JP4025299B2 - ロボットの教示支援装置およびその教示支援方法 - Google Patents

Description

本発明は、ロボットの教示を支援するロボットの教示支援装置およびその教示支援方法に関する。

第１の従来の技術は、特許文献１に記載されている。特許文献１のロボットの教示装置は、産業用ロボットに対して位置データの教示とその確認作業とを行うための装置である。このロボットの教示装置は、位置データ確認モードを備える。この位置データ確認モードにおいて、操作者は、教示したアプリケーションプログラムの任意の部分を指定してロボットに動作させることができる。これによって前記任意の部分に関連するロボットの動作を確認することができる。

第２の従来の技術として、前記第１の従来の技術と類似の技術が特許文献２に記載されている。特許文献２の作業ロボットの教示装置では、作業ロボットのアーム先端が移動すべき移動経路上の各教示点が、それぞれの教示点を特定する符号をもって画面上に表示される。オペレータとしては、教示点を特定する符号を選択し、かつ変更すべき位置を選択するという作業を行うだけで、容易に、教示データの変更を行うことができる。

第３の従来の技術として、前述の各従来の技術と類似の技術が特許文献３に記載されている。特許文献３のロボット教示操作盤は、グラフィック表示が可能なグラフィック表示装置を装備する。グラフィック表示装置には、たとえば、教示点が記号「×」によって表示されるとともに、教示点を通過する経路が破線によって表示される。操作者は、グラフィック表示装置の表示画面を見ながら、ロボット教示操作盤に設けられる操作パネルの操作スイッチを操作して、ロボットの教示あるいは操作を行うことができる。

特開平５−２０４４４２号公報 特開平８−１９４５１８号公報 特開平９−８５６５５号公報

第１の従来の技術では、ロボットの動作を確認するにあたって、アプリケーションプログラムの中から、ロボットを所望の動作点に移動させるための部分を指定する必要があり、操作者には、アプリケーションプログラムの知識および理解が要求されるという問題がある。また、ロボットの動作点は、アプリケーションプログラム中ではコマンドによって示されるので、アプリケーションプログラムから動作点を把握することは困難であるという問題がある。

第２の従来の技術では、各教示点を個別に教示する必要がある。したがってこの第２の従来の技術は、教示点の個数が少ない場合には、好適に用いることができるが、教示点の個数が多い場合には、入力操作の回数が多くなり、教示に時間を要するという問題がある。

第３の従来の技術でも、第２の従来の技術と同様に、各教示点を個別に教示する必要がある。したがって第３の従来の技術は、第２の従来の技術と同様の問題がある。

したがって本発明の目的は、操作が容易化され、かつ簡略化されたロボットの教示支援装置を提供することである。

本発明は、複数の基板を鉛直方向に等間隔をあけて並列に配置した状態で収容する基板収容部に対して、基板が配置される複数の収容位置にそれぞれ対応する複数の作業位置で、基板収容部に基板を収納する収納動作または基板収容部から基板を取出す取出動作を、単位動作として順次繰り返して、複数の基板を順次搬送する基板搬送用ロボットに対する移動位置の教示を支援し、
基板収容部に対して基板を引渡しまたは受取りする引渡しまたは受取り位置と、引渡しまたは受取り位置よりも上方でかつ基板収容部から退避した上側退避位置と、上側退避位置から水平移動して基板収容部の手前に位置する上側待機位置と、上側待機位置から水平移動して基板収容部に進入して引渡しまたは受取り位置の直上に位置する上側進入位置と、引渡しまたは受取り位置から下降移動して引渡しまたは受取り位置の直下の下側進入位置と、下側進入位置から水平移動して基板収容部から退避して基板収容部の手前に位置する下側待機位置と、下側待機位置から水平移動して基板収容部から退避した下側退避位置とを、基板搬送用ロボットが前記単位動作を行うときに移動すべき動作点とし、各動作点の位置を示す情報を、作業位置毎に基板搬送用ロボットにそれぞれ与える教示支援装置であって、
基板搬送用ロボットを、移動させるべき位置に移動させるための移動指令が入力される移動指令入力手段と、
移動指令入力手段に入力される移動指令に基づくロボット移動指令を基板搬送用ロボットに与えるロボット移動指令手段と、
前記ロボット移動指令に応じて移動した基板搬送用ロボットの位置を示すロボット位置情報が基板搬送用ロボットから入力される教示動作点入力手段であって、複数の作業位置のうち予め定める基準作業位置で基板搬送用ロボットが前記単位動作を行うときに移動すべき、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、引渡しまたは受取り位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうちで、引渡しまたは受取り位置を含む一部の位置を示す教示動作点情報が入力される教示動作点入力手段と、
各作業位置の位置関係を示す作業位置関係情報が入力される作業位置関係入力手段と、
基板搬送用ロボットが各作業位置で前記単位動作をそれぞれ行うときに移動すべき各位置をそれぞれ示す動作点情報を演算する演算手段であって、
基板搬送用ロボットから教示動作点入力手段に入力されたロボット位置情報を教示動作点情報として設定し、
教示動作点入力手段に入力される教示動作点情報と、作業位置関係入力手段に入力される作業位置関係情報とに基づいて、作業位置毎の引渡しまたは受取り位置を演算するとともに、
演算した作業位置毎の引渡しまたは受取り位置と、引渡しまたは受取り位置に対する上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のそれぞれの位置関係を示す動作点位置関係情報とに基づいて、作業位置毎の上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置を演算する演算手段と、
演算手段によって演算された引渡しまたは受取り位置、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置をそれぞれ示す動作点情報を作業位置毎に基板搬送用ロボットに与える演算結果出力手段とを含むことを特徴とする基板搬送用ロボットの教示支援装置である。

また本発明は、前記教示動作点入力手段には、上側待機位置、下側待機位置および引渡しまたは受取り位置を示す情報が入力され、
前記演算手段は、
教示動作点入力手段に入力された上側待機位置、下側待機位置および引渡しまたは受取り位置の位置関係に基づいて、上側待機位置と引渡しまたは受取り位置との位置関係を示す情報を生成するとともに、下側待機位置と引渡しまたは受取り位置との位置関係を示す情報を生成し、
生成した位置関係を示すそれぞれの情報と、作業位置毎の引渡しまたは受取り位置とに基づいて、作業位置毎の上側待機位置と下側待機位置とを演算し、
上側待機位置、下側待機位置および引渡しまたは受取り位置に対する上側退避位置、上側進入位置、下側進入位置および下側退避位置のそれぞれの位置関係を示す動作点位置関係情報と、演算した作業位置毎の上側待機位置、下側待機位置および引渡しまたは受取り位置とに基づいて、作業位置毎の上側退避位置、上側進入位置、下側進入位置および下側退避位置を演算することを特徴とする。

また本発明は、前記教示動作点入力手段には、引渡しまたは受取り位置だけを示す情報が入力され、
前記演算手段は、
教示動作点入力手段に入力される引渡しまたは受取り位置の情報と、作業位置関係入力手段に入力される作業位置関係情報とに基づいて、作業位置毎の引渡しまたは受取り位置を演算するとともに、
教示動作点入力手段に入力された引渡しまたは受取り位置に対する、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のそれぞれの位置関係を示す動作点位置関係情報と、演算した作業位置毎の引渡しまたは受取り位置とに基づいて、作業位置毎の上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置をそれぞれ演算することを特徴とする。

また本発明は、複数の作業位置のうち任意の１つを示す情報と、引渡しまたは受取り位置、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうち任意の１つを示す情報が入力される動作指令入力手段と、
動作指令入力手段に入力される情報に示される作業位置における、引渡しまたは受取り位置、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうち１つに基板搬送用ロボットを移動させるロボット動作指令を基板搬送用ロボットに与えるロボット動作指令手段とをさらに含むことを特徴とする。

また本発明は、前記単位動作における引渡しまたは受取り位置、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置を、それぞれ表す動作点符号と、前記単位動作における基板搬送用ロボットの移動経路を表す経路線図とを関連づけて表示する表示手段をさらに含み、
前記動作指令入力手段には、複数の作業位置のうちで任意の１つの作業位置を示す情報と、表示手段に表示される動作点符号のうちの１つを示す情報とが入力され、
前記ロボット動作指令手段は、前記動作指令入力手段で入力された１つの作業位置情報に示される作業位置において、前記動作指令入力手段で入力された動作点符号のうちの１つを示す情報に示される引渡しまたは受取り位置、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうち１つの位置に基板搬送用ロボットを移動させるロボット動作指令を基板搬送用ロボットに与えることを特徴とする。

また本発明は、表示手段は、基板収容部毎にそれぞれ個別に割り当てられるステーション番号のうちから、前記動作指令入力手段によって入力された１つを示す情報と、
作業位置毎にそれぞれ個別に割り当てられる段番号のうちから、前記動作指令入力手段によって入力された１つを示す情報と、
前記各動作点符号のうちから、前記動作指令入力手段によって入力された１つを示す情報とを１画面に表示することを特徴とする。

