JPH0887319A - 半導体製造装置の集中操作監視システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置を小型化してレイアウトの自由度を増
し、配線を簡略化し、顧客毎のシステムへの対応を容易
にしてコストを低減することができる半導体製造装置の
集中操作監視システムに提供する。 【構成】 各パネルイメージの表示データを作成する表
示手段１２と、表示に必要なパラメータを格納したメモ
リ１３と、主制御部１１とを備えた主制御ユニット１
と、表示装置６と入力デバイス７とを組み合わせた操作
パネル８と、主制御ユニット１と操作パネル８とを接続
するＧＵＩ９とを設け、表示装置６に各パネルの画像イ
メージをウインドウを開くように表示させ、操作者が画
像イメージを入力デバイス７によって操作して入力した
入力データをＧＵＩ９によって変換して主制御部１１へ
送出して、主制御部１１が種々の制御を行う半導体製造
装置の集中操作管理システムとしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置の操作
監視システムに係り、特に、装置を小型化してレイアウ
トの自由度を増し、配線を簡略化して保守作業等を軽減
し、また、顧客毎のシステムへの対応を容易にしてコス
トを低減することができる半導体製造装置の集中操作監
視システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のＣＶＤ装置等の半導体製造装置の
操作監視システムとしては、図６に示すようなものがあ
った。図６は、従来の半導体製造装置の操作監視システ
ムの構成ブロック図である。図６に示すように、従来の
半導体製造装置の操作監視システムは、主制御ユニット
１′と、メカ制御ユニット２と、主操作パネル３と、ガ
スパタンパネル４と、ローダパネル５とから構成されて
いる。

【０００３】そして、主制御ユニット１′は、主操作パ
ネル３、ガスパタンパネル４からの入力データに基づい
て、メカ制御ユニット２や、下位の制御システム（図示
せず）に指示して、半導体製造装置全体の制御を行い、
また、下位の制御システムからフィードバックされた装
置の動作状態（エラー等）を各操作パネルにおいて表示
させるようになっていた。また、メカ制御ユニット２
は、ローダパネル５からの入力データに基づいて搬送装
置の制御を行い、搬送装置の動作状況をローダパネル５
に表示させるものである。

【０００４】次に、各構成部分について図７、図８、図
９を用いて具体的に説明する。図７は、主操作パネル３
の外観説明図であり、図８は、ガスパタンパネルの外観
説明図であり、図９は、ローダパネルの外観説明図であ
る。主操作パネル３は、装置全体の状況設定／監視、レ
シピの作成／編集等を行う操作パネルであり、図７に示
すように、６２×２０キャラクタのＥＬディスプレイ３
１と、機能選択タッチキー３２と、データ入力タッチキ
ー３３と、ＩＣカードスロット３４が設けられている。

【０００５】ガスパタンパネル４は、ガスフローの監視
／制御を行うパネルであり、図８に示すように、パネル
上に顧客システムに合わせたガスフローパターン及び文
字が印刷されており、装置内のセンサ等に対応するパネ
ル上の位置にＬＥＤ付きスイッチ４１を配置している。
ＬＥＤの点灯により、ガスフローの状況を表示し、スイ
ッチはガスフロー監視の設定を行う際のキーとして使用
するものである。

【０００６】ローダパネル５は、ウエハカセットの搬送
を行う搬送装置（ローダ）の操作を行うパネルであり、
図９に示すように、主制御ユニット１′やメカ制御ユニ
ット２からのメッセージを表示する４０×２キャラクタ
のメッセージ表示ＬＣＤ５１と、ローダを指定するロー
ダ指定スイッチ５２と、ローダの動作を指示するローダ
操作スイッチ５３とが設けられている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の半導体製造装置の操作監視システムでは、３つの操
作パネルがあるため装置全体が大きく、装置のレイアウ
トの自由度が小さくなって不便であり、また、各操作パ
ネルと制御ユニット間のケーブル数が多く、組み付け、
検査、保守作業が煩雑になってしまうという問題点があ
った。

【０００８】更に、上記従来の半導体製造装置の操作監
視システムでは、顧客毎に要求されるシステムが異なる
ため、パネル面への画面表示方法や、制御ユニット内の
ロジックＩＣ、ソフトウエア等を顧客毎に個別に対応す
る必要があり、装置コストが高くなってしまうという問
題点があった。

