JP4842782B2 - 欠陥レビュー方法および装置 - Google Patents
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- 検査装置からの欠陥情報に基づいて欠陥をレビューする方法において、検査装置にて試料を検査し、欠陥を抽出するステップと、この検査で抽出した複数の欠陥に関する欠陥情報をレビュー装置に読み込むステップと、この欠陥情報に含まれる予定の複数の欠陥毎に、欠陥情報の座標位置へ前記レビュー装置の視野を移動するステップと、当該視野内の欠陥を検出するステップと、この検出した欠陥と、前記検査装置で抽出した欠陥との対応の一致を判別する欠陥一致判定ステップと、この判定で一致した欠陥の前記欠陥情報における座標位置に基いて複数の前記欠陥毎に、前記検査装置と前記レビュー装置との間の座標補正を行なうステップを備えたことを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記欠陥情報は、各欠陥の座標および欠陥種別を含み、前記欠陥の対応を判定する欠陥一致判定ステップは、前記欠陥種別の判別を含むことを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記欠陥情報は、各欠陥の画像情報を含み、前記欠陥一致判定ステップは、前記画像情報の一致を含めて、前記欠陥の対応の一致を判定することを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項3において、前記画像情報は、各欠陥の背景情報を含み、前記欠陥一致判定ステップは、前記背景情報を含めて、前記欠陥の対応の一致を判定することを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記欠陥情報は、各欠陥のサイズ情報を含み、前記欠陥一致判定ステップは、前記欠陥の前記サイズ情報を含めて、前記欠陥の対応の一致を判定することを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 検査装置からの欠陥情報に基づいて欠陥をレビューする欠陥レビュー装置において、試料を検査し、欠陥を抽出する検査装置と、この検査装置で抽出した複数の欠陥に関する欠陥情報をレビュー装置に読み込む手段と、この読み込んだ複数の欠陥毎に、欠陥情報の座標位置へ前記レビュー装置の視野を移動する視野移動手段と、当該視野内の欠陥を検出する欠陥検出手段と、この検出した欠陥と、前記検査装置で抽出した欠陥との対応の一致を判定する欠陥一致判定手段と、この判定で対応した欠陥の前記欠陥情報における座標位置に基き、複数の前記欠陥毎に、前記検査装置と前記レビュー装置との間の座標補正を行なう座標補正手段を備えたことを特徴とする欠陥レビュー装置。
- 欠陥情報に基づいて欠陥をレビューする欠陥レビュー装置において、試料内の複数の欠陥に関して外部から与えられた欠陥検査情報を読み込む手段と、この欠陥検査情報に含まれる複数の前記欠陥毎に、欠陥検査情報の座標位置へ視野を移動する視野移動手段と、当該視野内の欠陥を検出する欠陥検出手段と、この検出した欠陥と、前記欠陥検査情報の欠陥との対応の一致を判定する欠陥一致判定手段と、この判定で対応した欠陥の前記欠陥情報における座標位置に基いて、複数の前記欠陥毎に、前記検査情報と前記レビュー装置との間の座標補正を行なう座標補正手段を備えたことを特徴とする欠陥レビュー装置。
- 請求項6または7において、前記欠陥情報は、各欠陥の座標および欠陥種別を含み、前記欠陥の対応を判定する欠陥一致判定手段は、前記欠陥種別の判別を含むことを特徴とする欠陥レビュー装置。
- 請求項6または7において、前記欠陥情報は、各欠陥の画像情報を含み、前記欠陥の対応の一致を判定する一致判定手段は、欠陥の前記画像情報を含めて、欠陥の対応の一致を判定することを特徴とする欠陥レビュー装置。
- 請求項6または7において、前記欠陥情報は、各欠陥のサイズ情報を含み、前記欠陥の対応を判定する欠陥一致判定手段は、前記欠陥の前記サイズ情報を含めて、前記欠陥の対応を判定することを特徴とする欠陥レビュー装置。
- 検査装置からの欠陥情報に基づいて欠陥をレビューする欠陥レビュー装置において、試料を検査し、複数の欠陥を抽出し、各欠陥の座標,サイズ,画像情報,および欠陥種別情報を含む欠陥情報を出力する検査装置と、この検査装置で抽出した複数の欠陥に関する前記欠陥情報をレビュー装置に読み込む手段と、この欠陥情報に含まれる複数の前記欠陥毎に、欠陥情報の座標位置へ前記レビュー装置の視野を移動する視野移動手段と、当該視野内の欠陥を検出する欠陥検出手段と、この検出した欠陥のサイズ,画像情報,および/または欠陥種別を前記検査装置で抽出した前記欠陥情報と比較し欠陥の対応の一致を判定する欠陥一致判定手段と、この判定で一致した欠陥の前記欠陥情報における座標位置に基き、前記複数の欠陥毎に、前記検査装置と前記レビュー装置との間の座標補正を行なう座標補正手段を備えたことを特徴とする欠陥レビュー装置。
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