JP2005044845A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理装置の一側面にはメインパネル5aが設けられ、反対側の側面にサブパネル5bが設けられている。メインパネル5aの操作により洗浄処理部MPC1,MPC2の処理レシピの編集、アラーム(警報)確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等がなされ、サブパネル5bの操作により洗浄処理部MPC3,MPC4の処理レシピの編集、アラーム確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等がなされる。洗浄処理部MPC1〜MPC4の側面にはそれぞれ透明な監視窓6a,6b,6c,6dが設けられている。監視窓6a〜6dからそれぞれ洗浄処理部MPC1〜MPC4の処理動作が基板処理装置100の外部から視認される。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に所定の処理を行う基板処理装置および基板処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイス、液晶ディスプレイ等の製造工程では、複数の処理ユニットを備えた基板処理装置により、半導体ウエハ、ガラス基板等の基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、イオン注入、レジスト剥離、層間絶縁膜の形成、熱処理等の各種処理が行われる(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
上記基板処理装置においては、複数の処理ユニットにおいて基板の処理が自動的に連続して行われる。このような基板処理装置においては、コントロールパネルの操作により各処理ユニットにおける処理の内容を予め設定することができる。また、コントロールパネルの操作により、各処理ユニットの手動運転を行うことができ、各処理ユニットの動作確認を行うことができる。
【0004】
【特許文献1】
特開平9−45610号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一つのコントロールパネルの操作により各処理の内容の設定を一つずつ設定するためには長時間を要し、作業効率が低い。また、一つのコントロールパネルの操作により各処理ユニットの手動運転を行って動作確認を一つずつ行う場合も、長時間を要する。さらに、コントロールパネルの操作位置から視認できない位置に配置された処理ユニットの動作確認を行うためには、作業者がコントロールパネルの操作位置と処理ユニットとの間を往復する必要があり、作業効率が低い。
【0006】
本発明の目的は、複数の処理ユニットに関する指令および動作確認を効率良く行うことができる基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
本発明に係る基板処理装置は、少なくとも2つの側面を有し、基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、第1の側面に沿って配置され、基板を処理する複数の処理ユニットを含む第1の処理部群と、第2の側面に沿って配置され、基板を処理する複数の処理ユニットを含む第2の処理部群と、第1の側面に設けられ、第1の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの状態を表示可能であるとともに、第1の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うための第1の操作パネル部と、第2の側面に設けられ、第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの状態を表示可能であるとともに、第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うための第2の操作パネル部と、第1または第2の操作パネル部による指令に基づいて、第1および第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの動作を制御する制御手段とを備えるものである。
【0008】
本発明に係る基板処理装置においては、第1の側面に沿って配置される第1の処理部群および第2の側面に沿って配置される第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの各々により基板が処理される。
【0009】
使用者は、第1の操作パネル部の操作により第1の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの状態を表示させることができ、第1の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うことができる。
【0010】
また、使用者は、第2の操作パネル部の操作により第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの状態を表示させることができ、第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うことができる。
【0011】
また、第1または第2の操作パネル部による指令に基づいて制御手段により、第1および第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの動作が制御される。
