JP5312019B2 - 基板処理装置、基板処理装置の表示方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は基板処理装置に関するものであり、特に、基板処理装置の操作画面に関するものである。

一般に、多種多様な部品が接続された基板処理装置では、装置稼動中に各部品が正常に動作しているかどうかの点検は必須であるが、半導体製造工場では、各部品に付帯するユーティリティ設備、すなわち、電気、水道、ガス、原料ガスの供給設備が、基板処理装置を設置したフロアの階下などに設置されており、ユーティリティデータを参照する場合やユーティリティ設備を点検する場合に、作業者は基板処理装置から離れざるを得ない。また、各ユーティリティ設備にはハードインターロックを設けてあるので装置稼動中に定期的に点検するのが好ましい。しかし、各ユーティリティ設備が離れた場所に設置されているので、装置を稼動させるまでに無駄な時間がかかる。

そこで、本発明は、制御部と操作部とからなる装置コントローラでユーティリティデータ等、日常点検が必要なデータ（以下、日常点検データという）を監視するために、顧客ごと、装置ごとに異なる日常点検データを基板処理装置の操作画面に表示できるようにすることを目的とする。

請求項１記載の発明は、操作画面を有する表示手段と、基板を処理するための制御指示を送信する第１の制御手段と、この第１の制御手段からの前記制御指示に従って制御を行う第２の制御手段とを有する基板処理装置において、前記第１の制御手段は、列番号をデータ番号、データ名称等の項目データとして設定可能な画面データを格納する画面ファイルと、少なくとも前記項目データに対応するパラメータデータを格納するパラメータファイルと、前記画面ファイルを展開して前記操作画面に前記画面データをモニタ画面として配置させ、前記パラメータファイルを展開して前記データ番号により前記パラメータファイル内を検索して前記項目データに対応するパラメータデータを配置して前記モニタ画面を表示する表示制御手段とを備えたものである。

本発明によれば、第１の制御手段は、画面ファイルとパラメータファイルとを展開して画面ファイルに格納された表形式の画面データと、パラメータファイルを検索して得られる項目に対応するデータを配置させてモニタ画面を表示する。このように表形式の画面に対して項目をパラメータ化すると、項目の変更が自由であるので、顧客別や機種別に対してパラメータファイルの項目を変更するだけで対応が可能となる。従って、顧客別、機種別に、項目が相違する場合でもパラメータファイルの項目の変更のみで対応が可能なシステムとなる。

また、前記パラメータファイルに基板処理装置の監視に必要な日常点検データの名称等を前記表形式の画面に表示させる場合は、前記項目は、日常点検データの項目となり、この項目と項目に対応するデータが表形式の画面に配置され操作画面上に表示されることになる。このように日常点検データが操作画面上に表示されると、ユーザは、基板処理の状態を監視しながら日常点検データを参照することができるようになり、日常点検データに関する機器又は装置の異常や点検時期を予測することができる。

また、基板処理装置の操作画面に基板処理に関するデータだけでなく日常点検データ等の監視が必要な各種データを表示させることができるので、基板処理を実施しながら各種データの監視による装置の異常や不具合を予測することができる。また、データとしてユーティリティ設備に点在している計器等の日常点検データを操作画面に表示して一括して参照する場合は、装置稼動現場での就業点検作業が軽減される。パラメータファイルに予め格納されている項目とこの項目に対応するデータを操作画面に表示させるので、前記項目の変更が生じても画面を表示するためのプログラム変更の必要がない。従い、機種別や顧客別にユーティリティ設備が異なり、日常点検の項目が多種多様であってもパラメータ変更のみで対応が可能となるので、汎用性が大幅に向上する。

以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。

まず、図１および図２を参照して本発明が適用される基板処理装置の概要を説明する。

なお、本発明が適用される基板処理装置においては、ウエハなどの基板を搬送するキャリヤとしては、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ。以下、ポッドという。）が使用されている。また、以下の説明において、前後左右は図１を基準とする。すなわち、図１が示されている紙面に対して、前は紙面の下、後ろは紙面の上、左右は紙面の左右とする。

図１および図２に示されているように、基板処理装置は真空状態などの大気圧未満の圧力（負圧）に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成された第一の搬送室１０３を備えており、第一の搬送室１０３の筐体１０１は平面視が六角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。第一の搬送室１０３には負圧下でウエハ２００を移載する第一のウエハ移載機１１２が設置されている。第一のウエハ移載機１１２は、エレベータ１１５によって、第一の搬送室１０３の気密性を維持しながら昇降できるように構成されている。

筐体１０１の六枚の側壁のうち前側に位置する二枚の側壁には、搬入用の予備室１２２と搬出用の予備室１２３とがそれぞれゲートバルブ２４４，１２７を介して連結されており、それぞれ負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。さらに、予備室１２２には搬入室用の基板置き台１４０が設置され、予備室１２３には搬出室用の基板置き台１４１が設置されている。

予備室１２２および予備室１２３の前側には、略大気圧下で用いられる第二の搬送室１２１がゲートバルブ１２８、１２９を介して連結されている。第二の搬送室１２１にはウエハ２００を移載する第二のウエハ移載機１２４が設置されている。第二のウエハ移載機１２４は第二の搬送室１２１に設置されたエレベータ１２６によって昇降されるように構成されるとともに、リニアアクチュエータ１３２によって左右方向に往復移動されるように構成されている。

図１に示されているように、第二の搬送室１２１の左側にはノッチまたはオリフラ合わせ装置１０６が設置されている。また、図２に示されているように、第二の搬送室１２１の上部にはクリーンエアを供給するクリーンユニット１１８が設置されている。

