CN100419984C - 基板的处理装置及运送装置调整系统 - Google Patents

Abstract

本发明的目的是比现有技术更迅速地进行基板处理装置的部件更换。本发明的处理装置是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的处理装置，对各构成部件分别附以识别标记，该处理装置具有：与识别标记对应地对在订购构成部件时所需要的各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的识别标记的输入部；以及显示与输入的识别标记对应的、存储部中的部件信息的显示部。

Description

基板的处理装置及运送装置调整系统

本申请是下述申请的分案申请：

发明名称：基板的处理装置及运送装置调整系统

申请日：2002年7月9日

申请号：02813944.5

技术领域

本发明涉及基板的处理装置及运送装置调整系统。

背景技术

半导体器件的制造是用设置在工厂内的涂敷显影处理装置、曝光装置、刻蚀装置等进行的。例如，用涂敷显影处理装置进行半导体器件制造中的光刻工序，在该涂敷显影处理装置中通常安装了在晶片表面形成抗蚀剂膜的抗蚀剂涂敷单元；对曝光后的晶片进行显影的显影处理单元；以及在抗蚀剂涂敷后、显影处理前后等进行热处理的热处理单元等多个处理单元。另外，在该涂敷显影处理装置中设置了多种运送臂，借助于这些运送臂在各处理单元之间进行基板运送和规定的处理单元内的处理液供给喷嘴等的运送。

但是，当在这种涂敷显影处理装置中出现不良情况时，若该不良情况不能迅速消除，则晶片处理恢复迟缓，致使涂敷显影处理装置的工作效率降低，这是不希望的。

例如，在构成上述涂敷显影处理装置的部件损坏等情况下，为了更换该部件，晶片制造厂方的装置管理人员必须从部件出售者等处订购部件。这时，为了订购该部件，装置管理人员需要确定损坏部件的名称、部件代号等。

但是，如上所述，涂敷显影处理装置有多种处理单元，由许多部件构成。另外，进行订购的晶片制造厂方的装置管理人员通常对涂敷显影处理装置的部件并不精通。因此，在订购部件时，晶片制造厂方的装置管理人员多半不能确定所订购部件的名称等，多半逐次询问涂敷显影处理装置的卖方负责人等。

这样，若每次损坏部件都询问卖方的负责人，则至确定部件、进行订购要花费时间，至新的部件到手需要很长的时间，因此，不能迅速进行部件更换。其结果是损坏等的修复花费了时间，晶片处理的恢复迟缓，因而涂敷显影处理装置的工作效率降低。

另外，当用上述涂敷显影处理装置处理后的晶片出现不良情况时，作为其原因，可以考虑上述运送臂的不良。即，可以考虑是上述运送臂的运送目的地的停止位置偏离，晶片等运送对象物未被运送至恰当的位置。这时，为消除处理晶片的不良情况，需要调整运送臂的停止位置。但是，作为运送臂停止位置的调整的所谓位置调整是细微的，并且是需要小心的调整，进行该工作的操作人员需要有丰富的知识和经验。另外，还存在由于其操作的危险性而由产业用机器人对运送臂定位并进行操作，对此等操作需要规定的资格的情形。因此，进行运送臂的位置调整时，涂敷显影处理装置的厂方管理人员要依靠有丰富的知识和经验的卖方的负责人，由该负责人赴工厂进行调整。

但是，在处理晶片发生不良情况后，至卖方的负责人到达工厂，需要相当的时间。特别是当工厂在外国等远方时，这一点是很显著的。这样，当运送臂的位置调整需要长的时间时，其间就不能进行晶片处理，因此，涂敷显影处理装置的工作效率降低，这是不希望的。

另外，即使是卖方的负责人，各个人的知识和经验是不相同的，其调整作业的熟练程度也有差别。因此，当对多个工厂派遣多个负责人时，各负责人的调整精度出现差别。由于该精度的差别直接影响晶片的处理精度，所以例如在各个工厂制造了不同品质的晶片，这是不希望的。

发明内容

本发明是鉴于这一点而进行的，其目的在于：提供为了防止由不良情况引起的涂敷显影处理装置等处理装置的工作效率降低，而迅速进行处理装置的部件更换的晶片等基板的处理装置。另外，其目的还在于提供能够迅速而均一地对运送臂等运送装置的运送目的地的停止位置进行调整的运送装置调整系统和基板处理装置。

本发明的处理装置是由多个构成部件构成，对基板进行规定处理的处理装置，并对上述各构成部件分别附以识别标记，该处理装置具有：与上述识别标记对应地对在订购构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的识别标记的输入部；以及显示与上述输入的识别标记对应的、上述存储部中的部件信息的显示部。

按照本发明，通过向输入部输入损坏了的构成部件的识别标记，可以在显示部显示损坏了的构成部件的部件信息。因此，基板制造厂的装置管理人员能够立即知道损坏部件的名称、部件代号等，可以迅速地订购更换部件。因此，无需用电话等询问卖方的负责人等，部件更换可以迅速地进行。其结果是可以较早地消除处理装置的不良情况，能够防止处理装置的工作效率降低。

另外，识别标记不一定需要直接附在各构成部件上，例如也可以附在各构成部件的袋子上或构成部件的一览表内等。另外，部件信息可以包含构成部件的部件名称、部件代号、部件销售商名称、部件销售商的电话号码和库存信息等。构成部件是销售单位的部件，在构成部件中例如包括各种喷嘴、各种过滤器、热板、处理容器、加热器、管道、电动机、控制器、螺丝、螺栓等。

在本发明的基板处理装置中，也可以具有经因特网从上述处理装置的卖方的主存储部取得上述存储部的部件信息的通信部。这时，存储部的部件信息可以逐次更新，处理装置侧能够取得更详细、更新的部件信息。

按照本发明的另一观点，本发明的处理装置是由多个构成部件构成，对基板进行规定处理的处理装置，并对上述各构成部件分别附以识别标记，该处理装置具有：用于在订购构成部件时，输入该构成部件的上述识别标记的输入部；经因特网向上述处理装置的卖方发送上述输入的识别标记的发送部；对根据上述发送的识别标记经因特网从上述卖方发送的上述构成部件的部件信息进行接收的接收部；以及显示上述接收的部件信息的显示部。

按照本发明，基板制造厂的装置管理人员能够得到经因特网从卖方发送来的损坏部件的部件信息。据此，基板制造厂的装置管理人员能够迅速地进行部件订购，迅速地进行部件更换。另外，由于基板制造厂能够取得在卖方存储的部件信息，所以能够知道更详细、更新的部件信息。

另外，按照本发明的又一观点，本发明的处理装置是由多个构成部件构成，对基板进行规定处理的处理装置，该处理装置具有：对在订购上述构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息和用于确定上述各构成部件的确定信息进行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的确定信息的输入部；从上述存储部中检索与上述输入的确定信息一致的构成部件的检索部；以及显示上述检索出的构成部件的构成部件候选信息，显示从该构成部件候选信息中选择的构成部件的上述存储部中的部件信息的显示部。