また本発明は、複数の基板を鉛直方向に等間隔をあけて並列に配置した状態で収容する基板収容部に対して、基板が配置される複数の収容位置にそれぞれ対応する複数の作業位置で、基板収容部に基板を収納する収納動作または基板収容部から基板を取出す取出動作を、単位動作として順次繰り返して、複数の基板を順次搬送する基板搬送用ロボットに対する移動位置の教示を支援し、
基板収容部に対して基板を引渡しまたは受取りする引渡しまたは受取り位置と、引渡しまたは受取り位置よりも上方でかつ基板収容部から退避した上側退避位置と、上側退避位置から水平移動して基板収容部の手前に位置する上側待機位置と、上側待機位置から水平移動して基板収容部に進入して引渡しまたは受取り位置の直上に位置する上側進入位置と、引渡しまたは受取り位置から下降移動して引渡しまたは受取り位置の直下の下側進入位置と、下側進入位置から水平移動して基板収容部から退避して基板収容部の手前に位置する下側待機位置と、下側待機位置から水平移動して基板収容部から退避した下側退避位置とを、基板搬送用ロボットが前記単位動作を行うときに移動すべき動作点とし、各動作点の位置を示す情報を、作業位置毎に基板搬送用ロボットにそれぞれ与える教示支援装置の教示支援方法であって、
複数の作業位置のうち予め定める基準作業位置で、基板搬送用ロボットが前記単位動作を行うときに移動すべき、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、引渡しまたは受取り位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうちで、引渡しまたは受取り位置を含む一部の位置を示す教示動作点情報と、各作業位置の位置関係を示す作業位置関係情報とを取得する取得工程であって、入力される移動指令に基づくロボット移動指令に応じて移動したロボットの位置を示すロボット位置情報を教示動作点情報としてロボットから取得する取得工程と、
取得工程において取得した各情報に基づいて、基板搬送用ロボットが各作業位置でそれぞれ前記単位動作を行うときに移動すべき各位置をそれぞれ演算する演算工程であって、
教示動作点入力手段に入力される教示動作点情報と、作業位置関係入力手段に入力される作業位置関係情報とに基づいて、作業位置毎の引渡しまたは受取り位置を演算するとともに、
演算した作業位置毎の引渡しまたは受取り位置と、引渡しまたは受取り位置に対する上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のそれぞれの位置関係を示す動作点位置関係情報とに基づいて、作業位置毎の上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置を演算する演算工程と、
演算工程によって演算された引渡しまたは受取り位置、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置を示す情報を作業位置毎に基板搬送用ロボットに与える演算結果出力工程とを含むことを特徴とする基板搬送用ロボットの教示支援装置の教示支援方法である。

本発明によれば、移動指令入力手段には、ロボットを、移動させるべき位置に移動させるための移動指令が入力され、ロボット移動指令手段は、移動指令入力手段に入力される移動指令に基づくロボット移動指令をロボットに与える。このロボット移動指令に応じて、ロボットは移動する。教示動作点入力手段には、前記ロボット移動指令に応じて移動したロボットの位置を示すロボット位置情報がロボットから入力され、演算手段は、前記ロボット位置情報を教示動作点情報として設定する。このように教示動作点情報が設定されるので、操作者は、本発明の教示支援装置を用いてロボットを移動させて、ロボットの位置をたとえば目視によって確認しながら、ロボットの動作点を教示することができる。したがってロボットの動作点を正確かつ容易に教示することができる。
教示動作点入力手段には、ロボットが基準作業位置で単位動作を行うために、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、引渡しまたは受取り位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうちで、引渡しまたは受取り位置を含む一部の位置が入力され、作業位置関係入力手段には、各作業位置の位置関係を示す作業位置関係情報が入力される。これらの情報に基づいて、演算手段は、作業位置毎の引渡しまたは受取り位置をそれぞれ演算する。また引渡しまたは受取り位置に対する、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置の位置関係に基づいて、作業位置毎の上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置を演算する。演算結果出力手段は、演算手段による演算結果をロボットに与える。

このように各作業位置における引渡しまたは受取り位置がそれぞれ演算され、その演算結果がロボットに与えられるので、基準作業位置における引渡しまたは受取り位置を含む動作点情報と作業位置関係情報とが入力されるだけで、各作業位置における引渡しまたは受取り位置をロボットに教示することができる。換言すると、各作業位置における引渡しまたは受取り位置をロボットに教示するにあたって、作業位置毎に引渡しまたは受取り位置を入力する必要がなく、したがって入力操作の回数を、可及的に少なくすることができる。これによって、教示のための操作を簡略化することができる。

また、各作業位置における各引渡しまたは受取り位置をロボットに教示するにあたって、基準作業位置における教示動作点情報と作業位置関係情報とを入力するだけでよいので、操作者は、ロボットを動作させるためのプログラムを意識することなく、容易に、教示のための操作を行うことができる。
またロボットとして、基板を搬送する基板搬送用ロボットが用いられ、単位動作は、基板収容部に基板を収納する収納動作または基板収容部から基板を取出す取出動作である。基板搬送用ロボットでは、多数の動作点を教示する必要があるが、本発明では、教示のための操作を簡略化して、施工準備に要する時間を短縮することができる。

また教示動作点入力手段には、ロボットが基準作業位置で単位動作を行う場合における上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、引渡しまたは受取り位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうち引渡しまたは受取り位置を含む一部の位置を示す教示動作点情報が入力される。この教示動作点情報と、引渡しまたは受取り位置に対する上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置の位置関係とに基づいて、演算手段は、作業位置毎の、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、引渡しまたは受取り位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置をそれぞれ演算する。このように各動作点を示すそれぞれの動作点情報が演算されるので、前記複数の動作点のうち前記一部の動作点を除く残余の動作点情報を入力する必要がなく、したがって入力操作の回数を、さらに少なくすることができる。これによって、教示のための操作をさらに簡略化することができる。
また本発明によれば、演算手段は、教示動作点入力手段に入力された上側待機位置、下側待機位置および引渡しまたは受取り位置の位置関係に基づいて、上側待機位置と引渡しまたは受取り位置との位置関係を示す情報を生成するとともに、下側待機位置と引渡しまたは受取り位置との位置関係を示す情報を生成する。この生成した位置関係を示す情報と、既に演算した作業位置毎の引渡しまたは受取り位置とに基づいて、各作業位置毎の上側待機位置および下側待機位置を求めることができる。次に演算した各作業位置毎の引渡しまたは受取り位置、上側待機位置および下側待機位置に基づいて、作業位置毎の下側退避位置、下側進入位置、上側退避位置、上側進入位置を演算する。このようにして、作業位置毎の各動作点をそれぞれ演算する。
また本発明によれば、演算手段は、引渡しまたは受取り位置に対する他の動作点位置の関係に基づいて、他の動作点位置を演算することができる。したがって演算した各作業位置毎の引渡しまたは受取り位置から、作業点毎の動作点をそれぞれ演算することができる。引渡しまたは受取り位置の情報だけが教示動作点情報として入力されることで、入力すべき情報をさらに少なくすることができ、教示のための操作をさらに簡略化することができる。

また本発明によれば、動作指令入力手段には、複数の作業位置のうち任意の１つの作業位置と、引渡しまたは受取り位置、下側退避位置、下側待機位置、下側進入位置、上側進入位置、上側待機位置および上側退避位置のうち任意の１つとが入力される。ロボット動作指令手段は、演算手段による演算結果に基づいて、動作指令入力手段に入力される作業位置における動作点にロボットを動作させるロボット動作指令をロボットに与える。このロボット動作指令に応じて、ロボットは動作する。したがって動作指令入力手段に動作指令を入力することによって、所望の作業位置における所望の動作点にロボットを移動させ、ロボットの動作確認を容易に行うことができる。

また本発明によれば、表示手段には、単位動作における各動作点を表す動作点符号と、単位動作におけるロボットの移動経路を表す経路線図とが関連づけて表示されるので、操作者は、表示手段による表示を目視することによって、ロボットの移動経路における各動作点の位置関係を、容易に把握することができる。操作者は、表示手段に表示される各動作点符号のうち１つを示す情報を入力する。これによってロボットは、操作者が指定した動作点符号を示す情報に対応する動作点にロボットを移動させる指令を与えることができ、操作者が指定した動作点符号に対応する動作点にロボットを移動させることができる。

また動作指令入力手段には、任意の作業位置を表す情報と、表示手段に表示される動作点符号のうちの１つを示す情報とが動作指令として入力される。このようにして動作指令が入力されるので、操作者は、ロボットを動作させるためのプログラムを意識することなく、動作指令を容易に入力することができる。

また本発明によれば、表示手段は、基板収容部毎にそれぞれ個別に割り当てられるステーション番号のうちから、前記動作指令入力手段によって入力された１つを表示するとともに、作業位置毎にそれぞれ個別に割り当てられる段番号のうちから、前記動作指令入力手段によって入力された１つを表示するとともに、前記各動作点符号のうちから、前記動作指令入力手段によって入力された１つとを表示する。１つの画面に、入力されたステーション番号、段番号、動作点符号をそれぞれ表示することで、操作者は、ロボットを動作させるためのプログラムを意識することなく、動作指令を容易に入力することができる。

また本発明によれば、入力される移動指令に基づくロボット移動指令に応じて移動したロボットの位置を示すロボット位置情報を教示動作点情報としてロボットから取得する。このように教示動作点情報が取得されるので、操作者は、ロボットを移動させて、ロボットの位置をたとえば目視によって確認しながら、ロボットの動作点を教示することができる。したがってロボットの動作点を正確かつ容易に教示することができる。
取得工程では、ロボットが基準作業位置で単位動作を行うために、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、引渡しまたは受取り位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうちで、引渡しまたは受取り位置を含む一部の位置を示す教示動作点情報と、各作業位置の位置関係を示す作業位置関係情報とが入力される。これらの情報に基づいて、演算工程では、作業位置毎の引渡しまたは受取り位置をそれぞれ演算する。また引渡しまたは受取り位置に対する、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置の位置関係に基づいて、作業位置毎の上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置を演算する。演算結果出力工程では、演算手段による演算結果をロボットに与える。

このように各作業位置における引渡しまたは受取り位置がそれぞれ演算され、その演算結果がロボットに与えられるので、基準作業位置における引渡しまたは受取り位置を含む動作点情報と作業位置関係情報とが入力されるだけで、各作業位置における引渡しまたは受取り位置をロボットに教示することができる。換言すると、各作業位置における引渡しまたは受取り位置をロボットに教示するにあたって、作業位置毎に引取りまたは引渡し位置を入力する必要がなく、したがって入力操作の回数を、可及的に少なくすることができる。これによって、教示のための操作を簡略化することができる。

また、各作業位置における各引渡しまたは受取り位置をロボットに教示するにあたって、基準作業位置における教示動作点情報と作業位置関係情報とを入力するだけでよいので、操作者は、ロボットを動作させるためのプログラムを意識することなく、容易に、教示のための操作を行うことができる。
またロボットとして、基板を搬送する基板搬送用ロボットが用いられ、単位動作は、基板収容部に基板を収納する収納動作または基板収容部から基板を取出す取出動作である。基板搬送用ロボットでは、多数の動作点を教示する必要があるが、本発明では、教示のための操作を簡略化して、施工準備に要する時間を短縮することができる。
また教示動作点入力手段には、ロボットが基準作業位置で単位動作を行う場合における上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、引渡しまたは受取り位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうち引渡しまたは受取り位置を含む一部の位置を示す教示動作点情報が入力される。この教示動作点情報と、引渡しまたは受取り位置に対する上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置の位置関係とに基づいて、演算手段は、作業位置毎の、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、引渡しまたは受取り位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置をそれぞれ演算する。このように各動作点を示すそれぞれの動作点情報が演算されるので、前記複数の動作点のうち前記一部の動作点を除く残余の動作点情報を入力する必要がなく、したがって入力操作の回数を、さらに少なくすることができる。これによって、教示のための操作をさらに簡略化することができる。

