JPH09232200A - 半導体製造装置及びその制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コマンドを発行する画面と装置状況を表示す
る画面とが別個であるため不便であるという課題を解決
し、モジュール単位で装置状況とコマンドを同一画面上
に表示し、装置状況を見ながらコマンドを入力すること
ができ、保守作業の能率を向上させることができる半導
体製造装置及びその制御方法を提供する。 【解決手段】 モジュール単位の装置状況とコマンドを
グラフィック表示するデータを備えたモニタ画面テーブ
ル１５と、モジュール単位の数値入力コマンドの入力画
面を表示するデータを備えた数値画面テーブル１６と、
モニタ画面テーブル１５と数値画面テーブル１６との組
み合わせを規定する画面選択テーブル１７とを設け、保
守モードにおいて、中央制御部１が、画面選択テーブル
１７を参照してモニタ画面テーブル１５と数値画面テー
ブル１６を特定してデータを読み込み、装置状況とコマ
ンドをモジュール単位で表示する保守コマンド画面を表
示する半導体製造装置及びその制御方法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＶＤ装置等の半
導体製造装置に係り、特に保守作業の能率と、安全性を
向上させることができる半導体製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＣＶＤ装置等の半導体製造装置には、多
くのアクチュエータ（部品）が用いられており、それら
のアクチュエータに対して制御装置から指示を送出して
駆動することにより、装置全体の動作を制御している。

【０００３】具体的には、半導体製造装置は、オペレー
タが入力した指示を受けて、装置全体の制御を行うパー
ソナルコンピュータ等から成る中央制御部と、中央制御
部からの指示を受けて、個々のアクチュエータを制御す
る複数の制御用コントローラと、制御されるアクチュエ
ータ群とから構成されている。また、中央制御部には、
データを入力する入力部と、データの表示を行う表示部
とが接続されている。

【０００４】そして、上記構成の半導体製造装置におい
ては、入力部から入力された指示に従って、中央制御部
が制御用コントローラに指示を送出し、各制御用コント
ローラが実際にアクチュエータに指示を出して制御を行
うようになっている。また、逆に、各制御用コントロー
ラは、アクチュエータの動作状態を監視して、動作状態
のデータを中央制御部に送出し、中央制御部では、各制
御用コントローラからのデータをまとめ、装置全体の動
作状態をモニタ画面として表示するようになっている。

【０００５】従来の半導体製造装置では、装置立ち上げ
時や装置トラブル時等、保守作業を行う際に、個々のア
クチュエータを動作させるために、一部のアクチュエー
タについては中央制御部が保守点検用のセミオートコマ
ンド（手動コマンド）を発行して、それに従ってアクチ
ュエータを動作させる方法があった。

【０００６】また、セミオートコマンドでは制御できな
いアクチュエータの場合には、中央制御部を介さずに、
オペレータが直接各アクチュエータの制御用コントロー
ラを操作して、アクチュエータを動作させるようになっ
ていた。

【０００７】ここで、従来の半導体製造装置におけるセ
ミオートコマンドの発行画面について図９を用いて説明
する。図９は、従来の半導体製造装置におけるセミオー
トコマンドの発行画面の説明図である。図９に示すよう
に、従来の半導体製造装置のセミオートコマンド発行画
面は、アクチュエータを動作させるコマンド（アクチュ
エータコマンド）の一覧表のようになっており、オペレ
ータは、これらのコマンドの中から、適当なコマンドを
選択して、発行するようになっていた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の半導体製造装置及びその制御方法では、中央制御部
からセミオートコマンドを発行する場合、表示部にはセ
ミオートコマンドの発行画面しか表示されず、装置状況
を監視するモニタ画面は表示できないため不便であり、
装置状況を知るために、オペレータは、セミオートコマ
ンド発行画面とモニタ画面とを頻繁に切り替えて表示さ
せなければならず、操作が煩雑で作業能率が低下すると
いう問題点があった。

【０００９】また、従来の半導体製造装置及びその制御
方法では、セミオートコマンド発行画面において、アク
チュエータコマンドがチャンバ別に分類されていなかっ
たので、オペレータは、発行するコマンドを選択しにく
く、不便であるという問題点があった。