図１および図２に示されているように、第二の搬送室１２１の筐体１２５の前側には、ウエハ２００を第二の搬送室１２１に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口１３４と、ポッドオープナ１０８が設置されている。

ウエハ搬入搬出口１３４を挟んでポッドオープナ１０８と反対側、すなわち筐体１２５の外側にはＩＯステージ１０５が設置されている。ポッドオープナ１０８は、ポッド１００のキャップ１００ａを開閉すると共にウエハ搬入搬出口１３４を閉塞可能なクロージャ１４２と、クロージャ１４２を駆動する駆動機構１３６とを備えており、ＩＯステージ１０５に載置されたポッド１００のキャップ１００ａを開閉することにより、ポッド１００に対するウエハ２００の出し入れを可能にする。また、ポッド１００は図示しない工程内搬送装置（ＲＧＶ）によって、ＩＯステージ１０５に対して、供給および排出されるようになっている。

図１に示されているように、筐体１０１の六枚の側壁のうち後ろ側（背面側）に位置する二枚の側壁には、ウエハに所望の処理を行う第一の処理炉２０２と、第二の処理炉１３７とがゲートバルブ１３０、１３１を介してそれぞれ隣接して連結されている。第一の処理炉２０２および第二の処理炉１３７はいずれもプロセスモジュールであるコールドウォール式の処理炉によって構成されている。また、筐体１０１における六枚の側壁のうちの残りの互いに対向する二枚の側壁には、第一のクーリングユニット１３８と、第二のクーリングユニット１３９とがそれぞれ連結されており、第一のクーリングユニット１３８および第二のクーリングユニット１３９はいずれも処理済みのウエハ２００を冷却するように構成されている。

以下、前記構成をもつ基板処理装置を使用した処理工程を説明する。

未処理のウエハ２００は２５枚がポッド１００に収納された状態で、処理工程を実施する基板処理装置へ工程内搬送装置によって搬送されて来る。図１および図２に示されているように、搬送されて来たポッド１００はＩＯステージ１０５の上に工程内搬送装置から受け渡されて載置される。ポッド１００のキャップ１００ａがポッドオープナ１０８によって取り外され、ポッド１００のウエハ出し入れ口が開放される。

ポッド１００がポッドオープナ１０８により開放されると、第二の搬送室１２１に設置された第二のウエハ移載機１２４は、ポッド１００からウエハ２００をピックアップして予備室１２２に搬入し、ウエハ２００を基板置き台１４０に移載する。この移載作業中には、予備室１２２の第一の搬送室１０３側のゲートバルブ２４４は閉じられており、第一の搬送室１０３内の負圧は維持されている。ポッド１００に収納された所定枚数、例えば２５枚のウエハ２００の基板置き台１４０への移載が完了すると、ゲートバルブ１２８が閉じられ、予備室１２２内が排気装置（図示せず）によって負圧に排気される。

予備室１２２内が予め設定された圧力値となると、ゲートバルブ２４４が開かれ、予備室１２２と第一の搬送室１０３とが連通される。続いて、第一の搬送室１０３の第一のウエハ移載機１１２は基板置き台１４０からウエハ２００をピックアップして第一の搬送室１０３に搬入する。ゲートバルブ２４４が閉じられた後、ゲートバルブ１３０が開かれ、第一の搬送室１０３と第一の処理炉２０２とが連通される。続いて第一のウエハ移載機１１２は、ウエハ２００を第一の搬送室１０３から第一の処理炉２０２に搬入して、第一の処理炉２０２内の支持具に移載する。ゲートバルブ１３０が閉じられた後、第一の処理炉２０２内に処理ガスが供給され、ウエハ２００に所望の処理が施される。

第一の処理炉２０２でウエハ２００に対する処理が完了すると、ゲートバルブ１３０が開かれ、処理済みのウエハ２００は第一のウエハ移載機１１２によって第一の搬送室１０３に搬出される。搬出後、ゲートバルブ１３０は閉じられる。

第一のウエハ移載機１１２は第一の処理炉２０２から搬出したウエハ２００を第一のクーリングユニット１３８へ搬送し、処理済みのウエハが冷却される。

第一のクーリングユニット１３８に処理済みウエハ２００を搬送すると、第一のウエハ移載機１１２は予備室１２２の基板置き台１４０に予め準備されたウエハ２００を前述した作動と同様に、第一の処理炉２０２に搬送し、第一の処理炉２０２内でウエハ２００に所望の処理が施される。

第一のクーリングユニット１３８において予め設定された冷却時間が経過すると、冷却済みのウエハ２００は第一のウエハ移載機１１２によって第一のクーリングユニット１３８から第一の搬送室１０３に搬出される。

冷却済みのウエハ２００が第一のクーリングユニット１３８から第一の搬送室１０３に搬出されたのち、ゲートバルブ１２７が開かれる。第１のウエハ移載機１１２は第一のクーリングユニット１３８から搬出したウエハ２００を予備室１２３へ搬送し、基板置き台１４１に移載した後、予備室１２３はゲートバルブ１２７によって閉じられる。