【0012】
このように、使用者は、第1の側面に設けられた第1の操作パネル部の操作により第1の側面に沿って配置される第1の処理部群の各処理ユニットの状態表示および指令を行うことができる。また、使用者は、第2の側面に設けられた第2の操作パネル部の操作により第2の側面に沿って配置される第2の処理部群の各処理ユニットの状態表示および指令を行うことができる。
【0013】
それにより、一人の使用者が第1の操作パネル部の操作により第1の処理部群の処理ユニットの状態表示および指令を行い、他の一人の使用者が第2の操作パネル部の操作により第2の処理部群の処理ユニットの状態表示および指令を行うことができる。
【0014】
したがって、第1および第2の処理部群の各処理ユニットに関する指令および動作確認を効率良く行うことができる。
【0015】
指令は、処理ユニットの動作に関する設定を含んでもよい。この場合、使用者は、第1の操作パネル部の操作により第1の処理部群の各処理ユニットの処理の内容の設定を行うことができ、第2の操作パネル部の操作により第2の処理部群の各処理ユニットの処理の内容の設定を行うことができる。したがって、第1および第2の処理部群の各処理ユニットの処理の内容の設定を効率良く行うことができる。
【0016】
指令は、処理ユニットの手動運転に関する指令を含んでもよい。この場合、使用者は、第1の操作パネル部の操作により第1の処理部群の各処理ユニットの手動運転を行うことができ、第2の操作パネル部の操作により第2の処理部群の各処理ユニットの手動運転を行うことができる。したがって、第1および第2の処理部群の各処理ユニットの動作確認を効率良く行うことができる。
【0017】
第1の側面および第2の側面には1または複数の監視窓が設けられていてもよい。この場合、使用者は、第1の操作パネル部を操作しながら第1の処理部群の内部を監視窓から視認することができ、第2の操作パネル部を操作しながら第2の処理部群の内部を監視窓から視認することができる。
【0018】
したがって、使用者は、処理ユニットの動作を確認しながら第1および第2の操作パネル部を操作することができる。その結果、操作誤りが防止される。
【0019】
第1の操作パネル部は、所定の条件が満たされた場合に、第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うことが可能であってもよい。この場合、所定の条件が満たされるまでは第1の操作パネル部による第2の処理部群の処理ユニットに関する指令は制限される。したがって、第1および第2の操作パネル部の操作により処理ユニットに関する指令が重複して行われることはない。
【0020】
所定の条件は、第2の操作パネル部の故障であってもよい。この場合、第2の操作パネルが故障した場合に、使用者は、第1の操作パネル部の操作により第1および第2の処理部群の処理ユニットに関する指令を行うことができる。したがって、第1および第2の操作パネル部の操作により処理ユニットに関する指令が重複して行われることはない。
【0021】
所定の条件は、第1または第2の操作パネル部の操作による第2の操作パネル部の不能化の設定であってもよい。ここで、操作パネル部の不能化とは、第1および第2の操作パネル部の操作が制御手段に反映されない状態をいう。
【0022】
この場合、第1または第2の操作パネル部の操作による第2の操作パネル部の不能化の設定がなされることにより、第1の操作パネル部で第1および第2の処理部群の処理ユニットに関する指令を行うことができる。したがって、第1および第2の操作パネル部の操作により処理ユニットに関する指令が重複して行われることはない。
【0023】
第1の側面と第2の側面とは隣接しなくてもよい。この場合、第1および第2の処理部群がそれぞれ隣接しない第1および第2の側面に沿って設けられる。また、第1および第2の操作パネル部がそれぞれ隣接しない第1および第2の側面に設けられる。
【0024】
それにより、一人の作業者が第1の操作パネル部の操作により第1の処理部群の処理ユニットに関する指令を行うとともに他の一人の作業者が第2の操作パネル部の操作により第2の処理部群の処理ユニットに関する指令を行うことができる。したがって、作業効率が向上する。
【0025】
第1の側面と第2の側面とは第1および第2の処理部群を挟んで互いに反対側の側面であってもよい。この場合、第1および第2の処理部群がそれぞれ反対側に位置する第1および第2の側面に沿って設けられる。また、第1および第2の操作パネル部がそれぞ反対側に位置する第1および第2の側面に設けられる。
【0026】
それにより、一人の作業者が第1の操作パネル部の操作により第1の処理部群の処理ユニットに関する指令を行うとともに他の一人の作業者が第2の操作パネル部の操作により第2の処理部群の処理ユニットに関する指令を行うことができる。したがって、作業効率が向上する。
【0027】