【００１０】更に、半導体製造装置は装置自体が巨大
（約１０ｍ×１０ｍ）であり、従来の半導体製造装置及
びその制御方法では、メンテナンス中か通常動作中かの
区別が明確でなかったために、作業者が装置内でメンテ
ナンス作業を行っている際に、別の作業者が装置の運用
を開始すると、事故が発生する危険性があるという問題
点があった。

【００１１】本発明は上記実情に鑑みて為されたもの
で、保守点検作業の際に、アクチュエータコマンドと装
置状況とをチャンバ単位の表示画面に同時に表示し、装
置状況を見ながらコマンドを入力できるようにして、作
業の能率を向上させ、更に、メンテナンス時と通常運転
時とで入力マウスの切替を行って、メンテナンス作業時
の安全性を向上させることができる半導体製造装置及び
その制御方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記従来例の問題点を解
決するための請求項１記載の発明は、データを記憶する
記憶部と、データを表示する表示部と、入力部としての
マウスと、動作部としての複数のアクチュエータと、ア
クチュエータに対する指示をコマンドとして送出し、ア
クチュエータの動作状況をモニタデータとして受信し、
前記モニタデータを編集して前記表示部に送出する制御
部とを備えた半導体製造装置において、チャンバを中心
としたモジュールに対応して、前記モジュールの概略図
を表示するデータと、前記モジュールに対応するアクチ
ュエータのモニタデータと、前記モジュール内のアクチ
ュエータを制御するコマンドのデータと、画面上の入力
位置と入力コマンドとを対応させるデータとを備えたテ
ーブルを設け、前記制御部が、動作モードが「保守」に
設定された場合に、前記テーブルから、前記モジュール
の概略図を表示するデータと、前記モニタデータと、前
記コマンドのデータとを読み取って、前記モジュールに
対応した装置状況とコマンドとを同一画面に表示する表
示データを作成して前記表示部に送出し、前記マウスか
らの入力があった場合に、前記テーブルを参照して、入
力位置に基づいて入力コマンドを特定し、前記入力コマ
ンドをアクチュエータに送出する制御部であることを特
徴としており、モジュールに対応した装置状況とコマン
ドとを同一画面上に見易く表示して、画面上でコマンド
の入力を行うことができ、オペレータは、コマンドを容
易に選択して、装置状況を見ながらコマンドを入力する
ことができ、保守作業の能率を向上させることができ
る。

【００１３】上記従来例の問題点を解決するための請求
項２記載の発明は、請求項１記載の半導体製造装置の制
御方法において、制御部が、動作モードが「保守」に設
定された場合に、モジュールに対応したテーブルから、
モジュールの概略図を表示するデータと、モニタデータ
と、コマンドのデータとを読み取って、前記モジュール
に対応した装置状況とコマンドとを同一画面に表示する
表示データを作成して表示部に送出し、マウスからの入
力があった場合に、前記テーブルを参照して、入力位置
に基づいて入力コマンドを特定し、入力コマンドをアク
チュエータに送出することを特徴としており、モジュー
ルに対応した装置状況とコマンドとを同一画面上に見易
く表示して、画面上でコマンドの入力を行うことがで
き、オペレータは、コマンドを容易に選択して、装置状
況を見ながらコマンドを入力することができ、保守作業
の能率を向上させることができる。

