JPH11354397A - 被加工物移載装置の制御方法 - Google Patents
被加工物移載装置の制御方法Info
- Publication number
- JPH11354397A JPH11354397A JP15714298A JP15714298A JPH11354397A JP H11354397 A JPH11354397 A JP H11354397A JP 15714298 A JP15714298 A JP 15714298A JP 15714298 A JP15714298 A JP 15714298A JP H11354397 A JPH11354397 A JP H11354397A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer device
- transfer
- control unit
- control part
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】加工装置もしくは検査装置から移載装置の制御
部への処理の指示手順が、従来では製作メーカー毎に異
なるため、移載装置の制御部のプログラム製作工数が大
きくなる問題があった。 【解決手段】加工装置もしくは検査装置の制御部と工場
システムとの通信路を、移載装置の制御部から加工装置
もしくは検査装置の制御部への処理の指示を行うために
活用する。加工装置もしくは検査装置と工場システムを
接続する通信手順は一般的に標準化が進んでいるため、
移載装置の制御部のプログラムの製作は比較的容易であ
る。
部への処理の指示手順が、従来では製作メーカー毎に異
なるため、移載装置の制御部のプログラム製作工数が大
きくなる問題があった。 【解決手段】加工装置もしくは検査装置の制御部と工場
システムとの通信路を、移載装置の制御部から加工装置
もしくは検査装置の制御部への処理の指示を行うために
活用する。加工装置もしくは検査装置と工場システムを
接続する通信手順は一般的に標準化が進んでいるため、
移載装置の制御部のプログラムの製作は比較的容易であ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエーハ等
の被加工物をその搬送装置と加工装置とのあいだで移載
する装置の制御方法に関する。
の被加工物をその搬送装置と加工装置とのあいだで移載
する装置の制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウエーハの移載装置は、例
えば特開平8−255735 号に記載のように、移載装置（当
該資料ではウェハ供給部）および加工装置もしくは検査
装置の全体を一つの装置として、一つの全体制御部があ
って、この全体制御部が移載装置を制御する構造になっ
ている。上記従来例では、移載機の制御部と加工装置も
しくは検査装置の制御部の区別はない。
えば特開平8−255735 号に記載のように、移載装置（当
該資料ではウェハ供給部）および加工装置もしくは検査
装置の全体を一つの装置として、一つの全体制御部があ
って、この全体制御部が移載装置を制御する構造になっ
ている。上記従来例では、移載機の制御部と加工装置も
しくは検査装置の制御部の区別はない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の移載装置におい
ては、加工装置もしくは検査装置の制御部から移載装置
の制御部へ処理の指示を行う方式が一般的であった。こ
の方式で移載機と加工装置もしくは検査装置の製作メー
カーを分離すると、加工装置もしくは検査装置から移載
装置の制御部への処理の指示手順が製作メーカー毎に異
なるため、移載装置の制御部のプログラム製作工数が大
きくなることが課題である。
ては、加工装置もしくは検査装置の制御部から移載装置
の制御部へ処理の指示を行う方式が一般的であった。こ
の方式で移載機と加工装置もしくは検査装置の製作メー
カーを分離すると、加工装置もしくは検査装置から移載
装置の制御部への処理の指示手順が製作メーカー毎に異
なるため、移載装置の制御部のプログラム製作工数が大
きくなることが課題である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】加工装置もしくは検査装
置の制御部には工場システムとの通信路を一般的に有し
ている。本発明の方法ではこの通信路を移載装置の制御
部から加工装置もしくは検査装置の制御部への処理の指
示を行うために活用する。加工装置もしくは検査装置と
工場システムを接続する通信手順は一般的に標準化が進
んでいるため、移載装置の制御部のプログラムの製作は
比較的容易である。
置の制御部には工場システムとの通信路を一般的に有し
ている。本発明の方法ではこの通信路を移載装置の制御
部から加工装置もしくは検査装置の制御部への処理の指
示を行うために活用する。加工装置もしくは検査装置と
工場システムを接続する通信手順は一般的に標準化が進
んでいるため、移載装置の制御部のプログラムの製作は
比較的容易である。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１は工場システム，移載装置，
加工装置もしくは検査装置を含むシステム構成図であ
る。図１を用いて本発明の一実施例のシステムの動きを
説明する。
加工装置もしくは検査装置を含むシステム構成図であ
る。図１を用いて本発明の一実施例のシステムの動きを
説明する。
【０００６】上記装置にて未処理の半導体ウエーハを含
むキャリアカセット９を、上記加工装置もしくは検査装
置７に接続される移載装置８のロードポートに搬送す
る。搬送装置の制御部３が上記キャリアカセット９の存
在を認識し、その情報を通信路２を通して工場システム
１に伝達する。
むキャリアカセット９を、上記加工装置もしくは検査装
置７に接続される移載装置８のロードポートに搬送す
る。搬送装置の制御部３が上記キャリアカセット９の存
在を認識し、その情報を通信路２を通して工場システム
１に伝達する。
【０００７】工場システム１では、上記キャリアカセッ
ト９の処理条件を選択し、通信路２を通して移載装置の
制御部３その情報を伝達する。移載装置の制御部３で
は、キャリアカセット９から半導体ウエーハを装置７に
搬送するための制御をするとともに、装置７へ該当する
処理条件を通信路４を通して装置７の制御部５に伝達す
る。装置７では伝達された処理条件に従って処理を行
