WO2007108370A1 - 基板処理装置 - Google Patents

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WO2007108370A1
WO2007108370A1 PCT/JP2007/055004 JP2007055004W WO2007108370A1 WO 2007108370 A1 WO2007108370 A1 WO 2007108370A1 JP 2007055004 W JP2007055004 W JP 2007055004W WO 2007108370 A1 WO2007108370 A1 WO 2007108370A1
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WO
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data
screen
daily inspection
display
parameter
Prior art date
Application number
PCT/JP2007/055004
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English (en)
French (fr)
Inventor
Masako Sueyoshi
Kazuhito Saito
Original Assignee
Hitachi Kokusai Electric Inc.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Kokusai Electric Inc. filed Critical Hitachi Kokusai Electric Inc.
Priority to JP2008506254A priority Critical patent/JP5312019B2/ja
Priority to US12/224,858 priority patent/US8014887B2/en
Publication of WO2007108370A1 publication Critical patent/WO2007108370A1/ja
Priority to US13/064,863 priority patent/US8321046B2/en

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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/409—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by using manual input [MDI] or by using control panel, e.g. controlling functions with the panel; characterised by control panel details, by setting parameters
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means

Definitions

  • the present invention relates to a substrate processing apparatus, and particularly relates to an operation screen of the substrate processing apparatus.
  • each utility facility is equipped with a hard interlock, it is preferable to inspect it regularly during operation. However, since each utility facility is installed at a remote location, it takes time to operate the equipment.
  • the present invention provides a device controller composed of a control unit and an operation unit for monitoring data that requires daily inspection (hereinafter referred to as daily inspection data) such as utility data, for each customer, for each device.
  • daily inspection data such as utility data
  • the purpose is to be able to display different daily inspection data on the operation screen of the substrate processing equipment.
  • the invention of claim 1 is directed to display means having an operation screen, first control means for transmitting a control instruction for processing a substrate, and the control instruction from the first control means.
  • the first control means is a screen for storing screen data in which column numbers can be set as item data such as data numbers and data names.
  • File and at least parameter data corresponding to the item data A parameter file for storing data, and expanding the screen file to arrange the screen data as a monitor screen on the operation screen, expanding the parameter file, searching the parameter file by the data number, and
  • display control means for displaying the monitor screen by arranging parameter data corresponding to the item data.
  • the first control means corresponds to items obtained by expanding the screen file and the parameter file and storing the tabular screen data stored in the screen file and the parameter file. Place the data to be displayed and display the monitor screen.
  • items are parameterized on a tabular screen in this way, the items can be changed freely, so it is possible to respond by simply changing the items in the parameter file for each customer or model. Therefore, even if the items differ for each customer and model, the system can be handled only by changing the parameter file items.
  • a FOUP Front Opening Unified Pod, hereinafter referred to as a pod
  • a pod Front Opening Unified Pod
  • front, rear, left and right are based on FIG. That is, with respect to the paper shown in Figure 1, the front is below the paper, the back is above the paper, and the left and right are the left and right of the paper.
  • the substrate processing apparatus has a first transfer chamber 103 configured in a load lock chamber structure capable of withstanding a pressure (negative pressure) of less than atmospheric pressure such as a vacuum state.
  • the casing 101 of the first transfer chamber 103 is formed in a box shape in which the plan view is hexagonal and the upper and lower ends are closed.
  • a first wafer transfer machine 112 for transferring the wafer 200 under a negative pressure is installed in the first transfer chamber 103.
  • the first wafer transfer device 112 is configured to be moved up and down by an elevator 115 while maintaining the airtightness of the first transfer chamber 103.
  • Two of the six side walls of the casing 101 are located on the front side, and a spare chamber 122 for carrying in and a spare chamber 123 for carrying out are connected via gate valves 244 and 127, respectively.
  • the load lock chamber structure can withstand negative pressure.
  • a substrate placing table 140 for carrying-in room is installed in the spare room 122, and a substrate placing table 141 for carrying-out room is installed in the spare room 123.
  • a front transfer chamber 122 and a second transfer chamber 121 used under a substantially atmospheric pressure are connected to the front sides of the reserve chamber 122 and the reserve chamber 123 via gate valves 128 and 129, respectively.
  • a second wafer transfer device 124 for transferring the wafer 200 is installed in the second transfer chamber 121.
  • the second wafer transfer device 124 is configured to be moved up and down by an elevator 126 installed in the second transfer chamber 121, and is reciprocated in the left-right direction by a linear actuator 132. It is configured as follows.
  • a notch or orientation flat aligning device 106 is installed on the left side of the second transfer chamber 121. Further, as shown in FIG. 2, a clean unit 118 for supplying clean air is installed in the upper part of the second transfer chamber 121.
  • a wafer loading for loading / unloading the wafer 200 into / from the second transfer chamber 121 is performed on the front side of the casing 125 of the second transfer chamber 121.
  • a carry-out port 134 and a pod opener 108 are installed on the front side of the casing 125 of the second transfer chamber 121.
  • An IO stage 105 is installed on the opposite side of the pod opener 108 across the wafer loading / unloading port 134, that is, on the outside of the casing 125.
  • the pod opener 108 includes a closure 142 that can open and close the cap 100a of the pod 100 and close the wafer loading / unloading port 134, and a drive mechanism 136 that drives the closure 142, and the pod 100 placed on the IO stage 105.
  • By opening and closing the cap 100a the wafer 200 can be taken in and out of the pod 100.
  • the pod 100 is supplied to and discharged from the IO stage 105 by an in-process transfer device (RGV) (not shown).
  • RGBV in-process transfer device
  • two side walls located on the rear side (rear side) among the six side walls of the housing 101 are the first ones that perform desired processing on the wafer.
  • the processing furnace 202 and the second processing furnace 137 are connected adjacently via gate valves 130 and 131, respectively.
  • Each of the first processing furnace 202 and the second processing furnace 137 is constituted by a cold wall type processing furnace which is a process module.
  • the first cooling unit 138 and the second cooling unit 139 are connected to the remaining two opposite side walls of the six side walls of the housing 101, respectively. Both the cooling unit 138 and the second cooling unit 139 are configured to cool the processed wafer 200.
  • the unprocessed wafers 200 are transferred to the substrate processing apparatus for performing the processing process by the in-process transfer apparatus.
  • the pod 100 that has been transferred is delivered from the in-process transfer device and placed on the IO stage 105.
  • the pod 100 cap 100a is Then, the wafer inlet / outlet of the pod 100 is opened.
  • the second wafer transfer machine 124 installed in the second transfer chamber 121 picks up the wafer 200 from the pod 100 and loads it into the spare chamber 122.
  • the wafer 200 is transferred to the substrate table 140.
  • the gate valve 244 on the first transfer chamber 103 side of the preliminary chamber 122 is closed, and the negative pressure in the first transfer chamber 103 is maintained.
  • the gate valve 128 is closed, and the preliminary chamber 122 is negatively charged by an exhaust device (not shown). Exhausted.
  • the gate valve 244 When the pressure in the preliminary chamber 122 reaches a preset pressure value, the gate valve 244 is opened, and the preliminary chamber 122 and the first transfer chamber 103 are communicated with each other. Subsequently, the first wafer transfer machine 112 in the first transfer chamber 103 picks up the wafer 200 from the substrate table 140 and loads it into the first transfer chamber 103. After the gate valve 244 is closed, the gate valve 130 is opened, and the first transfer chamber 103 and the first processing furnace 202 are communicated with each other. Subsequently, the first wafer transfer device 112 carries the wafer 200 from the first transfer chamber 103 into the first processing furnace 202 and transfers it to the support in the first processing furnace 202. After the gate valve 130 is closed, a processing gas is supplied into the first processing furnace 202 and a desired processing is performed on the wafer 200.
  • the gate valve 130 is opened, and the processed wafer 200 is transferred to the first transfer chamber 103 by the first wafer transfer device 112. The After unloading, the gate valve 130 is closed.
  • the first wafer transfer device 112 transports the wafer 200 unloaded from the first processing furnace 202 to the first cleaning unit 138, and the processed wafer is cooled.
  • the first wafer transfer machine 112 uses the wafer 200 prepared in advance in the substrate stage 140 in the preliminary chamber 122 in the same manner as the operation described above.
  • the wafer is transferred to the first processing furnace 202, and the desired processing is performed on the wafer 200 in the first processing furnace 202.
  • the cooled wafer 200 is transferred from the first cooling unit 1 38 to the first transfer chamber 103 by the first wafer transfer device 112. It is carried out to. [0026] After the cooled wafer 200 is unloaded from the first cooling unit 138 to the first transfer chamber 103, the gate valve 127 is opened. The first wafer transfer device 112 conveys the wafer 200 unloaded from the first cooling unit 138 to the preliminary chamber 123 and transfers it to the substrate table 141, and then the preliminary chamber 123 is closed by the gate valve 127.
  • a predetermined number of wafers 200 for example, 25 wafers 200 carried into the preliminary chamber 122 are sequentially processed.
  • the spare chamber 123 When the processing for all the wafers 200 carried into the spare chamber 122 is completed, all the processed wafers 200 are stored in the spare chamber 123, and the spare chamber 123 is closed by the gate valve 127, the spare chamber 123.