以上の作動が繰り返されることにより、予備室１２２内に搬入された所定枚数、例えば２５枚のウエハ２００が順次処理されて行く。

予備室１２２内に搬入された全てのウエハ２００に対する処理が終了し、全ての処理済みウエハ２００が予備室１２３に収納され、予備室１２３がゲートバルブ１２７によって閉じられると、予備室１２３内が不活性ガスにより略大気圧に戻される。予備室１２３内が略大気圧に戻されると、ゲートバルブ１２９が開かれ、ＩＯステージ１０５に載置された空のポッド１００のキャップ１００ａがポッドオープナ１０８によって開かれる。続いて、第二の搬送室１２１の第二のウエハ移載機１２４は基板置き台１４１からウエハ２００をピックアップして第二の搬送室１２１に搬出し、第二の搬送室１２１のウエハ搬入搬出口１３４を通してポッド１００に収納して行く。２５枚の処理済みウエハ２００のポッド１００への収納が完了すると、ポッド１００のキャップ１００ａがポッドオープナ１０８によって閉じられる。閉じられたポッド１００はＩＯステージ１０５の上から次の工程へ工程内搬送装置によって搬送されて行く。

以上の作動は第一の処理炉２０２および第一のクーリングユニット１３８が使用される場合を例にして説明したが、第二の処理炉１３７および第二のクーリングユニット１３９が使用される場合についても同様の作動が実施される。また、上述の基板処理装置では、予備室１２２を搬入用、予備室１２３を搬出用としたが、予備室１２３を搬入用、予備室１２２を搬出用としてもよい。

また、第一の処理炉２０２と第二の処理炉１３７は、それぞれ同じ処理を行ってもよいし、別の処理を行ってもよい。第一の処理炉２０２と第二の処理炉１３７で別の処理を行う場合、例えば第一の処理炉２０２でウエハ２００にある処理を行った後、続けて第二の処理炉１３７で別の処理を行わせてもよい。また、第一の処理炉２０２でウエハ２００にある処理を行った後、第二の処理炉１３７で別の処理を行わせる場合、第一のクーリングユニット１３８又は第二のクーリングユニット１３９を経由するようにしてもよい。

さらに、図３に示すように、前記基板処理装置には、操作部１０と制御部１１とからなる装置コントローラ１２が備えられている。そして、制御部１１には基板処理を制御するための複数のサブコントローラ（制御部コントローラ）が接続されている。

これらのサブコントローラとしては、前記基板処理装置の第一のウエハ移載機１１２、前記第二のウエハ移載機１２４、前記リニアアクチュエータ１３２、前記ゲートバルブ２４４，１２７、前記エレベータ１２６、前記ノッチまたはオリフラ合わせ装置１０６、前記工程内搬送装置等を制御してウエハ２００の搬送やハンドリングを実施するメカニズムコントローラと、前記第一の処理炉２０２を有するプロセスモジュール、前記第二の処理炉１３７を有するプロセスモジュールごとに、それぞれヒータの温度を調節する温度コントローラ、前記排気装置の排気により前記第一の処理炉２０２、前記第二の処理炉１３７を減圧する排気量調節弁の開度を制御する圧力コントローラ、前記第一の処理炉２０２、前記第二の処理炉１３７への原料ガスや希釈ガス、キャリアガスの流量をそれぞれ調節するガスコントローラ、例えば、マスフローコントローラ（ＭＦＣ）があり、装置コントローラ１２のモニタ１５の操作画面からの制御指示により対応した制御を実行するようになっている。

前記装置コントローラ１２には固定記憶装置としてのハードディスク（図示せず）と、プログラムの一次格納やデータ参照用としてのメモリ１３、１４が搭載されており、入力手段としてのキーボードと表示手段としてモニタ１５が操作部１０に接続されている。前記ハードディスクには、装置コントローラ１２の起動時に実行されるイニシャルプログラム（図示せず）と、基板処理装置の基板制御を実施するための各種の画面を格納した画面ファイル２２と、基板処理を自動化するためのレシピファイル等の必要なプログラム（図示せず）が格納されている。モニタ１５に表示される画面には、操作部１０が装置コントローラ１２の起動時に前記ハードディスクから読み込んだイニシャルプログラムの実行により、最初に画面ファイル２２から呼び出してモニタ１５に表示させた画面と、この画面に表示されたボタンによって画面を切り替えることにより、前記画面ファイル２２から呼び出されるプロセスモジュール毎の画面と、前記メカニズムコントローラに対しての制御指示により基板処理装置全体の搬送系、ハンドリング系を操作する画面が含まれる。

また、基板処理装置のプロセスモジュール毎の操作画面には、レシピ編集画面やレシピの実行により、基板処理を実行する画面があり、ボタンの切り替えにより、これらの画面を切り替える。

ここで、操作画面からの制御指示とは、基板処理装置の各プロセスモジュールに対してレシピの実行により前記温度コントローラ、前記圧力コントローラ、前記マスフローコントローラの基板処理を実行するサブコントローラに対してそれぞれレシピに設定された設定温度、設定圧力、設定流量などの基板処理に必要な設定値（目標値）制御信号を出力することや、レシピに基づいて前記メカニズムコントローラに対してウエハの搬送（大気搬送、真空搬送）やハンドリング系に対して設定値（目標値）を出力することをいう。

次に、図３ないし図８を参照してユーティリティデータを前記モニタ１５の操作画面上に表示させる処理システムについて説明する。

図７は本発明の第１の実施の形態における操作部のプログラムが画面とパラメータファイルにより行っているユーティリティデータの表示処理を示す図である。

図７に示すように、制御部１と部品コントローラ（サブコントローラ）としての制御部コントローラ２とをＬＡＮ（図示せず）で接続し、制御部コントローラ２から制御部１にユーティリティデータを送信する。図７（ａ）に示すように、制御部コントローラ２から送信されたユーティリティデータは、制御部１の単位変換プログラムにより単位が変換された後、図７（ｂ）に示すように、操作部３に転送される。操作部３は、起動時に読み込んだイニシャルパラメータファイル４の顧客種別（ａ）、項目有無（ｂ）、単位変換（ｃ）に規定されるパラメータを参照して画面を操作画面５に切り替え（図７（ｃ））、この操作画面５に、日常点検データを表示させる。なお、図７中、ＰＭは基板処理炉を備えたプロセスモジュールのデータ表示画面を示し、ＭＦ（メインフレーム）はロードロックモジュール及び真空搬送モジュールのデータ表示画面を示している。

