している場合、テストの条件によ
って故障の状態が変わる場合、あるいは回路がループを
なしており故障データが回路の中を循環している場合）
には、測定の度に過去の測定履歴を調べる必要を生じこ
の故障履歴の追跡作業が診断の期間の大きな部分を占め
るようになった。
にひろげて故障の伝わり方を人手によつて記入する必要
があった。大規模LSIの場合には、この回路図が数十枚
におよび、作業自体が非常に困難となることがしばしば
あった。また、故障現象が複雑な場合（例えば故障が複
数箇所から同時に発生している場合、テストの条件によ
って故障の状態が変わる場合、あるいは回路がループを
なしており故障データが回路の中を循環している場合）
には、測定の度に過去の測定履歴を調べる必要を生じこ
の故障履歴の追跡作業が診断の期間の大きな部分を占め
るようになった。
［発明が解決しようとする課題］ 本発明は、従来の試験装置が、測定波形と回路接続情
報とを対応付ける手段と、測定の履歴を回路図の上に自
動表示する手段を持たないということから生じる問題点
を解決し、測定跛行とこれに対応したシミュレーション
波形間の比較を自動的かつ高速に参照可能として、故障
追跡に伴う作業を効率化することを目的とする ［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するために、本発明の装置は、プロー
バ装置と、集積回路の設計リスト情報のモニタ回路と、
レイアウト情報のモニタ回路から構成される試験装置に
おいて、測定信号波形と、シミュレーションデータファ
イルに格納されているシミュレーション波形とを比較す
る比較回路と、測定した箇所の回路ネットの接続情報を
取り出すための回路ネット接続情報取出回路と、該取出
回路より得たネット接続情報と該プローブ装置で得た測
定信号波形データの両者を少なくとも含む測定履歴デー
タファイルと、履歴データファイルに含まれる測定ネッ
トの接続情報及び測定信号波形を表示する測定履歴モニ
タ回路を備えている。
報とを対応付ける手段と、測定の履歴を回路図の上に自
動表示する手段を持たないということから生じる問題点
を解決し、測定跛行とこれに対応したシミュレーション
波形間の比較を自動的かつ高速に参照可能として、故障
追跡に伴う作業を効率化することを目的とする ［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するために、本発明の装置は、プロー
バ装置と、集積回路の設計リスト情報のモニタ回路と、
レイアウト情報のモニタ回路から構成される試験装置に
おいて、測定信号波形と、シミュレーションデータファ
イルに格納されているシミュレーション波形とを比較す
る比較回路と、測定した箇所の回路ネットの接続情報を
取り出すための回路ネット接続情報取出回路と、該取出
回路より得たネット接続情報と該プローブ装置で得た測
定信号波形データの両者を少なくとも含む測定履歴デー
タファイルと、履歴データファイルに含まれる測定ネッ
トの接続情報及び測定信号波形を表示する測定履歴モニ
タ回路を備えている。
［実施例］ 第１図は、本発明の装置の１実施例を示し、第５図に
示す従来の装置と同一部分には同一符号を付けている。
本発明の装置は、従来装置に、回路ネット接続情報取出
回路21、測定履歴データファイル31、信号波形比較回路
41、測定履歴モニタ回路51を付加している点において相
違している。
示す従来の装置と同一部分には同一符号を付けている。
本発明の装置は、従来装置に、回路ネット接続情報取出
回路21、測定履歴データファイル31、信号波形比較回路
41、測定履歴モニタ回路51を付加している点において相
違している。
本発明の装置の動作フローを第２図によって説明す
る。第２図に記載のないしの手順は、第６図に示す
従来装置のからの動作と同じであるから、同一符号
を付けて説明し、それ以後は従来例と異なるため、vi
i）のように異なった文字による符号をつけて説明す
る。において測定したいネット名を入力し、その後、
ネット番号、画面中心座標、ステージ位置、ステージ移
動、の各動作を行った後、結果的ににおいて測定波形
を得る。
る。第２図に記載のないしの手順は、第６図に示す
従来装置のからの動作と同じであるから、同一符号
を付けて説明し、それ以後は従来例と異なるため、vi
i）のように異なった文字による符号をつけて説明す
る。において測定したいネット名を入力し、その後、
ネット番号、画面中心座標、ステージ位置、ステージ移
動、の各動作を行った後、結果的ににおいて測定波形
を得る。
この後の動作フローは、第６図の従来例のそれとは異
なっており、以下にこれを説明する。
なっており、以下にこれを説明する。
vii） 波形モニタ回路２上の測定波形を履歴データフ
ァイル31に格納する。
ァイル31に格納する。
viii） データ転送が終了すると、波形モニタ回路２は
測定終了を回路ネット接続情報取出回路21に伝える。該
回路はこれによって起動され、測定ネットの識別子とそ
の隣接接続ネットの接続情報をネットリストモニタ回路
８及びCADデータベース９から取り出す。
測定終了を回路ネット接続情報取出回路21に伝える。該
回路はこれによって起動され、測定ネットの識別子とそ
の隣接接続ネットの接続情報をネットリストモニタ回路
８及びCADデータベース９から取り出す。
ix） 取り出されたネットの接続情報は、測定履歴デー
タファイル31に格納される。同時に、信号波形比較回路
41は、シミュレーションデータファイル４の中を該ネッ
ト識別子により検索し、対応するシミュレーション波形
を読み出し、そのシミュレーション波形と測定波形とを
比較し、結果を測定履歴データファイル31に格納する。
タファイル31に格納される。同時に、信号波形比較回路