按照本发明，基板制造厂的装置管理人员能够从构成部件候选信息中选择与损坏了的构成部件种类相同的构成部件，得到损坏部件的部件信息。据此，基板制造厂的装置管理人员能够确定订购部件，迅速地订购该部件。另外，在上述构成部件候选信息中也可以包含部件信息，除此之外，也可以包含例如构成部件的图像信息等。另外，上述的确定信息例如包含构成部件的确定部分的尺寸、构成部件的一般总称、被使用的单元名称等。

另外，按照本发明的又一观点，本发明的处理装置是由多个构成部件构成，对基板进行规定处理的处理装置，该处理装置具有：对在订购上述构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于拍摄要订购的构成部件的摄像部；经因特网向上述处理装置的卖方发送由上述摄像部拍摄到的上述构成部件的摄像信息的发送部；经因特网对在上述卖方根据上述摄像信息推得的构成部件候选信息进行接收的接收部；以及显示上述接收到的构成部件候选信息，并显示从该构成部件候选信息中选择出的构成部件的上述存储部中的部件信息的显示部。

另外，按照本发明的另一观点，本发明的处理装置是由多个构成部件构成，对基板进行规定处理的处理装置，该处理装置具有：对在订购上述构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于拍摄要订购的构成部件的摄像部；经因特网向上述处理装置的卖方发送由上述摄像部拍摄到的上述构成部件的摄像信息的发送部；经因特网对在上述卖方根据上述摄像信息确定的构成部件的确定结果进行接收的接收部；以及显示上述确定的构成部件的、上述存储部中的部件信息的显示部。

另外，按照本发明的又一观点，本发明的处理装置是由多个构成部件构成，对基板进行规定处理的处理装置，该处理装置具有：用于拍摄要订购的构成部件的摄像部；经因特网向上述处理装置的卖方发送由上述摄像部拍摄到的上述构成部件的摄像信息的发送部；经因特网对在上述卖方根据上述摄像信息确定的构成部件的部件信息进行接收的接收部；以及显示上述接收到的部件信息的显示部，上述部件信息是在订购上述构成部件时所需要的该构成部件的信息。

这样，由于本发明的基板处理装置具有摄像部，所以基板制造厂的装置管理人员能够根据损坏了的构成部件的摄像信息确定损坏部件。因此，在没有识别标记那样的关于构成部件的线索的情况下，处理装置侧的装置管理人员也能依靠摄像信息确定损坏部件，较迅速地进行部件更换。

在本发明的基板处理装置中，也可以具有经因特网取得上述要订购的构成部件的库存信息的取得部。另外，在库存信息中包含库存数量、有库存的部件商的名称等。

另外，按照本发明的又一观点，本发明的运送装置调整系统是对用于运送基板或处理液供给构件等运送对象物的运送装置的运送目的地的停止位置进行调整的运送装置调整系统，上述运送装置安装在基板处理装置中，在设置上述处理装置的工厂设置有：控制上述运送装置的停止位置的控制装置；以及检测上述运送装置的运送目的地的实际停止位置的检测装置，在上述处理装置的卖方设置有：经因特网取得由上述检测装置检测出的检测信息的取得装置；以及经因特网对上述处理装置提供根据上述已取得的检测信息推得的、用于对上述运送装置的停止位置进行修正的修正信息的提供装置。

按照本发明，根据经因特网由卖方提供的修正信息来调整运送装置的停止位置。因此，卖方的负责人无需逐一奔赴工厂，就能迅速地进行运送装置的位置调整。另外，一名熟练人员可以应对多个工厂或多个处理装置的运送装置的调整，因而可以进行均一的、高质量的调整。

上述提供装置也可以经上述因特网直接对上述控制装置输出上述修正信息，直接对上述运送装置的运送目的地的停止位置进行修正。

也可以是上述运送装置运送基板，上述摄像装置设置在与基板形状相同的检测用基板上。

另外，上述运送装置是运送基板的装置，上述摄像装置固定地设置在上述处理装置内，以便能够拍摄运送至上述运送装置的停止位置的检测用基板，在上述检测用基板上附以用于在上述摄像装置拍摄到的图像上识别该检测用基板的运送后的位置的标记，在显示上述摄像装置拍摄到的图像的画面上显示调整上述运送装置的停止位置时的基准标记。还有，上述检测用基板上的标记和画面上的基准标记的数目可以任意选择。另外，检测用基板上的标记可以在上述检测用基板上的半径相同的位置上设置多个。

在本发明的运送装置调整系统中，也可以对上述处理装置设置等待上述检测用基板的待机部，上述运送装置能够将待用的上述检测用基板运送至上述待机部。另外，进行位置调整的运送装置可以使之能够直接对待机部进行存取，运送上述待用的检测用基板，也可以例如使之能够经其他运送装置间接运送上述检测用基板。另外，也可以使之能够用卖方的主计算机等对运送装置进行操作，借助于来自卖方的远程操作将待机部中的检测用基板运送至运送装置。

另外，按照本发明的另一观点，本发明的基板处理装置是具有用于运送基板或处理液供给构件等运送对象物的运送装置的基板处理装置，该基板处理装置具有：控制上述运送装置的运送目的地的停止位置的控制装置；检测上述运送装置的运送目的地的实际停止位置的检测装置；经因特网向上述处理装置的卖方发送由上述检测装置检测出的检测信息的发送装置；以及经因特网接收根据上述发送的检测信息推得的、用于对上述运送装置的运送目的地的停止位置进行修正的修正信息的接收装置。