図１は、本発明の実施の一形態である教示支援装置１の構成を示すブロック図であり、図２はロボット２の構成を簡略化して示す斜視図である。本実施の形態では、教示支援装置１は、ロボット２の教示を支援するティーチペンダントによって実現される。ロボット２は、産業用ロボットであり、具体的には、基板３を搬送する基板搬送用ロボットである。ロボット２は、予め定める環境に管理されるクリーンルームに設置され、このクリーンルーム内で基板３を搬送する。ロボット２が搬送する基板３は、半導体ウエハ、液晶基板およびガラス基板などの板状体である。

ロボット２は、ロボット本体５と、ロボットコントローラ６とを含む。ロボット本体５は、たとえば、基台８と、可動体９と、アーム１０と、ハンド１１と、角変位駆動手段と、昇降駆動手段と、アーム駆動手段とを含む。

基台８は、クリーンルームの床に固定される。可動体９は、前記基台８に、鉛直方向１３に延びる鉛直軸線１４まわりに角変位自在に設けられる。また可動体９は、前記基台８に、前記鉛直軸線１４に沿って昇降自在に設けられる。アーム１０は、前記可動体９の上部９ａに設けられる。このアーム１０は、その先端部１０ａが、鉛直軸線１４に直交する水平軸線１５に沿って変位することができるように、構成される。ハンド１１は、前記アーム１０の先端部１０ａに設けられる。このハンド１１は基板３を保持することができる。

角変位駆動手段は、可動体９を鉛直軸線１４まわりに角変位駆動して、ハンド１１を鉛直軸線１４まわりに角変位させる。昇降駆動手段は、可動体９を鉛直軸線１４に沿って昇降駆動して、ハンド１１を上昇および下降させる。アーム駆動手段は、アーム１０を駆動して、ハンド１１を水平軸線１５に沿って変位させる。各駆動手段は、サーボモータおよびエアシリンダなどのアクチュエータによって実現される。

ロボットコントローラ６は、前記ロボット本体５に電気的に接続される。このロボットコントローラ６には、教示支援装置１が電気的に接続される。教示支援装置１は、操作者によって入力された情報に基づく教示情報をロボットコントローラ６に与える。ロボットコントローラ６は、予め設定される動作プログラムおよび教示支援装置１からの教示情報に基づいてロボット本体５の各駆動手段を制御する。

このように構成されるロボット２は、そのハンド１１を任意の位置に移動させることができる。ロボット２は、ハンド１１によって、基板３を収容する基板収容部１７から基板３を取出すことができるとともに、基板収容部１７に基板３を収納することができる。

前記基板収容部１７は、１または複数の基板３を、水平な状態で収容する。複数の基板３を収容する場合、基板収容部１７は、各基板３を、鉛直方向１３に等間隔をあけて、並列に配置した状態で収容する。

一例として述べると、基板収容部１７は、カセットによって実現される。カセットは、基板３を収容した収容状態で、基板３を下方から支持する複数対の支持部１８ａ，１８ｂを有する。各対の支持部１８ａ，１８ｂは、相互に離反して設けられ、１枚の基板３の縁辺部の一部をそれぞれ支持する。

ロボット２は、基板３を搬送するにあたって、予め定める複数の作業位置１９で、予め定める単位動作を順次繰り返す。前記単位動作は、基板収容部１７に基板３を収納する収納動作と、基板収容部１７から基板３を取出す取出動作とを含む。前記複数の作業位置１９は、基板収容部１７の収容空間内の基板３が配置される各収容位置にそれぞれ対応する。

図３は、ロボット２による基板３の取出動作を説明するための簡略化した断面図であり、図３（１）はハンド１１が基板３よりも下方に配置されかつ基板収容部１７から退避している状態を示し、図３（２）はハンド１１が基板３よりも下方でかつ基板収容部１７の手前に配置されている状態を示し、図３（３）はハンド１１が基板３の直下に配置されている状態を示し、図３（４）はハンド１１が基板３を受取った状態を示す。図４は、ロボット２の図３に続く動作を説明するための簡略化した断面図であり、図４（１）はハンド１１が図３（４）に示す状態から上昇した状態を示し、図４（２）はハンド１１が図４（１）に示す状態から基板収容部１７の手前まで後退した状態を示し、図４（３）はハンド１１が図４（２）に示す状態からさらに後退した状態を示す。

本実施の形態では、ハンド１１が基板収容部１７に進入する方向を進入方向２５ａとし、ハンド１１が基板収容部１７から後退する方向を後退方向２５ｂとする。

基板収容部１７から１枚の基板３を取出すにあたっては、先ず、図３（１）に示すように、ハンド１１を、取出されるべき基板３よりも下方でかつ基板収容部１７から退避した下側退避位置に移動させる。次に、ハンド１１を、水平軸線１５に沿って進入方向２５ａに移動させ、図３（２）に示すように、基板収容部１７の手前の下側待機位置に移動させる。

次に、ハンド１１を、水平軸線１５に沿って進入方向２５ａにさらに移動させ、図３（３）に示すように、取出されるべき基板３の直下の下側進入位置に移動させる。次に、ハンド１１を、上昇させ、図３（４）に示すように、取出されるべき基板３にハンド１１が当接する引渡しまたは受取り位置に移動させる。これによってハンド１１は、取出されるべき基板３を受取って保持する。次に、ハンド１１を、さらに上昇させ、図４（１）に示すように、引渡しまたは受取り位置の直上の上側進入位置に移動させる。

次に、ハンド１１を、水平軸線１５に沿って後退方向２５ｂに移動させて、図４（２）に示すように、基板収容部１７の手前の上側待機位置まで移動させる。次に、ハンド１１を、水平軸線１５に沿って後退方向２５ｂにさらに移動させ、図４（３）に示すように、基板収容部１７から退避した上側退避位置に移動させる。このようにして、ロボット２によって、基板収容部１７から１枚の基板３が取出される。

基板収容部１７の収容空間の清浄度を高く保つためには、基板収容部１７が開放される時間をできるだけ短くすることが望ましい。基板収容部１７がシャッタなどによって開閉される場合は、基板収容部１７が開放される時間を可及的に短くするために、図３（２）に示すように、ハンド１１が下側待機位置に移動されたときに、基板収容部１７が開かれる。また、基板収容部１７は、図４（２）に示すように、ハンド１１が上側待機位置に移動されたときに、閉じられる。

前述の取出動作と逆の順序でハンド１１を移動させると、ロボット２によって、１枚の基板３を基板収容部１７に収納することができる。

図５は、取出動作および収納動作におけるハンド１１の移動経路３０を示す図である。取出動作および収納動作におけるハンド１１の移動経路３０は、図５に示すように大略的にＣ字状である。このようなハンド１１の移動経路３０は、第１〜第７動作点３１〜３７が設定されることによって実現される。

第１動作点３１は上側退避位置に対応し、第２動作点３２は上側待機位置に対応し、第３動作点３３は上側進入位置に対応し、第４動作点３４は引渡しまたは受取り位置に対応し、第５動作点３５は下側進入位置に対応し、第６動作点３６は下側待機位置に対応し、第７動作点３７は下側退避位置に対応する。

図６は、図２に示すロボット２を備える基板処理設備２７の構成を示すブロック図である。基板処理設備２７は、前記ロボット２と、複数、本実施の形態では４の基板収容部１７ａ〜１７ｄとを含む。各基板収容部１７ａ〜１７ｄは、ロボット本体５の前記鉛直軸線１４まわりの周方向３８に間隔をあけて配置される。本実施の形態では、前記複数の基板収容部１７ａ〜１７ｄは、第１および第２処理装置１７ａ，１７ｂならびに第１および第２カセット１７ｃ，１７ｄによって実現される。

第１処理装置１７ａは、３枚の基板３を収容する。第２処理装置１７ｂは、１枚の基板３を収容する。各処理装置１７ａ，１７ｂは、基板３に関する処理を行う。各処理装置１７ａ，１７ｂは、基板３に対して、薄膜形成、レジストの塗布、露光、現像およびエッチングなどの処理を行う。第１および第２カセット１７ｃ，１７ｄは、たとえば２５枚の基板３を収容することができる。

一例として述べると、このように構成される基板処理設備２７では、処理されるべき基板３が予め第１カセット１７ｃに収容され、この処理されるべき基板３は、ロボット２によって第１カセット１７ｃから第１処理装置１７ａに搬送され、第１処理装置１７ａによって処理される。第１処理装置１７ａによって処理された基板３は、ロボット２によって第１処理装置１７ａから第２処理装置１７ｂに搬送され、第２処理装置１７ｂによって処理される。第２処理装置１７ｂによって処理された基板３は、ロボット２によって第２処理装置１７ｂから第２カセット１７ｄに搬送される。

図７は、教示支援装置１の外観を示す正面図である。教示支援装置１は、ロボット２の教示のための情報および指令が入力される操作部４１と、操作画面を表示する表示部４２とを含む。ここで図１を再び参照して、教示支援装置１は、入力手段３９と、インターフェース手段４０と、演算手段４５と、表示手段５１と、記憶手段５２とを含む。

入力手段３９は、作業位置関係入力手段４４、移動指令入力手段４７および動作指令入力手段４９を含む。入力手段３９は、前記操作部４１を含んで構成される。インターフェース手段４０は、教示動作点入力手段４３、演算結果出力手段４６、ロボット移動指令手段４８およびロボット動作指令手段５０を含む。

教示動作点入力手段４３には、各基板収容部１７ａ〜１７ｄにおける複数の作業位置１９のうち予め定める基準作業位置１９ａでロボット２が単位動作を行うために教示が必要な動作点を示す教示動作点情報が入力される。本実施の形態では、基準作業位置１９ａは、各基板収容部１７ａ〜１７ｄにおける各作業位置１９のうち最も下方の作業位置である。