  • the inside is returned to approximately atmospheric pressure by an inert gas.
  • the gate valve 129 When the inside of the preliminary chamber 123 is returned to substantially atmospheric pressure, the gate valve 129 is opened, and the cap 100 a of the empty pod 100 placed on the IO stage 105 is opened by the pod opener 108.
  • the second wafer transfer device 124 in the second transfer chamber 121 picks up the wafer 200 from the substrate table 141 and carries it out to the second transfer chamber 121, and carries the wafer into the second transfer chamber 121.
  • the cap 100a of the pod 100 is closed by the pod opener 108.
  • the upper force of the IO stage 105 is also transferred to the next process by the in-process transfer device.
  • the spare chamber 122 is used for carrying in and the spare chamber 123 is used for carrying out.
  • the spare chamber 123 may be used for carrying in, and the spare chamber 122 may be used for carrying out.
  • the first processing furnace 202 and the second processing furnace 137 may perform the same process, or may perform different processes.
  • the first processing furnace 202 and the second processing furnace 137 perform different processing, for example, after the processing on the wafer 200 is performed in the first processing furnace 202, the second processing furnace 137 continues to perform another processing. Processing may be performed.
  • the first cooling unit 138 or the second cooling unit 139 is performed. You may make it go through.
  • the substrate processing apparatus includes an apparatus controller 12 including an operation unit 10 and a control unit 11.
  • the control unit 11 is connected to a plurality of sub-controllers (control unit controllers) for controlling substrate processing.
  • the first wafer transfer machine 112 of the substrate processing apparatus As these sub-controllers, the first wafer transfer machine 112 of the substrate processing apparatus, the second wafer transfer machine 124, the linear actuator 132, the gate valves 244, 127, A process module having a mechanism controller that controls the elevator 126, the notch or orientation flat aligning device 106, the in-process transfer device and the like to carry and transfer the wafer 200, and the first processing furnace 202.
  • the first processing furnace 202 and the second processing furnace 137 are depressurized by the temperature controller for adjusting the temperature of the heater and the exhaust of the exhaust device, respectively.
  • MFC mass flow controller
  • the device controller 12 is equipped with a hard disk (not shown) as a fixed storage device and memories 13 and 14 for primary storage of programs and data reference, and a keyboard and display means as input means
  • the monitor 15 is connected to the operation unit 10 as follows.
  • an initial program (not shown) that is executed when the device controller 12 is started up
  • a screen file 22 that stores various screens for performing substrate control of the substrate processing apparatus, and substrate processing are automated.
  • Necessary programs (not shown) such as recipe files to store are stored.
  • the screen displayed on the monitor 15 includes a screen first displayed from the screen file 22 and displayed on the monitor 15 by the execution of the initial program in which the operation unit 10 also reads the hard disk power when the device controller 12 is started.
  • the screen for each process module called from the screen file 22 and the transfer system and handling system for the entire substrate processing apparatus includes a screen for operating.
  • the operation screen for each process module of the substrate processing apparatus includes a recipe editing screen and a screen for executing substrate processing by executing a recipe, and these screens are switched by switching buttons.
  • control instruction from the operation screen refers to a sub-controller that executes substrate processing of the temperature controller, the pressure controller, and the mass flow controller by executing a recipe for each process module of the substrate processing apparatus.
  • setpoint (target value) control signals necessary for substrate processing such as set temperature, set pressure, and set flow rate set in the recipe, are output, and the mechanism controller is controlled based on the recipe.
  • FIG. 1 a processing system for displaying utility data on the operation screen of the monitor 15 will be described with reference to FIGS. 3 to 8.
  • FIG. 1 a processing system for displaying utility data on the operation screen of the monitor 15 will be described with reference to FIGS. 3 to 8.
  • FIG. 7 is a diagram showing utility data display processing performed by the operation unit program using the screen and parameter file according to the first embodiment of the present invention.
  • control unit 1 and a control unit controller 2 as a component controller (sub-controller) are connected by a LAN (not shown), and the utility is transferred from the control unit controller 2 to the control unit 1.
  • Send data As shown in Fig. 7 (a), the utility data sent from the control unit controller 2 is converted into units after being converted by the unit conversion program of the control unit 1.
  • the data is transferred to the operation unit 3.
  • the operation unit 3 switches the screen to the operation screen 5 with reference to the parameters specified in the customer type (a), item presence / absence (b), and unit conversion (c) of the initial parameter file 4 read at startup ( Fig. 7 (c)), the daily inspection data is displayed on this operation screen 5.
  • PM indicates the data display screen of the process module equipped with the substrate processing furnace
  • MF main frame
  • FIG. 8 shows an example of the operation screen 5.
  • the user refers to the daily inspection data while monitoring the state of the substrate processing. It becomes possible to do.
  • the existing screen display program installed in the system is expanded to include the customer type (a) and items. None (b) A screen file or unit conversion program that supports unit conversion (c) is included in the program.
  • the display format of the display data for each system that is, the number of display digits for the accuracy of the instrument for daily inspection data, the calculation result by unit conversion, and the number of digits to be displayed on the screen (integer part of data) (Including the number of digits in the decimal part and the number of digits in the decimal part) differ depending on the customer specifications, etc., as shown in Fig. 7 (d), the control unit 1 does not convert the data format and The ram is changed, and the daily inspection data sent from the control unit 1 is converted into data that can be displayed by the program on the operation unit 3 side for each data.
  • Fig. 7 (a) when data is converted by the control unit controller 2, if the input range (minimum value, maximum value) to the control unit controller 2 is different, for example, Pa display is displayed. Conversion to KPa display is necessary, so the program must be changed.
  • FIG. 3 is a schematic diagram of a controller configuration according to the second embodiment of the present invention
  • FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating an example of a configuration of daily inspection data and a data display procedure according to an embodiment of the present invention. is there.
  • a sub controller for inputting daily inspection data to the control unit 11 using the operation unit 10 and the control unit 11 of the device controller 12 as the first control means.
  • the controller 16 as a second control means is connected to the output unit of each utility equipment such as pressure gauge 18, thermometer 19, pump 20, etc. via LAN or cable wiring. is doing.
  • the utility equipment of the substrate processing equipment is to ensure the heat resistance by supplying cooling water such as chilled water to the cooling part of the substrate processing equipment.
  • a power supply for supplying power to the cooling equipment and the power supply of the substrate processing apparatus for supplying power to the cooling equipment and the power supply of the substrate processing apparatus, a purge gas supply facility used for a purge in the substrate processing chamber, a dilution gas supply facility for diluting the raw material gas, an external combustion device for supplying oxidizing gas, Seal gas (N gas)
  • Is equipment necessary to enable substrate processing such as sealing equipment that seals. These facilities are mainly provided by the factory.
  • thermometer 19 that detects the cooling water temperature of the cooling water equipment
  • a pressure gauge 18 that detects the water pressure
  • a pump 20 that discharges the flow
  • Hardware interlocks installed in other utility data measuring instruments, such as wattmeters that detect utility data of parts, flow rate detectors of gas supply equipment such as purge gas and dilution gas, pressure gauges, etc. The connection of is omitted.
  • the interlock is an interlock or pump unit (not shown) that transmits an interlock output to the controller 16 when the maintenance door key (not shown) of the substrate processing apparatus is unlocked.
  • control unit controller 16 is also connected to a hard interlock output of a maintenance door that does not always need to be inspected as described above, and is transmitted to the control unit 11 as daily inspection data.
  • the memory management program for managing the monitor data area of the memory 13 of the operation unit 10 and the memory 14 of the control unit 11 is 2 bytes in the monitor data area of the memory 13 of the operation unit 10 and the memory 14 of the control unit 11.
  • a total of 128 WORD-type data can be stored, and daily inspection data is stored by assigning a predesignated address for each type of daily inspection data.
  • the memory management program updates the daily inspection data at each address of the control unit 11 with new utility data transferred from the control unit controller 16 at a predetermined time, for example, every few seconds, and the updated daily inspection data is updated to the operation unit.
  • the data is transferred to the same address in 10 memories 13 (Fig. 4, (1)).
  • the daily inspection data in the memory 13 of the operation unit 10 is updated with new daily inspection data transferred from the memory 14 of the control unit 11 at predetermined intervals.
  • this memory management program It is programmed to add the display position of each utility data (daily inspection data) in the memories 13 and 14 for the regular inspection data monitor screen 21 to each utility data in the form of n rows and n columns.
  • the daily inspection data (utility data) is converted by the unit conversion formula, and then displayed on the display position of the tabular daily inspection data monitor screen 21.
  • FIG. 5 shows an example of a daily inspection data display program as display control means
  • FIG. 6 is an explanatory diagram showing the contents of the daily inspection data monitor screen 21 and the daily inspection initial parameter file.
  • This daily inspection data display program is a program executed by the operation unit 10, and as shown in FIG. 5, first, (1) screen initialization processing is performed, and then (2) screen update processing. Implement.
  • an n-row n-column table in which data numbers, data names, etc., which will be described later, can be set as item data from the hard disk screen file 22 of the device controller 12 (see FIGS. 3 and 6).
