JP2009164633A - 被処理体の処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 運転レシピに基づいて複数のチャンバで被処理体を処理する処理装置において、前記被処理体を処理する各チャンバのチャンバイメージと、前記各チャンバに対する前記被処理体の搬送順位及び各チャンバに前記被処理体を処理するプロセス条件を入力するための入力画面とを少なくとも含む、前記運転レシピを作成するための運転レシピ作成画面を表示する表示手段と、任意のチャンバを指定するための指定情報、前記運転レシピの作成開始又は終了および前記チャンバにおける各プロセス条件をそれぞれ入力する入力手段と、前記入力手段、前記表示手段に結合された制御手段とを備え、前記制御手段は、前記表示手段に前記チャンバイメージと共に、前記入力画面を含む運転レシピ作成画面を表示する。
【選択図】 図1
Description
前記表示手段に前記複数のチャンバイメージ、前記アイコン、前記入力画面を表示して、前記入力手段による指定情報より前記アイコンで前記表示された複数のチャンバイメージの中から所定のチャンバイメージを順次指定して、この指定順序を前記複数のチャンバに対する前記被処理体の搬送順序として前記記憶手段に記憶させ、前記アイコンで指定された指定チャンバのプロセス条件の入力を前記入力画面上で促し、入力されたプロセス条件を前記指定チャンバと関連づけて前記記憶部に記憶させ、前記被処理体の処理に必要なチャンバ分だけ前記チャンバの指定および指定チャンバのプロセス条件の入力を繰り返して、前記指定されたチャンバに対する前記被処理体の搬送順序、および指定された各チャンバのプロセス条件を時系列的に定めた前記運転レシピを前記記憶部に作成するものであることを特徴とする被処理体の処理装置である。
チャンバ 名称
CM1 第1カセット室
CM2 第2カセット室
PM1 第1処理プロセス室
PM2 第2処理プロセス室
CS1 第1冷却プロセス室
CS2 第2冷却プロセス室
TR 搬送室
WF ウェーハ
体31の正面には、オペレータが装置を操作するための操作画面やオペレータが運転レシピを作成するための運転レシピ作成画面等を表示するための表示画面34が設けられている。
定することにより、単位時間当たりのウェーハ処理枚数を向上させることが可能となる。この図では、運転レシピの作成が完了しているので、次ウェーハ処理開始遅延時間指定部47は「0」となっているが、今回のアイコンWによるウェーハWFの単位レシピ作成が完了し、次回のアイコンWによる次ウェーハの単位レシピを作成する時点で、表示されている必要がある。なお、タクト制御時間及び次ウェーハ処理開始遅延時間は、全てのウェーハに対し、同一の処理を行う場合において有効なので、個々のウェーハについて別々の処理を指定する場合には、設定値によって品質に悪影響を及ぼすこともあるので、この場合はタクト制御時間指定部45及び次ウェーハ処理開始遅延時間47を「0」とする。
ロセス指定部44のプロセス順序番号指定部44(1)の行で指定された搬送順序・プロセスにしたがって、同じ処理を連続して行うようになる。すなわち、カセットにカセットスロット1番目から25番目までウェーハが収納されている場合に、ウェーハはカセットスロット位置の1番目から順に、ウェーハ処理上段位置、ウェーハ処理下段位置の順に搬送され、プロセス処理がなされる。同一の処理がウェーハ25枚分について繰り返される。通常は、この連続処理となる。
に○印を付してある有効な搬送組合わせが指定されると、当該指定された搬送経路に必要な搬送プログラムが制御部61に送られる。しかし、実際には取り得ない×印を付した無効な搬送組合わせが指定されると、制御部61には搬送プログラムは送られない。搬送組合わせの指定は、搬送元チャンバと搬送先チャンバとを指定することによって行われる。図では、「CM1→PM1」、「PM1→CM1」、「CS1→CM1」などが取り得る搬送組合わせとして示してある。取り得ない搬送組合わせとしては、処理プロセス室PM1からダイレクトにカセット室CM1へ搬送する経路「PM1→CM1」、あるいはカセット室CM1からダイレクトに冷却室CS1に搬送する経路「CM1→CS1」などを挙げてある。
した合計時間を、次回のウェーハについての次ウェーハ処理開始遅延時間として指定することができる。この指定は、プロセス室PM1からプロセス室CS1にアイコンWを移動した時点で、次ウェーハ処理開始遅延時間指定部47に表示させることで指定できる。指定された次ウェーハ処理開始遅延時間は、次回のウェーハの単位レシピ作成時に有用となる。
セットに挿入されている全てのウェーハ処理に必要なトータルの時間を表示させるようにしたので、図24に示すように画面に単位処理時間表示部を設けていないものに比べて、1カセット単位の処理を終えるまでに要する単位処理時間を容易に知ることができる。
43 取出しカセット室指定部
44 搬送順序指定部
442〜445 プロセス室単位指定部
446 回収カセット指定部
50 入力画面
CM1 第1カセット室
CM2 第2カセット室
CS1 第1冷却プロセス室
CS2 第2冷却プロセス室
PM1 第1処理プロセス室
PM2 第2処理プロセス室
TR 搬送室
W アイコン
Claims (4)
- 運転レシピに基づいて複数のチャンバで被処理体を処理する処理装置において、
前記被処理体を処理する各チャンバのチャンバイメージと、前記各チャンバに対する前記被処理体の搬送順位及び各チャンバに前記被処理体を処理するプロセス条件を入力するための入力画面とを少なくとも含む、前記運転レシピを作成するための運転レシピ作成画面を表示する表示手段と、
任意のチャンバを指定するための指定情報、前記運転レシピの作成開始又は終了および前記チャンバにおける各プロセス条件をそれぞれ入力する入力手段と、
前記入力手段、前記表示手段に結合された制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記表示手段に前記チャンバイメージと共に、前記入力画面を含む運転レシピ作成画面を表示する被処理体の処理装置。 - 前記チャンバイメージから任意のチャンバを指定するためのアイコンを更に備え、前記運転レシピの作成開始が選択されると、前記チャンバイメージ上にアイコンを表示する請求項1記載の被処理体の処理装置。
- 前記指定情報により前記チャンバイメージの中から所定のチャンバイメージが指定されると、前記アイコンで指定された指定チャンバに応じたプロセス条件の入力を前記運転レシピ作成画面上で促す請求項2記載の被処理体の処理装置。
- 前記被処理体の処理に必要なチャンバ分だけ前記チャンバの指定および前記チャンバのプロセス条件の入力が繰り返されると、前記被処理体の搬送順位及び各チャンバに応じた前記被処理体を処理するプロセス条件の入力を完了し、前記入力手段による前記運転レシピの作成終了が選択されると、前記チャンバイメージ上のアイコンを消去する請求項3記載の被処理体の処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009098861A JP5054722B2 (ja) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | 被処理体の処理装置及び半導体デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009098861A JP5054722B2 (ja) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | 被処理体の処理装置及び半導体デバイスの製造方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001253022A Division JP4358465B2 (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | 被処理体の処理装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009164633A true JP2009164633A (ja) | 2009-07-23 |
