JP2020047853A - レシピ表示装置、レシピ表示方法、およびレシピ表示プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置100の平面図である。この基板処理装置100は、半導体ウェハの製造工程において、円板状の基板W(シリコンウェハ)の表面に処理液を供給して、基板Wの表面を処理する装置である。図1に示すように、基板処理装置100は、インデクサ101と、複数の処理ユニット102と、主搬送ロボット103とを備えている。
続いて、処理ユニット102の構成について説明する。以下では、基板処理装置100が有する複数の処理ユニット102のうちの1つについて説明するが、他の処理ユニット102も同等の構成を有する。
続いて、コンピュータ70における処理レシピの表示および編集について、説明する。
図7は、処理レシピの表示および編集のためのコンピュータ70の機能を概念的に示したブロック図である。図7に示すように、コンピュータ70は、レシピ記憶部71、画像表示部72、内容反映部73、および編集処理部74を有する。これらの各部の機能は、レシピ表示プログラムP2に従って、コンピュータ70が動作することにより実現される。
図9は、処理レシピの表示モードの一つである「レシピチャート表示」の例を示した図である。このレシピチャート表示は、横軸を時間軸として、各ハードウェア要素の動作を、時間軸に沿って表したものである。ただし、レシピチャート表示は、縦軸を時間軸とするものであってもよい。図9のレシピチャート表示は、回転数表示部81、ノズル表示部82、および給液表示部83を含んでいる。
図10は、処理レシピの表示モードの他の1つである「スキャンポジション表示」の例を示した図である。このスキャンポジション表示は、基板保持部20に保持された基板Wに対する上面ノズル41の位置を、動的なイメージとして表示するものである。
図11は、処理レシピの表示モードの他の1つである「チャンバイメージ表示」の例を示した図である。このチャンバイメージ表示は、基板Wに対する処理液の供給と処理液の排出とを、動的なイメージとして表示するものである。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。
20 基板保持部
21 スピンベース
30 回転機構
40 処理液供給部
41 上面ノズル
42 下面ノズル
43 給液部
50 処理液捕集部
51 内カップ
52 中カップ
53 外カップ
54 排液配管
60 遮断板
70 コンピュータ
71 レシピ記憶部
72 画像表示部
73 内容反映部
74 編集処理部
81 回転数表示部
82 ノズル表示部
83 給液表示部
100 基板処理装置
101 インデクサ
102 処理ユニット
103 主搬送ロボット
411 ノズルアーム
412 ノズルヘッド
413 ノズルモータ
431 給液配管
432 処理液供給源
433 バルブ
510 第1案内板
511 第1排液溝
512 第2排液溝
513 第3排液溝
520 第2案内板
530 第3案内板
704 ディスプレイ
705 入力部
811 折れ線図形
821 帯状図形
831 帯状図形
M 記憶媒体
P1 制御プログラム
P2 レシピ表示プログラム
R レシピファイル
W 基板
21i スピンベースアイコン
41i ノズルアイコン
51i 内カップアイコン
52i 中カップアイコン
53i 外カップアイコン
54i 排液アイコン
431i 給液アイコン
Wi 基板アイコン
Claims (14)
- 基板処理装置において順次に実行される複数の処理の内容を示す処理レシピを画面に表示するレシピ表示装置であって、
前記処理レシピの内容が記述されたレシピファイルを記憶するレシピ記憶部と、
前記処理レシピ中の複数の設定項目に対応する複数の画像を、前記画面に表示する画像表示部と、
前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記複数の画像のそれぞれを変化させる内容反映部と、
を備える、レシピ表示装置。 - 請求項1に記載のレシピ表示装置であって、
前記複数の画像は、前記基板処理装置の複数のハードウェア要素のうち、前記設定項目に対応するハードウェア要素の外観を模式的に示した複数のアイコンを含み、
前記内容反映部は、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記アイコンを変化させる、レシピ表示装置。 - 請求項2に記載のレシピ表示装置であって、
前記画像表示部は、
基板を示す基板アイコンと、
前記基板に対して処理液を供給する複数の給液配管を示す複数の給液アイコンと、