図８は操作画面５の一例である。

このように、操作画面５に日常点検データを表示すれば（図示例では、冷却水流量、冷却水圧力等）、ユーザは、基板処理の状態を監視しながら日常点検データを参照することが可能になる。

しかし、このようなシステムを顧客別、機種別、ユーザ別の全てに適用する場合、システムに搭載されていた既存の画面表示プログラムを拡張して顧客種別（ａ）、項目有無（ｂ）、単位変換（ｃ）に対応した画面ファイルや単位変換プログラムをプログラム中に組み込むことになる。

このようにすると、これまでのシステムに影響を与えてしまうことはないが、プログラムを顧客毎に対応させることは困難であるので、不要な画面データや単位変換プログラムを搭載し、且つ不要なデータは非表示としてシステムに蓄積せざるを得ない。

例えば、システムごとに表示データの表示形式、すなわち、日常点検データの計器の精度に対しての表示桁数や、単位換算による計算結果と、画面に表示させる桁数（データの整数部の桁数と小数部の桁数を含む）とが顧客仕様等によって異なる場合は、図７（ｄ）に示すように、制御部１でデータ形式を変換せずに、操作部３のプログラムを変更し、制御部１から送信された日常点検データを、データ毎に操作部３側のプログラムで表示可能なデータに変換する。ここで、ポンプのメーカー、型式、モニタデータの形、表示の仕方等、顧客ごと、装置のタイプごとにプログラムの変更が必要になる。したがって、他のシステムでは全く使用しないデータがシステムに残ることになり、無駄なデータとなってしまう。

また、図７（ａ）に示すように、制御部コントローラ２でデータを変換する場合、制御部コントローラ２への入力レンジ（最小値、最大値）が違う場合、例えば、Ｐａ表示をＫＰａ表示にする場合には換算が必要となるので、プログラム変更が必要になる。

図３は本発明に係る第２の実施形態におけるコントローラ構成の概略図、図４は本発明の一実施形態に係る日常点検データの構成とデータの表示手順の一例を示す解説図である。

図３に示すように、前記装置コントローラ１２の操作部１０と、制御部１１を第一の制御手段とし、日常点検データを制御部１１に入力するためのサブコントローラ（部品コントローラ）としての制御部コントローラ１６を第二の制御手段とし、制御部コントローラ１６にＬＡＮやケーブル配線を介して圧力計１８、温度計１９、ポンプ２０等、各ユーティリティ設備の計器の出力部を接続している。なお、基板処理装置のユーティリティ設備とは、基板処理装置の冷却部にチラー水等の冷却水を供給して耐熱性を確保する冷却設備や基板処理装置の電源部に電力を供給する電源部、基板処理室のパージに用いるパージガス供給設備、原料ガスを希釈する希釈ガス供給設備、酸化ガスを供給するための外部燃焼装置、前記排気装置のシール部等をシールガス（Ｎ_２ガス）によりシールするシール設備等、基板処理を可能とするために必要な設備のことである。これらの設備は主に工場側から提供される。

図３ではこのうち代表的なユーティリティ設備の計器として冷却水設備の冷却水温度を検出する温度計１９、水圧を検出する圧力計１８、流量を排出するポンプ２０を接続し、電源部のユーティリティデータを検出する電力計や、パージガス、希釈ガスなどのガス供給設備の流量検出計、圧力計等、他のユーティリティデータを計測する計器、計器等に設けられているハードインターロックの接続を省略して示したものである。なお、インターロックは、基板処理装置のメンテナンス扉の鍵（図示せず）が開錠されている場合に、制御部コントローラ１６にインターロック出力を送信するインターロックや、ポンプユニット（図示せず）のメイン配管にバイパスを設け、ポンプユニットの回転数が予め設定した回転数を超えたとき、制御部コントローラ１６にインターロック出力を出力するインターロック等がある。

前記制御部コントローラ１６には、このように常に点検する必要がないメンテナンス扉のハードインターロック出力も接続され、日常点検データとして制御部１１に送信するようになっている。

一方、操作部１０のメモリ１３及び制御部１１のメモリ１４のモニタデータエリアを管理するメモリ管理プログラムは、操作部１０のメモリ１３、制御部１１のメモリ１４のモニタデータエリアに２バイトのＷＯＲＤ型データを合計１２８個格納できるようになっており、日常点検データ毎の種別毎に予め指定したアドレスを割り当てて日常点検データを格納するようになっている。また、メモリ管理プログラムは、所定時間、たとえば、数秒間隔で制御部コントローラ１６から転送される新しいユーティリティデータで制御部１１の各アドレスの日常点検データを更新し、更新した日常点検データを操作部１０のメモリ１３の同じアドレスに転送するようになっている（図４、（ア−１））。このため、操作部１０のメモリ１３の日常点検データは制御部１１のメモリ１４から転送された新しい日常点検データに所定時間おきに更新されている。さらに、このメモリ管理プログラムは、日常点検データモニタ画面２１に対するメモリ１３、１４の各ユーティリティデータ（日常点検データ）の表示位置をｎ行ｎ列形式で各ユーティリティデータに付加するようにプログラムされており、操作部１０は、後述するように、日常点検データ（ユーティリティデータ）を、単位換算式により変換した後、これを表形式の日常点検データモニタ画面２１の表示位置に表示させる。