う。
ト９の処理条件を選択し、通信路２を通して移載装置の
制御部３その情報を伝達する。移載装置の制御部３で
は、キャリアカセット９から半導体ウエーハを装置７に
搬送するための制御をするとともに、装置７へ該当する
処理条件を通信路４を通して装置７の制御部５に伝達す
る。装置７では伝達された処理条件に従って処理を行
う。
【０００８】装置７で処理が完了すると通信路４を通し
て移載装置の制御部３に処理の完了を伝達する。移載装
置の制御部３では、装置７からのウエーハをロードポー
トに搬送し、最終ウエーハをロードポートに収納した時
点で、移載装置の制御部３から通信路２を通して工場シ
ステム１へ上記キャリアカセット９の処理の完了を伝達
する。
て移載装置の制御部３に処理の完了を伝達する。移載装
置の制御部３では、装置７からのウエーハをロードポー
トに搬送し、最終ウエーハをロードポートに収納した時
点で、移載装置の制御部３から通信路２を通して工場シ
ステム１へ上記キャリアカセット９の処理の完了を伝達
する。
【０００９】なお、上記の処理の途中で装置７で故障等
が発生した場合、不稼働の情報を入力する端末６に不稼
働の情報を入力する。移載装置の制御部３では、装置７
から通信路４を通して得た稼働情報と不稼働の情報を入
力する端末６からの情報を統合し、通信路２を通して工
場システム１へ装置７の稼働もしくは不稼働の情報を伝
達する。
が発生した場合、不稼働の情報を入力する端末６に不稼
働の情報を入力する。移載装置の制御部３では、装置７
から通信路４を通して得た稼働情報と不稼働の情報を入
力する端末６からの情報を統合し、通信路２を通して工
場システム１へ装置７の稼働もしくは不稼働の情報を伝
達する。
【００１０】
【発明の効果】加工装置もしくは検査装置と工場システ
ムを接続する通信手順は一般的に標準化が進んでいるた
め、移載装置の制御部の加工装置もしくは検査装置との
通信プログラムの製作は比較的容易である。また加工装
置もしくは検査装置の種類と比較して移載装置の種類は
少なくなることが期待できるため、工場システムと移載
装置の制御部の接続工数の低減も期待できる。
ムを接続する通信手順は一般的に標準化が進んでいるた
め、移載装置の制御部の加工装置もしくは検査装置との
通信プログラムの製作は比較的容易である。また加工装
置もしくは検査装置の種類と比較して移載装置の種類は
少なくなることが期待できるため、工場システムと移載
装置の制御部の接続工数の低減も期待できる。
【００１１】さらに、移載装置の制御部に加工装置もし
くは検査装置の稼働もしくは不稼働情報を入力する端末
を設けることにより、端末の機能を比較的容易に標準化
できる。さらに、加工装置もしくは検査装置は、半導体
工場毎に異なる移載装置相当部分に対する要求仕様から
独立分離して製作可能となるため工数低減および工期短
縮が期待できる。
くは検査装置の稼働もしくは不稼働情報を入力する端末
を設けることにより、端末の機能を比較的容易に標準化
できる。さらに、加工装置もしくは検査装置は、半導体
工場毎に異なる移載装置相当部分に対する要求仕様から
独立分離して製作可能となるため工数低減および工期短
縮が期待できる。
【図１】本発明の方法を実施するシステム構成の一例を
示すブロック図。
示すブロック図。
１…工場システム、２…移載装置の制御部との通信路、
３…移載装置の制御部、４…移載装置の制御部と加工装
置もしくは検査装置の制御部との通信路、５…加工装置
もしくは検査装置の制御部、６…端末、７…加工装置も
しくは検査装置、８…移載装置、９…半導体ウエーハお
よびウエーハのキャリアカセット。
３…移載装置の制御部、４…移載装置の制御部と加工装
置もしくは検査装置の制御部との通信路、５…加工装置
もしくは検査装置の制御部、６…端末、７…加工装置も
しくは検査装置、８…移載装置、９…半導体ウエーハお
よびウエーハのキャリアカセット。
Claims (3)
- 【請求項１】被加工物の加工装置群もしくは検査装置
群、被加工物または上記被加工物のキャリアカセットの
搬送装置、上記被加工物もしくはそのキャリアを上記加
工装置および検査装置のロードポートと搬送装置の間で
移載を行う移載装置、半加工の被加工物を一時保管する
ストッカから成る生産ラインにおいて、工場システム側
が移載装置の制御部に対して処理の指示を行うことを特
徴とする被加工物移載装置の制御方法。 - 【請求項２】上記移載装置の制御部が加工装置もしくは
検査装置の制御部に対して処理の指示を行うことを特徴
とする請求項１記載の被加工物移載装置の制御方法。 - 【請求項３】加工装置もしくは検査装置の稼働情報もし
くは不稼働情報を入力する端末部を移載装置に有するこ
とを特徴とする請求項１または２に記載の被加工物移載
装置の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15714298A JPH11354397A (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 被加工物移載装置の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15714298A JPH11354397A (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 被加工物移載装置の制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11354397A true JPH11354397A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15643112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15714298A Pending JPH11354397A (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 被加工物移載装置の制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11354397A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2351160A (en) * | 1999-05-20 | 2000-12-20 | Nec Corp | Lot supply system for a production line |