【０００９】本発明は上記実情に鑑みて為されたもの
で、装置を小型化してレイアウトの自由度を増し、配線
を簡略化して保守作業等を軽減し、また、顧客毎のシス
テムへの対応を容易にしてコストの低減を図ることがで
きる半導体製造装置の集中操作監視システムを提供する
ことを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記従来例の問題点を解
決するための本発明は、半導体製造装置の各部の制御を
行う下位システムに接続する主制御ユニットと、グラフ
ィカルユーザーインターフェイスを介して前記主制御ユ
ニットに接続する表示装置と入力デバイスとを具備する
操作パネルとを有する半導体製造装置の集中操作監視シ
ステムであって、前記主制御ユニット内に、主操作表示
用の画面パタン、ガスパタン表示用の画面パタン、ロー
ダ表示用の画面パタンを記憶するメモリと、前記メモリ
から前記主操作表示用の画面パタンを読み込んで前記表
示装置に表示させる主操作表示手段、前記メモリから前
記ガスパタン表示用の画面パタンを読み込んで前記表示
装置に表示させるガスパタン表示手段、前記メモリから
前記ローダ表示用の画面パタンを読み込んで前記表示装
置に表示させるローダ表示手段を具備する表示手段と、
前記下位システムからのデータを前記表示装置へ出力
し、前記入力デバイスからのデータを前記下位システム
又は前記表示装置に出力する主制御部とを有し、前記表
示手段が、前記グラフィカルユーザーインターフェイス
を介して主操作表示用の画面上にガスパタン表示用の画
面又はローダ表示用の画面を開くよう表示させる手段で
あることを特徴としている。

【００１１】

【作用】本発明によれば、表示手段が、主操作表示用の
画面パタンをメモリから読み込んで表示装置に表示させ
る主操作表示手段、ガスパタン表示用の画面パタンをメ
モリから読み込んで表示装置に表示させるガスパタン表
示手段、ローダ表示用の画面パタンをメモリから読み込
んで表示装置に表示させるローダ表示手段を有し、主制
御部が各部へのデータの入出力の制御を行い、更に表示
手段が、グラフィカルユーザーインターフェイスを介し
て主操作表示用の画面上にガスパタン又はローダの表示
用の画面を開くよう表示させる半導体製造装置の集中操
作監視システムとしているので、容易に装置の小型化を
図ることができる。

【００１２】

【実施例】本発明の一実施例について図面を参照しなが
ら説明する。図１は、本発明の一実施例に係る半導体製
造装置の集中操作監視システムの構成ブロック図であ
る。本実施例の集中操作監視システムは、操作パネルの
表示画面に主操作パネル、ガスパタンパネル、ローダパ
ネルの各パネルイメージを表示させ、画面に重なるよう
に設けられたタッチキー等の入力デバイスで、表示イメ
ージを直接操作することにより、従来、３つの操作パネ
ルで行っていた操作を、単一の操作パネル上で行うよう
にしたものである。

【００１３】図１に示すように、本実施例の集中操作監
視システムは、パネルイメージを表示する表示装置６
と、表示装置６の上に設けられたタッチパネル等の入力
デバイス７とから成る操作パネル８と、表示装置６への
表示データの作成や、上位及び下位システムとの交信を
行う主制御ユニット１と、主制御ユニット１と操作パネ
ル８を接続するＧＵＩ（Graphical User Interface）９
とから構成されている。主制御ユニット１は、ＨＯＳＴ
通信によって上位システム２０及び下位システム２１と
接続されている。

【００１４】また、主制御ユニット１は、主制御部１１
と、表示データを作成する表示手段１２と、各表示イメ
ージのフォーマット（画面パタン）等のパラメータを格
納するメモリ１３とから構成され、更に、表示手段１２
は、主操作表示手段１２ａと、ガスパタン表示手段１２
ｂと、ローダ表示手段１２ｃとから構成されている。

【００１５】次に、各構成部分について図１及び図２を
用いて具体的に説明する。図２は、本実施例の操作パネ
ル８の外観説明図である。主制御ユニット１の主制御部
１１は、入力デバイス７からのデータを読み取って、こ
れに基づいて表示手段１２にデータを送出して各パネル
イメージ（画面パタン）を表示させたり、下位システム
２１に対して制御を行い、また、逆に下位システム２１
からのデータに基づいて表示手段１２に指示を出し、表
示装置６において装置状態やメッセージを表示させるも
のである。