図５は表示制御手段としての日常点検データ表示プログラムの一例を示し、図６は日常点検データモニタ画面２１及び日常点検イニシャルパラメータファイルの内容を示す解説図である。

この日常点検データ表示プログラムは、操作部１０が実行するプログラムであり、図５に示すように、まず、（１）画面初期化処理を実施し、次に、（２）画面更新処理を実施する。

（１）画面初期化処理
画面初期化処理では、まず、前記装置コントローラ１２のハードディスクの画面ファイル２２（図３、図６参照）から後述するデータ番号、データ名称等を項目データとして設定可能なｎ行ｎ列の表形式の日常点検データモニタ画面データ２３を読み込み、前記モニタ１５の操作画面２４上に、紙面の右側にスクロールバーを配置したｎ行ｎ列の表形式の日常点検データモニタ画面２１として展開する。なお、この日常点検データモニタ画面２１は、図６に示すように、煩雑さをなくし視覚性を良好とするために、一行目のセルの枠線と、二行目以降の列方向のセル間の区切り線を非表示としているが、枠線や区切り線を表示させる形態としてもよい。また、日常点検データ表示プログラムは、前記モニタ１５の操作画面２４上の他のオブジェクト（図、表、セル、文字など）の配置情報に基づいて他のオブジェクトと重なることがないように、日常点検データモニタ画面２１を操作画面２４上に配置する。続いて、日常点検データ表示プログラムは、この表形式の日常点検データモニタ画面２１に、行番号とデータ番号を配置する。

次に、図４又は図６に一例として示されている日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂと、前記操作部１０のメモリ１４とを、配列番号で検索して日常点検データモニタ画面２１の項目データを取得し（図４（イ）参照）、この項目データを、日常点検データモニタ画面２１の外枠線上に日常点検データモニタ画面２１の列番号２３ａに代えて配置する。

ここで、日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂを検索する際の配列番号とは、日常点検データモニタ画面２１のデータ番号Ｎｏ．１，Ｎｏ．２，…(図４参照)に対応する日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂのデータ番号ＤＡＴＡ１，ＤＡＴＡ２，…(図６参照)をいい、項目データとは、データの名称、単位、インターロック値、インターロック値範囲、許容最大値、許容最小値等の項目として表示されるデータをいう。

また、図４、図６に示した日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂを配列番号で検索することによって得られる項目データに対応する具体的な数値や置換の対象（例えば、図６に示した、数値、冷却水流量、ｌ／ｍｉｎ等）のデータがパラメータデータである。なお、図４の数値やデータ項目等は、図５の表記とは相互に異なっているが、一例である。実際には、項目データと対応するユーティリティデータは、後述するように、膜種別、顧客の種別、機種別、仕様別に決定される。

また、操作部１０のメモリ１３を検索する際の配列番号とは、前記メモリ管理プログラムにより予め日常点検データ毎に割り付けられたデータ番号ＤＡＴＡ１，ＤＡＴＡ２，…に対応する番号をいう。

日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂには、日常点検データの単位変換に対応する単位変換式と、日常点検データモニタ画面２１に対するパラメータデータの表示先が定義されており、配列番号で検索すると、単位変換式と表示先とが取得されるようになっている。パラメータデータの表示先は、メモリの日常点検データと同様、予め、ｎ行ｎ列形式で与えられている。

従って、前記配列番号で日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂを検索すると、項目データ、パラメータデータ、パラメータデータの表示先及び日常点検データ毎の単位変換式が取得され、操作部１０のメモリ１３を配列番号で検索すると、配列番号に対応するユーティリティデータが取得される。そして、項目データや日常点検データ等の検索を終了すると、日常点検データ表示プログラムは、日常点検データモニタ画面２１の表示先に基づいて名称（データ名称）、単位などパラメータとしての各項目データや各項目データに対応するパラメータデータを図６に示すように日常点検データモニタ画面２１の表示先に配置し、次に、スクロールバー２６の初期化によりスクロールを可能にする。この結果、図６に示すように、行方向の各セルの上部に、紙面左側から右側に向かって「Ｎｏ．」（データ番号）、「名称」、「モニタ値」、「単位」、「インターロック値」、「許容値（上限）」、「許容値（下限）」の項目データが表示され、次のデータ番号Ｎｏ．１の横に、データ名称である「冷却水流量」、「モニタ値（空欄）」、単位である「ｌ／ｍｉｎ」、インターロック値である「０．００５以下」が配置され、データ番号Ｎｏ．２のセルの横のデータ名称である「ガス供給圧力」、「モニタ値（空欄）」、単位である「ＭＰａ」が配置される。以下、同様にして、検索によって得られた「データ名称」、「単位」、「インターロック値」、「許容値（上限）」、「許容値（下限）」が配置される。

（２）画面更新処理
この画面更新処理では、日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂの検索によって取得した日常点検データの単位換算式を用いて操作部１０のメモリ１３の検索によって取得した日常点検データの単位換算を実行する（図４（イ）参照）。なお、図６の例では、冷却水流量、ガス供給圧力、排気圧力、ポンプ電流値、ポンプ回転数に対して単位換算を実行している。