  • the daily inspection data monitor screen data 23 in the format is read and expanded as the daily inspection data monitor screen 21 in the n-by-n table format with the scroll bar placed on the right side of the paper on the operation screen 24 of the monitor 15 above.
  • this daily inspection data monitor screen 21 is arranged between the cell line in the first row and the cells in the column direction in the second and subsequent rows in order to reduce the complexity and improve the visibility.
  • the daily inspection data display program does not overlap with other objects based on the arrangement information of other objects (diagrams, tables, cells, characters, etc.) on the operation screen 24 of the monitor 15. Place inspection data monitor screen 21 on operation screen 24. Next, the daily inspection data display program places the line number and data number on the daily inspection data monitor screen 21 in this table format.
  • the daily inspection initial parameter file 25a, 25b shown as an example in FIG. 4 or FIG. 6 and the memory 14 of the operation unit 10 are searched by the array number, and the daily inspection data monitor is displayed.
  • the daily inspection data monitor is displayed.
  • the sequence number when searching the daily inspection initial parameter files 25a and 25b corresponds to the data numbers No. 1, No. 2, ... (see Fig. 4) on the daily inspection data monitor screen 21.
  • Item data includes the data name, unit, interlock value, interlock value range, allowable maximum value, Data displayed as items such as the minimum allowable value.
  • the array number used when searching the memory 13 of the operation unit 10 is a number corresponding to the data numbers DATA1, DATA2, ... assigned in advance for each daily inspection data by the memory management program.
  • the daily inspection initial parameter files 25a and 25b define the unit conversion formula corresponding to the unit conversion of daily inspection data and the display destination of the parameter data for the daily inspection data monitor screen 21.
  • the unit conversion formula and the display destination are obtained.
  • the display destination of the parameter data is given in the form of n rows and n columns in advance, like the daily inspection data in the memory.
  • the daily inspection data display program uses parameters such as name (data name) and unit based on the display destination of the daily inspection data monitor screen 21.
  • Each item data and parameter data corresponding to each item data are arranged at the display destination of the daily inspection data monitor screen 21 as shown in FIG. 6, and then scrolling is enabled by initializing the scroll bar 26.
  • the unit conversion of the daily inspection data acquired by searching the memory 13 of the operation unit 10 is performed using the unit conversion formula of the daily inspection data acquired by searching the daily inspection initial parameter files 25a and 25b. (See Figure 4 (i)).
  • unit conversion is executed for the cooling water flow rate, gas supply pressure, exhaust pressure, pump current value, and pump speed.
  • the unit conversion result is arranged on the daily inspection data monitor screen 21.
  • the daily inspection data is already given at the stage where it is stored at the address of the n-row, n-column format for the daily inspection data monitor screen 21 in the memory 13, 14, so the daily inspection data display program Displays the conversion result on this display destination (see Fig. 4 (u)).
  • the daily inspection data after unit conversion is arranged in the cell of the monitor value display destination on the daily inspection data monitor screen 21.
  • unit conversion and result display are repeated at predetermined time intervals, and the monitor value displayed on the daily inspection data monitor screen 21 is updated.
  • the user monitors daily inspection data such as cooling water flow rate and cooling water pressure while referring to the interlock value and allowable values (upper limit and lower limit) on the operation screen 24, and checks the tendency of change tendency force. Necessity and time can be predicted. Next, a procedure for changing utility data corresponding to item data will be described.
  • the change includes a film type, a customer type, a machine type, and a specification-specific change.
  • Such a change is required by changing the specifications of the customer utility system after delivering the substrate processing equipment to the customer.
  • the drive air pressure measuring instrument is replaced by changing the specifications of the air supply system of the customer utility.
  • the full scale (measurement range (measurement width)) of the actuator, the upper limit value and the lower limit value for the full scale must be changed. This is the case.
  • the parameter data of the “upper limit value” and “lower limit value” for “full scale” and “full scale”, which are the parameters of the driving air pressure switch in the daily inspection initial parameter file 25a, 25b, are used. rewrite. This changes the allowable range for the full scale and full scale of the drive air pressure switch.
  • Figure 9 shows an example of the daily inspection monitor screen before change (before rewrite) and after change (after rewrite).
  • the daily inspection initial parameter files 25a and 25b had full scale, upper limit, and lower limit parameter values of “10”, “8”, and “5”, respectively.
  • the data display program is restarted, it is rewritten to “20”, “16”, and “10”, respectively.
  • parameter data for parameters that have not been rewritten such as “Mpa”, are displayed in the same way as before rewriting.
  • Such a change is performed when the film formation type is changed during the substrate processing.
  • N gas for example, with N gas
  • the process is changed to a process using a kind of gas, for example, NH, due to a process change.
  • a kind of gas for example, NH
  • the daily inspection initial parameter files 25a and 25b are set with the gas 1 supply pressure gauge and gas 2 supply pressure gauge as the item data of the name, and the gas 1 supply pressure gauge and gas 2 supply pressure The parameter data is changed for the total parameters.
  • Parameters monitored by the gas 1 supply pressure gauge and the gas 2 supply pressure gauge are the full scale of the flow rate, the upper limit value and the lower limit value of the flow rate. [0071] For the pressure of the gas 1 supply pressure gauge in the daily inspection initial parameter data, the full scale, upper limit value, and lower limit value are rewritten. For the gas 2 supply pressure gauge, each parameter data is set to “None”. Rewrite. “None” means that control is not executed.
  • FIG. 10 shows an example of the daily inspection monitor screen before and after the change.
  • a monitor function is required even if the functions are the same, and an actuator force without a monitor function is exchanged with an actuator made by another manufacturer having a monitor function.
  • the pump of pump manufacturer A does not have the current value monitoring function, but is changed to a pump having a monitoring function of pump current value of different manufacturer B.
  • FIG. 11 shows the daily inspection monitor screen before and after the change.
  • the invention according to the present embodiment is made program-less (filed), and other than utility data (monitor value), for example, unit name, data name as parameter, allowable value, etc.
  • utility data for example, unit name, data name as parameter, allowable value, etc.
  • the user can always check the utility data (parameter data) before processing the board. Therefore, unlike the prior art and the first embodiment, since the confirmation is made on the operation screen, it is possible to suppress unnecessary stoppage of the apparatus.
  • the control unit since the program of the control unit controller 16 is fixedly converted in the first embodiment, even if the same type of data is displayed, the control unit If the input range (minimum value, maximum value) from the controller 16 is different, different processing is required.
  • the change of the meter can be used. It becomes possible.
  • the monitor data areas of the memories 13 and 14 store the same type of data, and data can be stored freely within the number of arrays, so the accuracy of the instrument and the number of display digits ( It can easily cope with changes in the integer part and the decimal part).
  • the list display has the advantage of making changes to item data such as name, unit, and unit (monitor value).
  • the display area power of one operation screen is divided into a main display area 50, a navigation button display area 51, and a tab button display area 52.
  • the navigation button display area 51 Provided on the lower side of the operation screen.
  • the tab button 53 is a button for switching the daily inspection monitor screen displayed in the main display area 50.
  • the main display area 50 is a screen display portion that can be switched by the tab button 53 and other navigation buttons (both selection buttons! And U).
  • Tab buttons 53 are linked to the daily inspection data monitor screen one by one.
  • the navigation button display area 51 includes a “system” button 54, a “PM1” button 55, "
  • buttons 54 to 58 are linked to the corresponding screen or program, and when touched, a program that calls or links the linked screen is displayed. Start up.
  • buttons 54 to 57 are not blinked! /
  • buttons 54 to 57 may be configured to switch colors when touched.
  • FIG. 12 shows an example of an alarm details display screen displayed on the main display area 50 by touching the “alarm” button 58.
  • the alarm details display screen is one of the daily inspection data monitor screens.
  • the parameters of the daily inspection initial data for the alarm message are, for example, “year / month / day (occurrence date)”, “time (occurrence time) J,“ occurrence location ”,“ level (occurrence level) ”. , “Message” and “detail” forces Other parameters are added as needed.
  • Parameter data corresponding to each parameter is numerical value and character data.
  • occurrence location For the search element, “occurrence location”, “level” of parameter data, a monitor value that is the cause of occurrence of the alarm, and the like are used. For example, if the details of the “details” are displayed, for example, how to deal with an alarm message, the recovery procedure, and detailed information, the response after the occurrence of an alarm becomes easy.
  • the data necessary for the response such as the date / time, contents, cause, level, and details of the alarm can be obtained at the time of the occurrence of the alarm. .
  • the processing apparatus of the present invention can be applied not only to a semiconductor manufacturing apparatus but also to an apparatus for processing a glass substrate such as an LCD device.
  • the film formation process includes a process for forming a CVD, PVD, oxide film, nitride film, and a film containing a metal.
  • the present invention can also be applied to horizontal and vertical processing devices that are not limited to single-wafer processing devices. It can also be applied to oxidation, annealing, diffusion, etc., which are not directly related to the treatment in the furnace.
  • the daily initial parameter file should be displayed by defining the centering, right justification, and left justification for controlling the display of item data and daily inspection data, and the number of digits in the integer part and decimal part of the daily inspection data. It may be.
