JPWO2008096792A1 - サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
また、関連する技術として、いわゆるバッチ式縦型熱処理装置が知られていた(特許文献2、特許文献3参照)。
このような構成により、サーバ装置に対して、例えば、変更指示情報を送信したり、入力したりすることによって、権限情報を変更することができる。
このような構成により、ユーザごとに、権限の管理を行うことができうる。
このような構成により、ユーザのグループごとに権限の管理を行うことができうる。
このような構成により、それらの処理の実行に関する権限の管理を行うことができる。
本発明の実施の形態1による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施の形態による群管理システムの構成を示すブロック図である。図1において、本実施の形態による群管理システムは、サーバ装置10と、クライアント装置20と、N個の製造装置40とを備える。ここで、Nは、1または2以上の整数である。群管理システムにおいて、サーバ装置10、クライアント装置20、1以上の製造装置40は、有線または無線の通信回線を介して互いに通信可能なように接続されている。その通信回線は、例えば、インターネットやイントラネット、公衆電話回線網等である。
権限情報記憶部27では、権限情報蓄積部26が蓄積した権限情報が記憶される。権限情報記憶部27は、所定の記録媒体(例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど)によって実現されうる。
(ステップS101)判断要求情報受信部12は、判断要求情報を受信したかどうか判断する。そして、判断要求情報を受信した場合には、ステップS102に進み、そうでない場合には、ステップS104に進む。
なお、図5のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
(ステップS206)許否判断部13は、処理の実行が許可されていないと判断する。そして、図5のフローチャートに戻る。
(ステップS301)処理実行部22は、入力受付部21で、所定の処理の実行を要求する入力が受け付けられたかどうか判断する。そして、受け付けられた場合には、ステップS302に進み、そうでない場合には、ステップS309に進む。
(ステップS310)権限情報蓄積部26は、権限情報受信部25が受信した権限情報を権限情報記憶部27に蓄積する。そして、ステップS301に戻る。
(ステップS312)変更指示情報構成部29は、入力受付部21で受け付けられた権限情報の変更を指示する入力に応じて、変更指示情報を構成する。
なお、図8のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
この具体例において、権限情報記憶部11では、図9及び図10で示される権限情報が記憶されているものとする。図9において、ユーザ識別情報と、グループ識別情報と、ユーザ権限情報とが対応付けられている。図9の1番目のレコードでは、ユーザ識別情報「U001」で識別されるユーザが、グループ識別情報「G001」「G002」で識別されるグループに属することが示されている。また、図10において、グループ識別情報と、グループ権限情報とが対応付けられている。ここで、ユーザ権限情報及びグループ権限情報の表記について説明する。A001等は、処理対象を識別する情報である。例えば、A001は、プロセスパラメータに対応するものとする。また、その処理対象を識別する情報とセミコロンで区切られて示されている3桁の数字は、「読み出し(r)」「修正(w)」「実行(x)」の許否をそれぞれ示すものである。「1」は許可を示し、「0」は拒否を示す。例えば、「A001;110」により、プロセスパラメータの「読み出し」と「修正」が許可されており、「実行」が拒否されていることが示される。なお、プロセスパラメータについては、「実行」という概念がないため、その実行の許否は意味がないものである。例えば、図9の2番目のレコードにより、ユーザ識別情報「U002」で識別されるユーザは、「A003」で識別される処理対象については、何も許可されておらず、「A006」で識別される処理対象については、「読み出し」「修正」が許可されていることがわかる。なお、ユーザ識別情報「U002」で識別されるユーザについて、「A002」で識別される処理対象については、許否の設定がなされていない。
このようにして、ユーザの権限管理をサーバ装置10において一括して行うことができる。
権限情報送信部17は、図示しない時計を参照することにより、午前2時になったことを検知すると(ステップS106)、権限情報記憶部11で記憶されている図9及び図10で示される権限情報を読み出し、その権限情報のパケットを構成して、あらかじめ保持しているクライアント装置20のIPアドレスを送信先として送信する(ステップS107)。なお、ここでは、クライアント装置20に対してのみ権限情報が送信される場合について説明しているが、その他の装置にも権限情報が送信されてもよい。
また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
11、27 権限情報記憶部
12 判断要求情報受信部
13、28 許否判断部
14 判断結果情報送信部
15 変更指示情報受付部
16 権限情報変更部
17 権限情報送信部
20 クライアント装置
21 入力受付部
22 処理実行部
23 判断要求情報送信部
24 判断結果情報受信部
25 権限情報受信部
26 権限情報蓄積部
29 変更指示情報構成部
30 変更指示情報送信部
40 製造装置
Claims (10)