41は、シミュレーションデータファイル４の中を該ネッ
ト識別子により検索し、対応するシミュレーション波形
を読み出し、そのシミュレーション波形と測定波形とを
比較し、結果を測定履歴データファイル31に格納する。
ｘ） 測定履歴表示回路51は、これまでに測定した回路
ネット間の回路接続関係、各ネットが故障か否か、ある
いは測定した順序などを表示する。
ネット間の回路接続関係、各ネットが故障か否か、ある
いは測定した順序などを表示する。
xi） ｘ）で表示した回路のネットの上に、必要に応じ
随時測定信号の波形を表示する。
随時測定信号の波形を表示する。
xii） ｘ）及びxi）の表示を基に、次の測定ネットを
決定し、に戻る。
決定し、に戻る。
以上のように、測定回路ネットの識別子が波形測定と
同時にCADデータベース９から読み出されるため、対応
するシミュレーション波形の取り出しが自動化される。
同時にCADデータベース９から読み出されるため、対応
するシミュレーション波形の取り出しが自動化される。
第３図は、第２図のｘ）及びxii）における履歴表示
の実施例を説明する図である。この図の各ブロックは、
測定した回路ネットを表わし、各々にネット名が付与さ
れている。また、各ネットには測定の結果がシミュレー
ション結果と一致していたか否かが、PassまたはFailで
示されている。各ブロックをつなぐ矢印は、測定ネット
間の回路接続関係と信号の伝播方向を表す。また、測定
波形は、ネットを表すブロックを表示スクリーンの上で
指定することにより表示することができる。
の実施例を説明する図である。この図の各ブロックは、
測定した回路ネットを表わし、各々にネット名が付与さ
れている。また、各ネットには測定の結果がシミュレー
ション結果と一致していたか否かが、PassまたはFailで
示されている。各ブロックをつなぐ矢印は、測定ネット
間の回路接続関係と信号の伝播方向を表す。また、測定
波形は、ネットを表すブロックを表示スクリーンの上で
指定することにより表示することができる。
この様な表示がなされるため、測定の履歴と故障の伝
播状態の表示、過去の測定波形のモニタを、自動的にか
つ迅速に実行することが可能となり、故障の追跡がきわ
めて容易になった。
播状態の表示、過去の測定波形のモニタを、自動的にか
つ迅速に実行することが可能となり、故障の追跡がきわ
めて容易になった。
第４図は、データファイルの構造を示す。図の（ａ）
は従来装置の波形データファイルの構造であって、測定
した波形に付与された名前である観測点名411と、測定
した波形412から構成される。この名前は、必ずしもネ
ットリストのネット名とは一致しないため、回路接続情
報とのリンクは、測定者の手を介して行うしかながっ
た。
は従来装置の波形データファイルの構造であって、測定
した波形に付与された名前である観測点名411と、測定
した波形412から構成される。この名前は、必ずしもネ
ットリストのネット名とは一致しないため、回路接続情
報とのリンクは、測定者の手を介して行うしかながっ
た。
一方、（ｂ）は、本発明装置の観測履歴ファイルのデ
ータ構造であって、測定した波形の名前として、CADデ
ータベース内部で該ネットに付与された測定ネット識別
番号421、ネットリストに登録された測定ネット名422が
読み出され、格納される。それに続いて、該測定ネット
が直接接続する隣接接続ネット名423が格納される。さ
らに測定波形データ424とPassまたはFailの形の論理シ
ミュレーションとの結果425が格納される。従って、第
３図に示す表示に必要な情報が該履歴ファイルにすべて
納められているため、参照がきわめて容易かつ高速に実
行できる。
ータ構造であって、測定した波形の名前として、CADデ
ータベース内部で該ネットに付与された測定ネット識別
番号421、ネットリストに登録された測定ネット名422が
読み出され、格納される。それに続いて、該測定ネット
が直接接続する隣接接続ネット名423が格納される。さ
らに測定波形データ424とPassまたはFailの形の論理シ
ミュレーションとの結果425が格納される。従って、第
３図に示す表示に必要な情報が該履歴ファイルにすべて
納められているため、参照がきわめて容易かつ高速に実
行できる。
［発明の効果］ 上記の説明から明らかなように、本発明は、次のよう
な効果が得られる。
な効果が得られる。
（１） 測定波形に対応したシミュレーション波形を自
動的かつ高速に参照できる。
動的かつ高速に参照できる。
（２） 測定ネットの履歴と各ネットの接続関係が回路
図の上に表示でき、かつ過去に測定した波形が測定履歴
モニタ回路の上で自由に表示できるため、故障状態の把
握が容易になり、次の測定点の決定作業が著しく効率化
できる。
図の上に表示でき、かつ過去に測定した波形が測定履歴
モニタ回路の上で自由に表示できるため、故障状態の把
握が容易になり、次の測定点の決定作業が著しく効率化
できる。
（３） 上記（２）の表示のために必要とする情報がす
べて測定履歴ファイルに格納されているため、参照がき
わめて容易かつ高速に実行できる。
べて測定履歴ファイルに格納されているため、参照がき
わめて容易かつ高速に実行できる。
この結果、集積回路試験の分野で故障診断期間の短縮
が可能となる。
が可能となる。
第１図は、本発明の装置の構成を説明するための図、第
２図は、本発明の装置の動作フローを説明するための
図、第３図は履歴表示の実施例を説明するための図、第
４図は、ファイルのデータ構造を説明する図、第５図
は、従来技術の装置の構成を説明するための図、第６図
は、従来技術の装置の動作フローを説明するための図、