【００１４】上記従来例の問題点を解決するための請求
項３記載の発明は、請求項１記載の半導体製造装置にお
いて、操作モードを「通常運転」又は「保守」に切り替
える切替スイッチと、通常運転時に用いる第１のマウス
と、保守時に用いる第２のマウスとを設け、制御部が、
前記切替スイッチでの設定が「保守」である場合に、操
作モードを「保守」に設定して、第２のマウスからの入
力を受け付け、前記切替スイッチでの設定が「通常運
転」である場合に、操作モードを「通常運転」に設定し
て、第１のマウスからの入力を受け付ける制御部である
ことを特徴としており、切替スイッチを「保守」に設定
しておけば、保守作業中に別の作業者が通常運転を行う
のを防ぐことができ、保守作業時の安全性を向上させる
ことができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照しながら説明する。本発明の実施の形態に係る半
導体製造装置（本装置）は、特に、装置の保守点検の際
の動作が従来とは異なるものであり、装置状況をグラフ
ィック表示するモニタ画面と、アクチュエータコマンド
（コマンド）を表示する数値画面とを同一画面上に重ね
て保守コマンド画面として表示し、しかも画面上で簡単
にコマンドを入力できるようにして、メンテナンスの作
業能率を向上させ、更に、メンテナンスと通常運転との
入力マウスの切替を行う切替スイッチを設けて、メンテ
ナンス中は通常運転ができないようにして、メンテナン
ス中の事故を防ぐようにしているものである。

【００１６】本発明の実施の形態に係る半導体製造装置
（本装置）の構成を図１を使って説明する。図１は、本
発明の実施の形態に係る半導体製造装置（本装置）の構
成ブロック図である。図１に示すように、本発明の実施
の形態に係る半導体製造装置は、基本的に、従来の半導
体製造装置とほぼ同様であり、パソコン等から成る中央
制御部１と、信号を分配するシーケンサ２と、ヒータ、
バルブ、ピン等のアクチュエータ（部品）群４と、アク
チュエータ群４を制御する複数の制御用コントローラ３
ａ〜３ｎと、中央制御部１に接続され、データを表示す
る表示部５と、入力手段としてのマウス６及びキーボー
ド７と、データを記憶する記憶部（固定ディスク）８
と、補助記憶手段としてのフロッピディスク（フロッ
ピ）９とから構成されている。

【００１７】また、本装置の特徴として、中央制御部１
には、操作モードを自動（通常運転）又は保守に切り替
える切替スイッチ１１が設けられている。また、表示部
５としては、通常運転時に用いる中央制御用表示部５ａ
と、保守作業時（メンテナンス時）に用いるメンテナン
ス用表示部５ｂとを備え、マウス６としては、中央制御
用マウス６ａと、メンテナンス用マウス６ｂとを備えて
いる。

【００１８】上記構成部分の内、シーケンサ２と、制御
用コントローラ３と、アクチュエータ４とは従来と同様
の部分であり、動作も従来と同様となっている。すなわ
ち、中央制御部１から指示が送出されると、シーケンサ
２が指示信号を制御用コントローラ３に分配し、制御用
コントローラ３が指示信号に従って各アクチュエータ４
を制御するようになっている。

【００１９】また、装置の動作状態（装置状況）の監視
も従来と同様であり、各制御用コントローラ３は、アク
チュエータ４の動作状態を監視して、装置状況のデータ
をシーケンサ２を介して中央制御部１に送出し、中央制
御部１では、各制御用コントローラ３からのデータを記
憶部８に記憶しておき、編集して、半導体製造装置の装
置状況を表示部に表示するようになっている。

【００２０】各部の構成について説明する前に、本発明
の形態に係る半導体製造装置（本装置）の特徴である保
守コマンド画面の表示例とコマンド入力方法について図
２を用いて説明する。図２は、本装置の保守コマンド画
面の表示例を示す説明図である。本装置では、切替スイ
ッチ１１で操作モードを「保守」に切り替え、更に中央
制御部１の動作モードを「保守」に切り替えると、メン
テナンス用表示部５ｂに、図２に示すような保守コマン
ド画面を表示する。保守コマンド画面は、モニタ画面
と、数値画面とを重ねて表示したものであり、オペレー
タが、装置状況を見ながら、コマンドを入力することが
できるものである。

【００２１】保守コマンド画面の内、モニタ画面は、反
応室であるチャンバと、それに付随するアクチュエータ
４の接続状態を模式的に示したものであり、更に、アク
チュエータ４の動作状態を色別表示等により表示するも
のである。モニタ画面は、ガス系、搬送系等の系統別に
分類され、モジュール単位のモニタ画面となっている。
図２のモニタ画面は、チャンバＲ１に関するガス系の画
面であり、画面右上の大きい四角形がチャンバＲ１を示
し、ガスの流量を制御するマスフローコントローラ（Ｍ
ＦＣ）や、バルブ等のアクチュエータ４の接続関係を模
式的に示している。そして、チャンバやバルブ等の動作
状態を、動作状態に対応する表示パターンや表示色によ
って表示するようになっている。