教示動作点入力手段４３には、ロボット２が基準作業位置１９ａで単位動作を行う場合における複数の動作点のうち一部の動作点を示す教示動作点情報が入力される。本実施の形態では、前記一部の動作点は、ロボット２が前記基準作業位置１９ａで単位動作を行う場合における第２、第４および第６動作点３２，３４，３６である。

作業位置関係入力手段４４には、各基板収容部１７における各作業位置１９の位置関係を示す作業位置関係情報が入力される。作業位置関係情報は、段数情報と、ピッチ情報とを含む。段数情報は、各基板収容部１７ａ〜１７ｄが収容する基板３の数を示す情報である。換言すると、段数情報は、各基板収容部１７ａ〜１７ｄにおける作業位置１９の数を示す情報である。段数情報は、各基板収容部１７ａ〜１７ｄ毎にそれぞれ設定される。ピッチ情報は、各基板収容部１７ａ〜１７ｄの鉛直方向１３に隣接する各対の支持部１８ａ，１８ｂの間隔を示す情報である。換言すると、ピッチ情報は、各基板収容部１７ａ〜１７ｄにおける各作業位置１９の間隔を示す情報である。

演算手段４５は、教示動作点入力手段４３と作業位置関係入力手段４４とに入力される各情報に基づいて、ロボット２が移動すべき各動作点を示す動作点情報を演算する。演算結果出力手段４６は、演算手段４５による演算結果をロボット２に与える。

詳細に述べると、演算手段４５は、基準作業位置１９ａの第４動作点３４を示す情報と、ピッチ情報および段数情報とに基づいて、基板収容部１７における各作業位置１９の第４動作点３４を示す情報を生成する。また演算手段４５は、基準作業位置１９ａの第２、第４および第６動作点３２，３４，３６を示す情報に基づいて、第２および第４動作点３２，３４の位置関係を示す情報と第４および第６動作点３４，３６の位置関係を示す情報とを生成する。これらの位置関係を示す情報と、前記各作業位置１９の第４動作点３４を示す情報とに基づいて、演算手段４５は、基板収容部１７における各作業位置１９の第２および第６動作点３２，３６を示す情報を生成する。さらに演算手段４５は、前記各作業位置１９の第２、第４および第６動作点３２，３４，３６を示す情報と、予め定める各動作点の位置関係を示す動作点位置関係情報とに基づいて、基板収容部１７における各作業位置１９の第１、第３、第５および第７動作点３１，３３，３５，３７を生成する。

移動指令入力手段４７には、ロボット２を任意の位置に移動させるための移動指令が入力される。ロボット移動指令手段４８は、移動指令入力手段４７に入力される移動指令に基づくロボット移動指令をロボット２に与える。本実施の形態では、ロボット移動指令に応じて移動したロボット２の位置を示すロボット位置情報が、ロボット２から前記教示動作点入力手段４３に入力される。教示動作点入力手段４３には、そのロボット位置情報が教示動作点情報として入力される。

本実施の形態では、操作者が移動指令入力手段４７によって移動指令を入力すると、ロボット移動指令手段４８は、前記移動指令に基づいて、ロボット２にロボット移動指令を与える。これによってロボット２のハンド１１が移動される。操作者は、移動されたハンド１１の位置をたとえば目視によって確認し、ハンド１１が所望の位置に移動したときに、教示支援装置１に設定指令を与える。設定指令が与えられたとき、演算手段４５は、教示動作点入力手段４３に入力されるロボット位置情報を、教示動作点情報として取得して設定する。

ロボット位置情報は、ハンド１１の位置に関する情報である。このロボット位置情報は、ハンド１１の鉛直軸線１４まわりの周方向３８の位置に関する情報と、ハンド１１の鉛直軸線１４に沿う鉛直方向１３の位置に関する情報と、ハンド１１の水平軸線１５に沿う水平方向２５の位置に関する情報とを含む。

動作指令入力手段４９には、任意の基板収容部１７の任意の作業位置１９における任意の動作点にロボット２を移動させるための動作指令が入力される。ロボット動作指令手段５０は、演算手段４５による演算結果に基づいて、動作指令入力手段４９に入力される動作指令に応じた任意の動作点にロボット２を移動させるロボット動作指令をロボット２に与える。

前記動作指令は、動作開始指令、ステーション番号情報、段番号情報および動作点番号情報を含む。動作開始指令は、前記各情報が示す位置へのハンド１１の移動を開始させる指令である。

ステーション番号情報、段番号情報および動作点番号情報は、整数値を示す情報である。ステーション番号情報は、各基板収容部１７ａ〜１７ｄにそれぞれ個別に割り当てられるステーション番号を示す情報を含む。本実施の形態では、各基板収容部１７ａ〜１７ｄには、ステーション番号として１〜４のいずれかがそれぞれ個別に割り当てられる。またステーション番号情報は、各基板収容部１７ａ〜１７ｄにそれぞれ個別に割り当てられるステーション番号を示す情報に加えて、全ての基板収容部１７ａ〜１７ｄに共通のステーション番号を示す情報を含む。本実施の形態では、前記共通のステーション番号は０である。

段番号情報は、作業位置１９を示す情報であって、各作業位置１９にそれぞれ個別に割り当てられる段番号を示す情報である。本実施の形態では、各作業位置１９には、最も下方の作業位置から上方の作業位置に向かって、段番号が、１から順にそれぞれ割り当てられる。動作点番号情報は、動作点を示す情報であって、各動作点３１〜３７にそれぞれ個別に割り当てられる動作点番号を示す情報である。本実施の形態では、第１〜第７動作点３１〜３７には、１から順にそれぞれ個別に割り当てられる。

表示手段５１は、前記表示部４２を含んで構成される。表示手段５１は、その表示部４２に操作画面を表示する。表示手段５１は、単位動作における各動作点３１〜３７を表す動作点符号５４と、ロボット２の移動経路３０を表す経路線図５５とを関連づけて表示する（後述の図１６参照）。前記動作点符号５４は、各動作点３１〜３７にそれぞれ個別に割り当てられる動作点番号である。

記憶手段５２は、教示動作点情報および作業位置関係情報に基づいて動作点情報を演算するためのプログラム、後述の動作チェック処理を実行するためのプログラム、および前記動作点位置関係情報などを記憶する。

図８は、操作者によるロボット２の教示手順の一例を示すフローチャートである。ステップｓ０で、操作者は、ロボット２の教示のための操作を開始する。次のステップｓ１では、操作者は、ステーション番号を選択する。

次のステップｓ２では、操作者は、データ設定を行う。前記ステップｓ１でステーション番号として０を選択した場合は、ステップｓ２では、全ての基板収容部１７におけるロボット２の単位動作に共通する共通データを設定する。前記ステップｓ１でステーション番号として１〜４のいずれかを選択した場合は、ステップｓ２では、選択したステーション番号に対応する基板収容部１７に関する作業位置関係情報を設定する。

次のステップｓ３では、操作者は、動作点の教示を行う。前記ステップｓ１でステーション番号として０を選択した場合は、ステップｓ３では、ロボット２の原点位置を示す情報を設定する。前記ステップｓ１でステーション番号として１〜４のいずれかを選択した場合は、ステップｓ３では、選択したステーション番号に対応する基板収容部１７における教示動作点情報を設定する。

次のステップｓ４では、操作者は、ロボット２の動作の確認を行う。前記ステップｓ１でステーション番号として０を選択した場合は、ステップｓ４では、ロボット２によってハンド１１を原点位置に移動させる。前記ステップｓ１でステーション番号として１〜４のいずれかを選択した場合は、作業位置１９および動作点を選択する。そしてロボット２によって、選択したステーション番号に対応する基板収容部１７の選択した作業位置１９における選択した動作点にハンド１１を移動させる。

次のステップｓ５では、操作者は、たとえば目視によって、ハンド１１の位置を確認して、動作点の修正が必要か否かを判断する。動作点の修正が必要である場合は、ステップｓ６に進み、そうでない場合は、ステップｓ７に進む。

ステップｓ６では、操作者は、動作点の修正を行う。前記ステップｓ１でステーション番号として０を選択した場合は、ステップｓ６では、ロボット２の原点位置を示す情報を修正する。前記ステップｓ１でステーション番号として１〜４のいずれかを選択した場合は、ステップｓ６では、選択したステーション番号に対応する基板収容部１７における教示動作点情報を修正する。

ステップｓ７では、操作者は、ロボット２の教示のための操作を終了するか否かを判断する。ロボット２の教示のための操作を終了する場合は、ステップｓ８に進み、そうでない場合は、ステップｓ１に戻る。ステップｓ８では、操作者は、ロボット２の教示のための操作を終了する。

図９は、教示支援装置１の教示支援動作を示すフローチャートであり、図１０は教示支援装置１の図９に続く教示支援動作を示すフローチャートである。操作者によって、ロボット２の教示の開始指令が入力されると、ステップａ０で、教示支援装置１の教示支援動作を開始する。

次のステップａ１では、演算手段４５は、操作者からステーション番号情報を取得する。次のステップａ２では、演算手段４５は、操作者がデータ設定を選択する指令を入力したか否かを判定する。データ設定を選択する指令が入力された場合は、ステップａ３に進む。

ステップａ３では、演算手段４５は、前記ステップａ１で取得したステーション番号が０であるか否かを判定する。ステーション番号が０である場合は、ステップａ４に進み、そうでない場合は、ステップａ５に進む。

ステップａ４では、演算手段４５は、操作者から前述の共通データを取得して設定し、ステップａ６に進む。ステップａ５では、演算手段４５は、前記ステップａ１で取得したステーション番号に対応する基板収容部１７の作業位置関係情報を、操作者から取得して設定し、ステップａ６に進む。

ステップａ６では、演算手段４５は、操作者がロボット２の教示の終了指令を入力したか否かを判定する。終了指令が入力された場合は、ステップａ７に進み、そうでない場合は、ステップａ１に戻る。ステップａ７では、教示支援装置１の教示支援動作を終了する。

前記ステップａ２において、データ設定を選択する指令が入力されていない場合は、ステップａ８に進む。ステップａ８では、演算手段４５は、操作者が動作点教示を選択する指令を入力したか否かを判定する。動作点教示を選択する指令が入力された場合は、ステップａ９に進む。