次に、単位換算の結果を、日常点検データモニタ画面２１に配置する。この場合、日常点検データには、日常点検データモニタ画面２１に対するｎ行ｎ列形式の表示先が、メモリ１３，１４のアドレスに格納した段階で既に与えられているので、日常点検データ表示プログラムは、この表示先に換算結果を表示させる（図４（ウ）参照）。

この結果、日常点検データモニタ画面２１のモニタ値の表示先のセルに、単位換算後の日常点検データが配置される。そして、この画面更新処理（２）では、所定の時間間隔ごとに単位換算と結果の表示を繰り返し、日常点検データモニタ画面２１に表示されたモニタ値を更新する。

従って、ユーザは操作画面２４上でインターロック値、許容値（上限、下限）を参照しながら冷却水流量、冷却水圧力等の日常点検データを監視し、変化の傾向から点検の必要性や時期を予測することができる。

次に、項目データに対応するユーティリティデータ変更の手順について説明する。変更には、膜種別、顧客の種別、機種別、仕様別の変更がある。

＜仕様別の変更の例＞
このような変更は、基板処理装置を顧客に納入した後、顧客ユーティリティのシステムの仕様変更によって必要になる。例えば、顧客ユーティリティのエア供給システムの仕様の変更によって駆動エア圧力測定器が交換となり、そのためにアクチュエータのフルスケール（測定範囲（測定幅））、フルスケールに対する上限値、下限値の変更が必要となる場合である。

このような場合は、日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂの駆動エア圧力スイッチのパラメータである「フルスケール」と「フルスケール」に対する「上限値」、「下限値」のパラメータデータを書き換える。これにより、駆動エア圧力スイッチのフルスケール及びフルスケールに対する許容範囲が変更される。

図９は変更前(書換え前)と変更後(書き換え後)の日常点検モニタ画面の一例を示す。

書き換え前は、日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂのフルスケール、上限値、下限値の各パラメータの値はそれぞれ「１０」、「８」、「５」であったが、日常点検データ表示プログラムを再起動すると、それぞれ「２０」、「１６」、「１０」に書き換えられる。なお、「Ｍｐａ」等、書き換えを行っていないパラメータのパラメータデータは、書き換え前と同じように表示される。

＜膜種別の変更の例＞
このような変更は、基板処理の際の成膜種変更の際に行われる。例えば、Ｎ_２ガスとＡｒガスを用いるプロセスであったが、プロセスの変更によって一種のガス、例えば、ＮＨ_３を用いるプロセスに変更された場合等である。

この例では、日常点検イニシャルパラメータファィル２５ａ，２５ｂには、名称の項目データとしてガス１供給圧力計、ガス２供給圧力計が設定され、ガス１供給圧力計、ガス２供給圧力計のパラメータについて、パラメータデータの変更が行われる。

ガス１供給圧力計、ガス２供給圧力計によって監視されるパラメータは、流量のフルスケール、流量の上限値、下限値である。

日常点検イニシャルパラメータデータのガス１供給圧力計の圧力については、フルスケール、上限値、下限値を書き換え、ガス２供給圧力計については、各パラメータデータをそれぞれ「なし」の書き換えを行う。なお、「なし」は、制御を実行しないという意味である。

図１０は変更前と変更後の日常点検モニタ画面の一例を示す。

変更前は、ガス１供給圧力計についての圧力のフルスケール、上限値、下限値の値は、「５」、「０．０５」、「０．０２」となっていたが、日常点検データ表示プログラムを再度起動すると、ガス１供給圧力計についての圧力のフルスケール、上限値、下限値の値はそれぞれ「５」、「０．１０」、「０．０１」に書き換えられる。また、ガス２供給圧力計の各パラメータデータはそれぞれ「なし」に書き換える。

なお、ガス種が変更になってもガス供給圧力計は変更せず、同じもの使用するので、流量は同じになる。

＜顧客への納入後に、ユーティリティの設備を別のメーカ製のものに変更した場合＞
例えば、機能が同じでもモニタ機能が必要となり、モニタ機能のないアクチュエータからモニタ機能のある他のメーカ製のアクチュエータに交換する場合である。具体的には、ポンプメーカＡのポンプは電流値モニタ機能はなく、これを異なるメーカＢのポンプ電流値のモニタ機能を有するポンプに変更する場合である。

このような場合、日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂのパラメータの追加やパラメータデータの追加が必要になる。この例の場合は、日常点検イニシャルパラメータファイルに、項目データ(名称)として、「ポンプ電流値モニタ」を加え、パラメータとしてポンプ電流計の「フルスケール」、「上限値」、「下限値」を加える。

図１１は変更前と変更後の日常点検モニタ画面を示す。

日常点検データ表示プログラムを再起動すると、図１１（ａ）に示すように、変更前は、モニタ機能がなく、項目データとして「ポンプ電流値モニタ」、「フルスケール」、「上限値」、「下限値」のパラメータやパラメータデータも表示されない。変更後は、図１１（ｂ）に示すように、「ポンプ電流値モニタ」、・BR>Uフルスケール」、「上限値」、「下限値」、「単位」の各パラメータが表示され、各パラメータに対応する「２８」、「２０」、「１０」、「Ａ」が表示される。

このように、本実施の形態に係る発明は、プログラムレス化（ファイル化）されており、ユーティリティデータ（モニタ値）以外のもの、たとえば、単位、パラメータとしてデータの名称、許容値などを日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂに格納しておいて、検索によって取得しており、また、予め、日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂに単位換算にかかる表示形式を格納しておき、検索により取得する。