  • the present invention can be variously modified, and the present invention naturally extends to the modified invention. Brief Description of Drawings
  • FIG. 1 is a plan view showing a part of a substrate processing apparatus to which the present invention is applied in cross section.
  • FIG. 2 is a side view showing a part of a substrate processing apparatus to which the present invention is applied in cross section.
  • ⁇ 3 It is a schematic diagram of a controller configuration according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram showing the contents of a daily inspection data display program as display control means.
  • FIG. 6 This is an explanatory diagram showing the contents of the daily inspection data monitor screen and daily inspection initial parameter file.
  • FIG. 7 is a diagram showing utility data display processing performed by the program of the operation unit according to the first embodiment of the present invention using a screen and parameter files.
  • FIG. 8 is an example of a dedicated operation screen in the monitoring system of FIG.
  • FIG. 11 An explanatory diagram for explaining an example of a change when a part of the utility equipment is changed to one made by another manufacturer.
  • FIG. 12 An explanatory diagram showing an example of a daily inspection monitor screen having a selection button for switching screens and an alarm button for calling an alarm information screen.
  • Operation unit (first control means)

Landscapes

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Abstract

　操作画面を有する表示手段と、基板を処理するための制御指示を送信する第１の制御手段と、この第１の制御手段からの前記制御指示に従って制御を行う第２の制御手段とを有する基板処理装置において、前記第１の制御手段は、列番号をデータ番号、データ名称等の項目データとして設定可能な画面データを格納する画面ファイルと、少なくとも前記項目データに対応するパラメータデータを格納するパラメータファイルと、前記画面ファイルを展開して前記操作画面に前記画面データをモニタ画面として配置させ、前記パラメータファイルを展開して前記データ番号により前記パラメータファイル内を検索して前記項目データに対応するパラメータデータを配置して前記モニタ画面を表示する表示制御手段とを備える。

Description

明 細 書
基板処理装置
技術分野
[0001] 本発明は基板処理装置に関するものであり、特に、基板処理装置の操作画面に関 するものである。
背景技術
[0002] 一般に、多種多様な部品が接続された基板処理装置では、装置稼動中に各部品 が正常に動作しているかどうかの点検は必須であるが、半導体製造工場では、各部 品に付帯するユーティリティ設備、すなわち、電気、水道、ガス、原料ガスの供給設備
1S 基板処理装置を設置したフロアの階下などに設置されており、ユーティリティデー タを参照する場合やユーティリティ設備を点検する場合に、作業者は基板処理装置 力も離れざるを得ない。また、各ユーティリティ設備にはハードインターロックを設けて あるので装置稼動中に定期的に点検するのが好ましい。しかし、各ユーティリティ設 備が離れた場所に設置されているので、装置を稼動させるまでに無駄な時間がかか る。
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0003] そこで、本発明は、制御部と操作部とからなる装置コントローラでユーティリティデー タ等、日常点検が必要なデータ（以下、日常点検データという）を監視するために、顧 客ごと、装置ごとに異なる日常点検データを基板処理装置の操作画面に表示できる ようにすることを目的とする。
課題を解決するための手段
[0004] 請求項 1記載の発明は、操作画面を有する表示手段と、基板を処理するための制 御指示を送信する第 1の制御手段と、この第 1の制御手段からの前記制御指示に従 つて制御を行う第 2の制御手段とを有する基板処理装置において、前記第 1の制御 手段は、列番号をデータ番号、データ名称等の項目データとして設定可能な画面デ ータを格納する画面ファイルと、少なくとも前記項目データに対応するパラメータデー タを格納するパラメータファイルと、前記画面ファイルを展開して前記操作画面に前 記画面データをモニタ画面として配置させ、前記パラメータファイルを展開して前記 データ番号により前記パラメータファイル内を検索して前記項目データに対応するパ ラメータデータを配置して前記モニタ画面を表示する表示制御手段とを備えたもので ある。
発明の効果
[0005] 本発明によれば、第 1の制御手段は、画面ファイルとパラメータファイルとを展開し て画面ファイルに格納された表形式の画面データと、パラメータファイルを検索して 得られる項目に対応するデータを配置させてモニタ画面を表示する。このように表形 式の画面に対して項目をパラメータ化すると、項目の変更が自由であるので、顧客別 や機種別に対してパラメータファイルの項目を変更するだけで対応が可能となる。従 つて、顧客別、機種別に、項目が相違する場合でもパラメータファイルの項目の変更 のみで対応が可能なシステムとなる。
[0006] また、前記パラメータファイルに基板処理装置の監視に必要な日常点検データの 名称等を前記表形式の画面に表示させる場合は、前記項目は、日常点検データの 項目となり、この項目と項目に対応するデータが表形式の画面に配置され操作画面 上に表示されることになる。このように日常点検データが操作画面上に表示されると、 ユーザは、基板処理の状態を監視しながら日常点検データを参照することができるよ うになり、日常点検データに関する機器又は装置の異常や点検時期を予測すること ができる。
[0007] また、基板処理装置の操作画面に基板処理に関するデータだけでなく日常点検デ ータ等の監視が必要な各種データを表示させることができるので、基板処理を実施し ながら各種データの監視による装置の異常や不具合を予測することができる。また、 データとしてユーティリティ設備に点在している計器等の日常点検データを操作画面 に表示して一括して参照する場合は、装置稼動現場での就業点検作業が軽減され る。パラメータファイルに予め格納されている項目とこの項目に対応するデータを操 作画面に表示させるので、前記項目の変更が生じても画面を表示するためのプログ ラム変更の必要がない。従い、機種別や顧客別にユーティリティ設備が異なり、日常 点検の項目が多種多様であってもパラメータ変更のみで対応が可能となるので、汎 用性が大幅に向上する。
発明を実施するための最良の形態
[0008] 以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
[0009] まず、図 1および図 2を参照して本発明が適用される基板処理装置の概要を説明 する。
[0010] なお、本発明が適用される基板処理装置においては、ウェハなどの基板を搬送す るキヤリャとしては、 FOUP (Front Opening Unified Pod。以下、ポッドという。） が使用されている。また、以下の説明において、前後左右は図 1を基準とする。すな わち、図 1が示されている紙面に対して、前は紙面の下、後ろは紙面の上、左右は紙 面の左右とする。
[0011] 図 1および図 2に示されているように、基板処理装置は真空状態などの大気圧未満 の圧力（負圧）に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成された第一の搬送室 103 を備えており、第一の搬送室 103の筐体 101は平面視が六角形で上下両端が閉塞 した箱形状に形成されている。第一の搬送室 103には負圧下でウェハ 200を移載す る第一のウェハ移載機 112が設置されている。第一のウェハ移載機 112は、エレべ ータ 115によって、第一の搬送室 103の気密性を維持しながら昇降できるように構成 されている。