按照本发明，卖方的负责人不到工厂去，就能进行运送装置的位置调整。

附图说明

图1是示出本实施形态的涂敷显影处理装置的概略的斜视图。

图2是示出涂敷显影处理装置的结构的概略的平面图。

图3是图2的涂敷显影处理装置的正视图。

图4是图2的涂敷显影处理装置的后视图。

图5是示出对抗蚀剂液喷出喷嘴附着条形码的例子的斜视图。

图6是示出订购部件确定部的结构的方框图。

图7是示出部件信息画面的格式的说明图。

图8是示出图7的部件信息画面的显示例的说明图。

图9是示出通信系统的结构的概略的说明图。

图10是示出订购部件确定部的结构例的说明图。

图11是示出主计算机的结构的方框图。

图12是示出订购部件确定部的结构例的说明图。

图13是示出构成部件表格画面的显示例的说明图。

图14是示出图像显示画面的显示例的说明图。

图15是示出安装了CCD摄像机的情况下的涂敷显影处理装置的结构的概略的斜视图。

图16是示出用于发送图像信息的发信系统的结构的说明图。

图17是示出安装了移动自如的CCD摄像机的情况下的涂敷显影处理装置的结构的概略的斜视图。

图18是另一实施形态的臂位置调整系统的概略结构图。

图19是示出构成臂位置调整系统的涂敷显影处理装置的概略的斜视图。

图20是示出主运送单元的结构的概略的斜视图。

图21是示出抗蚀剂涂敷单元的结构的概略的纵剖面的说明图。

图22是示出抗蚀剂涂敷单元的结构的概略的横剖面的说明图。

图23是示出旋转吸盘的结构的斜视图。

图24是示出控制部的结构的方框图。

图25是示出AGC的结构的说明图。

图26是示出位置检测晶片的结构的斜视图。

图27是从背面观看位置检测晶片时的斜视图。

图28是臂位置调整系统的协议流程。

图29是示出抗蚀剂涂敷单元中的运送臂的运送目的地的位置的说明图。

图30是安装了CCD摄像机的情况下的抗蚀剂涂敷单元的纵剖面的说明图。

图31是在规定位置附着标记的位置检测用晶片的平面图。

图32是示出在主计算机的显示部显示的画面的例子的说明图。

图33是示出使位置检测用晶片上的标记与画面上的基准标记一致时的画面的显示例的说明图。

图34是示出设置位置检测用晶片的待机部的情形的涂敷显影处理装置的结构的平面图。

图35是热板温度测定用夹具被恰当地放置时的热板的纵剖面的说明图。

图36是热板温度测定用夹具未被恰当地放置时的热板的纵剖面的说明图。

图37是示出设置了CCD摄像机的情况下的抗蚀剂涂敷单元的结构的纵剖面的说明图。

标号说明

1涂敷显影处理装置

13订购部件确定部

21抗蚀剂涂敷单元

81输入部

83显示部

101工厂

102卖方

103因特网

108主计算机

M1～Mn涂敷显影处理装置

P部件信息画面

200臂位置调整系统

211运送臂

240控制装置

S位置检测用晶片

W晶片

具体实施方式

以下说明本发明的最佳实施形态。图1是示出作为本实施形态的基板处理装置的涂敷显影处理装置1的结构的概略的斜视图，图2是涂敷显影处理装置1的平面图。

如图1、图2所示，涂敷显影处理装置1具有将如下部分连接成一体的结构：将以盒为单位的例如25片晶片W从外部移入涂敷显影处理装置1或从其中移出，对盒C移入、移出晶片W的盒台2；具备多个以逐片方式进行晶片W处理的各种处理单元的处理台3；以及与该处理台3邻接地设置的、与未图示的曝光装置之间进行晶片W的交接的界面部4。

如图2所示，在盒台2中，在盒承载台10上的规定位置，多个盒C可在X方向(图2中的上下方向)排成一列自由放置。另外，在盒台2设置了晶片运送单元11，该运送单元11可沿运送路径12在X方向自由移动。晶片运送单元11可以对盒C移入、移出晶片W，并且还能够对属于后述的处理台3的第3处理单元组G 3的延伸单元33进行存取，从而运送晶片W。另外，在盒台2处，如图1所示设置了涂敷显影处理装置1的后述的订购部件确定部13。

在处理台3中，如图2所示，在其中心部设置了主运送单元20，在该主运送单元20的周围设置了各种处理单元被配置成多级的多个处理单元组G1、G2、G3、G4。例如，第1和第2处理单元组G1、G2被配置在涂敷显影处理装置1的正面，如图3所示，在第1处理单元组G1中自下而上依次设置了用于在晶片W上涂敷抗蚀剂、形成抗蚀剂膜的抗蚀剂涂敷单元21和用于对晶片W进行显影处理的显影处理单元22这2级。在第2处理单元组G2中，同样地也自下而上依次设置了抗蚀剂涂敷单元23和显影处理单元24。

如图2所示，处理台3的第3处理单元组G3与盒台2邻接地配置。在第3处理单元组G3中，例如如图4所示，自下而上依次层叠了例如6级，这6级是：对晶片W进行冷却处理的冷却单元30、31；用于提高抗蚀剂液与晶片W的粘合性能的粘合单元32；用于进行晶片W的交接的延伸单元33；用于使抗蚀剂液中的溶剂蒸发的预烘烤单元34、35。

第4处理单元组G4与界面部4邻接地配置。在第4处理单元组G4中，自下而上依次层叠了例如7级，这7级例如是：冷却单元40、用于使放置的晶片W自然冷却的延伸-冷却单元41、延伸单元42、曝光后进行加热处理的后曝光烘烤单元43和44，以及显影处理后进行加热处理的后烘烤单元45和46。

如图2所示，在界面部4中例如设置了晶片运送单元50和周边曝光单元51。晶片运送单元50被构成为可以对属于第4处理单元组G4的延伸-冷却单元41和延伸单元42，周边曝光单元51，以及可对未图示的曝光装置进行存取，对它们的每一个运送晶片W。

其次，详细说明上述的订购部件确定部13的结构。上述涂敷显影处理装置1具有多个构成部件。在由于涂敷显影处理装置1进行工作等原因，上述构成部件损坏时，涂敷显影处理装置1的装置管理人员必须确定该损坏部件的部件名称、部件代号等，向规定的部件制造商订购更换部件。订购部件确定部13是针对订购更换部件，用于确定损坏的构成部件的部件名称等的部。

在涂敷显影处理装置1的各构成部件的表面附以作为识别标记的条形码。图5示出了其一例，例如对在抗蚀剂涂敷单元21中使用的抗蚀剂液喷出喷嘴70附以条形码B。条形码B用于与其他构成部件相区别，具有抗蚀剂液喷出喷嘴70的固有编码。另外，构成部件包括上述各种单元的部件、涂敷显影处理装置1本身的部件、向涂敷显影处理装置1供给液体、气体等的装置的部件，对各构成部件都附以条形码。

例如如图6所示，订购部件确定部13由存储部80、输入部81、控制部82和显示部83等构成。

存储部80例如由RAM等构成，与各构成部件的条形码对应地存储了涂敷显影处理装置1的各构成部件的部件信息。部件信息例如是要订购的部件的部件名称、部件代号、部件销售商名称、部件销售商的电话号码。

输入部81例如是条形码读出器，如图5所示，它可以读取附着在构成部件上的条形码。另外，例如如图1所示，输入部81设置在涂敷显影处理装置1的盒台2的正面一侧。

控制部82例如具有CPU等，从存储部80对与由输入部81输入了的条形码对应的部件信息进行读出，并将其显示在后面将叙述的显示部83上。控制部82对整个订购部件确定部13进行控制。

显示部83例如由点阵型彩色液晶显示盒或CRT等构成，例如如图1所示，设置在盒台2的正面一侧。在显示部83上显示从存储部80被读出的部件信息的部件信息画面P，例如如图7所示。在部件信息画面P上以表格形式显示例如在订购时所用的部件名称、部件代号、部件销售商及其联络地址。