本発明に係る基板処理方法は、第1の側面に沿って配置され基板を処理する複数の処理ユニットを含む第1の処理部群と、第2の側面に沿って配置され基板を処理する複数の処理ユニットを含む第2の処理部群とを備えた基板処理装置を用いた基板処理方法であって、第1の側面に設けられた第1の操作パネル部に第1の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの状態を表示するステップと、第1の操作パネル部の操作に基づいて第1の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うステップと、第2の側面に設けられた第2の操作パネル部に第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの状態を表示するステップと、第2の操作パネル部の操作に基づいて第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うステップと、第1または第2の操作パネル部による指令に基づいて、第1および第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの動作を制御するステップとを有するものである。
【0028】
本発明に係る基板処理方法においては、使用者は、第1の操作パネル部の操作により第1の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの状態を表示させることができ、第1の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うことができる。
【0029】
また、使用者は、第2の操作パネル部の操作により第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの状態を表示させることができ、第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うことができる。
【0030】
また、第1または第2の操作パネル部による指令に基づいて、第1および第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの動作が制御される。
【0031】
このように、使用者は、第1の側面に設けられた第1の操作パネル部の操作により第1の側面に沿って配置される第1の処理部群の各処理ユニットの状態表示および指令を行うことができる。また、使用者は、第2の側面に設けられた第2の操作パネル部の操作により第2の側面に沿って配置される第2の処理部群の各処理ユニットの状態表示および指令を行うことができる。
【0032】
それにより、一人の使用者が第1の操作パネル部の操作により第1の処理部群の処理ユニットの状態表示および指令を行い、他の一人の使用者が第2の操作パネル部の操作により第2の処理部群の処理ユニットの状態表示および指令を行うことができる。
【0033】
したがって、第1および第2の処理部群の各処理ユニットに関する指令および動作確認を効率良く行うことができる。
【0034】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0035】
以下の説明において、基板とは、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、PDP(プラズマディスプレイパネル)用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等をいう。
【0036】
図1は、本実施の形態に係る基板処理装置100の平面図である。図1に示すように、基板処理装置100は、処理領域A,Bを有し、処理領域A,B間に搬送領域Cを有する。
【0037】
処理領域Aには、メイン制御部4、洗浄処理部MPC1,MPC2および流体ボックス部2a,2bが配置されている。
【0038】
流体ボックス部2a,2bは、それぞれ洗浄処理部MPC1,MPC2への処理液の供給および洗浄処理部MPC1,MPC2からの使用済処理液の排液等に関する配管、継ぎ手、バルブ、流量計、レギュレータ、ポンプ、温度調節器、処理液貯留タンク等の流体関連機器を収納する。
【0039】
洗浄処理部MPC1,MPC2では、基板表面に付着した不純物、パーティクル等の残渣を除去するために残渣除去処理を含む洗浄処理が行われるとともに、洗浄処理後の基板の乾燥処理も行われる。
【0040】
処理領域Bには、洗浄処理部MPC3,MPC4および流体ボックス部2c,2dが配置されている。
【0041】
流体ボックス部2c,2dは、それぞれ洗浄処理部MPC3,MPC4への処理液の供給および洗浄処理部MPC3,MPC4からの使用済処理液の排液等に関する配管、継ぎ手、バルブ、流量計、レギュレータ、ポンプ、温度調節器、処理液貯留タンク等の流体関連機器を収納する。
【0042】
洗浄処理部MPC3,MPC4では、洗浄処理部MPC1,MPC2と同様の処理が行われる。
【0043】
なお本実施の形態においては、洗浄処理部MPC1〜MPC4は、同等の機能を有しており、基板処理のスループットを向上させるために4台搭載されている。ただし、基板処理のスループットを十分に確保できる場合は、例えば洗浄処理部MPC1を1台だけ搭載させてもよい。以下、洗浄処理部MPC1〜MPC4を処理ユニットと総称する。
【0044】
搬送領域Cには、基板搬送ロボットCRが設けられている。処理領域A,Bの一端部側には、基板Wの搬入および搬出を行うインデクサIDが配置されている。インデクサIDには、基板Wを収納するキャリア1a,1b,1cが載置される。本実施の形態においては、キャリア1a〜1cとして、基板Wを密閉した状態で収納するFOUP(Front Opening Unified Pod)を用いているが、これに限定されるものではなく、SMIF(Standard Mechanical Inter Face)ポッド、OC(Open Cassette)等を用いてもよい。
【0045】