【００２２】また、本装置の特徴として、図２に示すよ
うに、各アクチュエータ４のイメージの脇に、コマンド
入力部５３を設け、更にコマンドの内容を指定する条件
選択部５４を設けている。そして、コマンド入力部５３
をマウス６ｂでクリックすることにより、制御するアク
チュエータ４を指定し、更に、条件選択部５４で条件を
設定することにより、中央制御部１から、指定したアク
チュエータ４に対して指示を送出するようにしている。
例えば、任意のバルブの横にあるコマンド入力部５３を
クリックすることにより、当該バルブの「開」又は
「閉」のコマンドを指定して送出することができるよう
になっている。そして、コマンドに対してアクチュエー
タ４が動作した結果も、装置状況として、モニタ画面に
表示されるものである。

【００２３】また、数値画面は、モニタ画面上に重ねて
表示されるウインドウ画面であり、数値画面の左側に
は、各コマンドに対する設定値が表示され、右側には実
際に装置の動作状況をモニタした結果を表示するように
なっている。

【００２４】数値画面にもコマンド入力部５３が設けら
れ、コマンド入力部５３をマウス６ｂでクリックして、
コマンドを指定して、処理条件選択部５４から設定値を
入力することにより、中央制御部１から、アクチュエー
タ４に指示を送出するようになっている。尚、数値画面
におけるコマンドは、温度やＲＦ電力等、数値を設定す
るコマンドである。

【００２５】このように、本装置の保守コマンド画面で
は、半導体製造装置のモジュール毎に、装置状況とコマ
ンドとを１画面上で表示させることができ、オペレータ
は装置状況を見ながら各アクチュエータ４に対してコマ
ンドを送出することができ、保守作業の能率を向上させ
ることができるものである。

【００２６】次に、本実施例の特徴部分の構成及び動作
について具体的に説明する。固定ディスクから成る記憶
部８は、中央制御部１における制御プログラムや、本装
置の特徴である保守コマンド画面を表示するためのデー
タを備えているものである。制御プログラムとしては、
通常運転を行うプログラム（中央制御プログラム）と、
保守のプログラム（保守プログラム）とを備えている。
保守プログラムは本装置の特徴部分であり、通常運転の
中央制御プログラムは従来と同様となっている。

【００２７】記憶部８において記憶している保守コマン
ド画面のデータについて図３を用いて説明する。図３
は、本装置で表示する保守コマンド画面の一覧表を示す
説明図である。図３に示すように、本装置の記憶部８で
は、５つの成膜室（チャンバ）のガス系統と、搬送室、
基板予備室等の各モジュール毎に、８種類の保守コマン
ド画面のデータが備えられている。これらの保守コマン
ド画面は、保守プログラムの中で表示され、画面切替指
示を入力することにより、循環的に表示が切り替えられ
るようになっている。

【００２８】これらの保守コマンド画面を表示するため
のデータについて具体的に説明する。本装置の記憶部８
には、モニタ画面テーブル１５と、数値画面テーブル１
６とが設けられており、更に、保守コマンド画面毎に重
ねて表示する画面を選択する画面選択テーブル１７と、
装置状況を表示するための装置状況表示データとが設け
られている。

【００２９】まず、モニタ画面テーブル１５について図
４を用いて説明する。図４は、モニタ画面テーブル１５
の模式説明図である。モニタ画面テーブル１５は、画面
表示するに必要なデータと、モニタ画面から入力できる
コマンドのデータとを備えているものである。図４に示
すように、モニタ画面テーブル１５は、モニタ画面毎
に、モジュール単位（チャンバ単位）の概略図を表示す
るための概略図データと、実際に装置状況をモニタした
結果であるモニタデータと、マウスでクリックされた入
力座標と入力コマンドとを対応させる入力位置データと
を備えている。そして、モニタ画面テーブル１５は、図
３に示した保守コマンド画面に対応して８種類備えられ
ている。