ステップａ９では、演算手段４５は、前記ステップａ１で取得したステーション番号が０であるか否かを判定する。ステーション番号が０である場合は、ステップａ１０に進み、そうでない場合は、ステップａ１１に進む。

ステップａ１０では、演算手段４５は、操作者から原点位置を示す情報を取得して設定し、ステップａ６に進む。ステップａ１１では、演算手段４５は、前記ステップａ１で取得したステーション番号に対応する基板収容部１７の教示動作点情報を、操作者から取得して設定し、ステップａ６に進む。

前記ステップａ８において、動作点教示を選択する指令が入力されていない場合は、ステップａ１２に進む。ステップａ１２では、演算手段４５は、操作者が動作チェックを選択する指令を入力したか否かを判定する。動作チェックを選択する指令が入力されていない場合は、ステップａ１３に進み、動作チェックを選択する指令が入力された場合は、ステップａ１４に進む。

ステップａ１３では、演算手段４５は、データ設定、動作点教示および動作チェック以外のその他の処理を実行し、ステップａ６に進む。本実施の形態では、演算手段４５は、その他の処理として、データコピーのための処理を実行する。

ステップａ１４では、演算手段４５は、動作チェック処理を実行する。次のステップａ１５では、演算手段４５は、操作者が修正指令を入力したか否かを判定する。修正指令が入力された場合は、ステップａ１６に進み、そうでない場合は、ステップａ６に進む。

ステップａ１６では、演算手段４５は、前記ステップａ１で取得したステーション番号が０であるか否かを判定する。ステーション番号が０である場合は、ステップａ１７に進み、そうでない場合は、ステップａ１８に進む。

ステップａ１７では、演算手段４５は、修正された原点位置を示す情報を、新たな原点位置を示す情報として、操作者から取得して設定し、ステップａ１４に戻る。ステップａ１８では、演算手段４５は、前記ステップａ１で取得したステーション番号に対応する基板収容部１７の修正された教示動作点情報を、新たな教示動作点情報として、操作者から取得して設定し、ステップａ１４に戻る。

図１１は、動作チェック処理を示すフローチャートである。前記図１０のステップａ１２で動作チェックが選択された場合は、ステップｂ０で、動作チェック処理を開始する。

次のステップｂ１では、演算手段４５は、前記図９のステップａ１で取得したステーション番号が０であるか否かを判定する。ステーション番号が０である場合は、ステップｂ２に進み、そうでない場合は、ステップｂ５に進む。

ステップｂ２では、演算手段４５は、操作者から、動作指令として動作開始指令を取得する。次のステップｂ３では、演算手段４５は、ロボット動作指令手段５０によって、原点位置にハンド１１を移動させるロボット動作指令をロボット２に与える。次のステップｂ４では、演算手段４５は、動作チェック処理を終了する。

ステップｂ５では、演算手段４５は、操作者から、動作指令として、段番号情報、動作点番号情報および動作開始指令を取得する。次のステップｂ６では、演算手段４５は、前記ステップａ１で取得したステーション番号に対応する基板収容部１７のピッチ情報が妥当であるか否かを判断する。

具体的には、ステップｂ６では、演算手段４５は、たとえばピッチ情報が負の数値を示す場合は、ピッチ情報が妥当でないと判断し、ステップｂ７に進み、そうでない場合は、ステップｂ８に進む。ステップｂ７では、演算手段４５は、表示手段５１によって、ピッチ情報が異常である旨を示す文字列などを表示させ、ステップｂ４に進む。

ステップｂ８では、演算手段４５は、前記ステップａ１で取得したステーション番号に対応する基板収容部１７の教示動作点情報が妥当であるか否かを判断する。

具体的には、ステップｂ８では、第２動作点３２が第４動作点３４よりも進入方向２５ａ下流側になる場合または第６動作点３６が第４動作点３４よりも進入方向２５ａ下流側になる場合は、演算手段４５は、教示動作点情報が妥当でないと判断し、ステップｂ９に進み、そうでない場合はステップｂ１０に進む。ステップｂ９では、演算手段４５は、表示手段５１によって、教示動作点情報が異常である旨を示す文字列などを表示させ、ステップｂ４に進む。

ステップｂ１０では、演算手段４５は、前記ステップｂ５で取得した段番号情報が妥当であるか否かを判断する。具体的には、ステップｂ１０では、演算手段４５は、段番号情報が示す段番号が前記ステップａ１で取得したステーション番号に対応する基板収容部１７における作業位置１９に割り当てられる各段番号のいずれとも一致しない場合は、段番号情報が妥当でないと判断し、ステップｂ１１に進み、そうでない場合は、ステップｂ１２に進む。ステップｂ１１では、演算手段４５は、表示手段５１によって、段番号情報が異常である旨を示す文字列などを表示させ、ステップｂ４に進む。

ステップｂ１２では、演算手段４５は、教示動作点情報および作業位置関係情報に基づいて、動作点情報を演算する。前記動作点情報は、前記ステップａ１で取得したステーション番号に対応する基板収容部１７の前記ステップｂ５で取得した段番号に対応する作業位置１９の前記ステップｂ５で取得した動作点番号に対応する動作点を示す。次のステップｂ１３では、演算手段４５は、ロボット動作指令手段５０によって、前記ステップｂ１２の動作点情報が示す位置にハンド１１を移動させるロボット動作指令をロボット２に与え、ステップｂ４に進む。

本実施の形態において、前記図９のステップａ５および図１０のステップａ１１は、基板収容部１７における基準作業位置１９ａの教示動作点情報と、基板収容部１７の各作業位置１９の位置関係を示す作業位置関係情報とを取得する取得工程に相当する。前記図１１のステップｂ１２は、前記取得工程において取得した各情報に基づいて、ロボット２が移動すべき各動作点３１〜３７を示す動作点情報を演算する演算工程に相当する。前記図１１のステップｂ１３は、前記演算工程における演算結果をロボット２に与える演算結果出力工程に相当する。

本実施の形態では、教示支援装置１の前述の図９〜図１０に従う教示支援動作が終了された後、演算手段４５は、各基板収容部１７の教示動作点情報および作業位置関係情報に基づいて、各基板収容部１７の各作業位置１９の各動作点３１〜３７を示す動作点情報を演算する。この後、演算手段４５は、演算結果出力手段４６によって、その演算結果を、ロボット２に与える。

図１２は、表示手段５１に表示される操作画面の遷移を示す図である。表示手段５１には、操作画面として、少なくとも、共通および個別のデータ設定画面６１，６２と、共通および個別の動作点教示画面６３，６４と、共通および個別のデータコピー画面６５，６６と、共通および個別の動作チェック画面６７，６８と、共通および個別の動作点修正画面６９，７０とが表示される。前記各画面６１〜７０に加えて、表示手段５１には、第１および第２画面７１，７２がさらに表示される。

第１画面７１は、教示支援装置１に電源が投入されたときに、表示手段５１に表示される画面である。第２画面７２は、ステーション番号情報の入力、および教示項目の選択を行うための画面である。前記教示項目は、データ設定、動作点教示、データコピーおよび動作チェックを含む。

共通のデータ設定画面６１は、共通データを入力するための画面である。個別のデータ設定画面６２は、各基板収容部１７における作業位置関係情報を入力するための画面である。共通の動作点教示画面６３は、原点位置を示す情報を入力するための画面である。個別の動作点教示画面６４は、各基板収容部１７における教示動作点情報を入力するための画面である。共通および個別のデータコピー画面６５，６６は、データコピーのための操作を容易にするための画面である。

共通の動作チェック画面６７は、動作指令として、動作開始指令を入力するための画面である。個別の動作チェック画面６８は、動作指令として、段番号情報、動作点番号情報、および動作開始指令を入力するための画面である。共通の動作点修正画面６９は、新たな原点位置を示す情報を入力するための画面である。個別の動作点修正画面７０は、新たな教示動作点情報を入力するための画面である。

教示支援装置１に電源が投入されると、表示手段５１には、第１画面７１が表示される。第１画面７１が表示手段５１に表示されているときに、操作者によって、ロボット２の教示の開始指令が入力されると、表示手段５１の画面は、第２画面７２に移行する。第２画面７２が表示されているときに、操作者によって、取消指令が入力されると、表示手段５１の画面は、第１画面７１に戻る。

第２画面７２が表示手段５１に表示されているときに、操作者によって、ステーション番号情報として０を示す情報が入力される。この後、（１）データ設定を選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、共通のデータ設定画面６１に移行し、（２）動作点教示を選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、共通の動作点教示画面６３に移行し、（３）データコピーを選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、共通のデータコピー画面６５に移行し、（４）動作チェックを選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、共通の動作チェック画面６７に移行する。

共通の動作点教示画面６３が表示手段５１に表示されているときに、操作者によって、動作点修正を選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、共通の動作点修正画面６９に移行する。共通の動作チェック画面６７が表示手段５１に表示されているときに、操作者によって、動作点修正を選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、共通の動作点修正画面６９に移行する。共通の動作点修正画面６９が表示手段５１に表示されているときに、操作者によって、（１）動作点教示を選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、共通の動作点教示画面６３に移行し、（２）動作チェックを選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、共通の動作チェック画面６７に移行する。

第２画面７２が表示手段５１に表示されているときに、操作者によって、ステーション番号として１以上４以下の整数値が入力され、さらに（１）データ設定を選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、個別のデータ設定画面６２に移行し、（２）動作点教示を選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、個別の動作点教示画面６４に移行し、（３）データコピーを選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、個別のデータコピー画面６６に移行し、（４）動作チェックを選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、個別の動作チェック画面６８に移行する。

個別の動作点教示画面６４が表示手段５１に表示されているときに、操作者によって、動作点修正を選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、個別の動作点修正画面７０に移行する。個別の動作チェック画面６８が表示手段５１に表示されているときに、操作者によって、動作点修正を選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、個別の動作点修正画面７０に移行する。個別の動作点修正画面７０が表示手段５１に表示されているときに、操作者によって、（１）動作点教示を選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、個別の動作点教示画面６４に移行し、（２）動作チェックを選択する指令が入力されると、表示手段５１の画面は、個別の動作チェック画面６８に移行する。