下面以作为构成部件的抗蚀剂液喷出喷嘴70损坏了的情形为例对涂敷显影处理装置1的订购部件确定过程进行说明。首先，装置管理人员例如从抗蚀剂涂敷单元21中拆卸损坏了的抗蚀剂液喷出喷嘴70。接着，用条形码读出器，即输入部81盖住抗蚀剂液喷出喷嘴70的条形码，读取条形码B。在条形码B被读取后，从存储部80读出与该条形码B对应地存储的部件信息，如图8所示，在显示部83上显示抗蚀剂液喷出喷嘴70的部件信息画面P。据此，装置管理人员可以得到在订购时所需要的抗蚀剂液喷出喷嘴70的部件信息，立即就能与部件销售商联系，订购该更换部件。

在上述实施形态中，使用了条形码作为识别标记，也可以用其他识别标记，例如文字、数字等。这时，输入部81可以是具有光标键及数字输入键等的键盘等。

另外，在部件信息中也可以包含各构成部件的图像信息。借助于这样做，装置管理人员可以将确定的部件与损坏的构成部件进行对比，可以再次确认订购部件是否正确。

不过在上述实施形态的存储部80中存储的部件信息也可以从卖方的主存储部发送。下面示出这种情形的一个例子。图9是可以在工厂与卖方之间交换各种信息的通信系统100的结构的概略图。

通信系统100由进行晶片处理的工厂101和涂敷显影处理装置的卖方102构成。工厂101与卖方102可以用因特网103进行通信。例如，在工厂101设置了多台同一规格的涂敷显影处理装置M1～Mn和集中管理这些涂敷显影处理装置M1～Mn的AGC 104(先进集群计算机)。AGC 104和涂敷显影处理装置M1～Mn与在工厂101内构建的LAN 105连接。例如，如图10所示，在涂敷显影处理装置M1的订购部件确定部106中设置作为与AGC通信的通信部、发送部、接收部和取得部的通信部107。另外，在AGC 104中也设置未图示的通信部，该未图示的通信部与LAN 105和因特网103连接。另外，订购部件确定部106的其他部分的结构与上述的订购部件确定部13的相同，故省略其说明。另外，订购部件确定部106以外的部分的涂敷显影处理装置M1的结构与上述的涂敷显影处理装置1的结构相同。

另一方面，如图9所示，在卖方102设置主计算机108。如图11所示，主计算机108例如由作为主存储部的存储部109、通信部110、控制部111、输入部112和显示部113等构成。

存储部109例如具有RAM等，存储涂敷显影处理装置M1～Mn的各构成部件的部件信息。在该部件信息中，除例如订购部件时需要的部件名称、部件代号、部件销售商外，还包含最新的库存信息等。

通信部110与因特网103连接，能够经因特网103、AGC 104向涂敷显影处理装置M1～Mn发送在存储部109中存储的部件信息。

在这样构成的通信系统100中，例如可以定期地从卖方102的主计算机108向涂敷显影处理装置M1～Mn发送部件信息。然后，用涂敷显影处理装置M1～Mn接收了的部件信息被送至存储部80，更新存储部80中的部件信息。这样一来，工厂101的装置管理人员就能够不断取得新的部件信息。即，装置管理人员例如可以根据最新的库存信息订购部件。另外，在部件销售商有变更时，装置管理人员也能够立即得到该信息。

在上述的实施形态中，部件信息存储在涂敷显影处理装置的存储部80中，从该存储部80中读出部件信息，但是也可以利用上述通信系统100从卖方102的主计算机108的存储部109中读出部件信息。这时，在存储部109中必须与各构成部件的条形码对应地存储各构成部件的部件信息。

然后，在确定订购部件时，例如，装置管理人员对涂敷显影处理装置M1输入损坏的构成部件的条形码后，作为该条形码的识别信号的信息经因特网103发送至主计算机108。主计算机108接收条形码的信息后，从存储部109读出与该条形码对应的部件信息，从通信部110向涂敷显影处理装置M1发送。然后，被涂敷显影处理装置M1接收到的部件信息与上述的例子相同，在显示部83上作为部件信息画面P显示出来。据此，装置管理人员能够得到要订购的部件的正确的部件信息。这时，由于能够取得制造涂敷显影处理装置的卖方102的部件信息，所以能够得到更新、更详细的部件信息。

在以上的实施形态中，根据识别标记确定了订购部件，但也可以根据构成部件的特征等进行确定。

为了实施这样的例子，例如，如图12所示，涂敷显影处理装置L1的订购部件确定部120由例如作为存储部的第1存储部121、输入部122、第2存储部123、控制部124和显示部125等构成。

在第1存储部121中对应于各构成部件存储了涂敷显影处理装置L1的各构成部件的部件信息、各构成部件的图像信息和用于确定各构成部件的确定信息。确定信息例如是构成部件的总称、构成部件的规格化部分的尺寸和所使用的单元的名称等，例如在抗蚀剂液喷出喷嘴70的情形下，它们是“喷嘴”、“口径2mm”和“抗蚀剂涂敷单元”等，

输入部122例如由具有光标键、数字输入键等的键盘等构成，装置管理人员可以输入损坏的构成部件的确定信息。

在第2存储部123中，存储了例如从第1存储部121的构成部件中检索与由输入部122输入了的确定信息一致的构成部件的检索程序等。另外，控制部124例如具有CPU等，执行上述检索程序等。另外，本实施形态的检索部由第1存储部121、第2存储部123和控制部124构成。

显示部125例如由点阵型彩色液晶显示盒或CRT等构成。在显示部125上例如显示：以表格形式显示用上述检索程序检索出的构成部件的、图13所示的构成部件表格画面Q；显示从构成部件表格中选择出的构成部件的图像信息的、图14所示的图像显示画面R；以及显示由装置管理人员最终选择出的构成部件的部件信息的、图8所示的部件信息画面P。在构成部件表格画面Q中，显示构成部件的部件名称、部件代号。另外，本发明的构成部件的候选信息在本实施形态中是构成部件的部件名称、部件代号和图像信息。

以抗蚀剂液喷出喷嘴70损坏的情形为例说明具有这种结构的涂敷显影处理装置L1的订购部件确定过程时，首先，装置管理人员对输入部122输入抗蚀剂液喷出喷嘴70的确定信息。例如将这时的确定信息取作“喷嘴”、“口径2mm”。接着，执行检索程序，从存储在第1存储部121中的构成部件中检索与该确定信息一致的构成部件，在显示部125上显示图13所示的构成部件表格画面Q。

然后，装置管理人员选择例如构成部件表格中的适当的构成部件，对输入部122输入该构成部件的代号后，在显示部125上显示出显示该构成部件的图像的图像显示画面R(示于图14)。装置管理人员通过如此阅览在构成部件表格中举出的构成部件的图像，确定出与损坏的构成部件同类型的构成部件。确定了构成部件后，在显示部125上显示出显示该部件的部件信息的部件信息画面P(示于图8)。装置管理人员根据在部件信息画面P上显示的部件信息订购更换部件。