[0012] 筐体 101の六枚の側壁のうち前側に位置する二枚の側壁には、搬入用の予備室 1 22と搬出用の予備室 123とがそれぞれゲートバルブ 244, 127を介して連結されて おり、それぞれ負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。さらに、 予備室 122には搬入室用の基板置き台 140が設置され、予備室 123には搬出室用 の基板置き台 141が設置されている。
[0013] 予備室 122および予備室 123の前側には、略大気圧下で用いられる第二の搬送 室 121がゲートバルブ 128、 129を介して連結されている。第二の搬送室 121にはゥ ェハ 200を移載する第二のウェハ移載機 124が設置されている。第二のウェハ移載 機 124は第二の搬送室 121に設置されたエレベータ 126によって昇降されるように 構成されるとともに、リニアァクチユエータ 132によって左右方向に往復移動されるよ うに構成されている。
[0014] 図 1に示されているように、第二の搬送室 121の左側にはノッチまたはオリフラ合わ せ装置 106が設置されている。また、図 2に示されているように、第二の搬送室 121 の上部にはクリーンエアを供給するクリーンユニット 118が設置されている。
[0015] 図 1および図 2に示されているように、第二の搬送室 121の筐体 125の前側には、 ウェハ 200を第二の搬送室 121に対して搬入搬出するためのウェハ搬入搬出口 13 4と、ポッドオーブナ 108が設置されている。
[0016] ウェハ搬入搬出口 134を挟んでポッドオーブナ 108と反対側、すなわち筐体 125 の外側には IOステージ 105が設置されている。ポッドオーブナ 108は、ポッド 100の キャップ 100aを開閉すると共にウェハ搬入搬出口 134を閉塞可能なクロージャ 142 と、クロージャ 142を駆動する駆動機構 136とを備えており、 IOステージ 105に載置 されたポッド 100のキャップ 100aを開閉することにより、ポッド 100に対するウェハ 20 0の出し入れを可能にする。また、ポッド 100は図示しない工程内搬送装置 (RGV) によって、 IOステージ 105に対して、供給および排出されるようになっている。
[0017] 図 1に示されているように、筐体 101の六枚の側壁のうち後ろ側（背面側）に位置す る二枚の側壁には、ウェハに所望の処理を行う第一の処理炉 202と、第二の処理炉 137とがゲートバルブ 130、 131を介してそれぞれ隣接して連結されている。第一の 処理炉 202および第二の処理炉 137はいずれもプロセスモジュールであるコールド ウォール式の処理炉によって構成されている。また、筐体 101における六枚の側壁の うちの残りの互いに対向する二枚の側壁には、第一のクーリングユニット 138と、第二 のクーリングユニット 139とがそれぞれ連結されており、第一のクーリングユニット 138 および第二のクーリングユニット 139はいずれも処理済みのウェハ 200を冷却するよ うに構成されている。
[0018] 以下、前記構成をもつ基板処理装置を使用した処理工程を説明する。
[0019] 未処理のウェハ 200は 25枚がポッド 100に収納された状態で、処理工程を実施す る基板処理装置へ工程内搬送装置によって搬送されて来る。図 1および図 2に示さ れているように、搬送されて来たポッド 100は IOステージ 105の上に工程内搬送装置 から受け渡されて載置される。ポッド 100のキャップ 100aがポッドオーブナ 108によ つて取り外され、ポッド 100のウェハ出し入れ口が開放される。
[0020] ポッド 100がポッドオーブナ 108により開放されると、第二の搬送室 121に設置され た第二のウェハ移載機 124は、ポッド 100からウェハ 200をピックアップして予備室 1 22に搬入し、ウェハ 200を基板置き台 140に移載する。この移載作業中には、予備 室 122の第一の搬送室 103側のゲートバルブ 244は閉じられており、第一の搬送室 103内の負圧は維持されている。ポッド 100に収納された所定枚数、例えば 25枚の ウェハ 200の基板置き台 140への移載が完了すると、ゲートバルブ 128が閉じられ、 予備室 122内が排気装置（図示せず）によって負圧に排気される。
[0021] 予備室 122内が予め設定された圧力値となると、ゲートバルブ 244が開かれ、予備 室 122と第一の搬送室 103とが連通される。続いて、第一の搬送室 103の第一のゥ ェハ移載機 112は基板置き台 140からウェハ 200をピックアップして第一の搬送室 1 03に搬入する。ゲートバルブ 244が閉じられた後、ゲートバルブ 130が開かれ、第一 の搬送室 103と第一の処理炉 202とが連通される。続いて第一のウェハ移載機 112 は、ウェハ 200を第一の搬送室 103から第一の処理炉 202に搬入して、第一の処理 炉 202内の支持具に移載する。ゲートバルブ 130が閉じられた後、第一の処理炉 20 2内に処理ガスが供給され、ウェハ 200に所望の処理が施される。
[0022] 第一の処理炉 202でウェハ 200に対する処理が完了すると、ゲートバルブ 130が 開かれ、処理済みのウェハ 200は第一のウェハ移載機 112によって第一の搬送室 1 03に搬出される。搬出後、ゲートバルブ 130は閉じられる。
[0023] 第一のウェハ移載機 112は第一の処理炉 202から搬出したウェハ 200を第一のク 一リングユニット 138へ搬送し、処理済みのウェハが冷却される。
[0024] 第一のクーリングユニット 138に処理済みウェハ 200を搬送すると、第一のウェハ移 載機 112は予備室 122の基板置き台 140に予め準備されたウェハ 200を前述した 作動と同様に、第一の処理炉 202に搬送し、第一の処理炉 202内でウェハ 200に所 望の処理が施される。
[0025] 第一のクーリングユニット 138において予め設定された冷却時間が経過すると、冷 却済みのウェハ 200は第一のウェハ移載機 112によって第一のクーリングユニット 1 38から第一の搬送室 103に搬出される。 [0026] 冷却済みのウェハ 200が第一のクーリングユニット 138から第一の搬送室 103に搬 出されたのち、ゲートバルブ 127が開かれる。第 1のウェハ移載機 112は第一のクー リングユニット 138から搬出したウェハ 200を予備室 123へ搬送し、基板置き台 141 に移載した後、予備室 123はゲートバルブ 127によって閉じられる。
[0027] 以上の作動が繰り返されることにより、予備室 122内に搬入された所定枚数、例え ば 25枚のウェハ 200が順次処理されて行く。
[0028] 予備室 122内に搬入された全てのウェハ 200に対する処理が終了し、全ての処理 済みウェハ 200が予備室 123に収納され、予備室 123がゲートバルブ 127によって 閉じられると、予備室 123内が不活性ガスにより略大気圧に戻される。予備室 123内 が略大気圧に戻されると、ゲートバルブ 129が開かれ、 IOステージ 105に載置された 空のポッド 100のキャップ 100aがポッドオーブナ 108によって開かれる。続いて、第 二の搬送室 121の第二のウェハ移載機 124は基板置き台 141からウェハ 200をピッ クアップして第二の搬送室 121に搬出し、第二の搬送室 121のウェハ搬入搬出口 13 4を通してポッド 100に収納して行く。 25枚の処理済みウェハ 200のポッド 100への 収納が完了すると、ポッド 100のキャップ 100aがポッドオーブナ 108によって閉じら れる。閉じられたポッド 100は IOステージ 105の上力も次の工程へ工程内搬送装置 によって搬送されて行く。
[0029] 以上の作動は第一の処理炉 202および第一のクーリングユニット 138が使用される 場合を例にして説明したが、第二の処理炉 137および第二のクーリングユニット 139 が使用される場合についても同様の作動が実施される。また、上述の基板処理装置 では、予備室 122を搬入用、予備室 123を搬出用としたが、予備室 123を搬入用、 予備室 122を搬出用としてもよい。
[0030] また、第一の処理炉 202と第二の処理炉 137は、それぞれ同じ処理を行ってもよい し、別の処理を行ってもよい。第一の処理炉 202と第二の処理炉 137で別の処理を 行う場合、例えば第一の処理炉 202でウェハ 200にある処理を行った後、続けて第 二の処理炉 137で別の処理を行わせてもよい。また、第一の処理炉 202でウェハ 20 0にある処理を行った後、第二の処理炉 137で別の処理を行わせる場合、第一のク 一リングユニット 138又は第二のクーリングユニット 139を経由するようにしてもよい。 [0031] さらに、図 3に示すように、前記基板処理装置には、操作部 10と制御部 11とからな る装置コントローラ 12が備えられている。そして、制御部 11には基板処理を制御する ための複数のサブコントローラ (制御部コントローラ）が接続されている。
[0032] これらのサブコントローラとしては、前記基板処理装置の第一のウェハ移載機 112 、前記第二のウェハ移載機 124、前記リニアァクチユエータ 132、前記ゲートバルブ 2 44, 127、前記エレベータ 126、前記ノッチまたはオリフラ合わせ装置 106、前記ェ 程内搬送装置等を制御してウェハ 200の搬送ゃノ、ンドリングを実施するメカニズムコ ントローラと、前記第一の処理炉 202を有するプロセスモジュール、前記第二の処理 炉 137を有するプロセスモジュールごとに、それぞれヒータの温度を調節する温度コ ントローラ、前記排気装置の排気により前記第一の処理炉 202、前記第二の処理炉 137を減圧する排気量調節弁の開度を制御する圧力コントローラ、前記第一の処理 炉 202、前記第二の処理炉 137への原料ガスや希釈ガス、キャリアガスの流量をそ れぞれ調節するガスコントローラ、例えば、マスフローコントローラ（MFC)があり、装 置コントローラ 12のモニタ 15の操作画面からの制御指示により対応した制御を実行 するようになっている。