基板搬送ロボットCRおよびインデクサロボットIRは、それぞれ基板Wを保持するための搬送アームを有する多関節アーム型である。
【0046】
インデクサIDのインデクサロボットIRは一対の搬送アームIRH1,IRH2を備え、基板搬送ロボットCRは一対の搬送アームCRH1,CRH2を備える。インデクサロボットIRの搬送アームIRH1は搬送アームIRH2より上方に設けられ、基板搬送ロボットCRの搬送アームCRH1は搬送アームCRH2より上方に設けられている。
【0047】
インデクサロボットIRは、矢印Uの方向に移動し、搬送アームIRH2を用いてキャリア1a〜1cから基板Wを取り出し、基板搬送ロボットCRの搬送アームCRH2に渡す。基板搬送ロボットCRは、インデクサロボットIRから渡された基板Wを洗浄処理部MPC1〜MPC4に搬送する。
【0048】
また、基板搬送ロボットCRは、洗浄処理部MPC1〜MPC4で所定の洗浄処理を施された基板Wを搬送アームCRH1を用いて洗浄処理部MPC1〜4から取り出し、インデクサロボットIRの搬送アームIRH1に渡す。インデクサロボットIRは、基板搬送ロボットCRから渡された基板Wをキャリア1a〜1cに戻す。
【0049】
このように、基板搬送ロボットCRおよびインデクサロボットIRは、それぞれの一方の搬送アームIRH2,CRH2で処理済の基板Wを搬送し、他方の搬送アームIRH1,CRH1で未処理の基板Wを搬送する。それにより、未処理の基板Wに付着していたパーティクルが処理済の基板Wへと転移することを防止できる。また、処理済の基板Wを基板搬送ロボットCRおよびインデクサロボットIRのそれぞれの上方側の搬送アームIRH1,CRH2で保持するようにしていることから、未処理の基板Wから落下したパーティクルが処理済の基板Wへと再付着することがない。
【0050】
メイン制御部4は、CPU(中央演算処理装置)を含むコンピュータ等からなり、処理領域A,Bの各処理ユニットの動作、搬送領域Cの基板搬送ロボットCRの動作およびインデクサIDのインデクサロボットIRの動作を制御する。
【0051】
図2(a)は図1の基板処理装置100の処理領域A側の側面図であり、図2(b)は基板処理装置100の処理領域B側の側面図である。
【0052】
図2(a)に示すように、メイン制御部4の側面にはメインパネル5aが設けられている。使用者は、メインパネル5aを操作して、基板処理装置100の基板処理の開始および停止を指令することができる。また、使用者は、メインパネル5aを操作して、洗浄処理部MPC1〜MPC4、インデクサロボットIRおよび基板搬送ロボットCRの処理レシピの編集、アラーム(警報)確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等を行うことができる。また、メインパネル5aは、基板処理装置100の各部の動作状況の詳細を表示する。
【0053】
ここで、処理レシピとは、基板の処理手順および処理条件をいう。アラーム確認とは、各処理ユニットが正常動作しなかった場合に、各処理ユニットの動作が停止するとともに使用者に警告が発せられることを確認する機能のことをいう。また、手動運転とは、各処理ユニットの一連の処理における各動作を使用者の指令により逐次実行させることをいう。
【0054】
洗浄処理部MPC1,MPC2の側面にはそれぞれ透明な監視窓6a,6bが設けられている。それにより、使用者は、洗浄処理部MPC1,MPC2の内部を基板処理装置100の外部から視認することができる。したがって、使用者は、洗浄処理部MPC1,MPC2の動作を確認しながらメインパネル5aを操作することができる。その結果、操作誤りが防止される。
【0055】
図2(b)に示すように、流体ボックス部2dおよび洗浄処理部MPC4の側面にサブパネル5bが設けられている。サブパネル5bは、メインパネル5aと同様の機能を有する。
【0056】
洗浄処理部MPC3,MPC4の側面にはそれぞれ透明な監視窓6c,6dが設けられている。それにより、洗浄処理部MPC3,MPC4の内部を基板処理装置100の外部から視認することができる。したがって、使用者は、洗浄処理部MPC3,MPC4の動作を確認しながらサブパネル5bの操作をすることができる。その結果、操作誤りが防止される。
【0057】
ここで、本実施の形態に係るメインパネル5aおよびサブパネル5bの操作モードには、通常モード、メイン単独モードおよびサブ単独モードが含まれる。通常モードとは、電源投入時に初期設定される通常の操作モードをいう。メイン単独モードとは、サブパネル5bが故障するかまたはメインパネル5aもしくはサブパネル5bに対して所定の操作を行うことにより切り替わる操作モードをいう。サブ単独モードとは、メインパネル5aが故障するかまたはメインパネル5aもしくはサブパネル5bに対して所定の操作を行うことにより切り替わる操作モードをいう。
【0058】
操作モードが通常モードの場合には、メインパネル5aによる洗浄処理部MPC3,MPC4の処理レシピの編集、アラーム確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等が制限される。
【0059】
また、操作モードが通常モードの場合には、サブパネル5bによる基板処理装置100による基板処理の開始および停止の指令、洗浄処理部MPC1,MPC2、インデクサロボットIRおよび基板搬送ロボットCRの処理レシピの編集、アラーム確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等が制限される。
【0060】