【００１６】メモリ１３は、表示装置６に描画する各パ
ネルイメージのフォーマット、サイズ等のデータや、ガ
スパタンフォーマット等の顧客システム固有のデータ
や、ウインドウの表示位置等、表示に必要な各パラメー
タを格納している。

【００１７】表示手段１２は、表示装置６に描画させる
パネルイメージやメッセージ等の表示データを作成する
手段であり、メモリ１３内のパラメータと、主制御部１
１から送出される下位システムからのデータ等に基づい
て表示データを作成するものである。

【００１８】そして、表示手段１２の内、主操作表示手
段１２ａは、主操作表示パネルの表示データを作成し、
ガスパタン表示手段１２ｂは、ガスパタンパネルの表示
データを作成し、ローダ表示手段１２ｃは、ローダパネ
ルの表示データを作成するものである。

【００１９】また、表示手段１２は、主操作表示手段１
２ａ、ガスパタン表示手段１２ｂ、ローダ表示手段１２
ｃで作成されたデータをメモリ１３から画面パタンのパ
ラメータを読み込んで各表示用画面を作成し、後述する
ＧＵＩ９の処理に伴って、表示装置６へグラフィックな
画面を表示させるものである。

【００２０】更に、表示手段１２は、主操作表示手段１
２ａによって作成した主操作表示用画面を主として、そ
の画面上にガスパタン表示手段１２ｂ又はローダ表示手
段１２ｃによって作成されたガスパタン表示用画面又は
ローダ表示用画面を独立したウインドウとして開くよう
にＧＵＩ９の処理を介して表示装置６に表示させるもの
である。上記表示処理は、画面上に複数のファイルを順
にウインドウとして開いて表示させる一般的な動作処理
と同様である。

【００２１】また、操作パネル８の表示装置６は、表示
手段１２から送出される表示データに基づいてパネルイ
メージ（画面パタン）等を表示するものであり、表示装
置６としては、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）、ＬＣＤ
（Liquid-Crystal Display）、ＬＥＤＤ（LED Display
）、ＥＬＤ（Electro Luminescence Display）等の表
示装置で、６４０×４００ドット、カラー１６色以上、
または、モノクロ８階調以上の機能を有するものが考え
られる。

【００２２】入力デバイス７は、表示装置６の表示画面
上に重ねて設けられた透視型点入力デバイスであり、操
作者が、表示装置６の画面に画像として表された操作ボ
タンや入力キーを入力デバイス７を通して見ながら、そ
の操作ボタンや入力キーを直接押下するイメージで入力
操作を行うものである。入力デバイス７としては、６４
０×４００ドット以上の分解能を有する抵抗被膜型タッ
チシート、電磁誘導型透明タブレット、超音波マトリク
スタッチパネル等を用いることが可能である。

【００２３】本実施例の操作パネル８では、図２に示す
ように、ＴＦＴカラー液晶（９．４インチ、６４０×４
８０ドット、２５６色）１６にアナログタッチシート
（分解能；１０２４×１０２４ドット）１７を貼り合わ
せ、画面と操作キーとが同位置に重なるようにしてい
る。

【００２４】また、ＧＵＩ（Graphical User Interfac
e）９は、主制御ユニット１と、表示装置６とを接続す
るものであり、マルチタスク環境、マルチウインドウ環
境を提供する機能を備えている。そして、表示手段１２
から送出された表示データに基づいて、各パネルイメー
ジをそれぞれ独立したウインドウとして表示させるデー
タに変換し、表示装置６に送出する。また、表示装置６
上の表示画面と入力デバイス７からの入力信号とを対応
付け、入力信号を読み取って主制御部１１に入力データ
として送出するようになっている。

【００２５】そして、上記構成の本実施例の集中操作監
視システムにおいて、操作者が入力デバイス７から入力
したデータをＧＵＩ９が読み取って主制御部１１に送出
し、主制御部１１は、この入力データを読み取って下位
制御システム２１に指示を送出して制御を行ったり、ま
た、表示手段１２に表示の指示を出力する。そして、各
表示手段１２ではメモリ１３内のパラメータ等を参照し
て表示データを作成し、ＧＵＩ９を介して表示装置６へ
表示データを送出し、表示装置６で各パネルイメージの
ウインドウを表示させるようになっている。