[0033] 前記装置コントローラ 12には固定記憶装置としてのハードディスク（図示せず）と、 プログラムの一次格納やデータ参照用としてのメモリ 13、 14が搭載されており、入力 手段としてのキーボードと表示手段としてモニタ 15が操作部 10に接続されている。 前記ハードディスクには、装置コントローラ 12の起動時に実行されるイニシャルプログ ラム（図示せず)と、基板処理装置の基板制御を実施するための各種の画面を格納 した画面ファイル 22と、基板処理を自動化するためのレシピファイル等の必要なプロ グラム（図示せず）が格納されている。モニタ 15に表示される画面には、操作部 10が 装置コントローラ 12の起動時に前記ハードディスク力も読み込んだイニシャルプログ ラムの実行により、最初に画面ファイル 22から呼び出してモニタ 15に表示させた画 面と、この画面に表示されたボタンによって画面を切り替えることにより、前記画面フ アイル 22から呼び出されるプロセスモジュール毎の画面と、前記メカニズムコントロー ラに対しての制御指示により基板処理装置全体の搬送系、ハンドリング系を操作する 画面が含まれる。 [0034] また、基板処理装置のプロセスモジュール毎の操作画面には、レシピ編集画面や レシピの実行により、基板処理を実行する画面があり、ボタンの切り替えにより、これら の画面を切り替える。
[0035] ここで、操作画面からの制御指示とは、基板処理装置の各プロセスモジュールに対 してレシピの実行により前記温度コントローラ、前記圧力コントローラ、前記マスフロー コントローラの基板処理を実行するサブコントローラに対してそれぞれレシピに設定さ れた設定温度、設定圧力、設定流量などの基板処理に必要な設定値（目標値)制御 信号を出力することや、レシピに基づいて前記メカニズムコントローラに対してウェハ の搬送 (大気搬送、真空搬送)やハンドリング系に対して設定値 (目標値)を出力する ことをいう。
[0036] 次に、図 3ないし図 8を参照してユーティリティデータを前記モニタ 15の操作画面上 に表示させる処理システムについて説明する。
[0037] 図 7は本発明の第 1の実施の形態における操作部のプログラムが画面とパラメータ ファイルにより行っているユーティリティデータの表示処理を示す図である。
[0038] 図 7に示すように、制御部 1と部品コントローラ (サブコントローラ）としての制御部コ ントローラ 2とを LAN (図示せず)で接続し、制御部コントローラ 2から制御部 1にユー ティリティデータを送信する。図 7 (a)に示すように、制御部コントローラ 2から送信され たユーティリティデータは、制御部 1の単位変換プログラムにより単位が変換された後
、図 7 (b)に示すように、操作部 3に転送される。操作部 3は、起動時に読み込んだィ 二シャルパラメータファイル 4の顧客種別 (a)、項目有無 (b)、単位変換 (c)に規定さ れるパラメータを参照して画面を操作画面 5に切り替え（図 7 (c) )、この操作画面 5に 、 日常点検データを表示させる。なお、図 7中、 PMは基板処理炉を備えたプロセス モジュールのデータ表示画面を示し、 MF (メインフレーム）はロードロックモジュール 及び真空搬送モジュールのデータ表示画面を示して 、る。
[0039] 図 8は操作画面 5の一例である。
[0040] このように、操作画面 5に日常点検データを表示すれば（図示例では、冷却水流量 、冷却水圧力等)、ユーザは、基板処理の状態を監視しながら日常点検データを参 照することが可能になる。 [0041] しかし、このようなシステムを顧客別、機種別、ユーザ別の全てに適用する場合、シ ステムに搭載されて 、た既存の画面表示プログラムを拡張して顧客種別 (a)、項目有 無 (b)、単位変換 (c)に対応した画面ファイルや単位変換プログラムをプログラム中 に組み込むことになる。
[0042] このようにすると、これまでのシステムに影響を与えてしまうことはないが、プログラム を顧客毎に対応させることは困難であるので、不要な画面データや単位変換プログ ラムを搭載し、且つ不要なデータは非表示としてシステムに蓄積せざるを得な 、。
[0043] 例えば、システムごとに表示データの表示形式、すなわち、日常点検データの計器 の精度に対しての表示桁数や、単位換算による計算結果と、画面に表示させる桁数 (データの整数部の桁数と小数部の桁数を含む）とが顧客仕様等によって異なる場 合は、図 7 (d)に示すように、制御部 1でデータ形式を変換せずに、操作部 3のプログ ラムを変更し、制御部 1から送信された日常点検データを、データ毎に操作部 3側の プログラムで表示可能なデータに変換する。ここで、ポンプのメーカー、型式、モニタ データの形、表示の仕方等、顧客ごと、装置のタイプごとにプログラムの変更が必要 になる。したがって、他のシステムでは全く使用しないデータがシステムに残ることに なり、無駄なデータとなってしまう。
[0044] また、図 7 (a)に示すように、制御部コントローラ 2でデータを変換する場合、制御部 コントローラ 2への入力レンジ (最小値、最大値）が違う場合、例えば、 Pa表示を KPa 表示にする場合には換算が必要となるので、プログラム変更が必要になる。
[0045] 図 3は本発明に係る第 2の実施形態におけるコントローラ構成の概略図、図 4は本 発明の一実施形態に係る日常点検データの構成とデータの表示手順の一例を示す 解説図である。
[0046] 図 3に示すように、前記装置コントローラ 12の操作部 10と、制御部 11を第一の制御 手段とし、 日常点検データを制御部 11に入力するためのサブコントローラ (部品コン トローラ）としての制御部コントローラ 16を第二の制御手段とし、制御部コントローラ 1 6に LANやケーブル配線を介して圧力計 18、温度計 19、ポンプ 20等、各ユーティリ ティ設備の計器の出力部を接続している。なお、基板処理装置のユーティリティ設備 とは、基板処理装置の冷却部にチラ一水等の冷却水を供給して耐熱性を確保する 冷却設備や基板処理装置の電源部に電力を供給する電源部、基板処理室のパー ジに用いるパージガス供給設備、原料ガスを希釈する希釈ガス供給設備、酸化ガス を供給するための外部燃焼装置、前記排気装置のシール部等をシールガス (Nガス
2
)によりシールするシール設備等、基板処理を可能とするために必要な設備のことで ある。これらの設備は主に工場側力 提供される。
[0047] 図 3ではこのうち代表的なユーティリティ設備の計器として冷却水設備の冷却水温 度を検出する温度計 19、水圧を検出する圧力計 18、流量を排出するポンプ 20を接 続し、電源部のユーティリティデータを検出する電力計や、パージガス、希釈ガスなど のガス供給設備の流量検出計、圧力計等、他のユーティリティデータを計測する計 器、計器等に設けられて ヽるハードインターロックの接続を省略して示したものである 。なお、インターロックは、基板処理装置のメンテナンス扉の鍵（図示せず）が開錠さ れている場合に、制御部コントローラ 16にインターロック出力を送信するインターロッ クゃ、ポンプユニット（図示せず）のメイン配管にバイパスを設け、ポンプユニットの回 転数が予め設定した回転数を超えたとき、制御部コントローラ 16にインターロック出 力を出力するインターロック等がある。
[0048] 前記制御部コントローラ 16には、このように常に点検する必要がないメンテナンス 扉のハードインターロック出力も接続され、 日常点検データとして制御部 11に送信す るようになっている。
[0049] 一方、操作部 10のメモリ 13及び制御部 11のメモリ 14のモニタデータエリアを管理 するメモリ管理プログラムは、操作部 10のメモリ 13、制御部 11のメモリ 14のモニタデ 一タエリアに 2バイトの WORD型データを合計 128個格納できるようになっており、 日 常点検データ毎の種別毎に予め指定したアドレスを割り当てて日常点検データを格 納するようになっている。また、メモリ管理プログラムは、所定時間、たとえば、数秒間 隔で制御部コントローラ 16から転送される新しいユーティリティデータで制御部 11の 各アドレスの日常点検データを更新し、更新した日常点検データを操作部 10のメモ リ 13の同じアドレスに転送するようになっている（図 4、（ァ一 1) )。このため、操作部 1 0のメモリ 13の日常点検データは制御部 11のメモリ 14から転送された新しい日常点 検データに所定時間おきに更新されている。さらに、このメモリ管理プログラムは、 日 常点検データモニタ画面 21に対するメモリ 13、 14の各ユーティリティデータ（日常点 検データ）の表示位置を n行 n列形式で各ユーティリティデータに付加するようにプロ グラムされており、操作部 10は、後述するように、日常点検データ（ユーティリティデ ータ）を、単位換算式により変換した後、これを表形式の日常点検データモニタ画面 21の表示位置に表示させる。
[0050] 図 5は表示制御手段としての日常点検データ表示プログラムの一例を示し、図 6は 日常点検データモニタ画面 21及び日常点検イニシャルパラメータファイルの内容を 示す解説図である。
[0051] この日常点検データ表示プログラムは、操作部 10が実行するプログラムであり、図 5に示すように、まず、（1)画面初期化処理を実施し、次に、（2)画面更新処理を実 施する。
[0052] (1)画面初期化処理
画面初期化処理では、まず、前記装置コントローラ 12のハードディスクの画面フアイ ル 22 (図 3、図 6参照)から後述するデータ番号、データ名称等を項目データとして設 定可能な n行 n列の表形式の日常点検データモニタ画面データ 23を読み込み、前 記モニタ 15の操作画面 24上に、紙面の右側にスクロールバーを配置した n行 n列の 表形式の日常点検データモニタ画面 21として展開する。なお、この日常点検データ モニタ画面 21は、図 6に示すように、煩雑さをなくし視覚性を良好とするために、一行 目のセルの枠線と、二行目以降の列方向のセル間の区切り線を非表示としているが 、枠線や区切り線を表示させる形態としてもよい。また、 日常点検データ表示プロダラ ムは、前記モニタ 15の操作画面 24上の他のオブジェクト（図、表、セル、文字など） の配置情報に基づいて他のオブジェクトと重なることがないように、日常点検データ モニタ画面 21を操作画面 24上に配置する。続いて、 日常点検データ表示プログラム は、この表形式の日常点検データモニタ画面 21に、行番号とデータ番号を配置する