である。 １……プローバ装置、 ２……波形モニタ回路、 21……回路ネット接続情報取出回路、 31……測定履歴データファイル、 ４……シミュレーションデータファイル、 41……信号波形比較回路、 ５……画像モニタ回路、 51……測定履歴モニタ回路、 ６……ステージ制御回路、 ７……レイアウトモニタ回路、 ８……ネットリストモニタ回路、 ９……CADデータベース
２図は、本発明の装置の動作フローを説明するための
図、第３図は履歴表示の実施例を説明するための図、第
４図は、ファイルのデータ構造を説明する図、第５図
は、従来技術の装置の構成を説明するための図、第６図
は、従来技術の装置の動作フローを説明するための図、
である。 １……プローバ装置、 ２……波形モニタ回路、 21……回路ネット接続情報取出回路、 31……測定履歴データファイル、 ４……シミュレーションデータファイル、 41……信号波形比較回路、 ５……画像モニタ回路、 51……測定履歴モニタ回路、 ６……ステージ制御回路、 ７……レイアウトモニタ回路、 ８……ネットリストモニタ回路、 ９……CADデータベース
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 辺見 均 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日本電信電話株式会社内 (72)発明者 寺元 光生 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日本電信電話株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−124438（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−263478（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−198069（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−65441（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】半導体集積回路チップの表面に対して、電
子ビーム、またはレーザビームの照射、あるいは金属針
の直接接触による該集積回路内部の任意箇所の信号波形
を測定するプローバ装置と、該集積回路の設計リスト情
報のモニタ回路と、レイアウト情報のモニタ回路から構
成される試験装置において、 測定信号波形とシミュレーションデータファイルに格納
されているシミュレーション波形とを比較する比較回路
と、測定した箇所の回路ネットの接続情報を取り出すた
めの回路ネット接続情報取出回路と、該取出回路より得
たネット接続情報と該プローブ装置で得た測定信号波形
データの両者を少なくとも含む測定履歴データファイル
と、履歴データファイルに含まれる測定ネットの接続情
報及び測定信号波形を表示する測定履歴モニタ回路を有
することを特徴とする集積回路試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1266315A JP2539055B2 (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 集積回路試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1266315A JP2539055B2 (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 集積回路試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03130676A JPH03130676A (ja) | 1991-06-04 |
| JP2539055B2 true JP2539055B2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=17429220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1266315A Expired - Fee Related JP2539055B2 (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 集積回路試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2539055B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5072543B2 (ja) * | 2007-11-09 | 2012-11-14 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の不良解析方法および不良解析装置 |
-
1989
- 1989-10-16 JP JP1266315A patent/JP2539055B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03130676A (ja) | 1991-06-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070708 Year of fee payment: 11 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080708 Year of fee payment: 12 |
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