【００３０】モジュール単位の概略図は、上述したよう
に、系統別のアクチュエータ４の接続状態を模式的に表
したものである。また、モニタ画面テーブル１５のコマ
ンドは、対応するモジュールに関するアクチュエータコ
マンドだけを記憶している。これにより、アクチュエー
タコマンドをモジュール毎に整理し、コマンドの選択及
び入力を簡単にしている。モニタデータは、シーケンサ
２から装置状況のデータを受信した際に、中央制御部１
が書き込んでおくものである。

【００３１】そして、モニタ画面上で入力が行われた場
合には、中央制御部１が、モニタ画面テーブル１５を参
照して、入力コマンドを読み取り、シーケンサ２に送出
するようになっている。

【００３２】また、装置状況表示データは、装置状況を
表すためのデータであり、概略図データと合成してモニ
タ画面を表示するものである。装置状況表示データの例
について図５を用いて簡単に説明する。図５は、装置状
況表示データの内、チャンバの状況を表すデータを示す
説明図である。図５の例では、チャンバ内の状態に対応
して各種の表示パターンを設定しており、中央制御部１
が、チャンバの状況をモニタしたモニタデータに基づい
て、図５の表示パターンの中から、適切なパターンを選
択し、図２に示したモニタ画面内のチャンバのイメージ
を、選択したパターンで表示するものである。例えば、
チャンバ内が大気圧であれば、チャンバのイメージの内
部表示色を水色として表示する。

【００３３】また、他のアクチュエータの状態（バルブ
の「開」「閉」等）についても同様に、装置状況表示デ
ータが設定されており、モニタ画面の概略図データと合
成して表示するようになっている。

【００３４】次に、数値画面テーブル１６について図６
を用いて説明する。図６は、数値画面テーブル１６の例
を示す模式説明図である。図６に示すように、数値画面
テーブル１６は、コマンド名等を表示するための表示フ
ォーマットと、コマンドに対応するモニタデータと、入
力位置と入力コマンドとを対応させる入力位置データと
を備えているものである。例えば、ガス系の画面の場
合、ＲＦ電力やガス流量等、数値を設定するコマンドの
データが記憶されている。複数種類の数値画面がある場
合には、各数値画面について同様のテーブルが備えられ
ている。

【００３５】数値画面における装置状況は、中央制御部
１が受信した装置状況のモニタデータを数値画面テーブ
ル１６に記憶しておき、そのまま数字で表して、数値画
面テーブル１６で指定されたフォーマットに従って表示
するようになっている。

【００３６】次に、画面選択テーブル１７について図７
を用いて説明する。図７は、画面選択テーブル１７の模
式説明図である。図７に示すように、画面選択テーブル
１７は、保守コマンド画面毎に、重ねて表示するモニタ
画面と数値画面とを対応させて記憶しているものであ
る。図４〜図７に示したように、保守コマンド画面に関
するデータは、階層的なデータ構造となっており、オペ
レータが保守コマンド画面を選択すると、対応するモニ
タ画面と数値画面とを重ねて表示することができるもの
である。

【００３７】そして、これにより、制御対象のモジュー
ルの装置状況と、そのモジュールに関するコマンドとを
同一画面上で表示し、また、画面上でコマンドを入力で
きるようにして、保守点検時の作業能率を向上させるこ
とができるものである。

【００３８】次に、中央制御部１について説明する。本
装置の中央制御部１は、電源投入時に記憶部８から制御
プログラムを読み込んでワークエリア（図示せず）に格
納しておき、切替スイッチ１１で指定された操作モード
と、キーボード７やマウス６によって指定される中央制
御部１の動作モードに従って、通常運転の中央制御プロ
グラム又は保守プログラムを起動して、制御を行うもの
である。つまり、通常は、中央制御プログラムで制御を
行うが、切替スイッチ１１が、操作モード「保守」に切
り替えられ、更に、中央制御部１の動作モードが「保
守」に設定されると、中央制御部１は、保守プログラム
に制御を移行する。