前記基板の周囲から処理液を排出する複数の排液配管を示す複数の排液アイコンと、
を画面上に表示し、
前記内容反映部は、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記複数の給液アイコンの少なくとも1つと、前記複数の排液アイコンの少なくとも1つとを、強調表示する、レシピ表示装置。 - 請求項3に記載のレシピ表示装置であって、
前記内容反映部は、前記処理レシピの内容に応じて、前記複数のアイコンを時間の経過とともに変化させるシミュレーション表示を実行可能である、レシピ表示装置。 - 請求項2に記載のレシピ表示装置であって、
前記画像表示部は、
基板を示す基板アイコンと、
前記基板に対して処理液を吐出するノズルを示すノズルアイコンと、
を画面上に表示し、
前記内容反映部は、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記基板アイコンに対する前記ノズルアイコンの位置を変化させる、レシピ表示装置。 - 請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載のレシピ表示装置であって、
前記画像は、前記処理レシピ中の複数の設定項目に対応する図形を含み、
前記内容反映部は、前記レシピファイルに記述された動作タイミングに関する数値に応じて、前記図形の時間軸方向の位置および長さを変化させる、レシピ表示装置。 - 請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載のレシピ表示装置であって、
前記内容反映部は、前記レシピファイル中の前記設定項目に関する数値または文字列を、前記設定項目に対応する前記画像に併記する、レシピ表示装置。 - 請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載のレシピ表示装置であって、
ユーザの操作に基づいて前記レシピファイルを編集する編集処理部と、
をさらに備え、
前記ユーザの操作は、前記複数の画像が表示された前記画面において、前記画像を指定する操作と、数値を入力する操作とを含み、
前記編集処理部は、前記操作において指定された前記画像に対応する前記レシピファイル中の前記設定項目に対して、前記操作により入力された数値を適用する、レシピ表示装置。 - 請求項8に記載のレシピ表示装置であって、
前記内容反映部は、前記編集処理部による前記数値の更新に応じて、前記画像を即時に変化させる、レシピ表示装置。 - 請求項1から請求項9までのいずれか1項に記載のレシピ表示装置であって、
複数の表示モードの選択を受け付ける入力部
をさらに備え、
前記画像表示部は、前記入力部において選択された表示モードに応じた態様で、前記複数の画像を、前記画面に表示する、レシピ表示装置。 - 請求項1から請求項10までのいずれか1項に記載のレシピ表示装置であって、
前記画像表示部は、前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの複数の工程のうち、ユーザにより指定された一部の工程に対応する画像のみを、前記画面に表示する、レシピ表示装置。 - 請求項2に記載のレシピ表示装置であって、
前記画像表示部は、前記基板処理装置が有する複数のハードウェア要素のうち、ユーザにより指定された一部のハードウェア要素に対応する画像のみを、前記画面に表示する、レシピ表示装置。 - 基板処理装置において順次に実行される複数の処理の内容を示す処理レシピを画面に表示するレシピ表示方法であって、
a)前記処理レシピの内容が記述されたレシピファイルを記憶する工程と、
b)前記処理レシピ中の複数の設定項目に対応する複数の画像を、前記画面に表示する工程と、
c)前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記複数の画像のそれぞれを変化させる工程と、
を有する、レシピ表示方法。 - 基板処理装置において順次に実行される複数の処理の内容を示す処理レシピを画面に表示するためのレシピ表示プログラムであって、
コンピュータに、
a)前記処理レシピの内容が記述されたレシピファイルを記憶する処理と、
b)前記処理レシピ中の複数の設定項目に対応する複数の画像を、前記画面に表示する処理と、
c)前記レシピファイルに記述された前記処理レシピの内容に応じて、前記複数の画像のそれぞれを変化させる処理と、
を実行させる、レシピ表示プログラム。
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