按照本实施形态，即使不预先对构成部件附以识别标记也能够从损坏的构成部件的特征确定要订购的部件，取得部件信息。

另外，上述实施形态的构成部件的图像也可以是示出从多个方向看到的构成部件的图像，也可以是能够确认构成部件的整体结构的动态图像。

在上述实施形态中，根据损坏的构成部件的确定信息确定了订购部件，但也可以根据损坏了的构成部件的摄像信息进行确定。

这时，例如如图15所示，在涂敷显影处理装置K1的正面一侧设置作为用于对损坏了的构成部件进行摄像的摄像部的CCD摄像机130。用CCD摄像机130拍摄的摄像信息例如可以发送至订购部件确定部131。另外，订购部件确定部131具有与上述的订购部件确定部106相同的结构。

如图16所示，涂敷显影处理装置K1构成与上述的通信系统100相同的通信系统132，可以将上述摄像信息从订购部件确定部131发送至卖方102的主计算机108。另外，可以从主计算机108向涂敷显影处理装置K1发送由上述摄像信息推定的构成部件的候选信息。

对这样构成的涂敷显影处理装置K1，在确定要订购的部件时，首先，装置管理人员将损坏了的构成部件放在CCD摄像机130前面，用CCD摄像机130对该构成部件进行摄像。将该构成部件的摄像信息例如从通信部107经AGC 104发送至卖方102的主计算机108。发送至主计算机108的摄像信息例如在主计算机108的显示部113上显示，通知卖方102的负责人。卖方102的负责人用表格列出根据在显示部113上显示出的摄像信息推定与损坏的构成部件相同的构成部件，并将该部件的信息作为构成部件候选信息发送至涂敷显影处理装置K 1一侧。在这种构成部件候选信息中例如包括部件名称、部件的图像信息等。

用涂敷显影处理装置K1接收到的构成部件候选信息例如在显示部83上以产品样本的形式对每个部件进行图解显示，装置管理人员从中确定要订购的部件。然后，由确定下来的部件名称读出在存储部80中存储的详细的部件信息，进行部件的订购。

按照本实施形态，由于根据损坏的构成部件的摄像信息确定要订购的部件，所以即使没有如上述实施形态中那样的识别标记、特征等关于构成部件的线索，也能确定订购部件。另外，由于可以由作为专家的卖方负责人用表格列出构成部件的候选品，从该构成部件的候选品中确定订购部件，所以能够从比较受限制之中迅速地确定订购部件。另外，由于在构成部件的候选信息中包含图像信息，所以装置管理人员能够容易地确定订购部件。

另外，在上述实施形态中，在卖方102的负责人根据摄像信息能够立即确定构成部件时，卖方102的负责人也可以直接发送在卖方102存储的该构成部件的部件信息。这时，卖方102的负责人也可以发送上述的构成部件候选信息和部件信息这两者。另外，卖方102甚至还可以不直接发送确定的部件信息，只发送确定构成部件的结果(确定结果)，例如是可以确定的构成部件的识别信息。这时，例如对于涂敷显影处理装置M1，可以根据接收到的上述识别信息从存储部80中调出部件信息，并在显示部83上显示该部件信息。

CCD摄像机130也可以自由移动。图17示出了这种情形的一个例子，在CCD摄像机140上安装了卷放自如的具有规定长度的软线141。据此，即使是难以移动的构成部件损坏时，也能够移动CCD摄像机140对损坏部件进行摄像。另外，不一定用软线141连接，也可以在CCD摄像机中安装无线电发射器，用无线电向涂敷显影处理装置K1发送摄像信息。也可以在CCD摄像机中设置将摄像信息存储到信息存储介质上的存储部，借助于该信息存储介质将摄像信息提供给涂敷显影处理装置K1。

下面说明另一实施形态。图18是另一实施形态的作为运送装置调整系统的臂位置调整系统的概略结构图。该臂位置调整系统200是用于对后述的在涂敷显影处理装置内设置的运送臂的运送目的地的停止位置进行调整的系统。

臂位置调整系统200例如在晶片制造商的工厂101具有多台涂敷显影处理装置M1～Mn、AGC 104和管理用计算机201，而在装置制造商的卖方102具有主计算机108。涂敷显影处理装置M1～Mn和AGC104设置在工厂101内的超净室R内，管理用计算机201设置在工厂101内的超净室R外。

如在上述实施形态中所述，工厂101的AGC 104与卖方102的主计算机108通过因特网连接，可以互相交换信息。另外，在因特网103的工厂101处和卖方102处，分别设置了未图示的防火墙，以保护各自的终端。工厂101的多台涂敷显影处理装置M1～Mn、AGC 104和管理用计算机201与在工厂101内构建的例如LAN 105连接，可以相互交换信息。

涂敷显影处理装置M1～Mn的结构与上述实施形态的相同。不过，如图19所示，对盒台2设置了涂敷显影处理装置1的后述的控制部203。

在处理台3上设置的主运送单元20例如如图20所示，具有大致为筒状的外壳210，在该外壳210内具有作为运送装置的运送臂211。外壳210在侧面具有开口部210a，运送臂211可以从该开口部210a出入。运送臂211的端部例如形成约为3/4圆环状的大致C形，用该C形部分支撑晶片W。

运送臂211设置在运送底座212上，借助于具有电动机等的第1驱动部213可以在运送底座212上沿开口部210a的方向移动。运送底座212借助于例如具有气缸、驱动带等的第2驱动部214可以在上下方向移动。据此，运送臂211可以在上下方向移动。另外，在外壳210的下部设置了具有使外壳210整体旋转的伺服电动机等的第3驱动部215，外壳210可以旋转到规定的角度。据此，运送臂211可以在规定的水平方向改变方向。根据以上的结构，运送臂211可以进行三维移动。

上述第1驱动部213、第2驱动部214和第3驱动部215由控制部203的后述的控制装置240控制，运送臂211按照控制装置240的控制，运送作为运送对象物的晶片W。即，运送臂211按照控制装置240的指令信号移动至各处理单元内的规定的停止位置，将晶片W交接给各处理单元

另一方面，如图21、22所示，第1处理单元组G1的抗蚀剂涂敷单元21例如具有外壳21a，在该外壳21a内具有抽吸并保持晶片W、使之旋转的旋转吸盘220；包围被旋转吸盘220保持的晶片W的外围、大致为筒状的罩子221；以及作为对晶片W喷射抗蚀剂液的处理液供给构件的抗蚀剂液喷出喷嘴222等。