さらに、操作モードが通常モードの場合には、メインパネル5aとサブパネル5bをそれぞれ独立して操作することができる。それにより、一人の作業者がメインパネル5aにより洗浄処理部MPC1,MPC2、インデクサロボットIRおよび基板搬送ロボットCRの処理レシピの編集、アラーム確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等を行うとともに、他の一人の作業者がサブパネル5bにより洗浄処理部MPC3,MPC4の処理レシピの編集、アラーム確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等を行うことができる。したがって、作業の効率化を図ることができる。
【0061】
操作モードがメイン単独モードに切り替わった場合、サブパネル5bの操作が制限されるとともにメインパネル5aの操作により洗浄処理部MPC3,MPC4の処理レシピの編集、アラーム確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等も行うことができるようになる。
【0062】
操作モードがサブ単独モードに切り替わった場合、メインパネル5aの操作が制限されるとともにサブパネル5bの操作により基板処理装置100による基板処理の開始および停止の指令、洗浄処理部MPC1,MPC2、インデクサロボットIRおよび基板搬送ロボットCRの処理レシピの編集、アラーム確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等も行うことができるようになる。
【0063】
したがって、メインパネル5aおよびサブパネル5bのいずれか一方が故障しても他方のパネルを操作することにより、基板処理装置100の全体の操作を行うことができる。
【0064】
図3は、基板処理装置100の制御系を示すブロック図である。
【0065】
図3に示すように、メイン制御部4は、ホストコンピュータ41、コントローラ42およびメインパネル5aを含む。また、ホストコンピュータ41は、LAN(ローカルエリアネットワーク)43を介してコントローラ42と接続されている。
【0066】
ホストコンピュータ41は、CPU(中央演算処理装置)、メモリ、記憶装置等から構成される。コントローラ42は、CPU、メモリ等から構成される。
【0067】
ホストコンピュータ41は、メインパネル5aまたはサブパネル5bから与えられる指令に基づいて、洗浄処理部MPC1〜4、基板搬送ロボットCRおよびインデクサロボットIRの処理レシピを記憶する。
【0068】
また、ホストコンピュータ41は、メインパネル5aまたはサブパネル5bから与えられる指令に基づいて、LAN43を介してコントローラ42に洗浄処理部MPC1〜4、基板搬送ロボットCRおよびインデクサロボットIRの処理レシピに基づいた動作指示を与える。
【0069】
コントローラ42は、ホストコンピュータ41から与えられる動作指示に基づいて、洗浄処理部MPC1〜MPC4、基板搬送ロボットCRおよびインデクサロボットIRの動作を制御する。
【0070】
図4は、ホストコンピュータ41によるメインパネル5aおよびサブパネル5bの操作モードの切り替え動作を示すフローチャートの一例を示す図である。以下、図3を参照しながら、図4のフローチャートの説明を行う。
【0071】
まず、ホストコンピュータ41は、メインパネル5aが故障したか否かを判定する(ステップS1)。ホストコンピュータ41は、メインパネル5aが故障したと判定した場合には、操作モードをサブ単独モードに切り替える(ステップS5)。
【0072】
ホストコンピュータ41は、ステップS1においてメインパネル5aが故障したと判定しなかった場合には、メインパネル5aまたはサブパネル5bの操作により操作モードがサブ単独モードに設定されたか否かを判定する(ステップS2)。ホストコンピュータ41は、操作モードがサブ単独モードに設定されたと判定した場合には、操作モードをサブ単独モードに切り替える(ステップS5)。
【0073】
ホストコンピュータ41は、ステップS2において操作モードがサブ単独モードに設定されたと判定しなかった場合には、サブパネル5bが故障したか否かを判定する(ステップS3)。ホストコンピュータ41は、サブパネル5bが故障したと判定した場合には操作モードをメイン単独モードに切り替える(ステップS6)。
【0074】
ホストコンピュータ41は、ステップS3においてサブパネル5bが故障したと判定しなかった場合には、メインパネル5aまたはサブパネル5bの操作により操作モードがメイン単独モードに設定されたか否かを判定する(ステップS4)。ホストコンピュータ41は、操作モードがメイン単独モードに設定されたと判定した場合には、操作モードをメイン単独モードに切り替える(ステップS6)。
【0075】
ホストコンピュータ41は、ステップS4において操作モードがメイン単独モードに設定されたと判定しなかった場合には、ステップS1の動作から繰り返す。
【0076】
このようにして、メインパネル5aまたは5bの故障もしくは使用者の操作により操作モードが通常モード、サブ単独モードおよびメイン単独モードのいずれかに切り替えられる。
【0077】
以下、図5〜図7は、メインパネル5aおよびサブパネル5bが表示する画面の一例を示す模式図である。
【0078】
図5は、基板処理の開始、停止、処理レシピの選択等の操作を行なうための操作画面200を示す図である。
【0079】
操作画面200は、複数のステージ選択ボタン201、スロットマップ202、フローレシピ選択ボタン203、スタートボタン204等を含む。