この結果、日常点検イニシャルパラメータファイル２５ａ，２５ｂの内容の変更のみで、顧客別、データ項目有無、単位変換等の第１の実施形態におけるパラメータの全てに対応することが可能となる。従って、第１の実施の形態で説明した監視システム（図７）のように、無駄な画面ファイルや、単位換算式をシステムに格納する必要がなく、システムに無駄なデータが残ることもない。また、変更の種別に応じた変更が可能となる。

また、ユーザは基板を処理する前に、必ず、一度ユーティリティデータ（パラメータデータ）を確認することができる。よって、従来や実施の形態１とは異なり、操作画面上で確認するため、不要な装置の停止を抑えることができる。

また、データから表示形式の変換については、第１の実施の形態では、制御部コントローラ１６のプログラムが固定で変換していたため、同じ種類のデータを表示するとしても、制御部コントローラ１６からの入力レンジ（最小値、最大値）が違う場合は、異なる処理が必要であったが、第２の実施の形態では、図４に示すように、パラメータ変更で対応が可能となる。さらに、メモリ１３，１４のモニタデータエリアは同じ型のデータを格納するようにしており、その配列数以内であれば、自由にデータを格納することができるので、計器の精度や表示桁数（整数部、小数部を含む）の変更にも容易に対応することができる。また、一覧表示とすると、項目データとしての名前、単位、単位（モニタ値）などの変更もしやすくなる利点がある。

次に、図１２を参照して日常点検データの画面表示とアラーム発生表示について説明する。

この例では、1つの操作画面の表示領域が、メイン表示エリア５０と、ナビボタン表示エリア５１とタブボタン表示エリア５２とに分かれている。ナビボタン表示エリア５１は、操作画面の下側に設けられる。タブボタン５３はメイン表示エリア５０に表示される日常点検モニタ画面を切り替えるためのボタンである。

メイン表示エリア５０は、タブボタン５３や他のナビボタン（選択ボタンともいう）により切り替えられる画面表示部分である。

タブボタン５３は、一つずつ日常点検データモニタ画面にリンク付けされている。

この例では、ナビボタン表示エリア５１に、「システム」ボタン５４、「ＰＭ１」ボタン５５、「ＰＭ２」ボタン５６、「メンテナンス」ボタン５７、「アラーム」ボタン５８が表示されるが、必要に応じて他のナビボタンを表示させるようにしてもよい。

これらのナビボタン（選択ボタン）５４〜５８は、対応する画面又はプログラムとリンクしており、タッチされたときに、リンク付けされている画面を呼び出したり、リンク付けされているプログラムを起動する。

この例では、「ＰＭ１」ボタン５５、「ＰＭ２」ボタン５６は、タッチされると、これにリンク付けされているプロセスモジュールの画面を呼び出し、「メンテナンス」ボタン５７は、タッチされるとメンテナンス画面を呼び出す。

そして、「アラーム」ボタン５８は、アラームの発生時に点滅させ、他のボタン５４〜５７は点滅させないようにしている。

なお、これらのボタン５４〜５７は、タッチされたとき、色が切り替わるように構成してもよい。

図１２は前記「アラーム」ボタン５８のタッチにより前記メイン表示エリア５０上に表示されるアラーム詳細表示画面の一例である。アラーム詳細表示画面は、日常点検データモニタ画面の一つである。

アラームメッセージのための日常点検イニシャルデータのパラメータは、例えば、「年月日（発生年月日）」、「時刻（発生時刻）」、「発生場所」、「レベル（発生レベル）」、「メッセージ」及び「詳細」であるが、必要に応じて他のパラメータが加えられる。

各パラメータに対応するパラメータデータは、数値、文字データである。

図１３に示す一例では、前記アラームボタンをタッチすると、「年月日」、「時刻」、「発生場所」、「レベル」、「メッセージ」、「詳細」の各パラメータに対応するパラメータデータとして「２００６／０７／２１」、「００：００：０３」、「ＰＭ１」、「６」、「チャンバ冷却水低下警告」、「０．０８」が表示され、同様に、次のアラームの発生により、パラメータデータである「２００６／０７／２１」、「００：００：１０」、「ＰＭ１」、「２」、「チャンバ冷却水低下アラーム」、「０．０１」が表示される。

なお、「詳細」に表示させるパラメータデータは、データベースから検索される。

検索子には、パラメータデータの「発生場所」、「レベル」、アラームの発生原因であるモニタ値等が用いられる。「詳細」の内容として、例えば、アラームメッセージの発生時の対処方法、リカバリ手順、詳細情報が表示されると、アラーム発生後の対応が容易になる。

図１３に例示したアラーム詳細表示画面は、
（１）２００６／０７／２１」、「００：００：０３」において、ＰＭ１の冷却水量が警告範囲を超えて０．０８リットルになり、冷却水流が発生した、
（２）「２００６／０７／２１」、「００：００：１０」、すなわち、７秒後に、さらに、アラーム範囲を超えて０．０１リットルになり、冷却水量アラームが発生した、ことを、意味している。

このように、アラームボタンをタッチすると、アラームの発生時に、アラームの日時、内容、原因、レベル、詳細など、対応に必要なデータを得ることができるので、迅速な対応が可能になる。

なお、本発明の処理装置は、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようのようなガラス基板を処理する装置にも適用できる。また、成膜処理には、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を含むものとする。また、枚葉式の処理装置に限定されるものではなく、横型、縦型の処理装置にも適用することができる。炉内の処理には直接関係がなく、例えば、酸化、アニール、拡散等にも適用が可能である。また、前記日常イニシャルパラメータファイルに、項目データや、日常点検データの表示を制御するためのセンタリング、右寄せ、左寄せや、日常点検データの整数部、小数部の桁数を定義して表示させるようにしてもよい。このように、本発明は、種々の改変が可能であり、本発明はこの改変された発明に及ぶことは当然である。