【００３９】動作モードの設定は、オペレータが、図２
の表示画面の下部に表示されているメニューコマンド
で、「ジョブ」「保守」と入力することにより行われ、
これにより、中央制御部１は、動作モードを保守モード
として保守プログラムに移行する。

【００４０】動作モードが「保守」に切り替わると、入
力マウスは、中央制御用マウス６ａからメンテナンス用
マウス６ｂに切り替えられ、中央制御部１は、メンテナ
ンス用マウス６ｂからの入力信号を受け付けるようにな
る。また、表示部５は、中央制御用表示部５ａからメン
テナンス用表示部５ｂに切り替えられる。ここで、マウ
ス６ａ及び６ｂは、どちらか一方のみの入力を受け付け
る排他的な制御となっており、同時に用いることはでき
ない。これにより、メンテナンス中に別の作業者が、通
常運転を行うことを防ぎ、安全性を向上させることがで
きるものである。

【００４１】そして、操作モードと動作モードとが「保
守」に切り替えられると、中央制御部１は、画面選択テ
ーブル１７を参照して、選択された保守コマンド画面に
対応するモニタ画面のデータと数値画面のデータとを読
み込んで、保守コマンド画面の表示データを作成し、表
示部５に表示するものである。モニタ画面の装置状況に
ついては、図５に示したように、装置状況表示データに
従って、絵や表示色で表示する。

【００４２】また、保守コマンド画面においてコマンド
が入力されると、中央制御部１は、モニタ画面テーブル
１５又は数値画面テーブル１６を参照して入力されたコ
マンドを読み取って、シーケンサ２に送出するものであ
る。そして、シーケンサ２から制御用コントローラ３へ
コマンドが伝達され、アクチュエータ４の制御が行われ
る。

【００４３】次に、中央制御部１の保守モードにおける
動作について図８を用いて具体的に説明する。図８は、
本装置の中央制御部１の保守モードにおける動作を示す
フローチャート図である。図８に示すように、中央制御
部１は、切替スイッチ１１が「保守」に設定され（１０
０）、中央制御部１の動作モードが「保守」に設定され
る（１０２）と、制御を保守プログラムに移行して、画
面選択テーブル１７の先頭に記載されている保守コマン
ド画面を表示する（１０４）。

【００４４】具体的には、オペレータが、切替スイッチ
１１を「保守」に切り替え、メニューコマンドで、「ジ
ョブ」「保守」と入力することにより、中央制御部１
は、動作モードを保守モードとして保守プログラムに移
行し、画面選択テーブル１７から先頭の保守コマンド画
面に対応するモニタ画面と数値画面を読み取り、モニタ
画面テーブル１５及び数値画面テーブル１６から、それ
ぞれ対応する画面のデータを読み取って表示するもので
ある。

【００４５】そして、中央制御部１は、入力があったか
どうかを判断し（１０６）、入力がなかった場合には処
理１０４に戻って同じ保守コマンド画面を表示する。ま
た、入力があった場合で、画面切替指示が入力された場
合には、中央制御部１は、処理１０４に移行して、画面
選択テーブル１７から次の保守コマンド画面を読み取っ
て、モニタ画面テーブル１５及び数値画面テーブル１６
を参照して、次の保守コマンド画面を表示する。

【００４６】また、処理１０８でアクチュエータコマン
ドの入力があった場合には、中央制御部１は、モニタ画
面テーブル１５又は数値画面テーブル１６を参照して、
入力コマンドを読み取り（１１０）、シーケンサ２を介
して制御用コントローラ３にコマンドを送出する（１１
２）。

【００４７】また、処理１０８で新たに装置状況のモニ
タデータを受信した場合、中央制御部１は、モニタ画面
テーブル１５又は数値画面テーブル１６のモニタデータ
を更新し（１１６）、装置状況表示データを参照して、
装置状況を表示する（１１８）。