| US6418355B1 (en) | 1999-05-20 | 2002-07-09 | Nec Corporation | Lot supply system and lot supply method |
| WO2003007351A1 (fr) * | 2001-07-12 | 2003-01-23 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement de tranche et systeme de reglage d'un mecanisme de transfert |
| CN100419984C (zh) * | 2001-07-12 | 2008-09-17 | 东京毅力科创株式会社 | 基板的处理装置及运送装置调整系统 |
-
1998
- 1998-06-05 JP JP15714298A patent/JPH11354397A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2351160A (en) * | 1999-05-20 | 2000-12-20 | Nec Corp | Lot supply system for a production line |
| US6418355B1 (en) | 1999-05-20 | 2002-07-09 | Nec Corporation | Lot supply system and lot supply method |
| WO2003007351A1 (fr) * | 2001-07-12 | 2003-01-23 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement de tranche et systeme de reglage d'un mecanisme de transfert |
| CN100419984C (zh) * | 2001-07-12 | 2008-09-17 | 东京毅力科创株式会社 | 基板的处理装置及运送装置调整系统 |
| CN100444313C (zh) * | 2001-07-12 | 2008-12-17 | 东京毅力科创株式会社 | 一种涂敷显影处理装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6622057B1 (en) | Semiconductor factory automation system and method for controlling automatic guide vehicle | |
| US6516238B1 (en) | Semiconductor factory automation system and method for transporting semiconductor wafers | |
| GB2351806A (en) | Semiconductor factory automation | |
| WO2008075404A1 (ja) | 半導体製造システム | |
| US6438441B1 (en) | Semiconductor factory automation system and method for resetting process recipe by employing trace file | |
| EP1357589A4 (en) | "WORKPIECE TRANSFER SYSTEM, TRANSFER METHOD, VACUUM CHUCK AND WAFER CENTERING METHOD" | |
| JPH11354397A (ja) | 被加工物移載装置の制御方法 | |
| US5928077A (en) | Clean room for manufacturing of semiconductor device | |
| CN114955552A (zh) | 一种smif开合器与自动搬送系统交互的控制方法及smif开合器 | |
| JP2001102427A (ja) | プロセス処理方法およびその装置並びに半導体製造ラインおよび半導体製造ラインにおける被処理基板の搬送方法 | |
| ITMI20001408A1 (it) | Sistema di automazione per fabbrica di semiconduttori e metodo per lalavorazione di almeno una cassetta di wafer di semiconduttore | |
| CN114518724A (zh) | 一种适用于amhs系统的通讯装置及通讯方式 | |
| US6757578B1 (en) | Semiconductor factory automation system and method for processing lot of semiconductor wafers at full-automation mode or semi-automation mode | |
| GB2351804A (en) | Controlling measurement equipment in semiconductor factory automation system | |
| KR102570641B1 (ko) | 장비 전단부 모듈 툴버퍼 제어 시스템 | |
| JPH11151627A (ja) | 自動搬送車制御システム | |
| JP2015019062A (ja) | 基板処理装置、半導体設備、半導体設備の自己診断装置、及び半導体設備の自己診断方法 | |
| JPH0428602B2 (ja) | ||
| JP3114889B2 (ja) | プログラマブルコントローラシステムの自動制御方法 | |
| JPH067880Y2 (ja) | 搬送制御装置 | |
| JPH05165522A (ja) | 自動搬送システムのマニュアル運転方法 | |
| CN116601572A (zh) | 控制装置及其安全停止程序和存储介质 | |
| JP2985342B2 (ja) | プラズマ処理装置の運転制御装置 | |
| JPH0916209A (ja) | 生産ｃｉｍシステム | |
| JP2005285815A (ja) | 半導体生産システムおよび半導体生産ラインシステム |