本発明が適用される基板処理装置の一部を断面で示した平面図である。 本発明が適用される基板処理装置の一部を断面で示した側面図である。 本発明の第２の実施の形態に係るコントローラ構成の概略図である。 本発明の第２の実施形態に係る日常点検データの構成とデータの表示手順の一例を示す解説図である。 表示制御手段としての日常点検データ表示プログラムの内容を示す図である。 日常点検データモニタ画面及び日常点検イニシャルパラメータファイルの内容を示す解説図である。 本発明の第１の実施の形態に係る操作部のプログラムが画面とパラメータファイルにより行っているユーティリティデータの表示処理を示す図である。 図７の監視システムにおける専用の操作画面の一例である。 仕様別の変更例を説明するための解説図である 膜種別の変更例を説明するための解説図である。 ユーティリティ設備の一部を他のメーカ製のものに変更した場合の変更例を説明するための解説図である。 画面切り替えのための選択ボタンとアラーム情報画面を呼び出すためのアラームボタンを備えた日常点検モニタ画面の一例を示す解説図である。 アラーム情報画面の一例を示す解説図である。

符号の説明

１０ 操作部（第１の制御手段）
１１ 制御部（第１の制御手段）
１２ 装置コントローラ
１５ モニタ（表示手段）
１６ 制御部コントローラ（第２の制御手段）
２１ 日常点検データモニタ画面
２２ 画面ファイル
２３ 日常点検データモニタ画面データ
２４ 操作画面
２５ａ 日常点検イニシャルパラメータファイル

Claims (9)

1. 基板処理に関するデータを少なくとも表示する操作画面と、列番号を少なくともデータ番号、データ名称を含む日常点検の項目データとして設定可能な日常点検データモニタ画面データを格納する画面ファイルと、少なくとも前記項目データに対応するパラメータデータとして各部品に付帯するユーティリティ設備を点検するための日常点検データを格納する日常点検イニシャルパラメータファイルと、を備えた操作部を含む基板処理装置であって、
   前記操作部は、前記画面ファイルを展開して前記操作画面に前記日常点検データモニタ画面データを日常点検データモニタ画面として配置し、前記日常点検イニシャルパラメータファイルを展開して前記データ番号により前記日常点検イニシャルパラメータファイル内を検索して前記項目データに対応するパラメータデータを配置して前記日常点検データモニタ画面を表示し、前記操作画面に前記基板処理に関するデータだけでなく、前記日常点検データのうち冷却水設備の冷却水温度及び圧力、電源部のユーティリティデータ、ガス供給設備の供給圧力から選択される少なくとも１つを表示するように構成されている基板処理装置。
2. 前記日常点検イニシャルパラメータファイルは、前記項目データ又は前記パラメータデータが追加または書き換え可能に構成されている請求項１に記載の基板処理装置。
3. 基板処理に関するデータを少なくとも表示する操作画面に、列番号を少なくともデータ番号、データ名称を含む日常点検の項目データとして設定可能な日常点検データモニタ画面データを日常点検データモニタ画面として配置し、少なくとも前記項目データに対応するパラメータデータとして各部品に付帯するユーティリティ設備を点検するための日常点検データを格納する日常点検イニシャルパラメータファイルを展開して前記データ番号により前記日常点検イニシャルパラメータファイル内を検索して前記項目データに対応するパラメータデータを配置して前記日常点検データモニタ画面を表示し、前記操作画面に前記基板処理に関するデータだけでなく、前記日常点検データのうち冷却水設備の冷却水温度及び圧力、電源部のユーティリティデータ、ガス供給設備の供給圧力から選択される少なくとも１つを表示するように構成されている基板処理装置の表示方法。
4. 前記日常点検イニシャルパラメータファイルは、前記項目データ又は前記パラメータデータが追加または書き換え可能に構成されている請求項３に記載の基板処理装置の表示方法。
5. 前記ユーティリティ設備の計器として、冷却水設備の冷却水温度を検出する温度計、水圧を検出する圧力計、電源部のユーティリティデータを検出する電力計、パージガスや希釈ガスなどのガス供給設備の供給圧力の圧力計が少なくとも一つ以上含まれる請求項１に記載の基板処理装置。
6. 前記ユーティリティ設備の計器にインターロックが設けられている請求項５に記載の基板処理装置。
7. 前記ユーティリティ設備の計器として、冷却水設備の冷却水温度を検出する温度計、水圧を検出する圧力計、電源部のユーティリティデータを検出する電力計、パージガスや希釈ガスなどのガス供給設備の供給圧力の圧力計が少なくとも一つ以上含まれる請求項３に記載の基板処理装置の表示方法。
8. 前記ユーティリティ設備の計器にインターロックが設けられている請求項７に記載の基板処理装置の表示方法。
9. 少なくとも基板処理に関するデータを表示する操作画面に各部品に付帯するユーティリティ設備を点検するための日常点検データを表示する表示工程と、基板を処理する基板処理工程とを有する半導体装置の製造方法であって、
   前記基板処理工程前及び前記基板処理工程中に、前記操作画面上に前記日常点検データのうち冷却水設備の冷却水温度及び圧力、電源部のユーティリティデータ、ガス供給設備の供給圧力から選択される少なくとも１つを表示して、前記日常点検データを確認する半導体装置の製造方法。

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