【００２６】例えば、入力デバイス７から「ガスパタン
パネル表示」の指示が入力された場合には、主制御部１
１は、表示手段１２のガスパタン表示手段１２ｂに、表
示の指示や、下位制御システム２１から送られたガス流
量等のモニタデータを送出し、ガスパタン表示手段１２
ｂは、メモリ１３内のパラメータや主制御部１１からの
データに基づいて表示データを作成してＧＵＩ９を介し
て表示部６に表示データを送出し、ガスパタンパネルの
ウインドウを開いて表示させる。

【００２７】従って、操作者は、従来の操作パネルに設
けられていたスイッチや入力キーを押下するのと同様
に、表示装置６のウインドウに画像イメージとして表示
されている主操作、ガスパタン、ローダの各パネルイメ
ージに付随する操作ボタンイメージ（実際には操作ボタ
ンイメージ上の入力デバイス７）を直接押下することに
より、従来と同様のパネル操作を行うことができるもの
である。

【００２８】次に、本実施例の半導体製造装置の集中操
作監視システムにおける表示例について図３（ａ）及び
（ｂ）を用いて説明する。図３（ａ）は、タイル型ウイ
ンドウによる表示例を示す説明図であり、図３（ｂ）は
オーバーラップ型ウインドウによる表示例を示す説明図
である。図３（ａ）に示すように、タイル型ウインドウ
では、主操作パネルウインドウ、ガスパタンパネルウイ
ンドウ、ローダパネルウインドウが重ならないように表
示されており、図３（ｂ）に示すように、オーバーラッ
プ型ウインドウでは、主操作パネルウインドウの上にガ
スパタンパネルウインドウが表示され、更にその上にロ
ーダパネルウインドウが表示されている。また、数字等
の入力キーは、ポップアップウインドウとして表示させ
るようになっている。いずれの表示例においても、画面
に表示された操作ボタンイメージ２２を押下して操作を
行うことができるものである。

【００２９】本実施例の半導体製造装置の集中操作監視
システムによれば、主操作パネル、ガスパタンパネル、
ローダパネルの各パネルイメージの表示データを作成す
る表示手段１２と、表示に必要なパラメータを格納した
メモリ１３と、表示手段や下位システムの制御を行う主
制御部１１とを備えた主制御ユニット１と、表示装置６
と入力デバイス７とを組み合わせた操作パネル８と、主
制御ユニット１と操作パネル８とを接続するＧＵＩ９と
を設けているので、表示装置６に各パネルの画像イメー
ジを表示させ、操作者が画像イメージを入力デバイス７
によって操作して入力した入力データをＧＵＩ９によっ
て変換して主制御部１１へ送出して、種々の制御を行う
ことができ、操作パネルの数を削減してパネル面積を大
幅に（最大７０％程度）削減し、装置を小型化してレイ
アウトの自由度を増し、空間を有効に利用することがで
きる効果がある。

【００３０】また、操作パネルと主制御ユニットとの間
の配線を、従来の１／１０／〜１／２０程度と、大幅に
簡略化して組み付けや保守等の作業を軽減することがで
きる効果がある。

【００３１】また、従来は、顧客のシステムに合わせて
パネル面への印刷パターンやロジックＩＣ等を顧客毎に
変更していたが、本実施例によれば、顧客毎の個別対応
をソフトウエアで管理するパラメータの変更のみで行う
ことができ、装置コストを低減することができる効果が
ある。

【００３２】次に、本発明の別の実施例の半導体製造装
置の集中操作監視システムについて図４を用いて説明す
る。図４は、別の実施例の集中操作監視システムの構成
ブロック図であり、図５は、別の実施例のグラフ表示の
表示例を示す説明図である。別の実施例は、主制御ユニ
ット１の中に第２のメモリ１４を設け、下位制御システ
ム２１から送られてくるガス流量や温度等のデータを第
２のメモリ１４に格納しておき、表示手段１２が操作者
の要求に従って第２のメモリ１４内のデータに基づいて
装置状態をグラフや表として表示するものである。

【００３３】別の実施例では、主制御部１１は、下位シ
ステム２１からデータを受信すると、第２のメモリ１４
に格納しておき、入力デバイス７から装置状態表示の指
示が入力された場合に、主制御部１１は、表示手段１２
に対してグラフ表示の指示を出力し、表示手段１２は、
第２のメモリ１４から必要なデータを読み出してグラフ
を作成し、ＧＵＩ９を介して表示装置６へ送出する。そ
して、図５に示すように、表示装置６において、装置状
態をグラフや表として表示するようになっている。尚、
その他の各部は、図１〜図３の実施例の各部と同様のも
のである。