【0080】
ここで、複数のステージは、図1のキャリア1a〜1cの載置位置に相当する。複数のステージボタン201は、図1のキャリア1a〜1cの載置位置に対応づけられている。ステージボタン201が押されると、当該ステージボタン201に対応する載置位置のキャリアのフローレシピの選択が可能になる。
【0081】
ここで、フローレシピとは、複数の処理レシピを組み合わせた一連の処理手順および処理条件をいう。
【0082】
スロットマップ202は、キャリア1a〜1cのうち選択されたキャリアに収納されている基板の収納状況を表示する。スロットマップ202にはスロット番号、”1”〜”25”とそれに対応する複数の基板有無表示欄とが含まれる。スロットは、キャリア内の基板の収納棚を意味する。キャリアの各スロットに基板Wが収納されると対応するスロット番号を有する基板有無表示欄の色が変化する。それにより、キャリア1a〜1cに関する基板Wの収納状況を視覚的に把握することができる。
【0083】
フローレシピ選択ボタン203は、基板Wのフローレシピを選択するために用いられる。フローレシピ選択203が押されると、フローレシピリスト(図示せず)が表示され、フローレシピ番号をワンタッチで選択することができる。続いて、スタートボタン204が押されると、基板処理装置100による基板Wの処理が開始される。
【0084】
図6は、基板処理装置100内の基板の状態を表示する状態表示画面300を示す図である。
【0085】
状態表示画面300は、複数の状態表示欄301を含む。各状態表示欄301は、キャリア1a〜1c、洗浄処理部MPC1〜MPC4、インデクサロボットIRの搬送アームIRH1,IRH2および基板搬送ロボットCRの搬送アームCRH1,CRH2における基板の有無、処理レシピ番号もしくはフローレシピ番号等を表示する。
【0086】
図5の「ST1」〜「ST3」はキャリア1a〜1cに相当し、「IR上ハンド」は搬送アームIRH1に相当し、「IR下ハンド」は搬送アームIRH2に相当し、「CR上ハンド」は搬送アームCRH1に相当し、「CR下ハンド」は搬送アームCRH2に相当し、「MPC1」〜「MPC4」は洗浄処理部MPC1〜MPC4に相当する。
【0087】
図6に示す状態表示画面300の一例では、洗浄処理部MPC1,MPC4で基板が洗浄処理中であるため、洗浄処理部MPC1を表示する状態表示欄301の四角の中に基板Wの存在を表す丸が表示される。また、フローレシピ番号等も同時に表示される。
【0088】
図7は、洗浄処理部MPC1〜MPC4における洗浄処理の動作状況表示画面400を示す図である。
【0089】
動作状況表示画面400は、設定表示欄401、複数のノズル動作表示402、複数の窒素流量表示欄403、回転数表示欄404〜407等を含む。
【0090】
設定表示欄401は、基板処理の処理レシピ番号、フローレシピ番号等の設定を表示する。複数のノズル動作表示402は、ノズルの使用または未使用を表示する。ノズルが使用中であれば、色が変化する。
【0091】
図6に示す動作状況表示画面400の一例では表面薬液専用ノズルに対応するノズル動作表示402の色が変化しており、表面薬液専用ノズルが使用中であることを示している。複数の窒素流量表示欄403は、窒素の設定流量および実際にノズルから噴出される流量が表示される。複数の回転数表示欄404は、洗浄処理部MPC1〜MPC4におけるスピンチャックおよび遮断板の設定回転数および実際の回転数を表示する。
【0092】
洗浄処理部MPC1〜MPC4の手動運転時においてもこの動作状況表示画面400が表示される。それにより、使用者は、図2で説明したように、監視窓6a〜6dから洗浄処理部MPC1〜MPC4の実際の動作を見ながら、動作状況表示画面400を確認することができる。
【0093】
なお、本実施の形態に係る基板処理装置100においては、洗浄処理部MPC1〜MPC4が搭載されているが、それに限られない。例えば、洗浄処理部MPC1〜MPC4の代わりにポリマー除去ユニット等の他の洗浄処理部が設けられてもよい。また、クーリングプレート、ホットプレート等の基板Wに対して熱処理を行う熱処理部が設けられてもよい。さらに、上記洗浄処理部のいずれかと上記熱処理部を組み合わせて設けられてもよい。
【0094】
本実施の形態においては、基板処理装置100の処理領域A側の側面が第1の側面に相当し、基板処理装置100の処理領域B側の側面が第2の側面に相当し、処理領域Aが第1の処理部群に相当し、処理領域Bが第2の処理部群に相当し、メインパネル5aが第1の操作パネル部に相当し、サブパネル5bが第2の操作パネル部に相当し、ホストコンピュータ41が制御手段に相当する。
【0095】
(第2の実施の形態)
図8は、第2の実施の形態に係る基板処理装置100aの平面図である。
【0096】
基板処理装置100aが図1の基板処理装置100と異なる点は、処理領域Bがアッシング部ASH、クーリングプレート部CPおよびアッシャ制御部3から構成されている点である。
【0097】
アッシング部ASHでは、加熱プレート(図示せず)上に基板が載置された状態にて減圧下で酸素プラズマによりアッシング処理が行われる。クーリングプレート部CPでは、温度調整プレート(図示せず)上に載置された状態でペルチェ素子または恒温水循環等により基板が所定温度(例えば、23℃)まで冷却される。クーリングプレート部CPは、アッシング処理により昇温した基板Wを残渣除去処理または洗浄処理が可能な温度にまで冷却するために用いられる。