前述の各画面６１〜７２のうち第１および第２画面７２を除く残余の画面が表示されているときに、操作者によって、取消指令が入力されると、表示手段５１の画面は、第２画面７２に戻る。

以下、図１３〜図１７を参照して、表示手段５１に表示される操作画面について説明する。これらの図１３〜図１７では、ロボット２が、２つのアームと、各アームの先端部に１つずつ設けられる２つハンドとを含む場合の操作画面を示す。このように２つのアームおよび２つのハンドが設けられる場合でも、ロボット２の動作は基本的には同様である。第１および第２アームには、アーム番号として「１」および「２」がそれぞれ個別に割り当てられる。

図１３は、第２画面７２を示す図である。第２画面７２は、ステーション番号表示領域７６と、項目表示領域７７とを有する。ステーション番号表示領域７６には、ステーション番号情報を入力するための入力ボックス７８が表示される。項目表示領域７７には、複数、本実施の形態では４つの項目が表示される。項目表示領域７７には、前記４つの項目として、データ設定、動作点教示、データコピーおよび動作チェックが表示される。

第２画面７２が表示手段５１に表示されているときに、操作者が、操作部４１に設けられる数字キー７９を操作して、ステーション番号表示領域７６の入力ボックス７８に、ステーション番号情報を入力する。この後、操作者が、操作部４１に設けられるカーソルキー８０および選択キー８１を操作して、各項目のいずれか１つを選択する。これによってデータ設定を選択する指令、動作点教示を選択する指令、データコピーを選択する指令および動作チェックを選択する指令のいずれか１つが入力され、表示手段５１の画面は、第２画面７２から、共通および個別のデータ設定画面６１，６２、共通および個別の動作点教示画面６３，６４、共通および個別のデータコピー画面６５，６６、ならびに共通および個別の動作チェック画面６７，６８のいずれか１つに移行する。

図１４は、個別のデータ設定画面６２を示す図である。個別のデータ設定画面６２は、作業位置関係情報を入力するための画面である。個別のデータ設定画面６２は、ステーション番号表示領域８３と、項目表示領域８４とを有する。ステーション番号表示領域８３には、ステーション番号が表示される。項目表示領域８４には、１または複数、本実施の形態では２つの項目が表示されるとともに、各項目毎に入力ボックス８５が表示される。項目表示領域８４には、２つの項目として、段数およびピッチが表示される。各入力ボックス８５には、段数情報およびピッチ情報を入力することができる。

個別のデータ設定画面６２が表示手段５１に表示されているときに、操作者が、カーソルキー８０を操作して、カーソルを移動して項目表示領域８４の２つの項目のいずれか１つに重ねる。この後、操作者が、数字キー７９を操作して、カーソルを重ねた項目の入力ボックス８５に所望の数値情報を入力し、さらに操作部４１に設けられるリターンキー８６を押下する。これによって項目表示領域８４の前記カーソルを重ねた項目に関する情報として、前記所望の数値情報が設定される。このような操作によって、作業位置関係情報、すなわち段数情報およびピッチ情報が設定される。

図１５は、個別の動作点教示画面６４を示す図である。個別の動作点教示画面６４は、ステーション番号表示領域８８と、位置表示領域８９と、項目表示領域９０とを有する。ステーション番号表示領域８８には、ステーション番号が表示される。位置表示領域８９には、各ハンドの位置に関する情報が表示される。

項目表示領域９０には、１または複数、本実施の形態では３つの項目が表示されるとともに、各項目毎に設定確認符号９１が表示される。項目表示領域９０には、３つの項目として、引渡しまたは受取り位置、上側待機位置および下側待機位置が表示される。引渡しまたは受取位置、上側待機位置および下側待機位置は、第４、第２および第６動作点３４，３２，３６にそれぞれ対応する。設定確認符号９１は、その項目が設定済みの場合は「Ｒ」と表示され、その項目が未設定の場合は「？」と表示される。このように設定確認符号９１が表示されるので、操作者は、各項目が設定済みか否かを容易に確認することができる。

個別の動作点教示画面６４が表示手段５１に表示されているときに、操作者が、操作部４１のカーソルキー８０を操作して、カーソルを移動して項目表示領域の３つの項目のいずれか１つに重ね、選択キー８１を押下する。この後、操作者が、操作部４１に設けられる軸キー９２を操作して、ロボット２のハンド１１を所望の位置に移動させる。前記軸キー９２は、前記移動指令入力手段４７に含まれる。この後、操作者が、操作部４１に設けられるレコードキー９３を押下する。これによって項目表示領域９０の前記カーソルを重ねた項目に関する情報として、レコードキー９３を押下した時点におけるロボット位置情報が設定される。このような操作によって、教示動作点情報が設定される。

図１６は、個別の動作チェック画面６８を示す図である。個別の動作チェック画面６８は、ステーション番号表示領域９５と、位置表示領域９６と、項目表示領域９７と、動作点表示領域９８とを有する。ステーション番号表示領域９５には、ステーション番号が表示される。位置表示領域９６には、各ハンドの位置に関する情報が表示される。

項目表示領域９７には、１または複数、本実施の形態では３つの項目が表示されるとともに、各項目毎に入力ボックス９９が表示される。項目表示領域９７には、３つの項目として、段番号、アーム番号および動作点番号が表示される。各入力ボックス９９には、段番号情報、アーム番号を示すアーム番号情報、および動作点番号情報を入力することができる。動作点表示領域９８には、単位動作における各動作点３１〜３７を表す動作点符号５４とロボット２の移動経路３０を表す経路線図５５とが関連付けて表示される。

個別の動作チェック画面６８が表示手段５１に表示されているときに、操作者が、操作部４１のカーソルキー８０を操作して、カーソルを移動して項目表示領域９７の３つの項目のうちいずれか１つに重ねる。この後、操作者が、数字キー７９を操作して、カーソルを重ねた項目の入力ボックス９９に所望の数値情報を入力する。このような操作によって、段番号情報、アーム番号情報および動作点番号情報が入力される。

このようにして項目表示領域９７の各項目に関する情報を入力した後、操作者が、教示支援装置１の背面に配置されるデッドマンスイッチ１０６を押下した状態で、操作部４１に設けられるチェックキー１００を押下する。これによって演算手段４５は、動作点情報を演算する。この後、演算手段４５は、その演算結果に基づいて、動作指令入力手段４９に入力される動作指令に応じた動作点にロボット２を動作させるロボット動作指令を、ロボット動作指令手段５０によってロボット２に与えることができる。

このようにデッドマンスイッチ１０６を押下した状態でチェックキー１００を押下することによって、ロボット動作指令がロボット２に与えられるので、操作者が、項目表示領域９７の各項目に関する情報を入力しているときにチェックキー１００を誤って押下してしまっても、ロボット２が動作せず、したがって不所望なロボット２の動作を防ぐことができる。

図１７は、個別の動作点修正画面７０を示す図である。個別の動作点修正画面７０は、ステーション番号表示領域１０１と、位置表示領域１０２と、項目表示領域１０３と、位置修正領域１０４とを有する。ステーション番号表示領域１０１には、ステーション番号が表示される。位置表示領域１０２には、各ハンドの位置に関する情報が表示される。

項目表示領域１０３には、修正される項目が表示される。位置修正領域１０４には、個別の動作点修正画面７０が表示手段５１に表示された時点における教示動作点情報を示す数値が表示されるとともに、各教示動作点情報毎に入力ボックス１０５が表示される。各入力ボックス１０５には、新たな教示動作点情報を入力することができる。

個別の動作点修正画面７０が表示手段５１に表示されているときに、操作者が、操作部４１のカーソルキー８０を操作して、カーソルを移動して位置修正領域１０４の教示動作点情報のいずれか１つに重ねる。この後、操作者が、操作部４１の数字キー７９を操作して、前述のようにしてカーソルを重ねた教示動作点情報の入力ボックス１０５に所望の数値を入力し、さらにリターンキー８６を押下する。これによって位置修正領域１０４の前記カーソルを重ねた教示動作点情報について、前記所望の数値情報が設定される。前述のような操作によって、位置修正領域１０４の各教示動作点情報について、所望の数値が設定される。

以上のような本実施の形態によれば、教示動作点入力手段４３には、ロボット２が基準作業位置１９ａで単位動作を行うために教示が必要な動作点を示す教示動作点情報が入力され、作業位置関係入力手段４４には、各作業位置１９の位置関係を示す作業位置関係情報が入力される。これらの情報に基づいて、演算手段４５は、ロボット２が各作業位置１９でそれぞれ単位動作を行う場合に移動すべき各動作点を示す動作点情報を演算する。演算結果出力手段４６は、演算手段４５による演算結果をロボット２に与える。

このように各作業位置１９における動作点情報が演算され、その演算結果がロボット２に与えられるので、基準作業位置１９ａにおける教示動作点情報と作業位置関係情報とが入力されるだけで、各作業位置１９における各動作点をロボット２に教示することができる。換言すると、各作業位置１９における各動作点をロボット２に教示するにあたって、各作業位置１９毎に各動作点情報を入力する必要がなく、したがって入力操作の回数を、可及的に少なくすることができる。これによって、教示のための操作を簡略化することができる。

また、各作業位置１９における各動作点をロボット２に教示するにあたって、基準作業位置１９ａにおける教示動作点情報と作業位置関係情報とを入力するだけでよいので、操作者は、ロボット２を動作させるためのプログラムを意識することなく、容易に、教示のための操作を行うことができる。

また本実施の形態によれば、教示動作点入力手段４３には、ロボット２が基準作業位置１９ａで単位動作を行う場合における第１〜第７動作点３１〜３７のうち第２、第４および第６動作点３２，３４，３６を示す情報が教示動作点情報として入力される。この教示動作点情報と予め定められる各動作点の位置関係を示す動作点位置関係情報とに基づいて、演算手段４５は、動作点情報を演算する。このように動作点情報が演算されるので、第１、第３、第５および第７動作点３１，３３，３５，３７を示す情報を入力する必要がなく、したがって入力操作の回数を、さらに少なくすることができる。これによって、教示のための操作をさらに簡略化することができる。