【００３４】別の実施例によれば、下位制御システム２
１からの装置状態のデータを第２のメモリ１４に格納し
ておき、表示手段１２が、第２のメモリ１４に格納され
たデータに基づいてグラフや表を作成し、表示装置６に
表示させるようにしているので、装置状態をより分かり
やすく表示することができ、また、データ表現方法の自
由度を向上させることができる効果がある。

【００３５】

【発明の効果】本発明によれば、表示手段が、主操作表
示用の画面パタンをメモリから読み込んで表示装置に表
示させる主操作表示手段、ガスパタン表示用の画面パタ
ンをメモリから読み込んで表示装置に表示させるガスパ
タン表示手段、ローダ表示用の画面パタンをメモリから
読み込んで表示装置に表示させるローダ表示手段を有
し、主制御部が各部へのデータの入出力の制御を行い、
更に表示手段が、グラフィカルユーザーインターフェイ
スを介して主操作表示用の画面上にガスパタン又はロー
ダの表示用の画面を開くよう表示させる半導体製造装置
の集中操作監視システムとしているので、容易に装置の
小型化を図ることができ、従ってレイアウトの自由度を
増し、配線を簡略化して保守作業等を軽減し、また、顧
客毎のシステムへの対応を可能とし、コストを低減でき
る効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る半導体製造装置の集中
操作監視システムの構成ブロック図である。

【図２】本実施例の操作パネル８の外観説明図である。

【図３】（ａ）は、本実施例のタイル型ウインドウによ
る表示例を示す説明図であり、（ｂ）はオーバーラップ
型ウインドウによる表示例を示す説明図である。

【図４】別の実施例の集中操作監視システムの構成ブロ
ック図である。

【図５】別の実施例のグラフ表示の表示例を示す説明図
である。

【図６】従来の半導体製造装置の操作監視システムの構
成ブロック図である。

【図７】従来の半導体製造装置の操作監視システムの主
操作パネル３の外観説明図である。

【図８】従来の半導体製造装置の操作監視システムのガ
スパタンパネルの外観説明図である。

【図９】従来の半導体製造装置の操作監視システムのロ
ーダパネルの外観説明図である。

【符号の説明】

１…主制御ユニット、 ２…メカ制御ユニット、 ３…
主操作パネル、 ４…ガスパタンパネル、 ５…ローダ
パネル、 ６…表示装置、 ７…入力デバイス、 ８…
操作パネル、 ９…ＧＵＩ、 １１…主制御部、 １２
…表示手段、１３…メモリ、 １４…第２のメモリ、
１６…ＴＦＴカラー液晶ディスプレイ、 １７…アナロ
グタッチシート、 ２０…上位システム、 ２１…下位
システム、 ２２…操作ボタンイメージ、 ３１…ＥＬ
ディスプレイ、 ３２…機能選択タッチキー、 ３３…
データ入力タッチキー、 ４１…ＬＥＤ付きスイッチ、
５１…メッセージ表示ＬＣＤ、 ５２…ローダ指定スイ
ッチ、 ５３…ローダ操作スイッチ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 塚田 和徳 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内 (72)発明者 横川 和弘 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体製造装置の各部の制御を行う下位
   システムに接続する主制御ユニットと、グラフィカルユ
   ーザーインターフェイスを介して前記主制御ユニットに
   接続する表示装置と入力デバイスとを具備する操作パネ
   ルとを有する半導体製造装置の集中操作監視システムで
   あって、前記主制御ユニット内に、主操作表示用の画面
   パタン、ガスパタン表示用の画面パタン、ローダ表示用
   の画面パタンを記憶するメモリと、前記メモリから前記
   主操作表示用の画面パタンを読み込んで前記表示装置に
   表示させる主操作表示手段、前記メモリから前記ガスパ
   タン表示用の画面パタンを読み込んで前記表示装置に表
   示させるガスパタン表示手段、前記メモリから前記ロー
   ダ表示用の画面パタンを読み込んで前記表示装置に表示
   させるローダ表示手段を具備する表示手段と、前記下位
   システムからのデータを前記表示装置へ出力し、前記入
   力デバイスからのデータを前記下位システム又は前記表
   示装置に出力する主制御部とを有し、前記表示手段が、
   前記グラフィカルユーザーインターフェイスを介して主
   操作表示用の画面上にガスパタン表示用の画面又はロー
   ダ表示用の画面を開くよう表示させる手段であることを
   特徴とする半導体製造装置の集中操作監視システム。