如图23所示，旋转吸盘220的上表面223形成水平面，在该上表面223的中心设置了用于抽吸晶片W的吸口224。该吸口224构成对运送臂211的运送目的地的停止位置进行调整时的基准。另外，如图21所示，在旋转吸盘220上设置了用于使旋转吸盘220旋转的旋转驱动部230。

抗蚀剂液喷出喷嘴222被喷嘴臂231保持。如图22所示，喷嘴臂231设置在沿Y方向形成的导轨232上，在导轨232上自由移动。另外，喷嘴臂231以在X方向伸缩自如的方式构成。在喷嘴臂231上设置了具备电动机、气缸等的臂驱动部233，它能够实施在导轨232上的移动和在X方向上的伸缩。臂驱动部233例如被后述的控制装置240控制，喷嘴臂231将抗蚀剂液喷出喷嘴222运送至晶片W上的规定位置。

在这样构成的抗蚀剂涂敷单元21中，将抗蚀剂液从抗蚀剂液喷出喷嘴222喷射至用旋转吸盘220使之旋转的晶片W的中心部，借助于该抗蚀剂液在晶片W的表面上进行扩展，在晶片W上形成抗蚀剂膜。

下面对上述的控制部203的结构进行详细说明。如图24所示，控制部203例如由控制装置240、作为发送装置、接收装置的通信装置241、无线电接收装置242和数据存储箱243等构成。

控制装置240对整个涂敷显影处理装置M1、涂敷显影处理装置M1内的各处理单元和运送单元等进行控制。上述的主运送单元20也被控制装置240控制。因此，主运送单元20的运送臂211借助于控制装置240的控制，移动至各处理单元内的规定位置，向各处理单元运送晶片W。控制装置240以3维坐标例如对运送臂211在各处理单元中的晶片W的运送目的地的停止位置进行识别，控制装置240按照晶片处理的往复式发动机将运送臂211移动至各处理单元的上述停止位置的设定坐标。另外，控制装置240还能够根据从通信装置241输出的信息改变上述运送臂211的停止位置的设定坐标。即，通过从外部向通信装置241发送对上述设定坐标进行修正的修正信息，可以改变运送臂211的设定坐标，对其进行调整。

无线电接收装置242能够接收从后述的位置检测用晶片S用无线电发送的、作为检测信息的摄像信息。无线电接收装置242经通信线与控制装置240连接，可以将摄像信息输出至控制装置240一次。

通信装置241例如与LAN 105连接，在它与AGC 104等之间可以交换信息。通信装置241经通信线与控制装置240连接。据此，通信装置241可以将用无线电接收装置242接收到的摄像信息发送至AGC104。通信装置241能够经AGC 104接收来自卖方102的各种信息。

数据存储箱243用于存储控制装置240的各种信息，例如，上述摄像信息可以在规定期间之内存储在数据存储箱243中。

下面说明AGC 104的结构。AGC 104对工厂101内的涂敷显影处理装置M1～Mn进行集中管理，并且经因特网103与卖方102通信。如图25所示，AGC 104例如由通信部250、存储部251、控制部252和输入部253等构成。通信部250例如由调制解调器构成，存储部251例如由RAM构成，控制部252例如由CPU构成，输入部253例如由触摸屏等构成。

通信部250与LAN 105和因特网103连接，可以与涂敷显影处理装置M1～Mn、管理用计算机201和卖方102的主计算机108等进行通信。据此，可以将从涂敷显影处理装置M1接收到的上述摄像信息等发送至主计算机108，另一方面，可以将来自主计算机108的修正信息发送至涂敷显影处理装置M1等之中。

存储部251例如可以存储进行通信的信息。控制部252对AGC 104的整体进行控制，另外，可以执行通信用的程序等。对输入部253例如可以输入用于集中管理涂敷显影处理装置M1～Mn的设定值等。

工厂101的管理用计算机201是为了工厂101的工艺负责人等在超净室R外对涂敷显影处理装置M1～Mn进行管理的计算机，例如，它具有与一般的通用PC(个人计算机)相同的结构。

如上所述，作为卖方102的收取装置、提供装置的主计算机108具有通信部110。该通信部110可以与AGC 104交换规定的信息，AGC104可以向各涂敷显影处理装置M1～Mn的通信装置241发送规定的信息。另外，由通信装置241接收到的信息可以输出至控制装置240，控制装置240可以根据该信息例如改变运送臂211的运送目的地的停止位置的设定坐标。因此，借助于从主计算机108的通信部110发送上述运送臂211的设定坐标的修正信息，可以改变并调整运送臂211的设定坐标。

卖方102的负责人可以利用主计算机108的输入部112输入上述修正信息等。

主计算机108的显示部113可以显示主计算机108所取得的摄像信息等，从而通知卖方102的负责人。

为了调整运送臂211的运送目的地的停止位置，必须检测运送臂211的实际停止位置。为了检测这种停止位置，使用了如图26所示的作为检测用基板的位置检测用晶片S。位置检测用晶片S例如形成为与晶片W相同的形状，可以被运送臂211支撑。在位置检测用晶片S上设置作为检测装置和摄像装置的CCD摄像机260。例如如图27所示，在位置检测用晶片S的中心部设置摄影用孔261。CCD摄像机260朝向下方设置，以使透镜的位置与孔261一致。据此，CCD摄像机260可以从位置检测用晶片S的中心部拍摄下方的图像。因此，被运送臂211指示的位置检测用晶片S例如被运送到抗蚀剂涂敷单元21内，运送臂211停止在作为运送目的地的旋转吸盘220的上方时，可以拍摄该旋转吸盘220的图像，据此，可以得知运送臂211停止的位置。

对CCD摄像机260例如如图26所示，设置用无线电发送拍摄到的摄像信息的无线电发射机262。据此，可以向控制部203的无线电接收装置242发送摄像信息。

以运送臂211在抗蚀剂涂敷单元21内的停止位置的调整为例来说明如上构成的臂位置调整系统200的工作。图28是示出这种停止位置调整过程的协议流程。

首先，工厂101的操作员使位置检测用晶片S被运送臂211支撑。接着使主运送单元20工作，利用控制装置240将运送臂211移动至抗蚀剂涂敷单元21内的作为停止位置的设定坐标，例如设定坐标P1(X1、Y1、Z1)。设定坐标P1(X1、Y1、Z1)例如如图29所示，是旋转吸盘220的上方，按本来的意思，就是以从平面上来看，运送臂211的位置检测用晶片S的中心与旋转吸盘220的上表面223的中心一致的方式设定的位置。运送臂211在设定坐标P1(X1、Y1、Z1)处停止后，用位于位置检测用晶片S的中心部的CCD摄像机260拍摄下方的旋转吸盘220的上表面223。

该摄像信息从无线电发射机262发送至无线电接收装置242。其后，该摄像信息从通信装置241发送至AGC 104，从AGC 104经因特网103发送至卖方102的主计算机108。