【００４８】そして、動作モードの指定が入力されたか
どうかを判断し（１２０）、動作モードが入力されなか
った場合には、処理１０４に戻って保守コマンド画面を
表示する。また、処理１２０で、動作モードの指定が入
力された場合には、中央制御部１は、指定された動作モ
ードに制御を移行する。このようにして、保守モードに
おける中央制御部１の処理が行われるものである。

【００４９】本発明の実施の形態に係る半導体製造装置
及びその制御方法では、記憶部８に、モジュール単位
（チャンバ単位）の装置状況とコマンドをグラフィック
表示するデータを備えたモニタ画面テーブル１５と、モ
ジュール単位の数値入力コマンドの入力画面を表示する
データを備えた数値画面テーブル１６と、モニタ画面テ
ーブル１５と数値画面テーブル１６との組み合わせを規
定する画面選択テーブル１７とを設け、保守モードにお
いて、中央制御部１が、画面選択テーブル１７を参照し
てモニタ画面テーブル１５と数値画面テーブル１６を特
定してデータを読み込み、装置状況とコマンドをモジュ
ール単位で表示する保守コマンド画面を表示するように
しているので、オペレータは装置状況を見ながらコマン
ドを入力することができ、また、コマンド選択も容易に
なり、保守作業の作業効率を向上させることができる効
果がある。

【００５０】また、操作モードを「自動」と「保守」の
何れかに設定する切替スイッチ１１を備え、入力用のマ
ウスとして、中央制御用マウス６ａと、メンテナンス用
マウス６ｂとを備えており、中央制御部１が、切替スイ
ッチ１１からの信号と、指定された動作モードに従って
入力マウスを中央制御用マウス６ａ又はメンテナンス用
マウス６ｂの何れかに特定するようになっており、保守
モードにおいては、メンテナンス用マウス６ｂのみを用
いるため、メンテナンス中に別のオペレータが誤って通
常運転を行うのを防ぐことができ、メンテナンス作業時
の安全性を向上させることができる効果がある。

【００５１】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、チャンバ
を中心としたモジュールに対応して、テーブルにモジュ
ールの概略図を表示するデータと、モジュールに対応す
るアクチュエータのモニタデータと、モジュール内のア
クチュエータを制御するコマンドのデータと、画面上の
入力位置と入力コマンドとを対応させるデータとを備
え、制御部が、動作モードが「保守」に設定された場合
に、テーブルから、モジュールの概略図を表示するデー
タ、モニタデータ、コマンドのデータを読み取って、モ
ジュールに対応した装置状況とコマンドとを同一画面に
表示する表示データを作成して表示部に送出し、マウス
からの入力があった場合に、テーブルを参照して、入力
位置に基づいて入力コマンドを特定し、入力コマンドを
アクチュエータに送出する半導体製造装置としているの
で、モジュールに対応した装置状況とコマンドとを同一
画面上に見易く表示して、画面上でコマンドの入力を行
うことができ、オペレータは、コマンドを容易に選択し
て、装置状況を見ながらコマンドを入力することがで
き、保守作業の能率を向上させることができる効果があ
る。

【００５２】請求項２記載の発明によれば、制御部が、
動作モードが「保守」に設定された場合に、モジュール
に対応したテーブルから、モジュールの概略図を表示す
るデータと、モニタデータと、コマンドのデータとを読
み取って、モジュールに対応した装置状況とコマンドと
を同一画面に表示する表示データを作成して表示部に送
出し、マウスからの入力があった場合に、テーブルを参
照して、入力位置に基づいて入力コマンドを特定し、入
力コマンドをアクチュエータに送出する請求項１記載の
半導体製造装置の制御方法としているので、モジュール
に対応した装置状況とコマンドとを同一画面上に見易く
表示して、画面上でコマンドの入力を行うことができ、
オペレータは、コマンドを容易に選択して、装置状況を
見ながらコマンドを入力することができ、保守作業の能
率を向上させることができる効果がある。