【0098】
アッシャ制御部3は、CPU(中央演算処理装置)を含むコンピュータ等からなり、処理領域Aのアッシング部ASHおよびクーリングプレート部CPの動作を制御する。
【0099】
基板搬送ロボットCRは、インデクサロボットIRから渡された基板Wをアッシング部ASHに搬送する。次に、基板搬送ロボットCRは、アッシング部ASHで所定のアッシング処理をされた基板Wをクーリングプレート部CPに搬送する。
【0100】
次いで、基板搬送ロボットCRは、クーリングプレート部CPで所定の冷却処理をされた基板Wを洗浄処理部MPC1または洗浄処理部MPC2に搬送する。次に、基板搬送ロボットCRは、洗浄処理部MPC1または洗浄処理部MPC2で所定の洗浄処理をされた基板WをインデクサロボットIRに搬送する。
【0101】
図9(a)は図7の基板処理装置100aの処理領域A側の側面図であり、図9(b)は基板処理装置100aの処理領域B側の側面図である。
【0102】
図9(a)に示すように、メイン制御部4にはメインパネル5cが設けられている。使用者は、メインパネル5cを操作して、基板処理装置100の基板処理の開始、停止ができる。また、使用者は、メインパネル5cを操作して、基板処理装置100aの基板処理の開始および停止の指令、洗浄処理部MPC1,MPC2、インデクサロボットIRおよび基板搬送ロボットCRの処理レシピの編集、アラーム確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等を行うことができる。また、メインパネル5cは、基板処理装置100aの動作状況の詳細を表示する。
【0103】
図9(b)に示すように、アッシャ制御部3の側面にサブパネル5dが設けられている。使用者は、サブパネル5dを操作してアッシング部ASHおよびクーリングプレート部CPの処理レシピの編集、アラーム確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等を行うことができる。また、サブパネル5cは、アッシング部ASHおよびクーリングプレート部CPの動作状況の詳細を表示する。
【0104】
アッシング部ASHおよびクーリングプレート部CPの側面にはそれぞれ透明な監視窓6e,6fが設けられている。それにより、使用者は、アッシング部ASHおよびクーリングプレート部CPの内部を基板処理装置100aの外部から視認することができる。したがって、使用者は、アッシング部ASHおよびクーリングプレート部CPの動作を確認しながらサブパネル5dの操作をすることができる。その結果、操作誤りが防止される。
【0105】
また、使用者は、メインパネル5cとサブパネル5dはそれぞれ独立して操作することができる。
【0106】
図10は、基板処理装置100aの制御系を示すブロック図である。
【0107】
図10に示すように、メイン制御部4aは、ホストコンピュータ41a、コントローラ42aおよびメインパネル5cを含む。アッシャ制御部3は、アッシャコントローラ31およびサブパネル5dを含む。ホストコンピュータ41a、コントローラ42aおよびアッシャコントローラ31は、LAN43aを介して接続されている。
【0108】
ホストコンピュータ41aは、メインパネル5cおよびサブパネル5dから与えられる信号に基づいて、洗浄処理部MPC1〜MPC4、基板搬送ロボットCR、インデクサロボットIR、アッシング部ASHおよびクーリングプレート部CPの処理レシピを記憶する。
【0109】
ホストコンピュータ41aは、メインパネル5cから与えられる信号に基づいて、コントローラ42aに洗浄処理部MPC1,MPC2、基板搬送ロボットCRおよびインデクサロボットIRの処理レシピに基づいた動作指示を与える。また、ホストコンピュータ41aは、サブパネル5dから与えられる信号に基づいて、アッシャコントローラ31にアッシング部ASHおよびクーリングプレート部の処理レシピの動作指示を与える。
【0110】
コントローラ42aは、ホストコンピュータ41aから与えられる信号に基づいて、洗浄処理部MPC1,MPC2、基板搬送ロボットCRおよびインデクサロボットIRの動作を制御する。また、アッシャコントローラ31は、ホストコンピュータ41aから与えられる信号に基づいて、アッシング部ASHおよびクーリングプレート部CPの動作を制御する。
【0111】
以上のことから、一人の作業者がメインパネル5cにより洗浄処理部MPC1,MPC2の処理レシピの編集、アラーム確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等を行うとともに、他の一人の作業者がサブパネル5dによりアッシング部ASHおよびクーリングプレート部CPの処理レシピの編集、アラーム確認等の動作確認、アラーム解除、手動運転等を行うことができる。したがって、作業の効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態に係る基板処理装置の平面図である。
【図2】(a)は図1の基板処理装置の処理領域A側の側面図であり、(b)は基板処理装置の処理領域B側の側面図である。
【図3】基板処理装置の制御系を示すブロック図である。
【図4】ホストコンピュータによるメインパネルおよびサブパネルの操作モードの切り替え動作を示すフローチャートの一例を示す図である。
【図5】メインパネルおよびサブパネルが表示する画面の一例を示す模式図である。
【図6】メインパネルおよびサブパネルが表示する画面の一例を示す模式図である。