JP5054722B2 JP5054722B2 (ja) | 2012-10-24 |
Family
ID=40966796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009098861A Expired - Lifetime JP5054722B2 (ja) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | 被処理体の処理装置及び半導体デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5054722B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015128326A (ja) * | 2013-03-29 | 2015-07-09 | パナソニック インテレクチュアル プロパティ コーポレーション オブアメリカPanasonic Intellectual Property Corporation of America | 情報端末のプログラム、制御方法及び情報端末 |
WO2020059343A1 (ja) * | 2018-09-20 | 2020-03-26 | 株式会社Screenホールディングス | レシピ表示装置、レシピ表示方法、およびレシピ表示プログラム |
US10928806B2 (en) | 2017-03-15 | 2021-02-23 | Tokyo Electron Limited | Device for controlling substrate processing apparatus and method for displaying substrate processing |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0887319A (ja) * | 1994-09-14 | 1996-04-02 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置の集中操作監視システム |
JPH10321697A (ja) * | 1997-05-20 | 1998-12-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置の操作パネル |
JPH11195573A (ja) * | 1998-01-05 | 1999-07-21 | Kokusai Electric Co Ltd | 固体デバイス製造装置 |
JP2000077288A (ja) * | 1998-09-01 | 2000-03-14 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造方法及び半導体製造装置 |
-
2009
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0887319A (ja) * | 1994-09-14 | 1996-04-02 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置の集中操作監視システム |
JPH10321697A (ja) * | 1997-05-20 | 1998-12-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置の操作パネル |
JPH11195573A (ja) * | 1998-01-05 | 1999-07-21 | Kokusai Electric Co Ltd | 固体デバイス製造装置 |
JP2000077288A (ja) * | 1998-09-01 | 2000-03-14 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造方法及び半導体製造装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015128326A (ja) * | 2013-03-29 | 2015-07-09 | パナソニック インテレクチュアル プロパティ コーポレーション オブアメリカPanasonic Intellectual Property Corporation of America | 情報端末のプログラム、制御方法及び情報端末 |
US10719196B2 (en) | 2013-03-29 | 2020-07-21 | Panasonic Intellectual Property Corporation Of America | Method for controlling information apparatus, computer-readable recording medium, and method for providing information |
US10928806B2 (en) | 2017-03-15 | 2021-02-23 | Tokyo Electron Limited | Device for controlling substrate processing apparatus and method for displaying substrate processing |
WO2020059343A1 (ja) * | 2018-09-20 | 2020-03-26 | 株式会社Screenホールディングス | レシピ表示装置、レシピ表示方法、およびレシピ表示プログラム |
JP2020047853A (ja) * | 2018-09-20 | 2020-03-26 | 株式会社Screenホールディングス | レシピ表示装置、レシピ表示方法、およびレシピ表示プログラム |
TWI743532B (zh) * | 2018-09-20 | 2021-10-21 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 處方顯示裝置、處方顯示方法以及處方顯示程式 |
JP7174581B2 (ja) | 2018-09-20 | 2022-11-17 | 株式会社Screenホールディングス | レシピ表示装置、レシピ表示方法、およびレシピ表示プログラム |
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Publication number | Publication date |
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JP5054722B2 (ja) | 2012-10-24 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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