由主计算机108的通信部110接收到的摄像信息显示在显示部113上，通知卖方102的负责人。卖方102的负责人根据该摄像信息算出运送臂211停止在设定坐标P1(X1、Y1、Z1)时的位置检测用晶片S的中心位置与旋转吸盘220的吸口224的位置的偏离值。例如，对用CCD摄像机260拍摄到的图像的中心点与映照在图像上的吸口224的位置的偏离进行测定。将如此算出的测定值，例如H(+x，+y，0)作为设定坐标P1(X1、Y1、Z1)的修正值。

例如由卖方102的负责人将算出的修正值输入至输入部112，该修正值被作为修正信息从通信部110发送至AGC 104。所发送的修正信息经因特网103被AGC 104接收，再从AGC 104发送至涂敷显影处理装置M1的通信装置241。用通信装置241接收到的修正信息被输出至控制装置240，用控制装置240设定的设定坐标P1(X1、Y1、Z1)被变更为设定坐标P2(X1+x、Y1+y、Z1)(P2＝P1+H)。据此，可以调整运送臂211的运送目的地的停止位置。其后，再次利用位置检测用晶片S对运送臂211的停止位置进行摄像，确认调整后的位置。在运送臂211的停止位置被修正到恰当位置时结束操作，在未修正到恰当位置时重复上述的操作。

按照以上的实施形态，可以经因特网103由卖方102的负责人进行运送臂211的位置调整。因此，在进行运送臂211的位置调整时，卖方102的负责人无需逐次奔赴工厂101，能够迅速地进行位置调整。另外，由于卖方102的负责人直接向运送臂211的控制装置240内进行存取，所以在对运送臂211的操作需要资格，而且工厂101又没有这样的有资格者的场合，也能够实施位置调整。

另外，由于利用CCD摄像机260对运送臂211的运送目的地的实际停止位置进行摄像，所以卖方102的负责人借助于由视觉捕捉的影像能够容易地算出修正值。

在以上的实施形态中，用无线电发送了位置检测用晶片S的图像信息，但也可以进行有线运送。

另外，也可以将用于检测运送臂211的运送目的地的实际停止位置的CCD摄像机固定设置在涂敷显影处理装置M1的例如处理单元内。图30示出了这种情形的一个例子，拍摄运送来的位置检测用晶片U的CCD摄像机270例如被设置在抗蚀剂涂敷单元21的上部。可以将用CCD摄像机270拍摄到的图像例如发送至上述通信装置241，从那里向卖方102的主计算机108发送，在例如显示部113的画面T中显示。另外，如图31所示，可以在位置检测用晶片U上的半径相同的位置上标以多个标记V。另一方面，如图32所示，在主计算机108所显示的画面T中显示与上述标记V对应的基准标记X。该基准标记X表示位置检测用晶片U的正确的运送目的地的位置。

然后，在调整运送臂211的停止位置时，用运送臂211将位置检测用晶片U运送至抗蚀剂涂敷单元21内，在此，用CCD摄像机270进行摄像。利用通信装置241将该拍摄到的图像发送至卖方102的主计算机108，在显示部113的画面T上显示出来。然后，从卖方102操作运送臂211，移动运送臂211，使标记V与基准标记X一致，如图33所示。这样一来，可以对运送臂211识别正确的运送目的地的停止位置，进行运送臂211的停止位置调整。另外，也可以利用旋转吸盘220将位置检测用晶片U每次旋转规定的角度，在每个角度下用CCD摄像机270进行摄像。然后，也可以确认在半径相同的位置上设置的标记V以各自的角度与基准标记X一致。据此，由于可以检测位置检测用晶片U的微妙的位置偏离，所以可以提高停止位置的调节精度。

另外，在上述实施形态中，用手动方式使位置检测用晶片S被运送臂211支撑，但也可以自动进行。图34示出了这种情形的一个例子，在涂敷显影处理装置M1的盒台2的背面一侧设置了使位置检测用晶片S待机的待机部280。晶片运送单元11可以对该待机部280进行存取。于是，在进行运送臂211的位置调整时，可以利用晶片运送单元11从待机部280中移出位置检测用晶片S，经延伸单元33被交接到主运送单元20中。这样一来，可以使位置检测用晶片S放置到运送臂211上的操作自动化。另外，并非必须对涂敷显影处理装置M1配备操作员，可以通过远程操作进行该位置检测用晶片S的放置操作。另外，也可以从卖方102对晶片运送单元11和运送臂211进行远程操作，这时可以使运送臂211的位置调整完全自动化。

上述实施形态是进行调整的运送臂211的运送目的地为抗蚀剂涂敷单元21的情形，但在运送目的地为其他处理单元，例如是抗蚀剂涂敷单元23，显影处理单元22、24，冷却单元30、31、40，粘附单元32，延伸单元33、42，预烘烤单元34、35，延伸-冷却单元41，后曝光烘烤单元43、44，后烘烤单元45、46，周边曝光单元51等时也可以应用本发明。

特别是在运送目的地是预烘烤单元35、36，后曝光烘烤单元43、44，后烘烤单元45、46，冷却单元30、31、40等有关热处理的单元时，也可以用热板温度测定用夹具作为位置检测用晶片。热板温度测定用夹具例如是其形状与晶片W相同、可以测定所放置的热板的面内温度的夹具。

在用该热板温度测定用夹具进行运送臂211的位置调整时，例如利用运送臂211将热板温度测定用夹具运送到有关热处理的单元的热板上，并将热板温度测定用夹具放置在热板上。然后，利用该热板温度测定用夹具测定热板表面上的温度分布。这时，例如若如图35所示，热板温度测定用夹具L被放置到热板290的恰当的位置上，则热板面内的测定温度的温度分布变得均匀。另一方面，如果热板温度测定用夹具L未被运送至恰当的位置，例如如图36所示，热板温度测定用夹具L被放置在晶片导架291上，则与热板290隔离的部分的测定温度下降，热板290面内的测定温度的温度分布就有偏差。由该温度分布可以知道热板温度测定用夹具L的放置方向。因此，卖方102的负责人可以根据上述温度分布算出运送臂211的移动目的地的修正值。与上述实施形态相同，可以将算出的修正值从卖方102发送至涂敷显影处理装置M1，调整运送臂211的运送目的地的停止位置。这时，由于可以利用用于测定热板温度的夹具来检测运送臂211的实际的运送目的地的停止位置，所以无需使用专用的位置检测用晶片S。因此，可以利用已有的热板温度测定用夹具进行运送臂211的停止位置调整。

在上述实施形态中，利用位置检测用晶片S或CCD摄像机270等进行运送臂211的运送目的地的实际停止位置的检测，但也可用其他方法进行。例如如日本国公开公报特开平2000-349133号公报所述，在涂敷处理单元中，在保持在旋转吸盘上的虚设晶片上，沿X方向移动安装了光电传感器的喷嘴臂，用光电传感器检测虚设晶片的边沿位置。然后，使虚设晶片例如各旋转90度，在各位置上检测虚设晶片的边沿位置。由此检测虚设晶片每转90度的边沿位置和其时的喷嘴臂位置，根据该检测信息可以检测出运送该虚设晶片的运送臂211的运送目的地的停止位置。然后，与上述实施形态相同，可以将该检测信息发送至卖方，根据检测信息从远方调整运送臂的运送位置。