また本実施の形態によれば、移動指令入力手段４７には、ロボット２を任意の位置に移動させるための移動指令が入力され、ロボット移動指令手段４８は、移動指令入力手段４７に入力される移動指令に基づくロボット移動指令をロボット２に与える。このロボット移動指令に応じて、ロボット２は移動する。教示動作点入力手段４３は、前記ロボット２からロボット位置情報が入力され、演算手段４５は、そのロボット位置情報を教示動作点情報として設定する。このように教示動作点情報が設定されるので、操作者は、教示支援装置１を用いてロボット２を移動させて、ロボット２の位置をたとえば目視によって確認しながら、ロボット２の動作点を教示することができる。したがってロボット２の動作点を正確かつ容易に教示することができる。

また実施の形態によれば、動作指令入力手段４９には、任意の作業位置１９における任意の動作点にロボット２を移動させるための動作指令が入力される。ロボット動作指令手段５０は、演算手段４５による演算結果に基づいて、動作指令入力手段４９に入力される動作指令に応じた任意の動作点にロボット２を動作させるロボット動作指令をロボット２に与える。このロボット動作指令に応じて、ロボット２は動作する。したがって動作指令入力手段４９に動作指令を入力することによって、所望の動作点にロボット２を移動させ、ロボット２の動作確認を容易に行うことができる。

また本実施の形態によれば、動作チェック処理が実行されるとき、表示手段５１には、単位動作における各動作点３１〜３７を表す動作点符号５４とロボットの移動経路３０を表す経路線図５５とが関連づけて表示されるので、操作者は、表示手段５１による表示を目視することによって、ロボット２の移動経路３０における各動作点３１〜３７の位置関係を、容易に把握することができる。

また動作指令入力手段４９には、任意の作業位置１９を表す情報と、表示手段５１に表示される動作点符号５４のうちの１つを示す情報とが動作指令として入力される。このようにして動作指令が入力されるので、操作者は、ロボット２を動作させるためのプログラムを意識することなく、動作指令を容易に入力することができる。

また本実施の形態によれば、ロボット２として、基板３を搬送する基板搬送用ロボットが用いられる。基板搬送用ロボットでは、多数の動作点を教示する必要があるが、本実施の形態では、教示のための操作を簡略化して、施工準備に要する時間を短縮することができる。

前述の実施の形態は、本発明の例示に過ぎず、本発明の範囲内において構成を変更することができる。前述の実施の形態では、前記図１０のステップａ１８では、演算手段４５は、前記ステップａ１で取得したステーション番号に対応する基板収容部１７の修正された教示動作点情報を、新たな教示動作点情報として取得して設定するが、演算手段４５が、ピッチ情報を修正して、修正したピッチ情報を、新たなピッチ情報として設定してもよい。一例として述べると、ピッチ情報は、以下の式に基づいて修正される。
（新たなピッチ）＝(現状のピッチ)＋（ずれ量）÷(（対象段数）−１)…（１）

対象段数は、前記ステップｂ５で取得した段番号に対応する作業位置１９について基準作業位置１９ａから数えた段数である。ずれ量は、前記図１１のステップｂ１２で演算手段４５が演算した動作点情報が示すハンド１１の位置と、前記対象段数における所望のハンド１１の位置との差を示す。前記所望のハンド１１の位置は、前記動作点情報が示す位置にハンド１１が移動された後に、操作者によって前記対象段数における所望の位置にハンド１１が移動されることによって、演算手段４５に取得される。ずれ量は、前記図１１のステップｂ１２で演算手段４５が演算した動作点情報が示すハンド１１の位置が、前記対象段数における所望のハンド１１の位置よりも上方となる場合を、負とする。

また前述の実施の形態では、基準作業位置１９ａは、基板収容部１７の各作業位置１９のうち最も下方の作業位置だけであるが、本発明の実施の他の形態では、基準作業位置は、複数であってもよい。一例として述べると、基準作業位置は、前記各作業位置１９のうち最も下方の作業位置および最も上方の作業位置であってもよい。この場合、教示動作点入力手段４３には、前記最も下方および最も上方の作業位置で、ロボット２が単位動作を行う場合における複数の動作点のうち一部の動作点を示す教示動作点情報が入力される。演算手段４５は、前記教示動作点情報と段数情報とに基づいて、動作点情報を演算する。

詳細に述べると、基板収容部１７の最も下方の作業位置からｎ段目の作業位置の第４動作点３４は、以下の式に基づいて演算される。
θ＝θＬ＋（θＵ−θＬ）×（ｎ−１）÷（Ｓ−１） …（２）
Ｚ＝ＺＬ＋（ＺＵ−ＺＬ）×（ｎ−１）÷（Ｓ−１） …（３）
Ｘ＝ＸＬ＋（ＸＵ−ＸＬ）×（ｎ−１）÷（Ｓ−１） …（４）

θは、前記ｎ段目の作業位置の第４動作点３４におけるハンド１１の鉛直軸線１４まわりの周方向３８の位置を示し、θＬは、最も下方の作業位置の第４動作点３４におけるハンド１１の鉛直軸線１４まわりの周方向３８の位置を示し、θＵは、最も上方の作業位置の第４動作点３４におけるハンド１１の鉛直軸線１４まわりの周方向３８の位置を示す。Ｚは、前記ｎ段目の作業位置の第４動作点３４におけるハンド１１の鉛直方向１３の位置を示し、ＺＬは、最も下方の作業位置の第４動作点３４におけるハンド１１の鉛直方向１３の位置を示し、ＺＵは、最も上方の作業位置の第４動作点３４におけるハンド１１の鉛直方向１３の位置を示す。Ｘは、前記ｎ段目の作業位置の第４動作点３４におけるハンド１１の水平軸線１４に沿う方向２５ａ，２５ｂの位置を示し、ＸＬは、最も下方の作業位置の第４動作点３４におけるハンド１１の水平軸線１４に沿う方向２５ａ，２５ｂの位置を示し、ＸＵは、最も上方の作業位置の第４動作点３４におけるハンド１１の水平軸線１４に沿う方向２５ａ，２５ｂの位置を示す。Ｓは、基板収容部１７の段数を示す。

前記式（２）〜（４）を用いて演算手段４５によって動作点情報が演算される場合は、ピッチ情報は、教示動作点情報および段数情報に基づいて演算されるので、ピッチ情報は入力される必要がない。したがって操作者が基板収容部１７のピッチ情報を知らなくても、ロボット２の教示を行うことができる。

また基準作業位置１９ａは、必ずしも基板収容部１７の各作業位置１９のうち最も下方の作業位置である必要はなく、たとえば前記各作業位置１９のうち最も上方の作業位置が基準作業位置１９ａであってもよく、またその他の作業位置が基準作業位置１９ａであってもよい。

また前述の実施の形態では、教示動作点情報は、第２、第４および第６動作点３２，３４，３６を示す情報であるが、教示動作点情報は、たとえば第４動作点３４を示す情報だけであってもよい。この場合、演算手段４５は、第４動作点３４を示す情報と、予め定められる各動作点の位置関係を示す動作点位置関係情報とに基づいて、第１〜第７動作点３１〜３７のうち第４動作点３４を除く残余の動作点３１〜３３，３５〜３７を示す情報を演算する。このように第４動作点３４を示す情報に基づいて前記残余の動作点３１〜３３，３５〜３７を示す情報が演算されるので、入力すべき情報をさらに少なくすることができ、したがって入力操作の回数を、さらに少なくすることができる。これによって、教示のための操作をさらに簡略化することができる。

また、教示支援装置１によって教示されるロボット２は、１台に限らず、複数台でもよい。ロボットが複数台の場合は、各ロボットにロボット番号をそれぞれ個別に割り当て、各ロボット毎に教示する必要がある。

また、動作チェック処理では、デッドマンスイッチ１０６が押下された状態でチェックキー１００が押下されたときのハンド１１の位置と、動作指令に応じた位置との位置関係によっては、ハンド１１を移動させないようにプログラムを構築してもよい。前記位置関係によっては、ハンド１１を移動させたときに、ハンド１１が基板収容部１７に衝突し、ロボット２または基板収容部１７が破損してしまうことがあるが、前述のようにプログラムを構築することによって、そのような危険を回避することができる。

また、図１３〜図１７に示す操作画面は、一例であって、表示手段５１に表示される操作画面の内容は、変更されてもよい。図１６に示す個別の動作チェック画面６８では、動作点表示領域９８には、単位動作における各動作点３１〜３７を表す動作点符号５４が表示されるが、各動作点３１〜３７のいずれかが不要である場合は、その動作点を表す動作点符号５４を表示させないようにしてもよい。このような操作画面の内容の変更は、アプリケーションプログラムを変更することによって容易に変更することができる。

また、教示支援装置は、表示部４２に設けられるタッチパネルをさらに含み、たとえば図１６に示す個別の動作チェック画面６８が表示手段５１に表示されるときに、操作者が手指で、動作点符号５４のいずれか１つの表示領域に対応するタッチパネルの一部に触れることによって、動作点番号情報が入力されるように構成されてもよい。

また前述の実施の形態では、前記図１０のステップａ１８では、演算手段４５は、前記ステップａ１で取得したステーション番号に対応する基板収容部１７の修正された教示動作点情報を、新たな教示動作点情報として取得して設定するが、このように新たな教示動作点情報が設定されても、所望の位置にハンド１１を移動させることができない場合がある。この場合は、基板収容部１７の各作業位置１９にステーション番号をそれぞれ個別に割り当てて、各作業位置１９毎に教示動作点情報および作業位置関係情報を設定してもよい。

本発明の実施の一形態である教示支援装置１の構成を示すブロック図である。 ロボット２の構成を簡略化して示す斜視図である。 ロボット２による基板３の取出動作を説明するための簡略化した断面図である。 ロボット２の図３に続く動作を説明するための簡略化した断面図である。 取出動作および収納動作におけるハンド１１の移動経路３０を示す図である。 図２に示すロボット２を備える基板処理設備２７の構成を示すブロック図である。 教示支援装置１の外観を示す正面図である。 操作者によるロボット２の教示手順の一例を示すフローチャートである。 教示支援装置１の教示支援動作を示すフローチャートである。 教示支援装置１の図９に続く教示支援動作を示すフローチャートである。 動作チェック処理を示すフローチャートである。 表示手段５１に表示される操作画面の遷移を示す図である。 第２画面７２を示す図である。 個別のデータ設定画面６２を示す図である。 個別の動作点教示画面６４を示す図である。 個別の動作チェック画面６８を示す図である。 個別の動作点修正画面７０を示す図である。