【００５３】請求項３記載の発明によれば、制御部が、
切替スイッチでの設定が「保守」である場合に操作モー
ドを「保守」に設定して、保守時に用いる第２のマウス
からの入力を受け付け、切替スイッチでの設定が「通常
運転」である場合に操作モードを「通常運転」に設定し
て、通常運転時に用いる第１のマウスからの入力を受け
付ける請求項１記載の半導体製造装置としているので、
切替スイッチを「保守」に設定しておけば、保守作業中
に別の作業者が通常運転を行うのを防ぐことができ、保
守作業時の安全性を向上させることができる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る半導体製造装置の構
成ブロック図である。

【図２】本装置の保守コマンド画面の表示例を示す説明
図である。

【図３】本装置で表示する保守コマンド画面の一覧表を
示す説明図である。

【図４】モニタ画面テーブル１５の模式説明図である。

【図５】装置状況表示データの内、チャンバの状況を表
すデータを示す説明図である。

【図６】数値画面テーブル１６の例を示す模式説明図で
ある。

【図７】画面選択テーブル１７の模式説明図である。

【図８】中央制御部１の保守モードにおける動作を示す
フローチャート図である。

【図９】従来の半導体製造装置におけるセミオートコマ
ンドの発行画面の説明図である。

【符号の説明】

１…中央制御部、 ２…シーケンサ、 ３…制御用コン
トローラ、 ４…アクチュエータ、 ５…表示部、 ６
…マウス、 ７…キーボード、 ８…記憶部、９…フロ
ッピディスク、 １１…切替スイッチ、 １５…モニタ
画面テーブル、 １６…数値画面テーブル、 １７…画
面選択テーブル、 ５３…コマンド入力部、 ５４…条
件選択部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 曲 正敏 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 データを記憶する記憶部と、データを表
   示する表示部と、入力部としてのマウスと、動作部とし
   ての複数のアクチュエータと、アクチュエータに対する
   指示をコマンドとして送出し、アクチュエータの動作状
   況をモニタデータとして受信し、前記モニタデータを編
   集して前記表示部に送出する制御部とを備えた半導体製
   造装置において、チャンバを中心としたモジュールに対
   応して、前記モジュールの概略図を表示するデータと、
   前記モジュールに対応するアクチュエータのモニタデー
   タと、前記モジュール内のアクチュエータを制御するコ
   マンドのデータと、画面上の入力位置と入力コマンドと
   を対応させるデータとを備えたテーブルを設け、前記制
   御部が、動作モードが「保守」に設定された場合に、前
   記テーブルから、前記モジュールの概略図を表示するデ
   ータと、前記モニタデータと、前記コマンドのデータと
   を読み取って、前記モジュールに対応した装置状況とコ
   マンドとを同一画面に表示する表示データを作成して前
   記表示部に送出し、前記マウスからの入力があった場合
   に、前記テーブルを参照して、入力位置に基づいて入力
   コマンドを特定し、前記入力コマンドをアクチュエータ
   に送出する制御部であることを特徴とする半導体製造装
   置。
2. 【請求項２】 制御部が、動作モードが「保守」に設定
   された場合に、モジュールに対応したテーブルから、モ
   ジュールの概略図を表示するデータと、モニタデータ
   と、コマンドのデータとを読み取って、前記モジュール
   に対応した装置状況とコマンドとを同一画面に表示する
   表示データを作成して表示部に送出し、マウスからの入
   力があった場合に、前記テーブルを参照して、入力位置
   に基づいて入力コマンドを特定し、入力コマンドをアク
   チュエータに送出することを特徴とする請求項１記載の
   半導体製造装置の制御方法。
3. 【請求項３】 操作モードを「通常運転」又は「保守」
   に切り替える切替スイッチと、通常運転時に用いる第１
   のマウスと、保守時に用いる第２のマウスとを設け、制
   御部が、前記切替スイッチでの設定が「保守」である場
   合に、操作モードを「保守」に設定して、第２のマウス
   からの入力を受け付け、前記切替スイッチでの設定が
   「通常運転」である場合に、操作モードを「通常運転」
   に設定して、第１のマウスからの入力を受け付ける制御
   部であることを特徴とする請求項１記載の半導体製造装
   置。