【図7】メインパネルおよびサブパネルが表示する画面の一例を示す模式図である。
【図8】第2の実施の形態に係る基板処理装置の平面図である。
【図9】(a)は図7の基板処理装置の処理領域A側の側面図であり、(b)は基板処理装置の処理領域B側の側面図である。
【図10】基板処理装置の制御系を示すブロック図である。
【符号の説明】
1a,1b,1c キャリア
2a,2b,2c,2d 流体ボックス部
3 アッシャ制御部
4 メイン制御部
5a,5c メインパネル
5b,5d サブパネル
6a,6b,6c,6d 監視窓
31 アッシャコントローラ
41,41a ホストコンピュータ
42,42a コントローラ
ASH アッシング部
CP クーリングプレート部
CR 基板搬送ロボット
IR インデクサロボット
MPC1,MPC2,MPC3,MPC4 洗浄処理部
Claims (10)
- 少なくとも第1および第2の側面を有し、基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
前記第1の側面に沿って配置され、基板を処理する複数の処理ユニットを含む第1の処理部群と、
前記第2の側面に沿って配置され、基板を処理する複数の処理ユニットを含む第2の処理部群と、
前記第1の側面に設けられ、前記第1の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの状態を表示可能であるとともに、前記第1の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うための第1の操作パネル部と、
前記第2の側面に設けられ、前記第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの状態を表示可能であるとともに、前記第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うための第2の操作パネル部と、
前記第1または第2の操作パネル部による指令に基づいて、前記第1および第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの動作を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記指令は、処理ユニットの動作に関する設定を含むことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記指令は、処理ユニットの手動運転に関する指令を含むことを特徴とする請求項1または2記載の基板処理装置。
- 前記第1の側面および前記第2の側面には1または複数の監視窓が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記第1の操作パネル部は、所定の条件が満たされた場合に、前記第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うことが可能であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記所定の条件は、前記第2の操作パネル部の故障であることを特徴とする請求項5記載の基板処理装置。
- 前記所定の条件は、前記第1または第2の操作パネル部の操作による前記第2の操作パネル部の不能化の設定であることを特徴とする請求項5または6に記載の基板処理装置。
- 前記第1の側面と前記第2の側面とは隣接しないことを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記第1の側面と前記第2の側面とは前記第1および第2の処理部群を挟んで互いに反対側の側面であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の基板処理装置。
- 第1の側面に沿って配置され基板を処理する複数の処理ユニットを含む第1の処理部群と、第2の側面に沿って配置され基板を処理する複数の処理ユニットを含む第2の処理部群とを備えた基板処理装置を用いた基板処理方法であって、
前記第1の側面に設けられた第1の操作パネル部に前記第1の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの状態を表示するステップと、
前記第1の操作パネル部の操作に基づいて前記第1の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うステップと、
前記第2の側面に設けられた第2の操作パネル部に前記第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの状態を表示するステップと、
前記第2の操作パネル部の操作に基づいて前記第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの少なくとも一部に関する指令を行うステップと、
前記第1または第2の操作パネル部による指令に基づいて、前記第1および第2の処理部群に含まれる複数の処理ユニットの動作を制御するステップとを有することを特徴とする基板処理方法。
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- 2003-07-23 JP JP2003200393A patent/JP2005044845A/ja active Pending
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