JPWO2007108370A1 - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
画面初期化処理では、まず、前記装置コントローラ12のハードディスクの画面ファイル22(図3、図6参照)から後述するデータ番号、データ名称等を項目データとして設定可能なn行n列の表形式の日常点検データモニタ画面データ23を読み込み、前記モニタ15の操作画面24上に、紙面の右側にスクロールバーを配置したn行n列の表形式の日常点検データモニタ画面21として展開する。なお、この日常点検データモニタ画面21は、図6に示すように、煩雑さをなくし視覚性を良好とするために、一行目のセルの枠線と、二行目以降の列方向のセル間の区切り線を非表示としているが、枠線や区切り線を表示させる形態としてもよい。また、日常点検データ表示プログラムは、前記モニタ15の操作画面24上の他のオブジェクト(図、表、セル、文字など)の配置情報に基づいて他のオブジェクトと重なることがないように、日常点検データモニタ画面21を操作画面24上に配置する。続いて、日常点検データ表示プログラムは、この表形式の日常点検データモニタ画面21に、行番号とデータ番号を配置する。
この画面更新処理では、日常点検イニシャルパラメータファイル25a,25bの検索によって取得した日常点検データの単位換算式を用いて操作部10のメモリ13の検索によって取得した日常点検データの単位換算を実行する(図4(イ)参照)。なお、図6の例では、冷却水流量、ガス供給圧力、排気圧力、ポンプ電流値、ポンプ回転数に対して単位換算を実行している。
このような変更は、基板処理装置を顧客に納入した後、顧客ユーティリティのシステムの仕様変更によって必要になる。例えば、顧客ユーティリティのエア供給システムの仕様の変更によって駆動エア圧力測定器が交換となり、そのためにアクチュエータのフルスケール(測定範囲(測定幅))、フルスケールに対する上限値、下限値の変更が必要となる場合である。
このような変更は、基板処理の際の成膜種変更の際に行われる。例えば、N2ガスとArガスを用いるプロセスであったが、プロセスの変更によって一種のガス、例えば、NH3を用いるプロセスに変更された場合等である。
例えば、機能が同じでもモニタ機能が必要となり、モニタ機能のないアクチュエータからモニタ機能のある他のメーカ製のアクチュエータに交換する場合である。具体的には、ポンプメーカAのポンプは電流値モニタ機能はなく、これを異なるメーカBのポンプ電流値のモニタ機能を有するポンプに変更する場合である。
(1)2006/07/21」、「00:00:03」において、PM1の冷却水量が警告範囲を超えて0.08リットルになり、冷却水流が発生した、
(2)「2006/07/21」、「00:00:10」、すなわち、7秒後に、さらに、アラーム範囲を超えて0.01リットルになり、冷却水量アラームが発生した、ことを、意味している。
11 制御部(第1の制御手段)
12 装置コントローラ
15 モニタ(表示手段)
16 制御部コントローラ(第2の制御手段)
21 日常点検データモニタ画面
22 画面ファイル
23 日常点検データモニタ画面データ
24 操作画面
25a 日常点検イニシャルパラメータファイル
Claims (1)
-
操作画面を有する表示手段と、基板を処理するための制御指示を送信する第1の制御手段と、この第1の制御手段からの前記制御指示に従って制御を行う第2の制御手段とを有する基板処理装置において、前記第1の制御手段は、列番号をデータ番号、データ名称等の項目データとして設定可能な画面データを格納する画面ファイルと、少なくとも前記項目データに対応するパラメータデータを格納するパラメータファイルと、前記画面ファイルを展開して前記操作画面に前記画面データをモニタ画面として配置させ、前記パラメータファイルを展開して前記データ番号により前記パラメータファイル内を検索して前記項目データに対応するパラメータデータを配置して前記モニタ画面を表示する表示制御手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。
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