另外，在后曝光烘烤单元43等与热有关的处理单元中，也可以利用附有能够在X方向和θ方向进行扫描的透射型光电传感器的对位用夹具(参照日本国公开公报特开平2000-349133号公报)检测运送臂211的停止位置。用该检测方法时，在利用运送臂211将对位用夹具运送到热板上后，用光电传感器检测位于热板中心的中心针的位置，根据该检测结果，检测出对位用夹具的运送目的地的位置。由此，能够检测出运送臂211的运送目的地的停止位置。然后，与上述实施形态相同，将该检测出的检测信息发送至卖方，根据检测信息从远方调整运送臂的运送位置。

另外，也可以将上述光电传感器安装在运送臂211上，用以检测运送臂211的停止位置(参照日本国公开公报特开平2000-349133号公报)。另外，也可以借助于在运送臂211上安装可在上下方向摆动的CCD摄像机，用该CCD摄像机检测中心针的位置，来检测运送臂211的停止位置(参照日本国公开公报特开平2000-349133号公报)。

虽然在上述实施形态中将本发明应用于具有运送臂211的主运送单元20的位置调整，但本发明也可应用于运送晶片W的其他运送单元，例如晶片运送单元11、50。

另外，在以上的实施形态中虽然示出了运送晶片W的运送装置的调整例，但也可将本发明应用于运送其他运送对象物的运送装置，例如运送抗蚀剂涂敷单元21的抗蚀剂液喷出喷嘴222的喷嘴臂231。

为了实施这样的例子，例如如图37所示，在抗蚀剂涂敷单元21的上部设置可以对旋转吸盘220上的晶片W进行摄像的CCD摄像机300。用该CCD摄像机300拍摄到的摄像信息可以输出至控制部203的通信装置241。

然后，利用喷嘴臂231将抗蚀剂液喷出喷嘴222移动至作为运送目的地的晶片W的中心部上方。接着用旋转吸盘220使晶片W旋转，并从抗蚀剂液喷出喷嘴222向该旋转的晶片W上喷射抗蚀剂液。这时，用CCD摄像机300拍摄抗蚀剂液对晶片W的喷射位置，与上述实施形态相同，将该摄像信息从通信装置241经因特网103发送至卖方102。卖方102的负责人根据该摄像信息确认抗蚀剂液的喷射位置，当喷射位置偏离晶片W的中心时，算出使喷射位置为晶片W的中心部的喷嘴臂231的停止位置的修正值。与上述实施形态相同，将该修正值作为修正信息发送至涂敷显影处理装置M1的控制装置240，调整喷嘴臂231的停止位置。据此，可以由卖方的负责人迅速而恰当进行喷嘴臂231的位置调整。

另外，在上述实施形态中，对抗蚀剂液喷出喷嘴222的运送装置进行了说明，但本发明也可以应用于其他喷嘴，例如用于在对晶片W喷吐抗蚀剂液之前供给溶剂的溶剂供给喷嘴、用于供给显影液的显影液供给喷嘴、用于清洗晶片W的清洗液供给喷嘴等的运送装置。

以上的实施形态虽然是涉及涂敷显影处理装置的实施形态，但也可以对其他处理装置，例如曝光装置、刻蚀装置、检测装置等应用本发明。例如也可以将臂位置调整系统200应用于涂敷显影处理装置以外的其他处理装置。另外，上述的臂位置调整系统200也可应用于上述多个种类的处理装置。还有，臂位置调整系统200也能够应用于成为臂位置调整对象的处理装置在多处工厂中的情形。另外，卖方102的主计算机108也可以不是设置在一处，而是设置在多处。

另外，本发明虽然被应用到了晶片处理装置上，但也可以应用于晶片以外的基板，例如LCD基板、光掩模用的掩模原版基板等的处理装置。

工业上的可利用性

在消除制造半导体器件等的装置中所发生的不良情况时有用。

Claims (9)

1. 一种运送装置调整系统，它是对用于运送基板运送对象物的运送装置的运送目的地的停止位置进行调整的运送装置调整系统，其特征在于：

上述运送装置被安装在基板处理装置中，

在设置上述处理装置的工厂设置有：

控制上述运送装置的停止位置的控制装置；以及

检测上述运送装置的运送目的地的实际停止位置的检测装置，

在上述处理装置的卖方设置有：

经因特网取得由上述检测装置检测出的检测信息的取得装置；以及

经因特网向上述处理装置提供根据上述已取得的检测信息推得的、用于对上述运送装置的停止位置进行修正的修正信息的提供装置。

2. 如权利要求1所述的运送装置调整系统，其特征在于：

上述提供装置经上述因特网直接向上述控制装置输出上述修正信息，直接对上述运送装置的运送目的地的停止位置进行修正。

3. 如权利要求1所述的运送装置调整系统，其特征在于：

上述检测装置具有摄像装置。

4. 如权利要求1所述的运送装置调整系统，其特征在于：

上述运送装置进一步用于运送向基板供给处理液的处理液供给构件。

5. 如权利要求3所述的运送装置调整系统，其特征在于：

上述摄像装置设置在与基板形状相同的检测用基板上。

6. 如权利要求3所述的运送装置调整系统，其特征在于：

上述摄像装置固定地设置在上述处理装置内，以便能够拍摄运送至上述运送装置的停止位置上的检测用基板，

在上述检测用基板上附以用于在上述摄像装置的图像上识别该检测用基板的运送后的位置的标记，

在显示上述摄像装置的图像的画面上显示调整上述运送装置的停止位置时的基准标记。

7. 如权利要求5所述的运送装置调整系统，其特征在于：

在上述处理装置中设置使上述检测用基板待机的待机部，

上述运送装置能够将待机的上述检测用基板运送至上述待机部。

8. 如权利要求6所述的运送装置调整系统，其特征在于：

在上述处理装置中设置使上述检测用基板待机的待机部，

上述运送装置能够将待机的上述检测用基板运送至上述待机部。

9. 一种基板处理装置，它是具有用于运送基板或处理液供给构件运送对象物的运送装置的基板处理装置，其特征在于：

具有：

控制上述运送装置的运送目的地的停止位置的控制装置；

检测上述运送装置的运送目的地的实际停止位置的检测装置；

经因特网向上述处理装置的卖方发送由上述检测装置检测出的检测信息的发送装置；以及

经因特网接收根据上述发送出的检测信息推得的、用于对上述运送装置的运送目的地的停止位置进行修正的修正信息的接收装置。

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