KR100892019B1 - 기판의 처리장치 및 반송장치 조정시스템 - Google Patents
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- 기판의 반송대상물을 반송하는 반송장치에 관한 반송처의 정지위치를 조정하는 반송장치 조정시스템으로서,상기 반송장치는, 기판의 처리장치에 탑재되어 있고,상기 처리장치가 설치된 공장측에는,상기 반송장치의 정지위치를 제어하는 제어장치와,상기 반송장치의 반송처의 실제 정지위치를 검출하는 검출장치가 설치되고,상기 처리장치의 벤더측에는,상기 검출장치로 검출된 검출정보를 인터넷을 통해 취득하는 취득장치와,상기 취득한 검출정보에 의거하여 도출된 상기 반송장치의 정지위치를 수정하기 위한 수정정보를, 인터넷을 통해 상기 처리장치에 제공하는 제공장치가 설치되어 있는 반송장치 조정시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제공장치는, 상기 인터넷을 통해 상기 제어장치에 직접 상기 수정정보를 출력하여, 상기 반송장치의 반송처의 정지위치를 직접 수정할 수 있는 반송장치 조정시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 검출장치는, 촬상장치를 가지는 반송장치 조정시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 반송장치는, 기판에 처리액을 공급하는 처리액 공급부재를 반송하는 것인 반송장치 조정시스템.
- 제 3 항에 있어서, 상기 반송장치는, 기판을 반송하는 것이고,상기 촬상장치는, 기판과 같은 형상의 검출용 기판에 설치되어 있는 반송장치 조정시스템.
- 제 3 항에 있어서, 상기 반송장치는, 기판을 반송하는 것이고,상기 촬상장치는, 상기 반송장치의 정지위치에 반송된 검출용 기판을 촬상할 수 있도록 상기 처리장치에 고정하여 설치되며,상기 검출용 기판에는, 이 검출용 기판의 반송후의 위치를 상기 촬상장치의 화상(畵像) 상에서 확인하기 위한 마크가 부착되어 있고,상기 촬상장치의 화상이 표시되는 화면에는, 상기 반송장치의 정지위치를 조정할 때의 기준마크가 표시되는 반송장치 조정시스템.
- 제 5 항에 있어서, 상기 처리장치에는, 상기 검출용 기판을 대기시키는 대기부가 설치되어 있고,상기 반송장치는, 상기 대기부에 대기된 상기 검출용 기판을 반송할 수 있는 반송장치 조정시스템.
- 제 6 항에 있어서, 상기 처리장치에는, 상기 검출용 기판을 대기시키는 대기부가 설치되어 있고,상기 반송장치는, 상기 대기부에 대기된 상기 검출용 기판을 반송할 수 있는 반송장치 조정시스템.
- 기판 또는 처리액 공급부재의 반송대상물을 반송하는 반송장치를 가진 기판의 처리장치로서,상기 반송장치의 반송처의 정지위치를 제어하는 제어장치와,상기 반송장치의 반송처의 실제 정지위치를 검출하는 검출장치와,상기 검출장치로 검출된 검출정보를, 인터넷을 통해 상기 처리장치의 벤더측에 송신하는 송신장치와,상기 송신된 상기 검출정보에 의거하여 도출된 상기 반송장치의 반송처의 정지위치를 수정하기 위한 수정정보를, 인터넷을 통해 수신하는 수신장치를 가지는 기판의 처리장치.
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