- 被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う1以上の製造装置と、当該1以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、前記製造装置あるいは前記サーバ装置に対する処理を要求するクライアント装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、
処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部と、
前記製造装置あるいは前記クライアント装置から送信された情報であり、所望の処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である判断要求情報を受信する判断要求情報受信部と、
前記判断要求情報受信部が受信した判断要求情報に応じた許否の判断を、前記権限情報を用いて行う許否判断部と、
前記許否判断部による判断結果を示す情報である判断結果情報を、前記判断要求情報を送信した装置に送信する判断結果情報送信部と、を備えたサーバ装置。 - 前記権限情報の変更を指示する情報である変更指示情報を受け付ける変更指示情報受付部と、
前記変更指示情報受付部が受け付けた変更指示情報に応じて、前記権限情報記憶部で記憶されている権限情報を変更する権限情報変更部と、をさらに備えた請求項1記載のサーバ装置。 - 前記権限情報記憶部で記憶されている権限情報を、前記製造装置または前記クライアント装置に送信する権限情報送信部をさらに備えた、請求項1記載のサーバ装置。
- 前記権限情報は、ユーザを識別する情報であるユーザ識別情報と、処理についてのユーザの権限を示す情報であるユーザ権限情報とを対応付けて有する情報を含んでおり、
前記判断要求情報には、処理を要求するユーザのユーザ識別情報が含まれており、
前記許否判断部は、前記判断要求情報に含まれるユーザ識別情報に対応付けられているユーザ権限情報を用いて、前記許否の判断を行う、請求項1記載のサーバ装置。 - 前記権限情報には、複数のユーザを含むグループを識別する情報であるグループ識別情報と、処理についてのグループの権限を示す情報であるグループ権限情報とを対応付けて有する情報をも含んでおり、
前記許否判断部は、前記判断要求情報に含まれるユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられているグループ権限情報を用いて、前記許否の判断を行う、請求項4記載のサーバ装置。 - 前記処理は、前記製造装置あるいは前記サーバ装置に対する操作の処理、前記製造装置で用いられるレシピへのアクセス処理、前記製造装置で用いられるパラメータへのアクセス処理、前記製造装置のリカバリ処理の少なくともいずれかである、請求項1記載のサーバ装置。
- 前記処理は、前記製造装置で収集され、前記製造装置または前記サーバ装置に保存されている収集データへのアクセス処理、前記収集データを統計処理したデータへのアクセス処理の少なくともいずれかである、請求項1記載のサーバ装置。
- 前記許否判断部が許可の判断をした場合には、前記判断結果情報に、処理を実行可能とする鍵を示す情報である鍵情報が含まれる、請求項1記載のサーバ装置。
- 被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う1以上の製造装置と、当該1以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、前記製造装置あるいは前記サーバ装置に対する処理を要求するクライアント装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置で用いられる情報処理方法であって、
前記製造装置あるいは前記クライアント装置から送信された情報であり、所望の処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である判断要求情報を受信する判断要求情報受信ステップと、
前記判断要求情報受信ステップで受信した判断要求情報に応じた許否の判断を、処理についての権限に関する情報である権限情報を用いて行う許否判断ステップと、
前記許否判断ステップでの判断結果を示す情報である判断結果情報を、前記判断要求情報を送信した装置に送信する判断結果情報送信ステップと、を備えた情報処理方法。 - コンピュータを、
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う1以上の製造装置と、当該1以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、前記製造装置あるいは前記サーバ装置に対する処理を要求するクライアント装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置として機能させるためのプログラムであって、
前記製造装置あるいは前記クライアント装置から送信された情報であり、所望の処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である判断要求情報を受信する判断要求情報受信部と、
前記判断要求情報受信部が受信した判断要求情報に応じた許否の判断を、処理についての権限に関する情報である権限情報を用いて行う許否判断部と、
前記許否判断部による判断結果を示す情報である判断結果情報を、前記判断要求情報を送信した装置に送信する判断結果情報送信部として機能させるためのプログラム。
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