[0053] 次に、図 4又は図 6に一例として示されている日常点検イニシャルパラメ一タフアイ ル 25a, 25bと、前記操作部 10のメモリ 14とを、配列番号で検索して日常点検データ モニタ画面 21の項目データを取得し（図 4 (ィ)参照）、この項目データを、日常点検 データモニタ画面 21の外枠線上に日常点検データモニタ画面 21の列番号 23aに代 えて配置する。
[0054] ここで、日常点検イニシャルパラメータファイル 25a, 25bを検索する際の配列番号 とは、日常点検データモニタ画面 21のデータ番号 No. 1, No. 2,…(図 4参照)に対 応する日常点検イニシャルパラメータファイル 25a, 25bのデータ番号 DATA1, DA TA2,…(図 6参照)をいい、項目データとは、データの名称、単位、インターロック値 、インターロック値範囲、許容最大値、許容最小値等の項目として表示されるデータ をいう。
[0055] また、図 4、図 6に示した日常点検イニシャルパラメータファイル 25a, 25bを配列番 号で検索することによって得られる項目データに対応する具体的な数値や置換の対 象 (例えば、図 6に示した、数値、冷却水流量、 lZmin等）のデータがパラメータデー タである。なお、図 4の数値やデータ項目等は、図 5の表記とは相互に異なっている 力 一例である。実際には、項目データと対応するユーティリティデータは、後述する ように、膜種別、顧客の種別、機種別、仕様別に決定される。
[0056] また、操作部 10のメモリ 13を検索する際の配列番号とは、前記メモリ管理プロダラ ムにより予め日常点検データ毎に割り付けられたデータ番号 DATA1, DATA2,… に対応する番号をいう。
[0057] 日常点検イニシャルパラメータファイル 25a, 25bには、日常点検データの単位変 換に対応する単位変換式と、日常点検データモニタ画面 21に対するパラメータデー タの表示先が定義されており、配列番号で検索すると、単位変換式と表示先とが取 得されるようになつている。パラメータデータの表示先は、メモリの日常点検データと 同様、予め、 n行 n列形式で与えられている。
[0058] 従って、前記配列番号で日常点検イニシャルパラメータファイル 25a, 25bを検索 すると、項目データ、パラメータデータ、パラメータデータの表示先及び日常点検デ ータ毎の単位変換式が取得され、操作部 10のメモリ 13を配列番号で検索すると、配 列番号に対応するユーティリティデータが取得される。そして、項目データや日常点 検データ等の検索を終了すると、日常点検データ表示プログラムは、日常点検デー タモニタ画面 21の表示先に基づいて名称 (データ名称）、単位などパラメータとして の各項目データや各項目データに対応するパラメータデータを図 6に示すように日 常点検データモニタ画面 21の表示先に配置し、次に、スクロールバー 26の初期化 によりスクロールを可能にする。この結果、図 6に示すように、行方向の各セルの上部 に、紙面左側力も右側に向力つて「No.」（データ番号）、「名称」、「モニタ値」、「単位 」、「インターロック値」、「許容値 (上限)」、「許容値 (下限)」の項目データが表示され 、次のデータ番号 No. 1の横に、データ名称である「冷却水流量」、「モニタ値 (空欄） 」、単位である「l/min」、インターロック値である「0. 005以下」が配置され、データ 番号 No. 2のセルの横のデータ名称である「ガス供給圧力」、「モニタ値 (空欄）」、単 位である「MPa」が配置される。以下、同様にして、検索によって得られた「データ名 称」、「単位」、「インターロック値」、「許容値 (上限)」、「許容値 (下限)」が配置される
[0059] (2)画面更新処理
この画面更新処理では、 日常点検イニシャルパラメータファイル 25a, 25bの検索 によって取得した日常点検データの単位換算式を用いて操作部 10のメモリ 13の検 索によって取得した日常点検データの単位換算を実行する（図 4 (ィ)参照)。なお、 図 6の例では、冷却水流量、ガス供給圧力、排気圧力、ポンプ電流値、ポンプ回転 数に対して単位換算を実行して 、る。
[0060] 次に、単位換算の結果を、日常点検データモニタ画面 21に配置する。この場合、 日常点検データには、日常点検データモニタ画面 21に対する n行 n列形式の表示先 力 メモリ 13, 14のアドレスに格納した段階で既に与えられているので、 日常点検デ ータ表示プログラムは、この表示先に換算結果を表示させる（図 4 (ゥ)参照)。
[0061] この結果、日常点検データモニタ画面 21のモニタ値の表示先のセルに、単位換算 後の日常点検データが配置される。そして、この画面更新処理（2)では、所定の時 間間隔ごとに単位換算と結果の表示を繰り返し、日常点検データモニタ画面 21に表 示されたモニタ値を更新する。
[0062] 従って、ユーザは操作画面 24上でインターロック値、許容値 (上限、下限)を参照し ながら冷却水流量、冷却水圧力等の日常点検データを監視し、変化の傾向力 点 検の必要性や時期を予測することができる。 [0063] 次に、項目データに対応するユーティリティデータ変更の手順について説明する。 変更には、膜種別、顧客の種別、機種別、仕様別の変更がある。
[0064] <仕様別の変更の例 >
このような変更は、基板処理装置を顧客に納入した後、顧客ユーティリティのシステ ムの仕様変更によって必要になる。例えば、顧客ユーティリティのエア供給システム の仕様の変更によって駆動エア圧力測定器が交換となり、そのためにァクチユエータ のフルスケール (測定範囲（測定幅)）、フルスケールに対する上限値、下限値の変 更が必要となる場合である。
[0065] このような場合は、 日常点検イニシャルパラメータファイル 25a, 25bの駆動エア圧 カスイッチのパラメータである「フルスケール」と「フルスケール」に対する「上限値」、「 下限値」のパラメータデータを書き換える。これにより、駆動エア圧力スィッチのフルス ケール及びフルスケールに対する許容範囲が変更される。
[0066] 図 9は変更前 (書換え前)と変更後 (書き換え後)の日常点検モニタ画面の一例を示 す。
[0067] 書き換え前は、 日常点検イニシャルパラメータファイル 25a, 25bのフルスケール、 上限値、下限値の各パラメータの値はそれぞれ「10」、 「8」、 「5」であったが、 日常点 検データ表示プログラムを再起動すると、それぞれ「20」、 「16」、 「10」に書き換えら れる。なお、「Mpa」等、書き換えを行っていないパラメータのパラメータデータは、書 き換え前と同じように表示される。
[0068] <膜種別の変更の例 >
このような変更は、基板処理の際の成膜種変更の際に行われる。例えば、 Nガスと
2
Arガスを用いるプロセスであつたが、プロセスの変更によって一種のガス、例えば、 N Hを用いるプロセスに変更された場合等である。
3
[0069] この例では、 日常点検イニシャルパラメータファイル 25a, 25bには、名称の項目デ ータとしてガス 1供給圧力計、ガス 2供給圧力計が設定され、ガス 1供給圧力計、ガス 2供給圧力計のパラメータにつ 、て、ノ ラメータデータの変更が行われる。
[0070] ガス 1供給圧力計、ガス 2供給圧力計によって監視されるパラメータは、流量のフル スケール、流量の上限値、下限値である。 [0071] 日常点検イニシャルパラメータデータのガス 1供給圧力計の圧力につ ヽては、フル スケール、上限値、下限値を書き換え、ガス 2供給圧力計については、各パラメータ データをそれぞれ「なし」の書き換えを行う。なお、「なし」は、制御を実行しないという 意味である。
[0072] 図 10は変更前と変更後の日常点検モニタ画面の一例を示す。
[0073] 変更前は、ガス 1供給圧力計につ!、ての圧力のフルスケール、上限値、下限値の 値は、「5」、「0. 05」、「0. 02」となっていたが、 日常点検データ表示プログラムを再 度起動すると、ガス 1供給圧力計についての圧力のフルスケール、上限値、下限値 の値はそれぞれ「5」、「0. 10」、「0. 01」に書き換えられる。また、ガス 2供給圧力計 の各パラメータデータはそれぞれ「なし」に書き換える。
[0074] なお、ガス種が変更になってもガス供給圧力計は変更せず、同じもの使用するので 、流量は同じになる。
[0075] <顧客への納入後に、ユーティリティの設備を別のメーカ製のものに変更した場合
>
例えば、機能が同じでもモニタ機能が必要となり、モニタ機能のないァクチユエータ 力もモニタ機能のある他のメーカ製のァクチユエータに交換する場合である。具体的 には、ポンプメーカ Aのポンプは電流値モニタ機能はなぐこれを異なるメーカ Bのポ ンプ電流値のモニタ機能を有するポンプに変更する場合である。
[0076] このような場合、 日常点検イニシャルパラメータファイル 25a, 25bのパラメータの追 加やパラメータデータの追カロが必要になる。この例の場合は、 日常点検イニシャルパ ラメータファイルに、項目データ (名称)として、「ポンプ電流値モニタ」を加え、パラメ一 タとしてポンプ電流計の「フルスケール」、「上限値」、「下限値」を加える。
[0077] 図 11は変更前と変更後の日常点検モニタ画面を示す。
[0078] 日常点検データ表示プログラムを再起動すると、図 11 (a)に示すように、変更前は 、モニタ機能がなぐ項目データとして「ポンプ電流値モニタ」、「フルスケール」、「上 限値」、「下限値」のパラメータやパラメータデータも表示されない。変更後は、図 11 ( b)に示すように、「ポンプ電流値モニタ」、 ·ΒΙ?〉υフルスケール」、「上限値」、「下限値 」、「単位」の各パラメータが表示され、各パラメータに対応する「28」、「20」、「10」、「 A」が表示される。
