JP2012223846A - 加工廃液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加工装置の加工の際に加工水供給手段によって供給された加工水が加工によって生成された加工廃液を清水に精製する廃液濾過手段と、廃液濾過手段によって精製された清水を貯水する清水貯水タンクと、清水を純水に精製する純水生成手段と、純水生成手段によって精製された純水を複数の加工装置に送給する純水送給ポンプと、表示手段および制御手段とを具備する加工廃液処理装置であって、複数の加工装置は純水送給ポンプによってそれぞれの加工水供給手段に送給される純水の流量を検出する流量検出手段と、流量検出手段によって検出された純水の流量を該制御手段に送信する送信手段を備えており、制御手段は複数の加工装置に配設された各流量検出手段からの検出信号に基づいて、各加工装置が使用している純水の使用量を表示手段に表示せしめる。
【選択図】図1
Description
該複数の加工装置は、該純水送給ポンプによってそれぞれの加工水供給手段に送給される純水の流量を検出する流量検出手段と、該流量検出手段によって検出された純水の流量を該制御手段に送信する送信手段を備えており、
該制御手段は、該複数の加工装置に配設された各流量検出手段からの検出信号に基づいて、各加工装置が使用している純水の使用量を表示手段に表示せしめる、
ことを特徴とする加工廃液処理装置が提供される。
加工装置としての切削装置2A、2B、2C、2D、2Eは、それぞれ略直方体状の装置ハウジング20を具備している。この装置ハウジング20内には、被加工物を保持するチャックテーブル21が切削送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設されている。チャックテーブル21は、上面である保持面上に被加工物を図示しない吸引手段を作動することによって吸引保持するようになっている。また、チャックテーブル21は、図示しない回転機構によって回転可能に構成されている。なお、チャックテーブル21には、被加工物として後述するウエーハをダイシングテープを介して支持する環状のフレームを固定するためのクランプ211が配設されている。このように構成されたチャックテーブル21は、図示しない切削送り手段によって、矢印Xで示す切削送り方向に移動せしめられるようになっている。
カセット載置テーブル24上に載置されたカセット25の所定位置に収容されている半導体ウエーハW(環状のフレームFにダイシングテープTを介して支持されている状態)は、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル24が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出・搬入手段27が進退作動して搬出位置に位置付けられた半導体ウエーハWを仮置きテーブル26上に搬出する。仮置きテーブル26に搬出された半導体ウエーハWは、第1の搬送手段28の旋回動作によって上記チャックテーブル21上に搬送される。チャックテーブル21上に半導体ウエーハWが載置されたならば、図示しない吸引手段が作動して半導体ウエーハWをチャックテーブル21上に吸引保持する。また、半導体ウエーハWをダイシングテープTを介して支持する環状のフレームFは、上記クランプ211によって固定される。このようにして半導体ウエーハWを保持したチャックテーブル21は、撮像手段23の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル21が撮像手段23の直下に位置付けられると、撮像手段23によって半導体ウエーハWに形成されているストリートが検出され、スピンドルユニット22を割り出し方向である矢印Y方向に移動調節してストリートと切削ブレード223との精密位置合わせ作業が行われる。
図4に示す制御手段8はコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理する中央処理装置(CPU)81と、制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ(ROM)82と読み書き可能なランダムアクセスメモリ(RAM)83と、入力インターフェース84および出力インターフェース85とを備えている。制御手段8の入力インターフェース84には、上記圧力検出手段33、清水水位検出手段52、圧力検出手段68、比抵抗計69、入力手段91、上記切削装置2A、2B、2C、2D、2Eにそれぞれ装備されたコントローラ164a、164b、164c、164d、164e等からの検出信号および入力信号が入力される。そして、制御手段8の出力インターフェース85からは、上記廃液送給ポンプ30、電磁開閉弁43a、電磁開閉弁43b、清水送給ポンプ50、水補給手段55、電磁開閉弁66a、電磁開閉弁66b、純水送給ポンプ70、表示手段92等に制御信号を出力する。
21:チャックテーブル
22:スピンドルユニット
221:スピンドルハウジング
222:回転スピンドル
223:切削ブレード
225:加工水供給ノズル
3:廃液収容タンク
30:廃液送給ポンプ
4:廃液濾過手段
41:清水受けパン
42a:第1のフィルター
42b:第2のフィルター
43a、43b:電磁開閉弁
5:清水貯水タンク
50:清水送給ポンプ
52:清水水位検出手段
55:水補給手段
6:純水生成手段
61:支持台
62:紫外線照射手段
63a:第1のイオン交換手段
63b:第2のイオン交換手段
64:精密フィルター
66a、66b:電磁開閉弁
70:純水送給ポンプ
8:制御手段
9:操作盤
91:入力手段
92:表示手段
10:加工廃液処理装置
100:装置ハウジング
Claims (1)
- 加工装置の加工の際に加工水供給手段によって供給された加工水が加工によって生成された加工廃液を収容する廃液収容タンクと、該廃液収容タンクに収容された加工廃液を送給する廃液送給ポンプと、該廃液送給ポンプによって送給された加工廃液を濾過して清水に精製する廃液濾過手段と、該廃液濾過手段によって精製された清水を貯水する清水貯水タンクと、該清水貯水タンクに貯水された清水を送給する清水送給ポンプと、該清水送給ポンプによって送給された清水を純水に精製する純水生成手段と、該純水生成手段によって精製された純水を複数の加工装置に送給する純水送給ポンプと、表示手段および制御手段と、を具備する加工廃液処理装置において、
該複数の加工装置は、該純水送給ポンプによってそれぞれの加工水供給手段に送給される純水の流量を検出する流量検出手段と、該流量検出手段によって検出された純水の流量を該制御手段に送信する送信手段を備えており、
該制御手段は、該複数の加工装置に配設された各流量検出手段からの検出信号に基づいて、各加工装置が使用している純水の使用量を表示手段に表示せしめる、
ことを特徴とする加工廃液処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011092579A JP2012223846A (ja) | 2011-04-19 | 2011-04-19 | 加工廃液処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2011092579A JP2012223846A (ja) | 2011-04-19 | 2011-04-19 | 加工廃液処理装置 |
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- 2011-04-19 JP JP2011092579A patent/JP2012223846A/ja active Pending
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