符号の説明

１ 教示支援装置
２ ロボット
３ 基板
５ ロボット本体
６ ロボットコントローラ
８ 基台
９ 可動体
１０ アーム
１１ ハンド
１７ 基板収容部
１９ 作業位置
４１ 操作部
４２ 表示部
４３ 教示動作点入力手段
４４ 作業位置関係入力手段
４５ 演算手段
４６ 演算結果出力手段
４７ 移動指令入力手段
４８ ロボット移動指令手段
４９ 動作指令入力手段
５０ ロボット動作指令手段
５１ 表示手段
５２ 記憶手段
５４ 動作点符号
５５ 経路線図

Claims (7)

1. 複数の基板を鉛直方向に等間隔をあけて並列に配置した状態で収容する基板収容部に対して、基板が配置される複数の収容位置にそれぞれ対応する複数の作業位置で、基板収容部に基板を収納する収納動作または基板収容部から基板を取出す取出動作を、単位動作として順次繰り返して、複数の基板を順次搬送する基板搬送用ロボットに対する移動位置の教示を支援し、
   基板収容部に対して基板を引渡しまたは受取りする引渡しまたは受取り位置と、引渡しまたは受取り位置よりも上方でかつ基板収容部から退避した上側退避位置と、上側退避位置から水平移動して基板収容部の手前に位置する上側待機位置と、上側待機位置から水平移動して基板収容部に進入して引渡しまたは受取り位置の直上に位置する上側進入位置と、引渡しまたは受取り位置から下降移動して引渡しまたは受取り位置の直下の下側進入位置と、下側進入位置から水平移動して基板収容部から退避して基板収容部の手前に位置する下側待機位置と、下側待機位置から水平移動して基板収容部から退避した下側退避位置とを、基板搬送用ロボットが前記単位動作を行うときに移動すべき動作点とし、各動作点の位置を示す情報を、作業位置毎に基板搬送用ロボットにそれぞれ与える教示支援装置であって、
   基板搬送用ロボットを、移動させるべき位置に移動させるための移動指令が入力される移動指令入力手段と、
   移動指令入力手段に入力される移動指令に基づくロボット移動指令を基板搬送用ロボットに与えるロボット移動指令手段と、
   前記ロボット移動指令に応じて移動した基板搬送用ロボットの位置を示すロボット位置情報が基板搬送用ロボットから入力される教示動作点入力手段であって、複数の作業位置のうち予め定める基準作業位置で基板搬送用ロボットが前記単位動作を行うときに移動すべき、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、引渡しまたは受取り位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうちで、引渡しまたは受取り位置を含む一部の位置を示す教示動作点情報が入力される教示動作点入力手段と、
   各作業位置の位置関係を示す作業位置関係情報が入力される作業位置関係入力手段と、
   基板搬送用ロボットが各作業位置で前記単位動作をそれぞれ行うときに移動すべき各位置をそれぞれ示す動作点情報を演算する演算手段であって、
   基板搬送用ロボットから教示動作点入力手段に入力されたロボット位置情報を教示動作点情報として設定し、
   教示動作点入力手段に入力される教示動作点情報と、作業位置関係入力手段に入力される作業位置関係情報とに基づいて、作業位置毎の引渡しまたは受取り位置を演算するとともに、
   演算した作業位置毎の引渡しまたは受取り位置と、引渡しまたは受取り位置に対する上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のそれぞれの位置関係を示す動作点位置関係情報とに基づいて、作業位置毎の上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置を演算する演算手段と、
   演算手段によって演算された引渡しまたは受取り位置、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置をそれぞれ示す動作点情報を作業位置毎に基板搬送用ロボットに与える演算結果出力手段とを含むことを特徴とする基板搬送用ロボットの教示支援装置。
2. 前記教示動作点入力手段には、上側待機位置、下側待機位置および引渡しまたは受取り位置を示す情報が入力され、
   前記演算手段は、
   教示動作点入力手段に入力された上側待機位置、下側待機位置および引渡しまたは受取り位置の位置関係に基づいて、上側待機位置と引渡しまたは受取り位置との位置関係を示す情報を生成するとともに、下側待機位置と引渡しまたは受取り位置との位置関係を示す情報を生成し、
   生成した位置関係を示すそれぞれの情報と、作業位置毎の引渡しまたは受取り位置とに基づいて、作業位置毎の上側待機位置と下側待機位置とを演算し、
   上側待機位置、下側待機位置および引渡しまたは受取り位置に対する上側退避位置、上側進入位置、下側進入位置および下側退避位置のそれぞれの位置関係を示す動作点位置関係情報と、演算した作業位置毎の上側待機位置、下側待機位置および引渡しまたは受取り位置とに基づいて、作業位置毎の上側退避位置、上側進入位置、下側進入位置および下側退避位置を演算することを特徴とする請求項１記載の基板搬送用ロボットの教示支援装置。
3. 前記教示動作点入力手段には、引渡しまたは受取り位置だけを示す情報が入力され、
   前記演算手段は、
   教示動作点入力手段に入力される引渡しまたは受取り位置の情報と、作業位置関係入力手段に入力される作業位置関係情報とに基づいて、作業位置毎の引渡しまたは受取り位置を演算するとともに、
   教示動作点入力手段に入力された引渡しまたは受取り位置に対する、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のそれぞれの位置関係を示す動作点位置関係情報と、演算した作業位置毎の引渡しまたは受取り位置とに基づいて、作業位置毎の上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置をそれぞれ演算することを特徴とする請求項１記載の基板搬送用ロボットの教示支援装置。
4. 複数の作業位置のうち任意の１つを示す情報と、引渡しまたは受取り位置、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうち任意の１つを示す情報が入力される動作指令入力手段と、
   動作指令入力手段に入力される情報に示される作業位置における、引渡しまたは受取り位置、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうち１つに基板搬送用ロボットを移動させるロボット動作指令を基板搬送用ロボットに与えるロボット動作指令手段とをさらに含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の基板搬送用ロボットの教示支援装置。
5. 前記単位動作における引渡しまたは受取り位置、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置を、それぞれ表す動作点符号と、前記単位動作における基板搬送用ロボットの移動経路を表す経路線図とを関連づけて表示する表示手段をさらに含み、
   前記動作指令入力手段には、複数の作業位置のうちで任意の１つの作業位置を示す情報と、表示手段に表示される動作点符号のうちの１つを示す情報とが入力され、
   前記ロボット動作指令手段は、前記動作指令入力手段で入力された１つの作業位置情報に示される作業位置において、前記動作指令入力手段で入力された動作点符号のうちの１つを示す情報に示される引渡しまたは受取り位置、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうち１つの位置に基板搬送用ロボットを移動させるロボット動作指令を基板搬送用ロボットに与えることを特徴とする請求項４記載の基板搬送用ロボットの教示支援装置。
6. 表示手段は、基板収容部毎にそれぞれ個別に割り当てられるステーション番号のうちから、前記動作指令入力手段によって入力された１つを示す情報と、
   作業位置毎にそれぞれ個別に割り当てられる段番号のうちから、前記動作指令入力手段によって入力された１つを示す情報と、
   前記各動作点符号のうちから、前記動作指令入力手段によって入力された１つを示す情報とを１画面に表示することを特徴とする請求項５記載の基板搬送用ロボットの教示支援装置。
7. 複数の基板を鉛直方向に等間隔をあけて並列に配置した状態で収容する基板収容部に対して、基板が配置される複数の収容位置にそれぞれ対応する複数の作業位置で、基板収容部に基板を収納する収納動作または基板収容部から基板を取出す取出動作を、単位動作として順次繰り返して、複数の基板を順次搬送する基板搬送用ロボットに対する移動位置の教示を支援し、
   基板収容部に対して基板を引渡しまたは受取りする引渡しまたは受取り位置と、引渡しまたは受取り位置よりも上方でかつ基板収容部から退避した上側退避位置と、上側退避位置から水平移動して基板収容部の手前に位置する上側待機位置と、上側待機位置から水平移動して基板収容部に進入して引渡しまたは受取り位置の直上に位置する上側進入位置と、引渡しまたは受取り位置から下降移動して引渡しまたは受取り位置の直下の下側進入位置と、下側進入位置から水平移動して基板収容部から退避して基板収容部の手前に位置する下側待機位置と、下側待機位置から水平移動して基板収容部から退避した下側退避位置とを、基板搬送用ロボットが前記単位動作を行うときに移動すべき動作点とし、各動作点の位置を示す情報を、作業位置毎に基板搬送用ロボットにそれぞれ与える教示支援装置の教示支援方法であって、
   複数の作業位置のうち予め定める基準作業位置で、基板搬送用ロボットが前記単位動作を行うときに移動すべき、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、引渡しまたは受取り位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のうちで、引渡しまたは受取り位置を含む一部の位置を示す教示動作点情報と、各作業位置の位置関係を示す作業位置関係情報とを取得する取得工程であって、入力される移動指令に基づくロボット移動指令に応じて移動したロボットの位置を示すロボット位置情報を教示動作点情報としてロボットから取得する取得工程と、
   取得工程において取得した各情報に基づいて、基板搬送用ロボットが各作業位置でそれぞれ前記単位動作を行うときに移動すべき各位置をそれぞれ演算する演算工程であって、
   教示動作点入力手段に入力される教示動作点情報と、作業位置関係入力手段に入力される作業位置関係情報とに基づいて、作業位置毎の引渡しまたは受取り位置を演算するとともに、
   演算した作業位置毎の引渡しまたは受取り位置と、引渡しまたは受取り位置に対する上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置のそれぞれの位置関係を示す動作点位置関係情報とに基づいて、作業位置毎の上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置を演算する演算工程と、
   演算工程によって演算された引渡しまたは受取り位置、上側退避位置、上側待機位置、上側進入位置、下側進入位置、下側待機位置および下側退避位置を示す情報を作業位置毎に基板搬送用ロボットに与える演算結果出力工程とを含むことを特徴とする基板搬送用ロボットの教示支援装置の教示支援方法。

Images