[0079] このように、本実施の形態に係る発明は、プログラムレス化 (ファイル化）されており、 ユーティリティデータ (モニタ値)以外のもの、たとえば、単位、パラメータとしてデータ の名称、許容値などを日常点検イニシャルパラメータファイル 25a, 25bに格納して おいて、検索によって取得しており、また、予め、日常点検イニシャルパラメ一タフアイ ル 25a, 25bに単位換算に力かる表示形式を格納しておき、検索により取得する。
[0080] この結果、日常点検イニシャルパラメータファイル 25a, 25bの内容の変更のみで、 顧客別、データ項目有無、単位変換等の第 1の実施形態におけるパラメータの全て に対応することが可能となる。従って、第 1の実施の形態で説明した監視システム（図 7)のように、無駄な画面ファイルや、単位換算式をシステムに格納する必要がなぐ システムに無駄なデータが残ることもない。また、変更の種別に応じた変更が可能と なる。
[0081] また、ユーザは基板を処理する前に、必ず、一度ユーティリティデータ (パラメータ データ）を確認することができる。よって、従来や実施の形態 1とは異なり、操作画面 上で確認するため、不要な装置の停止を抑えることができる。
[0082] また、データ力 表示形式の変換については、第 1の実施の形態では、制御部コン トローラ 16のプログラムが固定で変換していたため、同じ種類のデータを表示すると しても、制御部コントローラ 16からの入力レンジ (最小値、最大値）が違う場合は、異 なる処理が必要であつたが、第 2の実施の形態では、図 4に示すように、ノ メータ変 更で対応が可能となる。さらに、メモリ 13, 14のモニタデータエリアは同じ型のデータ を格納するようにしており、その配列数以内であれば、自由にデータを格納すること ができるので、計器の精度や表示桁数 (整数部、小数部を含む)の変更にも容易に 対応することができる。また、一覧表示とすると、項目データとしての名前、単位、単 位 (モニタ値)などの変更もしゃすくなる利点がある。
[0083] 次に、図 12を参照して日常点検データの画面表示とアラーム発生表示について説 明する。
[0084] この例では、 1つの操作画面の表示領域力 メイン表示エリア 50と、ナビボタン表示 エリア 51とタブボタン表示エリア 52とに分かれている。ナビボタン表示エリア 51は、 操作画面の下側に設けられる。タブボタン 53はメイン表示エリア 50に表示される日 常点検モニタ画面を切り替えるためのボタンである。
[0085] メイン表示エリア 50は、タブボタン 53や他のナビボタン（選択ボタンとも!、う）により 切り替えられる画面表示部分である。
[0086] タブボタン 53は、一つずつ日常点検データモニタ画面にリンク付けされて 、る。
[0087] この例では、ナビボタン表示エリア 51に、「システム」ボタン 54、「PM1」ボタン 55、「
PM2」ボタン 56、「メンテナンス」ボタン 57、「アラーム」ボタン 58が表示される力 必 要に応じて他のナビボタンを表示させるようにしてもよ!、。
[0088] これらのナビボタン (選択ボタン） 54〜58は、対応する画面又はプログラムとリンクし ており、タツチされたときに、リンク付けされている画面を呼び出したり、リンク付けされ て 、るプログラムを起動する。
[0089] この例では、「PM1」ボタン 55、「PM2」ボタン 56は、タツチされると、これにリンク付 けされているプロセスモジュールの画面を呼び出し、「メンテナンス」ボタン 57は、タツ チされるとメンテナンス画面を呼び出す。
[0090] そして、「アラーム」ボタン 58は、アラームの発生時に点滅させ、他のボタン 54〜57 は点滅させな 、ようにして！/、る。
[0091] なお、これらのボタン 54〜57は、タツチされたとき、色が切り替わるように構成しても よい。
[0092] 図 12は前記「アラーム」ボタン 58のタツチにより前記メイン表示エリア 50上に表示さ れるアラーム詳細表示画面の一例である。アラーム詳細表示画面は、 日常点検デー タモニタ画面の一つである。
[0093] アラームメッセージのための日常点検イニシャルデータのパラメータは、例えば、「 年月日（発生年月日）」、「時刻（発生時刻） J、「発生場所」、「レベル (発生レベル)」、 「メッセージ」及び「詳細」である力 必要に応じて他のパラメータが加えられる。
[0094] 各パラメータに対応するパラメータデータは、数値、文字データである。
[0095] 図 13に示す一例では、前記アラームボタンをタツチすると、「年月日」、「時刻」、「発 生場所」、「レベル」、「メッセージ」、「詳細」の各パラメータに対応するパラメータデー タとして「2006Z07Z21」、「00 : 00 : 03」、「ΡΜ1」、「6」、「チャンバ冷却水低下警 告」、「0. 08」が表示され、同様に、次のアラームの発生により、パラメータデータであ る「2006Z07Z21」、 「00 : 00 : 10」、 「ΡΜ1」、 「2」、 「チャンバ冷却水低下アラーム 」、 「0. 01」が表示される。
[0096] なお、「詳細」に表示させるパラメータデータは、データベース力 検索される。
[0097] 検索子には、パラメータデータの「発生場所」、 「レベル」、アラームの発生原因であ るモニタ値等が用いられる。「詳細」の内容として、例えば、アラームメッセージの発生 時の対処方法、リカバリ手順、詳細情報が表示されると、アラーム発生後の対応が容 易になる。
[0098] 図 13に例示したアラーム詳細表示画面は、
(1) 2006Ζ07Ζ21」、 「00 : 00 : 03」において、 PM1の冷却水量が警告範囲を超 えて 0. 08リットルになり、冷却水流が発生した、
(2)「2006Ζ07Ζ21」、 「00 : 00 : 10」、すなわち、 7秒後に、さらに、アラーム範囲 を超えて 0. 01リットルになり、冷却水量アラームが発生した、ことを、意味している。
[0099] このように、アラームボタンをタツチすると、アラームの発生時に、アラームの日時、 内容、原因、レベル、詳細など、対応に必要なデータを得ることができるので、迅速な 対応が可能になる。
[0100] なお、本発明の処理装置は、半導体製造装置だけでなく LCD装置のようのようなガ ラス基板を処理する装置にも適用できる。また、成膜処理には、 CVD、 PVD、酸ィ匕 膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を含むものとする。また、枚葉式の処理装 置に限定されるものではなぐ横型、縦型の処理装置にも適用することができる。炉 内の処理には直接関係がなぐ例えば、酸化、ァニール、拡散等にも適用が可能で ある。また、前記日常イニシャルパラメータファイルに、項目データや、日常点検デー タの表示を制御するためのセンタリング、右寄せ、左寄せや、日常点検データの整数 部、小数部の桁数を定義して表示させるようにしてもよい。このように、本発明は、種 々の改変が可能であり、本発明はこの改変された発明に及ぶことは当然である。 図面の簡単な説明
[0101] [図 1]本発明が適用される基板処理装置の一部を断面で示した平面図である。
[図 2]本発明が適用される基板処理装置の一部を断面で示した側面図である。
o
圆 3]本発明の第 2の実施の形態に係るコントローラ構成の概略図である。
圆1—
〇 4]本発明の第 2の実施形態に係る日常点検データの構成とデータの表示手順の 一例を示す解説図である。
[図 5]表示制御手段としての日常点検データ表示プログラムの内容を示す図である。
[図 6]日常点検データモニタ画面及び日常点検イニシャルパラメータファイルの内容 を示す解説図である。
[図 7]本発明の第 1の実施の形態に係る操作部のプログラムが画面とパラメ一タフアイ ルにより行っているユーティリティデータの表示処理を示す図である。
[図 8]図 7の監視システムにおける専用の操作画面の一例である。
圆 9]仕様別の変更例を説明するための解説図である
圆 10]膜種別の変更例を説明するための解説図である。
[図 11]ユーティリティ設備の一部を他のメーカ製のものに変更した場合の変更例を説 明するための解説図である。
[図 12]画面切り替えのための選択ボタンとアラーム情報画面を呼び出すためのァラ ームボタンを備えた日常点検モニタ画面の一例を示す解説図である。
圆 13]アラーム情報画面の一例を示す解説図である。
符号の説明
操作部 (第 1の制御手段）
11 制御部 (第 1の制御手段）
12 装置コントローラ
15 モニタ (表示手段）
16 制御部コントローラ (第 2の制御手段)
21 日常点検データモニタ画面
22 画面ファイル
23 日常点検データモニタ画面データ
24 操作画面
25a 日常点検イニシャルパラメータファイノ ]

Claims

請求の範囲
操作画面を有する表示手段と、基板を処理するための制御指示を送信する第 1の制 御手段と、この第 1の制御手段からの前記制御指示に従って制御を行う第 2の制御 手段とを有する基板処理装置において、前記第 1の制御手段は、列番号をデータ番 号、データ名称等の項目データとして設定可能な画面データを格納する画面フアイ ルと、少なくとも前記項目データに対応するパラメータデータを格納するパラメ一タフ アイルと、前記画面ファイルを展開して前記操作画面に前記画面データをモニタ画 面として配置させ、前記パラメータファイルを展開して前記データ番号により前記パラ メータファイル内を検索して前記項目データに対応するパラメータデータを配置して 前記モニタ画面を表示する表示制御手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置
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